JP2001110886A

JP2001110886A - 精密基板収納容器

Info

Publication number: JP2001110886A
Application number: JP28300799A
Authority: JP
Inventors: Kazuya Okada; 一也岡田
Original assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd; Shin Etsu Chemical Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd; Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date: 1999-10-04
Filing date: 1999-10-04
Publication date: 2001-04-20
Anticipated expiration: 2019-10-04
Also published as: JP4357048B2

Abstract

(57)【要約】【課題】外形サイズの異なる複数種の精密基板を収納
可能で、精密基板の自動取り出しが容易な精密基板収納
容器を安価に提供する。【解決手段】容器本体１０と蓋２０のそれぞれに係止
部１１（２１）を形成し、これら係止部１１（２１）に
複数の方向に延びる支持部１３，１４（２３，２４）が
形成された保持部材１２（２２）を着脱自在に係合させ
て、保持部材１２（２２）の取り付け方向を変えること
によりサイズの異なる複数種の精密基板Ａを収納可能に
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、少なくとも電気、
電子又は半導体等の製造分野で使用される単数複数の液
晶セル、石英ガラス、半導体ウェーハ（シリコーンウェ
ーハ等）、フォトマスク、マスクブランクス、レチクル
またはペリクル付きフォトマスク、あるいは記録媒体用
のサブストレート等の精密基板を保管、輸送、又は工程
内にて使用するための精密基板収納容器（以下単に基板
収納容器と記す）に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体等の製造分野では、近年
ＩＣ及びＬＳｌの微細化と高集積化と共に、３００ｍｍ
あるいはそれ以上の大口径ウェーハを用いた新しい半導
体工場による半導体製品の生産が検討されてきており、
ウェーハ上に回路形成を行うために用いられるフォトマ
スクのサイズも６”角のものから７”角或いは９”角へ
と大型化並びに多様化が検討されている。こうした中で
フォトマスクに要求される寸法精度や位置精度及び、外
観的欠陥はより厳しいレベルとなってきている。そんな
中で、大型化並びに多様化したフォトマスクをより安定
的に工程内で搬送可能であり、なおかつ従来使用されて
きたサイズと新しいサイズの複数のフォトマスクを兼用
して収納可能な基板収納容器が望まれていた。

【０００３】従来の精密基板収納容器の一例としては、
図９に示すように、容器本体３０に精密基板Ａを収納
し、上方から蓋４０で被覆・嵌合していた。前記精密基
板Ａの保持については、前記容器本体３０の底面内側に
断面凹型のリブ３１を一体成形により一定位置に複数設
け、前記リブ３１天面の凹部に保持ピン３２を嵌合し、
上方に突出される前記保持ピン３２の凸部に前記精密基
板Ａの下面を複数箇所で接触させ、上方からは、前記蓋
４０の天面内側に設けられたリブ４１の凹部に嵌合され
た保持ピン４２を精密基板Ａの上面に複数箇所で接触さ
せて行っていた。

【０００４】また、精密基板Ａの前後左右におけるガタ
ツキ抑止のために、容器本体３０、蓋４０に各々Ｌ字型
のリブ３３、４３を一体成形により一定位置に複数設け
ていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、従来、精密
基板の大型及び多様化に対して精密基板収納容器を各々
製作していたので、金型コストがアップし、同時に金型
製作の工数も必要とされていた。このため、金型コスト
低減策として外形サイズの異なる精密基板Ａを収納する
基板収納容器として、容器本体３０、蓋４０の金型を共
用型とし、精密基板Ａの外形サイズに合わせた断面凹型
のリブ３１、４１及びＬ字型のリブ３３、４３の部分を
入れ子構造とすることにより適宜対応させる方法も用い
られているが、入れ子部品の製作コストと、成形に際し
て入れ子部品の交換等の工数も必要とされていた。

【０００６】また、精密基板収納容器は異なるサイズの
精密基板それぞれに対応した個別のものとなるため、精
密基板の品種と同じ数だけの精密基板収納容器の品種を
用意しなければない。その結果、生産管理、在庫管理な
どの手間も多くかかることになる。また、他の金型コス
ト低減策としては、図１０（ａ）に示すように、容器本
体３０の内面にＬ字状の囲み片３４を階段状に設定し
て、外形サイズの異なる複種類の精密基板Ａを収納する
方法もある。しかしながら、精密基板Ａの保持構造を一
体化させた蓋４０を使用する条件としては、図１０
（ｂ）に示す様に、外形サイズの小さい精密基板Ａの厚
みｔ２が、外形サイズの大きい精密基板Ａ′の厚みｔ１
より厚くなければ、基板が保持部材の間でガタついてし
まう。また、この場合精密基板Ａの外形サイズが異なる
と、精密基板収納容器内における精密基板Ａの支持高さ
については、変更せざるを得ない状況であった。

【０００７】上記した条件に適していないタイプの精密
基板ｂを収納するには、図１０（ｃ）、（ｄ）に示す様
に、２種類の精密基板Ａ，Ａ′を保持するための押さえ
部４４，４５を有する蓋４０が各々必要となり製作コス
トがかかることになる。精密基板Ａの保持方法について
は、囲み片３４の平坦部と精密基板Ａの平面部とが面接
触するため、精密基板の表面に接触跡が残るなど囲み片
３４に使用されている樹脂から精密基板Ａへの汚染が懸
念されていた。囲み片３４については、成形時に樹脂の
肉溜まり部となるので外観上ひけが生じ易く、寸法精度
が劣っていた。

【０００８】本発明は、上記従来の問題に鑑みなされた
もので、容器本体の底面内側及び蓋の天面内側に各々凸
状又は凹状をした係止部を複数設け、前記リブに着脱可
能で、しかも交換又は装着位置を変更可能な保持部材設
けることにより外形サイズの異なる精密基板に対しても
ガタツキのない安定した保持状態を得ることが可能な精
密基板収納容器を提供することを目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を達
成するために、次のような手段を採用した。請求項１記
載の発明は、容器本体に精密基板を収納し、上方から蓋
を被せて保管・輸送する基板収納容器において、容器本
体の底面内側及び蓋の天面内側に各々凸又は、凹状をし
た係止部を複数設け、前記係止部に着脱可能に取り付け
可能で、しかも交換または装着位置を変更することによ
り外形サイズの異なる精密基板を支持することが可能で
凸状又は凹状の係合部を有する保持部材を設けたことを
特徴としている。

【００１０】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、保持部材が、基部と基部から延びる２つ以
上の支持部を有する形状に形成され、前記基部には前記
係止部に挿嵌可能な係合部が形成され、前記支持部のそ
れぞれには、精密基板の一稜線のみと接する傾斜面が形
成されていることを特徴としている。

【００１１】請求項３記載の発明は、請求項１又は２記
載の発明において、基板収納容器に収納された状態にお
ける精密基板と容器本体に装着された保持部材との接触
する箇所との精密基板収納容器が搭載される装置の基準
水平面からの高さが、外形サイズの異なる複数の精密基
板でも同一とすることを特徴としている。

【００１２】請求項４記載の発明は、請求項１〜３記載
の発明において、容器本体の側壁と精密基板の支持平面
との間に、精密基板を下方から取り出すための把持部材
が挿入可能な空隙が設けられていることを特徴としてい
る。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態について精密基板がフォトマスクである例につい
て説明する。本実施形態における基板収納容器は、図１
に示すように、平坦な底面１０ａとこれを取り囲むよう
に上方に延びる４つの側壁１０ｂとを有する平面視矩形
をした容器本体１０と、平坦な天面２０ａとこれを取り
囲む下方に延びる４つの側壁２０ｂを有し、容器本体１
０に被覆される蓋体２０とこれらを係止する係止手段５
０とで構成される。さらに、容器本体１０と蓋体２０の
それぞれには、基板Ａを支持する複数個の保持部材１
２，２２と、これら保持部材を着脱自在に係止する係止
部１１，２１がそれぞれ設けられている。

【００１４】本実施形態では、係止部１１，２１は、４
コーナーに微小Ｒが形成された角柱状又は円柱状の凸リ
ブで構成され、上方又は下方に突出するようにそれぞれ
４箇所に設けられている。また、前記した保持部材１２
（２２）は、図１、２に示すように、基本的にはＬ字形
に成形され、ほぼ直交する２方向に延出する第１の支持
部１３（２３）と第２の支持部１４（２４）と２つの支
持部が交差する部分である基部１５（２５）とを有して
いる。基部１５（２５）には、容器本体１０又は蓋２０
に形成された係止部１１（２１）と嵌合可能な係合部１
５ａ（２５ａ）となる凹部又は貫通孔が設けられてお
り、前記係止部１１（２１）と係合部１５ａ（２５ａ）
とが嵌合するようになっている。なお、図示はしない
が、係止部を凹部として形成し、保持部材の係合部を突
部に形成して嵌合しても良いことは、言うまでもない。

【００１５】容器本体１０及び蓋２０に使用する原料と
しては、ＰＭＭＡ、ポリカーボネート、ＡＢＳ、ポリプ
ロピレン、ポリブチレンテレフタレート樹脂等の合成樹
脂及びこれらに帯電防止効果が付与されたものが挙げら
れる。より好ましくは、軽量性・成形性に優れ、透視可
能で、帯電防止効果が付与されたＰＭＭＡ樹脂を用いて
成形すると良い。

【００１６】また、精密基板収納容器に収納、支持され
るフォトマスクＡは、図２に示すように、保持部材１２
（２２）の支持部１３，１４（２３，２４）のそれぞれ
形成された傾斜面１３ａ，１４ａ（２３ａ，２４ａ）
で、フォトマスクＡの稜線部と線接触させることによ
り、輸送又は搬送時の振動による基板収納容器内でのフ
ォトマスクのガタツキを抑えている。なお、傾斜面の水
平面からの角度αとしては、精密基板収納容器内におけ
るフォトマスクの安定性を考慮すると、５゜〜４５゜位
が好ましい。蓋２０に装着する保持部材２２の形状も、
容器本体１０の保持部材１２とほぼ同一であるが、２方
向に延出している支持部２３，２４における傾斜面２３
ａ，２４ａの角度βは、輸送又は搬送時の振動による基
板収納容器内でのフォトマスクＡのガタツキを抑えるた
め、１゜〜６０゜位の範囲から収納するフォトマスクＡ
の厚さに応じて適宜形成されている。

【００１７】また、保持部材１２（２２）に、２方向に
延出している支持部１３，１４（２３，２４）を設けた
場合、フォトマスクの外形サイズの小さい第１の精密基
板Ａ（例：正方形で１辺が１５２．４ｍｍ、厚さが６．
３５ｍｍ）を収納する場合には、図３（ａ）に示すよう
に第１の支持部１３が内側に向かい合って配置された状
態で係止部１１に嵌合され、フォトマスクの外形サイズ
の大きいもの第２の精密基板Ａ′（例：正方形で１辺が
２３０ｍｍ、厚さが９ｍｍ）を収納する場合には、図３
（ｂ）に示すように、第２の支持部１４が内側に向き合
って配置された状態で係止部に嵌合される。

【００１８】保持部材１２（２２）の支持部１３，１４
（２３，２４）の寸法は、収納するフォトマスクの外形
サイズを考慮して設けられ、本実施例においては、第１
の支持部１３の長さｑ１が６０ｍｍ〜６５ｍｍ位に、第
２の支持部１４の長さｒ１が２０ｍｍ〜２５ｍｍ位とな
っている。支持部の高さｑ２、ｒ２については、工程内
で使用されるフォトマスク取り出し及び収納用ロボット
アーム（基板収納容器内においてフォトマスク下面に接
触し保持する。）の出入りが容易に行えるように、支持
部と精密基板との当接位置が容器本体１０の側面部１０
ｂの高さより２０〜３０ｍｍ位高く設定し、精密基板の
支持平面との間で前記ロボットアームが挿入可能な空隙
を形成するように設定される。なお、図６に示したよう
に、ロボットアームが挿入される部分の側面部の高さを
部分的に他の側面部の高さよりも低く形成し、精密基板
の支持平面との間に空隙ｉを形成しても良い。

【００１９】なお、本実施形態においては、保持部材１
２（２２）と一体化した支持部を複数方向に設けること
により、外形サイズの異なる２種のフォトマスクに適宜
収納させているが、図４（ａ）に示すように平面視Ｔ方
向、若しく図４（ｂ）に示すように十字方向に支持部を
設けて、外形サイズの異なる３種若しくは４種のフォト
マスクを適宜収納することも可能である。

【００２０】容器本体１０及び蓋２０に設けた係止部１
１（２１）と保持部材１２（２２）の嵌合手段として
は、図５に示すように、係止部の幅ｊ１と長さｊ２の寸
法に対して、保持部材１２の係合部の幅Ｌ１と長さＬ２
の寸法のうち少なくとも１部分を各々０〜０．１０ｍｍ
小さく設けて、使用中にガタつかず、着脱自在となる範
囲で調整される。このような寸法に設定された係合部を
有する保持部材を、嵌入させても良いし、一方に嵌合用
の突起や凹部を設けても良い。なお、本実施形態におい
ては、容器本体１０及び蓋２０の係止部１１（２１）の
それぞれに保持部材１２（２２）を嵌め込む方法により
嵌合させているが、嵌合方法については、容器本体１０
及び蓋２０の係止部１１（２１）に保持部材１２（２
２）が着脱自在に固定される方法であれば特に限定はし
ない。

【００２１】保持部材１２（２２）に使用する原料とし
ては、ポリエチレン、ポリエステル系エラストマ、シリ
コーンゴム等が挙げられるが、樹脂の磨耗性と寸法精度
の面において優れているポリエチレンを用いて成形され
る。ポリエチレンを使用することにより、フォトマスク
の擦れ合いによるパーティクルの発生を低減でき、また
容器本体１０に収納した時のフォトマスクの位置精度が
向上されるため、工程内での装置トラブルが解消され
る。

【００２２】上記構成において、フォトマスクＡを収納
する時には、図６に示すように、先ず容器本体１０の底
面内側に設けられている凸状リブ（係止部１１）に、収
納するフォトマスクＡのサイズに合わせて保持部材１２
の２方向に延出しているリブ（支持部）１３，１４の一
方を選択して嵌合し、リブ端部の接触部にフォトマスク
Ａの１稜線を線接触させて載置する。次に、上方から予
め保持部材２２が嵌合されている蓋２０を被せてフォト
マスクＡを保持し、嵌合された容器本体１０と蓋２０の
二隅又は四隅を係止手段である挟持部品５０（図１参
照）により固定する。

【００２３】また、工程内において使用する時には、図
７（ａ）、（ｂ）に示すように、蓋が取り除かれた状態
において底部又は側部の図示せぬ位置決め手段を使って
位置決めがなされ、ロボットアーム６０がフォトマスク
Ａの下面側に挿入され、接触・保持して取り出される。
フォトマスクＡを収納する時には、逆の操作が行われ
る。

【００２４】また、図８に示したように収納する複数種
のフォトマスクＡ，Ａ′においても、フォトマスクの方
向が同一で、容器本体が載置される精密基板の加工装置
の基準面からフォトマスク基板の下面までの高さｈも同
一になるように保持部材１２（２２）の傾斜面が設計さ
れている。これにより、フォトマスクＡを取り扱う自動
機の治具や交換や取り出し位置調整をすることなく、同
一の自動機でサイズの異なる複数種のフォトマスクＡを
搬送できる。なお、フォトマスクＡの上面を吸着して搬
送する場合には、フォトマスクＡの上面までの高さが同
一となるように、保持部材１２（２２）の長さと傾斜面
を設定すれば良い。このように１つの支持部１３（２
３）と他の支持部１４（２４）でサイズの異なる精密基
板を支持する際に、基準面から精密基板の下面までの高
さ（ｈ）と精密基板の上面までの高さｈのうちの一方を
同一とすることができる。

【００２５】

【発明の効果】本発明の精密基板収納容器によれば、収
納する精密基板のサイズに合わせて保持部材の複数の方
向に延出している支持部の一方を選択して精密基板を支
持することが可能であるので、外形サイズの異なる精密
基板を適宜収納でき、基板収納容器成形時における金型
の入れ子部材の交換作業を必要とせず、容器本体、蓋の
品種を少なくでき、金型投資が少なくて済み、金型管理
も行い易くなるまた、外形サイズの異なる精密基板を収
納した時の加工装置の基準面からの支持高さが一定であ
り、同一方向で支持されるので、精密基板下面に接触し
保持する精密基板取り出し及び収納用ロボットアームの
高さ調節等を、外形サイズの異なる精密基板毎に行う必
要が無くなり、同一の搬送仕様とすることができ、作業
工程を軽減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態を示
す全体分解斜視図である。

【図２】本発明に係る精密基板収納容器の精密基板を保
持する状態を示す側面図である。

【図３】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態を示
す分解斜視図で、（ａ）は精密基板の外形サイズが小さ
い場合、（ｂ）は大きい場合である。

【図４】本発明に係る精密基板収納容器に用いる保持部
材の別の形態を示す斜視図で、（ａ）は３サイズに対応
し、（ｂ）は４サイズに対応するものである。

【図５】保持部材と係止部との嵌合方法を示す斜視部で
ある。

【図６】本発明に係る精密基板収納容器の実施形態を示
す全体斜視図である。

【図７】（ａ）はロボットアームと精密基板及び精密基
板収納容器との位置関係を示す平面図、（ｂ）は図７
（ａ）の断面図である。

【図８】本発明の精密基板収納容器に異なるサイズの精
密基板を支持した場合の断面図である。

【図９】従来の精密基板収納容器を示す全体分解斜視図
である。

【図１０】（ａ）は従来の精密基板収納容器を示す平面
図、（ｂ）は図１０（ａ）の断面図、（ｃ）は外形の大
きな精密基板を収納する場合、（ｄ）外形の小さな精密
基板を収納する場合を示す図である。

【符号の説明】

１０容器本体１１係止部１２保持部材１３第１の支持部１４第２の支持部２０蓋体２１係止部２２保持部材２３第１の支持部２４第２の支持部５０係止手段Ａ精密基板（フォトマスク）ｈ加工装置の基準面からの精密基板当接部までの
高さｉ空隙

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】容器本体に１枚の精密基板を水平状態で
支持し、上方から蓋を被せて保管・輸送する精密基板収
納容器において、前記容器本体の底面内側及び蓋の天面
内側にそれぞれ係止部を複数形成するとともに、該係止
部のそれぞれに着脱可能で、かつ異なる外形サイズの精
密基板の端部とそれぞれ当接可能な複数の支持部を有す
る保持部材を、その１つの支持部が相対向するように蓋
と容器本体のそれぞれの係止部に挿嵌して、異なる外形
サイズの精密基板をそれぞれ支持可能としたことを特徴
とする精密基板収納容器。
【請求項２】前記保持部材が、基部と基部から延びる
２個以上の支持部を有する形状に形成され、前記基部に
は前記係止部に挿嵌可能な係合部が形成され、前記支持
部のそれぞれには、精密基板の一稜線のみと接する傾斜
面が形成されていることを特徴とする請求項１記載の精
密基板収納容器。
【請求項３】前記精密基板収納容器に支持される精密
基板をローディング又はアンローディングする状態にお
いて、精密基板収納容器を搭載する加工装置の基準面か
ら精密基板の一端面までの高さが、１つの支持部で精密
基板を支持する時と、他の支持部で精密基板を支持する
時とで同一となることを特徴とする請求項１又は２記載
の精密基板収納容器。
【請求項４】前記容器本体において、精密基板の支持
平面と容器本体の側壁の一又は複数の箇所との間に、精
密基板を取り出して搬送するために精密基板の下面をピ
ックアップする把持部材が挿入可能な空隙を有すること
を特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の精密
基板収納容器。