JP2001108590A - 硬さ試験機 - Google Patents

硬さ試験機

Info

Publication number
JP2001108590A
JP2001108590A JP28713099A JP28713099A JP2001108590A JP 2001108590 A JP2001108590 A JP 2001108590A JP 28713099 A JP28713099 A JP 28713099A JP 28713099 A JP28713099 A JP 28713099A JP 2001108590 A JP2001108590 A JP 2001108590A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sample
arm
load
load arm
hardness tester
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP28713099A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4141602B2 (ja
Inventor
Masaru Kawazoe
勝 川添
Mitsuru Oda
充 小田
Tomoharu Yamada
知治 山田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Akashi Corp
Original Assignee
Akashi Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Akashi Corp filed Critical Akashi Corp
Priority to JP28713099A priority Critical patent/JP4141602B2/ja
Publication of JP2001108590A publication Critical patent/JP2001108590A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4141602B2 publication Critical patent/JP4141602B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明の課題は、アクチュエータを用いて発
生する力を制御し、かつ、試料を載置した試料台を、荷
重アームの可動範囲に自動的に移動することのできる硬
さ試験機を提供することである。 【解決手段】 硬さ試験機1は、板ばね7を介して、荷
重アーム作動部6によって荷重アーム4に荷重が負荷さ
れ、圧子3によって形成された試料表面の圧痕によっ
て、当該試料の材料特性を評価する装置であり、硬さ試
験を始める際には、荷重アーム4の回動角度(傾き)お
よび板ばね7の変位に基づくフィードバック制御によっ
て、荷重アーム4を基準角度位置に保った状態で、試料
台用サーボモータ52が試料台5を自動的に上昇させる
ことにより、試料台5に載置された試料sに初荷重をか
ける装置である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧子により形成さ
れた試料表面の圧痕に基づいて、試料の材料特性を評価
する硬さ試験機に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、圧子により試料表面に荷重を負荷
して圧痕を形成させることに基づいて、試料の材料特性
を評価する試験機として硬さ試験機が知られている。
【0003】この従来の硬さ試験機としては、例えば、
図4に示したものが知られている。図4に示す硬さ試験
機100は、デッドウェイト式の硬さ試験機といわれる
もので、重錘101と、荷重アーム102と、圧子軸1
03と、圧子104などからなる圧痕形成機構110を
備えている。
【0004】この圧痕形成機構110によれば、所定の
重錘101が前記荷重アーム102の先端に吊されるこ
とにより、荷重アーム102が下がる。そして、重錘1
01の荷重が、圧子軸103を介して圧子104に伝達
され、この圧子104が下方に移動することにより、試
料台105に載置された試料sに圧痕が形成されるよう
になっている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな硬さ試験機100においては、重錘の種類によっ
て、荷重が定まってしまうため、任意の力を発生させる
ことは困難であり、さらに、機械定数は硬さ試験機によ
ってそれぞれ微妙に異なるため、硬さ試験機と重錘とを
対応づけて管理・使用する必要が生じていた。
【0006】ところで、一般的に、硬さ試験機の荷重ア
ームの可動範囲は限られている。何故ならば、精確な荷
重を負荷するためには、荷重アームの位置が校正された
基準角度位置である必要があり、この基準角度位置から
大きくずれた位置で、荷重が負荷された場合には、精確
な荷重の負荷が保証されないからである。
【0007】また、試料表面に形成される圧痕は、試料
の硬さにも因るが、最大1mm程度の深さであるため、
荷重アームの可動範囲はこれ以上である必要がない。
【0008】一方、試料sの厚さは、試料によってまち
まちであるため、試料sの上面が、荷重アームの基準角
度位置にくるように、試料sが載置された試料台105
を手動で上下する必要がある。
【0009】従って、硬さ試験を行うためには、荷重ア
ームの可動範囲に注意しながら、試料台を手動で上下に
移動させる必要があるため、手間がかかっていた。
【0010】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたものであって、アクチュエータを用いて発生する力
を制御し、かつ、試料を載置した試料台を、荷重アーム
の可動範囲に自動的に移動することのできる硬さ試験機
を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項1記載の発明は、本体部に回動自在に支持さ
れ、自由端部に圧子(例えば、図1の圧子3)が取り付
けられるアーム(例えば、図1の荷重アーム4)と、前
記アームの自由端側を回動させて、前記圧子により試料
表面に圧痕を形成させる押圧力を作用させるための力を
該アームに対して付与するアーム回動力付与手段(例え
ば、図1の荷重アーム作動部6)と、を備えた硬さ試験
機において、前記アームの回動角度を検出する検出手段
(例えば、図1の荷重アーム角度位置センサ41)と、
前記検出手段によって検出された前記アームの回動角度
に基づいて、前記アーム回動力付与手段が前記アームを
基準角度位置に戻すための力の付与の制御を行う回動角
度制御手段(例えば、図2の作動制御部65)と、前記
試料を載置し、前記圧子による圧痕を形成させるための
前記アームの回動範囲内に当該試料を移動する試料移動
部(例えば、図1の試料台5及び角ネジ51)と、前記
試料移動部を駆動させる駆動手段(例えば、図1の試料
台用サーボモータ52)と、前記駆動手段による前記試
料移動部の駆動量を制御する駆動制御手段(例えば、図
2の作動制御部65)と、を備え、前記回動角度制御手
段により、前記アームの回動角度を前記基準角度位置に
保った状態で、前記駆動制御手段により、前記試料を移
動する前記試料移動部の駆動量が制御されて、前記試料
に所定の荷重をかけることを特徴とする硬さ試験機。
【0012】この請求項1記載の発明によれば、本体部
に回動自在に支持され、自由端部に圧子が取り付けられ
るアームと、前記アームの自由端側を回動させて、前記
圧子により試料表面に圧痕を形成させる押圧力を作用さ
せるための力を該アームに対して付与するアーム回動力
付与手段と、を備えた硬さ試験機において、検出手段
は、前記アームの回動角度を検出し、回動角度制御手段
は、前記検出手段によって検出された前記アームの回動
角度に基づいて、前記アーム回動力付与手段が前記アー
ムを基準角度位置に戻すための力の付与の制御を行い、
試料移動部は、前記試料を載置し、前記圧子による圧痕
を形成させるための前記アームの回動範囲内に当該試料
を移動し、駆動手段は、前記試料移動部を駆動させて、
駆動制御手段は、前記駆動手段による前記試料移動部の
駆動量を制御することによって、前記回動角度制御手段
により、前記アームの回動角度を前記基準角度位置に保
った状態で、前記駆動制御手段により、前記試料を移動
する前記試料移動部の駆動量が制御されて、前記試料に
所定の荷重をかける。
【0013】また、請求項2記載の発明のように、請求
項1記載の硬さ試験機において、前記所定の荷重は、前
記試料に負荷する初荷重であって、前記試料に該初荷重
を負荷した後、前記制御手段は、前記試料移動部を移動
させずに、前記アーム回動力付与手段の力の付与の制御
を行うことによって、前記初荷重以降の荷重を前記試料
に負荷することとしてもよい。
【0014】したがって、請求項1及び2記載の発明に
よって、駆動制御手段等により、試料移動部が、アーム
の回動範囲内に自動的に試料を移動し、さらに、所定の
荷重が負荷されるまでは、アームが基準角度位置に保た
れる。従って、アームの回動範囲内への試料移動部の移
動を手動で行う必要がなくなり、容易に硬さ試験を実施
することができる。
【0015】また、アームの回動角度は、基準角度位置
に保たれる。従って、基準角度位置におけるアームの荷
重を精確に校正することによって、所定の荷重、すなわ
ち初荷重を精確に負荷することのできる硬さ試験機を提
供することができる。
【0016】
【発明の実施の形態】以下、図を参照して本発明に係る
硬さ試験機の実施の形態を詳細に説明する。また、荷重
アームの可動範囲に試料を移動させる例として、本実施
の形態では、荷重アームの基準角度位置に試料の上面を
移動させることとし、この基準角度位置を水平位置とす
る。また、本実施の形態では、試料の移動によって、試
料の上面と荷重アームとを接触させて、初めに試料に負
荷する荷重を初荷重と呼び、この初荷重の負荷の後に、
荷重アームの回動によって残りの荷重を試料に負荷する
こととして説明する。
【0017】図1は、本発明に係る硬さ試験機1の要部
構成を示す側面図である。硬さ試験機1は、板ばね7を
介して、荷重アーム作動部6によって荷重アーム4に荷
重が負荷され、圧子3によって形成された試料表面の圧
痕によって、当該試料の材料特性を評価する装置であ
り、硬さ試験を始める際には、荷重アーム4の回動角度
(傾き)および板ばね7の変位に基づくフィードバック
制御によって、荷重アーム4を基準角度位置に保った状
態で、試料台用サーボモータ52が試料台5を自動的に
上昇させることにより、試料台5に載置された試料sに
初荷重をかける装置である。
【0018】図1に示す硬さ試験機1は、本体部として
の試験機本体2と、試験機本体2に回動自在に支持さ
れ、自由端部に圧子3が取り付けられる荷重アーム4
と、圧子3の下方の試験機本体2に設けられ、試料sを
載置する試料台5と、試料台5を上下動させるための試
料台用サーボモータ52と、荷重アーム4の下方に設け
られ、荷重アーム4の自由端側を回動させ、試料表面に
圧痕を形成させるための押圧力を作用させる力を付与す
る荷重アーム作動部6と、荷重アーム作動部6が作動し
た際に発生した力を荷重アーム4に伝達する板ばね7な
どを備えている。また、図示しないが、設定荷重及び制
御の切替等を入力する荷重入力部も備えている。
【0019】試験機本体2は、その内部に荷重アーム作
動部6と、荷重アーム作動部6の駆動源となる電装部2
1などを備えている。
【0020】荷重アーム4は、試験機本体2に十字ばね
或いは転がり軸受等により回動自在に支持されるととも
に、自由端部には圧子3が着脱自在に取り付けられてい
る。また、この荷重アーム4は、板ばね7と一体化され
ている。
【0021】板ばね7と荷重アーム4との間には、長手
方向に沿って溝部7aが設けられ、圧子3側のその先端
は開口している。
【0022】また、荷重アーム4の回動範囲は、自由端
部においてプラスマイナス2mm程度であり、その回動
範囲の中心位置、すなわち基準角度位置に荷重アーム4
が位置する際に、精確な荷重が負荷されるように校正さ
れている。
【0023】試料台5は、その下面に角ネジ51が設け
られており、電気的作動手段としての試料台用サーボモ
ータ52が駆動することによって、その角ネジ51が上
下動することで、試料台5、即ち、試料台5上に載置さ
れる試料sが上下に移動するよう構成されている。
【0024】この試料台5の作動制御は、荷重アーム4
の傾き(角度位置)を測定する荷重アーム角度位置セン
サ41と、荷重アーム4と板ばね7とに取り付けられ、
ばね変形量を測定するばね変位量センサ64と、アーム
角度位置センサ41及びばね変位量センサ64によって
測定される荷重アーム4の変位量(傾き)及び板ばね7
の変位量(変形量)に基づいて、角ネジ51の作動制御
を行う作動制御部65と、により行われるものであり、
詳細については後述する。
【0025】荷重アーム作動部6は、電気的作動手段と
してのサーボモータ61と、ボールねじ62と、ボール
ねじ62の先端部に取り付けられ、板ばね7に固定され
ている固定治具63と、を備えている。従って、サーボ
モータ61が駆動してボールねじ62が上下動すること
により、板ばね7と一体化された荷重アーム4が回動す
るようになっている。
【0026】固定治具63は、荷重アーム4と荷重アー
ム作動部6を接続するもので、荷重アーム4の回動運動
と板ばね7の変形(以下、適宜「変位」と呼ぶ。)によ
る板ばね7の軸と荷重アーム作動部6の軸のミスアライ
ンメントを吸収する機能を有し、例えば、薄い板、ピア
ノ線等の線材、或いはナイフエッジと十字ばねの組み合
わせ、ユニバーサルジョイント等を単独或いは併用して
構成されている。
【0027】この荷重アーム4の作動制御は、荷重アー
ム4と板ばね7とに取り付けられ、ばね変形量(変位
量)を測定するばね変位量センサ64と、このばね変位
量センサ64により測定したばね変形量(変位量)を入
力し、該ばね変形量に基づいてボールねじ62の作動制
御を行う作動制御部65と、により行われるものであ
る。
【0028】ばね変位量センサ64は、例えば、ガラス
スケールを光学的に読み取る変位センサユニット(リニ
アスケール)からなり、ボールねじ62の下方向への作
動によって、板ばね7と荷重アーム4の溝部7aの開き
量からばね変形量を測定する。また、図1において、不
図示の荷重アーム角度位置センサ41も、同様の位置セ
ンサからなり、荷重アーム4の水平位置を基準として、
荷重アーム4の傾きを測定する。
【0029】次に、図2および図3を参照して、試料台
5および荷重アーム4の作動制御について説明する。図
2は、本発明の作動制御部65の要部構成を示すブロッ
ク図である。
【0030】作動制御部65は、図2に示すように、増
幅器65a、65b、A/D変換器65c、65d、演
算回路65e、サーボモータ駆動回路65f、65g、
D/A変換器65h、65iなどを具備している。ま
た、演算回路65eは、図3に示すばね変位量テーブル
66を内部に格納しており、荷重アーム4の回動力、即
ち圧子3に負荷する荷重と、当該荷重に対応した板ばね
7の変位量とを対応づけて記憶している。
【0031】硬さ試験を行う場合、まず、試料台5およ
び荷重アーム4の作動制御を、初荷重まで行う。そし
て、初荷重以降は、試料台5の位置を固定した状態(制
御を行わない状態)で、荷重アーム4の作動制御のみ
を、入力・設定された荷重まで行う。
【0032】まず、初荷重が負荷されるまでの、試料台
5および荷重アーム4の作動制御について説明する。
【0033】図2において、まず、試料sに初荷重を負
荷すべく、試料台用サーボモータ52が駆動され、角ネ
ジ51および試料台5が上昇すると、試料台5に載置さ
れた試料sと圧子3が接触する。さらに試料台5が上昇
すると、圧子3を介して荷重アーム4に変位(傾き)が
発生する。荷重アーム角度位置センサ41により、その
傾きが測定されると、荷重アーム位置信号として増幅器
65bに出力される。増幅器65bは、荷重アーム位置
信号を増幅してA/D変換器65dに出力し、A/D変
換器65dは増幅された荷重アーム位置信号をA/D変
換して演算回路65eに出力する。
【0034】一方、試料sの反発力を受けて板ばね7は
変形する。その変形量(変位量)がばね変位量センサ6
4によって測定されると、ばね変位量信号として増幅器
65aに出力される。増幅器65aは、ばね変位量信号
を増幅してA/D変換器65cに出力し、A/D変換器
65cは増幅されたばね変位量信号をA/D変換して演
算回路65eに出力する。
【0035】演算回路65eは、荷重アーム位置信号に
基づいて、荷重アーム4を基準角度位置(水平)に保つ
ための補正信号をサーボモータ駆動回路65fに出力す
る。サーボモータ駆動回路65fは、この補正信号に基
づいて、荷重アーム4を水平に保つようにサーボモータ
61の駆動を制御する駆動制御信号をD/A変換器65
hに出力する。D/A変換器65hは、駆動制御信号を
D/A変換してサーボモータ61に出力する。
【0036】そして、この駆動制御信号に基づいてサー
ボモータ61が駆動することによって、ボールねじ62
が回転し、上方若しくは下方に作動する。その際、ボー
ルねじ62に取り付けられた板ばね7と、これと一体化
された荷重アーム4が上方若しくは下方に軸回転するこ
とによって、荷重アーム4が上方若しくは下方に回動す
ることによって、荷重アーム4が水平に保たれる。
【0037】一方、演算回路65eは、ばね変位量信号
とばね変位量テーブル66に基づいて、現在負荷されて
いる荷重が初荷重に達したか否かを判定し、初荷重に達
していないと判定した場合には、試料台上昇信号をサー
ボモータ駆動回路65gに出力する。サーボモータ駆動
回路65gは、この試料台上昇信号に基づいて、試料台
5すなわち角ネジ51をさらに上昇させるべく試料台用
サーボモータ52の駆動を制御する駆動制御信号をD/
A変換器65iに出力する。D/A変換器65iは、駆
動制御信号をD/A変換して試料台用サーボモータ52
に出力する。そして、この駆動信号に基づいて試料台用
サーボモータ52が駆動することによって、角ネジ5
1、すなわち試料台5が上昇される。
【0038】このような角ネジ51の上昇による荷重ア
ーム4の変位と、板ばね7の変位とから、2つのサーボ
モータを駆動する駆動制御信号の出力までの動作が閉ル
ープとして繰り返し行われることにより、サーボモータ
61と試料台用サーボモータ52の駆動制御がなされ、
これにより、予め入力された初荷重が試料sに負荷され
るまで、荷重アーム4が基準角度位置(水平)に保たれ
つつ、試料台5が上昇される。
【0039】次に、初荷重以降、設定荷重が負荷される
までの作動制御について説明する。演算回路65eによ
って、試料sに初荷重が負荷されたと判定された場合、
試料台上昇信号は出力されない。すなわち、試料台用サ
ーボモータ52は駆動されず、試料台5の位置は固定さ
れた状態となる。この状態において、演算回路65e
は、荷重入力部から予め入力・設定された荷重に対応し
たばね変位量を、ばね変位量テーブル66から読み出す
とともに、A/D変換器65cによってA/D変換され
たばね変位量信号と比較し、比較結果をサーボモータ駆
動回路65fに出力する。
【0040】サーボモータ駆動回路65fは、この比較
結果に基づいて試料に作用する荷重が設定荷重となるよ
うにサーボモータ61の駆動を制御する駆動制御信号を
D/A変換器65hに出力する。D/A変換器65h
は、駆動制御信号をD/A変換してサーボモータ61に
出力する。
【0041】そして、この駆動制御信号に基づいてサー
ボモータ61が駆動することによって、ボールねじ62
が回転し、下方に作動する。その際、ボールねじ62に
取り付けられた板ばね7と、これと一体化された荷重ア
ーム4が下方に軸回転することによって、荷重アーム4
が回動し、この回動力によって、荷重アーム4の自由端
に取り付けられた圧子3が試料台5に載置された試料s
を押圧する。
【0042】その結果、ばね変位量センサ64によっ
て、板ばね7の変形量(変位量)が測定され、増幅器6
5aは、ばね変位量センサ64により測定された、板ば
ね7のばね変位量信号を増幅しA/D変換器65cに出
力する。A/D変換器65cは増幅されたばね変位量信
号をA/D変換して演算回路65eに出力する。
【0043】このような、ばね変位量センサ64の計測
から、駆動制御信号の出力までの動作が閉ループとして
繰り返し行われることにより、サーボモータ61の駆動
制御がなされ、これにより、圧子3に作用する荷重が、
設定荷重となるよう(正確には、入力された設定荷重に
対応した力を硬さ試験機1が発生するよう)、硬さ試験
機1が制御される。
【0044】以上説明した本発明に係る硬さ試験機1に
よれば、硬さ試験を始める際には、まず、荷重アーム4
の回動角度(傾き)および板ばね7の変位に基づくフィ
ードバック制御によって、試料台5を試料台用サーボモ
ータ52により自動的に上昇させ、荷重アーム4を基準
角度位置(水平)に保ちつつ、試料台5に載置された試
料sに初荷重をかける。そして、試料sに初荷重がかけ
られた後、設定荷重までは、板ばね7のみの変位に基づ
くフィードバック制御によって、試料sに荷重が負荷さ
れる。
【0045】このため、試料を載置した試料台が、自動
的に荷重アームの基準角度位置に移動され、さらに、初
荷重が負荷されるまでは、荷重アームは水平状態に保た
れる。従って、試料台の上下移動を手動で行う必要がな
くなり、容易に硬さ試験を実施することができる。
【0046】なお、本発明は、上記実施の形態の内容に
限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範
囲で適宜変更可能であり、例えば、荷重アーム角度位置
センサ41をより高精度なセンサとし、試料台5の上昇
速度をより緩やかにすることにより、試料sと圧子3と
が接触し、荷重アーム4が僅かに傾き始めた状態、すな
わち、初荷重を限りなく「0(ゼロ)」に近づけること
が可能である。
【0047】また、上記実施の形態では、試料台5の下
部に設けられたねじは角ネジとして説明したが、ボール
ねじであってもよく、また、ばね変位量センサ64は、
リニアスケールを用いることとして説明したが、これに
限るものではなく、例えば、板ばね7の一端7aや他端
7bの移動位置のみを測定して、板ばね7の変位量とし
てもよい。その場合には、コンデンサピック(電荷容量
型変位センサ)や、LVDT(差動変圧器)、電気マイ
クロメータなどを使用してもよい。また、板ばね7は、
弦巻ばね等の他のばねであってもよく、また、ゴムなど
の弾性体でもよい。
【0048】
【発明の効果】請求項1記載及び2記載の発明によれ
ば、駆動制御手段等により、試料移動部が、アームの回
動範囲内に自動的に試料を移動し、さらに、所定の荷重
が負荷されるまでは、アームが基準角度位置に保たれ
る。従って、アームの回動範囲内への試料移動部の移動
を手動で行う必要がなくなり、容易に硬さ試験を実施す
ることができる。
【0049】また、アームの回動角度は、基準角度位置
に保たれる。従って、基準角度位置におけるアームの荷
重を精確に校正することによって、所定の荷重、すなわ
ち初荷重を精確に負荷することのできる硬さ試験機を提
供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る硬さ試験機1の要部構成を示す側
面図。
【図2】作動制御部65の要部構成を示すブロック図。
【図3】演算回路65e内に格納されるばね変位量テー
ブル66の一例を示す図。
【図4】従来の硬さ試験機100の要部構成を示すブロ
ック図。
【符号の説明】
1 硬さ試験機 2 試験機本体 3 圧子 4 荷重アーム 41 荷重アーム角度位置センサ 5 試料台 51 角ネジ 52 試料台用サーボモータ 6 荷重アーム作動部 61 サーボモータ 64 ばね変位量センサ 65 作動制御部 65e 演算回路 7 板ばね

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】本体部に回動自在に支持され、自由端部に
    圧子が取り付けられるアームと、 前記アームの自由端側を回動させて、前記圧子により試
    料表面に圧痕を形成させる押圧力を作用させるための力
    を該アームに対して付与するアーム回動力付与手段と、 を備えた硬さ試験機において、 前記アームの回動角度を検出する検出手段と、 前記検出手段によって検出された前記アームの回動角度
    に基づいて、前記アーム回動力付与手段が前記アームを
    基準角度位置に戻すための力の付与の制御を行う回動角
    度制御手段と、 前記試料を載置し、前記圧子による圧痕を形成させるた
    めの前記アームの回動範囲内に当該試料を移動する試料
    移動部と、 前記試料移動部を駆動させる駆動手段と、 前記駆動手段による前記試料移動部の駆動量を制御する
    駆動制御手段と、 を備え、 前記回動角度制御手段により、前記アームの回動角度を
    前記基準角度位置に保った状態で、前記駆動制御手段に
    より、前記試料を移動する前記試料移動部の駆動量が制
    御されて、前記試料に所定の荷重をかけることを特徴と
    する硬さ試験機。
  2. 【請求項2】前記所定の荷重は、前記試料に負荷する初
    荷重であって、前記試料に該初荷重を負荷した後、前記
    制御手段は、前記試料移動部を移動させずに、前記アー
    ム回動力付与手段の力の付与の制御を行うことによっ
    て、前記初荷重以降の荷重を前記試料に負荷することを
    特徴とする請求項1記載の硬さ試験機。
JP28713099A 1999-10-07 1999-10-07 硬さ試験機 Expired - Fee Related JP4141602B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28713099A JP4141602B2 (ja) 1999-10-07 1999-10-07 硬さ試験機

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28713099A JP4141602B2 (ja) 1999-10-07 1999-10-07 硬さ試験機

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001108590A true JP2001108590A (ja) 2001-04-20
JP4141602B2 JP4141602B2 (ja) 2008-08-27

Family

ID=17713465

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP28713099A Expired - Fee Related JP4141602B2 (ja) 1999-10-07 1999-10-07 硬さ試験機

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4141602B2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102018206429A1 (de) 2017-04-28 2018-10-31 Mitutoyo Corporation Härteprüfgerät und Programm
CN110987690A (zh) * 2018-10-03 2020-04-10 株式会社三丰 硬度测试器

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102018206429A1 (de) 2017-04-28 2018-10-31 Mitutoyo Corporation Härteprüfgerät und Programm
CN108827807A (zh) * 2017-04-28 2018-11-16 株式会社三丰 硬度测试仪和非暂时性计算机可读介质
US10914661B2 (en) 2017-04-28 2021-02-09 Mitutoyo Corporation Hardness tester and program
CN110987690A (zh) * 2018-10-03 2020-04-10 株式会社三丰 硬度测试器

Also Published As

Publication number Publication date
JP4141602B2 (ja) 2008-08-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3273026B2 (ja) 表面追従型測定機
US20130298645A1 (en) Process for determining the rheological properties of materials
JP2008254246A (ja) スキージの圧力検出付き印刷装置
US6484570B2 (en) Impression forming mechanism and hardness testing apparatus
US7145642B2 (en) Wafer support device and a wafer support method
JP4160701B2 (ja) 硬さ試験機
JP2001108590A (ja) 硬さ試験機
US4855667A (en) Parallel plate dielectric analyzer
JP4045126B2 (ja) 簡易静摩擦測定装置
JP3332362B2 (ja) 圧痕形成機構および硬さ試験機
JP4116204B2 (ja) 硬さ試験機及び力検定方法
JP2004340657A (ja) 圧痕形成機構及び硬さ試験機
JP3170256B2 (ja) 硬さ試験機
JPH1078361A (ja) 回転トルクチェック装置
JPH10197433A (ja) 表面硬さ測定装置
JP2004144682A (ja) 変位測定器の測定子駆動機構
JPH07270295A (ja) 表面性状試験装置
JPH05332905A (ja) 伸び計の操作方法
JP4098503B2 (ja) 圧痕形成機構及び硬さ試験機
JP4299950B2 (ja) 圧痕形成機構および硬さ試験機
JP2001133376A (ja) 硬さ試験機における力校正機構および硬さ試験機における力校正方法
JPH10321674A (ja) チップボンディングヘッドのツール平行度測定方法及びチップボンディングヘッド
JP2001296284A (ja) 超音波探触子高精度定荷重押え治具
JPH05332917A (ja) 摩擦・摩耗試験機
CN116026271A (zh) 膜厚测量装置

Legal Events

Date Code Title Description
A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711

Effective date: 20050304

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060928

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20080509

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20080527

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20080611

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110620

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4141602

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140620

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees