JP2001104740A - 高風速エアワッシャ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高風速化と小型化を図りながらも、確実なガ
ス除去性能と高い飽和加湿効率を具現できる高風速エア
ワッシャを提供する。 【解決手段】 一側の空気入口から他側の空気出口に向
かって高風速の空気流が流れる水噴霧室１３と、水噴霧
室１３の通風方向に沿って所定距離を隔てた複数箇所に
列状に配置し、放射状に組み付けた複数の小口径の噴霧
口から空気流に向けて噴霧水を高圧噴霧する多頭噴霧水
ノズル１６と、水噴霧室１３の空気出口１３ｂに配置
し、通風方向に対して傾斜面をなす円錐形もしくはＶ字
形の気液接触メディア１５と、流下する噴霧水を受け止
める貯水槽１８と、貯水槽１８の循環水を多頭噴霧水ノ
ズル１６に循環供給する循環水供給系１９とを備えた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体工場等にお
ける空気調和装置に係り、空気中の塵埃や有害ガスを除
去するとともに、飽和効率の高い加湿を行なう高風速エ
アワッシャに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のエアワッシャとしては、例えば図
１８に示すものがある。このエアワッシャ１０は、矩形
の流路断面を有する本体ケーシング１１の内部に、所定
長さの水噴霧室１２を有している。水噴霧室１２は、そ
の一端に形成した空気入口１２ａにおいてダクト（図示
せず）に接続しており、このダクトから流入する空気Ａ
が水噴霧室１２の流路を通って他端に形成した空気出口
１２ｂから流出する。

【０００３】水噴霧室１２には、空気入口１２ａに位置
して第１ワッシャメディア１３を配置し、水噴霧室１２
の流路の途中に位置して第２ワッシャメディア１４を配
置し、空気出口１２ｂに位置して第３ワッシャメディア
１５を配置しており、第１ワッシャメディア１３と第２
ワッシャメディア１４の間を第１段エアワッシャ部１２
ｃとし、第２ワッシャメディア１４と第３ワッシャメデ
ィア１５の間を第２段エアワッシャ部１２ｄとしてい
る。各ワッシャメディア１３、１４、１５は、空気流の
流路断面とほぼ等しい形状を有し、ポリ塩化ビニルデン
系繊維やステンレスの線材等からなり、たとえば２５ｍ
ｍ〜５０ｍｍ程度の厚みを有するマット状のものであ
る。

【０００４】水噴霧室１２の内部には、複数の第１段ノ
ズル１６を第１ワッシャメディア１３より下流側の位置
に配置するとともに、複数の第２段ノズル１７を第２ワ
ッシャメディア１４より下流側の位置に配置している。
第１段ノズル１６は、空気流とは逆方向に向けて第１ワ
ッシャメディア１３に達する噴霧水を噴霧するものであ
り、第２段ノズル１７は、空気流とは逆方向に向けて第
２ワッシャメディア１４に達しない噴霧水を噴霧するも
のである。

【０００５】水噴霧室１２の下流側には、水噴霧室１２
を通過した空気に含まれる水滴等を除去するエリミネー
タ１８が配置してあり、水噴霧室１２の空気出口１２ｂ
には、水噴霧室１２と同様の流路断面形状を有する所定
長さの冷却室１９が接続してある。冷却室１９の内部に
は冷却器として冷却コイル２０が設けてあり、水噴霧室
１２の下流側には送風機（図示せず）が配置してあり、
この送風機を作動することによって水噴霧室１２の流路
に空気を導く。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記したエアワッシャ
１０においては、水噴霧室１２における風速が２．０〜
２．５ｍ／ｓであり、外形寸法の大きな形状を有するた
めに、その形状に見合う大きな設置スペースが必要であ
り、設置場所が制限される。このため、水噴霧室におけ
る風速を高めることにより、必要な風量を確保しながら
装置を小型化することが求められる。

【０００７】しかし、水噴霧室における風速を高風速化
すると、水噴霧室を通過する空気と噴霧水との接触時間
が短くなってガス除去性能および飽和加湿効率が低下
し、風速の高まりに伴って噴霧水がワッシャメディアを
通過して下流側へ飛散するキャリアオーバーが増大し、
空気流の圧力損失が上昇して送風に必要な動力が増加す
るなどの問題があった。

【０００８】本発明は上記した課題を解決するものであ
り、高風速化と小型化を図りながらも、確実なガス除去
性能と高い飽和加湿効率を具現できる高風速エアワッシ
ャを提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記した課題を解決する
ために、請求項１に係る本発明の高風速エアワッシャ
は、断面形状が円形もしくは矩形の通風路をなし、一側
の空気入口から他側の空気出口に向かって高風速の空気
流が流れる水噴霧室と、水噴霧室内の通風方向に沿って
所定距離を隔てた複数箇所に列状に配置し、放射状に組
み付けた複数の小口径の噴霧口から空気流に向けて噴霧
水を高圧噴霧する多頭噴霧水ノズルと、水噴霧室の空気
出口に配置し、通風方向に対して傾斜面をなす円錐形も
しくはＶ字形の気液接触メディアと、流下する噴霧水を
受け止める貯水槽と、貯水槽内の循環水を多頭噴霧水ノ
ズルに循環供給する循環水供給系とを備えた構成とした
ものである。

【００１０】上記した構成により、水噴霧室の空気入口
から流入する空気流に対し、その流れに対向するように
貯水槽からの水を多頭噴霧水ノズルの各小口径の噴霧口
から放射状に高圧噴霧し、各位置の多頭噴霧水ノズルか
ら噴霧水を空気流に向けて多段に噴霧する。噴霧水は空
気中の塵埃や有害ガスに衝突し、衝突した空気中の塵埃
や有害ガスが噴霧水とともに空気流に乗って気液接触メ
ディアに達し、気液接触メディアが塵埃や有害ガスを伴
った噴霧水を捕捉する。気液接触メディアに達した噴霧
水は、気液接触メディアに付着した塵埃を洗い流して流
下するとともに有害ガスを取り込んで貯水槽へ流入す
る。この貯水槽に滞留する循環水を、循環水供給系を通
って再び多頭噴霧水ノズルから噴霧する。

【００１１】このように噴霧水は、多頭噴霧水ノズルか
ら放射状で広範囲に、かつ細かな噴霧水粒径（平均６０
〜９０μｍ）で噴霧し、各位置の多頭噴霧水ノズルから
空気流に向けて多段に繰り返し噴霧することで、空気流
と噴霧水の接触効率が高くなるので、水噴霧室に空気流
を高風速（５〜６ｍ／ｓ）で通風し、空気流量に対する
噴霧水量の割合を低く設定しても、確実なガス除去性能
と高い飽和加湿効率を得ることができ、高風速化（従来
の２〜３倍）と小型化（水噴霧室の空気通過断面積が従
来の１／２〜１／３）を実現できる。

【００１２】噴霧水を微細化するために高圧噴霧（噴霧
水圧：０．６〜１．２ＭＰａ）するが、ガス除去性能と
飽和加湿効率を満たす噴霧水量が従来の１／３〜１／６
の少ない噴霧水量（空気流重量の０．０８〜０．１６
％）となることで、噴霧に要する消費動力は従来と同程
度以下である。しかも、微細な噴霧水を多段に噴霧して
空気流と噴霧水の接触効率を高くしているので、気液接
触メディアは、その設置数を少なくできる。また、気液
接触メディアは、その気液接触面が通風方向に対して傾
斜する円錐形もしくはＶ字形の形状を有するので、水噴
霧室の空気流通過断面積に対して大きな気液接触面積を
得ることができる。このため、気液接触メディアにおけ
る噴霧水の捕捉率が高まるので、水噴霧室の空気出口に
のみに設置しても十分に噴霧水を捕捉することができ、
水噴霧室に空気流を高風速で通風しても、圧力損失とキ
ャリアオーバーを従来と同等程度以下に抑制することが
できる。

【００１３】請求項２に係る本発明の高風速エアワッシ
ャは、水噴霧室の空気入口に空気流を旋回させるガイド
ベーンを備えたものである。上記した構成により、水噴
霧室の空気入口に設けたガイドベーンによって、水噴霧
室を流れる空気流を旋回させることにより、多頭噴霧水
ノズルから広範囲に噴霧する噴霧水と空気流との接触効
率が高くなり、水噴霧室に空気流を高風速で通風する状
態においても、確実なガス除去性能と高い飽和加湿効率
を得ることができ、高風速化と小型化を実現できる。

【００１４】請求項３に係る本発明の高風速エアワッシ
ャは、多頭噴霧水ノズルを水噴霧室内の通風方向に沿っ
て所定距離を隔てた複数箇所に列状に、かつ平行な複数
の列状に配置し、ガイドベーンを多頭噴霧水ノズルの各
列に対応して複数箇所に配置し、隣接するガイドベーン
を気流旋回方向が相互に逆方向となるように形成したも
のである。

【００１５】上記した構成により、水噴霧室内に複数の
旋回空気流が生起し、隣接する旋回空気流が相互に逆方
向に旋回することで、空気流の旋回が互いに阻害される
ことがなく、多頭噴霧水ノズルから広範囲に噴霧する噴
霧水と空気流との接触効率が高くなり、水噴霧室に空気
流を高風速で通風する状態においても、確実なガス除去
性能と高い飽和加湿効率を得ることができ、高風速化と
小型化を実現できる。

【００１６】請求項４に係る本発明の高風速エアワッシ
ャは、多頭噴霧水ノズルを水噴霧室内の通風方向に沿っ
て所定距離を隔てた複数箇所に列状に、かつ平行な複数
の列状に配置し、ガイドベーンを多頭噴霧水ノズルの各
列に対応して複数箇所に配置し、水噴霧室内に個々のガ
イドベーンに対応する通風路を形成する干渉防止メディ
アを多頭噴霧水ノズルの各列の間に配置したものであ
る。

【００１７】上記した構成により、水噴霧室内に複数の
旋回空気流が生起し、干渉防止メディアによって相互の
干渉を防止する状態で、各旋回空気流が各通風路を流れ
ることで、多頭噴霧水ノズルから広範囲に噴霧する噴霧
水と空気流との接触効率が高くなる。しかも、干渉防止
メディアを金網状等とすることで、干渉防止メディアに
衝突した噴霧水が更に微細化するので、水噴霧室に空気
流を高風速で通風する状態においても、確実なガス除去
性能と高い飽和加湿効率を得ることができ、高風速化と
小型化を実現できる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。図１〜図３に示すように、エアワッ
シャ１１は、矩形（円形でも良い）の流路断面を有する
本体ケーシング１２の内部に、所定長さ（１．５〜１．
８ｍ）の水噴霧室１３を有している。水噴霧室１３は、
その一端に形成した空気入口１３ａにおいてダクト（図
示せず）に接続しており、このダクトから流入する空気
Ａが水噴霧室１３の流路を通って他端に形成した空気出
口１３ｂから流出する。

【００１９】水噴霧室１３には、空気入口１３ａに空気
流を旋回させるガイドベーン１４を配置し、空気出口１
３ｂに位置して気液接触メディア１５を配置しており、
気液接触メディア１５は、通風方向に対して傾斜面をな
す円錐形もしくはＶ字形の形状をなし、ポリ塩化ビニル
デン系繊維等の合成樹脂やステンレスの線材等の金属繊
維からなり、たとえば５０ｍｍ程度の厚みを有するマッ
ト状のものである。

【００２０】水噴霧室１３の内部には、空気流に向けて
噴霧水を高圧噴霧する複数の多頭噴霧水ノズル１６が、
水噴霧室１３の通風方向に沿って所定距離を隔てた複数
箇所に列状に配置してある。図４〜図６に示すように、
各多頭噴霧水ノズル１６は、小口径の噴霧口１７ａを有
する複数のノズルチップ１７を放射状に組み付けたもの
である。

【００２１】水噴霧室１３の下流には、流下する噴霧水
を受け止める貯水槽１８が設けてあり、貯水槽１８に滞
留する循環水を多頭噴霧水ノズル１６に循環供給する循
環水供給系１９が水噴霧室１３の下部に連通して設けて
ある。循環水供給系１９は、貯水槽１８の下部に開口す
る吸込管２０と、吸込管２０に接続した循環ポンプ２１
と、循環ポンプ２１を駆動するモータ２２と、循環ポン
プ２１の吐出口に接続して水噴霧室１３の上方にまで延
びる吐出管２３と、吐出管２３から分岐して水噴霧室１
２に垂直方向に配設した複数の分岐管２４とからなり、
各分岐管２４に複数の多頭噴霧水ノズル１６を設けてい
る。

【００２２】貯水槽１８には、オバーフロー管２５と、
補給水として清浄水を供給する補給水供給管２６が連通
している。水噴霧室１３の下流側には、水噴霧室１３の
空気出口１３ｂに接続して冷却室２７を設けており、冷
却室２７の内部には冷却器として冷却コイル２８が設け
てある。冷却室２７の下方にはドレンパン２９が形成し
てある。水噴霧室１３の下流側には送風機（図示せず）
が配置してあり、この送風機を作動することによって水
噴霧室１３の流路に空気を導く。

【００２３】上記した構成における作用を説明する。空
気Ａは空気入口１３ａからガイドベーン１４を通して水
噴霧室１３に流入する。空気流はガイドベーン１４に案
内されて旋回し、旋回空気流となって水噴霧室１３を流
れる。この旋回空気流に向けて、貯水槽１８からの循環
水を多頭噴霧水ノズル１６の噴霧口１７ａから放射状
に、０．６〜１．２ＭＰａの噴霧水圧で高圧噴霧し、か
つ各位置の多頭噴霧水ノズル１６から多段に噴霧する。

【００２４】噴霧水は空気中の塵埃や有害ガスに衝突
し、衝突した空気中の塵埃や有害ガスが噴霧水とともに
旋回空気流に乗って気液接触メディア１５に達し、気液
接触メディア１５が塵埃や有害ガスを伴った噴霧水を捕
捉する。気液接触メディア１５に達した噴霧水は、気液
接触メディア１５に付着した塵埃を洗い流して流下する
とともに有害ガスを取り込んで貯水槽１８へ流入する。
この貯水槽１８に滞留する循環水を、循環水供給系１９
を通って再び多頭噴霧水ノズルから噴霧する。

【００２５】このように噴霧水を、多頭噴霧水ノズル１
６から放射状で広範囲に、かつ高圧噴霧することで平均
６０〜９０μｍの細かな噴霧水粒径で噴霧し、各位置の
多頭噴霧水ノズル１６から旋回空気流に向けて多段に繰
り返し噴霧することで、空気流と噴霧水の接触効率が高
くなる。このため、水噴霧室１３に空気流を５〜６ｍ／
ｓの高風速で通風し、空気流量に対する噴霧水量の割合
を低く設定しても、確実なガス除去性能と高い飽和加湿
効率を得ることができ、従来の２〜３倍の高風速化と、
水噴霧室１３の空気通過断面積を従来の１／２〜１／３
とする小型化を実現できる。

【００２６】噴霧水を微細化するために高圧噴霧する
が、ガス除去性能と飽和加湿効率を満たす噴霧水量が空
気流重量の０．０８〜０．１６％でよく、従来の１／３
〜１／６の少ない噴霧水量となることで、噴霧に要する
モータ２２の消費動力は従来と同程度以下である。気液
接触メディア１５は、水噴霧室１３の下流のみに設置
し、その気液接触面が通風方向に対して傾斜する円錐形
もしくはＶ字形の形状を有するので、水噴霧室１３の空
気流通過断面積に対して大きな気液接触面積を得ること
ができる。このため、気液接触メディアにおける噴霧水
の捕捉率が高まるので、水噴霧室１３の空気出口１３ｂ
にのみに設置しても十分に噴霧水を捕捉することがで
き、水噴霧室１３に旋回空気流を高風速で通風しても、
圧力損失とキャリアオーバーを従来と同等程度に抑制す
ることができる。気液接触メディア１５を通過した空気
は、浄化して十分に加湿した清浄な空気として空気出口
１３ｂから冷却室２７に導き、冷却コイル２８によって
所定温度に冷却する。

【００２７】上述した過程において、循環水は空気の加
湿に伴って減少するので、この循環水の減少量を補うと
ともに、循環水中の有害ガス濃度を一定値以下に維持す
るために必要な必要補給水量の補給水を補給水供給管２
６から供給する。図７〜図９は本発明の他の実施の形態
を示すものであり、先の実施の形態と同様の作用を行な
う部材については同一番号を付して説明を省略する。図
７〜図９において、冷却室２７の上流側にはそれぞれ独
立した複数の水噴霧室１３を設け、各水噴霧室１３にガ
イドベーン１４、気液接触メディア１５、多頭噴霧水ノ
ズル１６を設けている。

【００２８】図１０〜図１２は本発明の他の実施の形態
を示すものであり、先の実施の形態と同様の作用を行な
う部材については同一番号を付して説明を省略する。図
１０〜図１２において、多頭噴霧水ノズル１６は、通風
方向に沿って所定距離を隔てた複数箇所に列状に、かつ
平行な複数の列状に配置している。ガイドベーン１４
は、多頭噴霧水ノズル１６の各列に対応して複数箇所に
配置し、図１３に示すように、隣接するガイドベーン１
６を気流旋回方向が相互に逆方向となるように形成して
いる。

【００２９】この構成により、水噴霧室１３の内部に複
数の旋回空気流が生起し、隣接する旋回空気流が相互に
逆方向に旋回することで、空気流の旋回が互いに阻害さ
れることがなく、多頭噴霧水ノズル１６から広範囲に噴
霧する噴霧水と空気流との接触効率が高くなり、水噴霧
室１３に空気流を高風速で通風する状態においても、確
実なガス除去性能と高い飽和加湿効率を得ることがで
き、高風速化と小型化を実現できる。

【００３０】図１４〜図１６は本発明の他の実施の形態
を示すものであり、先の実施の形態と同様の作用を行な
う部材については同一番号を付して説明を省略する。図
１４〜図１６において、多頭噴霧水ノズル１６は、通風
方向に沿って所定距離を隔てた複数箇所に列状に、かつ
平行な複数の列状に配置している。ガイドベーン１４は
多頭噴霧水ノズル１６の各列に対応して複数箇所に配置
しており、水噴霧室１３の内部には個々のガイドベーン
１４に対応する通風路を形成する干渉防止メディア３１
を多頭噴霧水ノズル１６の各列の間に配置している。こ
の干渉防止メディア３１は、金網もしくはパンチングメ
タルで形成する。図１７に示すように、隣接するガイド
ベーン１６は気流旋回方向が相互に逆方向となるように
形成している。

【００３１】この構成により、水噴霧室１３の内部に複
数の旋回空気流が生起し、干渉防止メディア３１によっ
て相互の干渉を防止する状態で、各旋回空気流が各通風
路を流れることで、多頭噴霧水ノズル１６から広範囲に
噴霧する噴霧水と空気流との接触効率が高くなる。しか
も、干渉防止メディアに衝突した噴霧水が更に微細化す
るので、水噴霧室１３に空気流を高風速で通風する状態
においても、確実なガス除去性能と高い飽和加湿効率を
得ることができ、高風速化と小型化を実現できる。

【００３２】

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、噴霧
水を多頭噴霧水ノズルから放射状で広範囲に、かつ細か
な噴霧水粒径で噴霧し、各位置の多頭噴霧水ノズルから
多段に繰り返し噴霧することで、空気流と噴霧水との接
触効率が高くなるので、確実なガス除去性能と高い飽和
加湿効率を得ることができ、高風速化と小型化を実現で
きる。気液接触メディアを円錐形もしくはＶ字形の形状
として気液接触面積を増加して噴霧水の捕捉率を高める
ことで、高風速化しても圧力損失とキャリアオーバーを
従来と同等程度に抑制することができる。ガイドベーン
によって空気流を旋回させることにより、噴霧水と空気
流との接触効率をさらに高めることができ、確実なガス
除去性能と高い飽和加湿効率を得ることができる。小型
化によって設置場所の制約がなくなり、既設のダクトの
途中に本装置を設置することで、既設の空気調和装置の
機能向上を図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態を示すエアワッシャの平断面
図である。

【図２】同エアワッシャの縦断面図である。

【図３】同エアワッシャの正面図である。

【図４】同エアワッシャにおける多頭噴霧水ノズルの断
面図である。

【図５】同多頭噴霧水ノズルの側面図である。

【図６】同多頭噴霧水ノズルの正面図である。

【図７】本発明の他の実施形態を示すエアワッシャの平
断面図である。

【図８】同エアワッシャの縦断面図である。

【図９】同エアワッシャの正面図である。

【図１０】本発明の他の実施形態を示すエアワッシャの
平断面図である。

【図１１】同エアワッシャの縦断面図である。

【図１２】同エアワッシャの正面図である。

【図１３】同エアワッシャにおける空気流の旋回方向を
示す模式図である。

【図１４】本発明の他の実施形態を示すエアワッシャの
平断面図である。

【図１５】同エアワッシャの縦断面図である。

【図１６】同エアワッシャの正面図である。

【図１７】同エアワッシャにおける空気流の旋回方向を
示す模式図である。

【図１８】従来のエアワッシャの構成を示す平断面図で
ある。

【符号の説明】

１１ エアワッシャ １２ 本体ケーシング １３ 水噴霧室 １３ａ 空気入口 １３ｂ 空気出口 １４ ガイドベーン １５ 気液接触メディア １６ 多頭噴霧水ノズル １７ ノズルチップ １７ａ 噴霧口 １８ 貯水槽 １９ 循環水供給系 ２０ 吸込管 ２１ 循環ポンプ ２２ モータ ２３ 吐出管 ２４ 分岐管 ２５ オバーフロー管 ２６ 補給水供給管 ２７ 冷却室 ２８ 冷却コイル ２９ ドレンパン ３１ 干渉防止メディア

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 玉村 順一 東京都中央区八丁堀２丁目20番８号 富士 電機総設株式会社内 (72)発明者 神崎 誠 東京都中央区八丁堀２丁目20番８号 富士 電機総設株式会社内 (72)発明者 森兼 正夫 東京都中央区八丁堀２丁目20番８号 富士 電機総設株式会社内 (72)発明者 秋田 州三 栃木県宇都宮市平出工業団地28 クボタ空 調株式会社栃木工場内 (72)発明者 森田 英和 東京都台東区元浅草２−６−６ クボタ空 調株式会社内 (72)発明者 鈴木 正 栃木県宇都宮市平出工業団地28 クボタ空 調株式会社栃木工場内 Ｆターム(参考） 4D020 AA09 AA10 BA23 CB27 CC03 CC04 CD01 CD02 DA02 DB01 DB05 DB11 DB14 4D032 AC07 BB01 BB08

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 断面形状が円形もしくは矩形の通風路を
   なし、一側の空気入口から他側の空気出口に向かって高
   風速の空気流が流れる水噴霧室と、水噴霧室内の通風方
   向に沿って所定距離を隔てた複数箇所に列状に配置し、
   放射状に組み付けた複数の小口径の噴霧口から空気流に
   向けて噴霧水を高圧噴霧する多頭噴霧水ノズルと、水噴
   霧室の空気出口に配置し、通風方向に対して傾斜面をな
   す円錐形もしくはＶ字形の気液接触メディアと、流下す
   る噴霧水を受け止める貯水槽と、貯水槽内の循環水を多
   頭噴霧水ノズルに循環供給する循環水供給系とを備えた
   ことを特徴とする高風速エアワッシャ。
2. 【請求項２】 水噴霧室の空気入口に空気流を旋回させ
   るガイドベーンを備えたことを特徴とする請求項１に記
   載の高風速エアワッシャ。
3. 【請求項３】 多頭噴霧水ノズルを水噴霧室内の通風方
   向に沿って所定距離を隔てた複数箇所に列状に、かつ平
   行な複数の列状に配置し、ガイドベーンを多頭噴霧水ノ
   ズルの各列に対応して複数箇所に配置し、隣接するガイ
   ドベーンを気流旋回方向が相互に逆方向となるように形
   成したことを特徴とする請求項２に記載の高風速エアワ
   ッシャ。
4. 【請求項４】 多頭噴霧水ノズルを水噴霧室内の通風方
   向に沿って所定距離を隔てた複数箇所に列状に、かつ平
   行な複数の列状に配置し、ガイドベーンを多頭噴霧水ノ
   ズルの各列に対応して複数箇所に配置し、水噴霧室内に
   個々のガイドベーンに対応する通風路を形成する干渉防
   止メディアを多頭噴霧水ノズルの各列の間に配置したこ
   とを特徴とする請求項２又は３に記載の高風速エアワッ
   シャ。