JP2001099805A - センサ洗浄方法、センサ洗浄装置、測定方法及び測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 洗浄不足や洗浄過多をなくして、センサの応
答特性の変化や劣化を防ぎ、再現性および精度の高い測
定を行えるようにする。 【解決手段】 センサを所定時間洗浄し（Ｓ７、Ｓ
８）、所定時間洗浄したセンサによって基準液（基準と
なる第１の測定対象）を測定し（Ｓ９、Ｓ１０）、その
測定値Ｖｃが予め設定された許容範囲内にあるか否か判
定する（Ｓ１１）という処理を、測定値Ｖｃが許容範囲
内に入るまで繰り返し、洗浄が完了したときの測定値Ｖ
ｃを基準値Ｖｒｒとし（Ｓ１２）、サンプル液に対する
測定を行って（Ｓ４、Ｓ５）得られた測定値Ｖと基準値
Ｖｒｒとの差をサンプル液（第２の測定対象）の特性値
として求める（Ｓ６）。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、センサを用いて測
定対象の特性値を求める測定装置において、精度が高い
測定が行え、センサを劣化させないようにするためのセ
ンサの洗浄技術に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】各種測定装置のうち、センサを用いて測
定対象の特性値を求めるものでは、センサに付着する物
質によってセンサの特性が変化する。

【０００３】例えば、液体に含まれる物質の成分を分析
するための測定装置では、両親媒性物質や苦み物質から
なる分子膜をセンサとして用いている。

【０００４】この分子膜センサは、液に浸けたときにそ
の液中の成分に応じて膜電位が変化する作用を利用した
ものであり、このセンサを用いて実際にサンプル液を測
定する場合には、予め基準液に分子膜センサを浸けたと
きの膜の電位を基準とし、サンプル液に浸けたときの膜
の電位の変化量あるいはサンプル液に浸けてから再び基
準液に浸けたときの膜の電位の変化量をそのサンプルの
特性値として求め、その特性値に基づいてサンプル液中
の成分を分析している。

【０００５】このような測定を、同一の分子膜センサで
複数のサンプルについて連続的に行うような場合、前に
測定したサンプルに含まれる物質が分子膜センサに吸着
していると、分子膜センサの応答特性が変化して次の測
定に影響を与える。

【０００６】このために、従来ではサンプルについての
測定を１回行う毎に分子膜センサを洗浄してから、次の
測定を行うようにしている。

【０００７】この洗浄は、例えば洗浄液内で分子膜セン
サを一定時間振動させることによって行っており、その
洗浄液の成分や洗浄時間は、分子膜センサの種類や、サ
ンプルの採取源などから予想される成分に応じて決定し
ていた。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、成分が
全く未知のサンプルや、含まれる物質の成分や濃度が変
化するようなサンプルを測定する場合、前記したように
単にセンサを一定時間洗浄する従来の方法では、洗浄不
足によってセンサの応答特性が大きく変化して、測定の
再現性や精度が低下したり、あるいは洗浄過多によって
センサが劣化するという問題があった。

【０００９】本発明は、この問題を解決して、再現性お
よび精度が高い測定が行え、センサを劣化させないセン
サの洗浄方法、洗浄装置、測定方法および測定装置を提
供することを目的としている。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明の請求項１のセンサ洗浄方法は、センサを所
定時間洗浄する洗浄段階と、所定時間洗浄したセンサに
よって基準となる測定対象を測定する測定段階と、前記
基準となる測定対象に対する測定値が予め設定された許
容範囲内にあるか否かを判定する判定段階とを含み、前
記基準となる測定対象に対する測定値が前記許容範囲内
に入るまで前記洗浄段階から判定段階までを繰り返すこ
とを特徴としている。

【００１１】また、本発明の請求項２のセンサ洗浄装置
は、センサを洗浄するための洗浄手段と、前記センサに
よって基準となる測定対象を測定させる測定手段と、前
記測定手段によって得られた測定値が予め設定された許
容範囲内にあるか否かを判定する判定手段と、前記判定
手段によって前記測定値が予め設定された許容範囲内に
あると判定されるまで、前記洗浄手段による洗浄と前記
測定手段による測定とを交互に繰り返させる制御手段と
を備えている。

【００１２】また、本発明の請求項３の測定方法は、測
定対象に感応して信号を出力するセンサを用いて測定を
行う測定方法において、前記センサを所定時間洗浄する
洗浄段階と、所定時間洗浄した前記センサによって基準
となる第１の測定対象を測定する第１測定段階と、前記
第１の測定対象に対する測定値が予め設定された許容範
囲内にあるか否か判定する判定段階と、前記第１の測定
対象に対する測定値が前記許容範囲内に入るまで前記洗
浄段階から判定段階までを繰り返す段階と、前記第１の
測定対象に対する測定値が前記許容範囲内になったセン
サによって第２の測定対象を測定する第２測定段階と、
前記第１の測定対象に対する測定で得られた最終の測定
値と前記第２の測定対象に対する測定で得られた測定値
との差を前記第２の測定対象の特性値として求める段階
とを含むことを特徴としている。

【００１３】また、本発明の請求項４の測定装置は、測
定対象に感応して信号を出力するセンサと、前記センサ
を洗浄するための洗浄手段と、前記センサによって基準
となる第１の測定対象を測定させる第１の測定手段と、
前記第１の測定手段によって得られた測定値が予め設定
された許容範囲内にあるか否かを判定する判定手段と、
前記判定手段によって前記測定値が予め設定された許容
範囲内にあると判定されるまで、前記洗浄手段による洗
浄と前記第１の測定手段による測定とを交互に繰り返さ
せる洗浄制御手段と、前記判定手段によって前記測定値
が予め設定された許容範囲内にあると判定されたときの
測定値を基準値として記憶する基準値記憶手段と、前記
第１の測定対象に対して前記許容範囲内の測定値が得ら
れた前記センサによって、第２の測定対象を測定させる
第２の測定手段と、前記第２の測定手段によって得られ
た測定値と前記基準値記憶手段に記憶されている基準値
との差を前記第２の測定対象の特性値として算出する特
性値算出手段とを備えている。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施の形態を説明する。図１は、分子膜センサを用いて液
体中に含まれる物質の成分を分析するための測定装置２
０の構成を示している。

【００１５】この測定装置２０には複数の容器２１が設
けられており、そのうちの容器２１（１）には洗浄液Ｌ
ｃが収容され、容器２１（２）には基準液Ｌｒが収容さ
れ、他の容器２１（３）、２１（４）、…にはサンプル
液Ｌｘが収容される。

【００１６】ここで、基準液Ｌｒと洗浄液Ｌｃは同一で
あり、塩化カリウム（３０ｍＭ）と酒石酸（０．３ｍ
Ｍ）の水溶液を用いている。なお、前記したように、洗
浄液の成分は、分子膜センサの分子膜の種類やサンプル
液に含まれるあるいは含まれると予想される成分に応じ
て決定する必要があるため、基準液Ｌｒと洗浄液Ｌｃと
は同一でない場合もある。

【００１７】洗浄液Ｌｃが収容される容器２１（１）に
は、洗浄液Ｌｃおよび後述する制御装置４０とともにこ
の測定装置２０の洗浄手段を構成する振動装置２２が設
けられている。この振動装置は２２は、超音波を発生し
て容器２１（１）内の洗浄液Ｌｃに振動を与え、洗浄液
Ｌｃ内にあるものを洗浄する。

【００１８】これらの容器２１に収容された液体にはプ
ローブ２５が浸けられる。プローブ２５は参照電極２６
と分子膜センサ３０によって構成されている。

【００１９】参照電極２６は基準電位を決定するもので
あり、その表面は塩化カリウム１００ｍＭを寒天で固化
した緩衝層２７で覆われており、リード線２５ａが接続
されている。

【００２０】また、分子膜センサ３０は、アクリル等の
基材３１の表面に分子膜３２が固定され、その分子膜３
２の反対面には、参照電極２６の緩衝層２７と同一の緩
衝層３３を介して電極３４が設けられており、この電極
３４にリード線２５ｂが接続されている。

【００２１】この分子膜３２は、脂質等の両親媒性物質
または苦み物質と、可塑剤と、高分子材料とを混合して
形成されたものであり、ここでは、プラスの極性を有す
る分子膜として、第四級アンモニウム塩の脂質の中の炭
素鎖の長さが１２（Ｒ＝１２）のＴＤＡ（テトラドデシ
ルアンモニウムブロミド）５０ｍｇと、可塑剤としてＤ
ＯＰＰ（ジオクチルフェニルフォスフォネート）１ｍｌ
と、高分子材料としてＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）８００
ｍｇを混合したものを、ＴＨＦ（テトラヒドロフラン）
１０ｍｌに溶解し、これを平底の容器（例えば８５ｍｍ
φのシャーレ）内で約３０度Ｃで２時間加熱して、ＴＨ
Ｆを揮散させることによって得られた厚さ２００μｍの
ものを使用している。

【００２２】なお、ここでは、マイナスに荷電されたタ
ンニン等の物質が強く吸着するプラスの極性を有する一
つの分子膜３２を有する分子膜センサ３０について説明
するが、分子膜センサ３０が特性の異なる複数の分子膜
を備えていて、複数の分子膜を選択する構成のものであ
ってもよい。

【００２３】このプローブ２５は移動装置３５に支持さ
れている。移動装置３５は、プローブ２５の参照電極２
６と分子膜センサ３０とが、前記した各容器２１に収容
された液体に浸かるように移動させる。なお、ここで
は、プローブ２５を移動しているが、移動装置３５によ
って容器２１側を移動して、容器２１内の液体にプロー
ブ２５を浸けるようにしてもよい。

【００２４】プローブ２５のリード線２５ａ、２５ｂ
は、電圧検出器３６に接続されている。電圧検出器３６
は、参照電極２６の電位を基準として分子膜センサ３０
の電圧を検出して、Ａ／Ｄ変換器３７に出力する。

【００２５】Ａ／Ｄ変換器３７は、電圧検出器２０の出
力をディジタル値に変換して、演算装置３８に出力す
る。

【００２６】演算装置３８は、Ａ／Ｄ変換器２１の出力
に対する記憶処理および演算処理を後述する制御装置４
０からの指示によって行い、その結果を出力装置３９に
出力する。

【００２７】出力装置３９は表示装置やプリンタ等から
なり、演算装置３８の処理結果等を表示出力する。

【００２８】振動装置２２、移動装置３５および演算装
置３８は制御装置４０によって制御される。なお、演算
装置３８と制御装置４０は、例えばマイクロコンピュー
タによって構成されている。

【００２９】図２、図３は、この演算装置３８と制御装
置４０の処理手順を示すフローチャートである。以下、
これらのフローチャートに基づいて測定装置２０の動作
を説明する。

【００３０】図２の処理は複数Ｎのサンプル液Ｌｘ
（１）〜Ｌｘ（Ｎ）に対する相対値測定の処理であり、
始めに、サンプル液を指定する番号ｉを１に初期化し
て、プローブ２５を基準液Ｌｒに浸けて分子膜センサ３
０に対する膜面の安定化処理を行なうとともに、基準液
Ｌｒの測定を行い、その測定で得られた電圧を基準電圧
Ｖｒｒの初期値Ｖｒとして記憶する（Ｓ１〜Ｓ３）。

【００３１】この膜面の安定化処理は、長時間使用して
いなかったプローブ２５の分子膜３２の膜面を活性化
し、且つ安定化するためのものであり、プローブ２５を
基準液内で１回（複数回でもよい）上下動させてから一
定時間（例えば３０秒）経過したときの電圧を求めると
いう動作を繰り返し、前回求めた電圧と今回求めた電圧
との差が所定値（例えば０．５ｍＶ）以内になったとき
に、膜面が安定したと判定する。

【００３２】次に、プローブ２５をサンプル液Ｌｘ
（ｉ）に浸けて、そのときの電圧Ｖを求め（第２の測定
手段）、この電圧Ｖと基準電圧Ｖｒｒ（初期値はＶｒに
等しい）との差の電圧Ｖ（ｉ）＝Ｖ−Ｖｒｒをサンプル
液Ｌｘ（ｉ）の特性値（相対値という）として求める
（特性値算出手段）（Ｓ４〜Ｓ６）。

【００３３】そして、プローブ２５を洗浄液Ｌｃに浸け
て、振動装置２２から超音波振動を所定時間（例えば数
１０秒〜数分）与えてプローブ２５を洗浄した（洗浄手
段）後、プローブ２５を基準液Ｌｒに浸けて、そのとき
の電圧Ｖｃを求める（第１の測定手段）（Ｓ７〜Ｓ１
０）。

【００３４】なお、前記したようにこの実施の形態の場
合は、洗浄液Ｌｃと基準液Ｌｒとは成分が同一なので、
洗浄液Ｌｃを基準液として使用し、図２で破線で示すよ
うに、振動装置２２によって超音波振動を所定時間与え
た後に、プローブ２５を基準液Ｌｒに移さずに、そのま
ま電圧Ｖｃを求めてもよい。

【００３５】次に、この得られた電圧Ｖｃが、基準電圧
の初期値Ｖｒについて設定された所定の許容範囲内にあ
るか否かを判定する（判定手段）（Ｓ１１）。

【００３６】ここで、許容範囲は、図４に示すように、
基準電圧の初期値Ｖｒを中心とする（Ｖｒ−α）〜（Ｖ
ｒ＋α）の範囲に設定される。

【００３７】この許容範囲の幅を決める値αは、例えば
電圧Ｖｒに所定の許容率β（例えば０．０２）を乗じた
値βＶｒや、電圧Ｖｒに依存しない固定値（例えば０．
３ｍＶ）等に設定する。

【００３８】ここで、電圧Ｖｃが許容範囲内にない場合
には、電圧Ｖｃが許容範囲内に入るまで、処理Ｓ７〜Ｓ
１１を繰り返す（洗浄制御手段）。なお、前記したよう
に洗浄液Ｌｃを基準液として使用する場合には破線で示
しているように処理９を省いて処理Ｓ８〜Ｓ１１を繰り
返す。

【００３９】この処理を繰り返すことにより、分子膜セ
ンサ３０の膜面に吸着した物質が除去され、電圧Ｖｃは
図４に示すように１回洗浄する毎にＶｃ１、Ｖｃ２、…
と徐々に電圧Ｖｒに近づいて、例えば４回目の洗浄後の
電圧Ｖｃ４が許容範囲内に入る。

【００４０】このようにして、電圧Ｖｃが許容範囲内に
入ったと判定されたとき、洗浄が完了したものとし、こ
のときの電圧Ｖｃで基準電圧Ｖｒｒを更新し（基準値記
憶手段）、次のサンプル液を指定してから、処理Ｓ４に
戻る（Ｓ１２〜Ｓ１４）。

【００４１】以下、処理Ｓ４〜Ｓ１４の処理が繰り返さ
れて、複数のサンプル液Ｌｘ（１）〜Ｌｘ（Ｎ）につい
ての特性値（相対値）Ｖ（１）〜Ｖ（Ｎ）が得られ、こ
れらの値から、サンプル液の成分の分析を行うことがで
きる。

【００４２】また、図３の処理は複数Ｎのサンプル液Ｌ
ｘ（１）〜Ｌｘ（Ｎ）に対するＣＰＡ測定の処理であ
り、処理Ｓ２１〜Ｓ２４までは図２の処理Ｓ１〜Ｓ４と
同一であるが、サンプル液Ｌｘ（ｉ）に浸けたプローブ
２５を基準液Ｌｒに戻してそのときの電圧Ｖ′を求め
（第２の測定手段）、この電圧Ｖ′と基準電圧Ｖｒｒ
（初期値Ｖｒ）との差の電圧Ｖ（ｉ）＝Ｖ′−Ｖｒｒを
サンプル液Ｌｘ（ｉ）の特性値（ＣＰＡ値という）とし
て求めている（特性値算出手段）（Ｓ２１〜Ｓ２７）。

【００４３】なお、ＣＰＡ測定では、サンプル液Ｌｘ
（ｉ）に漬けたプローブ２５を基準液Ｌｒに戻す前に、
分子膜３２の表面についたサンプル液の成分のうち吸着
性の低い成分を除去するために軽く洗浄する場合もあ
る。

【００４４】また、図３の処理の中の洗浄処理の部分
（Ｓ２８〜Ｓ３５）は、図２の処理Ｓ７〜Ｓ１４と同様
である。

【００４５】即ち、プローブ２５を洗浄液Ｌｃに浸け
て、振動装置２２によって超音波振動を所定時間与えて
プローブ２５を洗浄した（洗浄手段）後、プローブ２５
を基準液Ｌｒに漬け、そのときの電圧Ｖｃを求める（第
１の測定手段）（Ｓ２８〜Ｓ３１）。

【００４６】なお、この場合も、洗浄液Ｌｃと基準液Ｌ
ｒと成分が同一なので、洗浄液Ｌｃを基準液として使用
し、図３で破線で示すように、振動装置２２によって超
音波振動を所定時間与えた後に、プローブ２５を基準液
Ｌｒに移さずに、そのまま電圧Ｖｃを求めてもよい。

【００４７】次に、この電圧Ｖｃが電圧Ｖｒについて設
定された許容範囲内にあるか否かを判定する（判定手
段）（Ｓ３２）。

【００４８】ここで、電圧Ｖｃが許容範囲内にない場合
には、電圧Ｖｃが許容範囲内に入るまで、処理Ｓ２８〜
Ｓ３２を繰り返す（洗浄制御手段）。なお、前記したよ
うに洗浄液Ｌｃを基準液として使用する場合には破線で
示しているように処理３０を省いて処理Ｓ２９〜Ｓ３２
を繰り返す。

【００４９】そして、電圧Ｖｃが許容範囲内に入ると洗
浄が完了したものとし、このときの電圧Ｖｃで基準電圧
Ｖｒｒを更新し（基準値記憶手段）、次のサンプル液を
指定してから、処理Ｓ２４に戻る（Ｓ３３〜Ｓ３５）。

【００５０】以下、処理Ｓ２４〜Ｓ３５までの処理が繰
り返されて、複数のサンプル液Ｌｘ（１）〜Ｌｘ（Ｎ）
についての特性値（ＣＰＡ値）Ｖ（１）〜Ｖ（Ｎ）が得
られ、これらの値からサンプル液の成分分析を行うこと
ができる。

【００５１】以上のように、この測定装置２０では、分
子膜センサ３０を所定時間洗浄し（Ｓ８、Ｓ２８）、所
定時間洗浄した分子膜センサ３０によって基準液Ｌｒを
測定し（Ｓ９、Ｓ１０、Ｓ３０、Ｓ３１）、基準液Ｌｒ
に対する測定値Ｖｃが予め設定された許容範囲内にある
か否か判定する（Ｓ１１、Ｓ３２）という処理を、基準
液Ｌｒに対する測定値Ｖｃが許容範囲内に入るまで繰り
返している。

【００５２】このため、分子膜センサ３０に吸着した物
質に対して常に必要最小限の洗浄を行うことになり、サ
ンプル液の成分が未知の場合でも、洗浄が不足して分子
膜センサの応答特性が大きく変化したり、洗浄過多によ
ってセンサが劣化することがなくなる。

【００５３】また、この測定装置２０では、上記のよう
に洗浄が完了したときの電圧Ｖｃを基準値として記憶し
てから、次のサンプル液の測定を行い、その測定値と基
準値との差をサンプル液の特性値として求めている。

【００５４】このため、分子膜センサ３０の膜面が常に
ほぼ同一の状態から新たなサンプル液の測定を開始する
ことができ、再現性および精度が高い測定を行うことが
でき、液中の成分分析を高い精度で行うことができる。

【００５５】なお、前記実施形態では、分子膜センサ３
０を基準液と同一成分の洗浄液に超音波振動を与えるこ
とによって洗浄していたが、基準液とは別のエタノール
等の有機溶剤を含む洗浄液内で分子膜センサ３０を振動
させたり、あるいは分子膜センサ３０に対して洗浄液を
シャワー状に流すことによって洗浄を行うこともでき
る。

【００５６】また、上記説明は、分子膜センサ３０を用
いた測定装置２０について説明したが、本発明は、測定
対象の吸着によって応答特性が変化する可能性のあるセ
ンサおよびそのセンサを用いた測定装置についても適用
できる。

【００５７】また、本発明の洗浄とは液体によるものだ
けではなく、センサの特性を変化させる物質を除去する
ためのものであればよく、例えば感応部が硬質で汚れ等
が付着しやすいセンサの場合には、ブラシによる洗浄
（清掃）やエアによる洗浄（清掃）を行うことも可能で
ある。

【００５８】

【発明の効果】以上のように、本発明のセンサ洗浄方法
およびセンサ洗浄装置は、センサを所定時間洗浄し、所
定時間洗浄したセンサによって基準となる測定対象を測
定し、その測定値が予め設定された許容範囲内にあるか
否か判定するという処理を、測定値が許容範囲内に入る
まで繰り返している。

【００５９】このため、センサに吸着した物質に対して
常に必要最小限の洗浄を行うことになり、測定対象の吸
着性が未知の場合でも、洗浄が不足してセンサの応答特
性が大きく変化したり、洗浄過多によってセンサが劣化
することがなくなる。

【００６０】また、本発明の測定方法および測定装置で
は、上記のように洗浄が完了したときの測定値を基準値
とし、第２の測定対象に対する測定を行って得られた測
定値と基準値との差を第２の測定対象の特性値として求
めている。このため、常に、センサが一定の状態から測
定を開始することができ、再現性および精度が高い測定
を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態の構成を示す図

【図２】実施形態の要部の処理手順を示すフローチャー
ト

【図３】実施形態の要部の処理手順を示すフローチャー
ト

【図４】実施形態の動作を説明するための図

【符号の説明】

２０ 測定装置 ２１ 容器 ２２ 振動装置 ２５ プローブ ２６ 参照電極 ３０ 分子膜センサ ３５ 移動装置 ３６ 電圧検出器 ３７ Ａ／Ｄ変換器 ３８ 演算装置 ３９ 出力装置 ４０ 制御装置 Ｌｒ 基準液 Ｌｃ 洗浄液 Ｌｘ サンプル液

【手続補正書】

【提出日】平成１１年１２月７日（１９９９．１２．
７）

【手続補正１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】全図

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１】

【図４】

【図２】

【図３】

フロントページの続き (72)発明者 内藤 悦伸 東京都港区南麻布五丁目10番27号 アンリ ツ株式会社内 Ｆターム(参考） 3B116 AA46 AB51 BB02 BB83 CD41

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】センサを所定時間洗浄する洗浄段階と、 所定時間洗浄したセンサによって基準となる測定対象を
   測定する測定段階と、 前記基準となる測定対象に対する測定値が予め設定され
   た許容範囲内にあるか否かを判定する判定段階とを含
   み、 前記基準となる測定対象に対する測定値が前記許容範囲
   内に入るまで前記洗浄段階から判定段階までを繰り返す
   ことを特徴とするセンサ洗浄方法。
2. 【請求項２】センサを洗浄するための洗浄手段と、 前記センサによって基準となる測定対象を測定させる測
   定手段と、 前記測定手段によって得られた測定値が予め設定された
   許容範囲内にあるか否かを判定する判定手段と、 前記判定手段によって前記測定値が予め設定された許容
   範囲内にあると判定されるまで、前記洗浄手段による洗
   浄と前記測定手段による測定とを交互に繰り返させる制
   御手段とを備えたセンサ洗浄装置。
3. 【請求項３】測定対象に感応して信号を出力するセンサ
   を用いて測定を行う測定方法において、 前記センサを所定時間洗浄する洗浄段階と、 所定時間洗浄した前記センサによって基準となる第１の
   測定対象を測定する第１測定段階と、 前記第１の測定対象に対する測定値が予め設定された許
   容範囲内にあるか否か判定する判定段階と、 前記第１の測定対象に対する測定値が前記許容範囲内に
   入るまで前記洗浄段階から判定段階までを繰り返す段階
   と、 前記第１の測定対象に対する測定値が前記許容範囲内に
   なったセンサによって第２の測定対象を測定する第２測
   定段階と、 前記第１の測定対象に対する測定で得られた最終の測定
   値と前記第２の測定対象に対する測定で得られた測定値
   との差を前記第２の測定対象の特性値として求める段階
   とを含むことを特徴とする測定方法。
4. 【請求項４】測定対象に感応して信号を出力するセンサ
   と、 前記センサを洗浄するための洗浄手段と、 前記センサによって基準となる第１の測定対象を測定さ
   せる第１の測定手段と、 前記第１の測定手段によって得られた測定値が予め設定
   された許容範囲内にあるか否かを判定する判定手段と、 前記判定手段によって前記測定値が予め設定された許容
   範囲内にあると判定されるまで、前記洗浄手段による洗
   浄と前記第１の測定手段による測定とを交互に繰り返さ
   せる洗浄制御手段と、 前記判定手段によって前記測定値が予め設定された許容
   範囲内にあると判定されたときの測定値を基準値として
   記憶する基準値記憶手段と、 前記第１の測定対象に対して前記許容範囲内の測定値が
   得られた前記センサによって、第２の測定対象を測定さ
   せる第２の測定手段と、 前記第２の測定手段によって得られた測定値と前記基準
   値記憶手段に記憶されている基準値との差を前記第２の
   測定対象の特性値として算出する特性値算出手段とを備
   えた測定装置。