JP2001088262A - バリア性フィルムおよびそれを使用した積層材 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 蒸着用基材フィルムとして、薄肉のポリエス
テル系樹脂フィルムを使用し、これに金属または無機酸
化物の蒸着膜を製膜化し、しかも、そのポリエステル系
樹脂フィルムと金属または無機酸化物の蒸着膜との密接
着性に優れ、また、透明性、酸素ガスあるいは水蒸気等
に対するバリア性等に優れ、かつ、ラミネ−ト適性等を
有し、主に、紙容器構成用材料として有用であり、例え
ば、飲食品、医薬品、化粧品、化学品、電子部品、その
他等の種々の物品を充填包装するに有用なバリア性フィ
ルムおよびそれを使用した積層材を提供することであ
る。 【解決手段】 薄肉のポリエステル系樹脂フィルムの片
面に、金属または無機酸化物の蒸着膜を設けたことを特
徴とするバリア性フィルムおよびそれを使用した積層
材、あるいは、薄肉のポリエステル系樹脂フィルムの片
面に、プラズマ処理面を設け、更に、該プラズマ処理面
の面に、金属または無機酸化物の蒸着膜を設けたことを
特徴とするバリア性フィルムおよびそれを使用した積層
材に関するものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、バリア性フィルム
およびそれを使用した積層材に関し、更に詳しくは、蒸
着用基材フィルムとして、薄肉のポリエステル系樹脂フ
ィルムを使用し、これに金属または無機酸化物の蒸着膜
を製膜化し、しかも、そのポリエステル系樹脂フィルム
と金属または無機酸化物の蒸着膜との密接着性に優れ、
また、透明性、酸素ガスあるいは水蒸気等に対するバリ
ア性等に優れ、かつ、ラミネ−ト適性等を有し、主に、
紙容器構成用材料として有用であり、例えば、飲食品、
医薬品、化粧品、化学品、電子部品、その他等の種々の
物品を充填包装するに有用なバリア性フィルムおよびそ
れを使用した積層材に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、飲食品、医薬品、化粧品、その他
等の種々の物品を充填包装するために、種々の包装用素
材が開発され、提案されているが、近年、酸素ガスある
いは水蒸気等に対するバリア性素材として、プラスチッ
ク基材の表面に、酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化マ
グネシウム、その他等の無機酸化物あるいはその金属等
を使用し、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレ
−ティング法等の物理気相成長法（ＰＶＤ法）、あるい
は、プラズマ化学気相成長法、熱化学気相成長法、光化
学気相成長法等の化学気相成長法（ＣＶＤ法）等を利用
して、その無機酸化物の蒸着膜を形成してなる透明なガ
スバリア性フィルムが開発され、提案されている。而し
て、上記のガスバリア性フィルムの一つとして、蒸着用
基材として、２軸延伸ポリエステル系樹脂フィルムを使
用した透明なガスバリア性フィルムが知られている。こ
のものは、２軸延伸ポリエステル系樹脂フィルムが、機
械的、熱的、化学的、電気的、その他等の諸特性に優れ
ていることから、この表面に無機酸化物の蒸着膜を良好
に形成し、かつ、酸素ガス、水蒸気等に対するバリア性
を有する包装用素材として、その有用性が期待されてい
るものである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
蒸着用基材として、２軸延伸ポリエステル系樹脂フィル
ムを使用した透明なガスバリア性フィルムにおいては、
酸素ガスあるいは水蒸気等に対するバリア性が優れてい
るとは言うものの、アルミニウム箔等の従来のバリア性
素材と比較して劣るというのが実状である。このため、
上記の透明なガスバリア性フィルムにおいて、そのバリ
ア性を向上させるために、種々の方法が試みられてお
り、例えば、無機酸化物の蒸着膜の膜厚をある程度の厚
さにすること等が試みられている。しかしながら、上記
のように無機酸化物の蒸着膜の膜厚を厚くすると、該無
機酸化物の蒸着膜は、ガラス質であって、可撓性に欠け
ることから、例えば、フィルムの巻き取り、印刷加工、
ラミネ−ト加工、あるいは、製袋加工等の後処理加工に
おいて、該無機酸化物の蒸着膜にクラック等を発生し、
それに伴って、酸素ガスあるいは水蒸気等に対するバリ
ア性を著しく低下させるという問題点があるものであ
る。更に、上記の透明なガスバリア性フィルムにおい
て、そのバリア性を向上させるために、２軸延伸ポリエ
ステル系樹脂フィルムの表面に、予め、前処理を行う方
法、あるいは、予め、アンカ−コ−ト剤層を形成する方
法等も提案されているが、それによる効果は、それなり
に期待し得るものであるが、未だ、十分に満足し得るハ
イバリア性を有する透明なガスバリア性フィルムを製造
することは困難であるというのが実状である。

【０００４】また、上記の蒸着用基材として、２軸延伸
ポリエステル系樹脂フィルムを使用した透明なガスバリ
ア性フィルムにおいては、２軸延伸ポリエステル系樹脂
フィルムと無機酸化物の蒸着膜との密接着性に問題点が
あり、例えば、２軸延伸ポリエステル系樹脂フィルムの
表面に無機酸化物の蒸着膜を設けた透明なガスバリア性
フィルムと、他の樹脂のフィルムないしシ−ト等とラミ
ネ−トして積層体を製造し、これを使用して種々の物品
を充填包装する包装用容器を製造したとしても、包装用
容器、あるいは、これを構成する積層体において、その
包装用容器を構成するシ−ル強度、あるいは、積層体を
構成するラミネ−ト強度等が、不十分であり、しばし
ば、包装用容器を構成するシ−ル間、或いは、積層体を
構成するラミネ−ト層間等において層間剥離等の現象を
発生し、もはやその用をなさないとうい問題点がある。

【０００５】更にまた、上記の蒸着用基材として、２軸
延伸ポリエステル系樹脂フィルムを使用した透明なガス
バリア性フィルムにおいては、該２軸延伸ポリエステル
系樹脂フィルムとして、厚さ１２μｍ以上のものを使用
するものが通常であり、而して、そのような膜厚の２軸
延伸ポリエステル系樹脂フィルムを使用してなるガスバ
リア性フィルムを紙基材等と積層して積層体を製造し、
これに折罫線等を刻設してブランク板を製造し、しかる
後該ブランク板から液体用紙容器等を製函すると、上記
の折罫線等を刻設する際に、その折れが悪く、好ましい
折罫線等を刻設することが困難であり、また、折罫線等
を刻設し得たとしても、その折罫線等の部分において、
バリア性フィルムを構成する無機酸化物の蒸着膜にしば
しばクラック等が発生し、酸素ガス、あるいは、水蒸気
等の対するバリア性を著しく損なうという問題点があ
り、更にまた、折罫線等の刻設不良から液体用紙容器を
構成するシ−ル部においてシ−ルが不安定であるという
問題点もある。そこで本発明は、蒸着用基材フィルムと
して、薄肉のポリエステル系樹脂フィルムを使用し、こ
れに金属または無機酸化物の蒸着膜を製膜化し、しか
も、そのポリエステル系樹脂フィルムと金属または無機
酸化物の蒸着膜との密接着性に優れ、また、透明性、酸
素ガスあるいは水蒸気等に対するバリア性等に優れ、か
つ、ラミネ−ト適性等を有し、主に、紙容器構成用材料
として有用であり、例えば、飲食品、医薬品、化粧品、
化学品、電子部品、その他等の種々の物品を充填包装す
るに有用なバリア性フィルムおよびそれを使用した積層
材を提供することである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明者は、上記のよう
な問題点を解決すべく種々研究の結果、蒸着用基材とし
て、厚さ４．５μｍ〜９μｍからなる薄肉のポリエステ
ル系樹脂フィルムを使用し、更に、金属または無機酸化
物の蒸着膜形成直前の薄肉のポリエステル系樹脂フィル
ムの表面に、プラズマ処理を行ってプラズマ処理面を形
成し、次いで、そのプラズマ処理面の面に、アルミニウ
ム等の金属、または、酸化珪素、若しくは、酸化アルミ
ニウム等の無機酸化物の蒸着膜を形成してバリア性フィ
ルムを製造し、更に、該バリア性フィルムを構成する金
属または無機酸化物の蒸着膜の面に、少なくとも、ヒ−
トシ−ル性樹脂層を形成し、更に、その他方の面に紙基
材等を積層して積層材を製造し、而して、該積層材を使
用し、これからブランク板を製造し、該ブランク板を製
袋ないし製函して包装用容器を製造し、しかる後、該包
装用容器内に、例えば、飲食品、医薬品、化粧品、化学
品、電子部品、その他等の種々の物品を充填包装して包
装製品を製造したところ、薄肉のポリエステル系樹脂フ
ィルムの片面に、緻密な金属または無機酸化物の蒸着膜
を良好に形成することができ、かつ、薄肉のポリエステ
ル系樹脂フィルムと金属または無機酸化物の蒸着膜との
密接着性に優れ、更に、酸素ガスあるいは水蒸気等に対
する極めて優れたバリア性を有し、また、透明性に優
れ、更に、印刷加工適性、ラミネ−ト加工適性、製袋加
工適性等の後処理加工適性に優れ、特に、紙容器等を製
造する際の折罫線等の刻設性に優れ、かつ、紙容器を構
成するシ−ル部のシ−ル安定性を向上させ、例えば、飲
食品、医薬品、化粧品、化学品、電子部品、その他等の
種々の物品を充填包装するに有用な透明なバリア性フィ
ルムおよびそれを使用した積層材を製造し得ることを見
出して本発明を完成したものである。

【０００７】すなわち、本発明は、薄肉のポリエステル
系樹脂フィルムの片面に、金属または無機酸化物の蒸着
膜を設けたことを特徴とするバリア性フィルムおよびそ
れを使用した積層材、あるいは、薄肉のポリエステル系
樹脂フィルムの片面に、プラズマ処理面を設け、更に、
該プラズマ処理面の面に、金属または無機酸化物の蒸着
膜を設けたことを特徴とするバリア性フィルムおよびそ
れを使用した積層材に関するものである。

【０００８】

【発明の実施の形態】上記の本発明について図面等を用
いて以下に更に詳しく説明する。まず、本発明にかかる
バリア性フィルムおよびそれを使用した積層材について
その一二例を例示して具体的に説明すると、図１および
図２は、本発明にかかるバリア性フィルムについてその
一二例の層構成を示す概略的断面図であり、図３、図
４、および、図５は、上記の図１、図２、および、図３
に示す本発明にかかるバリア性フィルムを使用して製造
した積層材の二三例の層構成を示す概略的断面図であ
る。

【０００９】まず、本発明にかかるバリア性フィルムＡ
は、図１に示すように、薄肉のポリエステル系樹脂フィ
ルム１の片面に、金属または無機酸化物の蒸着膜２を設
けた構成からなることを基本構造とするものである。あ
るいは、本発明にかかるバリア性フィルムＢは、図２に
示すように、薄肉のポリエステル系樹脂フィルム１の片
面に、プラズマ処理によるプラズマ処理面３を設け、更
に、該プラズマ処理面３の面に、金属または無機酸化物
の蒸着膜２を設けた構成からなることを基本構造とする
ものである。

【００１０】而して、本発明において、上記のような本
発明にかかるバリア性フィルムを使用した本発明にかか
る積層材としては、例えば、図３に示すように、上記の
図１に示すバリア性フィルムＡを構成する金属または無
機酸化物の蒸着膜２の面に、少なくとも、ヒ−トシ−ル
性樹脂層４を設けた構成からなる積層材Ｃを例示するこ
とができる。あるいは、本発明にかかる積層材として
は、例えば、図４に示すように、上記の図２に示すバリ
ア性フィルムＢを構成する金属または無機酸化物の蒸着
膜２の面に、少なくとも、ヒ−トシ−ル性樹脂層４を設
けた構成からなる積層材Ｄを例示することができる。更
に、本発明にかかる積層材としては、図５に示すよう
に、上記の図４に示すと同様にして、上記の図２に示す
バリア性フィルムＢを構成する金属または無機酸化物の
蒸着膜２の面に、少なくとも、ヒ−トシ−ル性樹脂層４
を設け、更に、該バリア性フィルムＢを構成する薄肉の
ポリエステル系樹脂フィルム１の他方の面に、紙基材５
を積層した構成からなる積層材Ｅを例示することができ
る。なお、図３〜５において、符号１、２、３等は、前
述と同じ意味である。上記の例示は、その一二例を例示
したものであり、本発明はこれにより限定されるもので
はないものである。例えば、図示しないが、上記に示す
積層材において、金属または無機酸化物の蒸着膜の面に
は、例えば、予め、文字、記号、図形、絵柄等からなる
所望の印刷模様等を設けることができるものである。ま
た、図示しないが、本発明にかかる積層材においては、
その包装目的、充填包装する内容物、包装条件、流通販
売経路あるいは貯蔵方法、その他等二より、更に、他の
プラスチックフィルム、その他等の基材を積層すること
ができ、種々の形態からなる積層材を製造し得るもので
ある。

【００１１】次に、本発明において、本発明にかかるバ
リア性フィルム、および、積層材等を構成する材料、製
造法等について説明すると、まず、本発明において、薄
肉のポリエステル系樹脂フィルムとしては、例えば、テ
レフタル酸若しくはその誘導体、２．６−ナフタレンジ
カルボン酸若しくはその誘導体等のジカルボン酸と、エ
チレングリコ−ルとの重縮合反応等によって得られるポ
リエステル系樹脂のフィルムないしシ−トを使用するこ
とができる。而して、本発明においては、上記のような
ポリエステル系樹脂のフィルムないしシ−トとしては、
例えば、テンタ−方式あるいはチュ−ブラ−方式等によ
って１方向あるいは２方向に延伸し、１ないし２方向に
延伸処理されたポリエステル系樹脂のフィルムないしシ
−トを使用することができる。具体的には、例えば、２
軸延伸処理されたポリエチレンテレフタレ−トフィルム
あるいはポリエチレンナフタレ−トフィルム等を使用す
ることができる。而して、本発明において、上記のポリ
エステル系樹脂フィルムの厚さとしては、薄肉であれば
あるほど望ましいものであるが、極端に薄くなると、ス
リット等が困難になることから、膜厚としては、約４．
５μｍ〜９μｍ位が好ましく、具体的には、厚さ６μｍ
に薄肉化したポリエステル系樹脂フィルムを使用するこ
とが望ましいものである。本発明においては、蒸着用基
材として、通常に使用される厚１２μｍの２軸延伸ポリ
エステル系樹脂フィルムに対し、ほぼ半分以下に薄肉化
した膜厚からなるポリエステル系樹脂フィルムを使用す
ることにより、例えば、紙容器等を構成するブランク板
に折罫線等を刻設する際の刻設性、折れ性等を向上さ
せ、それによる紙容器のシ−ル部の安定性等を向上させ
るものである。なお、本発明において、用途に応じて、
例えば、帯電防止剤、紫外線吸収剤、可塑剤、滑剤、充
填剤、その他等の所望の添加剤を、その透明性に影響し
ない範囲内で任意に添加し、それらを含有するポリエス
テル系樹脂フィルムを使用することができる。

【００１２】次にまた、本発明において、金属または無
機酸化物の蒸着膜について説明すると、かかる金属また
は無機酸化物の蒸着膜としては、基本的に金属またはそ
の金属の酸化物をアモルファス（非晶質）化した薄膜で
あれば使用可能であり、例えば、ケイ素（Ｓｉ）、アル
ミニウム（Ａｌ）、マグネシウム（Ｍｇ）、カルシウム
（Ｃａ）、カリウム（Ｋ）、スズ（Ｓｎ）、ナトリウム
（Ｎａ）、ホウ素（Ｂ）、チタン（Ｔｉ）、鉛（Ｐ
ｂ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、イットリウム（Ｙ）等の
金属またはその金属の酸化物をアモルファス（非晶質）
化した薄膜を使用することができる。而して、包装用材
料等に適するものとしては、アルミニウム（Ａｌ）等の
金属、あるいは、ケイ素（Ｓｉ）、アルミニウム（Ａ
ｌ）等の金属の酸化物をアモルファス（非晶質）化した
薄膜を挙げることができる。而して、上記の金属の酸化
物をアモルファス（非晶質）化した薄膜は、ケイ素酸化
物、アルミニウム酸化物、マグネシウム酸化物等のよう
に金属酸化物として呼ぶことができ、その表記は、例え
ば、ＳｉＯ_X 、ＡｌＯ_X 、ＭｇＯ_X 等のようにＭＯ
_X （ただし、式中、Ｍは、金属元素を表し、Ｘの値は、
金属元素によってそれぞれ範囲がことなる。）で表され
る。

【００１３】また、上記のＸの値の範囲としては、ケイ
素（Ｓｉ）は、０〜２、アルミニウム（Ａｌ）は、０〜
１．５、マグネシウム（Ｍｇ）は、０〜１、カルシウム
（Ｃａ）は、０〜１、カリウム（Ｋ）は、０〜０．５、
スズ（Ｓｎ）は、０〜２、ナトリウム（Ｎａ）は、０〜
０．５、ホウ素（Ｂ）は、０〜１、５、チタン（Ｔｉ）
は、０〜２、鉛（Ｐｂ）は、０〜１、ジルコニウム（Ｚ
ｒ）は０〜２、イットリウム（Ｙ）は、０〜１．５の範
囲の値をとることができる。上記において、Ｘ＝０の場
合、完全な金属であり、透明ではなく全く使用すること
ができない、また、Ｘの範囲の上限は、完全に酸化した
値である。本発明において、包装用材料としては、一般
的に、ケイ素（Ｓｉ）、アルミニウム（Ａｌ）以外は、
使用される例に乏しく、ケイ素（Ｓｉ）は、１．０〜
２．０、アルミニウム（Ａｌ）は、０．５〜１．５の範
囲の値のものを使用することができる。

【００１４】本発明において、上記のような金属または
無機酸化物の蒸着膜の膜厚としては、使用する金属また
は金属の酸化物の種類等によって異なるが、例えば、５
０〜２０００Å位、好ましくは、１００〜１０００Å位
の範囲内で任意に選択して形成することが望ましい。更
に具体的に説明すると、アルミニウムの蒸着膜の場合に
は、膜厚２００〜６００Å位、更に、好ましくは、３０
０〜４５０Å位が望ましく、また、酸化アルミニウムあ
るいは酸化珪素の蒸着膜の場合には、膜厚１００〜３０
０Å位が望ましいものである。上記の膜厚において、そ
の膜厚が、上記の膜厚より薄い場合には、酸素ガス、水
蒸気等に対するバリア性が低下することから好ましくな
く、また、上記の膜厚より厚くなる場合には、後加工の
工程中に、金属または無機酸化物の蒸着膜にクラック等
が発生し、酸素ガス、水蒸気等に対するバリア性が著し
く低下し、更に、薄肉のポリエステル系樹脂フィルムに
対する密接着性が減少することから好ましくないもので
ある。また、本発明においては、無機酸化物の蒸着膜と
しては、無機酸化物の蒸着膜の１層だけではなく、２層
あるいはそれ以上を積層した積層体の状態でもよく、ま
た、使用する金属、または金属の酸化物としては、１種
または２種以上の混合物で使用し、異種の材質で混合し
た無機酸化物の蒸着膜を構成することもできるものであ
る。

【００１５】次に、本発明において、薄肉のポリエステ
ル系樹脂フィルムの上に、金属または無機酸化物の蒸着
膜を形成する方法について説明すると、かかる方法とし
ては、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、イオン
プレ−ティング法等の物理気相成長法（Ｐｈｙｓｉｃａ
ｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ法、ＰＶＤ
法）、あるいは、プラズマ化学気相成長法、熱化学気相
成長法、光化学気相成長法等の化学気相成長法（Ｃｈｅ
ｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ法、Ｃ
ＶＤ法）等を挙げることができる。本発明において、金
属または無機酸化物の蒸着膜の形成法について具体的に
説明すると、上記のような金属または金属の酸化物を原
料とし、これを加熱してポリエステル系樹脂フィルムの
上に蒸着する真空蒸着法、または原料に金属または金属
の酸化物を使用し、酸素ガス等を導入して酸化させてポ
リエステル系樹脂フィルムの上に蒸着する酸化反応蒸着
法、更に酸化反応をプラズマで助成するプラズマ助成式
の酸化反応蒸着法等を用いて蒸着膜を形成することがで
きる。また、本発明においては、酸化珪素の蒸着膜を形
成する場合、オルガノシロキサンを原料とするプラズマ
化学気相成長法を用いて蒸着膜を形成することができ
る。

【００１６】本発明において、金属または無機酸化物の
蒸着膜の形成法について、その具体例を挙げて説明する
と、図６は、巻き取り式真空蒸着機の一例を示す概略的
構成図である。図６に示すように、巻き取り式真空蒸着
機１１を構成する真空チャンバ−１２の中で、巻き出し
ロ−ル１３からポリエステル系樹脂フィルム１を繰り出
す。次に、上記で巻き出しロ−ル１３から繰り出したポ
リエステル系樹脂フィルム１は、コ−ティングドラム１
４を通り、蒸着チャンバ−１５の中に案内される。而し
て、蒸着チャンバ−１５内においては、るつぼ１６で熱
せられた蒸着源（例えば、アルミニウムあるいは酸化ア
ルミニウム等）を蒸発させ、更に、必要ならば、酸素吹
き出し口１７より酸素ガス等を噴出させながら、上記で
蒸着チャンバ−１５の中に導入された冷却したコ−ティ
ングドラム１４上のポリエステル系樹脂フィルム１の一
方の面に、マスク１８、１８を介して金属または無機酸
化物の蒸着膜を成膜化し、次いで、金属または無機酸化
物の蒸着膜を形成したポリエステル系樹脂フィルム１を
真空チャンバ−１２内に送り出し、更に、巻き取りロ−
ル１９に巻き取ることによって、本発明にかかる金属ま
たは無機酸化物の蒸着膜を製膜化することができる。

【００１７】更に、本発明において、金属または無機酸
化物の蒸着膜の形成法について、別の具体例を挙げて説
明すると、図７は、巻き取り式真空蒸着機の別の一例を
示す概略的構成図である。図７に示すように、上記の図
６に示す巻き取り式真空蒸着機と同様に、まず、巻き取
り式真空蒸着機１１を構成する真空チャンバ−１２の中
で、巻き出しロ−ル１３からポリアミド系樹脂フィルム
１を繰り出す。次いで、上記で巻き出しロ−ル１３から
繰り出したポリアミド系樹脂フィルム１は、コ−ティン
グドラム１４を通り、蒸着チャンバ−１５の中に案内さ
れる。而して、本発明においては、ポリアミド系樹脂フ
ィルム１が、蒸着チャンバ−１５の中に案内される直前
に、前処理ユニットとして、プラズマ処理装置２０を配
設し、このプラズマ処理装置２０により、ポリアミド系
樹脂フィルム１の片面に、十分にプラズマ処理を行いプ
ラズマ処理面を形成し、次いで、ポリアミド系樹脂フィ
ルム１を蒸着チャンバ−１５の中に案内する。他方、蒸
着チャンバ−１５内においては、るつぼ１６で熱せられ
た蒸着源（例えば、アルミニウムあるいは酸化アルミニ
ウム等）を蒸発させ、更に、必要ならば、酸素吹き出し
口１７より酸素ガス等を噴出させながら、上記で蒸着チ
ャンバ−１５の中に導入され、冷却したコ−ティングド
ラム１４上のポリアミド系樹脂フィルム１のプラズマ処
理面の面に、マスク１８、１８を介して無機酸化物の蒸
着膜を成膜化し、次に、無機酸化物の蒸着膜を形成した
ポリアミド系樹脂フィルム１を真空チャンバ−１２内に
送り出し、更に、巻き取りロ−ル１９に巻き取ることに
よって、本発明にかかる無機酸化物の蒸着膜を製膜化す
ることができる。

【００１８】また、本発明において、上記のプラズマ化
学気相成長法について具体例を例示すると、図８は、プ
ラズマ化学蒸着装置の一例を例示する概略的構成図であ
る。図８に示すように、プラズマ化学蒸着装置２１を構
成する真空チャンバ−２２内に配置された巻き出しロ−
ル２３から補助ロ−ル２４を介して一定の速度でポリエ
ステル系樹脂フィルム１を繰り出しながら、これを冷却
・電極ドラム２５周面上に搬送する。次に、上記で冷却
・電極ドラム２５周面上にポリエステル系樹脂フィルム
１を搬送すると共に原料揮発供給装置２６、２７、２８
から供給される、例えば、有機珪素化合物、酸素ガス、
不活性ガス等からなる混合ガスを原料供給ノズル２９を
通して真空チャンバ−２２内に導入し、而して、グロ−
放電プラズマ３０によって、酸化珪素の蒸着膜等の無機
酸化物の蒸着膜を、上記のポリエステル系樹脂フィルム
１の一方の面に製膜化して形成される。なお、その際
に、冷却・電極ドラム２５は、真空チャンバ−２２外に
配置されている電源３１から所定の電圧が印加されてお
り、また、冷却・電極ドラム２５の近傍には、マグネッ
ト３２を配置してプラズマの発生を促進し、酸化珪素の
蒸着膜等の無機酸化物の蒸着膜の製膜化を調製する。次
に、上記で酸化珪素の蒸着膜等の無機酸化物の蒸着膜を
形成したポリエステル系樹脂フィルム１を補助ロ−ル２
４を介して巻き取りロ−ル３３に巻き取って、製品化し
得るものである。なお、図中、３３は、真空ポンプを表
す。

【００１９】上記において、無機酸化物の蒸着膜として
の酸化珪素の蒸着膜を主体とする薄膜は、少なくとも珪
素と酸素とを構成元素として有する珪素化合物からな
り、更に、微量構成元素として、炭素または水素の一種
以上の元素を含み、また、その膜厚が、１００〜５００
Åの範囲内であることが好ましいものである。而して、
本発明において、上記のような酸化珪素の薄膜として
は、有機珪素化合物を原料とし、低温プラズマ発生装置
等を利用するプラズマ化学気相成長法を用いて形成した
蒸着膜を使用することができる。上記において、有機珪
素化合物としては、例えば、１．１．３．３−テトラメ
チルジシロキサン、ヘキサメチルジシロキサン、ビニル
トリメチルシラン、メチルトリメチルシラン、ヘキサメ
チルジシラン、メチルシラン、ジメチルシラン、トリメ
チルシラン、ジエチルシラン、プロピルシラン、フェニ
ルシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメト
キシシラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシ
ラン、フェニルトリメトキシシラン、メチルトリエトキ
シシラン、オクタメチルシクロテトラシロキサン、その
他等を使用することができる。本発明において、上記の
ような有機珪素化合物の中でも、１．１．３．３−テト
ラメチルジシロキサン、または、ヘキサメチルジシロキ
サンを原料として使用することが、その取り扱い性、形
成された蒸着膜の特性等から、特に、好ましい原料であ
る。また、上記において、低温プラズマ発生装置として
は、例えば、高周波プラズマ、パルス波プラズマ、マイ
クロ波プラズマ等の発生装置を使用することがてき、而
して、本発明においては、高活性の安定したプラズマを
得るためには、高周波プラズマ方式による発生装置を使
用することが望ましい。

【００２０】なお、本発明においては、上記のような金
属または無機酸化物の蒸着膜の中でも、上記の巻き取り
式真空蒸着機等による物理気相成長法により製膜化した
アルミニウムまたは酸化アルミニウムの蒸着膜が、後述
するプラズマ処理面と相互に有効に作用し合い、その両
者による相乗効果を有効に発揮し、ポリエステル系樹脂
フィルムと金属または無機酸化物の蒸着膜とが、強固に
密接着したバリア性フィルムを製造し得るものである。
また、本発明においては、蒸着用基材としてのポリエス
テル系樹脂フィルムとして、薄肉化しているポリエステ
ル系樹脂フィルムを使用しているので、その膜厚の減少
分だけ、それ自身の機能、例えば、バリア性等が半減す
ることになり、従って、それを補うために、例えば、上
記の金属または無機酸化物の蒸着膜の膜厚を増加させる
ことも可能であるが、単に、金属または無機酸化物の蒸
着膜の膜厚を厚くするだげでは、バリア性は向上する
が、例えば、印刷、積層等の後加工工程において金属ま
たは無機酸化物の蒸着膜にクラック等が発生し、著しく
バリア性を低下させることになり、また、ポリエステル
系樹脂フィルムと金属または無機酸化物の蒸着膜との密
接着性に欠けることになることから好ましくないもので
ある。本発明においては、上記のような問題点を改良す
るために、前述のように、インラインで金属または無機
酸化物の蒸着膜の蒸着直前に、プラズマ処理を行ってプ
ラズマ処理面を形成し、薄肉のポリエステル系樹脂フィ
ルムと金属または無機酸化物の蒸着膜との密接着性を向
上させているものである。

【００２１】次に、本発明において、本発明にかかるバ
リア性フィルム、積層材等を構成するプラズマ処理面に
ついて説明すると、かかるプラズマ処理面は、気体をグ
ロ−放電により電離させることにより生じるプラズマガ
スを利用して表面改質を行なうプラズマ表面処理法等を
利用してプラズマ処理面を形成することができるもので
ある。すなわち、本発明においては、酸素ガス、窒素ガ
ス、アルゴンガス、ヘリウムガス等の無機ガスの１種な
いし２種以上をプラズマガスとして使用する方法でプラ
ズマ処理を行って、プラズマ処理面を形成することがで
きる。而して、本発明において、ポリエステル系樹脂フ
ィルムの表面に行うプラズマ処理としては、プラズマ放
電処理の際に、酸素ガス、または、酸素ガスとアルゴン
ガスとの混合ガスを使用してプラズマ処理を行なうこと
が好ましく、このようなプラズマ処理により、より低い
電圧でプラズマ処理を行なうことが可能であり、これに
より、ポリエステル系樹脂フィルムの表面の変色等を防
止して、その表面に、良好にプラズマ処理面を設けるこ
とができるものである。

【００２２】ところで、本発明において、上記のプラズ
マ処理としては、特に、酸素ガス、または、酸素ガスと
アルゴンガスとの混合ガスを使用し、更に、ポリエステ
ル系樹脂フィルムの表面に金属または無機酸化物の蒸着
膜を形成する直前にインラインで行うことが望ましいも
のである。すなわち、本発明においては、ポリエステル
系樹脂フィルムの表面に、金属または無機酸化物の蒸着
膜を形成する直前に、インラインでプラズマ処理を行う
ことにより、ポリエステル系樹脂フィルムの表面に付着
している水分や塵等を除去すると共に、更に、プラズマ
中で活性化された酸素分子がポリエステル系樹脂フィル
ムの表面と化学反応を起こすことによって、その処理面
に薄くて平滑性の高い酸化被膜を形成したプラズマ処理
面を設けることができものである。更に、本発明におい
ては、ポリエステル系樹脂フィルムの表面に、金属また
は無機酸化物の蒸着膜を形成する直前に、インラインで
プラズマ処理を行うことにより、ポリエステル系樹脂フ
ィルムの表面に、例えば、水酸基（−ＯＨ基）等が形成
されているプラズマ処理面を設けることもできるもので
ある。

【００２３】而して、本発明においては、上記のような
プラズマ処理により、ポリエステル系樹脂フィルムの表
面に酸化被膜、あるいは、水酸基（−ＯＨ基）等が形成
されているプラズマ処理面上に、前述のような蒸着によ
り、金属または無機酸化物の蒸着膜を形成すると、その
層間に夾雑物等の不純物等が介在することなく、非常に
緻密な金属または無機酸化物の蒸着膜を形成することが
でき、しかも、その両者の密接着性に優れ、その結果、
薄い膜厚で、十分に、酸素ガスあるいは水蒸気等に対す
る極めて高いバリア性薄膜を形成することができるもの
である。しかも、本発明においては、上記のように金属
または無機酸化物の蒸着膜を、より薄い膜厚で形成し
て、十分に酸素ガスあるいは水蒸気等に対するハイバリ
ア性薄膜とすることができることから、例えば、フィル
ムの巻き取り、印刷加工、ラミネ−ト加工、あるいは、
製袋加工等の後処理加工において、上記の金属または無
機酸化物の蒸着膜にクラック等の発生等を防止すること
ができ、いわゆる、後加工適性を向上させることができ
るという利点も有するものである。更に、本発明におい
ては、上記のように、ポリエステル系樹脂フィルムと金
属または無機酸化物の蒸着膜との密接着性が優れている
ことから、他の樹脂のフィルムないしシ−ト等のラミネ
−ト適性も向上するものである。また、本発明において
は、ポリエステル系樹脂フィルムの表面に、金属または
無機酸化物の蒸着膜形成直前にインラインでプラズマ処
理を行うことから、バリア性フィルムの製造コスト面に
おいても、他の方法等と比較して極めて優れているもの
である。

【００２４】なお、本発明において、上記のプラズマ処
理においては、そのプラズマ処理条件が極めて重要であ
り、その条件によって得られる効果は、全く異なる。而
して、本発明において、プラズマ処理条件としては、プ
ラズマ放電電力、グロ−放電圧力、その他等を挙げるこ
とができる。本発明において、プラズマ処理としては、
例えば、プラズマ処理が、強ければ強い程、密接着性が
向上するが、あまり強過ぎると、ポリエステル系樹脂フ
ィルムが、熱負けを起こすことから好ましくなく、而し
て、本発明において、プラズマ放電電力としては、約４
０Ｗ・分／ｍ² 〜１００Ｗ・分／ｍ² 位が最も好ましい
ものである。また、本発明において、プラズマ電源とし
ては、交流でも直流でもよく、而して、グロ−放電圧力
としては、０．５〜５．０×１０^-2ｍｂａ位が好まし
く、而して、あまり高真空では、プラズマの安定性に欠
け、また、低真空では、プラズマのポリエステル系樹脂
フィルムへの作用効果が弱められることから好ましくな
いものである。

【００２５】ところで、本発明において、プラズマ処理
において、プラズマを発生させる方法としては、例え
ば、直流グロ−放電、高周波（Ａｕｄｉｏ Ｆｒｅｑｕ
ｅｎｃｙ：ＡＦ、Ｒａｄｉｏ Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ：Ｒ
Ｆ）放電、マイクロ波放電等の３通りの装置を利用して
行うことができる。

【００２６】なお、本発明において、金属または無機酸
化物の蒸着膜形成直前のポリエステル系樹脂フィルムの
表面に、上記のようなプラズマ処理により形成されるプ
ラズマ処理面について、英国、ＶＧサイエンティフィッ
ク社製のＸ線光電子分光分析測定機（機種名、ＸＰＳ）
を使用し、処理面の元素分析を行うことより、前述のよ
うに、ポリエステル系樹脂フィルムの表面に付着してい
る水分や塵等を除去されると共に、更に、プラズマ中で
活性化された酸素分子がポリエステル系樹脂フィルムの
表面と化学反応を起こすことによって、その処理面に薄
くて平滑性の高い酸化被膜を形成したプラズマ処理面で
あること、更に、ポリエステル系樹脂フィルムの表面
に、例えば、水酸基（−ＯＨ基）等の官能基が形成され
ているプラズマ処理面であることを確認することができ
るものである。具体的には、Ｘ線源として、ＭｇＫα
１．２、Ｘ線出力として１５Ｋｖ、２０ｍＡの測定条件
で表面〜１００ÅのＸＰＳ分析を行い、而して、酸化被
膜の形成状態は、表面のＯ／Ｃ（酸素と炭素）の組成比
を測定して確認することができ、また、水酸基（−ＯＨ
基）等の形成状態は、Ｏ_1Sの５３２ｅＶ位置に得られる
ピ−クを測定して確認することができるものである。

【００２７】次に、本発明において、ヒ−トシ−ル性樹
脂層について説明すると、かかるヒ−トシ−ル性樹脂層
を形成するヒ−トシ−ル性樹脂としては、熱によって溶
融し相互に融着し得る樹脂のフィルムないしシ−トを使
用することができ、具体的には、例えば、低密度ポリエ
チレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、直
鎖状（線状）低密度ポリエチレン、ポリプロピレン、エ
チレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマ−樹脂、エチ
レン−アクリル酸共重合体、エチレン−アクリル酸エチ
ル共重合体、エチレン−メタクリル酸共重合体、エチレ
ン−メタクリル酸メチル共重合体、エチレン−プロピレ
ン共重合体、メチルペンテンポリマ−、ポリブテンポリ
マ−、ポリエチレンまたはポリプロピレン等のポリオレ
フィン系樹脂をアクリル酸、メタクリル酸、マレイン
酸、無水マレイン酸、フマ−ル酸、イタコン酸等の不飽
和カルボン酸で変性した酸変性ポリオレフィン樹脂、ポ
リ酢酸ビニル系樹脂、ポリ（メタ）アクリル系樹脂、ポ
リ塩化ビニル系樹脂、その他等の樹脂のフィルムないし
シ−トを使用することができる。而して、本発明におい
ては、上記のような樹脂のフィルムないしシ−トを使用
し、これを、ドライラミネ−ト法等によりドライラミネ
−トして、ヒ−トシ−ル性樹脂層を形成することができ
るものである。あるいは、本発明においては、例えば、
上記のようなヒ−トシ−ル性樹脂等を使用し、押し出し
ラミネ−ト法等により押し出しラミネ−トして、ヒ−ト
シ−ル性樹脂層を形成することもできる。本発明におい
て、上記のヒ−トシ−ル性樹脂層の厚さとしては、５μ
ｍないし３００μｍ位が好ましくは、更には、１０μｍ
ないし１００μｍ位が望ましい。

【００２８】なお、上記において、ドライラミネ−トす
る際には、ドライラミネ−ト用接着剤等を使用すること
ができ、例えば、ポリ酢酸ビニル系接着剤、アクリル酸
のエチル、ブチル、２−エチルヘキシルエステル等のホ
モポリマ−、あるいは、これらとメタクリル酸メチル、
アクリロニトリル、スチレン等との共重合体等からなる
ポリアクリル酸エステル系接着剤、シアノアクリレ−ト
系接着剤、エチレンと酢酸ビニル、アクリル酸エチル、
アクリル酸、メタクリル酸等のモノマ−との共重合体等
からなるエチレン共重合体系接着剤、セルロ−ス系接着
剤、ポリエステル系接着剤、ポリアミド系接着剤、ポリ
イミド系接着剤、尿素樹脂またはメラミン樹脂等からな
るアミノ樹脂系接着剤、フェノ−ル樹脂系接着剤、エポ
キシ系接着剤、ポリウレタン系接着剤、反応型（メタ）
アクリル系接着剤、クロロプレンゴム、ニトリルゴム、
スチレン−ブタジエンゴム等からなるゴム系接着剤、シ
リコ−ン系接着剤、アルカリ金属シリケ−ト、低融点ガ
ラス等からなる無機系接着剤、その他等のドライラミネ
−ト用接着剤を使用することがてきる。上記のドライラ
ミネ−ト用接着剤の組成系は、水性型、溶液型、エマル
ジョン型、分散型等のいずれの組成物形態でもよく、ま
た、その性状は、フィルム・シ−ト状、粉末状、固形状
等のいずれの形態でもよく、更に、接着機構について
は、化学反応型、溶剤揮発型、熱溶融型、熱圧型等のい
ずれの形態でもよいものである。而して、上記のドライ
ラミネ−ト用接着剤は、例えば、ロ−ルコ−ト法、グラ
ビアロ−ルコ−ト法、キスコ−ト法、その他等のコ−ト
法、あるいは、印刷法等によって施すことができ、その
コ−ティング量としては、０．１〜１０．０ｇ／ｍ
² （乾燥状態）位が望ましい。

【００２９】なお、本発明においては、上記のドライラ
ミネ−ト用接着剤の中でも、特に、前述のジないしポリ
イソシアネ−ト化合物とジないしポリオキシ化合物との
反応により得られるポリウレタン系化合物を主成分とす
る１液ないし２液硬化型のラミネ−ト用接着剤を使用す
ることが望ましいものである。具体的には、例えば、ト
リレンジイソシアナ−ト、ジフェニルメタンジイソシア
ナ−ト、ポリメチレンポリフェニレンポリイソシアナ−
ト等の芳香族ポリイソシアナ−ト、あるいは、ヘキサメ
チレンジイソシアナ−ト、キシリレンジイソシアナ−ト
等の脂肪族ポリイソシアナ−ト等の多官能イソシアネ−
トと、ポリエ−テルポリオ−ル、ポリエステルポリオ−
ル、ポリアクリレ−トポリオ−ル、その他等のヒドロキ
シル基含有化合物との反応により得られる１液ないし２
液硬化型のポリウレタン系化合物をビヒクルの主成分と
するドライラミネ−ト用接着剤組成物を使用し、これ
を、例えば、ロ−ルコ−ト、グラビアコ−ト、ナイフコ
−ト、デップコ−ト、スプレイコ−ト、その他のコ−テ
ィング法によりコ−ティングし、次いで、溶剤、希釈剤
等を乾燥して、ドライラミネ−ト用接着剤層を形成する
ことができる。上記のおいて、ドライラミネ−ト用接着
剤層の膜厚としては、０．１〜６．０ｇ／ｍ² （乾燥状
態）位が望ましい。而して、本発明において、上記のよ
うなポリウレタン系化合物を使用することにより、上記
と同様に、ドライラミネ−ト用接着剤層を構成するコ−
ティング膜の伸長性、弾性等を向上させ、例えば、ラミ
ネ−ト加工、あるいは、製袋加工等の後加工適性を向上
させ、後加工時における金属または無機酸化物の蒸着膜
のクラック等の発生を防止するものである。

【００３０】而して、本発明において、上記のドライラ
ミネ−ト用接着剤層としては、ＪＩＳ Ｋ６３０１に準
じた４号ダンベルにて２３℃、５０％ＲＨの環境下で３
００ｍｍ／ｍｉｎ．の速度条件で測定して、３００％〜
５５０％の引っ張り伸度を有するものであることが望ま
しいものである。本発明において、上記の接着剤層の引
っ張り伸度は、前述のアンカ−コ−ト剤層等と相乗し、
積層材を構成する金属または無機酸化物の蒸着膜、印刷
模様層等との密接着性を向上させ、これにより、金属ま
たは無機酸化物の蒸着膜のクラック等の発生を防止する
ものである。上記において、引っ張り伸度が、３００％
未満であると、柔軟性に欠け、ラミネ−トあるいは製袋
または製函等の後加工において、金属または無機酸化物
の蒸着膜にクラック等が発生して好ましくなく、また、
引っ張り伸度が、５５０％を越えると、柔軟性が過剰に
なり、引き裂き性に劣り、例えば、包装用容器の開封性
に劣るので好ましいないものである。なお、本発明にお
いては、上記のようなポリウレタン系化合物を含むドラ
イラミネ−ト用接着剤組成物には、更に、必要な場合に
は、例えば、ニトロセルロ−ス等のセルロ−ス誘導体、
その他の結合剤等を任意に添加することができるもので
ある。

【００３１】また、本発明においては、上記の押し出し
ラミネ−ト積層を行う際に、必要ならば、例えば、イソ
シアネ−ト系（ウレタン系）、ポリエチレンイミン系、
ポリブタジェン系、有機チタン系等のアンカ−コ−ティ
ング剤等を使用することができる。本発明においては、
上記のアンカ−コ−ティング剤を、例えば、ロ−ルコ−
ト、グラビアコ−ト、ナイフコ−ト、デップコ−ト、ス
プレイコ−ト、その他のコ−ティング法によりコ−ティ
ングし、次いで、溶剤、希釈剤等を乾燥して、アンカ−
コ−ト剤層を形成することができる。上記のおいて、ア
ンカ−コ−ト剤層の膜厚としては、０．１〜６．０ｇ／
ｍ²（乾燥状態）位が望ましい。

【００３２】次にまた、本発明において、本発明にかか
る積層材においては、上記のような材料の他に、更に、
例えば、強度を有して強靱であり、かつ耐熱性を有する
樹脂のフィルムないしシ−トを積層することができ、具
体的には、例えば、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系
樹脂、ポリアラミド系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポ
リカ−ボネ−ト系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリアセ
タ−ル系樹脂、フッ素系樹脂、その他等の強靱な樹脂の
フィルムないしシ−ト、その他等を使用することができ
る。而して、上記の樹脂のフィルムないしシ−トとして
は、未延伸フィルム、あるいは一軸方向または二軸方向
に延伸した延伸フィルム等のいずれのものでも使用する
ことができる。そのフィルムの厚さとしては、５μｍな
いし１００μｍ位、好ましくは、１０μｍないし５０μ
ｍ位が望ましい。なお、本発明においては、上記のよう
な基材フィルムには、例えば、文字、図形、記号、絵
柄、模様等の所望の印刷絵柄を通常の印刷法で表刷り印
刷あるいは裏刷り印刷等が施されていてもよい。

【００３３】また、本発明において、本発明にかかる積
層材においては、例えば、紙層を構成する各種の紙基材
を使用して積層することができ、具体的には、本発明に
おいて、紙基材としては、賦型性、耐屈曲性、剛性等を
持たせるものであり、例えば、強サイズ性の晒または未
晒の紙基材、あるいは純白ロ−ル紙、クラフト紙、板
紙、加工紙等の紙基材、その他等を使用することができ
る。上記において、紙層を構成する紙基材としては、坪
量約８０〜６００ｇ／ｍ²位のもの、好ましくは、坪量
約１００〜４５０ｇ／ｍ² 位のものを使用することが望
ましい。勿論、本発明においては、紙層を構成する紙基
材と、上記に挙げた各種の樹脂のフィルムないしシ−ト
等を併用して使用することができる。

【００３４】更に、本発明において、本発明にかかる積
層材においては、例えば、水蒸気、水等のバリア−性を
有する低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密
度ポリエチレン、直鎖状低密度ポリエチレン、ポリプロ
ピレン、エチレン−プロピレン共重合体等の樹脂のフィ
ルムないしシ−ト、あるいは、酸素、水蒸気等に対する
バリア−性を有するポリ塩化ビニリデン、ポリビニルア
ルコ−ル、エチレン−酢酸ビニル共重合体ケン化物等の
樹脂のフィルムないしシ−ト、樹脂に顔料等の着色剤
を、その他、所望の添加剤を加えて混練してフィルム化
してなる遮光性を有する各種の着色樹脂のフィルムない
しシ−ト等を積層することができる。これらの材料は、
一種ないしそれ以上を組み合わせて使用することができ
る。上記のフィルムないしシ−トの厚さとしては、任意
であるが、通常、５μｍないし３００μｍ位、更には、
１０μｍないし１５０μｍ位が望ましい。

【００３５】なお、本発明においては、通常、包装用容
器は、物理的にも化学的にも過酷な条件におかれること
から、包装用容器を構成する包装材料には、厳しい包装
適性が要求され、変形防止強度、落下衝撃強度、耐ピン
ホ−ル性、耐熱性、密封性、品質保全性、作業性、衛生
性、その他等の種々の条件が要求され、このために、本
発明においては、上記のような諸条件を充足する材料を
任意に選択して使用することができ、具体的には、例え
ば、低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度
ポリエチレン、線状低密度ポリエチレン、ポリプロピレ
ン、エチレン−プロピレン共重合体、エチレン−酢酸ビ
ニル共重合体、アイオノマ−樹脂、エチレン−アクリル
酸エチル共重合体、エチレン−アクリル酸またはメタク
リル酸共重合体、メチルペンテンポリマ−、ポリブテン
系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹
脂、ポリ塩化ビニリデン系樹脂、塩化ビニル−塩化ビニ
リデン共重合体、ポリ（メタ）アクリル系樹脂、ポリア
クリルニトリル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、アクリロ
ニトリル−スチレン共重合体（ＡＳ系樹脂）、アクリロ
ニトリル−ブタジェン−スチレン共重合体（ＡＢＳ系樹
脂）、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリカ
−ボネ−ト系樹脂、ポリビニルアルコ−ル系樹脂、エチ
レン−酢酸ビニル共重合体のケン化物、フッ素系樹脂、
ジエン系樹脂、ポリアセタ−ル系樹脂、ポリウレタン系
樹脂、ニトロセルロ−ス、その他等の公知の樹脂のフィ
ルムないしシ−トから任意に選択して使用することがで
きる。その他、例えば、セロハン等のフィルム、合成紙
等も使用することができる。本発明において、上記のフ
ィルムないしシ−トは、未延伸、一軸ないし二軸方向に
延伸されたもの等のいずれのものでも使用することがで
きる。また、その厚さは、任意であるが、数μｍから３
００μｍ位の範囲から選択して使用することができる。
更に、本発明においては、フィルムないしシ−トとして
は、押し出し成膜、インフレ−ション成膜、コ−ティン
グ膜等のいずれの性状の膜でもよい。また、本発明にお
いて、本発明にかかる積層材を構成するいずれかの層
に、例えば、オフセット印刷、グラビア印刷、シルクス
クリ−ン印刷、その他により、文字、図形、絵柄、記号
等からなる所望の印刷絵柄層を形成することもできるこ
とは言うまでもないことである。

【００３６】次に、本発明において、上記のような材料
を使用して積層材を製造する方法について説明すると、
かかる方法としては、通常の包装材料をラミネ−トする
方法、例えば、ウエットラミネ−ション法、ドライラミ
ネ−ション法、無溶剤型ドライラミネ−ション法、押し
出しラミネ−ション法、Ｔダイ押し出し成形法、共押し
出しラミネ−ション法、インフレ−ション法、共押し出
しインフレ−ション法、その他等で行うことができる。
而して、本発明においては、上記の積層を行う際に、必
要ならば、例えば、コロナ処理、オゾン処理等の前処理
をフィルムに施すことができ、また、例えば、イソシア
ネ−ト系（ウレタン系）、ポリエチレンイミン系、ポリ
ブタジェン系、有機チタン系等のアンカ−コ−ティング
剤、あるいはポリウレタン系、ポリアクリル系、ポリエ
ステル系、エポキシ系、ポリ酢酸ビニル系、セルロ−ス
系、その他等のラミネ−ト用接着剤等の公知の前処理、
アンカ−コ−ト剤、接着剤等を使用することができる。

【００３７】次に、本発明において、上記のような積層
材を使用して製袋ないし製函する方法について説明する
と、例えば、包装用容器がプラスチックフィルム等から
なる軟包装袋の場合、上記のような方法で製造した積層
材を使用し、その内層のヒ−トシ−ル性樹脂層の面を対
向させて、それを折り重ねるか、或いはその二枚を重ね
合わせ、更にその周辺端部をヒ−トシ−ルしてシ−ル部
を設けて袋体を構成することができる。而して、その製
袋方法としては、上記の積層材を、その内層の面を対向
させて折り曲げるか、あるいはその二枚を重ね合わせ、
更にその外周の周辺端部を、例えば、側面シ−ル型、二
方シ−ル型、三方シ−ル型、四方シ−ル型、封筒貼りシ
−ル型、合掌貼りシ−ル型（ピロ−シ−ル型）、ひだ付
シ−ル型、平底シ−ル型、角底シ−ル型、その他等のヒ
−トシ−ル形態によりヒ−トシ−ルして、本発明にかか
る種々の形態の包装用容器を製造することができる。そ
の他、例えば、自立性包装袋（スタンディングパウチ）
等も製造することが可能であり、更に、本発明において
は、上記の積層材を使用してチュ−ブ容器等も製造する
ことができる。上記において、ヒ−トシ−ルの方法とし
ては、例えば、バ−シ−ル、回転ロ−ルシ−ル、ベルト
シ−ル、インパルスシ−ル、高周波シ−ル、超音波シ−
ル等の公知の方法で行うことができる。なお、本発明に
おいては、上記のような包装用容器には、例えば、ワン
ピ−スタイプ、ツウ−ピ−スタイプ、その他等の注出
口、あるいは開閉用ジッパ−等を任意に取り付けること
ができる。

【００３８】次にまた、包装用容器として、紙基材を含
む液体充填用紙容器の場合、例えば、積層材として、紙
基材を積層した積層材を製造し、これから所望の紙容器
を製造するブランク板を製造し、しかる後該ブランク板
を使用して胴部、底部、頭部等を製函して、例えば、ブ
リックタイプ、フラットタイプあるいはゲ−ベルトップ
タイプの液体用紙容器等を製造することができる。ま
た、その形状は、角形容器、丸形等の円筒状の紙缶等の
いずれのものでも製造することができる。本発明におい
ては、特に、上記の紙容器等を製造する際に、折罫線等
を刻設する折り性、刻設性等を著しく向上させることが
でき、これによるシ−ル不良等を改良し、シ−ル部のシ
−ルの安定性を改善することができるものである。

【００３９】本発明において、上記のようにして製造し
た包装用容器は、液体飲料、菓子類、粉末状、液状、あ
るいは、固形状調味料、その他等の各種の飲食品、接着
剤、粘着剤等の化学品、洗剤、その他等の化粧品、医薬
品、ケミカルカイロ等の雑貨品、その他等の種々の物品
の充填包装に使用されるものである。なお、本発明にか
かる積層材は、例えば、プラスチック成形容器のフラン
ジ部に貼り合わせて、蓋材としても使用することができ
るものである。

【００４０】

【実施例】上記の本発明について実施例を挙げて更に具
体的に説明する。 実施例１ 巻き取り式の真空蒸着装置を使用し、また、基材とし
て、厚さ６μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−ト
フィルムを使用し、まず、２軸延伸ポリエチレンテレフ
タレ−トフィルムを巻き取り式の真空蒸着装置の送り出
しロ−ルに装着し、次いで、２軸延伸ポリエチレンテレ
フタレ−トフィルムの片面に、インラインで放電プラズ
マ発生装置を用いて、下記の条件でプラズマ処理を行
い、プラズマ処理面を形成した。 （プラズマ処理条件） グロ−放電ガス：酸素ガス 電源：ＤＣ 放電電力：６０Ｗ・分／ｍ² グロ−放電圧力：２．０×１０^-2ｍｂａｒ 次いで、インラインでプラズマ処理面を形成した後、該
プラズマ処理面に、アルミニウムを蒸着源に用いて、エ
レクトロンビ−ム（ＥＢ）加熱方式による真空蒸着法に
より、下記の蒸着条件により、膜厚４００Åのアルミニ
ウムの蒸着膜を形成して、本発明にかかるバリア性フィ
ルムを製造した。 （蒸着条件） 蒸着チャンバ−内の真空度：２×１０^-4ｍｂａｒ 巻き取りチャンバ−内の真空度：２×１０^-2ｍｂａｒ 電子ビ−ム電力：２５ｋＷ フィルムの搬送速度：１５０ｍ／分 蒸着面：プラズマ処理面 次に、上記で製造したバリア性フィルムのアルミニウム
の蒸着膜面に、プライマ−組成物（ザ・インクテック株
式会社製、商品名 ＰＤ−４）を使用し、グラビアロ−
ルコ−ト法によりコ−ティングして、膜厚０．０２ｇ／
ｍ² （乾燥状態）のプライマ−層を形成し、更に、該プ
ライマ−層の面に、２液硬化型のポリウレタン系ドライ
ラミネ−ト用接着剤（武田薬品工業株式会社製、製品
名、タケラック Ａ−５１５／タケネ−ト Ａ−５０）
を用いて、グラビアロ−ルコ−ト法によりコ−ティング
して、膜厚４．０ｇ／ｍ² （乾燥状態）のドライラミネ
−ト用接着剤層を形成し、次いで、該ドライラミネ−ト
用接着剤層面に、厚さ５０μｍの低密度ポリエチレンフ
ィルムをドライラミネ−トして、本発明にかかる積層材
を製造した。なお、上記の積層材を使用し、三方シ−ル
型の軟包装袋を製造し、これにスナック菓子等を充填包
装して包装製品を製造した結果、市場における流通、貯
蔵、販売等に十分に耐えるものであった。

【００４１】実施例２ 巻き取り式の真空蒸着装置を使用し、また、基材とし
て、厚さ６μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−ト
フィルムを使用し、まず、２軸延伸ポリエチレンテレフ
タレ−トフィルムを巻き取り式の真空蒸着装置の送り出
しロ−ルに装着し、次いで、２軸延伸ポリエチレンテレ
フタレ−トフィルムの片面に、インラインで放電プラズ
マ発生装置を用いて、下記の条件でプラズマ処理を行
い、プラズマ処理面を形成した。 （プラズマ処理条件） グロ−放電ガス：酸素ガス 電源：ＤＣ 放電電力：６０Ｗ・分／ｍ² グロ−放電圧力：２．０×１０^-2ｍｂａｒ プラズマ処理面：コロナ処理面 次いで、インラインでプラズマ処理面を形成した後、該
プラズマ処理面に、アルミニウムを蒸着源に用い、酸素
ガスを供給して、エレクトロンビ−ム（ＥＢ）加熱方式
による反応真空蒸着法により、下記の蒸着条件により、
膜厚２００Åの酸化アルミニウムの蒸着膜を形成して、
本発明にかかるバリア性フィルムを製造した。 （蒸着条件） 蒸着チャンバ−内の真空度：２×１０^-4ｍｂａｒ 巻き取りチャンバ−内の真空度：２×１０^-2ｍｂａｒ 電子ビ−ム電力：１０ｋＷ フィルムの搬送速度：１５０ｍ／分 蒸着面：プラズマ処理面 次に、上記で製造したバリア性フィルムの酸化アルミニ
ウムの蒸着膜面に、プライマ−組成物（ザ・インクテッ
ク株式会社製、商品名 ＰＤ−４）を使用し、グラビア
ロ−ルコ−ト法によりコ−ティングして、膜厚０．０２
ｇ／ｍ² （乾燥状態）のプライマ−層を形成し、更に、
該プライマ−層の面に、２液硬化型のポリウレタン系ド
ライラミネ−ト用接着剤（武田薬品工業株式会社製、製
品名、タケラック Ａ−５１５／タケネ−ト Ａ−５
０）を用いて、グラビアロ−ルコ−ト法によりコ−ティ
ングして、膜厚４．０ｇ／ｍ² （乾燥状態）のドライラ
ミネ−ト用接着剤層を形成し、次いで、該ドライラミネ
−ト用接着剤層面に、厚さ５０μｍの低密度ポリエチレ
ンフィルムをドライラミネ−トして、本発明にかかる積
層材を製造した。なお、上記の積層材を使用し、三方シ
−ル型の軟包装袋を製造し、これにスナック菓子等を充
填包装して包装製品を製造した結果、市場における流
通、貯蔵、販売等に十分に耐えるものであった。

【００４２】実施例３ プラズマ化学蒸着装置を使用し、また、基材として、厚
さ６μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィル
ムを使用し、まず、２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−
トフィルムをプラズマ化学蒸着装置の送り出しロ−ルに
装着し、次いで、２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−ト
フィルムの片面に、下記の蒸着条件により、膜厚２００
Åの酸化珪素の蒸着膜を形成して、本発明にかかるバリ
ア性フィルムを製造した。 （蒸着条件） 反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝１：１１：１０（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度：５．２×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：５．１×１０^-2ｍｂａｒ 冷却・電極ドラム供給電力：６０ｗ・分／ｍ² フィルムの搬送速度：９０ｍ／分 蒸着面：プラズマ処理面 次に、上記で製造したバリア性フィルムの酸化珪素の蒸
着膜面に、プライマ−組成物（ザ・インクテック株式会
社製、商品名 ＰＤ−４）を使用し、グラビアロ−ルコ
−ト法によりコ−ティングして、膜厚０．０２ｇ／ｍ²
（乾燥状態）のプライマ−層を形成し、更に、該プライ
マ−層の面に、２液硬化型のポリウレタン系ドライラミ
ネ−ト用接着剤（武田薬品工業株式会社製、製品名、タ
ケラックＡ−５１５／タケネ−ト Ａ−５０）を用い
て、グラビアロ−ルコ−ト法によりコ−ティングして、
膜厚４．０ｇ／ｍ² （乾燥状態）のドライラミネ−ト用
接着剤層を形成し、次いで、該ドライラミネ−ト用接着
剤層面に、厚さ５０μｍの低密度ポリエチレンフィルム
をドライラミネ−トして、本発明にかかる積層材を製造
した。なお、上記の積層材を使用し、三方シ−ル型の軟
包装袋を製造し、これにスナック菓子等を充填包装して
包装製品を製造した結果、市場における流通、貯蔵、販
売等に十分に耐えるものであった。

【００４３】実施例４ 巻き取り式の真空蒸着装置を使用し、また、基材とし
て、厚さ６μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−ト
フィルムを使用し、まず、２軸延伸ポリエチレンテレフ
タレ−トフィルムを巻き取り式の真空蒸着装置の送り出
しロ−ルに装着し、次いで、アルミニウムを蒸着源に用
いてエレクトロンビ−ム（ＥＢ）加熱方式による真空蒸
着法により、下記の蒸着条件により、膜厚４００Åのア
ルミニウムの蒸着膜を形成して、バリア性フィルムを製
造した。 （蒸着条件） 蒸着チャンバ−内の真空度：２×１０^-4ｍｂａｒ 巻き取りチャンバ−内の真空度：２×１０^-2ｍｂａｒ 電子ビ−ム電力：２５ｋＷ フィルムの搬送速度：１５０ｍ／分 蒸着面：コロナ処理面 次に、上記で製造したバリア性フィルムのアルミニウム
の蒸着膜面に、プライマ−組成物（ザ・インクテック株
式会社製、商品名 ＰＤ−４）を使用し、グラビアロ−
ルコ−ト法によりコ−ティングして、膜厚０．０２ｇ／
ｍ² （乾燥状態）のプライマ−層を形成し、更に、該プ
ライマ−層の面に、２液硬化型のポリウレタン系ドライ
ラミネ−ト用接着剤（武田薬品工業株式会社製、製品
名、タケラック Ａ−５１５／タケネ−ト Ａ−５０）
を用いて、グラビアロ−ルコ−ト法によりコ−ティング
して、膜厚４．０ｇ／ｍ² （乾燥状態）のドライラミネ
−ト用接着剤層を形成し、次いで、該ドライラミネ−ト
用接着剤層面に、厚さ５０μｍの低密度ポリエチレンフ
ィルムをドライラミネ−トして、積層材を製造した。な
お、上記の積層材を使用し、三方シ−ル型の軟包装袋を
製造し、これにスナック菓子等を充填包装して包装製品
を製造した結果、市場における流通、貯蔵、販売等に十
分に耐えるものであった。

【００４４】比較例１ 巻き取り式の真空蒸着装置を使用し、また、基材とし
て、厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−
トフィルムを使用し、まず、２軸延伸ポリエチレンテレ
フタレ−トフィルムを巻き取り式の真空蒸着装置の送り
出しロ−ルに装着し、次いで、アルミニウムを蒸着源に
用いてエレクトロンビ−ム（ＥＢ）加熱方式による真空
蒸着法により、下記の蒸着条件により、膜厚４００Åの
アルミニウムの蒸着膜を形成して、バリア性フィルムを
製造した。 （蒸着条件） 蒸着チャンバ−内の真空度：２×１０^-4ｍｂａｒ 巻き取りチャンバ−内の真空度：２×１０^-2ｍｂａｒ 電子ビ−ム電力：２５ｋＷ フィルムの搬送速度：１５０ｍ／分 蒸着面：コロナ処理面 次に、上記で製造したバリア性フィルムのアルミニウム
の蒸着膜面に、プライマ−組成物（ザ・インクテック株
式会社製、商品名 ＰＤ−４）を使用し、グラビアロ−
ルコ−ト法によりコ−ティングして、膜厚０．０２ｇ／
ｍ² （乾燥状態）のプライマ−層を形成し、更に、該プ
ライマ−層の面に、２液硬化型のポリウレタン系ドライ
ラミネ−ト用接着剤（武田薬品工業株式会社製、製品
名、タケラック Ａ−５１５／タケネ−ト Ａ−５０）
を用いて、グラビアロ−ルコ−ト法によりコ−ティング
して、膜厚４．０ｇ／ｍ² （乾燥状態）のドライラミネ
−ト用接着剤層を形成し、次いで、該ドライラミネ−ト
用接着剤層面に、厚さ５０μｍの低密度ポリエチレンフ
ィルムをドライラミネ−トして、積層材を製造した。

【００４５】実験例１ 上記の実施例１〜４、および、比較例１で製造した各積
層材を使用し、下記に示す評価項目について試験を行
い、そのデ−タを測定した。 （１）．酸素透過度の測定 上記で製造した積層材を使用し、温度２３℃、湿度９０
％ＲＨの条件で、米国、モコン（ＭＯＣＯＮ）社製の測
定機〔機種名、オクストラン（ＯＸＴＲＡＮ２／２
０）〕を使用して測定した。 （２）．水蒸気透過度の測定 上記で製造した積層材を使用し、温度３７．８℃、湿度
１００％ＲＨの条件で、米国、モコン（ＭＯＣＯＮ）社
製の測定機〔機種名、パ−マトラン（ＰＥＲＭＴＲＡＮ
２／２０）〕を使用して測定した。 （３）．ラミネ−ト強度の測定 上記で製造した各積層材を使用し、これを１５ｍｍ幅の
短冊状に切ったサンプルを引張試験機により、引張速度
５０ｍｍ／ｍｉｎ、Ｔ字剥離強度にてラミネート強度の
測定を行った。上記の測定結果について、下記の表１に
示す。

【００４６】 上記の表１において、酸素透過度の単位は、（ｃｃ／ｍ
² ・ｄａｙ・２３℃・９０％ＲＨ）であり、水蒸気透過
度の単位は、（ｇ／ｍ² ・ｄａｙ・４０℃・１００％Ｒ
Ｈ）であり、また、ラミネ−ト強度の単位は、（ｇｆ／
１５ｍｍ幅）である。

【００４７】上記の表１より明らかなように、実施例１
〜４にかかる各積層材は、比較例１にかかる積層材に比
較して、両者は、概ね、バリア性、密接着性等において
同等の効果を有し、基材として、厚さ６μｍの２軸延伸
ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを十分に使用し得
ることができることを示すものであった。

【００４８】実施例５ 巻き取り式の真空蒸着装置を使用し、また、基材とし
て、厚さ６μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−ト
フィルムを使用し、上記の実施例１と同様にして、ま
ず、２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの片
面に、プラズマ処理面を形成した。次いで、更に、上記
の実施例１と同様にして、上記で形成したプラズマ処理
面に、アルミニウムを蒸着源に用いて、膜厚４００Åの
アルミニウムの蒸着膜を形成して、本発明にかかるバリ
ア性フィルムを製造した。次に、上記で製造したバリア
性フィルムのアルミニウムの蒸着膜面に、エチレン−メ
タクリル酸共重合体を使用し、これを厚さ２０μｍに溶
融押し出ししながら、厚さ６０μｍの低密度ポリエチレ
ンフィルムを押し出しラミネ−トした。他方、一方の面
に厚さ６０μｍの低密度ポリエチレン樹脂層を押し出し
積層した坪量４００ｇ／ｍ² の紙基材の他方の面に、低
密度ポリエチレン樹脂を使用し、これを厚さ２０μｍに
溶融押し出ししながら、上記で押し出しラミネ−トした
バリア性フィルムの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−
トフィルムの面を対向させて、その両者を押し出しラミ
ネ−トして、本発明にかかる積層材を製造した。なお、
上記の積層材を使用し、これから常法に従ってブランク
板を打ち抜き加工し、次いで、これからゲ−ベルトップ
型の液体紙容器を製造し、これにジュ−スを充填包装し
て包装製品を製造した結果、市場における流通、貯蔵、
販売等に十分に耐えるものであった。

【００４９】比較例２ 巻き取り式の真空蒸着装置を使用し、また、基材とし
て、厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−
トフィルムを使用し、上記の比較例１と同様にして、２
軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの片面に、
膜厚４００Åのアルミニウムの蒸着膜を形成して、バリ
ア性フィルムを製造した。次に、上記で製造したバリア
性フィルムのアルミニウムの蒸着膜面に、エチレン−メ
タクリル酸共重合体を使用し、これを厚さ２０μｍに溶
融押し出ししながら、厚さ６０μｍの低密度ポリエチレ
ンフィルムを押し出しラミネ−トした。他方、一方の面
に厚さ６０μｍの低密度ポリエチレン樹脂層を押し出し
積層した坪量４００ｇ／ｍ² の紙基材の他方の面に、低
密度ポリエチレン樹脂を使用し、これを厚さ２０μｍに
溶融押し出ししながら、上記で押し出しラミネ−トした
バリア性フィルムの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−
トフィルムの面を対向させて、その両者を押し出しラミ
ネ−トして、本発明にかかる積層材を製造した。

【００５０】実験例２ 上記の実施例５、および、比較例２で製造した各バリア
性フィルム、および、積層材を使用し、上記の実験例１
と同様にして、下記に示す評価項目について試験を行
い、そのデ−タを測定した。 （１）．酸素透過度の測定 上記で製造したバリア性フィルムと積層材について、上
記の実験例１と同様にして測定した。 （２）．水蒸気透過度の測定 上記で製造したバリア性フィルムと積層材について、上
記の実験例１と同様にして測定した。 （３）．ラミネ−ト強度の測定 上記で製造した各積層材について、上記の実験例１と同
様にして測定した。上記の測定結果について、下記の表
２に示す。

【００５１】 上記の表２において、酸素透過度の単位、水蒸気透過度
の単位、および、ラミネ−ト強度の単位は、前述の表１
と同じである。

【００５２】上記の表２より明らかなように、実施例５
にかかるバリア性フィルムと積層材は、比較例２にかか
るそれらに比較して、概ね、両者は同等のバリア性、密
接着性等の効果を有し、基材として、厚さ６μｍの２軸
延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを十分に使用
し得ることができることを示すものであった。

【００５３】

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明
は、蒸着用基材として、厚さ４．５μｍ〜９μｍからな
る薄肉のポリエステル系樹脂フィルムを使用し、更に、
金属または無機酸化物の蒸着膜形成直前の薄肉のポリエ
ステル系樹脂フィルムの表面に、プラズマ処理を行って
プラズマ処理面を形成し、次いで、そのプラズマ処理面
の面に、アルミニウム等の金属、または、酸化珪素、若
しくは、酸化アルミニウム等の無機酸化物の蒸着膜を形
成してバリア性フィルムを製造し、更に、該バリア性フ
ィルムを構成する金属または無機酸化物の蒸着膜の面
に、少なくとも、ヒ−トシ−ル性樹脂層を形成し、更
に、その他方の面に紙基材等を積層して積層材を製造
し、而して、該積層材を使用し、これからブランク板を
製造し、該ブランク板を製袋ないし製函して包装用容器
を製造し、しかる後、該包装用容器内に、例えば、飲食
品、医薬品、化粧品、化学品、電子部品、その他等の種
々の物品を充填包装して包装製品を製造して、薄肉のポ
リエステル系樹脂フィルムの片面に、緻密な金属または
無機酸化物の蒸着膜を良好に形成することができ、か
つ、薄肉のポリエステル系樹脂フィルムと金属または無
機酸化物の蒸着膜との密接着性に優れ、更に、酸素ガス
あるいは水蒸気等に対する極めて優れたバリア性を有
し、また、透明性に優れ、更に、印刷加工適性、ラミネ
−ト加工適性、製袋加工適性等の後処理加工適性に優
れ、特に、紙容器等を製造する際の折罫線等の刻設性に
優れ、かつ、紙容器を構成するシ−ル部のシ−ル安定性
を向上させ、例えば、飲食品、医薬品、化粧品、化学
品、電子部品、その他等の種々の物品を充填包装するに
有用な透明なバリア性フィルムおよびそれを使用した積
層材を製造し得ることガできるというものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかるバリア性フィルムについてその
一例の層構成を示す模式的断面図である。

【図２】本発明にかかるバリア性フィルムについてその
一例の層構成を示す模式的断面図である。

【図３】図１に示す本発明にかかるバリア性フィルムを
使用して製造した本発明にかかる積層材についてその一
例の層構成を示す模式的断面図である。

【図４】図２に示す本発明にかかるバリア性フィルムを
使用して製造した本発明にかかる積層材についてその一
例の層構成を示す模式的断面図である。

【図５】図２に示す本発明にかかるバリア性フィルムを
使用して製造した本発明にかかる積層材についてその一
例の層構成を示す模式的断面図である。

【図６】巻き取り式真空蒸着装置の構成を示す概略的構
成図である。

【図７】別の巻き取り式真空蒸着装置の構成を示す概略
的構成図である。

【図８】プラズマ化学着装置の構成を示す概略的構成図
である。

【符号の説明】

Ａ バリア性フィルム Ｂ バリア性フィルム Ｃ 積層材 Ｄ 積層材 Ｅ 積層材 １ ポリエステル系樹脂フィルム ２ 金属または無機酸化物の蒸着膜 ３ プラズマ処理面 ４ ヒ−トシ−ル性樹脂層 ５ 紙基材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ６５Ｄ 65/40 Ｂ６５Ｄ 65/40 Ｄ Ｆターム(参考） 3E086 AD01 AD02 BA04 BA14 BA15 BA24 BA33 BA40 BB01 CA01 CA11 CA28 CA31 4F100 AA17B AB01B AB10B AB25B AK01C AK41A AK42A BA02 BA03 BA07 BA10A BA10C BA25A EH66B EJ38A EJ61B EJ611 GB15 JD02 JL12C YY00A YY00B

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 薄肉のポリエステル系樹脂フィルムの片
   面に、金属または無機酸化物の蒸着膜を設けたことを特
   徴とするバリア性フィルム。
2. 【請求項２】 薄肉のポリエステル系樹脂フィルムの片
   面に、プラズマ処理面を設け、更に、該プラズマ処理面
   の面に、金属または無機酸化物の蒸着膜を設けたことを
   特徴とするバリア性フィルム。
3. 【請求項３】 ポリエステル系樹脂フィルムが、厚さ
   ４．５μｍ〜９μｍからなることを特徴とする上記の請
   求項１〜２に記載するバリア性フィルム。
4. 【請求項４】 ポリエステル系樹脂フィルムが、厚さ６
   μｍからなることを特徴とする上記の請求項１〜２に記
   載するバリア性フィルム。
5. 【請求項５】 ポリエステル系樹脂フィルムが、２軸延
   伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムからなることを
   特徴とする請求項１〜４に記載するバリア性フィルム。
6. 【請求項６】 プラズマ処理面が、金属または無機酸化
   物の蒸着膜を設ける直前の薄肉のポリエステル系樹脂フ
   ィルムの表面に、インラインでプラズマ処理によるプラ
   ズマ処理面であることを特徴とする上記の請求項１〜５
   に記載するバリア性フィルム。
7. 【請求項７】 金属の蒸着膜が、物理気相成長法による
   アルミニウムの蒸着膜からなることを特徴とする上記の
   請求項１〜６に記載するバリア性フィルム。
8. 【請求項８】 無機酸化物の蒸着膜が、物理気相成長法
   による酸化アルミニウムの蒸着膜からなることを特徴と
   する上記の請求項１〜６に記載するバリア性フィルム。
9. 【請求項９】 金属または無機酸化物の蒸着膜が、膜厚
   １００Å〜２０００Åであることを特徴とする上記の請
   求項１〜８に記載するバリア性フィルム。
10. 【請求項１０】 薄肉のポリエステル系樹脂フィルムの
    片面に、金属または無機酸化物の蒸着膜を設けたことか
    らなるバリア性フィルムの金属または無機酸化物の蒸着
    膜面に、少なくとも、ヒ−トシ−ル性樹脂層を設けたこ
    とを特徴とする積層材。
11. 【請求項１１】 薄肉のポリエステル系樹脂フィルムの
    片面に、プラズマ処理面を設け、更に、該プラズマ処理
    面の面に、金属または無機酸化物の蒸着膜を設けたこと
    からなるバリア性フィルムの金属または無機酸化物の蒸
    着膜面に、少なくとも、ヒ−トシ−ル性樹脂層を設けた
    ことを特徴とする積層材。