JP2001081600A - アルミニウム材の光沢度向上方法 - Google Patents
アルミニウム材の光沢度向上方法Info
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- JP2001081600A JP2001081600A JP25828299A JP25828299A JP2001081600A JP 2001081600 A JP2001081600 A JP 2001081600A JP 25828299 A JP25828299 A JP 25828299A JP 25828299 A JP25828299 A JP 25828299A JP 2001081600 A JP2001081600 A JP 2001081600A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 アルミニウム材の光沢度を簡便に向上させる
ことができるアルミニウム材の光沢度向上方法を提供す
る。 【解決手段】 微細な研磨砥粒を含む極めて希薄な電解
液中において、アルミニウム材の表面にウレタン等の粘
弾性体からなる研磨部材を接触回転させながら、０．１
ｍＡ／ｃｍ２ のオーダーの極低電流密度の電解電流を
流して電解砥粒研磨し、そのアルミニウム材表面の光沢
度を向上させる。
ことができるアルミニウム材の光沢度向上方法を提供す
る。 【解決手段】 微細な研磨砥粒を含む極めて希薄な電解
液中において、アルミニウム材の表面にウレタン等の粘
弾性体からなる研磨部材を接触回転させながら、０．１
ｍＡ／ｃｍ２ のオーダーの極低電流密度の電解電流を
流して電解砥粒研磨し、そのアルミニウム材表面の光沢
度を向上させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、アルミニウム材の
光沢度を向上させる方法に関するものである。
光沢度を向上させる方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】アルミニウムは実用材では最も軽く、銀
と同程度の高い反射率をもつ金属である。自然のままで
は空気中で容易に酸化して灰白色の酸化皮膜に覆われる
が、鏡面あるいは高度光沢仕上げされた板は、アルミニ
ウム本来の明るい金属光沢を有し、金属鏡や装飾用建材
として多用されている。このアルミニウム材は、従来、
電解研磨によって表面仕上げを行うのが通例であるが、
高濃度の電解液を使用するため、その電解液の廃棄処理
に環境汚染の問題があって、その電解研磨の利用が困難
になってきている。また、バフ等による機械的な研磨仕
上げは、アルミニウムが軟質材料のため、同様の用途で
使用されるステンレス鋼よりも遥かに難しく、熟練者が
必要になる。
と同程度の高い反射率をもつ金属である。自然のままで
は空気中で容易に酸化して灰白色の酸化皮膜に覆われる
が、鏡面あるいは高度光沢仕上げされた板は、アルミニ
ウム本来の明るい金属光沢を有し、金属鏡や装飾用建材
として多用されている。このアルミニウム材は、従来、
電解研磨によって表面仕上げを行うのが通例であるが、
高濃度の電解液を使用するため、その電解液の廃棄処理
に環境汚染の問題があって、その電解研磨の利用が困難
になってきている。また、バフ等による機械的な研磨仕
上げは、アルミニウムが軟質材料のため、同様の用途で
使用されるステンレス鋼よりも遥かに難しく、熟練者が
必要になる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明者らは、このよ
うなアルミニウム材を簡便に鏡面仕上げする研磨方法を
確立すべく、各種研磨実験を繰り返した結果、砥粒研磨
に希薄な電解液による僅かな電解を複合する方法でその
目的を達成できることを見出し、さらに具体的には、光
沢度に及ぼす電流密度などの影響をも含めて、適正電流
密度の電解の複合により、表面粗さの改善とは直接的な
関係なしに、無電解の場合よりも光沢度が大幅に向上す
る特性を持つことを見出した。この方法では、使用する
電解液も極めて希薄なものであるため、電解液の廃棄処
理による環境汚染の問題も容易に解消することができ
る。
うなアルミニウム材を簡便に鏡面仕上げする研磨方法を
確立すべく、各種研磨実験を繰り返した結果、砥粒研磨
に希薄な電解液による僅かな電解を複合する方法でその
目的を達成できることを見出し、さらに具体的には、光
沢度に及ぼす電流密度などの影響をも含めて、適正電流
密度の電解の複合により、表面粗さの改善とは直接的な
関係なしに、無電解の場合よりも光沢度が大幅に向上す
る特性を持つことを見出した。この方法では、使用する
電解液も極めて希薄なものであるため、電解液の廃棄処
理による環境汚染の問題も容易に解消することができ
る。
【０００４】本発明は、かかる知見に基づくものであ
り、その技術的課題は、基本的には、環境汚染の問題を
回避しながらアルミニウム材の光沢度を簡便に向上させ
る方法を提供することにある。本発明のさらに具体的な
技術的課題は、上記知見に基づいて、電解砥粒研磨を行
いながらも、粗さの改善には程遠い僅かな電解作用によ
り光沢度を大きく改善できるようにしたアルミニウム材
の光沢度向上方法を提供することにある。
り、その技術的課題は、基本的には、環境汚染の問題を
回避しながらアルミニウム材の光沢度を簡便に向上させ
る方法を提供することにある。本発明のさらに具体的な
技術的課題は、上記知見に基づいて、電解砥粒研磨を行
いながらも、粗さの改善には程遠い僅かな電解作用によ
り光沢度を大きく改善できるようにしたアルミニウム材
の光沢度向上方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明のアルミニウム材の光沢度向上方法は、希薄な
電解液中において、アルミニウム材の表面に粘弾性体か
らなる研磨部材を接触回転させながら、０．１ｍＡ／ｃ
ｍ２ のオーダーの低電流密度の電解電流を流して電解
砥粒研磨し、その表面の光沢度を向上させることを特徴
とするものである。上記方法においては、ジルコニアを
含む電解液中において、アルミニウム材の表面にウレタ
ンからなる研磨部材を接触回転させながら電解砥粒研磨
し、また、電解液としては、０．０１〜０．１ｗｔ％の
硝酸ナトリウム水溶液を用いるのが有効である。本発明
によれば、このような粗さの改善とは程遠い僅かな電解
作用を利用した方法により、環境汚染の問題を回避しな
がらアルミニウム材の光沢度を簡便に向上させることが
できる。
の本発明のアルミニウム材の光沢度向上方法は、希薄な
電解液中において、アルミニウム材の表面に粘弾性体か
らなる研磨部材を接触回転させながら、０．１ｍＡ／ｃ
ｍ２ のオーダーの低電流密度の電解電流を流して電解
砥粒研磨し、その表面の光沢度を向上させることを特徴
とするものである。上記方法においては、ジルコニアを
含む電解液中において、アルミニウム材の表面にウレタ
ンからなる研磨部材を接触回転させながら電解砥粒研磨
し、また、電解液としては、０．０１〜０．１ｗｔ％の
硝酸ナトリウム水溶液を用いるのが有効である。本発明
によれば、このような粗さの改善とは程遠い僅かな電解
作用を利用した方法により、環境汚染の問題を回避しな
がらアルミニウム材の光沢度を簡便に向上させることが
できる。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態につ
いてさらに具体的に説明する。上記アルミニウム材の光
沢度向上方法においては、ジルコニア等の微細な研磨砥
粒を含む希薄な電解液中において、ウレタン等の粘弾性
体からなる研磨部材を接触回転させながら、電解砥粒研
磨することができるが、その電解砥粒研磨において用い
る遊離砥粒は、ジルコニアに限るものではなく、アルミ
ナ等の他の微細な研磨砥粒を用いることもできる。上記
研磨砥粒は、電解作用とのバランスから、平均粒径が
０．１〜０．３μｍ程度であって、後述する工具の１パ
スにおける除去量が１ｎｍ程度であることが望ましい。
更に、上記遊離砥粒に代えて、それと同等の切込みを与
える固定砥粒を用いることもでき、この場合には、上記
遊離砥粒よりも十分に微細な砥粒（＃１００００以上）
を、ポリエステル等の粘弾性材料からなる基材上に固定
したラッピングフィルムやラッピングシート等に保持さ
せて用いるのが望ましい。
いてさらに具体的に説明する。上記アルミニウム材の光
沢度向上方法においては、ジルコニア等の微細な研磨砥
粒を含む希薄な電解液中において、ウレタン等の粘弾性
体からなる研磨部材を接触回転させながら、電解砥粒研
磨することができるが、その電解砥粒研磨において用い
る遊離砥粒は、ジルコニアに限るものではなく、アルミ
ナ等の他の微細な研磨砥粒を用いることもできる。上記
研磨砥粒は、電解作用とのバランスから、平均粒径が
０．１〜０．３μｍ程度であって、後述する工具の１パ
スにおける除去量が１ｎｍ程度であることが望ましい。
更に、上記遊離砥粒に代えて、それと同等の切込みを与
える固定砥粒を用いることもでき、この場合には、上記
遊離砥粒よりも十分に微細な砥粒（＃１００００以上）
を、ポリエステル等の粘弾性材料からなる基材上に固定
したラッピングフィルムやラッピングシート等に保持さ
せて用いるのが望ましい。
【０００７】電解液としては、硝酸ナトリウム水溶液が
適しているが、これに限るものではない。また、上記電
解液の濃度は、０．０１〜０．１ｗｔ％の範囲が光沢度
の向上に有効であるが、０．０２〜０．０４ｗｔ％の範
囲がより好ましい。電解液濃度が上記範囲を逸脱する
と、所要の電流密度を得るための電圧の設定が困難にな
る。研磨部材は、ウレタンが適しているが、一般的に鏡
面研磨等に利用されている他の粘弾性体を用いることも
できる。研磨部材の押付け圧は、他の研磨条件との関連
において適切に設定されるが、一般的には、４〜１５ｋ
Ｐａ程度が採用される。
適しているが、これに限るものではない。また、上記電
解液の濃度は、０．０１〜０．１ｗｔ％の範囲が光沢度
の向上に有効であるが、０．０２〜０．０４ｗｔ％の範
囲がより好ましい。電解液濃度が上記範囲を逸脱する
と、所要の電流密度を得るための電圧の設定が困難にな
る。研磨部材は、ウレタンが適しているが、一般的に鏡
面研磨等に利用されている他の粘弾性体を用いることも
できる。研磨部材の押付け圧は、他の研磨条件との関連
において適切に設定されるが、一般的には、４〜１５ｋ
Ｐａ程度が採用される。
【０００８】上記電解砥粒研磨は、０．１ｍＡ／ｃｍ２
のオーダー、一般的には、０．２〜０．９ｍＡ／ｃｍ
２ 程度、より好ましくは、０．３〜０．７ｍＡ／ｃｍ
２ 程度の極低電流密度の電解電流を流して行うが、こ
の電流密度は、他の加工条件との関連において適切に選
択されるべきものである。良好な光沢度が得られる電流
密度の上限及び下限は、砥粒研磨による機械的除去量に
依存するものと考えられ、例えば、研磨部材の押付け圧
を高めた場合には、良好な光沢度が得られる電流密度の
上限が高くなる。なお、以下の実施例を含む実験の過程
において、電圧の直接的な影響は認められていない。
のオーダー、一般的には、０．２〜０．９ｍＡ／ｃｍ
２ 程度、より好ましくは、０．３〜０．７ｍＡ／ｃｍ
２ 程度の極低電流密度の電解電流を流して行うが、こ
の電流密度は、他の加工条件との関連において適切に選
択されるべきものである。良好な光沢度が得られる電流
密度の上限及び下限は、砥粒研磨による機械的除去量に
依存するものと考えられ、例えば、研磨部材の押付け圧
を高めた場合には、良好な光沢度が得られる電流密度の
上限が高くなる。なお、以下の実施例を含む実験の過程
において、電圧の直接的な影響は認められていない。
【０００９】以上に述べたような方法によって、アルミ
ニウム板を極低電流密度で電解砥粒研磨すると、無電解
の場合よりも光沢度を大幅に向上させることができ、そ
の場合に、加工量と表面粗さへの電解の影響は僅かであ
り、光沢度の向上は表面物性の変化によるものと考えら
れる。
ニウム板を極低電流密度で電解砥粒研磨すると、無電解
の場合よりも光沢度を大幅に向上させることができ、そ
の場合に、加工量と表面粗さへの電解の影響は僅かであ
り、光沢度の向上は表面物性の変化によるものと考えら
れる。
【００１０】
【実施例】以下に本発明の実施例を示すが、本発明はこ
の実施例によって限定的に解釈されるべきではない。供
試材としては、ＪＩＳ規格Ａ１０５０Ｐの純アルミニウ
ム板で、１５０ｍｍ角、０．５ｍｍ厚のものを使用し
た。電解砥粒研磨装置は、ＸＹテーブル送り機構を備え
るもので、工具としては、ワークに対向して回転する外
径１１０ｍｍ、内径７０ｍｍの銅電極に、１５ｍｍ厚の
ウレタン研磨部材をねじ止めしたものを使用した。この
工具は、回転数を４００ｒｐｍ、押付け圧を８ｋＰａと
した。工具の動きは、図１に示すように、Ｘ方向に往復
動させる間に、Ｙ方向へ約４ｍｍずつ５回移動させ、Ｘ
方向への単一の移動を１パスとした。送り速さは、８．
４ｍｍ／ｓである。電解液は、平均粒径０．２μｍのジ
ルコニア砥粒１ｗｔ％入りの０．０３ｗｔ％硝酸ナトリ
ウム水溶液を用いた。
の実施例によって限定的に解釈されるべきではない。供
試材としては、ＪＩＳ規格Ａ１０５０Ｐの純アルミニウ
ム板で、１５０ｍｍ角、０．５ｍｍ厚のものを使用し
た。電解砥粒研磨装置は、ＸＹテーブル送り機構を備え
るもので、工具としては、ワークに対向して回転する外
径１１０ｍｍ、内径７０ｍｍの銅電極に、１５ｍｍ厚の
ウレタン研磨部材をねじ止めしたものを使用した。この
工具は、回転数を４００ｒｐｍ、押付け圧を８ｋＰａと
した。工具の動きは、図１に示すように、Ｘ方向に往復
動させる間に、Ｙ方向へ約４ｍｍずつ５回移動させ、Ｘ
方向への単一の移動を１パスとした。送り速さは、８．
４ｍｍ／ｓである。電解液は、平均粒径０．２μｍのジ
ルコニア砥粒１ｗｔ％入りの０．０３ｗｔ％硝酸ナトリ
ウム水溶液を用いた。
【００１１】加工に伴う供試材表面の除去量は、加工前
後の質量を最小読取り量０．１ｍｇのメトラー電子天秤
で測定して求めた。また、光沢度は、日本電色工業株式
会社製デジタル光沢計ＰＧ−３Ｄ（６０°タイプ）、表
面粗さは、株式会社小坂研究所製の非接触粗さ測定装置
ＥＴ−３０ＨＫと三次元表面粗さ解析システムＴＤＡ−
２１を用いて測定した。
後の質量を最小読取り量０．１ｍｇのメトラー電子天秤
で測定して求めた。また、光沢度は、日本電色工業株式
会社製デジタル光沢計ＰＧ−３Ｄ（６０°タイプ）、表
面粗さは、株式会社小坂研究所製の非接触粗さ測定装置
ＥＴ−３０ＨＫと三次元表面粗さ解析システムＴＤＡ−
２１を用いて測定した。
【００１２】予備実験の結果から、硝酸ナトリウムの濃
度を０．０３％としているが、この濃度は、通常の電解
砥粒研磨での２０ｗｔ％と比較して、桁違いに薄いもの
である。この電解液の当初の電導度は、約０．４ｍＳ／
ｃｍであるが、加工開始後はＡｌイオンなどの付加によ
りそれが上昇する。それに対応するため、加工中に手動
で電圧を変えて電流値をほぼ一定に制御した。
度を０．０３％としているが、この濃度は、通常の電解
砥粒研磨での２０ｗｔ％と比較して、桁違いに薄いもの
である。この電解液の当初の電導度は、約０．４ｍＳ／
ｃｍであるが、加工開始後はＡｌイオンなどの付加によ
りそれが上昇する。それに対応するため、加工中に手動
で電圧を変えて電流値をほぼ一定に制御した。
【００１３】以下に、実験例の結果を示す。供試材のア
ルミニウム板の表面には圧延による加工目（圧延目）が
あり、このため光沢計の光学センサーの方向により光沢
度の値が異なるものとなる。図２は、光学センサーの方
向を圧延目に平行にした場合と垂直にした場合（電流
値：３０ｍＡ）の比較を示すもので、研磨の進行と共に
圧延目が除去されて、光沢度の方向差が縮小する状況が
わかる。なお、以下に説明する実施例の場合を含めて、
電流値は、工具の全面がアルミニウム板上にあるときの
値である。
ルミニウム板の表面には圧延による加工目（圧延目）が
あり、このため光沢計の光学センサーの方向により光沢
度の値が異なるものとなる。図２は、光学センサーの方
向を圧延目に平行にした場合と垂直にした場合（電流
値：３０ｍＡ）の比較を示すもので、研磨の進行と共に
圧延目が除去されて、光沢度の方向差が縮小する状況が
わかる。なお、以下に説明する実施例の場合を含めて、
電流値は、工具の全面がアルミニウム板上にあるときの
値である。
【００１４】図３は、光学センサーの方向を圧延目に垂
直にした場合について、電流値が光沢度の時間変化に及
ぼす影響を示すものである。電解なし（０ｍＡ）の場合
には、５パスで光沢度の上昇がほぼ停止するのに対し、
２０〜４０ｍＡの電解を付加した場合には、４０パスま
で着実に上昇して、光沢度が大幅に改善されている。な
お、電流値が５０ｍＡ（０．８８ｍＡ／ｃｍ２ ）の場
合には、５パス以後パス回数の増加と共に光沢度が低下
したが、押付け圧をさらに高めた実験（１１．５ｋＰ
ａ）においては、同電流値でも光沢度の大幅な改善がみ
られた。
直にした場合について、電流値が光沢度の時間変化に及
ぼす影響を示すものである。電解なし（０ｍＡ）の場合
には、５パスで光沢度の上昇がほぼ停止するのに対し、
２０〜４０ｍＡの電解を付加した場合には、４０パスま
で着実に上昇して、光沢度が大幅に改善されている。な
お、電流値が５０ｍＡ（０．８８ｍＡ／ｃｍ２ ）の場
合には、５パス以後パス回数の増加と共に光沢度が低下
したが、押付け圧をさらに高めた実験（１１．５ｋＰ
ａ）においては、同電流値でも光沢度の大幅な改善がみ
られた。
【００１５】図４は、パス回数を４０パスとした場合に
おいて、電流密度が加工深さに及ぼす影響を示してい
る。電流値３０ｍＡ（０．５３ｍＡ／ｃｍ２ ）までの
加工深さは、無電解の場合と大差ないが、４０ｍＡ
（０．７１ｍＡ／ｃｍ２ ）では約２倍にまで急増大し
ている。これは、図３の４０パスにおいて、３０ｍＡと
４０ｍＡの場合の光沢度が逆転するのに関連する現象と
考えられ、加工面に存在する極めて薄い酸化皮膜に何ら
かの変化が生じていることが推測される。
おいて、電流密度が加工深さに及ぼす影響を示してい
る。電流値３０ｍＡ（０．５３ｍＡ／ｃｍ２ ）までの
加工深さは、無電解の場合と大差ないが、４０ｍＡ
（０．７１ｍＡ／ｃｍ２ ）では約２倍にまで急増大し
ている。これは、図３の４０パスにおいて、３０ｍＡと
４０ｍＡの場合の光沢度が逆転するのに関連する現象と
考えられ、加工面に存在する極めて薄い酸化皮膜に何ら
かの変化が生じていることが推測される。
【００１６】図５は、レーザー光触針法（ＨＩＰＯＳ
Ｓ）により、圧延目に垂直な方向に触針を走査させて測
定した三次元表面粗さの時間変化（３０ｍＡの場合）を
示す。カットオフ値は０．８ｍｍ、Ｘ方向の測定長さは
４ｍｍ、測定ピッチはＸ，Ｙ方向とも０．３μｍ、Ｙ方
向ライン数は１０本である。三次元表面粗さＳＲｍａ
ｘ，ＳＲｚ，ＳＲａは、通常の二次元表面粗さＲｍａ
ｘ，Ｒｚ，Ｒａ（１ライン）を１０ラインに拡張した値
である。この結果によれば、一般に２０パスまで粗さが
減少するが、以後は増加する傾向がある。したがって、
光沢度は表面粗さと直接的な関係がないといえる。ま
た、これらの表面粗さには電流があまり影響せず、無電
解の場合も大差がない。したがって、図３における光沢
度の差異は、表面粗さに起因するものではなく、反射率
を支配する表面物性の違いによるものと推測される。
Ｓ）により、圧延目に垂直な方向に触針を走査させて測
定した三次元表面粗さの時間変化（３０ｍＡの場合）を
示す。カットオフ値は０．８ｍｍ、Ｘ方向の測定長さは
４ｍｍ、測定ピッチはＸ，Ｙ方向とも０．３μｍ、Ｙ方
向ライン数は１０本である。三次元表面粗さＳＲｍａ
ｘ，ＳＲｚ，ＳＲａは、通常の二次元表面粗さＲｍａ
ｘ，Ｒｚ，Ｒａ（１ライン）を１０ラインに拡張した値
である。この結果によれば、一般に２０パスまで粗さが
減少するが、以後は増加する傾向がある。したがって、
光沢度は表面粗さと直接的な関係がないといえる。ま
た、これらの表面粗さには電流があまり影響せず、無電
解の場合も大差がない。したがって、図３における光沢
度の差異は、表面粗さに起因するものではなく、反射率
を支配する表面物性の違いによるものと推測される。
【００１７】
【発明の効果】以上に詳述した本発明のアルミニウム材
の光沢度向上方法によれば、アルミニウム材の光沢度を
簡便に向上させることができ、特に、遊離砥粒方式の電
解砥粒研磨を行いながらも、粗さの改善には程遠い僅か
な電解作用により光沢度を大きく改善することができ
る。
の光沢度向上方法によれば、アルミニウム材の光沢度を
簡便に向上させることができ、特に、遊離砥粒方式の電
解砥粒研磨を行いながらも、粗さの改善には程遠い僅か
な電解作用により光沢度を大きく改善することができ
る。
【図１】本発明の実施例における工具の動きについての
説明図である。
説明図である。
【図２】光学センサーの方向を圧延目に平行にした場合
と垂直にした場合の光沢度の比較を示す実験結果のグラ
フである。
と垂直にした場合の光沢度の比較を示す実験結果のグラ
フである。
【図３】電流値が光沢度の時間変化に及ぼす影響につい
ての実験結果を示すグラフである。
ての実験結果を示すグラフである。
【図４】電流密度が加工深さに及ぼす影響についての実
験結果のグラフである。
験結果のグラフである。
【図５】三次元表面粗さの時間変化を示すグラフであ
る。
る。
Claims (3)
- 【請求項１】希薄な電解液中において、アルミニウム材
の表面に粘弾性体からなる研磨部材を接触回転させなが
ら、０．１ｍＡ／ｃｍ２ のオーダーの低電流密度の電
解電流を流して電解砥粒研磨し、その表面の光沢度を向
上させることを特徴とするアルミニウム材の光沢度向上
方法。 - 【請求項２】ジルコニアを含む電解液中において、アル
ミニウム材の表面にウレタンからなる研磨部材を接触回
転させながら電解砥粒研磨することを特徴とする請求項
１に記載のアルミニウム材の光沢度向上方法。 - 【請求項３】電解液として、０．０１〜０．１ｗｔ％の
硝酸ナトリウム水溶液を用いて電解砥粒研磨することを
特徴とする請求項１または２に記載のアルミニウム材の
光沢度向上方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11258282A JP3044377B1 (ja) | 1999-09-13 | 1999-09-13 | アルミニウム材の光沢度向上方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11258282A JP3044377B1 (ja) | 1999-09-13 | 1999-09-13 | アルミニウム材の光沢度向上方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP3044377B1 JP3044377B1 (ja) | 2000-05-22 |
| JP2001081600A true JP2001081600A (ja) | 2001-03-27 |
Family
ID=17318094
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11258282A Expired - Lifetime JP3044377B1 (ja) | 1999-09-13 | 1999-09-13 | アルミニウム材の光沢度向上方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3044377B1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007030146A (ja) * | 2005-07-29 | 2007-02-08 | Fujifilm Corp | ナノ構造体の製造方法 |
-
1999
- 1999-09-13 JP JP11258282A patent/JP3044377B1/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007030146A (ja) * | 2005-07-29 | 2007-02-08 | Fujifilm Corp | ナノ構造体の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3044377B1 (ja) | 2000-05-22 |
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