JPS59142059A - 平面研摩方法 - Google Patents
平面研摩方法Info
- Publication number
- JPS59142059A JPS59142059A JP58013301A JP1330183A JPS59142059A JP S59142059 A JPS59142059 A JP S59142059A JP 58013301 A JP58013301 A JP 58013301A JP 1330183 A JP1330183 A JP 1330183A JP S59142059 A JPS59142059 A JP S59142059A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- work
- modulus
- polisher
- young
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D13/00—Wheels having flexibly-acting working parts, e.g. buffing wheels; Mountings therefor
- B24D13/02—Wheels having flexibly-acting working parts, e.g. buffing wheels; Mountings therefor acting by their periphery
- B24D13/12—Wheels having flexibly-acting working parts, e.g. buffing wheels; Mountings therefor acting by their periphery comprising assemblies of felted or spongy material, e.g. felt, steel wool, foamed latex
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は工作物を平面研摩する場合において、工作物の
高精度平面と良好な仕上面を同時に獲得する方法に関す
るものである。
高精度平面と良好な仕上面を同時に獲得する方法に関す
るものである。
一般に平面研摩も用いられる研削砥石は砥粒、気孔、結
合剤によって結成され、砥石表面に突き出ている砥粒切
刀によって工作物を微小切削し、〜 工作物を加工して
いくものである。この場合、砥石を用いて工作物を平面
研削して平面精度を獲得することは回部であるものの、
良好な仕上面を胛前するのは困雄である。こわは、良好
な仕上面が得られやすいと考えられている砥粒径の小さ
い（たとえば砥粒径１ ｔｓｍ 、）４３．ｉｌｌ （
ｉｇ石を用いたＷ合、砥石内のり（小砥粒が完全に１個
づつに分散されずに数イβ１から数十個の微小砥料が固
まった状ｒで存在することが多く、このケ料の固まりに
よって工作物のＩｌｌ圃面ａコいスクラッチを生ずると
いう欠点によるものである。
合剤によって結成され、砥石表面に突き出ている砥粒切
刀によって工作物を微小切削し、〜 工作物を加工して
いくものである。この場合、砥石を用いて工作物を平面
研削して平面精度を獲得することは回部であるものの、
良好な仕上面を胛前するのは困雄である。こわは、良好
な仕上面が得られやすいと考えられている砥粒径の小さ
い（たとえば砥粒径１ ｔｓｍ 、）４３．ｉｌｌ （
ｉｇ石を用いたＷ合、砥石内のり（小砥粒が完全に１個
づつに分散されずに数イβ１から数十個の微小砥料が固
まった状ｒで存在することが多く、このケ料の固まりに
よって工作物のＩｌｌ圃面ａコいスクラッチを生ずると
いう欠点によるものである。
本発明の目的は従来の欠点にかんがみ、工作物を平面研
摩する場合において、工作物の高精度平面を５ｅｌｌす
るとともに、良好な仕上ｍ−１も１６１時に獲得する平
面研摩方法を提供することにある。
摩する場合において、工作物の高精度平面を５ｅｌｌす
るとともに、良好な仕上ｍ−１も１６１時に獲得する平
面研摩方法を提供することにある。
本発明によれば、工作物を平ｌ１ｌＩｉ ｆ７１ Ｊｉ
＞する方法において、気孔を有した網目構造の仙粒を含
まない弾性体ポリシャ（ヤング率１０”／ＩＩｍ’以上
）を工作物に加圧接触し、該ポリシャと工作物を相対運
動させながら、微小遊離砥粒を含んだ研摩液を供給し、
平面研摩を行なう、ことにより従来の次点を除去するこ
とができる。
＞する方法において、気孔を有した網目構造の仙粒を含
まない弾性体ポリシャ（ヤング率１０”／ＩＩｍ’以上
）を工作物に加圧接触し、該ポリシャと工作物を相対運
動させながら、微小遊離砥粒を含んだ研摩液を供給し、
平面研摩を行なう、ことにより従来の次点を除去するこ
とができる。
次に本発゛°明の一実於例について第１図、第２Ｍ第３
図、第４図および表１を用いて説明する。
図、第４図および表１を用いて説明する。
第１図は、平面度ａの工作物（表面Ｎ１−ｐメッキ面）
１１をフェノール樹脂材で気孔１２を有した網目構造の
弾性ポリシャ（ヤング率２ Ｘ １０”／ｍ＊）１３に
接触させ、工作物１１を重錘１４で加圧しつつ、研摩液
供給パイプ１５から粒径１ｐｍの遊離砥粒を含んだ研摩
液１６を供給しながら平面研摩を行っている状態を示す
。この場合、気孔１２は研摩時に発生する加工屑の逃げ
の役目をはたす。
１１をフェノール樹脂材で気孔１２を有した網目構造の
弾性ポリシャ（ヤング率２ Ｘ １０”／ｍ＊）１３に
接触させ、工作物１１を重錘１４で加圧しつつ、研摩液
供給パイプ１５から粒径１ｐｍの遊離砥粒を含んだ研摩
液１６を供給しながら平面研摩を行っている状態を示す
。この場合、気孔１２は研摩時に発生する加工屑の逃げ
の役目をはたす。
第１図で示す本発明の実施例が工作物の高精度平面と良
好な仕上面を同時に残置する方法として有効であるかに
ついて説明する。工作物面のうねり突部高さがａｏで５
ねり突部の幅が２ｂであるとき、研摩工具を用いて平面
研摩した場合の加工ｔｈｔｈと工作物面の５ねり突部丸
さａとの関係は理論的にただし、Ｐは平均加工圧力 、
Ｅｔは工作物のヤング率、島は研摩工具のヤング率、
ｖＩは工作物のポアソン比、ｈは研摩工具のポアソン比
である。
好な仕上面を同時に残置する方法として有効であるかに
ついて説明する。工作物面のうねり突部高さがａｏで５
ねり突部の幅が２ｂであるとき、研摩工具を用いて平面
研摩した場合の加工ｔｈｔｈと工作物面の５ねり突部丸
さａとの関係は理論的にただし、Ｐは平均加工圧力 、
Ｅｔは工作物のヤング率、島は研摩工具のヤング率、
ｖＩは工作物のポアソン比、ｈは研摩工具のポアソン比
である。
＃２し１は第５図に示すところの臂性的性票を有する４
釉の研摩工具を用いて、平面β’（５３１り突部高さ）
５μ＋１１の工作物（大きさ／７１５０ｐ＊、ｆ′：
面Ｎ１−ｐメッキ面）を平面研押したときの加工量と工
作物の平面度との関係を式（１）を用いて計算し、それ
を寮μ（ｕＪと比較した結呆を・表わす。
釉の研摩工具を用いて、平面β’（５３１り突部高さ）
５μ＋１１の工作物（大きさ／７１５０ｐ＊、ｆ′：
面Ｎ１−ｐメッキ面）を平面研押したときの加工量と工
作物の平面度との関係を式（１）を用いて計算し、それ
を寮μ（ｕＪと比較した結呆を・表わす。
なお、ｒ図における実線は各工具の計算値を示す。第２
図かられかるようにヤング率の小さい研闇工具Ａまたは
Ｂを用いた場合では、平面研摩を行っても工作物の平面
度は少ししか向上しない。
図かられかるようにヤング率の小さい研闇工具Ａまたは
Ｂを用いた場合では、平面研摩を行っても工作物の平面
度は少ししか向上しない。
ところが、ヤング率の大きい研）び工具Ｃ′ｆたはＤを
用いた時は工作物の平面度は大幅に向上し、加工量２０
μにおいて平面［０，３μｍが達成された。よって、工
作物の平面精度をＰ得するにはヤング率が大きい（（Ｚ
ｌｌえばＦ４ ＝ １０’ ／Ｍｌ”以上）の研摩工具
が有効であると言える。
用いた時は工作物の平面度は大幅に向上し、加工量２０
μにおいて平面［０，３μｍが達成された。よって、工
作物の平面精度をＰ得するにはヤング率が大きい（（Ｚ
ｌｌえばＦ４ ＝ １０’ ／Ｍｌ”以上）の研摩工具
が有効であると言える。
次に工作物の平面積度を獲得回部な研摩工具Ｃ１Ｄを用
いて加工した場合の工作物の仕上面アラサについて説明
する。工作物（表面Ｎ１−ｐメッキ面）を研摩工具Ｃ（
砥石（Ｉｌ（粒径１μ簿）を用いて加工した葎、１の表
面アラサ曲紗を第３図、研斤工具Ｄ（研に液中のｉｌｉ
ｍ 砥粒径１μｍ）を用いて加工したＩ）”、の表面
７ラサ曲μ、ｊを第４図に示す。％’ ３１・１に示す
ように研摩工具Ｃで加工したに゛；’合では工作物の加
工面に深さ０．０８刈、１０ ｐ ｍのスクラッチがあ
り、ｐ好な姓上向が得られていない。こ第１はケミした
ように砥石内のゆ、小枦、粒（秒１１えば倣粒貧：、１
７＋ｓ）が資金に１４ｉｂ：づつに分散されず１個から
ノ、十伊の微小な１粒がＶ固した状態で存在することか
あり、との砥粒の同まりによって工作物１の仙Ｎ面にス
クラッチを生じるためである。これに対し、Ｅｔ、 ５
区＋にかすように研ルエ貝りを用いて加工した」３合
、すなわち本発明であるところの気孔を４１した２７）
ｉ目４７’゛造の砥粒を含まない弾性体ホリシャ（ヤン
グ率Ｅｔ”２Ｘ１０”／＊ｔ” ）と微小点ぬト伍粒（
（ｉ−！に粒会１μ簿）を用いて加工した場合では、工
作物の引上面７ラサは０．９３ａｗｌｔａａｚ であり
、良好な仕上曲が達成された。
いて加工した場合の工作物の仕上面アラサについて説明
する。工作物（表面Ｎ１−ｐメッキ面）を研摩工具Ｃ（
砥石（Ｉｌ（粒径１μ簿）を用いて加工した葎、１の表
面アラサ曲紗を第３図、研斤工具Ｄ（研に液中のｉｌｉ
ｍ 砥粒径１μｍ）を用いて加工したＩ）”、の表面
７ラサ曲μ、ｊを第４図に示す。％’ ３１・１に示す
ように研摩工具Ｃで加工したに゛；’合では工作物の加
工面に深さ０．０８刈、１０ ｐ ｍのスクラッチがあ
り、ｐ好な姓上向が得られていない。こ第１はケミした
ように砥石内のゆ、小枦、粒（秒１１えば倣粒貧：、１
７＋ｓ）が資金に１４ｉｂ：づつに分散されず１個から
ノ、十伊の微小な１粒がＶ固した状態で存在することか
あり、との砥粒の同まりによって工作物１の仙Ｎ面にス
クラッチを生じるためである。これに対し、Ｅｔ、 ５
区＋にかすように研ルエ貝りを用いて加工した」３合
、すなわち本発明であるところの気孔を４１した２７）
ｉ目４７’゛造の砥粒を含まない弾性体ホリシャ（ヤン
グ率Ｅｔ”２Ｘ１０”／＊ｔ” ）と微小点ぬト伍粒（
（ｉ−！に粒会１μ簿）を用いて加工した場合では、工
作物の引上面７ラサは０．９３ａｗｌｔａａｚ であり
、良好な仕上曲が達成された。
これは微小砥粒が固まりとしてではなく、１個づつに遊
離した状態で工作物面を微小切削するとともに、弾性体
ポリシャ中の気孔が加工屑の逃げの役目をはたし、良好
な平面１１１１１１が行なわれるためである。
離した状態で工作物面を微小切削するとともに、弾性体
ポリシャ中の気孔が加工屑の逃げの役目をはたし、良好
な平面１１１１１１が行なわれるためである。
以上ｉ９明したように、加工屑の逃げとなる気孔を有し
た砥粒を含まない網目構造の弾性体ポリシャ（ヤング率
１０４シー以上）を工作物に加圧接触させ、該ポリシャ
と工作物を和動連動させながら。
た砥粒を含まない網目構造の弾性体ポリシャ（ヤング率
１０４シー以上）を工作物に加圧接触させ、該ポリシャ
と工作物を和動連動させながら。
参小遊離砥粒を含んだ研Ｊｌ液を供給し、平面偵ルする
方法によって工作物の高精度平面をｈ得するとともに、
良好な仕上面も同時に独得できる利点がある。
方法によって工作物の高精度平面をｈ得するとともに、
良好な仕上面も同時に独得できる利点がある。
第１図は本発明の平画斬犀法によって工作物を加工して
いる状態を示す正面図、ｔＭｓｌｊは表１で示す研摩工
具で加工した場合の加工蓋と工作物十面度との関係を示
すグラフ、およびｍｌＪ、ｍ４図は工作物の表面７ラサ
曲融を示す１、−５１は研摩工具の弾性性質を示す図で
ある。図面中、１１は工作物、１２は気孔、１３は弾性
体ポリシャ、１４は重錘、１５は研摩液供給パイプ、１
６は研摩液である。 ’！ｔ’７ 図 第２図 １１０工１１ ｈ （ｐｍ） 第３目 才４１口 １に５図
いる状態を示す正面図、ｔＭｓｌｊは表１で示す研摩工
具で加工した場合の加工蓋と工作物十面度との関係を示
すグラフ、およびｍｌＪ、ｍ４図は工作物の表面７ラサ
曲融を示す１、−５１は研摩工具の弾性性質を示す図で
ある。図面中、１１は工作物、１２は気孔、１３は弾性
体ポリシャ、１４は重錘、１５は研摩液供給パイプ、１
６は研摩液である。 ’！ｔ’７ 図 第２図 １１０工１１ ｈ （ｐｍ） 第３目 才４１口 １に５図
Claims (1)
- 工作物を平面研摩する方法において、気孔を有した網目
構造であって、砥粒な含まず、かつヤング率１０”／＊
−以上の弾性体ポリシャを工作物に加圧接触させ、該ポ
リシャと工作物を相対運動させなから彼細遊離砥粒を含
んだ研Ｍ液を供給し、平面研摩することを特徴とする平
面研摩方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58013301A JPS59142059A (ja) | 1983-01-28 | 1983-01-28 | 平面研摩方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58013301A JPS59142059A (ja) | 1983-01-28 | 1983-01-28 | 平面研摩方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59142059A true JPS59142059A (ja) | 1984-08-15 |
Family
ID=11829356
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58013301A Pending JPS59142059A (ja) | 1983-01-28 | 1983-01-28 | 平面研摩方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59142059A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003001568A (ja) * | 1995-12-08 | 2003-01-08 | Saint-Gobain Abrasives Inc | 研磨ディスクの改良 |
| JP2006224252A (ja) * | 2005-02-18 | 2006-08-31 | Kumamoto Univ | 研磨装置 |
| CN103286673A (zh) * | 2013-05-24 | 2013-09-11 | 浙江工业大学 | 气浮式超精密研磨的加工装置及其加工方法 |
-
1983
- 1983-01-28 JP JP58013301A patent/JPS59142059A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003001568A (ja) * | 1995-12-08 | 2003-01-08 | Saint-Gobain Abrasives Inc | 研磨ディスクの改良 |
| JP2006224252A (ja) * | 2005-02-18 | 2006-08-31 | Kumamoto Univ | 研磨装置 |
| CN103286673A (zh) * | 2013-05-24 | 2013-09-11 | 浙江工业大学 | 气浮式超精密研磨的加工装置及其加工方法 |
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