JP2001078489A - リニアモータ - Google Patents

リニアモータ

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JP2001078489A
JP2001078489A JP25281599A JP25281599A JP2001078489A JP 2001078489 A JP2001078489 A JP 2001078489A JP 25281599 A JP25281599 A JP 25281599A JP 25281599 A JP25281599 A JP 25281599A JP 2001078489 A JP2001078489 A JP 2001078489A
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coil
linear motor
signal
line
signal line
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Keiji Emoto
圭司 江本
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 単相ないし多相駆動型のリニアモータのコイ
ルモジュールを共通化し、コイル数の変更に対してハー
ドおよびソフト的な変更を必要とすることなく対応す
る。 【解決手段】 コイル1とスイッチ2とを有するモジュ
ール7を複数個結合してリニアモータ固定子10を構成
し、それぞれのモジュールに、コイルへ通電するための
同時に通電したいコイル数に応じた数の駆動電流線DR
V_1,DRV_2、可動子の可動方向を示す方向指示
信号を伝達するための方向指示信号線DIR、他のモジ
ュール内のコイルが通電状態にあるかどうかを示すコイ
ル選択情報信号を伝達するためのコイル選択情報信号線
SEL、他のモジュール内のコイルに通電される際に流
れる電流相を指示する電流相指示信号を伝達するための
電流相指示線PHS、およびコイル切換のタイミングを
示すコイル切換指示信号を伝達するためのコイル切換指
示信号線TRGを全モジュールに共有させ、前記駆動電
流線、方向指示信号線およびコイル切換指示信号線を、
各モジュールの前記スイッチに接続する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、可動子の検出位置
に応じて通電すべきコイルを選択的に切り換える必要の
ある複数のコイルを有するリニアモータに関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】従来のリニアモータは、固定子として可
動子のストロークに応じた数のコイルを配置し、各コイ
ルをそれぞれドライバに接続していた。そのため、ドラ
イバからリニアモータへの配線が多く、また、可動子の
ストロークが異なるごとに固定子およびドライバも異な
るという問題があった。
【0003】そこで、リニアモータの組立性を向上する
目的で特開平6−311723号公報のようにコイルと
スイッチとを基本単位としたリニアモータが提案されて
いる。この構成のリニアモータによれば、リニアモータ
のコイル単位でのモジュール化を行なうことにより、モ
ジュール化を行なわない時よりもコイル数を容易に変更
できる。つまり、可動子のストロークを自由に変更で
き、またドライバからリニアモータへの配線を大幅に減
らすことができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、特開平6−3
11723号公報には、具体的な電気的構成や通電方法
に関してなにも触れられていない。
【0005】また、コイルモジュールを完全に共通化す
るためには、可動子と固定子との相対位置により複数の
コイルの中から一つのコイルだけ選択的に切り換える単
相駆動の場合だけでなく、例えば2つのコイルを選択的
に切り換える2相駆動などの多相駆動に対応する必要が
ある。
【0006】そこで、本発明は、リニアモータ固定子を
モジュール化したリニアモータにおいて、多相駆動にも
対応したリニアモータを提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め本発明のリニアモータは、コイルとスイッチとを有す
るモジュールを備え、該モジュールを複数個結合してリ
ニアモータ固定子を構成し、それぞれのモジュールは、
コイルヘ通電するため同時に通電したいコイル数に応じ
た数の駆動電流線、可動子の可動方向を示す方向指示信
号を伝達するための方向指示信号線、他のモジュール内
のコイルが通電状態にあるかどうかを示すコイル選択情
報信号を伝達するためのコイル選択情報信号線、他のモ
ジュール内のコイルに通電される際に流れる電流相を指
示する電流相指示信号を伝達するための電流相指示線、
およびコイル切換のタイミングを示すコイル切換指示信
号を伝達するためのコイル切換指示信号線を共有し、前
記駆動電流線、方向指示信号線およびコイル切換指示信
号線が、複数の前記スイッチに共通に接続されているこ
とを特徴とする。この構成を採ることにより、単相励磁
駆動および多相励磁駆動におけるコイルモジュールの完
全共通化が可能となった。
【0008】本発明の好ましい実施の形態においては、
上記構成のもとで、前記リニアモータは前記方向指示信
号と前記コイル選択情報信号および前記電流相指示信号
の情報をもとに前記各スイッチの動作が規定されてお
り、前記コイル切換指示信号をトリガとして前記スイッ
チ動作を行なうようにした。このような駆動方法によれ
ば、ドライバは現在通電しているコイルに対して次のコ
イル切り換え時におけるコイルの方向と、コイル切換の
タイミングのみを指示するだけでコイル切換が出来るた
め、ドライバは通電すべきコイルを特定する必要がな
い。そのため、コイルモジュールの数が変更してもハー
ド的な変更は必要ないので容易にリニアモータのストロ
ーク変更を行なうことが出来、再設計等を伴わない。
【0009】ここで、前記モジュールは、コイル選択状
態を初期化するためのリセット信号を伝達するためのリ
セット信号線を有し、該リセット信号線が複数の前記各
スイッチに共通に接続させ、前記リセット信号線のリセ
ット信号をもとに前記各スイッチは前記コイルの通電を
解除するよう規定されており、前記コイル切換指示信号
をトリガとして前記動作を行なうようにすると初期化動
作が容易に行なうことが出来て良い。すなわち、駆動前
における固定子と可動子との相対位置関係の初期化を行
なう際に特定のコイルを通電状態にすることを行なうこ
とが出来るようになる。
【0010】また、前記モジュールはコネクタを有し、
複数の該モジュール同士を該コネクタにより結合してリ
ニアモータ固定子を構成すると、容易に各モジュールの
接続が出来るようになるため、リニアモータのストロー
ク変更が容易に行なうことが出来るため好ましい。すな
わち、各モジュールを容易に接続することができるた
め、より簡単にリニアモータのストローク変更が可能に
なる。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明の実施
の形態を説明する。実施形態1 図1に本発明の第1実施形態のリニアモータに用いられ
るリニアモータ固定子とそのドライバ6を示す。本実施
形態では、可動子と固定子との相対位置に応じた2つの
コイルに電流を流して駆動する。つまり2相駆動を行な
っている。
【0012】リニアモータ固定子10は、コイル1とス
イッチ2とを一組としたコイルモジュール7(7−1,
7−2,‥‥‥,7−n)、およびコイルモジュールの
終端を示すための終端モジュール8との組み合わせで構
成している。終端モジュール8は終端端子4とグランド
5で構成されている。終端端子4は各信号線をむき出し
にしないようになっており電気的な意味は特にない。各
コイルモジュールは、2相分の駆動電流線DRV_1と
DRV_2(図中では共通の線として表示)、それぞれ
の電流相に対応したグランド線GND(図中では共通の
線として表示)、方向指示線DIR、コイル切換指示線
TRG、およびリセット線RSTを共有しており、隣接
するコイルモジュールまたはドライバ6もしくは終端モ
ジュール8とはコネクタ3を通して接続できるように構
成されている。また、コイル選択信号線SELと電流相
指示線PHS(図中では共通の線として表示)が両隣の
モジュールのスイッチ2とコネクタ3を通して接続され
ている。このSEL信号線は各モジュールから見たとき
は、左側のコイルモジュールからのSEL信号をSEL
_L、同じく右側のコイルモジュールからのSEL信号
をSEL_Rと呼び、同様にPHS信号線は各モジュー
ルから見たときは、左側のコイルモジュールからのPH
S信号をPHS_L、同じく右側のコイルモジュールか
らのPHS信号をPHS_Rと呼ぶ。
【0013】不図示のコントローラから駆動指示をうけ
たドライバ6は可動子(不図示)の移動方向を方向指示
線DIRで指示している。同時に駆動指示に対応した駆
動電流を選択されたコイル1に流れるように各相の駆動
電流線DRVを通して制御している。また、各コイルモ
ジュール内のスイッチ2は、自分のモジュールのコイル
が選択されている、つまりスイッチがON状態の時はコ
イル選択信号SELを電気的に“High”にして、逆
に選択されていない状態の時はコイル選択信号SELを
電気的に“Low”にして両隣のコイルモジュールに伝
えるようになっている。また、ドライバ6からのコイル
モジュール7−1へのSEL信号は通常“Low”信号
を出力して、コイルモジュール7−1の左側の仮想モジ
ュールが選択されていない状態を設定している。
【0014】また、本実施形態では2相励磁駆動を可能
とするため新たにPHS信号線が加わっており、各モジ
ュールのコイルにどんな相の電流を通電するべきか判断
する情報を伝達する。ここでは、A相、B相の2つの電
流相で2相励磁駆動を行なっていて、各モジュールは自
分のコイルの電流相がA相の時は電流相指示信号PHS
を電気的に“High”にして、逆にB相の時は電流相
指示線PHSを“Low”にして、両隣のコイルモジュ
ールに自分の電流相を伝えている。ドライバ6は、可動
子と固定子との相対位置検出信号(不図示)に基づいて
コイル1を切り換えるべき位置でコイル切換指示線TR
Gを介して各コイルモジュールにコイル切換のタイミン
グを伝えるようになっている。具体的にはTRGが電気
的に“High”になる立ち上がりのエッジを検知して
コイル切り換えを行なう指示をしている。
【0015】コイルモジュール内のスイッチ2は、ドラ
イバ6からの可動子の方向指示信号DIR、コイル切換
指示信号TRG、リセット信号RSTおよび両隣のコイ
ルモジュールのコイル選択信号SEL_LとSEL_R
と電流相指示信号PHS_LとPHS_Rによって以下
のような動作を行なう。つまり、スイッチ2は方向指示
信号DIR、コイル選択信号SEL_LとSEL_Rお
よびリセット信号RSTの組み合わせで図2のような動
作を行なう。さらに本実施形態により、スイッチ2は方
向指示信号DIR、電流相指示信号PHS_LとPHS
_Rおよびリセット信号RSTの組み合わせで図3のよ
うな動作が追加されている。そして、可動子がコイル切
換位置になるとドライバ6からコイル切換指示信号線T
RGを通してコイル切換指示信号TRGがスイッチに伝
えられ、このコイル切換指示信号TRGをトリガとして
スイッチは図2および図3に従ったスイッチ動作を行な
う。なお、図2および図3において、「H」は信号レベ
ルが“High”であることを、「L」は信号レベルが
“Low”であることを、「x]は信号レベルが“Hi
gh”および“Low”のいずれであってもよいこと
を、「A相」は駆動電流DRV_1を通電することを、
そして「B相」は駆動電流DRV_2を通電すること
を、それぞれ示している。
【0016】図4に図2および図3のようなスイッチ動
作を行なわせる回路の一例を示す。図4にあるような論
理回路およびトリガ付スイッチを使うことによって図2
および図3のような動作を行なわせるスイッチを構成す
ることが出来る。このような、コイル切換を行ないなが
ら適切な電流を駆動電流線を通して所望のコイルに通電
することで、可動子の駆動を行なう。例えば、特開平9
−19178号公報で示されているような電流をコイル
に通電させれば、推力ムラの抑制された駆動を行なえる
リニアモータを構成できる。
【0017】ここで、図5において例をあげながら具体
的にコイル切換の様子を説明する。ここでは、コイル切
換ピッチが30mmであるとし、そのとき図面において
リニアモータ左端からの位置によりコイル切換位置がa
(オフセット位置)、a+30、a+60、a+90、
a+120mmとなり、それぞれの間の領域を1〜5と
する。このとき、可動子位置と通電コイルの関係は図6
のようになる。図5では、可動子が領域3に位置してい
るためコイル(No.3)とコイル(No.4)に通電
しており、図面右方向に移動している状態を示してい
る。
【0018】この時の各信号は図7の領域3のようにな
っている。この状態で、可動子が領域4に移る瞬間にド
ライバ6は、コイル切換指示信号線TRGに“Low”
から“High”信号への立ち上がり信号を出力し、こ
の信号をトリガとしてコイルモジュール7−3(No.
3)のスイッチは通電を解除、コイルモジュール7−5
(No.5)のスイッチはコイル通電状態へと変更する
動作を行ない、コイルモジュール7−3のコイル(N
o.3)およびコイルモジュール7−4のコイル(N
o.4)の通電状態からコイル(No.4)およびコイ
ル(No.5)の通電状態へのコイル切り換え動作が完
了する。これにより、コイル切換後の各信号線は図7の
領域4のような状態になる。以下同様な動作を繰り返す
ことにより、コイル切り換えは全ての領域に対して行な
うことが出来る。
【0019】本実施形態では、2相励磁での構成を示し
ているが、電流相指示線PHSの情報量と駆動電流線D
RVを所望の相数に対応した数だけ設置し、適切なスイ
ッチ動作を規定すれば、3相以上の多相駆動に対しても
適応することが可能である。
【0020】このシステムではドライバ6は現在選択
されているコイルに対して左右どちらのコイルを次に選
択すべきか、いつコイル切り換えを行なうべきか、
どのくらいの電流をコイルに流すべきかという3つの情
報を各モジュールに共通に与えているだけである。各コ
イルモジュールは隣接コイルモジュールの状態を自ら把
握し、自分自身のあるべき状態を判断し、電流相の選択
とコイル切り換えを行なうものである。そのため、ドラ
イバ6はどのコイルを選択すべきかということは把握し
なくても良いため、コイルモジュールまたはコイルユニ
ット数の変更に対しては全く関与しない。
【0021】また、このリニアモータにおける2相励磁
駆動の初期化方法の一例を図8に示す。まず、ドライバ
6はRST信号を“High”にして全てのモジュール
のコイルユニットに対してコイル選択を解除し、図8の
状態1の状態にする。次にドライバがコイルモジュール
7−1(No.1)に対してのSEL信号をコイル選択
状態に、PHS信号をB相駆動の指示をする。このとき
PHS信号はコイルモジュール7−1(No.1)を最
終的にA相にしたいかB相にしたいかに応じてどちらの
指示をしても構わない。そして、DIR信号により図面
右側方向への移動であることを指示した後、TRG信号
によりスイッチへのトリガをかけ、コイル(No.1)
を選択させる(図8状態2)。引き続きドライバはSE
L信号は選択状態、PHS信号はB相、DIR信号は右
方向を指示させ、TRG信号によりスイッチを動作させ
ると状態3になり2相励磁の初期化が完了する。もしも
可動子と固定子の位置関係から初期化する際の選択コイ
ルがコイル(No.1)およびコイル(No.2)のい
ずれでもないときは、ドライバの各信号はそのままで適
当な回数だけTRG信号を出力して所望する2つのコイ
ルが選択されるようにする(状態4〜7)。これら一連
の動作を行なうときは、駆動電流線DRVの電流は0に
しておくと良い。初期化を終えた後は、ドライバ6はコ
イル選択されたコイルモジュールに対して右か左かとい
うように相対的な指示だけをすれば良い。
【0022】実施形態2 図9は上記のリニアモータを用いた位置決め装置を示
す。同図のリニアモータには、4つのコイル104が直
線上に並べて配置されている。コイル支持部材103は
コイル104を支持している。一対のガイド102が、
コイル支持部材103の両側に、コイル104を構成す
る各コイルの配列方向と平行に設けられている。ガイド
102には、テーブル天板101が軸受106を介して
取り付けられている。テーブル天板101は、ガイド1
02によってコイル配列方向に移動自在に案内される。
さらに、テーブル天板101には永久磁石からなる可動
磁石105が取り付けられている。永久磁石105はコ
イルの表裏でS極とN極の対(図面上裏側のものは不図
示)となるように、かつコイル配列方向に沿って極性を
交互にして4対並べて配列されている。
【0023】また、ガイド102の側方には、テーブル
天板101の位置を検出する位置検出器(リニアスケー
ル)107が設けられている。位置検出器107からは
テーブル天板101の移動量および方向に応じてアップ
/ダウン信号が出力される。出力信号は、カウンタユニ
ット110に取り込まれ、テーブル天板101の位置情
報が得られる。カウンタユニット110は、テーブル天
板101に取り付けられた遮光板108が原点フォトス
イッチ109を通過した際に初期化される。このとき、
コントローラは実施形態1で示したようなコイル選択に
関した初期化を行ない、図面中右から1番目と2番目の
コイルを選択した状態にする。カウンタユニット110
には、コントローラおよびドライバ111が接続され、
テーブル天板101の目標位置とカウンタユニット11
0から得られるテーブル天板101の現在位置との差分
をPID(比例、積分、微分)演算し、駆動指令や可動
子の方向指令および電流相指令を出力し、また現在位置
からコイル切換位置に可動子がいるときにはコイル切換
タイミングを示すコイル切換指令を出力する。
【0024】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
単相励磁駆動のみでなく多相励磁駆動にも対応可能なコ
イルモジュールを完全に共通化することが出来る。その
結果、コストの抑制や組立の簡易化の面で非常に有効で
ある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施形態に係るリニアモータ固定
子の構成を示す図である。
【図2】 図1の各信号とスイッチ動作の関係を示した
図である。
【図3】 図1の各信号とスイッチ動作の関係を示した
図である。
【図4】 図2および図3の動作を行なう回路の一例を
示した図である。
【図5】 図1の固定子を用いたリニアモータのコイル
切換の様子を説明するための図である。
【図6】 図5における可動子の位置と通電すべきコイ
ル番号の対応を示した図である。
【図7】 スイッチ切り換え前後の各信号線の状態の一
例を示した図である。
【図8】 図5のモータにおける初期化動作の流れを示
した図である。
【図9】 本発明のリニアモータを用いた位置決め装置
を示した図である。
【符号の説明】
1:コイル、2:スイッチ、3:コネクタ、4:終端端
子、5:グランド、6:ドライバ、7,7−1,7−
2,‥‥‥,7−n:コイルモジュール、8:終端モジ
ュール、10:リニアモータ固定子、DRV:駆動電流
(線)、GND:グランド(線)、DIR:方向指示信
号(線)、TRG:コイル切換指示信号(線)、RS
T:リセット信号(線)、SEL,SEL_L,SEL
_R:コイル選択信号(線)、PHS,PHS_L,P
HS_R:電流相指示信号(または電流相指示線)。

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 コイルとスイッチとを有するモジュール
    を備え、該モジュールを複数個結合してリニアモータ固
    定子を構成し、 それぞれのモジュールは、コイルヘ通電するため同時に
    通電したいコイル数に応じた数の駆動電流線、可動子の
    可動方向を示す方向指示信号を伝達するための方向指示
    信号線、他のモジュール内のコイルが通電状態にあるか
    どうかを示すコイル選択情報信号を伝達するためのコイ
    ル選択情報信号線、他のモジュール内のコイルに通電さ
    れる際に流れる電流相を指示する電流相指示信号を伝達
    するための電流相指示線、およびコイル切換のタイミン
    グを示すコイル切換指示信号を伝達するためのコイル切
    換指示信号線を共有し、前記駆動電流線、方向指示信号
    線およびコイル切換指示信号線が、複数の前記スイッチ
    に共通に接続されていることを特徴とするリニアモー
    タ。
  2. 【請求項2】 前記リニアモータは、前記方向指示信号
    と前記コイル選択情報信号および前記電流相指示信号の
    情報をもとに前記各スイッチの動作が規定されており、
    前記コイル切換指示信号をトリガとして前記スイッチ動
    作を行なうことを特徴とする請求項1記載のリニアモー
    タ。
  3. 【請求項3】 前記モジュールは、コイル選択状態を初
    期化するためのリセット信号を伝達するためのリセット
    信号線をさらに有し、該リセット信号線が複数の前記各
    スイッチに共通に接続されていることを特徴とする請求
    項1または2記載のリニアモータ。
  4. 【請求項4】 前記スイッチは、前記リセット信号線の
    リセット信号をもとに前記コイルへの通電を解除するよ
    う規定されており、前記コイル切換指示信号をトリガと
    して前記通電解除動作を行なうことを特徴とする請求項
    3記載のリニアモータ。
  5. 【請求項5】 前記モジュールはコネクタを有し、複数
    の該モジュール同士を該コネクタにより結合してリニア
    モータ固定子を構成することを特徴とする請求項1〜4
    記載のリニアモータ。
  6. 【請求項6】 前記駆動電流線および共通接続すべき各
    信号線は前記コネクタを介して縦続接続されていること
    を特徴とする請求項5記載のリニアモータ。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005086029A (ja) * 2003-09-09 2005-03-31 Canon Inc 位置決めステージ装置及び露光装置並びに半導体デバイスの製造方法
JP2007049831A (ja) * 2005-08-10 2007-02-22 Yaskawa Electric Corp 巻線切替リニアモータの駆動装置および駆動方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005086029A (ja) * 2003-09-09 2005-03-31 Canon Inc 位置決めステージ装置及び露光装置並びに半導体デバイスの製造方法
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