JPH04217854A - 可動界磁型リニアモータ - Google Patents

可動界磁型リニアモータ

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JPH04217854A
JPH04217854A JP3005412A JP541291A JPH04217854A JP H04217854 A JPH04217854 A JP H04217854A JP 3005412 A JP3005412 A JP 3005412A JP 541291 A JP541291 A JP 541291A JP H04217854 A JPH04217854 A JP H04217854A
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JP
Japan
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linear motor
reed switch
armature coil
field
permanent magnets
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Application number
JP3005412A
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English (en)
Inventor
Masahiro Osawa
正弘 大澤
Akiji Shingu
新宮 明二
Kazumi Hikita
疋田 一美
Haruo Nakazawa
治雄 中澤
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Fuji Electric Co Ltd
Original Assignee
Fuji Electric Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばカーテンの開閉
駆動装置などとして使用する可動界磁型リニアモータ、
特に電機子コイルに対する給電制御方式に関する。
【0002】
【従来の技術】頭記の可動界磁型リニアモータは、可動
子側に界磁永久磁石を搭載し、該界磁永久磁石に対向し
て固定子側には可動子の移動経路に沿って電機子コイル
を配列して構成したものである。また、かかる可動界磁
型リニアモータの給電制御方式として、固定子側に各電
機子コイルに接続した整流子片,電力給電線を配備し、
かつ可動子側には前記整流子片,電力給電線と摺動し合
う配電ブラシ,集電ブラシを装備し、電機子コイルに対
する給電を可動子の移動に合わせて行うようにした方式
のものが、本発明と同じ出願人より特願平1−3063
22号として既に提案されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記のよう
にブラシ付き整流機構を装備した可動界磁型リニアモー
タでは次記のような欠点がある。
【0004】(1)リニアモータの運転時には、整流子
片とブラシとの間に火花が発生する。この火花発生は周
知のように電機子コイルのインダクタンス作用によるも
のであり、リニアモータ推力を高めるように電機子コイ
ルに大きな電流を流すと、それだけ電磁エネルギーが高
まって発生火花も大きくなる。
【0005】(2)火花の発生はブラシの損耗を早める
原因になる他、特にリニアモータをカーテン駆動装置と
して使用する場合には、火花がカーテン生地に引火して
火災を引き起こす危険性もある。
【0006】(3)そのほかに、病院,ホテルなどのよ
うに静粛性が要求される環境下でリニアモータをカーテ
ン駆動装置として使用する場合には、モータ運転に伴っ
て発生する耳障りなブラシの摺動音,火花音が騒音の原
因となる。
【0007】本発明は上記の点にかんがみなされたもの
であり、電機子コイルの給電制御をブラシレス方式で行
うことにより、従来方式による火花,騒音の問題解決を
図るようにした可動界磁型リニアモータを提供すること
を目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の可動界磁型リニアモータは、固定子側の各
電機子コイルを個々にリードスイッチを介して電力給電
線に接続するとともに、該リードスイッチを可動子の移
動に合わせて可動子に搭載した界磁永久磁石の磁力によ
り開閉して電機子コイルを給電制御するよう構成するも
のとする。
【0009】ここで、前記構成の可動界磁型リニアモー
タは、電力給電線を3線式として該電力給電線にリード
スイッチを介して電機子コイルを3相結線し、かつ可動
子の磁極位置検出手段,および3相バイポーラ方式のモ
ータドライバと組合わせてリニアモータを3相バイポー
ラ方式で運転する。あるいは、固定子側のリードスイッ
チに対向して可動子側に界磁永久磁石の全数長に相応し
た長さ寸法の励磁ヨークを付設し、リニアモータを3相
交流同期方式で運転することもできる。
【0010】また、電機子コイルへの無駄な電力供給を
抑えて節電化を図るために、前記構成の可動界磁型リニ
アモータにおいて、可動子の前後両端に並ぶ界磁永久磁
石と並置してその前後に界磁永久磁石の漏れ磁束を打ち
消す逆極性の補正用永久磁石を配備するか、あるいは補
正用永久磁石の代わりに界磁永久磁石の漏れ磁束を吸収
するヨークの磁極を配備するなどの手段を組合わせて実
施するのがよい。
【0011】
【作用】前記の構成において、リードスイッチは外部か
ら磁界が作用しない状態では接点がオフであり、磁界が
加わると接触子片同士が接触し合って接点がオンになる
。また、リードスイッチは電機子コイルと1対1に対応
して可動子の移動経路に沿って対向配置されている。 したがって、可動子と離れた位置ではリードスイッチが
オフであり、当該リードスイッチに接続した電機子コイ
ルには電力が供給されない。一方、可動子と対向し合う
位置では、リードスイッチが可動子に搭載した永久磁石
の磁力でオン動作し、当該リードスイッチに接続した電
機子コイルには電力供給線を通じて電源より電力が供給
され、界磁永久磁石の磁界との間の電磁推力で可動子を
所定の方向に駆動する。つまり可動子側に装備の界磁永
久磁石と対向する電機子コイルのみが給電制御され、そ
れ以外の電機子コイルは非通電として電力の節減化が図
れる。しかも、電機子コイルに対する給電制御をリード
スイッチの開閉により行うブラシレス方式としたので、
火花,騒音問題もなく運転できる。
【0012】また、かかるリニアモータの電機子コイル
を電力供給線に対して3相結線し、かつ通常のブラシレ
ス直流モータと同様に可動子の磁極位置検出手段,およ
び3相バイポーラ方式のモータドライバを組合わせるこ
とにより、リニアモータをブラシレスの直流モータとし
て運転でき、さらに、電力供給線を3相交流電源に接続
し、かつ可動子側に装備した励磁ヨークで界磁永久磁石
と対向し合う電機子コイルのリードスイッチをオン動作
させることにより、リニアモータを磁極位置検出手段,
ブラシの不要な3相交流同期モータとして運転すること
もできる。
【0013】一方、可動子の前後両端部に配置した補正
用永久磁石は、両端に並ぶ界磁永久磁石の前後に分布す
る漏れ磁束を打ち消すように働く。これにより、界磁永
久磁石による固定子との間の磁束分布の広がりがなくな
り、可動子の両端に並ぶ界磁永久磁石とリードスイッチ
との相対位置が可動子の移動方向で僅かでも離れると、
リードスイッチは界磁永久磁石の漏れ磁束の影響を受け
ることなく直ちにオフとなる。また、補正用永久磁石の
代わりにヨークの磁極を配置した構成では、界磁永久磁
石の漏れ磁束がリードスイッチの方へ向かわずに永久磁
石の帰磁路として機能するヨークの磁極に吸収されるの
で、前記と同様に界磁永久磁石とリードスイッチとが相
対的に可動子の移動方向へ僅かでも離れると、リードス
イッチは直ちにオフとなる。これにより、電機子コイル
への無駄な通電を回避して消費電力を節減できる。
【0014】
【実施例】以下本発明の実施例を図面に基づいて詳細に
説明する。
【0015】実施例1:図1ないし図4は、本発明の請
求項1,2に対応する3相バイポーラ駆動方式の実施例
を示すものである。図において、1は可動子の台車、2
は台車1に搭載した界磁永久磁石、3は固定子側の電機
子コイル、4は3線式の電力供給線、5は電力供給線4
と各電機子コイル3との間に接続したリードスイッチ、
6は電力供給線4の電源側に接続した3相バイポーラ方
式のモータ用ドライバIC、7は可動子の磁極位置検出
部である。
【0016】ここで、界磁永久磁石2は磁極間ピッチを
τP として隣合う磁極が異極となるように並べた4個
の永久磁石2a〜2dからなり、各永久磁石2a〜2d
はヨーク17に取付けられている。また、電機子コイル
3は、コイル間ピッチを(4/3) τP に定めて前
記界磁永久磁石2とギャップを隔てて対向するように可
動子台車1の移動経路に沿って配列した多数のコイルか
らなり、かつ各電機子コイルは個々にリードスイッチ5
を介して3線式電力供給線4のU,V,Wに3相結線さ
れている。さらに、リードスイッチ5は可動子に搭載し
た界磁永久磁石2の磁力を受けてオン動作するように、
各電機子コイル3と1対1に対応して可動子の移動経路
上に配列されている。
【0017】さらにリードスイッチ2の設置位置につい
て詳記すると、図1における可動子と固定子との位置関
係で、電機子コイル3aとこれに対向し合う界磁永久磁
石2aとの磁気的中心位置が一致した状態で、リードス
イッチ5aが隣接し合う永久磁石2aと2bとの間の中
間位置 (磁極の極性切り替わり位置に対応する) に
来るように配置されている。
【0018】一方、電力供給線4 (U,V,W) は
図2のようにモータドライバIC6のパワートランジス
タ群を介して直流電源に接続されている。また、磁極位
置検出部7は、図示実施例では可動子台車1の移動経路
に沿って布設したSU, SV, SW, SCで示す
4本の導体パターン8と、台車1に取付けて導体パター
ン8と摺動し合うパターン検出ブラシ9と、導体パター
ン8に接続した検出回路10とからなる。なお、磁極位
置検出部7として、図示例のように導体パターン8, 
パターン検出ブラシ9の代わりに、通常のブラシレスモ
ータと同様にホール素子を採用して実施することもでき
る。
【0019】また、図4はリニアモータの具体構造を表
したものであり、図において、11はチャンネル状のレ
ールケースで、可動子の台車1はレールケース11の内
部で走行可能にガイドされている。なお、1aは台車1
の走行車輪である。また、電機子コイル3,電力供給線
4,リードスイッチ5,および磁極位置検出用の導体パ
ターン8などの各部品は断面コ字形のプリント配線基板
12に取付けてレールケース11の内周面側に配備され
ている。なお、13は電機子コイル3の背後に配備した
磁性材のバックプレートである。
【0020】次に前記構成によるリニアモータの動作を
説明する。図1において、可動子の台車1が図示の位置
から右方向へ移動しているものとすると、電機子コイル
3aに接続したリードスイッチ5aは界磁永久磁石2a
と2bとの間の中間に対向位置しているためにオフであ
る。一方、電機子コイル3b, 3cに接続したリード
スイッチ5b, 5cはそれぞれ永久磁石2c, 2d
に対向位置しており、これら永久磁石からの磁束により
オンとなる。したがってこの時点では電機子コイル3a
は無通電、電機子コイル3b, 3cが通電となり、界
磁永久磁石2との間に作用する電磁力により台車1が右
方に駆動される。同時に界磁永久磁石5の移動位置は磁
極位置検出部7により検出され、その検出信号が図2に
示したモータドライバIC6に与えられる。これにより
、モータドライバ6は磁極位置信号を基に分配ロジック
を介してパワートランジスタ群をオン,オフ制御し、電
力供給線4を介して電機子コイルに電力を供給する。そ
の給電制御動作は通常のブラシレスモータと同様である
【0021】以降は台車1の移動に伴って界磁永久磁石
2と対向し合うリードスイッチ5が順次オン動作し、逆
に界磁永久磁石2から離れたリードスイッチ5はオフと
なるように開閉動作する。つまり、可動子に搭載した界
磁永久磁石と対向する電機子コイルにのみ電力が給電さ
れるようになる。また、このリードスイッチ5の開閉動
作と、モータドライバ6,磁極位置検出部7の動作との
組合わせることでリニアモータは3相バイポーラ駆動方
式で運転され、可動子の台車1は指定された方向に指令
速度で連続的に走行駆動される。なお、この3相バイポ
ーラ駆動方式では電力給電線4のU,V,W各相の通電
期間は電気角で120゜,非通電期間は60゜であり、
リードスイッチ5の位置を前記のように界磁永久磁石2
の磁極の極性切り替わり位置に合わせて設置することに
より、電力給電線4の非通電期間中にリードスイッチ5
がオフとなるのでモータ運転に支障を来すことがない。 なお、図3は3相バイポーラ運転によるリニアモータの
動作を表すタイミングチャートである。
【0022】実施例2:次に本発明の請求項3に対応す
るリニアモータの3相交流同期駆動方式の実施例を述べ
る。この実施例では、可動子に搭載した界磁永久磁石5
,固定子の電機子コイル3,電力供給線5,リードスイ
ッチ5の構成,配置は基本的に実施例1で述べたものと
同様であるが、特に電力供給線5のU,V,Wは3相交
流電源に接続されており、さらに固定子側に配備のリー
ドスイッチ5に対向して、図5,図6のように可動子の
側方に突き出す励磁ヨーク14を備えている。
【0023】この励磁ヨーク14は、界磁永久磁石2の
N極,S極に対応する上下一対の分割ヨーク14a, 
14bからなり、N極側のヨーク14a はその基部が
界磁永久磁石2のN極に、S極側のヨーク14b は界
磁永久磁石2のS極に結合されている。また各ヨーク1
4a,14b は合計4個の界磁永久磁石5の全数長さ
と略等しい寸法に定めてあり、かつヨーク先端の磁極端
面がリードスイッチ5と僅かな間隙を隔てて対向するよ
うに取付けてある。なお、15は励磁ヨーク14を定位
置に固定保持する非磁性材のスペーサである。
【0024】上記の構成により、固定子側に配備のリー
ドスイッチ5は、可動子の移動に伴って界磁永久磁石5
と対向し合うようになると、界磁永久磁石5の磁束の一
部が点線矢印φで示すように励磁ヨーク14を通ってリ
ードスイッチ5と接触子片を流れ、これによりリードス
イッチ5はオン動作する。また、可動子の通過によりリ
ードスイッチ5と励磁ヨーク14との間の距離が離れる
と、磁束がリードスイッチ5に流れなくなるのでオフに
戻る。しかも励磁ヨーク14は界磁永久磁石5の全数長
さに亙って配置されているので、可動子と対向している
間は、界磁永久磁石5の極性切り替わりの影響を受ける
ことなく、オン動作状態が保持される。なお、励磁ヨー
ク14は、図7のように界磁永久磁石5とは別な永久磁
石16と組合わせて構成することもできる。かかるリー
ドスイッチ5の開閉動作により、電機子コイル3は可動
子の移動に合わせて給電制御され、リニアモータは3相
交流同期駆動方式で運転される。なお、3相交流同期駆
動方式では、界磁永久磁石に対する磁極位置検出の必要
はなく、可動子の走行速度は交流電源の周波数を制御す
ることで容易に対応できる。
【0025】実施例3:図8,図9は本発明の請求項4
に対応する実施例を示すものである。この実施例では、
可動子1に搭載した界磁永久磁石2a〜2eのうち、両
端に並ぶ永久磁石2a, 2eに近接して可動子の前後
両端部に永久磁石2a, 2eと逆極性の補正用永久磁
石18が配備されている。そして、補正用永久磁石18
は界磁永久磁石2a, 2eの前後に分布する漏れ磁束
を丁度打ち消すような磁界強さに選んである。
【0026】すなわち、補正用永久磁石18を設けてな
い場合には、可動子1に搭載した界磁永久磁石2a〜2
eのうち、両端に並ぶ永久磁石2a, 2eの漏れ磁束
が可動子1の前後端に広がって存在するので、磁束分布
は図9の線aで表すように可動子の前後で裾広がりとな
り、この漏れ磁束の影響を受けてリードスイッチ5は界
磁永久磁石2a, 2eから多少離れていてもオンとな
る。つまり、図8で可動子1が左から右側へ移動するも
のとして、可動子1の先頭に並ぶ界磁永久磁石2eと電
機子コイル3dの磁気的中心が一致する以前に、リード
スイッチ5dが図9の破線領域bでオン動作して電機子
コイル3dに電流を流し始める。また、可動子1の後端
側では、逆に界磁永久磁石2aが電機子コイル3aを通
過した後でもリードスイッチ5aが直ちにオフとならず
、図9の破線領域cでオンの状態を保持して電機子コイ
ル3aに電流を流し続ける。この結果、可動子1の永久
磁石2a〜2eと対向し合わない電機子コイルにまで無
駄な電力が供給されてしまうことになる。
【0027】かかる点、図8で述べたように、可動子1
の前後端に界磁永久磁石2a, 2eの漏れ磁束を打ち
消すように逆極性の補正用永久磁石18(補正用永久磁
石の磁束分布を図9に点線sで表す)を設置することに
より、磁束分布は図9の太線で示すように両端に並ぶ界
磁永久磁石2a, 2eからはみ出す裾広がりがなくな
り、したがってリードスイッチの動作は図9の実線で表
すようになる。 つまり、リードスイッチ5は界磁永久磁石2a, 2e
との相対的位置が僅かでも離れるていればオフとなるの
で、可動子1との対向位置から外れた電機子コイル3に
無駄な電力を供給することが回避される。
【0028】実施例4:図10,図11は本発明の請求
項5に対応する実施例を示すものである。すなわち、可
動子1の前後端部には、実施例3で述べた補正用永久磁
石18を設置する代わりに、ヨーク17の前後端を延長
してL字形に形成したヨーク磁極17a が界磁永久磁
石2a, 2eに接近して配備されている。このヨーク
磁極17a は界磁永久磁石2a, 2eでS極に磁化
されており、界磁永久磁石2a, 2e(空間側磁極面
の極性はN極)の漏れ磁束は、リードスイッチ5の方へ
向かわずにそのままUターンして前記のヨーク磁極17
a に吸収される。したがって磁束分布,およびリード
スイッチの動作は図11の実線で表すようになり、永久
磁石2a,2eとリードスイッチ5との相対位置が僅か
でも離れると、実施例3で述べたと同様にリードスイッ
チ5はオフとなる。これにより、界磁永久磁石2a〜2
eと対向する電機子コイルにのみ電力が供給され、それ
以外の電機子コイルに無駄な電力が供給されることがな
くる。
【0029】
【発明の効果】本発明による可動界磁型リニアモータは
、以上説明したように構成されているので、次記の効果
を奏する。すなわち、固定子側の各電機子コイルを個々
にリードスイッチを介して電力給電線に接続するととも
に、該リードスイッチを可動子の移動に合わせて可動子
に搭載した永久磁石の磁力により開閉して電機子コイル
の給電制御を行うようにしたので、
【0030】(1)従来のブラシ付き整流機構が不要と
なり、ブラシ付き整流方式で問題となっていた可動子の
走行に伴う火花発生,騒音が解消できる。
【0031】(2)可動子側の界磁永久磁石と対向し合
う固定子側の電機子コイルにのみ電力を供給し、それ以
外の電機子コイルに対応するリードスイッチをオフにし
て通電をカットし、無駄な電力消費を抑えてリニアモー
タの効率向上が図れる。
【0032】(3)また、3線式の電力給電線に電機子
コイルを3相結線した上で、界磁永久磁石の磁極位置検
出手段,3相バイポーラ方式のモータドライバを組合わ
せることでリニアモータを3相バイポーラ方式で運転し
たり、あるいは電力給電線を3相交流電源に接続してリ
ニアモータを3相交流同期方式で運転することもできる
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例1の構成を示すリニアモータ全
体の模式図
【図2】図1の電源回路図
【図3】図1の動作を説明するタイミンイングチャート
【図4】図1の要部組立構造図
【図5】本発明の実施例2の構成を示すリードスイッチ
と可動子との相関配置図
【図6】図5の平面図
【図7】図5の応用実施例を示すリードスイッチと可動
子との相関配置図
【図8】本発明の実施例3の構成を示す模式図
【図9】
図8の磁束分布,およびリードスイッチの動作を表す図
【図10】本発明の実施例4の構成を示す模式図
【図1
1】図10の磁束分布,およびリードスイッチの動作を
表す図
【符号の説明】
1    可動子台車 2    界磁永久磁石 3    電機子コイル 4    電力給電線 5    リードスイッチ 6    モータドライバIC 7    磁極位置検出部 14    励磁ヨーク 17    ヨーク 17a   ヨークの磁極 18    補正用永久磁石

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】可動子の移動経路に沿って電機子コイルを
    配列した固定子と、前記電機子コイルに対向する界磁永
    久磁石を装備した可動子との組合わせからなる可動界磁
    型リニアモータにおいて、固定子側の各電機子コイルを
    個々にリードスイッチを介して電力給電線に接続すると
    ともに、該リードスイッチを可動子の移動に合わせて可
    動子に搭載した界磁永久磁石の磁力により開閉して電機
    子コイルの給電制御を行うことを特徴とする可動界磁型
    リニアモータ。
  2. 【請求項2】請求項1に記載の可動界磁型リニアモータ
    において、電力給電線を3線式として該電力給電線にリ
    ードスイッチを介して電機子コイルを3相結線し、かつ
    可動子の磁極位置検出手段,および3相バイポーラ方式
    のモータドライバと組合わせ、リニアモータを3相バイ
    ポーラ方式で運転することを特徴とする可動界磁型リニ
    アモータ。
  3. 【請求項3】請求項1に記載の可動界磁型リニアモータ
    において、電力給電線を3相交流電源に接続した3線式
    として該電力給電線にリードスイッチを介して電機子コ
    イルを3相結線し、かつ固定子側に配備のリードスイッ
    チに対向して可動子側には、界磁永久磁石の全数長に相
    応した長さ寸法の励磁ヨークを付設し、リニアモータを
    3相交流同期方式で運転することを特徴とする可動界磁
    型リニアモータ。
  4. 【請求項4】請求項1に記載の可動界磁型リニアモータ
    において、可動子の前後両端に並ぶ界磁永久磁石と並置
    して、その前後位置に界磁永久磁石の漏れ磁束を打ち消
    す逆極性の補正用永久磁石を配備したことを特徴とする
    可動界磁型リニアモータ。
  5. 【請求項5】請求項1に記載の可動界磁型リニアモータ
    において、可動子の前後両端に並ぶ永久磁石と並置して
    、その前後位置に界磁永久磁石の漏れ磁束を吸収するヨ
    ークの磁極を配備したことを特徴とする可動界磁型リニ
    アモータ。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006191093A (ja) * 2004-12-29 2006-07-20 Asml Netherlands Bv リソグラフィ装置およびアクチュエータ
JP2007116815A (ja) * 2005-10-19 2007-05-10 Sumitomo Heavy Ind Ltd リニアモータ
JP2011200029A (ja) * 2010-03-19 2011-10-06 Yaskawa Electric Corp リニアモータおよび送り装置
JP2011200028A (ja) * 2010-03-19 2011-10-06 Yaskawa Electric Corp リニアモータおよびそれを用いたテーブル送り装置
JP2014195342A (ja) * 2013-03-28 2014-10-09 Ebara Corp ステージ装置及び電子線応用装置
CN105391269A (zh) * 2015-12-16 2016-03-09 优丫优科技股份有限公司 一种新型的永磁直线步进电机

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006191093A (ja) * 2004-12-29 2006-07-20 Asml Netherlands Bv リソグラフィ装置およびアクチュエータ
JP4528260B2 (ja) * 2004-12-29 2010-08-18 エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. リソグラフィ装置およびアクチュエータ
JP2007116815A (ja) * 2005-10-19 2007-05-10 Sumitomo Heavy Ind Ltd リニアモータ
JP2011200029A (ja) * 2010-03-19 2011-10-06 Yaskawa Electric Corp リニアモータおよび送り装置
JP2011200028A (ja) * 2010-03-19 2011-10-06 Yaskawa Electric Corp リニアモータおよびそれを用いたテーブル送り装置
JP2014195342A (ja) * 2013-03-28 2014-10-09 Ebara Corp ステージ装置及び電子線応用装置
CN105391269A (zh) * 2015-12-16 2016-03-09 优丫优科技股份有限公司 一种新型的永磁直线步进电机

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