JP2001073231A - 炭素繊維質物製造装置、炭素繊維質物の製造方法及び炭素繊維質物付着防止装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 縦型炉芯管内での閉塞事故を起こすことなく
長期間にわたる炭素繊維質物の連続生産可能な炭素繊維
質物製造装置及びその装置により製造された炭素繊維質
物製造装置、炭素繊維質物の製法及び炭素繊維質物付着
防止装置の提供。 【解決手段】 縦型炉芯管内に、均一部で形成された炭
素繊維質物を吸引収集する上方開口部を有する排出管
を、挿入配置して成る炭素繊維質物製造装置、その装置
を使用する炭素繊維質物、特にカーボンナノファイバー
及び／又はカーボンナノチューブの製造方法、及び前記
縦型炉心管の内壁に炭素質物の付着を防止す装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は炭素繊維質物製造
装置、炭素繊維質物の製造方法及び炭素繊維質物付着防
止装置に関し、さらに詳しくいうと、縦型反応管内が閉
塞し難い構造を備えて成る炭素繊維質物製造装置、この
炭素繊維質物製造装置を利用して炭素繊維質物を製造す
る方法、及び縦型反応管の内壁に炭素質物の付着を防止
する炭素繊維質物付着防止装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、気相成長炭素繊維を製造する装置
として縦型炉芯管を有する製造装置が知られている。

【０００３】この製造装置は、縦型炉芯管の上部に、キ
ャリヤーガス、触媒となる金属を含有する触媒金属源お
よび炭素源となる炭化水素をガス状にして縦型炉芯管内
に導入する原料供給手段と、前記原料供給手段により供
給されるガスを整流して前記縦型炉芯管内を下降流通さ
せるために設けられたガス整流手段と、前記縦型炉芯管
を囲繞するように配置され、前記縦型炉芯管の内部を加
熱する加熱手段とを有する。

【０００４】従来のこのような製造装置にあっては、加
熱手段で加熱されている縦型炉芯管内に触媒金属源のガ
スと炭化水素のガスとがキャリヤーガスと共に導入され
る。導入されたガスはガス整流手段により整流されて縦
型炉芯管内を流通する。加熱された炉芯管内で炭素繊維
が生成する。

【０００５】炉芯管内で炭素繊維が生成する機構につい
ては、いくつかのメカニズムが提案されていて、一つに
は、縦型炉心管内に導入された触媒金属源となる化合物
が分解して触媒金属が生成すると共に炭素源も分解し、
炭素繊維が生成するとする提案、又別に、縦型炉心管内
で触媒金属源が分解して溶融金属液滴が生成し、この溶
融金属液滴に炭素源が接触することにより炭素源が分解
し、分解した炭素が金属を芯にして長さ方向に成長して
炭素繊維が生成するとする提案等がある。

【０００６】炭素繊維が生成するメカニズムがどのよう
であれ、生成する炭素繊維が、整流となるように調整さ
れた気流に乗って縦型炉芯管内を下降する。下降する炭
素繊維は、キャリヤーガスと共に縦型炉芯管の下端開口
部を経由して炭素繊維収集手段（炭素繊維を収集する機
械・器具・装置であって、例えば炭素繊維収集槽、収集
箱、捕集箱などと称されている。）に落下する。

【０００７】しかしながら、このような構造を有する製
造装置においては以下のような問題があった。

【０００８】すなわち、縦型炉芯管内では気相中で生成
する溶融金属を核にして炭素繊維が気相で生成し、また
気相で炭素繊維を生成させるのが望ましいのであるが、
縦型炉芯管の内壁に繊維状物が付着するという問題であ
る。

【０００９】縦型炉心管の内壁に繊維状物が付着する原
因はいくつか考えられ、例えば、触媒金属源が分解して
生成する溶融金属が縦型炉心管の内壁に付着し、内壁に
付着した溶融金属を核にしていわば基板成長炭素繊維等
の繊維状物が生成するとする説、触媒金属源が縦型炉心
管の内壁に付着し、縦型炉心管の内壁面上で触媒金属源
が分解して金属が生成し、その金属を核にして前記基板
成長炭素繊維等の繊維状物が生成するとする説、縦型炉
心管内の気相で生成した炭素繊維が縦型炉心管の内壁に
付着して、そのまま長さ成長あるいは太さ成長をすると
する説、あるいはこれらの組み合わせであるとする説な
どが考えられている。

【００１０】いずれの説によるにしても、一旦繊維状物
が管壁面に形成されると、上部から落下してくる気相成
長炭素繊維がその上に堆積し、太さ及び長さの不均一な
繊維状物が益々多く生成し、ついには反応管が閉塞して
しまう。反応管が閉塞すると、気相成長炭素繊維の製造
を停止して、閉塞した反応管内の清掃作業を行わねばな
らなくなり、これでは工業的な操業を実現することがで
きなくなる。

【００１１】さらに、管壁面に付着した炭素繊維及びそ
れに堆積した炭素繊維には、熱分解炭素層が形成され、
直径が大きくなると共に物性の劣る炭素繊維となる。

【００１２】なおここで、気相成長炭素繊維は、気相で
成長した炭素繊維と言う意味合いであり、炭素格子面が
Ｃ軸を繊維軸に直交させて年輪状に積層して成る繊維で
あると言える。炭素繊維の中でも、触媒金属粒子が溶融
しない程の低温度で製造された炭素繊維は、魚鱗状態、
円錐積層状態或いはリボン状態に成った繊維は、通常、
気相成長炭素繊維とは称されていない。また、炭素で形
成された繊維状物としてカーボンナノチューブ及びカー
ボンナノファイバーと称されるものがある。これらカー
ボンナノチューブ及びカーボンナノファイバーは、それ
らの直径及び長さがナノオーダであり、その形態若しく
は構造から見ると、炭素格子面が繊維軸をＣ軸として年
輪状に積層して成る構造を有する繊維、並びに魚鱗状
態、円錐積層状態若しくはリボン状態に成った繊維を含
む。

【００１３】前述した問題点を解消するために、縦型炉
心管の内壁に触媒金属源、溶融金属、あるいは炭素繊維
が付着しないように管壁に沿ってキャリヤーガスを流通
させるという工夫がなされた。しかしながら、管壁で繊
維状物が生成するのをある程度防止することができるに
はできたが、未だ完全であるとは言い難かった。

【００１４】そこで、管壁で発生する繊維状物を除去す
る手段として、例えば、炉内に耐熱セラミックスの球を
入れて炉を回転させる機構、或いは、間欠的に炉壁に付
着した繊維状物を除去するための、ヘラや熊手のような
形状をした各種の掻き落とし手段等が提案されている。

【００１５】耐熱セラミックスの球を用いる手段におい
ては、縦型炉芯管中を流通するガスの流線が乱されるの
みならず、この耐熱セラミックスの球に付着した繊維が
太さ成長してしまうことにより気相成長炭素繊維の特性
が劣化する。つまり、結晶性が高くて中空形状をした気
相成長炭素繊維を効率よく製造することができなくなる
という問題がある。

【００１６】前記掻き落とし手段を用いる場合、掻き落
とし手段を間欠的に動作実行させるので、炉壁に付着し
た繊維が太さ成長してしまい、また気相成長炭素繊維が
生成する部位に掻き落とし手段を常駐させると、ガスの
流線が乱されてしまってかえって壁面への繊維状物の付
着量を増加させてしまうという新たな問題がある。

【００１７】したがって、従来の製造装置においては、
縦型炉芯管の内部に付着する炭素繊維等を除去する操作
を、定期的に、例えば数分毎に実施する必要があり、し
たがって、その度に製造装置を停止させなければならな
いから、炭素繊維の効率的な連続製造に支障を来してい
た。

【００１８】流動気相成長炭素繊維の中でも、熱分解炭
素層を有していないカーボンナノファイバー、カーボン
ナノチューブは、特に黒鉛化しなくても黒鉛化度が比較
的に高く、導電性に優れているのであるが、太さ成長を
せずに直径が小さいだけにその生産性が低かったので、
生産性の向上が望まれていた。

【００１９】

【発明が解決しようとする課題】この発明の目的は、縦
型炉芯管の下方が炭素繊維、特にカーボンナノファイバ
ー、カーボンナノチューブ等の炭素繊維質物で閉塞され
ることがなく、したがって、効率的に炭素繊維質物の連
続生産を実現することができ、しかも装置全体が大型化
することのない炭素繊維質物製造装置を提供することに
ある。

【００２０】この発明の目的は、縦型炉芯管の閉塞現象
が極力低減されることにより長期連続運転の可能な炭素
繊維質物製造装置を提供することにある。

【００２１】この発明の目的は、炭素繊維質物、とりわ
け流動気相成長炭素繊維よりもさらに径の小さなカーボ
ンナノファイバー、カーボンナノチューブを、連続的に
効率良く製造する方法を提供することにある。

【００２２】この発明の他の目的は、縦型炉心管を用い
て炭素繊維質物例えば流動気相成長炭素繊維、カーボン
ナノファイバー、カーボンナノチューブを製造する際
に、縦型炉心管の内壁に炭素繊維質物が付着するのを防
止する炭素繊維質物付着防止装置を提供することにあ
る。

【００２３】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
のこの発明の手段は、縦型炉心管の上部から供給された
触媒金属源及び炭素源ガスを熱分解することにより炭素
繊維質物を生成させる反応領域を有する縦型反応手段
と、前記反応領域で生成した炭素繊維質物を開口部から
取り込んで縦型反応手段外に排出する排出管を有する排
出手段と、前記縦型炉心管の下部から前記排出管の開口
部へと流通し、前記炭素繊維質物と共に前記排出管内に
流通する案内ガスを供給する案内ガス供給手段とを備え
て成ることを特徴とする炭素繊維質物製造装置であり、
縦型炉心手段における反応領域で触媒金属源と炭素源ガ
スとを熱分解することにより形成された炭素繊維質物
を、案内ガス供給手段により供給された案内ガスと共
に、排出手段における排出管の開口部から吸引し、収集
することを特徴とする炭素繊維質物の製造方法であ
り、、さらに他の発明は、縦型炉心管の上部から供給さ
れた触媒金属源及び炭素源ガスを熱分解することにより
炭素繊維質物を生成させる反応領域を有する縦型反応手
段におけるその反応領域に臨んで配置され、前記反応領
域で生成した炭素繊維質物を開口部から取り込んで縦型
反応手段外に排出する排出管を有する排出手段と、前記
縦型反応手段の下部から前記排出管の開口部へと流通
し、前記炭素繊維質物と共に前記排出管内に流通する案
内ガスを供給する案内ガス供給手段とを備えて成ること
を特徴とする炭素繊維質物付着防止装置である。

【００２４】

【発明の実施の形態】この発明の実施の形態における炭
素繊維質物製造装置は、縦型反応手段における縦型炉芯
管の上部から供給された触媒金属源と炭素源ガスとを縦
型炉芯管における反応領域で分解、反応させて形成され
る炭素繊維質物、生成した金属触媒、未反応の炭素源等
を、この炭素繊維質物が反応領域の管内壁に付着する前
に、排出管の開口部内へ、案内ガス流通手段により供給
される案内ガスと共に、吸引し、これによって縦型炉芯
管内壁における炭素繊維質物の堆積、及びこれによる管
閉塞を防止するという作用を有する。

【００２５】このような作用を有する炭素繊維質物製造
装置の一例を図１に示す。なお、図１に示される炭素繊
維質物製造装置は一例であって、この発明はこの図１に
示される装置に限定されるものではない。

【００２６】図１において、１は気相成長炭素繊維製造
装置、２は炭素源及び触媒金属源例えば有機金属化合物
の混合物を収容する原料タンク、３は原料タンク内の混
合物を吸引吐出し、その流量を調節するポンプ、４は前
記混合物を所定の温度に余熱する余熱器、５は予熱され
た混合物をさらに加熱して気化させる加熱気化器、６は
気化した混合物と共に流通させるキャリヤーガスの流量
を調整する第１マスフローコントローラ、７は原料ガス
供給ノズル内を流通する混合ガスを冷却するために原料
ガス供給ノズルの周囲に供給される第１キャリヤーガス
の流量を調整する第２マスフローコントローラ、８はキ
ャリヤーガスの流量を調整する第３マスフローコントロ
ーラ、９は加熱された混合物のガスを所定温度に維持す
るヒートチューブ、１０は縦型炉芯管の頂部から内部に
混合ガスを導入する円筒管状の原料ガス供給ノズル、１
１は縦型炉芯管、１２は第１キャリヤーガスを縦型炉芯
管内に導入するところの、前記原料ガス供給ノズルを囲
繞する外筒管、１２Ａは前記外筒管１２と原料ガス供給
ノズルとの間に介装されて、冷却用ガスを導出する内筒
管、１３は冷却ガス供給ノズル、１３Ａは前記内筒管１
２Ａの先端から導出された冷却ガスを縦型炉心管１１の
外に排出する冷却ガス排出管、１４はキャリヤーガス供
給ノズル、１４Ａは前記キャリヤーガス供給ノズルの先
端部に装着されたガス整流手段、１５は加熱手段である
電気炉、１８は原料ガス供給ノズルにおける原料ガス供
給口、１９は分岐管、２０は配管、２１はポンプから吐
出された混合物を気化器に送り出す原料供給管、２２は
配管、２３は配管、３０は排出手段、３１は排出管、３
１Ａは排出管３１における上方開口部、３２は駆動気体
噴出ノズル、３３はエジェクター管、４０は案内ガス流
通手段、４１はガス均一供給槽、４２は案内ガス供給
管、４３はフロー調整部である。

【００２７】以下、この図１を参考にしてこの発明の好
適な態様についてさらに説明する。

【００２８】−縦型反応手段− このような作用を発揮させるための縦型反応手段は、好
適には、軸線に直交する方向における内部断面形状が軸
線方向に沿って同じに形成されてなる、例えば円筒状或
いは角筒状の縦型炉芯管を有する。

【００２９】この縦型炉芯管は、キャリヤーガスと共に
供給された触媒金属源と炭素源ガスとを熱分解させて反
応領域で炭素繊維質物を形成させ、かつ成長させる反応
管としての機能を有する。

【００３０】ここで、触媒金属源は、熱分解により触媒
となる金属を発生させる物質乃至化合物であれば特に制
限がない。使用可能な触媒金属源としては、特開昭６０
−５４９９８号公報の第３頁左上欄第９行〜同頁右上欄
最下行に記載の有機遷移金属化合物、特開平９−３２４
３２５号公報の段落番号［００５９］に記載された有機
遷移金属化合物、特開平９−７８３６０号公報の段落番
号［００４９］に記載された有機遷移金属化合物等を挙
げることができる。

【００３１】好ましい触媒金属源としては、例えばフェ
ロセン等の有機金属化合物、あるいは鉄カルボニル等の
金属カルボニルを挙げることができる。触媒金属源は、
一種単独で使用することもできるし、また複数種を併用
することもできる。

【００３２】また、触媒金属源は助触媒と共に使用する
こともできる。そのような助触媒として、前記触媒金属
源から発生する触媒金属と相互作用して炭素繊維質物例
えば気相成長炭素繊維、特にカーボンナノファイバー、
カーボンナノチューブの生成を促進することのできるも
のであれば良く、特開平９−７８３６０号公報の段落番
号［００５１］、並びに特開平９−３２４３２５号公報
の段落番号［００６１］に記載された含硫黄複素環式化
合物及び硫黄化合物を制限なく使用することができる。
好適な助触媒として、硫黄化合物特にチオフェン及び硫
化水素等を挙げることができる。

【００３３】炭素源ガスは、熱分解により炭素を発生さ
せて炭素繊維質物例えば気相成長炭素繊維、特にカーボ
ンナノファイバー、カーボンナノチューブを生成させる
ことができる化合物であれば特に制限がない。使用可能
な炭素源としては、特公昭６０−５４９９８号公報の第
２頁左下欄第４行〜同頁右下欄第１０行に記載された炭
素化合物、特開平９−３２４３２５号公報の段落番号
［００６０］に記載された有機化合物、特開平９−７８
３６０号公報の段落番号［００５０］に記載された有機
化合物等を挙げることができる。各種の炭素源の中で好
適例としてベンゼン、トルエン等の芳香族炭化水素、ヘ
キサン、プロパン、エタン、メタン等の脂肪族炭化水
素、シクロヘキサン等の脂環族炭化水素等を挙げること
ができる。なお、炭素源はその一種単独を使用すること
もできるし、また複数種を併用することもできる。

【００３４】縦型炉芯管内に投入される炭素源ガス及び
触媒金属源のガスの全混合ガスに占める割合は、好まし
くは、各々０〜４０％及び０．０１〜４０％、更に好ま
しくは各々０．５〜１０％及び０．０５〜１０％であ
る。ここで、炭素源ガスの濃度が０でも良いのは、触媒
金属源である例えば有機金属化合物がその分子中に十分
な炭素を含有している場合には、必ずしも炭素源ガスを
必要としないという意味である。したがって、この発明
においては、炭素源と触媒金属源とが同一化合物である
こともある。

【００３５】また、炭素繊維質物が生成する時に太さ成
長すると熱分解炭素が多く含有されることから、熱分解
炭素の析出のない、細かくて黒鉛化度の高い気相成長炭
素繊維あるいはこの気相成長炭素繊維よりも径の小さな
カーボンナノファイバー及び／又はカーボンナノチュー
ブを得るためには、炭素源の濃度を小さくし、触媒金属
源の濃度を大きくするのが良い。

【００３６】前記キャリヤーガスも、炭素繊維質物例え
ば気相成長炭素繊維、炭素繊維あるいはカーボンナノフ
ァイバー、カーボンナノチューブ等の製造に使用される
公知のガスを適宜に採用することができ、好適例として
水素を挙げることができる。

【００３７】さらにまた、特開昭６０−５４９９８号公
報に記載されたところの、キャリヤーガス、有機金属化
合物及び炭素源ガスを使用して、この発明に係る炭素繊
維質物製造装置で、炭素繊維質物を製造することができ
る。

【００３８】縦型炉芯管の上部には、キャリヤーガス、
触媒金属源及び炭素源ガスを縦型炉芯管の内部に供給す
る原料供給手段が設けられる。この前記原料供給手段
は、縦型炉芯管内にその上部からキャリヤーガスと共に
触媒金属源例えば有機金属化合物のガスと炭素源ガスと
を導入することができる限りその構造につき制限がな
い。好適な原料供給手段は、縦型炉芯管の頂部に取り付
けられ、炉芯管の内壁に沿ってキャリヤーガスがエアー
カーテンのように流通し、炭素源ガス及び触媒金属源を
キャリヤーガスと共に前記エアーカーテンで囲繞された
空間を流通するように仕組まれた構造を有する二重管ノ
ズルを備える装置であるのが好ましい。

【００３９】この原料供給手段の具体例が図１に示され
る。図１においては、原料供給手段は、第１キャリヤー
ガスを縦型炉芯管内に導入するところの、炭素源ガス及
び触媒金属源の混合物を縦型炉芯管１１の頭頂部近傍に
供給する前記原料ガス供給ノズル１０を囲繞する外筒管
１２、原料ガス供給ノズル１０と前記外筒管１２との間
に前記原料ガス供給ノズル１０を囲繞するように配置さ
れ、前記原料ガス供給ノズル１０内を流通する原料ガス
が過熱により分解しないようにこの原料ガスを冷却する
冷却ガスを流通させる内筒管１２Ａ、この内筒管１２Ａ
内に冷却ガスを送り込む冷却ガス供給ノズル１３、内筒
管１２Ａの先端開口部から外筒管１２内に供給された冷
却ガスを縦型炉芯管１１の外に排出する冷却ガス排出管
１３Ａ、縦型炉芯管の内壁に沿って流通するようにキャ
リヤーガスを噴出するキャリヤーガス供給ノズル１４、
このキャリヤーガス供給ノズル１４の先端部に、縦型炉
芯管１１の内壁に沿ったキャリヤーガス流を形成するた
めに形成されたところの、例えばセラミックス製ハニカ
ムなどのガス整流手段１４Ａを備える成る二重管ノズル
である。

【００４０】この二重管ノズルにおいては、原料ガス供
給ノズル１０を囲繞する外筒管１２内をキャリヤーガス
が流通することにより、原料ガス供給ノズル１０から出
た原料ガスが原料ガス供給口１８から出射するまでの間
に、原料ガスが冷却されて原料ガスが分解してしまうの
が防止される。つまり、この外筒管１２はその内部に冷
却ガスを流通させることにより原料ガス供給ノズル１０
から流れ出る原料ガスを冷却する作用が達成される。

【００４１】この発明に係る好適な炭素繊維質物製造装
置においては、縦型炉芯管の頂部から原料供給手段によ
りキャリヤーガスと共に供給された炭素源及び触媒金属
源例えば有機金属化合物のガスを、縦型炉芯管内でピス
トンフロートにして、流通乃至流下させるガス整流手段
が設けられる。このガス整流手段としては、特開平９−
３２４３２５号公報における段落番号［００８９］に記
載の第１整流手段、及び［００９２］と［００９６］と
に記載の整流筒、並びに特開平９−７８３６０号公報に
おける段落番号［００２３］に記載の原料ガス用整流手
段、［００３１］に記載の第１整流手段、［００４０］
に記載の第２整流手段、［００７９］に記載のハニカム
板等を挙げることができる。

【００４２】この縦型反応手段における縦型炉芯管の内
部が、炭素源ガスと触媒金属源、特に有機金属化合物と
の分解反応及び炭素繊維質物を生成させる反応を行わせ
るために、加熱手段により加熱される。

【００４３】加熱手段としては、前記分解反応及び生成
反応を生じさせるに足る十分な温度に、縦型炉芯管内を
加熱することのできる手段が採用される。もっとも、ど
の様な加熱手段を採用するにしても、縦型炉芯管の内部
における頂部から下端部までを、均一に加熱することは
非常に困難である。というのは、例えば縦型炉芯管の一
端から他端までを加熱手段で被ったとしても、縦型炉芯
管の端部においては放熱の比面積が縦型炉芯管の中央部
よりも大きいからである。

【００４４】例えば、縦型炉芯管の下端より所定の距離
にある位置から縦型炉芯管の上部より所定の距離にある
位置までの、縦型炉芯管の外周部に、加熱手段として電
熱ヒータを巻回してあるとする。換言すると、このよう
な通常の縦型炉芯管においては、その両端部における所
定領域に、加熱手段が設けられていない。しかも、縦型
炉芯管を加熱する加熱手段である電熱ヒータは、複数の
ブロックに分割されていることが、多い。その結果とし
て、縦型炉芯管の内部においては、縦型炉芯管の所定の
領域においては所定の温度にほぼ均一に加熱されている
反応領域（均熱領域とも称される。）が形成され、その
均熱領域から下流側に向かって温度が徐々に低下してい
く。この温度が徐々に低下していく領域を、温度低下部
あるいは温度低下領域とも称される。

【００４５】この発明に係る炭素繊維質物製造装置によ
って、炭素繊維質物として、流動気相成長炭素繊維、及
びこれよりもさらに径の小さなカーボンナノファイバー
及び／又はカーボンナノチューブを製造するのであれ
ば、均熱領域における加熱温度として、流動気相成長炭
素繊維を製造する際の公知の加熱温度を採用することが
できる。

【００４６】また、炭素繊維質物の中でもカーボンナノ
ファイバー及び／又はカーボンナノチューブは、触媒金
属源が分解して生成する触媒金属の粒子が溶融液滴状態
であるときに生成する傾向がある。なお、触媒金属の粒
子が固体粒子であるときには魚骨状（あるいは円錐積層
状）の炭素繊維質物が生成することが観察されている。

【００４７】したがって、金属固体粒子の融点は金属固
体粒子の径が小さい程低下するから、形成される金属固
体粒子の直径に応じて加熱温度が決定される。使用され
る触媒金属源の種類、製造しようとする炭素繊維質物の
直径等に応じた融点よりも高い加熱温度範囲が決定され
るであろうから、一律に加熱温度を規定するわけにはい
かないが、多くの場合、反応領域における加熱温度は、
９００〜１３００℃、特に１０００〜１２００℃が好ま
しいとされる。また、炭素源の分解温度と加熱温度との
差が大きすぎると、反応領域で生成した炭素繊維質物の
表面に熱分解炭素が沈着乃至積層し、これによって径の
大きな炭素繊維質物が形成されてしまうから、特に直径
が小さいカーボンナノファイバー及び／又はカーボンナ
ノチューブ、例えば直径が１０ｎｍ以下の炭素繊維質物
を製造しようとするときには、炭素源の分解温度よりも
３００〜５００℃高い温度の加熱温度であることが、望
ましい。要するに触媒金属と炭素源とが接触したときに
炭素が生成するに十分な温度であればよい。

【００４８】なお、一般に加熱温度が低いと、前述した
ように、魚骨構造（例えば炭素格子面が円錐状に積層
し、軸線に沿った断面が魚骨状に観察される構造を挙げ
ることができる。）を有する炭素物質、あるいは炭素格
子面が繊維軸に直交して積層したリボン状の炭素物質が
得られてしまう。

【００４９】縦型炉芯管、加熱手段及び原料供給手段を
備えた反応炉として、特開平９−７８３６０号公報、特
開平９−２２９９１８号公報及び特開平９−３２４３２
５号公報等における実施例に記載された反応炉を好適に
採用することができる。

【００５０】−排出手段−この排出手段は、前記縦型反
応手段における縦型炉芯管中の反応領域で形成された炭
素繊維質物を、排出ガス及び案内ガスと共に、開口部か
ら取り込んで縦型炉芯管外に排出する排出管を備える。
排出管を備えた排出手段の一具体例が図１に示される。
図１において、排出管３１の上部が縦型炉芯管１１内に
挿入され、縦型炉芯管１１における反応領域近傍に排出
管３１の開口部が臨むように排出管３１が位置決めさ
れ、排出管３１の他端部は図示しない排気装置及び収集
装置に結合される。

【００５１】この排出管は、縦型炉芯管中の反応領域で
形成された炭素繊維質物が管内壁に付着する以前に、生
成した炭素繊維質物を開口部から吸い込むことができる
という機能が発揮されるならば、その開口部の位置は特
に制限がなく、例えば、(1)図２に示されるように、縦
型炉芯管１１の下端部に排出管３１の上方開口部３１Ａ
が臨むように排出管３１を配置することもできるし、
(2)反応領域に臨んではいないが、反応領域で生成した
炭素繊維質物例えばカーボンナノファイバー及び／又は
カーボンナノチューブが温度低下領域における管壁に到
達する前にその炭素繊維質物を取り込むことのできる温
度低下領域における適宜の位置に排出管の上方開口部が
あるように排出管を配置することもできるが、(3)縦型
炉芯管の内部に排出管を挿入し、反応領域に臨んで上方
開口部が位置するように排出管を配置することもでき
る。温度低下領域に上方開口部が位置するように排出管
を縦型炉芯管内に挿入する場合、均熱温度よりも２００
℃低い温度領域、好ましくは１００℃低い温度領域に上
方開口部が位置するように排出管を配置するのが良い。

【００５２】排出管の位置としては、前記(3)の場合が
好ましい。この場合、原料ガスが縦型炉心管の内壁に到
達する可能性が低くなる。

【００５３】排出管の中心軸線が縦型炉芯管の中心軸線
と一致するように、排出管を縦型炉芯管に対して配置す
ることが、好ましい。また、排出管の中心軸線に直交す
る平面における断面形状は、縦型炉芯管の中心軸線に直
交する平面における断面形状と同形であるのが好まし
い。通常の場合、縦型炉芯管は円形の管体であり、排出
管も円形の管体である。

【００５４】この場合に、排出管が縦型炉芯管内に挿入
されるとき、排出管における上方開口部以外の挿入部位
（すなわち、パイプ部分）の内径が縦型炉芯管の内径の
１／１０〜３／４、好ましくは１／８〜２／３、最も好
ましくは１／４〜１／２であるのが、望ましい。このよ
うな比率にある排出管であると、縦型炉心管の内壁にお
ける気流線速度が好適になって、縦型炉心管内での気流
が乱されなくて済む。

【００５５】排出管における前記上方開口部は、排出管
が直管の端部開口部のように、排出管の中央部分の内径
と上方開口部の内径とが同じであってもよいのである
が、効率良く炭素繊維質物を上方開口部から排出管内に
吸い込むために、上方開口部における排出管中央部から
上方開口部の端縁に向かって広がる形状を、漏斗状に形
成するのが好ましい。ここで、漏斗状と称するのは、排
出管の中央部内径よりも開口部端縁部の内径が大きく形
成された形状を意味し、例えば図３に示されるように円
錐形３１Ｂ、図４に示すようにラッパ形３１Ｃ、図５に
示すように椀形３１Ｄ等を挙げることができる。つま
り、上方開口部の端縁から排出管の中央部に至る線が直
線（このときは円錐形になる。）であっても、曲線であ
ってもよいのである。

【００５６】排出管の上方開口部の端縁から排出管の中
央部に至る線が曲線である場合の好ましい形状は、風洞
用収縮ノズルとして知られている形状である。すなわち
上流の広い処から来る流れを下流で絞る際に、収縮変化
部において断面内の流速を定常、平行で一様な分布と
し、気流の乱れの強さを少なくする形状である。（例え
ば、小林陵二「風洞用収縮ノズルの設計について」；東
北大学高速力学研究所報告，第４６巻（１９８１），第
４００号，Ｐ１７〜Ｐ３７の第２図・第３図・第４図・
第９図中にＲ／Ｄ１と示される曲線形状である。）ま
た、大きい口径のガス配管を小さい口径のガス配管に溶
接する際に使用されるレジューサーの形状も同様にスム
ーズなガス流速の変化を起こさせることができるので、
好ましい形状といえる。

【００５７】また、開口端縁部の外径は、先に記載した
排出管直管部内径と炉芯管内径との比率関係に、前記開
口端縁部内径と排出管直管部内径との比率関係に加え、
更に排出管開口端縁部の肉厚を加えることによって決定
される（肉厚は通常１〜１０ｍｍ程度）。しかし、肉厚
が特別厚い場合や開口端縁部が特殊な形状の場合、更に
は炉芯管内に排出管が複数本設けられる様な場合におい
ても、案内ガスを流すスペースを得る為、開口端縁部外
側と炉芯管内壁との間隙は、最も狭い処で５ｍｍ以上あ
るのが好ましい。

【００５８】この排出手段は、前記排出管内のガスを排
出する排気装置を備えると共に、排出管内に吸い込まれ
た炭素繊維質物を収集する収集装置に結合されるのが好
ましい。

【００５９】前記排気装置としては、排出管内において
その上方開口部から案内ガスと共に生成した炭素繊維質
物を吸引搬送する気流を形成することができる機能を有
すれば良く、例えば前記排出管の上方開口部から十分に
離れた排出管の内部或いは排出管出口更には排出管出口
よりやや離れた位置に配置されたファン、及びエジェク
ター等を採用することができる。

【００６０】エジェクターは、外部から高速気流を排出
管内の気流に高速で導入し、この高速気流で排出管内の
気流を高速導搬する機能を発揮するように形成され、換
言すると、高速気流が排出管内の気流に合流する位置に
おける気圧を０〜−１００ｍｍ水柱、好ましくは−１〜
−５０ｍｍ水柱、特に好ましくは−３〜−３０ｍｍ水柱
の減圧が形成されるように構成され、例えば図１に示さ
れるように、下方開口部が内部に位置するように排出管
の下端部が挿入されたエジェクター本体と、このエジェ
クター本体の内部に挿入された高速気流導入管と、エジ
ェクター本体に、排出管と同心に、かつ排出管の下方開
口部に臨んで設けられた導出管とを備えて形成され、排
出管の下方開口部における気圧が前記範囲内にあるよう
に、排出管の内径、高速気流導入管から噴出する高速気
流の流速、導出管の内径等が設計される。

【００６１】前記収集装置は、前記排気装置がエジェク
ターであるときには、そのエジェクターよりも下流側に
設けられていてもよく、前記排気装置がファン等である
ときには、この排気装置の上流側に収集装置を設けるの
が、ファン等の保守の面から好ましい。この収集装置と
しては、微細な炭素繊維質物を収集することのできる装
置であれば種々の公知の機械・器具・装置等を採用する
ことができ、例えば、電気集塵機、バグフィルター、及
びサイクロン等のドライタイプの収集装置、並びに水も
しくは有機液体を噴霧するウェットタイプの収集装置を
挙げることができる。

【００６２】−案内ガス流通手段− この案内ガス流通手段は、排出管の下方から排出管の上
方開口部にまで案内ガスを、排出管の外周に沿って流れ
る気流例えば旋回流を形成することなく、したがって、
実質的には排出管の外周壁に沿って流通するピストンフ
ローにしてせり上げ、上方開口部の縁辺全周にわたって
均一に案内ガスを上方開口部内に供給するように形成さ
れる。この案内ガス流通手段においては、排出管の中心
軸線に直交する平面のいずれにおいても排出管の中心軸
線に実質的に平行な気流となって均一な流速で排出管の
上方開口部に向かって案内ガスを上昇流通させるフロー
調整部と、外部から導入した案内ガスを貯留するガス均
一供給槽とを備えてなる。

【００６３】案内ガス流通手段４０の一例は、図１に示
されるように、ガス均一供給槽４１と、このガス均一供
給槽４１内に案内ガスを導入する案内ガス導入管４２
と、ガス均一供給槽４１内のガスを整流しつつ排出管３
１の上方開口部３１Ａに案内ガスを案内するフロー調整
部４３とを有する。

【００６４】このガス均一供給槽４１は、排出管３１の
中心軸に直交する平面における断面が矩形であっても、
円形であってもよい。また、このガス均一供給槽４１が
円筒形状であるときには、その内径が、縦型炉心管１１
の内径の１．１〜４倍、好ましくは１．３〜３倍、特に
好ましくは１．５〜２．５倍に設計されるのが望まし
い。ガス均一供給槽４１の内径が前記範囲に設定されて
いると、排出管の上方開口部に供給される案内ガス量が
過剰になって縦型炉心管内の気流を乱すこともなく、案
内ガスを上方開口部の全周にわたって均一に供給するこ
とができる。

【００６５】また、案内ガスを上方開口部の全周にわた
って均一に供給するために、案内ガスの流量は、縦型炉
心管の上部から流れる原料ガス及びキャリヤーガスの全
流量の０．５〜５倍に調節されるのも好ましい。

【００６６】この案内ガスの量及び炉芯管を下降してく
るガス量の最適値は、炉芯管の内径、排出管の直径、及
び排出管の開口部の直径とに相互に関係するのである
が、総合的に言うと、排出管の開口部と炉芯管の内壁と
の間の案内ガスの上昇線速度が、炉芯管内を下降してく
るガスの平均下降線速度の０．１〜１０倍、好ましくは
０．３〜５倍、さらには０．５〜２倍が、案内ガスが炉
芯管内をピストン流で降下してくるガスの気流を乱さず
に、また降下するガスが排出管の開口部の外側を降下し
ないで、炉芯管の内壁への繊維付着を発生させないと言
う点で、好ましい。

【００６７】フロー調整部４３は、ガス均一供給槽４１
に案内ガスの旋回流が発生しているときには、排出管の
上方開口部に、案内ガスを排出管の中心軸に平行な上昇
気流に調整する機能を有し、また、原料ガス供給ノズル
１０と排出管の上方開口部３１Ａとの間で反応ガス流に
旋回が生じているときには、その反応ガスの旋回を打ち
消して直下流が形成されるように案内ガスを旋回させる
機能を持たせることもできる。

【００６８】ガス均一供給槽４１の内容積が十分に大き
く、また案内ガス供給管４２のガス均一供給槽４１にお
ける開口部がフロー調整部から十分に離れた位置、例え
ばガス均一供給槽４１の底面近傍にある場合に、図２に
示されるように、上方開口部３１Ａが縦型炉心管の下端
開口部近傍に位置するときは、ガス均一供給槽４１の上
部がフロー調整部４３の機能を発揮する。

【００６９】また、縦型炉心管３１の上方開口部３１Ａ
が縦型炉心管１１の内部に挿入されている場合には、縦
型炉心管１１の内壁と排出管３１の外壁との間の空間が
フロー調整部と成り得る。フロー調整部４３によってよ
り一層確かに、排出管３１の中心軸線に直交する平面の
いずれにおいても均一な上昇気流を形成するときには、
図６に示されるように、縦型炉心管１１の内壁面と排出
管３１の外周面との間に整流板４４を設けるのがよい。
この整流板４４は、図７に示されるように、排出管３１
の外周面と縦型炉心管１１の内周面との間に形成される
水平断面環状の空間内に、排出管３１の中心軸線を中心
にした放射状となるように、配設されるのがよい。

【００７０】放射状に配設する整流板４４の数として
は、通常２〜８枚である。整流板４４の配設位置として
は、上記機能が全うされる限り特に制限がなく、例え
ば、図６に示されるように、整流板４４の上端部及び下
端部が排出管３１の中間部に位置するように整流板４４
を配設してもよく、また、図８に示されるように、整流
板４４の上端が上方開口部３１Ａの端縁に一致するよう
に配設してもよい。整流板４４の長さについても、中心
軸線に直交する平面のいずれにおいても実質的に同じ流
速の上昇気流が形成されるように設計される限り、特に
制限がない。

【００７１】また、ガス均一供給槽４１内で案内ガスの
旋回流が生じているときには、その旋回流がフロー調整
部に流入しないように、図８に示されるように、整流板
４４の下方に邪魔板４５を配設するのもよい。この邪魔
板４５は、例えば、図８に示されるように、縦型炉心管
１１の内周面に設けられた、下方に傾斜する環状の板
と、排出管３１の外周面に設けられた、下方に傾斜する
環状の板との組み合わせて形成されることができる。

【００７２】この案内ガス供給手段で使用される案内ガ
スとしては、この発明の目的を達成することができる限
り、特に制限がないのであるが、反応領域において不活
性なガスが好ましい。不活性な案内ガスとしては、アル
ゴン等の希ガス及び窒素を挙げることができる。また、
反応領域に侵入しないように条件を選択することができ
るのであれば、あるいは、反応領域にたとえ侵入したと
しても爆発等の事故を起こさない低濃度であれば、キャ
リヤガスと同種のガス例えば水素ガスを使用することも
でき、場合によっては、空気又は酸素を使用することも
できる。案内ガスとして水素を採用し、キャリヤガスと
して水素を採用すると、水素ガスの回収再使用をするこ
とができるので、好ましい。

【００７３】−炭素繊維質物付着防止装置− 前記炭素繊維室物製造装置における排出手段及び案内ガ
ス供給手段の組み合わせは、この発明における炭素繊維
質物付着防止装置である。

【００７４】−炭素繊維質物製造装置の運転− この炭素質物製造装置は、例えば、以下のようにして運
転される。図１に示されるように、案内ガス導入管４２
からガス均一供給槽４１内に導入すると、ガス均一供給
槽４１内では、その容積にもよるが、通常、排出管３１
を中心とする旋回流が発生することがある。

【００７５】一方、エジェクター２３によって排出管３
１内のガスが排出管の下方開口部から排出されていく。
したがって、排出管３１の上方開口部３１Ａの外部から
内部へと気体が吸い込まれる。

【００７６】排出管３１の上方開口部３１Ａ近傍では上
方開口部３１Ａの内部に気体が吸い込まれるから、ガス
均一供給槽４１内の案内ガスが上方へと吸い上げられ
る。ガス均一供給槽４１内の案内ガスが上昇する際にフ
ロー調整部４３により、旋回流が消失して排出管３１の
中心軸線に平行な上昇気流が形成される。

【００７７】一方、縦型炉芯管１１内が電気炉１５によ
り加熱される。この場合、電気炉１５による加熱によ
り、縦型炉芯管１１の中央部が反応領域となって均一な
高温度に維持され、その上部及び下部の領域では温度が
低下している。縦型炉芯管１１の上部に設けられた原料
ガス供給ノズル１０からキャリヤガスと共に炭素源ガス
及び触媒金属源とが縦型炉芯管１１内に供給される。前
記原料ガス供給ノズル１０は反応領域に臨んで配置され
ているので、前記原料ガス供給ノズル１０から噴出した
原料ガス中の炭素源ガス及び触媒金属源は直ちに分解し
て触媒金属を核とする炭素繊維質物が反応領域で生成す
る。冷却ガス供給ノズル１３及びキャリヤーガス供給ノ
ズル１４からキャリヤーガスが縦型炉芯管１１の内壁に
沿って環状に下降流通する。したがって、反応領域で発
生した炭素繊維質物が、このキャリヤーガスに阻まれて
直ちに管壁に付着するのが、防止される。

【００７８】反応領域で形成された炭素繊維質物が落下
していき、排出管３１の上方開口部３１Ａ近傍に至る
と、案内ガスと共に上方開口部３１Ａ内に吸い込まれ
る。吸い込まれた炭素繊維質物は、排出管３１の中心軸
線に集約されて、排出管３１内を案内ガスと共に搬送さ
れ、最終的には収集装置で収集される。

【００７９】ところで、反応領域で生成した炭素繊維質
物は、排出管３１の上方開口部に至る途中で、条件によ
っては、太さ成長をすることがある。前記上方開口部３
１Ａが反応領域と称される加熱温度の均一な領域に開口
していると、生成した炭素繊維質物は太さ成長をするこ
となく上方開口部３１Ａ内に吸い込まれるから、その炭
素繊維質物はカーボンナノファイバー又はカーボンナノ
チューブとなって収集される。反応領域に上方開口部が
位置していなくても、キャリヤーガスの流速が大きい
と、反応領域で形成された炭素繊維質物が太さ成長をす
る時間が十分に与えられないので、その炭素繊維質物は
カーボンナノファイバー又はカーボンナノチューブのま
まで上方開口部３１Ａ内に吸い込まれ、収集される。

【００８０】反応領域で生成した炭素繊維質物が排出管
３１の上方開口部３１Ａ内に吸い込まれるまでに太さ成
長をする場合には、その炭素繊維質物は気相成長炭素繊
維として製造され、収集される。

【００８１】ここで、カーボンナノチューブとカーボン
ナノファイバーとを、その繊維径から分類するのは困難
である。例えばカーボンナノチューブはその直径が１〜
１０ｎｍであるとする場合、その直径が１〜１５ｎｍで
あるとする場合がある。またカーボンナノファイバーは
その直径が１０〜１０００ｎｍであるとする場合、その
直径が１５〜数百ｎｍであるとする場合がある。

【００８２】いずれにしてもこの発明における炭素繊維
質物は、気相法で生成された微細炭素繊維であって、好
ましくは直径が約１０００ｎｍ以下、さらには５０ｎｍ
以下であり、その中心部には中空コア部が繊維軸に沿っ
て存在し、この中空コア部を囲繞するように、単層又は
複数層の炭素格子面が年輪状に平行に形成され、しかも
その格子面間隔ｄ₀₀₂が０．３３６〜０．３６０ｎｍの
範囲内にある構造を有する。したがって、炭素繊維質物
には、所謂カーボンナノチューブ及びカーボンナノファ
イバーを含む。

【００８３】

【実施例】図１に示される炭素繊維質物製造装置を用い
て、以下の条件でカーボンナノファイバーを製造した。

【００８４】（１）縦型炉芯管 ・内径：９ｃｍ、外径：１０ｃｍ、長さ：２ｍの炭化珪
素製パイプ ・原料ガス供給ノズルから下端開口部までの長さ：１０
０ｃｍ、 ・縦型炉芯管内温度分布：原料ガス供給ノズルから下方
８０ｃｍまでの領域（均熱部）の温度：１１２０〜１１
００℃、前記均熱部から下方２０ｃｍまでの領域（温度
低下領域）の温度：１１００〜９００℃ ・原料ガス組成：フェロセン０．１２モル％、チオフェ
ン０．１０モル％、トルエン５．８０モル％、水素９
３．９８モル％、 ・原料ガス供給ノズルからのガス供給量：２．６０リッ
トル／分、 ・冷却ガス供給ノズルからのキャリヤガス（水素ガス）
のガス供給量：８．０リットル／分、 ・キャリヤーガス供給ノズル〜のキャリヤガス（水素ガ
ス）のガス供給量：７．０リットル／分、

【００８５】（２）排出管 ・排出管の上方開口部から下端開口部までの長さ：１２
０ｃｍ、 ・排出管の上方開口部の縁辺と高さに上端部を有する整
流板の長さ：５ｃｍ、 ・整流板の枚数：４個、 ・整流板の配置状態：排出管の中心軸線を中心とする放
射状に配置、 ・原料ガス供給ノズルから排出管の上方開口部までの長
さ：８０ｃｍ ・排出管の内径：４ｃｍ、 ・排出管の上方開口部の内径：４．４ｃｍ、 ・排出管の下端開口部における圧力：−３ｍｍ水柱、 ・駆動ガス供給ノズルからの駆動ガス（空気と窒素の混
合物）噴出速度：前記圧力になるように調整、

【００８６】（３）案内ガス供給手段 ・ガス溜槽の内径：２０ｃｍ、 ・ガス溜槽の容積：１５リットル、 ・案内ガス供給ノズルからの案内ガス（窒素）の供給
量：１５リットル／分。

【００８７】上記条件にて炭素繊維質物製造装置を用い
て、５時間の連続運転が実施された。その結果、直径が
２０ｎｍ、内径が５ｎｍ、及びｄ００２が０．３６０ｎ
ｍであるカーボンナノファイバーを２３ｇ得ることがで
きた。

【００８８】一方、排出管を用いない外は、前記条件及
び装置構成が同じである炭素繊維質物製造装置を用いて
炭素繊維質物の製造を行った。この場合、最初から繊維
状物が炉芯管下端開口部全体わたって蜘蛛の巣状に付着
し、炉芯管内圧力が大きく変動した。この状態で約１０
分間運転した時、炉芯管内圧力が３０ｍｍ水柱以上に上
昇したので運転を停止し、窒素置換して装置を解放し
た。

【００８９】その結果、縦型炉芯管の下端開口部の蜘蛛
の巣状に炭素繊維質物が付着したのみでなく、反応温度
域の炉芯管壁に大量の炭素繊維質物が付着していた。下
端開口部の炭素質物質重量は０．１ｇ以下と少量で、そ
の直径は２０〜２００ｎｍの範囲でばらついていた。ま
た、反応温度領域の壁に付着していた炭素繊維質物は約
１ｇあったが、その直径は殆ど１００ｎｍ〜４００ｎｍ
と太いものであって目的とする５０ｎｍ以下の繊維は皆
無に近かった。

【００９０】したがって、この炭素繊維質物製造装置に
おいては、排出管の役割がきわめて重要である。

【００９１】

【発明の効果】この発明によると、縦型炉芯管の下方が
炭素繊維、特にカーボンナノファイバー等の炭素繊維質
物で閉塞されることがなく、したがって、効率的に炭素
繊維質物の連続生産を実現することができ、しかも装置
全体が大型化することのない炭素繊維質物製造装置を提
供することができる。

【００９２】この発明によると、縦型炉芯管の閉塞現象
が極力低減されることにより長期連続運転の可能な炭素
繊維質物製造装置を提供することができる。

【００９３】この発明によると、炭素繊維質物、特に年
輪状の構造を有する炭素繊維、とりわけ流動気相成長炭
素繊維よりもさらに径の小さな年輪状構造を有するカー
ボンナノファイバー及び／又はカーボンナノチューブ
を、連続的に効率良く製造する方法乃至装置を提供する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、この発明の一実施例を示す概略説明図
である。

【図２】図２は、この発明の他の実施例を示す概略説明
図である。

【図３】図３は、この発明の一実施例における排出管の
一例を示す概略説明図である。

【図４】図４は、この発明の一実施例における排出管の
他の例を示す概略説明図である。

【図５】図５は、この発明の一実施例における排出管の
その他の例を示す概略説明図である。

【図６】図６は、この発明の一実施例における整流板を
示す概略説明図である。

【図７】図７は、この発明の一実施例における整流板の
配置状態を示す概略説明図である。

【図８】図８は、この発明の一実施例における整流板の
他の例を示す概略説明図である。

【符号の説明】

１…気相成長炭素繊維製造装置、２…原料タンク、３…
ポンプ、４…気化器、５…ヒートブロック、６…第１マ
スフローコントローラ、７…第２マスフローコントロー
ラ、８…第３マスフローコントローラ、９…ヒートチュ
ーブ、１０…原料ガス供給ノズル、１１…縦型炉芯管、
１２…外筒管、１２Ａ…内筒管、１３…冷却ガス供給ノ
ズル、１３Ａ…冷却ガス排出管、１４…キャリヤーガス
供給ノズル、１４Ａ…ガス整流手段、１５…電気炉、１
８…原料ガス供給口、１９…分岐管、２０…配管、２１
…原料供給管、２２…配管、２３…配管、３０…排出手
段、３１…排出管、３１Ａ…上方開口部、３２…駆動気
体噴出ノズル、３３…エジェクター管、４０…案内ガス
流通手段、４１…ガス均一供給槽、４２…案内ガス供給
管、４３…フロー調整部、４４…整流板。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】縦型炉心管の上部から供給された触媒金属
   源及び炭素源ガスを熱分解することにより炭素繊維質物
   を生成させる反応領域を有する縦型反応手段と、前記反
   応領域で生成した炭素繊維質物を開口部から取り込んで
   縦型反応手段外に排出する排出管を有する排出手段と、
   前記縦型炉心管の下部から前記排出管の開口部へと流通
   し、前記炭素繊維質物と共に前記排出管内に流通する案
   内ガスを供給する案内ガス供給手段とを備えて成ること
   を特徴とする炭素繊維質物製造装置。
2. 【請求項２】縦型炉心手段における反応領域で触媒金属
   源と炭素源ガスとを熱分解することにより形成された炭
   素繊維質物を、案内ガス供給手段により供給された案内
   ガスと共に、排出手段における排出管の開口部から吸引
   し、収集することを特徴とする炭素繊維質物の製造方
   法。
3. 【請求項３】縦型炉心管の上部から供給された触媒金属
   源及び炭素源ガスを熱分解することにより炭素繊維質物
   を生成させる反応領域を有する縦型反応手段におけるそ
   の反応領域に臨んで配置され、前記反応領域で生成した
   炭素繊維質物を開口部から取り込んで縦型反応手段外に
   排出する排出管を有する排出手段と、前記縦型反応手段
   の下部から前記排出管の開口部へと流通し、前記炭素繊
   維質物と共に前記排出管内に流通する案内ガスを供給す
   る案内ガス供給手段とを備えて成ることを特徴とする炭
   素繊維質物付着防止装置。
4. 【請求項４】(1)触媒金属源及び炭素源ガスを熱分解す
   る縦型炉芯管の反応領域で形成されてなり、かつ(2)前
   記反応領域の下方に臨む案内管の周側面に沿って上昇
   し、前記案内管の上端開口部から案内管の内部へと吸引
   される案内ガスに伴って、案内管内に、前記反応領域か
   ら送り込まれ、収集されて成ることを特徴とする炭素繊
   維質物。