JP2001072953A - 接着剤組成物及び接着性シート - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】活性エネルギー線を照射しない時は、強い接着
力を有し、活性エネルギー線照射後は、接着力を著しく
低減させることができ、かつ長期間の保存の後にもこれ
ら性能を維持できる接着性組成物及び接着性シートの提
供。 【解決手段】(A)エチレン性不飽和基及び下記一般式(1)
で表される環状イミド基の両方を有する化合物１０〜８
０重量％及び(B)(A)成分以外のエチレン性不飽和基含有
単量体９０〜２０重量％を構成単量体単位とする共重合
体を含有する組成物であって、剥離強度が当該組成物に
活性エネルギー線を照射した後に低下する接着剤組成
物、及び当該組成物による接着剤層が形成されてなる接
着性シート。 【化１】 〔但し、一般式(1)において、Ｒ₁及びＲ₂は、それぞれ
独立した水素原子又は炭素数４以下のアルキル基である
か、又はＲ₁及びＲ₂は、一つとなって５又は６員環を形
成する不飽和又は飽和の炭化水素基を表す。〕

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、接着剤組成物及び
当該接着剤組成物から形成された接着剤層を有する接着
性シートに関し、より詳しくは、活性エネルギー線の照
射により、接着力を低減させることができる接着剤組成
物及び接着性シートに関するものであり、接着剤及びこ
れを使用する技術分野で賞用され得るものである。

【０００２】

【従来の技術】基材シート上に感圧接着剤を塗布してな
る感圧接着性シートは、様々の用途に使用されており、
近年、その性能に対する要求が多様化してきている。

【０００３】例えば、集積回路の製造で、シリコンウエ
ハーを所定の寸法に裁断する、即ちダイシングで使用さ
れる感圧接着性シートがある。当該シートは、ダイシン
グフィルム又はダイシングテープと呼ばれ、次の様に使
用してダイスが製造される。即ち、当該シート上にシリ
コンウエハーを置いて接着固定し、特定寸法に裁断を行
った後、ダイスをシートから剥離（ピックアップ）して
取り外す。この場合、感圧接着性シートに要求される性
能としては、ダイシング時において、シリコンウエハー
を正確にダイシングするために、シリコンウエハーに対
して強い接着力を有し、一方、得られたダイスをシート
からピックアップする際には、接着力が弱くなることで
ある。具体的には、ダイシング時において１００〜８０
０g/inch程度の接着力を有し、一方、ダイスのピックア
ップに際しては、２０〜５０g/inch程度又はこれ以下の
接着力を有することが望ましいと一般に言われている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記の様な、接着後
に、接着力を低減させ得る感圧接着剤組成物及び感圧接
着性シートは、これまでにいくつか報告されているが、
十分なものはなかった。例えば、感圧接着剤組成物とし
て、アクリロイル基を２個以上有するアクリレート（以
下多官能アクリレートという）及び光重合開始剤からな
る紫外線硬化型組成物が知られている（例えば、特開昭
６２−５４７７６号公報、同６２−２０５１８０号公
報、同６２−５４７７７号公報、同６２−５４７７８号
公報及び同６２−５４７７９号公報等）。当該組成物
は、これを用いて感圧接着性シートとしてものを被接着
体と接着させた後、紫外線照射し、組成物の構成成分の
多官能アクリレートを三次元的に架橋硬化させることに
より、接着層のガラス転移温度及び弾性率が上昇し、そ
の結果接着力が低減して、接着面から容易にシートを剥
離させることができるものである。

【０００５】しかしながら、当該組成物は、多官能アク
リレートを含有しているため紫外線照射前の接着強度が
不十分であったり、又紫外線照射後の接着剤が剥離時に
凝集破壊し、その結果被接着体に接着剤が残って、被接
着体を汚染してしまうことがあった。さらに、当該組成
物中の多官能アクリレートは、シート基材として使用さ
れる樹脂シート中に経時的に移行してしまい、その結果
接着力低減効果が経時的に低下してしまうことがあっ
た。又、これら多官能アクリレートは、嫌気下で保存す
ると重合してしまうため、組成物又は感圧接着性シート
として保存した場合、性能が低下してしまうという、保
存安定性が短いという欠点もあった。特開平６２−５４
７８２号公報には、この多官能アクリレートの移行を抑
えるために、基材シートである樹脂シートにバリアー層
を施すことが提案されているが、接着力の低下したり、
樹脂シートが元来有する機械的物性を損なうことがあっ
た。

【０００６】本発明者らは、活性エネルギー線を照射し
ない時は、強い接着力を有し、活性エネルギー線照射後
は、接着力を著しく低減させることができ、かつ長期間
の保存の後にもこれら性能を維持できる接着性組成物及
び接着性シートを見出すべく鋭意検討を行ったのであ
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、かかる問
題を解決するために種々の研究の結果、エチレン性不飽
和基と環状イミド基を有する化合物を構成単量体単位す
る共重合体であって、それが特定の共重合割合である共
重合体を主成分とする接着剤組成物が、多官能アクリレ
ートを添加しなくても、活性エネルギー線照射後に接着
力が著しく低減し、又、多官能アクリレートを添加しな
いため、その保存安定性が優れることを見出し、本発明
に至った。以下、本発明を詳細に説明する。尚、本明細
書では、アクリレート又はメタクリレートを（メタ）ア
クリレートといい、アクリル酸又はメタクリル酸を（メ
タ）アクリル酸という。

【０００８】

【発明の実施の形態】１．共重合体 本発明の主成分である共重合体は、(A)エチレン性不飽
和基及び下記一般式(1)で表される環状イミド基の両方
を有する化合物１０〜８０重量％及び(B)(A)成分以外の
エチレン性不飽和基含有単量体（以下不飽和単量体とい
う場合もある）９０〜２０重量％を構成単量体単位とす
るものである。

【０００９】

【化３】

【００１０】〔但し、一般式(1)において、Ｒ₁及びＲ₂
は、それぞれ独立した水素原子又は炭素数４以下のアル
キル基であるか、又はＲ₁及びＲ₂は一つとなって５又は
６員環を形成する不飽和又は飽和の炭化水素基を表
す。〕 本発明で使用する共重合体は、上記式(1)で示した環状
イミド基を有するため、活性エネルギー線の照射により
環状イミド基が２量化して、共重合体分子同志を架橋す
る。又、当該環状イミド基は、光増感剤の配合なしか、
又は少量の配合で、活性エネルギー線の照射により２量
化反応を起こすことができる。(A)成分の共重合割合が
１０重量％未満であると、活性エネルギー線を照射した
後の接着強度の低下が不十分となってしまい、一方、８
０重量％を超えると、活性エネルギー線を照射する前の
接着強度が不十分となってしまう。以下に、各構成単量
体について説明する。

【００１１】1-1.(A)エチレン性不飽和基及び環状イミ
ド基の両方を有する化合物 (A)成分は、エチレン性不飽和基及び上記一般式(1)で表
される環状イミド基を有する化合物を構成単量体単位と
するものである。

【００１２】エチレン性不飽和基としては、ビニル基及
び（メタ）アクリロイル基等が挙げられ、（メタ）アク
リロリル基が好ましい。Ｒ₁及びＲ₂における、一つとな
って５又は６員環を形成する不飽和又は飽和の炭化水素
基としては、具体的には、基−ＣＨ₂ＣＨ₂ＣＨ₂−、基
−ＣＨ＝ＣＨＣＨ₂−、基−ＣＨ₂ＣＨ₂ＣＨ₂ＣＨ₂−、
基−ＣＨ₂ＣＨ＝ＣＨＣＨ₂−又は基−ＣＨ＝ＣＨＣＨ＝
ＣＨ−等が挙げられる。Ｒ₁及びＲ₂としては、（A)成分
が重合性に優れ、又得られる共重合体が耐水性に優れた
ものとなる点で、基−ＣＨ₂ＣＨ₂ＣＨ₂−又は基−ＣＨ₂
ＣＨ₂ＣＨ₂ＣＨ ₂−が好ましく、より好ましくは基−Ｃ
Ｈ₂ＣＨ₂ＣＨ₂ＣＨ₂−である。又、Ｒ₁及びＲ₂が、炭素
数４以下のアルキル基のものが、（A)成分が重合性に優
れたものとなる点で好ましい。

【００１３】(A)成分としては、その製造が容易である
点で、下記一般式(2)で表される化合物〔以下イミド(メ
タ）アクリレートという〕が好ましい。

【００１４】

【化４】

【００１５】〔但し、一般式(2)において、Ｒ₁及びＲ₂
は、それぞれ独立した水素原子又は炭素数４以下のアル
キル基であるか、又はＲ₁及びＲ₂は、一つとなって５又
は６員環を形成する不飽和又は飽和の炭化水素基を表
す。又、Ｒ₃は炭素数１〜６の直鎖状又は分岐状アルキ
レン基を表し、Ｒ₄は水素原子又はメチル基を表し、ｎ
は１から６の整数を表す。〕 一般式(2)で表される化合物の中でも、下記一般式(3)〜
(5)で表される化合物がより好ましい。

【００１６】

【化５】

【００１７】〔但し、一般式(3)において、Ｒ₄及びＲ₅
は水素原子又はメチル基を表し、ｎは１から６の整数を
表す。〕

【００１８】

【化６】

【００１９】〔但し、一般式(4)において、Ｒ₄及びＲ₅
は水素原子又はメチル基を表し、ｎは１から６の整数を
表す。〕

【００２０】イミド（メタ）アクリレートは、種々の方
法で製造されたものが使用できる。例えば、以下の文献
及び特許に記載された方法により、酸無水物、アミノア
ルコール及び（メタ）アクリル酸より製造することがで
きる。 ・加藤清ら、有機合成化学協会誌３０（１０），８９
７，（１９７２） ・Javier de Abajo ら、Ｐｏｌｙｍｅｒ，ｖｏｌ３３
（５），（１９９２） ・特開昭５６−５３１１９号公報、特開平１−２４２５
６９号公報

【００２１】1-2.(B)成分 (B)成分としては、(A)成分以外のエチレン性不飽和基を
含有する単量体であれば種々のものが使用可能であり、
イミド（メタ）アクリレート以外の（メタ）アクリレー
ト；エチレン性不飽和基含有カルボン酸（以下不飽和カ
ルボン酸という）；ビニルエステル；共役ジエン系単量
体；（メタ）アクリロニトリル及びα−クロロアクリロ
ニトリル等のシアノ基含有ビニル単量体；塩化ビニル及
び塩化ビニリデン等のハロゲン化エチレン性不飽和基含
有化合物；イタコン酸モノエチルエステル、フマル酸モ
ノブチルエステル及びマレイン酸モノブチルエステル等
の不飽和ジカルボン酸のモノアルキルエステル；アリル
アルコール；並びにスチレン及びα−メチルスチレン等
のエチレン性不飽和基含有芳香族化合物等が挙げられ
る。

【００２２】イミド（メタ）アクリレート以外の（メ
タ）アクリレートとしては、メチル（メタ）アクリレー
ト、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−プロピル（メ
タ）アクリレート、ｉ−プロピル（メタ）アクリレー
ト、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｉ−ブチル（メ
タ）アクリレート、ｎ−ヘキシル（メタ）アクリレー
ト、ｎ−オクチル（メタ）アクリレート、ｉ−オクチル
（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）ア
クリレート、ｎ−ノニル（メタ）アクリレート、ｉ−ノ
ニル（メタ）アクリレート、ｎ−デシル（メタ）アクリ
レート及びｎ−ラウリル（メタ）アクリレート等のアル
キル（メタ）アクリレート；２−ヒドロキシエチル（メ
タ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）ア
クリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピル
（メタ）アクリレート、グリセロールモノ（メタ）アク
リレート、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリ
レート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリ
レート及びポリエチレングリコール−ポリプロピレング
リコール共重合体のモノ（メタ）アクリレート等の水酸
基含有（メタ）アクリレート；グリシジル（メタ）アク
リレート等のエポキシ基含有（メタ）アクリレート；並
びに（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロール（メタ）
アクリルアミド、Ｎ−メトキシメチル（メタ）アクリル
アミド及びＮ−メトキシブチル（メタ）アクリルアミド
等の（メタ）アクリルアミド等が挙げられる。

【００２３】不飽和カルボン酸としては、（メタ）アク
リル酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン
酸、シトラコン酸、ケイヒ酸及び無水マレイン酸等を挙
げることができる。これらの中でも、安価であり、得ら
れる接着剤の性能が優れたものとなることから、（メ
タ）アクリル酸が好ましい。

【００２４】ビニルエステルとしては、酢酸ビニル、プ
ロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、ピバリン酸ビニル、ラ
ウリン酸ビニル及びバーサチック酸ビニル等が挙げら
れ、これらの中でも、酢酸ビニルが好ましい。

【００２５】共役ジエン系単量体としては、ブタジエ
ン、イソプレン、クロロプレン及びイソブチレン等が挙
げられる。

【００２６】これら(B)成分は、２種以上を併用するこ
ともできる。

【００２７】(B)成分としては、アルキル（メタ）アク
リレート、エチレン及びビニルエステル、並びに共役ジ
エン系単量体が好ましく、これらの中でもアルキル（メ
タ）アクリレートが、得られる組成物の接着力に優れる
点でより好ましい。

【００２８】本発明の組成物を感圧接着剤組成物として
使用する場合、保持力及び粘着力に優れるため、(B)成
分としては、炭素数４〜１２のアルキル基を有するアル
キル（メタ）アクリレート及び必要に応じてこれら単量
体と共重合体可能な単量体（以下その他単量体という）
が好ましく、さらに当該アルキル（メタ）アクリレート
が炭素数４〜９のアルキル基を有するアルキル（メタ）
アクリレートであるものが、(A)成分との共重合性に優
れ、得られる感圧接着剤組成物の粘着力に特に優れるた
めより好ましい。

【００２９】この場合のその他単量体の例としては、不
飽和カルボン酸、炭素数１〜３のアルキル基を有するア
ルキル（メタ）アクリレート、シアノ基含有ビニル単量
体、水酸基含有（メタ）アクリレート、不飽和ジカルボ
ン酸のモノアルキルエステル、アリルアルコール、（メ
タ）アクリルアミド、酢酸ビニル、グリシジル（メタ）
アクリレート、塩化ビニル及び塩化ビニリデン等が挙げ
られる。これらの中でも、不飽和カルボン酸が、得られ
る感圧接着剤組成物が、保持力に特に優れたものになる
点で好ましい。

【００３０】当該共重合体の共重合割合としては、(A)
成分１０〜５０重量％、(B)成分として炭素数４〜１２
のアルキル基を有するアルキル（メタ）アクリレート９
０〜５０重量％及びその他単量体０〜５０重量％が好ま
しい。(A)成分の共重合割合が１０重量％未満である
か、又はアルキル（メタ）アクリレートが９０重量％を
超えると、活性エネルギー線を照射した後の接着強度の
低下が不十分となってしまう。(A)成分の共重合割合が
５０重量％を超えるか、又はアルキル（メタ）アクリレ
ートが５０重量％に満たないと、活性エネルギー線を照
射する前の接着強度が不十分となってしまう。又、その
他単量体の共重合割合が５０重量％を超えると、粘着力
が低下する場合がある。

【００３１】本発明において、(B)成分として、炭素数
４〜１２のアルキル基を有するアルキル（メタ）アクリ
レート及び不飽和カルボン酸が特に好ましい。この場
合、好ましい共重合割合は、(A)成分１０〜４０重量
％、炭素数４〜１２のアルキル基を有するアルキル（メ
タ）アクリレート５０．０〜８９．９重量％及び不飽和
カルボン酸０．１〜１０重量％である。(A)成分の共重
合割合が１０重量％未満であると、活性エネルギー線照
射後の接着力が十分に低下しない場合があり、他方５０
重量％を超えると、活性エネルギー線照射前の接着性が
不充分な場合がある。炭素数４〜１２のアルキル基を有
するアルキル（メタ）アクリレートの共重合割合が５０
重量％未満であると、得られる粘接着剤の接着力、保持
力及びタックのバランスをとることが困難となる場合が
あり、９５重量％を超えると粘接着剤の保持力が不足す
る場合がある。不飽和カルボン酸の共重合割合が０．１
重量％未満であると得られる粘接着剤の保持力、接着力
が不足する場合があり、１０重量％を超えるとタック、
接着力が低下する場合がある。

【００３２】1-3.共重合体の製造方法 本発明で使用する共重合体は、種々の方法で製造可能で
あり、従来の製造方法で上記単量体を重合したものであ
れば良く、具体的には、溶液重合、乳化重合及び懸濁重
合等が挙げられる。溶液重合法を採用する場合の具体的
な方法としては、使用する原料単量体を有機溶剤に溶解
させ、熱ラジカル重合開始剤の存在下に加熱攪拌する方
法等が挙げられる。乳化重合法を採用する場合の具体的
な方法としては、使用する原料単量体を水性媒体中に乳
化剤を使用して分散させ、熱ラジカル重合開始剤の存在
下に加熱攪拌する方法、及び使用する原料単量体を水性
媒体中に乳化剤を使用して分散して水性乳濁液とし、当
該水性乳濁液を水性媒体中に添加しつつ、熱ラジカル重
合開始剤の存在下に加熱攪拌する方法等が挙げられる。
いずれの場合も、必要に応じて、重合体の分子量を調節
するために連鎖移動剤を使用することができる。有機溶
剤としては、ベンゼン、トルエン、酢酸エチル、メタノ
ール及びジメチルホルムアミド等が挙げられる。熱ラジ
カル重合開始剤の例としては、熱によりラジカル種を発
生する、過酸化物、アゾ化合物及びレドックス開始剤等
が挙げられる。過酸化物の例としては、過酸化ベンゾイ
ル、過酸化ラウロイル、クメンヒドロペルオキシド、ｔ
−ブチルヒドロペルオキシド及びジクミルペルオキシド
等が挙げられる。アゾ化合物の例としては、アゾビスイ
ソブチロニトリル及びアゾビス−２，４−ジメチルバレ
ロニトリル等が挙げられる。レドックス開始剤の例とし
ては、過酸化水素−鉄（II）塩、ペルオキソ二硫酸塩−
亜硫酸水素ナトリウム及びクメンヒドロペルオキシド−
鉄（II）塩等が挙げられる。連鎖移動剤としては、ドデ
シルメルカプタン、キサントゲン酸ジスルフィド、ジア
ゾチオエーテル及び２−プロパノール等が挙げられる。

【００３３】共重合体の分子量としては、重量平均分子
量で１万〜１００万が好ましく、１０万〜１００万がよ
り好ましい。共重合体の重量平均分子量が１万に満たな
いと、接着力が低下する場合があり、他方１００万を超
えると、組成物の粘度が高くなり過ぎ、塗工性が低下す
ることがある。尚、本発明において、重量平均分子量及
び重量平均分子量とは、溶媒としてテトラヒドロフラン
を使用し、ゲルパーミュエーションクロマトグラフィ
（以下ＧＰＣと略す）により測定した分子量をポリスチ
レンの分子量を基準にして換算した値である。

【００３４】尚、本発明の組成物を感圧接着剤組成物と
して使用する場合には、上記共重合体のガラス転移温度
（以下Ｔｇという）が−２０℃以下であるものが好まし
く、−３０℃以下であることがより好ましい。共重合体
のＴｇが−２０℃を超えると、感圧接着剤としてのタッ
クが不足しやすくなる。

【００３５】２．接着剤組成物 本発明の接着剤組成物は、前記共重合体を含有してなる
ものであり、有機溶剤の溶液の形態でも、エマルション
の形態でも使用できる。本発明の組成物は、特に感圧接
着剤として有用なものである。当該組成物は、ＪＩＳ
Ｚ−０２３７で規定される剥離強度が、当該組成物に活
性エネルギー線を照射した後に低下する性能を有するも
のである。接着力低下の程度としては、具体的には、活
性エネルギー線の照射後の接着力が、照射前の１／２〜
１／５０となるものが好ましく、より好ましくは１／５
〜１／５０である。本発明の組成物をダイシングテープ
用に使用する場合には、具体的に、ダイシング時におい
て１００〜８００g/inch程度の接着力を有し、ダイスの
ピックアップに際しては、２０〜５０ｇ／２５g/inch程
度又はこれ以下の接着力を有するものが好ましい。

【００３６】組成物における共重合体の割合としては、
組成物の粘度が、２５℃、１２ｒｐｍの条件で、Ｂ型粘
度計により測定された粘度が５０〜２００００ｃｐｓと
なる様な割合が、塗工性に優れるため好ましい。具体的
には、組成物中の共重合体が３０〜８０重量％が好まし
く、４５〜８０重量％がより好ましい。

【００３７】本発明の組成物には、硬化物の接着性能を
高めるため、又は組成物の感度を調整するため、反応性
不飽和基を有する化合物を配合しても良い。

【００３８】反応性不飽和基を有する化合物の例として
は、アクリル系モノマー、オリゴマー等が挙げられる。
アクリル系モノマーとしては、２−ヒドロキシエチル
（メタ）アクリレート及び２−ヒドロキシプロピル（メ
タ）アクリレート等のヒドロキシアルキル（メタ）アク
リレート；フェノキシエチル（メタ）アクリレート等の
フェノールのアルキレンオキシド付加物のアクリレート
類及びそのハロゲン核置換体；エチレングリコールのモ
ノ又はジ（メタ）アクリレート、メトキシエチレングリ
コールのモノ（メタ）アクリレート、テトラエチレング
リコールのモノ又はジ（メタ）アクリレート及びトリプ
ロピレングリコールのモノ又はジ（メタ）アクリレート
等のグリコールのモノ又はジ（メタ）アクリレート；並
びにトリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレー
ト、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、
ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート及び
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート等のポリオ
ール及びそのアルキレンオキサイド付加物の（メタ）ア
クリレート等が挙げられる。

【００３９】アクリル系オリゴマーとしては、ウレタン
（メタ）アクリレートオリゴマー、ポリエステル（メ
タ）アクリレートオリゴマー及びエポキシ（メタ）アク
リレートオリゴマー等が挙げられる。

【００４０】反応性不飽和基を有する化合物の配合割合
としては、共重合体１００重量部に対して５０重量部以
下が好ましく、より好ましくは２０重量部以下である。

【００４１】本発明の接着剤を感圧接着剤として使用す
る場合、硬化物のＴｇを低下させたり、粘着性能を高め
るために、粘着付与剤を含有させることもできる。粘着
付与剤としては種々のものが使用でき、例えば、ロジン
系樹脂やテルペン系樹脂等の天然樹脂及びその誘導体、
石油樹脂等の合成樹脂を挙げることができる。又本組成
物には、タックを調整したり、保持力を高めるために、
主成分であるアクリル系高分子の分子間を架橋させるた
め、常温ですみやかに反応するポリイソシアネート化合
物等を添加して用いても良い。

【００４２】本組成物は、活性エネルギー線による感度
を向上させるため、光重合開始剤又は光増感剤を添加し
てもよい。

【００４３】光重合開始剤又は光増感剤の一例として
は、アセトフェノン類、アントラキノン類、チオキサン
トン類、ベンゾフェノン類、キサントン類、ベンゾイン
とそのアルキルエーテル類、ケタール類、安息香酸系及
びアミン系等がある。これらは、２種以上を組み合わせ
て用いることもできる。

【００４４】これら以外にも、消泡剤、増粘剤、潤滑
剤、成膜助剤、繊維助剤、洗浄剤、帯電防止剤、均染
剤、湿潤剤及びレベリング改良剤等の接着剤や感圧接着
剤で使用される一般的な添加剤を併用することができ
る。

【００４５】３．接着性シート 本発明の組成物は、種々の用途に使用可能であり、特に
接着性シートの製造に好適に使用できる。接着性シート
の製造方法としては、例えば、基材シート上に組成物を
塗布し、塗布層を乾燥することによって得ることができ
る。塗布方法としては、ロールコーティング、ダイコー
ティング及びナイフコーティング等が挙げられる。

【００４６】この場合の塗工量は、使用する用途に応じ
て適宜選択すればよいが、好ましい塗工量としては５〜
２００ｇ／ｍ²であり、より好ましくは１０〜１００ｇ
／ｍ²である。

【００４７】接着性シートは被接着体に接着した後、目
的とする用途における処理の終了後に、活性エネルギー
線を照射して、接着力を低減させる。この場合の活性エ
ネルギー線の照射方法は、従来活性エネルギー線硬化型
接着剤組成物で行われている方法に従えば良い。活性エ
ネルギー線としては、紫外線、Ｘ線及び電子線等が挙げ
られ、安価な装置を使用できることから、紫外線を使用
することが好ましい。紫外線を使用する場合の光源とし
ては、超高圧、高圧、中圧又は低圧水銀灯、メタルハラ
イド灯、キセノンランプ、無電極放電ランプ及びカーボ
ンアーク灯等が挙げられ、数秒乃至数分間照射すれば良
い。

【００４８】本発明の接着性シートは、活性エネルギー
線照射後の接着性が低下するものであるため、シリコン
ウエハーのダイシング用フィルムとして好適に使用する
ことができる。この場合には基材シートとして、樹脂シ
ートが使用される。樹脂シートとしては、活性エネルギ
ー線が透過できるものであれば、種々のものが使用で
き、通常は、透明乃至半透明の合成樹脂シートが用いら
れる。例えば、樹脂の種類としては、ポリ塩化ビニル、
塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体樹脂、塩化ビニル
−酢酸ビニル共重合体樹脂、塩化ビニル−アクリル酸エ
ステル共重合体樹脂、ポリ塩化ビニリデン、アセチルセ
ルロース、ポリオレフィン、ポリビニルアルコール、ポ
リアミド、ポリエステル及びポリカーボネート等が挙げ
られる。当該樹脂としては、可塑剤を含有しているもの
であっても良い。可塑剤としては、特に制限されるもの
ではないが、ジブチルフタレート、ジオクチルフタレー
ト、ジデシルフタレート等のフタル酸ジエステル、トリ
クレジルホスフェート、トリオクチルホスフェート、ト
リフェニルホスフェート等のリン酸エステル、ジオクチ
ルアジペートジオクチルセバケート等の脂肪酸ジエステ
ル、ポリエステル系可塑剤及びエポキシ系可塑剤等を挙
げることができる。

【００４９】

【作用】本発明の組成物は、構成成分の共重合体におけ
る環状イミド基が常温暗所での反応性がほとんど無いた
め、保存安定性に優れる。又本発明の組成物が、活性エ
ネルギー線照射後に接着力を低減できる理由は、共重合
体における環状イミド基が、活性エネルギー線の照射に
より分子間で架橋反応を起こすため、接着層のガラス転
移温度及び弾性率を上昇させ、その結果接着力が低減
し、接着面から容易に剥離することができるものと推定
している。又、共重合体であるため、樹脂シートに経時
的に移行することはなく、接着力低減効果を長期間維持
できる。

【００５０】

【実施例】以下に、実施例及び比較例を挙げ、本発明を
より具体的に説明する。尚、各例において、「部」は重
量部を、「％」は重量％を意味する。又、使用した単量
体及びアクリレートの略号の意味は以下のとおりであ
る。 ＨＡ；２−エチルヘキシルアクリレート ＢＡ；ブチルアクリレート ＨＥＡ；２−ヒドロキシエチルアクリレート ＡＡ；アクリル酸 ＤＰＨＡ；ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート

【００５１】○実施例１ １）接着剤組成物の製造 攪拌機、温度計、冷却器を備えたフラスコに、室温で、
下記式(5)で表される化合物２０．０ｇ、ＢＡ７４．５
ｇ、ＡＡ５．０ｇ、ＨＥＡ０．５ｇ、酢酸ブチル１００
ｇ及び2,2'-アゾビス（2-メチルブチロニトリル）０．
５ｇ（以下ＡＭＢＮという）を仕込み、均一に溶解させ
た。この後昇温して、８５℃で２時間、９５℃で１時間
攪拌した。

【００５２】

【化７】

【００５３】得られた共重合体は、数平均分子量６６０
００、重量平均分子量１６５００であった。共重合体を
５０％含む反応溶液１００部に対し、塗工直前にコロネ
ートL〔日本ポリウレタン工業（株）製、多価イソシア
ネート化合物〕を０．５部加え、接着剤組成物を製造し
た。得られた組成物を使用し、下記に示す方法に従い、
接着性シートを作成し、接着性試験を行った。又、組成
物を使用して保存安定性試験を行った。それらの結果を
表２に示す。

【００５４】２）接着性シートの製造 厚さ５０μmのポリエチレンテレフタレートフィルムの
表面に、乾燥後における接着剤層の厚さが１０μmにな
るように組成物を塗布し、次いで熱風循環式乾燥器にて
１００℃で１２０秒間乾燥して、接着性シートを製造し
た。得られた接着性シートを使用し、下記に示す方法に
従い、接着性試験を行った。尚、接着力の測定は、接着
性シートを製造した後、２５℃で１週間保存した後に行
った。

【００５５】３）評価 接着性試験 被接着体としてステンレス板を用い、これと接着性シー
トを密着させた。これを試験体という。試験体の１８０
度剥離強度を、２３℃、６５％ＲＨの条件において、Ｊ
ＩＳ Ｚ−０２３７に準じて測定した。又、試験体に、
フィルム側から１２０Ｗ／ｃｍ集光型高圧水銀灯（１
灯、高さ１０cm）下を５ｍ／ｍｉｎのコンベアスピード
で２パス通過して紫外線を照射した。当該試験体を用
い、上記と同様にして剥離強度を測定した。

【００５６】保存安定性試験（加熱促進試験） コロネートＬを添加していない接着剤組成物を５０ｍｌ
ガラス製サンプル瓶に３０ｍｌ入れ、蓋をして６０℃で
１週間保存した。保存後の液体の状態を目視で観察し、
以下の基準で評価した。 ○：変化無し。 △：やや粘度上昇が見られる。 ×：濁りが発生し、明らかな粘度上昇がある。

【００５７】○実施例２〜同５ 実施例１と同様の装置を用い、表１に示す構成の単量体
を用いて、実施例１と同様の方法で共重合体を製造し
た。但し、表中の(6)は、下記式(6)で表される化合物を
示す。共重合体５０％を含む反応溶液１００部に、実施
例１と同様にして、塗工直前にコロネートＬを０．５部
を配合して接着剤組成物を製造した。得られた組成物を
使用し、実施例１と同様にして接着性シートを製造し、
又実施例１と同様に評価した。それらの結果を表２に示
す。

【００５８】

【化８】

【００５９】○実施例６ 実施例５と同様の反応溶液を用い、反応溶液１００部に
対し、増感剤としてジエチルチオキサントン〔日本化薬
（株）製、ＤＥＴＸｓ〕を２．５部を加え、さらに塗工
直前にコロネートＬを０．５部加え、接着剤組成物を製
造した。得られた組成物を使用し、実施例１と同様にし
て接着性シートを製造し、又実施例１と同様に評価し
た。それらの結果を表２に示す。

【００６０】

【表１】

【００６１】

【表２】

【００６２】○比較例１ 実施例１と同様の装置を用い、表３に示す構成の単量体
を用いて、実施例１と同様の方法で共重合体を製造し
た。得られた共重合体５０％を含む反応溶液１００部
に、実施例１と同様にして、塗工直前にコロネートＬを
０．５部を配合して接着剤組成物を製造した。得られた
組成物を使用し、実施例１と同様にして接着性シートを
製造し、又実施例１と同様に評価した。それらの結果を
表４に示す。

【００６３】○比較例２ 実施例１と同様の装置を用い、表３に示す構成の単量体
を用いて、実施例１と同様の方法で共重合体を製造し
た。得られた共重合体５０％を含む反応溶液１００部
に、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート〔東亞
合成（株）製アロニックスＭ４００〕を４０部、ベンジ
ルジメチルケタールを２部加え溶解し、さらに塗工直前
にコロネートＬを０．５部加え接着剤組成物を製造し
た。得られた組成物を使用し、実施例１と同様にして接
着性シートを製造し、又実施例１と同様に評価した。そ
れらの結果を表４に示す。又、保存安定性試験後の溶液
を使用し、同様にフィルム基材に塗工を試みたところ、
塗工面にハジキが発生し、均一な膜厚に塗工できなかっ
た。

【００６４】○比較例３ 比較例２において、反応溶液に添加するジペンタエリス
リトールヘキサアクリレートを４０部から２０部に変更
した以外は、比較例３と同様にして接着剤組成物を製造
した。得られた組成物を使用し、実施例１と同様にして
接着性シートを製造し、又実施例１と同様に評価した。
それらの結果を表４に示す。又、保存安定性試験後の溶
液を使用し、同様にフィルム基材に塗工を試みたとこ
ろ、塗工面にハジキが発生し、均一な膜厚に塗工できな
かった。

【００６５】

【表３】

【００６６】

【表４】

【００６７】表４において、紫外線照射後の剥離試験を
行った後に接着剤を観察すると、比較例１では、接着剤
層は界面剥離し、ステンレス基材に接着剤残りはなかっ
た。比較例２、３では、接着剤層が凝集破壊し、ステン
レス基材に接着剤が一部残った。

【００６８】

【発明の効果】本発明の接着剤組成物は、保存安定性に
優れ、強い接着力を有し、活性エネルギー線の照射後に
は接着力を著しく低減させることができるものであり、
これから得られる接着性シートは、シリコンウエハーの
ダイシング用フィルムとして好適に使用するとができる
ものである。

フロントページの続き Ｆターム(参考） 4J004 AA10 AB01 AB06 CA02 CA03 CA04 CA05 CA06 CC02 FA05 4J040 CA031 CA141 DA141 DE011 DE021 DF011 DF041 DF051 DF061 DF101 DG001 DG021 DH021 EC231 JA09 JB09 LA05 LA06 NA20 PA42

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】(A)エチレン性不飽和基及び下記一般式(1)
   で表される環状イミド基の両方を有する化合物１０〜８
   ０重量％及び(B)(A)成分以外のエチレン性不飽和基含有
   単量体９０〜２０重量％を構成単量体単位とする共重合
   体を含有する組成物であって、ＪＩＳ Ｚ−０２３７で
   規定される剥離強度が、当該組成物に活性エネルギー線
   を照射した後に低下する接着剤組成物。 【化１】 〔但し、一般式(1)において、Ｒ₁及びＲ₂は、それぞれ
   独立した水素原子又は炭素数４以下のアルキル基である
   か、又はＲ₁及びＲ₂は、一つとなって５又は６員環を形
   成する不飽和又は飽和の炭化水素基を表す。〕
2. 【請求項２】(A)成分が下記一般式(2)で表される化合物
   である請求項１記載の接着剤組成物。 【化２】 〔但し、一般式(2)において、Ｒ₁及びＲ₂は、それぞれ
   独立した水素原子又は炭素数４以下のアルキル基である
   か、又はＲ₁及びＲ₂は、一つとなって５又は６員環を形
   成する不飽和又は飽和の炭化水素基を表す。又、Ｒ₃は
   炭素数１〜６の直鎖状又は分岐状アルキレン基を表し、
   Ｒ₄は水素原子又はメチル基を表し、ｎは１から６の整
   数を表す。〕
3. 【請求項３】請求項１又は請求項２記載における共重合
   体が、(A)成分１０〜５０重量％、並びに(B)成分が炭素
   数４〜１２のアルキル基を有するアルキル（メタ）アク
   リレート５０〜９０重量％及び必要に応じてこれら単量
   体と共重合可能な単量体０〜５０重量％を構成単量体単
   位とするものを含有する組成物であって、ＪＩＳ Ｚ−
   ０２３７で規定される剥離強度が、当該組成物に活性エ
   ネルギー線を照射した後に低下する感圧接着剤組成物。
4. 【請求項４】基材シートに、請求項１〜請求項３のいず
   れかに記載の組成物による接着剤層が形成されてなる接
   着性シート。