JP2001065716A - バルブ用シリンダおよびそれを備えるバルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】長期間に亘り良好に開閉動作し、しかも、シー
ル箇所が少ないために気密性の確保が容易なバルブ用シ
リンダおよびそれを備えるバルブを提供する。 【解決手段】ダイヤフラム弁４０は、シリンダチューブ
５２に挿入された弁棒４４と、弁棒４４が変位する際に
該弁棒４４と一体的に変位する第１のピストン５４およ
び第２のピストン５６と、両ピストン５４、５６の間に
介在された筒状隔壁５８と、前記シリンダ本体５０のロ
ッド側端部またはヘッド側端部にそれぞれ形成された第
１のポート６０または第２のポート７０とを具備する。
第１のピストン５４は筒状隔壁５８の内部に嵌合され、
第２のピストン５６は弁棒４４に保持され、筒状隔壁５
６は第２のピストン５６の一端面に突出形成された中央
突出部５６ａに係合されている。シリンダ本体５０の内
部には第１の室２８〜第４の室３１が形成され、この
中、第１の室２８および第３の室３０に第１のポート６
０を介して圧縮空気が導入されることにより弁棒４４が
変位してダイヤフラム弁４０が開状態となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、バルブ用シリンダ
およびそれを備えるバルブに関し、一層詳細には、長期
間に亘って良好に開閉動作し、しかも、気密性を容易に
確保することができるバルブ用シリンダおよびそれを備
えるバルブに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来技術に係るバルブ用シリンダを備え
るダイヤフラム弁を図６に示す。この図６に示されるよ
うに、ダイヤフラム弁１は、図示しない流体用チューブ
に連結される継手部材２とバルブ用シリンダ３とが互い
に連結されることにより構成される。

【０００３】継手部材２の内部には第１の流路４と第２
の流路５が形成されており、両者はそれぞれ、前記継手
部材２に膨出形成された突起部６内の弁棒カバー挿入口
６ａに連通している。該弁棒カバー挿入口６ａに通じる
第１の流路４の開口部には、該開口部を囲繞するように
弁座７が設けられている。したがって、ダイヤフラム弁
１が閉状態にある場合、この弁座７には、弁棒カバー挿
入口６ａの底部と該弁棒カバー挿入口６ａに挿入固定さ
れた弁棒カバー８とに挟持されたダイヤフラム９が着座
する。ダイヤフラム９の弁座７に対する着座・離間によ
り第１の流路４と第２の流路５が互いに遮断・連通さ
れ、流体の流通制御が行われる。

【０００４】弁棒カバー８の一方の小径な凸状一端部８
ａは、前記突起部６の外周部に螺合するスクリューキャ
ップ１０に形成された貫通孔を通り、また、大径な他端
部８ｂは、上記したように、弁棒カバー挿入口６ａに挿
入されて該弁棒カバー挿入口６ａの底部に着座してい
る。そして、スクリューキャップ１０が突起部６の外周
に形成されためねじ部１１に螺合されることによって、
弁棒カバー８が継手部材２に連結されている。これによ
り継手部材２とバルブ用シリンダ３とが互いに連結さ
れ、ダイヤフラム弁１が構成される。弁棒カバー８が継
手部材２に連結された際には、スクリューキャップ１０
の頭部端面内壁により弁棒カバー８の中腹に形成された
太径部８ｃが常時押圧される。このため、弁棒カバー８
はスクリューキャップ１０から離脱することがない。

【０００５】弁棒カバー８の中空内部には、弁棒１２が
挿入されている。弁棒１２の一端部１２ａは拡径され、
この一端部１２ａにはコイルスプリング１３の一端が着
座しており、該コイルスプリング１３の他端は弁棒カバ
ー８の凸状一端部８ａの端面内壁に着座している。ま
た、前記一端部１２ａには凹部１２ｂが形成されてお
り、該凹部１２ｂにはダイヤフラム押圧部材１４が嵌着
されている。

【０００６】一方、バルブ用シリンダ３のシリンダ本体
１５は、ボディ１６とヘッドカバー１７とから構成さ
れ、前記ボディ１６側の環状壁部１６ａとヘッドカバー
１７側の環状壁部１７ａによりシリンダチューブ１８が
形成される。そして、シリンダ本体１５には、弁棒カバ
ー８が保持されている。すなわち、ボディ１６の端面に
は貫通孔１９が形成されており、この貫通孔１９には、
弁棒カバー８の凸状一端部８ａが挿入されている。そし
て、該凸状一端部８ａにおいて、シリンダチューブ１８
の内部に突出した先端部には環状溝８ｄが形成され、こ
の環状溝８ｄにリング状の保持部材２０が係合されるこ
とによって弁棒カバー８のシリンダ本体１５からの抜け
止めがなされている。なお、弁棒カバー８とボディ１６
の端部との間および弁棒１２と弁棒カバー８の先端部と
の間はＯリング２１ａ、２１ｂによりそれぞれシールさ
れている。

【０００７】弁棒カバー８の凸状一端部８ａが貫通孔１
９に挿入されることにより、弁棒１２は、略中央から先
端部にかけてシリンダチューブ１８に挿入される。な
お、弁棒１２のシリンダチューブ１８に挿入された部分
には、２つの横溝２２ａ、２２ｂを備える通路２３が形
成されている。

【０００８】また、弁棒１２には、ボディ１６の端面内
壁（シリンダ本体１５のロッド側端面内壁）側から、第
１のピストン２４および第２のピストン２５が所定間隔
離間して保持部材２６ａ、２６ｂによりそれぞれ固着さ
れている。この場合、第１のピストン２４と第２のピス
トン２５とはそれぞれの受圧面積が等しい。また、第１
のピストン２４および第２のピストン２５の下面に形成
された環状溝にはＯリング２１ｃ、２１ｄがそれぞれ埋
入されており、該Ｏリング２１ｃ、２１ｄにより弁棒１
２と第１のピストン２４および第２のピストン２５との
間がそれぞれシールされている。さらに、第１のピスト
ン２４および第２のピストン２５の各外周部とシリンダ
チューブ１８との間はＯリング２１ｅ、２１ｆによりシ
ールされている。

【０００９】さらに、第１のピストン２４と第２のピス
トン２５との間には、両者から所定間隔離間して、ボデ
ィ１６とヘッドカバー１７とに挟持されることによりシ
リンダチューブ１８に固定位置決めされた隔壁２７が配
置されており、弁棒１２は、該隔壁２７に形成された貫
通孔に貫通されている。そして、弁棒１２と隔壁２７と
の間およびシリンダチューブ１８の内周壁と隔壁２７と
の間はＯリング２１ｇ、２１ｈによってそれぞれシール
されている。

【００１０】以上のような配置構成により、シリンダ本
体１５のロッド側端面内壁と第１のピストン２４との
間、第１のピストン２４と隔壁２７との間、隔壁２７と
第２のピストン２５との間および第２のピストン２５と
ヘッドカバー１７の端面内壁との間に、第１〜第４の室
２８、２９、３０、３１がそれぞれ形成されている。こ
れらの中、第１の室２８、第２の室２９および第４の室
３１は、それぞれ、ボディ１６に形成された第１のポー
ト３２、ボディ１６とヘッドカバー１７との係合部に形
成された第２のポート３３およびヘッドカバー１７に形
成された第３のポート３４を介して外部に連通してい
る。また、第１の室２８と第３の室３０とは前記通路２
３を介して連通している。すなわち、通路２３は、図６
から諒解されるように弁棒１２の略中央から先端部に至
るまで形成されており、横溝２２ａにより第１の室２８
に連通し、かつ横溝２２ｂにより第３の室３０に連通し
ているからである。なお、通路２３と第４の室３１と
は、該通路２３に嵌合する球形状の閉塞部材３５により
互いに遮断されている。

【００１１】このように構成されたダイヤフラム弁１の
第１の流路４と第２の流路５とを連通して流体を流通さ
せるためには、第１のポート３２を介して圧縮空気を第
１の室２８に導入する。この際、圧縮空気は横溝２２
ａ、通路２３および横溝２２ｂを介して第３の室３０へ
も導入される。

【００１２】一方、第２の室２９および第４の室３１に
は圧縮空気は導入されない。したがって、第２の室２９
および第４の室３１に比して、第１の室２８および第３
の室３０における圧力が高くなる。このため、第１の室
２８および第３の室３０側から第１のピストン２４およ
び第２のピストン２５が押圧され、その結果、両者がヘ
ッドカバー１７の端面内壁（図６における上方）に指向
して変位する。この場合、第１のピストン２４および第
２のピストン２５は保持部材２６ａ、２６ｂにより弁棒
１２に堅牢に保持されているので、第１のピストン２４
および第２のピストン２５の上方への変位に伴い、弁棒
１２も上方に変位する。この際、第２の室２９および第
４の室３１内の空気は、第２のポート３３および第３の
ポート３４を介して外部へと排出される。

【００１３】弁棒１２が上方へ変位する際には、コイル
スプリング１３が収縮し、一方、ダイヤフラム９は、前
記ダイヤフラム押圧部材１４に追従して中央部分が上方
に撓曲変位する。その結果、図６に示すように、ダイヤ
フラム９が弁座７から離間し、第１の流路４と第２の流
路５とが弁棒カバー挿入口６ａを介して連通するに至
る。これにより、ダイヤフラム弁１が開状態となり、流
体が流通可能となる。

【００１４】第１のポート３２からの圧縮空気の導入を
停止した場合、弁棒１２は、コイルスプリング１３の弾
発付勢により下方に変位する。したがって、ダイヤフラ
ム９が弁座７に着座し、第１の流路４と第２の流路５と
が再び互いに遮断され、流体の流通が停止される。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記した従
来技術に係るバルブ用シリンダ３においては、隔壁２７
をボディ１６とヘッドカバー１７とによって挟持してい
る。このため、シリンダチューブ１８をボディ１６側の
環状壁部１６ａとヘッドカバー１７側の環状壁部１７ａ
から構成している。これによって、例えば、製造時にお
ける寸法誤差等によりボディ１６またはヘッドカバー１
７の位置に偏りが生じると、第１のピストン２４または
第２のピストン２５の外周部端面に嵌合されたＯリング
２１ｅ、２１ｆは、弁棒１２が変位する際に、ボディ１
６またはヘッドカバー１７の内周壁に偏って摺接する。
その結果、摺接する箇所のみが速く摩耗するので、短期
間で気密性が確保できなくなり、このため、ダイヤフラ
ム弁１の動作不良を招いてしまうという不具合がある。

【００１６】また、シール部材や該シール部材が嵌合さ
れる部材に寸法誤差がある場合には気密性を確保するこ
とが困難となることから、シール箇所は少ない方が本来
は望ましいが、上記バルブ用シリンダ３においてはシー
ル箇所が９箇所と多く、しかも、シールを行うために８
個のＯリング２１ａ〜２１ｈと閉塞部材３５の合計９個
ものシール部材を必要とする。すなわち、構成部材数が
多いので、ダイヤフラム弁１が高価格となっている。

【００１７】本発明は上記した問題を解決するためにな
されたもので、シリンダチューブが１つの部材から構成
され、このためにピストンの外周部端面に嵌合されたＯ
リングが該シリンダチューブの内周壁に均等に摺接する
ので気密性が長期間に亘って確保され、これにより確実
に動作させることができ、しかも、シール箇所が少ない
ために気密性を確保することが容易であるとともに安価
なバルブ用シリンダおよびそれを備えるバルブを提供す
ることを目的とする。

【００１８】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明に係るバルブ用シリンダは、ボディおよび
前記ボディに固着されたカバー部材からなるシリンダ本
体と、前記ボディの環状壁部からなるシリンダチューブ
と、前記シリンダチューブに挿入された弁棒と、前記弁
棒が変位する際に該弁棒と一体的に変位する第１のピス
トンおよび第２のピストンと、前記第１と第２のピスト
ン間に配置された筒状隔壁と、前記シリンダ本体のロッ
ド側端部に形成された第１のポートと、前記シリンダ本
体のヘッド側端部に形成された第２のポートとを具備
し、前記第１または第２のピストンのいずれか一方が前
記筒状隔壁の内部に嵌合されるとともに他方が前記弁棒
に保持され、かつ前記筒状隔壁は前記第１または第２の
ピストンの一端面に突出形成された突出部に係合されて
おり、前記シリンダ本体のロッド側端面内壁と前記第１
のピストンの間に前記第１のポートを介して外部に連通
された第１の室が形成され、前記第１のピストンと前記
筒状隔壁との間に第２の室が形成され、前記筒状隔壁と
前記第２のピストンとの間に第３の室が形成され、前記
第２のピストンと前記シリンダ本体のヘッド側端面内壁
との間に前記第２のポートを介して外部に連通された第
４の室が形成され、前記第１の室は前記筒状隔壁または
前記第１のピストンに形成された第１の通路を介して前
記第３の室に連通しており、かつ前記第２の室は前記第
２のピストンまたは前記筒状隔壁に形成された第２の通
路を介して前記第４の室に連通していることを特徴とす
る。

【００１９】また、本発明に係るバルブは、第１の流路
および第２の流路が形成された継手部材と前記継手部材
に連結されたバルブ用シリンダとから構成され、前記バ
ルブ用シリンダが備える弁棒が変位することに伴って前
記第１の流路および第２の流路が連通または遮断される
ことにより流体の流通制御が行われるバルブにおいて、
前記バルブ用シリンダが、ボディおよび前記ボディに固
着されたカバー部材からなるシリンダ本体と、前記ボデ
ィの環状壁部からなるシリンダチューブと、前記シリン
ダチューブに挿入された弁棒と、前記弁棒が変位する際
に該弁棒と一体的に変位する第１のピストンおよび第２
のピストンと、前記第１と第２のピストン間に配置され
た筒状隔壁と、前記シリンダ本体のロッド側端部に形成
された第１のポートと、前記シリンダ本体のヘッド側端
部に形成された第２のポートとを具備し、前記第１また
は第２のピストンのいずれか一方が前記筒状隔壁の内部
に嵌合されるとともに他方が前記弁棒に保持され、かつ
前記筒状隔壁は前記第１または第２のピストンの一端面
に突出形成された突出部に係合されており、前記シリン
ダ本体のロッド側端面内壁と前記第１のピストンの間に
前記第１のポートを介して外部に連通された第１の室が
形成され、前記第１のピストンと前記筒状隔壁との間に
第２の室が形成され、前記筒状隔壁と前記第２のピスト
ンとの間に第３の室が形成され、前記第２のピストンと
前記シリンダ本体のヘッド側端面内壁との間に前記第２
のポートを介して外部に連通された第４の室が形成さ
れ、前記第１の室は前記筒状隔壁または前記第１のピス
トンに形成された第１の通路を介して前記第３の室に連
通しており、かつ前記第２の室は前記第２のピストンま
たは前記筒状隔壁に形成された第２の通路を介して前記
第４の室に連通しており、前記第１または第２のポート
のいずれか一方から圧力流体が導入されて前記第１と第
３の室または前記第２と第４の室のいずれか一方の２室
内の圧力が他方の２室内の圧力よりも高くなり、かつ前
記他方の２室内の気体が他方のポートから外部に排出さ
れることによって前記弁棒が変位することを特徴とす
る。

【００２０】このバルブ用シリンダまたはバルブにおい
ては、筒状隔壁はシリンダチューブに固定位置決めされ
ない。したがって、シリンダチューブを１つの部材（ボ
ディの環状壁部）から構成することができる。このた
め、該シリンダチューブの内周壁にはＯリングが均等に
摺接する。したがって、該Ｏリングの摩耗が極めて少な
くて済む。その結果、長期間に亘りバルブの動作不良を
招くことなく確実に開閉動作させることができる。

【００２１】また、このバルブ用シリンダまたはバルブ
においては、シール箇所が少ない。したがって、気密性
を確保することが容易である。加えて、シール部材の数
を少なくすることができるので、バルブを安価に提供す
ることが可能となる。

【００２２】この場合、第１または第２のピストンのい
ずれか一方の筒状隔壁側端面を、他方の一端面に突出形
成された突出部の端面に当接させることが好ましい。当
接されたピストンが圧力流体および他方のピストンの双
方から押圧されるので、弁棒が確実に変位するようにな
る。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るバルブ用シリ
ンダにつきこれを備えるバルブとの関係で好適な実施の
形態を挙げ、添付の図面を参照して詳細に説明する。な
お、図６に示される構成要素に対応する構成要素につい
ては同一の参照符号を付しており、また、その詳細な説
明を省略する場合がある。

【００２４】本実施の形態に係るバルブ用シリンダを備
え、圧縮空気の導入によって開動作するダイヤフラム弁
の概略縦断面を図１に示す。図１に示されるように、本
実施の形態に係るダイヤフラム弁４０は、継手部材２と
バルブ用シリンダ４２とが互いに連結されて構成され
る。

【００２５】継手部材２には突起部６が膨出形成されて
おり、該突起部６の内部には、後述する弁棒カバー８が
挿入される弁棒カバー挿入口６ａが形成されている。継
手部材２の内部にはさらに、流体を流通させるための第
１の流路４と第２の流路５が形成されており、両者は前
記弁棒カバー挿入口６ａにそれぞれ連通している。

【００２６】弁棒カバー挿入口６ａに通じる第１の流路
４の開口部には、該開口部を囲繞するように弁座７が設
けられている。ダイヤフラム弁４０が閉状態にある場
合、この弁座７には、弁棒カバー挿入口６ａの底部と該
弁棒カバー挿入口６ａに挿入固定された弁棒カバー８と
に挟持されたダイヤフラム９が着座する（図１参照）。
この着座によって第１の流路４と第２の流路５が互いに
遮断され、流体の流通が阻止される。

【００２７】弁棒カバー８の一方の小径な凸状一端部８
ａは、前記突起部６の外周部に嵌合するスクリューキャ
ップ１０に形成された貫通孔を通り、また、直径方向の
中心へと指向したテーパ面を有する他端部８ｂは、上記
したように弁棒カバー挿入口６ａに挿入され、該弁棒カ
バー挿入口６ａの底部に着座している。そして、弁棒カ
バー８は、スクリューキャップ１０が突起部６の外周に
形成されためねじ部１１に螺合されることによって継手
部材２に連結されている。これにより継手部材２とバル
ブ用シリンダ４２とが互いに連結され、ダイヤフラム弁
４０が構成される。弁棒カバー８が継手部材２に連結さ
れた際には、スクリューキャップ１０の頭部端面内壁に
より弁棒カバー８の中腹に形成された太径部８ｃが常時
押圧される。したがって、弁棒カバー８がスクリューキ
ャップ１０から離脱することなく継手部材２に保持され
る。

【００２８】弁棒カバー８の中空内部には、弁棒４４が
挿入されている。すなわち、継手部材２の突起部６内に
は、弁棒４４が弁棒カバー８を介して挿入されている。
弁棒４４の拡径した端部４４ａにはコイルスプリング１
３の一端が着座しており、該コイルスプリング１３の他
端は弁棒カバー８の凸状一端部８ａの端面内壁に着座し
ている。また、端部４４ａにはダイヤフラム押圧部材１
４が接合されている。

【００２９】そして、バルブ用シリンダ４２において
は、ボディ４６の開口端部にヘッドカバー４８が気密に
固着されてシリンダ本体５０が構成されている。このこ
とから諒解されるように、シリンダ本体５０のシリンダ
チューブ５２は、ボディ４６の環状壁部４６ａのみから
構成される。

【００３０】ボディ４６の端面（シリンダ本体５０のロ
ッド側端面）に形成された貫通孔１９には、弁棒カバー
８の凸状一端部８ａが挿入され、該凸状一端部８ａの先
端部はシリンダチューブ５２内に突出している。この突
出した先端部には環状溝８ｄが形成されており、該環状
溝８ｄにリング状の保持部材２０が係合されることによ
って弁棒カバー８のシリンダ本体５０からの抜け止めが
なされる。すなわち、弁棒カバー８がシリンダ本体５０
に保持され、その結果、弁棒４４の略中央から先端部が
シリンダチューブ５２に挿入される。なお、弁棒カバー
８とボディ４６との間および弁棒４４と弁棒カバー８の
先端部との間は、Ｏリング５３ａ、５３ｂによりそれぞ
れシールされている。

【００３１】バルブ用シリンダ４２はさらに、互いに所
定間隔離間して、弁棒４４が変位する際に該弁棒４４と
一体的に変位する第１のピストン５４および第２のピス
トン５６と、両者の間に介在された筒状隔壁５８とを具
備する。このような配置構成により、シリンダ本体５０
のロッド側端面内壁と第１のピストン５４との間、第１
のピストン５４と筒状隔壁５８との間、筒状隔壁５８と
第２のピストン５６との間および第２のピストン５６と
ヘッドカバー４８の端面内壁との間に、それぞれ、第１
〜第４の室２８、２９、３０、３１が形成されている。

【００３２】第１のピストン５４、筒状隔壁５８および
第２のピストン５６の構成につき、図１を参照してより
詳細に説明する。まず、略円盤状である第１のピストン
５４は、Ｏリング５３ｃを介して弁棒４４に固着され、
かつ筒状隔壁５８の内部に嵌合されている。すなわち、
第１のピストン５４は、弁棒４４と筒状隔壁５８との間
に介在されており、第１のピストン５４と弁棒４４との
間または筒状隔壁５８との間はＯリング５３ｃ、５３ｄ
によりそれぞれシールされている。そして、第１の室２
８は、シリンダ本体５０のロッ ド側に形成さ
れた第１のポート６０に連通している。

【００３３】第１のピストン５４の筒状隔壁５８側は、
第２のピストン５６の筒状隔壁５８側に突出形成された
中央突出部５６ａの端面に当接している。後述するよう
に、この当接と保持部材６２の係合により、第２のピス
トン５６が弁棒４４に保持される。

【００３４】筒状隔壁５８は、第２のピストン５６に突
出形成された前記中央突出部５６ａの環状壁部にＯリン
グ５３ｅを介して係合されている。すなわち、筒状隔壁
５８はシリンダチューブ５２には固定されていない。こ
のため、上記したように、シリンダチューブ５２をボデ
ィ４６の環状壁部４６ａのみで構成することができる。
なお、図１から諒解されるように、筒状隔壁５８の環状
壁部の端面は、シリンダチューブ５２の内周壁に膨出形
成された膨出部５２ａに当接している。

【００３５】ここで、筒状隔壁５８には、図２に示すよ
うに、該筒状隔壁５８の環状壁部および該環状壁部の端
面の各一部が切り欠かれることによって溝６４が形成さ
れている。この溝６４により、第１の室２８と第３の室
３０とが連通する。すなわち、第３の室３０は、第１の
室２８および前記第１のポート６０を介して外部に連通
している。

【００３６】第２のピストン５６の筒状隔壁５８側に突
出形成された前記中央突出部５６ａは弁棒４４を囲繞し
ており、筒状隔壁５８はこの中央突出部５６ａの環状壁
部にＯリング５３ｅを介して係合されている。そして、
中央突出部５６ａの端面には、第１のピストン５４の端
面が当接している。

【００３７】また、第２のピストン５６は直径方向に沿
って立ち上がり部５６ｂを有しており、後述するよう
に、ダイヤフラム弁４０が開状態となった際には、この
立ち上がり部５６ｂの上端面がヘッドカバー４８の端面
内壁に当接する。そして、前記立ち上がり部５６ｂの外
周部端面とシリンダチューブ５２との間はＯリング５３
ｆによってシールされている。

【００３８】さらに、第２のピストン５６は、弁棒４４
の先端部側が貫通して突出する貫通孔を有する。この貫
通孔から突出した弁棒４４の先端部には環状溝４４ｂが
形成されており、該環状溝４４ｂにはリング状の保持部
材６２が係合されている。この保持部材６２によって、
第２のピストン５６の弁棒４４からの抜け止めがなされ
る。結局、第２のピストン５６は、この保持部材６２と
第１のピストン５４とにより挟持されており、これによ
って弁棒４４に保持されている。

【００３９】第２のピストン５６の貫通孔に弁棒４４の
先端部が貫通された際には、第２のピストン５６と弁棒
４４との間に通路６６が形成される。この通路６６は、
第２のピストン５６の中央突出部５６ａの端面に形成さ
れた横溝６８を介して第２の室２９と連通している。す
なわち、横溝６８は、第２のピストン５６に形成された
前記貫通孔から中央突出部５６ａの端面の直径方向に沿
って形成され、第２の室２９に通じる開口部を有する。
さらに、通路６６は、保持部材６２がシール効果を奏す
ることなく弁棒４４の環状溝４４ｂに係合しているた
め、第４の室３１にも連通している。結局、第２の室２
９と第４の室３１とは、通路６６および横溝６８を介し
て連通している。

【００４０】一方、第４の室３１は、ヘッドカバー４８
に形成された第２のポート７０を介して外部に連通して
いる。以上から諒解されるように、第２の室２９は、第
４の室３１および第２のポート７０を介して外部に連通
している。

【００４１】このように、本実施の形態に係るバルブ用
シリンダ４２においては、シール部材がＯリング５３ａ
〜５３ｆの６個であり、従来技術に係るバルブ用シリン
ダ３より３個も少ない。換言すれば、シール箇所が３箇
所少ないので、従来のバルブ用シリンダ３よりも気密性
を確保することが容易となる。また、シール部材の数が
少ないので、ダイヤフラム弁４０を従来のダイヤフラム
弁１よりも安価に提供することが可能となる。

【００４２】本実施の形態に係るダイヤフラム弁４０は
基本的には以上のように構成されるものであり、次に、
その作用につき説明する。

【００４３】ダイヤフラム弁４０を開状態として流体を
流通させるためには、継手部材２に形成された第１の流
路４と第２の流路５とを連通させる。すなわち、まず、
前記第１のポート６０を介して圧縮空気を第１の室２８
に導入する。この際に、圧縮空気は筒状隔壁５８に形成
された溝６４を介して第３の室３０にも導入される。

【００４４】一方、第２の室２９および第４の室３１
は、第２のポート７０を介して外部に連通している。す
なわち、両室においては、大気圧に維持される。したが
って、第２の室２９および第４の室３１に比して第１の
室２８および第３の室３０内の圧力が高くなる。このた
め、第１のピストン５４および第２のピストン５６が、
第１の室２８および第３の室３０側から押圧される。そ
の結果、両者がヘッドカバー４８の端面内壁（図１にお
ける上方）に指向して変位する。この場合、第２のピス
トン５６の中央突出部５６ａの端面には第１のピストン
５４の端面が当接しているので、第２のピストン５６は
第１のピストン５４からも押圧されることになる。した
がって、第２のピストン５６、ひいては、弁棒４４が確
実に上方へ変位する。

【００４５】上記したように、第１のピストン５４は弁
棒４４と筒状隔壁５８とに固着されており、また、第２
のピストン５６は第１のピストン５４および保持部材６
２に挟持されることにより弁棒４４に保持されているの
で、第１のピストン５４および第２のピストン５６が上
方に変位することに伴って、弁棒４４もまた上方に変位
する。この際には、第２の室２９および第４の室３１内
の空気が第２のポート７０を介して外部へと排出され、
また、弁棒カバー８内のコイルスプリング１３が収縮す
る。なお、筒状隔壁５８は第３の室３０に導入された圧
縮空気により押圧されているので、弁棒４４とともに変
位することはない。

【００４６】弁棒４４が上方へ変位することに伴って、
ダイヤフラム９の中央部分は、図３に示すように、ダイ
ヤフラム押圧部材１４に追従して上方に撓曲変位し、弁
座７から離間する。これにより、第１の流路４と第２の
流路５とが連通し、ダイヤフラム弁４０が開状態となる
に至る。その結果、流体が流通可能となる。

【００４７】ダイヤフラム弁４０が開状態である場合、
第２のピストン５６の立ち上がり部５６ｂの上端面がヘ
ッドカバー４８の端面内壁に当接する。これにより、ダ
イヤフラム９の過大な変位が抑制されるので、該ダイヤ
フラム９が塑性変形することが回避される。したがっ
て、ダイヤフラム９の弁座７に対する着座不良、すなわ
ち、一方の流路から他方の流路への流体の漏出が惹起さ
れることがない。

【００４８】第１のポート６０からの圧縮空気の導入を
停止した場合、弁棒４４は、コイルスプリング１３の弾
発付勢により下方に変位する。したがって、ダイヤフラ
ム９が弁座７に着座し、第１の流路４と第２の流路５と
が再び互いに遮断され、流体の流通が停止される。ま
た、この変位の際には、第１のピストン５４、筒状隔壁
５８および第２のピストン５６が弁棒４４とともに下方
へ変位し、図１に示した状態（閉状態）に復帰する。

【００４９】なお、弁棒４４が変位する際には、第２の
ピストン５６の立ち上がり部５６ｂの外周部端面がシリ
ンダチューブ５２の内周壁に沿って摺動動作するが、上
記したように、該シリンダチューブ５２がボディ４６の
環状壁部４６ａのみからなるので、その内周壁にはＯリ
ング５３ｆが均等に摺接する。したがって、該Ｏリング
５３ｆの摩耗速度が著しく遅くなるので、第１のピスト
ン５４とシリンダチューブ５２との間の気密性が長期間
に亘り確保され、したがって、ダイヤフラム弁４０は、
長期間に亘り良好に開閉動作して流体の流通制御を行う
ことが可能である。

【００５０】本実施の形態に係るバルブ用シリンダを備
えるバルブとしては、さらに、図４および図５に示すよ
うに、圧縮空気が導入されることに伴って閉動作するダ
イヤフラム弁１００を例示することができる。

【００５１】このダイヤフラム弁１００の構成および作
用につき、図４および図５を参照して説明する。なお、
図１〜図３に示される構成要素に対応する構成要素につ
いては同一の参照符号を付し、詳細な説明を省略する。

【００５２】ダイヤフラム弁１００は、継手部材２とバ
ルブ用シリンダ１０２とが互いに連結されて構成され
る。該ダイヤフラム弁１００においては、バルブ用シリ
ンダ１０２の内部に圧縮空気が導入されない場合、図４
に示すように、弁棒カバー挿入口６ａの底部と該弁棒カ
バー挿入口６ａに挿入固定された弁棒カバー８とにより
挟持されたダイヤフラム９は、継手部材２の内部に形成
された第１の流路４の開口部を囲繞する弁座７から離間
している。したがって、弁棒カバー挿入口６ａを介して
第１の流路４と第２の流路５が連通するので、流体が流
通可能である。すなわち、ダイヤフラム弁１００は開状
態にある。

【００５３】この場合、弁棒１０４は、中空内部を有す
る下端部１０４ａと該下端部１０４ａに比して小径な上
端部１０４ｂとからなり、弁棒カバー８の内壁には下端
部１０４ａの環状壁部が摺接する。この下端部１０４ａ
の開口端部は、該開口端部に挿入された第１ダイヤフラ
ム押圧部材１０６および第２ダイヤフラム押圧部材１０
７のうち、第１ダイヤフラム押圧部材１０６の先端部に
より封止されている。弁棒１０４の下端部１０４ａの中
空内部にはコイルスプリング１３が挿入されており、該
コイルスプリング１３の一端は第２ダイヤフラム押圧部
材１０７の先端面に着座し、他端は下端部１０４ａの端
面内壁に着座している。

【００５４】ここで、第１ダイヤフラム押圧部材１０６
は、互いに直径が異なる第１円柱部１０６ａ、第２円柱
部１０６ｂからなり、第２円柱部１０６ｂの上端面およ
び下端面はテーパ状に縮径している。第２ダイヤフラム
押圧部材１０７も互いに直径が異なる第１円柱部１０７
ａ、第２円柱部１０７ｂからなり、第２円柱部１０７ｂ
の下端面がテーパ状に縮径している。そして、ダイヤフ
ラム弁１００が開状態にある場合、第１ダイヤフラム押
圧部材１０６と第２ダイヤフラム押圧部材１０７とは、
互いに所定間隔離間している。なお、第１ダイヤフラム
押圧部材１０６は第１抜け止め部材１０８により抜け止
めがなされ、また、第２ダイヤフラム押圧部材１０７は
第２抜け止め部材１１０により抜け止めがなされる。

【００５５】バルブ用シリンダ１０２のシリンダ本体１
１２においては、ボディ１１４の開口端部にロッドカバ
ー１１６が固着されている。すなわち、このシリンダ本
体１１２のシリンダチューブ１１８は、ボディ１１４の
環状壁部１１４ａのみから構成される。

【００５６】そして、ロッドカバー１１６に形成された
貫通孔１１９には、弁棒カバー８の凸状一端部８ａが挿
入されており、シリンダチューブ１１８内に突出した該
凸状一端部８ａの先端部に形成された環状溝８ｄにリン
グ状の保持部材２０が係合されることによって、弁棒カ
バー８のシリンダ本体１１２からの抜け止めがなされ
る。すなわち、弁棒カバー８がシリンダ本体１１２に保
持されるとともに、弁棒１０４の上端部１０４ｂがシリ
ンダチューブ１１８に挿入される。なお、弁棒カバー８
とロッドカバー１１６との間および弁棒１０４と弁棒カ
バー８の先端部との間は、Ｏリング５３ａ、５３ｂによ
りそれぞれシールされている。

【００５７】シリンダチューブ１１８に挿入された弁棒
１０４には、該弁棒１０４と一体的に変位する第１のピ
ストン１２０および第２のピストン１２２が保持されて
おり、両者の間には筒状隔壁１２４が配置されている。
このような配置構成により、ロッドカバー１１６の端面
内壁と第１のピストン１２０との間、第１のピストン１
２０と筒状隔壁１２４との間、筒状隔壁１２４と第２の
ピストン１２２との間および第２のピストン１２２とシ
リンダ本体１１２のヘッド側端面内壁との間に、それぞ
れ、第１〜第４の室２８、２９、３０、３１が形成され
ている。この中、第１の室２８および第４の室３１は、
ロッドカバー１１６（シリンダ本体１１２のロッド側端
面）に形成された第１のポート６０およびボディ１１４
のヘッド側端面に形成された第２のポート７０を介して
それぞれ外部に連通している。

【００５８】第１のピストン１２０、筒状隔壁１２４お
よび第２のピストン１２２の構成につき、図４を参照し
てより詳細に説明する。まず、第１のピストン１２０の
中央には貫通孔が形成されており、この貫通孔には弁棒
１０４が貫通している。そして、第１のピストン１２０
と弁棒１０４との間に、間隙からなる通路１２６が形成
されている。ここで、弁棒１０４の略中腹には環状溝１
０４ｃが形成されており、該環状溝１０４ｃにはリング
状の保持部材１２８が係合されている。第１のピストン
１２０は、この保持部材１２８および後述する保持部材
１３４によって弁棒１０４に保持されており、さらに、
コイルスプリング１２９によって図５における上方へと
付勢されている。このため、圧縮空気が導入される前に
第１のピストン１２０が下降してダイヤフラム弁１００
が閉止状態となることが回避される。

【００５９】前記通路１２６は、第１のピストン１２０
の中央突出部１２０ａの端面に形成された横溝１３０を
介して第３の室３０と連通している。すなわち、横溝１
３０は、第１のピストン１２０に形成された前記貫通孔
から中央突出部１２０ａの端面の直径方向に沿って形成
され、第３の室３０に通じる開口部を有する。さらに、
通路１２６は、保持部材１２８がシール効果を奏するこ
となく弁棒１０４の環状溝１０４ｃに係合しているた
め、第１の室２８にも連通している。結局、第１の室２
８と第３の室３０とは、通路１２６、横溝１３０および
前記第１のポート６０を介して外部に連通している。

【００６０】また、第１のピストン１２０は、環状の垂
下部１２０ｂを有しており、ダイヤフラム弁１００が閉
状態となった際には、該垂下部１２０ｂの下端面がロッ
ドカバー１１６の端面内壁に形成された膨出部１１６ａ
に当接する。そして、垂下部１２０ｂの外周部端面とシ
リンダチューブ１１８との間はＯリング５３ｃによって
シールされている。

【００６１】第１のピストン１２０の下端面には、コイ
ルスプリング１２９の一端が着座しており、該コイルス
プリング１２９の他端はロッドカバー１１６の端面内壁
に着座している。すなわち、第１のピストン１２０は、
上記したようにこのコイルスプリング１２９により図５
における上方へと付勢されている。なお、該コイルスプ
リング１２９は、弁棒カバー８に干渉しないようにロッ
ドカバー１１６側に指向してテーパ状に拡開している。

【００６２】筒状隔壁１２４は、第１のピストン１２０
の一端面に突出形成されて弁棒１０４を囲繞する前記中
央突出部１２０ａの環状壁部にＯリング５３ｄを介して
係合されている。すなわち、この実施の形態において
も、筒状隔壁１２４はシリンダチューブ１１８には固定
されない。このため、シリンダチューブ１１８をボディ
１１４の環状壁部１１４ａのみで構成することができ
る。なお、図４から諒解されるように、ダイヤフラム弁
１００が開状態である場合、筒状隔壁１２４の環状壁部
の端面は、ボディ１１４のヘッド側端面に当接してい
る。

【００６３】ここで、筒状隔壁１２４には、該筒状隔壁
１２４の環状壁部および該環状壁部の端面の各一部が切
り欠かれることによって溝１３２が形成されている。こ
の溝１３２により、第２の室２９と第４の室３１とが連
通する。すなわち、第２の室２９は、第４の室３１およ
び前記第２のポート７０を介して外部に連通している。

【００６４】略円盤状である第２のピストン１２２は、
Ｏリング５３ｅを介して弁棒１０４に固着され、かつ筒
状隔壁１２４の内部にＯリング５３ｆを介して嵌合され
ている。この第２のピストン１２２の一端面は、第１の
ピストン１２０の中央突出部１２０ａの端面に当接して
いる。すなわち、第１のピストン１２０は、第２のピス
トン１２２と前記保持部材１２８に挟持され、かつ第１
の室２８内に配置されたコイルスプリング１２９に保持
されることによって弁棒１０４に保持されている。

【００６５】さらに、弁棒１０４の上端部１０４ｂの先
端部には環状溝１０４ｄが形成されており、該環状溝１
０４ｄにはリング状の保持部材１３４が係合されてい
る。すなわち、２つの保持部材１２８、１３４によって
第１のピストン１２０と第２のピストン１２２が弁棒１
０４の上端部１０４ｂに位置決めされている。

【００６６】以上から諒解されるように、このバルブ用
シリンダ１０２においても、シール部材はＯリング５３
ａ〜５３ｆの６個である。

【００６７】このように構成されたダイヤフラム弁１０
０を閉止して流体の流通を停止する場合には、第２のポ
ート７０からシリンダ本体１１２の内部に圧縮空気を導
入する。この際、圧縮空気は第４の室３１に導入される
とともに筒状隔壁１２４に形成された溝１３２を介して
第２の室２９にも導入される。

【００６８】一方、第１の室２８および第３の室３０
は、第１のポート６０を介して外部に連通している。す
なわち、室２８、３０においては、大気圧に維持され
る。したがって、第１の室２８および第３の室３０に比
して第２の室２９および第４の室３１内の圧力が高くな
る。このため、第２のピストン１２２および第１のピス
トン１２０が、第４の室３１および第２の室２９側から
押圧される。その結果、第２のピストン１２２および第
１のピストン１２０がロッドカバー１１６の端面内壁
（図４における下方）に指向して変位する。なお、筒状
隔壁１２４は第２の室２９に導入された圧縮空気により
押圧されているので、弁棒１０４とともに変位すること
はない。

【００６９】上記したように、第２のピストン１２２は
弁棒１０４に固着されており、また、第１のピストン１
２０は第２のピストン１２２および保持部材１２８に挟
持されることにより弁棒１０４に保持されているので、
第２のピストン１２２および第１のピストン１２０が下
方に変位するのに伴って、弁棒１０４も下方に変位す
る。この場合、第１のピストン１２０の中央突出部１２
０ａの端面には第２のピストン１２２の端面が当接して
いるので、第１のピストン１２０は第２のピストン１２
２からも押圧されることになる。

【００７０】また、この際には、第１の室２８および第
３の室３０内の空気が第１のポート６０を介して外部へ
と排出され、弁棒１０４の下端部１０４ａ内のコイルス
プリング１３と第１の室２８内のコイルスプリング１２
９が収縮する。さらに、収縮したコイルスプリング１３
により第２ダイヤフラム押圧部材１０７が押圧されて下
方へと変位し、その結果、第１ダイヤフラム押圧部材１
０６が押圧されて下方へと変位してダイヤフラム９の中
央部分を押圧する。したがって、該中央部分が下方に撓
曲変位する。

【００７１】最終的には、図５に示すように、第１のピ
ストン１２０の垂下部１２０ｂの上端面がロッドカバー
１１６の端面内壁に形成された膨出部１１６ａに当接す
る。そして、ダイヤフラム９の中央部分が弁座７に着座
し、その結果、第１の流路４と第２の流路５とが互いに
遮断されてダイヤフラム弁１００が閉状態となるに至
る。すなわち、流体の流通が停止される。

【００７２】なお、この際、第１ダイヤフラム押圧部材
１０６の第２円柱部１０６ｂの下端面のテーパ部および
第２ダイヤフラム押圧部材１０７の第２円柱部１０７ｂ
の下端面のテーパ部は、それぞれ、第１抜け止め部材１
０８および第２抜け止め部材１１０に当接しない。この
ため、最大に収縮したコイルスプリング１３が第１ダイ
ヤフラム押圧部材１０６および第２ダイヤフラム押圧部
材１０７を押圧し、ダイヤフラム９が弁座７に確実に着
座する。

【００７３】第２のポート７０からの圧縮空気の導入を
停止した場合、弁棒１０４は、コイルスプリング１３、
１２９の弾発付勢により上方に変位する。したがって、
ダイヤフラム９が弁座７から離間して第１の流路４と第
２の流路５とが再び連通するので、流体の流通が可能と
なる。また、この変位の際には、第２のピストン１２２
および第１のピストン１２０も弁棒１０４とともに上方
へ変位し、図４に示した状態（閉状態）に復帰する。

【００７４】勿論、このダイヤフラム弁１００において
もシリンダチューブ１１８はボディ１１４の環状壁部１
１４ａのみから構成されているので、第１のピストン１
２０の垂下部１２０ｂの外周部端面に嵌合されたＯリン
グ５３ｃが均等にシリンダチューブ１１８の内周壁に摺
接する。したがって、Ｏリング５３ｃの摩擦速度が著し
く遅くなるので、ダイヤフラム弁１００は、長期間に亘
り良好に開閉動作して流体の流通制御を行うことができ
る。

【００７５】なお、上記した実施の形態においては、筒
状隔壁５８、１２４の環状壁部および該環状壁部の端面
の各一部を切り欠いて形成した溝６４、１３２により第
１の室２８と第３の室３０または第２の室２９と第４の
室３１とを連通しているが、前記環状壁部に貫通孔を形
成して連通するようにしてもよい。

【００７６】また、バルブ用シリンダ４２においては、
第２のピストン５６と弁棒４４との間に形成された間隙
からなる通路６６により第２の室２９と第４の室３１と
を連通しているが、通路６６を形成することなく弁棒４
４に第２のピストン５６を嵌合して、該第２のピストン
５６に第４の室３１および横溝６８に通じる貫通孔を形
成して連通するようにしてもよい。同様に、バルブ用シ
リンダ１０２においては、第１のピストン１２０に第３
の室３０および横溝１３０に通じる貫通孔を形成するこ
とによって第１の室２８と第３の室３０とを連通するよ
うにしてもよい。

【００７７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るバル
ブ用シリンダおよびそれを備えるバルブによれば、シリ
ンダチューブを１つの部材から構成することができる。
このため、Ｏリングが該シリンダチューブの内周壁に均
等に摺接するので、従来技術に係るバルブ用シリンダお
よびそれを備えるバルブよりも該Ｏリングの摩耗程度が
少ない。このため、バルブを長期間に亘り良好に開閉動
作させることができるという効果が達成される。また、
シール箇所が少ないので、気密性を確保することが容易
であるとともにシール部材の数を低減することができ、
その結果、安価なバルブを提供することが可能となる。

【００７８】また、２つのピストンの端面を互いに当接
するように配置することにより、圧力流体が導入された
際に、一方のピストンが圧力流体および他方のピストン
の双方により押圧される。したがって、弁棒が確実に変
位し、弁としての機能を充分に達成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施の形態に係るバルブ（ダイヤフラム弁）
の概略縦断面説明図である。

【図２】図１のバルブが備える筒状隔壁の概略全体斜視
説明図である。

【図３】図１のバルブが開状態となり、流体の流通が可
能となった状態を示す概略縦断面説明図である。

【図４】別の実施の形態に係るバルブ（ダイヤフラム
弁）の概略縦断面説明図である。

【図５】図４のバルブが閉状態となり、流体の流通が停
止された状態を示す概略縦断面説明図である。

【図６】従来技術に係るバルブ（ダイヤフラム弁）の概
略縦断面説明図である。

【符号の説明】

１、４０、１００・・・ダイヤフラム弁 ２・・・継手部材 ３、４２、１０２・・・バルブ用シリンダ ４、５・・・流路 ７・・・弁座 ８・・・弁棒カバー ９・・・ダイヤフラ
ム １２、４４、１０４・・・弁棒 １３、１２９・・・
コイルスプリング １５、５０、１１２・・・シリンダ本体 １６、４６、１
１４・・・ボディ １７、４８・・・ヘッドカバー １８、５２、１１８・・・シリンダチューブ ２１ａ〜２１ｈ、５３ａ〜５３ｆ・・・Ｏリング ２２ａ、２２ｂ、６８、１３０・・・横溝 ２３、６６、１２６・・・通路 ２４、２５、５４、５６、１２０、１２２・・・ピストン ２７・・・隔壁 ２８、２９、３
０、３１・・・室 ３２、３３、３４、６０、７０・・・ポート ５８、１２４・・・筒状隔壁 ５６ａ、１２０
ａ・・・中央突出部 ６４、１３２・・・溝

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ボディおよび前記ボディに固着されたカバ
   ー部材からなるシリンダ本体と、 前記ボディの環状壁部からなるシリンダチューブと、 前記シリンダチューブに挿入された弁棒と、 前記弁棒が変位する際に該弁棒と一体的に変位する第１
   のピストンおよび第２のピストンと、 前記第１と第２のピストン間に配置された筒状隔壁と、 前記シリンダ本体のロッド側端部に形成された第１のポ
   ートと、 前記シリンダ本体のヘッド側端部に形成された第２のポ
   ートと、 を具備し、 前記第１または第２のピストンのいずれか一方が前記筒
   状隔壁の内部に嵌合されるとともに他方が前記弁棒に保
   持され、かつ前記筒状隔壁は前記第１または第２のピス
   トンの一端面に突出形成された突出部に係合されてお
   り、 前記シリンダ本体のロッド側端面内壁と前記第１のピス
   トンの間に前記第１のポートを介して外部に連通された
   第１の室が形成され、 前記第１のピストンと前記筒状隔壁との間に第２の室が
   形成され、 前記筒状隔壁と前記第２のピストンとの間に第３の室が
   形成され、 前記第２のピストンと前記シリンダ本体のヘッド側端面
   内壁との間に前記第２のポートを介して外部に連通され
   た第４の室が形成され、 前記第１の室は前記筒状隔壁または前記第１のピストン
   に形成された第１の通路を介して前記第３の室に連通し
   ており、かつ前記第２の室は前記第２のピストンまたは
   前記筒状隔壁に形成された第２の通路を介して前記第４
   の室に連通していることを特徴とするバルブ用シリン
   ダ。
2. 【請求項２】請求項１記載のバルブ用シリンダにおい
   て、 前記第１または第２のピストンのいずれか一方の筒状隔
   壁側端面が他方の一端面に突出形成された突出部の端面
   に当接していることを特徴とするバルブ用シリンダ。
3. 【請求項３】第１の流路および第２の流路が形成された
   継手部材と前記継手部材に連結されたバルブ用シリンダ
   とから構成され、前記バルブ用シリンダが備える弁棒が
   変位することに伴って前記第１の流路および第２の流路
   が連通または遮断されることにより流体の流通制御が行
   われるバルブにおいて、 前記バルブ用シリンダが、 ボディおよび前記ボディに固着されたカバー部材からな
   るシリンダ本体と、 前記ボディの環状壁部からなるシリンダチューブと、 前記シリンダチューブに挿入された弁棒と、 前記弁棒が変位する際に該弁棒と一体的に変位する第１
   のピストンおよび第２のピストンと、 前記第１と第２のピストン間に配置された筒状隔壁と、 前記シリンダ本体のロッド側端部に形成された第１のポ
   ートと、 前記シリンダ本体のヘッド側端部に形成された第２のポ
   ートと、 を具備し、 前記第１または第２のピストンのいずれか一方が前記筒
   状隔壁の内部に嵌合されるとともに他方が前記弁棒に保
   持され、かつ前記筒状隔壁は前記第１または第２のピス
   トンの一端面に突出形成された突出部に係合されてお
   り、 前記シリンダ本体のロッド側端面内壁と前記第１のピス
   トンの間に前記第１のポートを介して外部に連通された
   第１の室が形成され、 前記第１のピストンと前記筒状隔壁との間に第２の室が
   形成され、 前記筒状隔壁と前記第２のピストンとの間に第３の室が
   形成され、 前記第２のピストンと前記シリンダ本体のヘッド側端面
   内壁との間に前記第２のポートを介して外部に連通され
   た第４の室が形成され、 前記第１の室は前記筒状隔壁または前記第１のピストン
   に形成された第１の通路を介して前記第３の室に連通し
   ており、かつ前記第２の室は前記第２のピストンまたは
   前記筒状隔壁に形成された第２の通路を介して前記第４
   の室に連通しており、 前記第１または第２のポートのいずれか一方から圧力流
   体が導入されて前記第１と第３の室または前記第２と第
   ４の室のいずれか一方の２室内の圧力が他方の２室内の
   圧力よりも高くなり、かつ前記他方の２室内の気体が他
   方のポートから外部に排出されることによって前記弁棒
   が変位することを特徴とするバルブ。
4. 【請求項４】請求項３記載のバルブにおいて、 前記第１または第２のピストンのいずれか一方の筒状隔
   壁側端面が他方の一端面に突出形成された突出部の端面
   に当接していることを特徴とするバルブ。