JP2524491Y2 - 弁装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、弁装置に関し、特に毒性，可燃性，腐蝕性
を有するガスの供給配管等に用いられる二重管の配管に
使用するのに適した弁装置に関する。

〔従来の技術〕

半導体用材料ガス等、毒性，可燃性，腐蝕性等を有す
るガス（以下、このようなガスを活性ガスと称する）を
供給する配管は、該活性ガスの漏洩防止の点から、近年
は二重管を使用する方向に進んでいる。従って、該配管
の途中に用いられる弁においても、活性ガスの漏洩を防
止する構造であることが要求される。

開閉頻度が少ない弁の場合には、操作ハンドルを含め
て弁全体を覆うようなカバーを用いることもできるが、
この場合は操作ハンドルの操作が面倒で、ほとんど不可
能であり、さらにカバーも大型化してしまうという欠点
がある。

第２図は、上記操作ハンドルの操作を考慮した従来の
弁装置の一例を示している。

配管Ｐには、内管１と外管２とからなる二重管３が用
いられており、その内管部1aに前述の活性ガスが流通
し、内管１と外管２との間の外管部2aは真空引き、ある
いは窒素ガス等の不活性ガスを流通するように形成され
ている。

そして、この配管Ｐの途中に弁４を設ける場合には、
従来は、一般の流体用の弁を用い、該弁４の外周部をカ
バー５で覆って活性ガスの漏洩を防止するようにしてい
る。即ち、弁箱4aの全体を覆うカバー５を用意し、該カ
バー５に設けた通孔5aに前記内管１を挿通して弁箱4aに
接続するとともに、前記通孔5aに外管２を気密に接続
し、さらに弁軸4bのカバー挿通部にＯリング６を設ける
ことにより弁箱全体を気密に覆い、弁部分から活性ガス
が漏洩した場合でも、該活性ガスをカバー５内から外管
部2aに導出するように形成していた。

〔考案が解決しようとする課題〕

しかしながら、上述のものでは、弁４自体が活性ガス
を使用する二重管用に設計されておらず、弁軸4bとして
Ｏリング６を装着できる長さのものを用いているため、
実質的なカバー５の大きさは前述の弁全体を覆うものと
ほとんど変りない大きさになってしまう。また、活性ガ
スが漏洩した場合、該漏洩ガスを弁体から脱出させる構
造にはなっていないため、漏洩した活性ガスが弁体内に
残留し、次第に濃縮される方向に進むため、熱や静電気
の作用等で爆発する等の原因となる虞があり、また濃縮
された活性ガスが外管部2aを経て外部に導出される虞が
あった。

そこで本考案は、前記二重管を使用した配管の途中に
用いる弁のカバーを小型化するとともに、活性ガスが漏
洩した場合でも、該漏洩ガスを速やかに弁体から排除で
きる構造の弁装置を提供することを目的としている。

〔課題を解決するための手段〕

上記した目的を達成するために、本考案の弁装置は、
弁箱は、弁室と、該弁室と前記二重管の内管部の一次側
とを連通する一次側流路と、前記弁室と前記二重管の内
管部の二次側とを連通する二次側流路と、該弁室内に設
けられて操作ハンドルに接続した弁軸の移動により前記
一次側流路と二次側流路とを開閉する弁体と、該弁体と
前記弁軸との接続部に設けられ、前記弁室を弁体側と弁
軸側とに区画する可撓性隔壁と、該可撓性隔壁にて区画
された弁軸側の弁室と弁箱外部とを連通させるガス抜き
孔と、該ガス抜き孔よりも操作ハンドル側に設けられ、
前記弁箱と弁軸とを気密に、かつ弁軸を弁体開閉方向移
動可能に保持する気密部材とを備えるとともに、該弁箱
の外周に、前記ガス抜き孔よりも操作ハンドル側で弁箱
外周面に気密に接続し、前記二重管を気密に挿通する通
孔を有するカバー部材にて前記弁箱の外周を覆い、該カ
バー部材に挿通された二重管の外管に、該カバー部材内
部と外管部とを連通する通路を形成したことを特徴とし
ている。

〔作用〕

従って、例えば前記可撓性隔壁の部分から活性ガスが
漏洩しても、可撓性隔壁にて区画された弁軸側の弁室と
弁箱外部とを連通させるガス抜き孔と、カバー部材内部
と二重管の外管部とを連通する通路とを介して速やかに
排出することができる。また、弁箱内で弁軸を気密に保
持するので、カバーの操作ハンドル側を弁箱に接続でき
るため、弁軸を短くでき、弁本体及びカバーを小型化す
ることができる。

〔実施例〕

以下、本考案の一実施例を第１図に基づいて説明す
る。

本考案の弁装置10は、従来と同様に形成された二重管
３に用いられるもので、該弁装置10は、二重管３の内管
部1aに供給される活性ガスの流通を制御する弁本体11と
カバー51とにより形成されている。

上記弁本体11は、内管部1aの一次側に接続される一次
側流路12と内管部1aの二次側に接続される二次側流路13
を有する本体部14と、該本体部14に圧接されるボンネッ
ト15と、該ボンネット15を前記本体部14に圧接させるボ
ンネットナット16とにより弁箱17が構成され、この弁箱
17内に形成される弁室18には、前記本体部14の活性ガス
の流入側の流路である一次側流路12と活性ガスの流出側
の流路である二次側流路13とがそれぞれ連通している。
そして、この弁室18には、前記一次側流路12を開閉する
弁体19と、該弁体19を開閉移動させる弁軸20と、該弁軸
20と弁体19との間に配置され、その外周が前記本体部14
とボンネット15との間に挟持されて弁室18内を気密に区
画する可撓性隔壁であるダイヤフラム21と、前記弁軸20
を移動させる操作ハンドル22とが設けられている。ま
た、前記本体部14の一次側流路12及び二次側流路13は、
該本体部14から僅かに突出する突出部12a,13aをそれぞ
れ有しており、該突出部12a,13aの径は、二重管３の内
管１の径と略同一に形成され、その外周には、外管２の
端部を係止する段部12b,13bが形成されている。さらに
上記ボンネット15とボンネットナット16との間には、ガ
ス抜き用の空間部23が形成されるとともに、該ガス抜き
用の空間部23の操作ハンドル22側で両者の間の気密を保
持するＯリング24と締付け用のスラストリング25とが設
けられ、ボンネットナット16の外周面には、カバー係止
用の段部16aが形成されている。

前記操作ハンドル22は、ハンドル部26と軸部27とによ
り構成されており、該軸部27は、その外周が前記ボンネ
ット15に螺合するとともに、その内部に前記弁軸20を回
動可能に収納保持し、軸部27の上下端部に設けたスリー
ブ28,28及び固定ナット29で、弁軸20に対して軸部27を
回動可能に、かつ軸部27に対する弁軸20の軸方向の動き
を固定している。即ち、操作ハンドル22を回動して軸部
27をボンネット15から螺出入させると、弁軸20が回動す
ることなく軸方向に移動し、弁体19が開閉方向に移動す
るように形成されている。

そして、前記ダイヤフラム21よりも操作ハンドル22側
のボンネット15には、ボンネット15の内外を連通するガ
ス抜き孔30が形成され、さらに前記ボンネットナット16
には、前記段部16aよりも反操作ハンドル側で、前記ボ
ンネット15のガス抜き孔30に対応するガス抜き孔31が形
成されており、このガス抜き孔30,31が、ダイヤフラム2
1にて区画された弁軸側の弁室と弁箱外部とを連通させ
るガス抜き孔となる。また、ボンネット15の前記ガス抜
き孔30よりも操作ハンドル側の内周面と弁軸20の外周面
との間には、両者の間を気密に仕切るとともに、弁軸20
の軸方向、即ち弁体開閉方向の移動を許容する気密部材
であるＯリング32が設けられている。

一方、前記カバー51は、略同径のカバー上部体52とカ
バー下部体53とに分割形成されており、カバー上部体52
には、前記ボンネットナット16の操作ハンドル22側を挿
通し、前記段部16aに係止される開口52aが形成され、カ
バー下部体53には、前記二重管３を挿通する通孔53aが
形成されている。

また、上記カバー51内に挿入される二重管３の外管２
の端部には、外管部2aとカバー51内部とを連通する通路
54が形成されており、前記弁室18の内ダイヤフラム21に
て区画された弁軸側の弁室と外管部2aとは、ダイヤフラ
ム21にて区画された弁軸側の弁室と弁箱外部とを連通さ
せるガス抜き孔、即ち前記ボンネット15及びボンネット
ナット16のガス抜き孔30,31と、前記通路54とを介して
連通している。さらに、カバー51の径は、内管１と前記
本体部14の一次側流路12及び二次側流路13との接合を考
慮して、該本体部14の一次側流路12の突出部12a端及び
二次側流路13の突出部13a端と略同程度乃至僅かに突出
部12a,13a端が突出する径に形成されている。

この弁装置10は、まずカバー下部体53を本体部14に被
冠させた状態で、二重管３の内管１の一次側を一次側流
路12の突出部12a端に，内管１の二次側を二次側流路13
の突出部13a端にそれぞれ溶接等により気密に接続し、
次いであらかじめ端部に通路54をそれぞれ形成した該管
２をカバー下部体53の通孔53aにそれぞれ挿通し、それ
ぞれの端部を、一次側流路12の突出部12a外周の段部12b
と二次側流路13の突出部13a外周の段部13bにそれぞれ係
止させた状態で、カバー下部体53に溶接等で気密に接合
する。

また、カバー上部体52は、ハンドル部26を未装着の状
態で取付けられ、該カバー上部体52とカバー下部体53と
の接合部及びカバー上部体52の開口52aとボンネットナ
ット16の段部16aとをそれぞれ溶接等により気密に接合
する。

その後、ハンドル部26を軸部27に固着して操作ハンド
ル22を完成させることにより、弁装置10の配管Ｐへの取
付け作業が終了する。

このように構成された弁装置10は、万一、ダイヤフラ
ム21が破損して、この部分から活性ガスが操作ハンドル
22側、即ちダイヤフラム21にて区画された弁軸側の弁室
に漏洩しても、該活性ガスは、ダイヤフラム21にて区画
された弁軸側の弁室と弁箱外部とを連通させるガス抜き
孔、即ち前記ボンネット15及びボンネットナット16のガ
ス抜き孔30,31からカバー51内に流出し、外管２に設け
た通路54から外管部2aに速やかに流出する。従って、弁
本体11内への活性ガスの濃縮が防止され、前述の活性ガ
スの濃縮による爆発の危険や濃縮された活性ガスが外部
に漏洩することを防止できる。

また、弁箱17内で弁軸20を気密に保持しているので、
カバー51の操作ハンドル22側を弁箱17の外周に接続でき
るため、弁軸20を短くしても十分な気密性を得ることが
できるとともに、カバー51は、弁本体11の弁箱17の一部
を覆う大きさに形成すればよいため、弁本体11及びカバ
ー51を小型化することができる。

さらに本実施例に示すように、外管２を弁箱17に係止
させるように形成することにより、操作ハンドル22の操
作力を内管１と外管２の両方で受けることができ、弁装
置10部分の剛性を向上させることができる。

〔考案の効果〕

以上説明したように、本考案の弁装置は、弁軸を弁箱
内で気密に保持し、カバーを弁箱の一部を覆う大きさに
形成するとともに、該カバー内を介して弁室から外管部
に連通するガス抜き用の流路として、可撓性隔壁にて区
画された弁軸側の弁室と弁箱外部とを連通させるガス抜
き孔と外管部とカバー内とを連通する通路とを設けたか
ら、カバーを含めた弁装置を小型に形成でき、しかも、
万一可撓性隔壁が破損して、この部分から弁軸側の弁室
に活性ガスが漏洩しても、弁体内に活性ガスが濃縮する
のを防止でき、安全性も向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の弁装置の一実施例を示す断面図、第２
図は従来の弁装置の一例を示す断面図である。 １……内管、1a……内管部、２……外管、2a……外管
部、３……二重管、10……弁装置、11……弁本体、12…
…一次側流路、13……二次側流路、14……本体部、15…
…ボンネット、16……ボンネットナット、17……弁箱、
18……弁室、19……弁体、20……弁軸、21……ダイヤフ
ラム、22……操作ハンドル、30,31……ガス抜き孔、32
……Ｏリング、51……カバー、52……カバー上部体、53
……カバー下部体、54……通路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭51−33329（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−37382（ＪＰ，Ａ) 実開 平１−69994（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−92378（ＪＰ，Ｕ)

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】毒性，可燃性，腐蝕性等を有する活性ガス
   を流通させる内管部と、不活性ガスを流通させるかもし
   くは真空排気されている外管部とよりなる二重管の途中
   に設けられる弁装置において、弁箱は、弁室と、該弁室
   と前記二重管の内管部の一次側とを連通する一次側流路
   と、前記弁室と前記二重管の内管部の二次側とを連通す
   る二次側流路と、該弁室内に設けられて操作ハンドルに
   接続した弁軸の移動により前記一次側流路と二次側流路
   とを開閉する弁体と、該弁体と前記弁軸との接続部に設
   けられ、前記弁室を弁体側と弁軸側とに区画する可撓性
   隔壁と、該可撓性隔壁にて区画された弁軸側の弁室と弁
   箱外部とを連通させるガス抜き孔と、該ガス抜き孔より
   も操作ハンドル側に設けられ、前記弁箱と弁軸とを気密
   に、かつ弁軸を弁体開閉方向移動可能に保持する気密部
   材とを備えるとともに、該弁箱の外周に、前記ガス抜き
   孔よりも操作ハンドル側で弁箱外周面に気密に接続し、
   前記二重管を気密に挿通する通孔を有するカバー部材に
   て前記弁箱の外周を覆い、該カバー部材に挿通された二
   重管の外管に、該カバー部材内部と外管部とを連通する
   通路を形成したことを特徴とする弁装置。