JP2001062601A - 硬質工具 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 工具類の砥材層として、砥粒とマトリック
ス、基材との間の結合力を高めるとともに、砥材層と基
材との熱膨張差による残留応力を緩和して、砥粒の脱落
および砥材層の剥離を防止する 【解決手段】 Ｃｏ１７質量％、Ｎｉ２９質量％、Ｆｅ
５４質量％の組成で線膨張係数が５×１０-6Ｋ-1のコバ
ールからなるシャンク１０の先端部１１に、角度６０度
の傾斜面を階段状にして複数段の平面１２を形成し、こ
の先端部１１の表面に、粒径３０μｍのダイヤモンド砥
粒にＴｉを厚さ１μｍ被覆した砥粒と、Ｃｕ７７質量
％、Ｓｎ１８質量％にＴｉとＺｒをそれぞれ２．５質量
％添加したろう材を用いて砥材層を形成してセンタとし
た。
ス、基材との間の結合力を高めるとともに、砥材層と基
材との熱膨張差による残留応力を緩和して、砥粒の脱落
および砥材層の剥離を防止する 【解決手段】 Ｃｏ１７質量％、Ｎｉ２９質量％、Ｆｅ
５４質量％の組成で線膨張係数が５×１０-6Ｋ-1のコバ
ールからなるシャンク１０の先端部１１に、角度６０度
の傾斜面を階段状にして複数段の平面１２を形成し、こ
の先端部１１の表面に、粒径３０μｍのダイヤモンド砥
粒にＴｉを厚さ１μｍ被覆した砥粒と、Ｃｕ７７質量
％、Ｓｎ１８質量％にＴｉとＺｒをそれぞれ２．５質量
％添加したろう材を用いて砥材層を形成してセンタとし
た。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はダイヤモンド砥粒、
ＣＢＮ砥粒などの超砥粒とろう材とからなる砥材層を基
材上に形成した硬質工具に関する。
ＣＢＮ砥粒などの超砥粒とろう材とからなる砥材層を基
材上に形成した硬質工具に関する。
【０００２】
【従来の技術】ワークセンタやセンタレスブレードなど
の研磨、研削用の工具類として、ダイヤモンド砥粒やＣ
ＢＮ砥粒などの超砥粒とマトリックスボンドからなる砥
材層を基材上に形成した硬質工具が用いられている。こ
のような硬質工具に形成される砥材層としては、工具類
の寿命、強度、精度を確保するために、砥粒の保持力、
耐摩耗性、緻密性、表面の平滑性、耐熱性などの特性が
要求され、とくに表面の平滑性、耐摩耗性を維持する点
から砥粒の保持力が重要視される。
の研磨、研削用の工具類として、ダイヤモンド砥粒やＣ
ＢＮ砥粒などの超砥粒とマトリックスボンドからなる砥
材層を基材上に形成した硬質工具が用いられている。こ
のような硬質工具に形成される砥材層としては、工具類
の寿命、強度、精度を確保するために、砥粒の保持力、
耐摩耗性、緻密性、表面の平滑性、耐熱性などの特性が
要求され、とくに表面の平滑性、耐摩耗性を維持する点
から砥粒の保持力が重要視される。
【０００３】以下、ワークセンタを例にとって説明す
る。研削や孔開けなど様々な加工が可能な旋盤や円筒研
削盤においては、被加工物を正確に芯出しすることが重
要であり、芯出しのためのワークセンタが用いられてい
る。ワークセンタの先端部は切削または研削時に強い力
が集中的に加わるため磨耗しやすく、この摩耗を軽減す
る対策として、シャンク先端部に円錐状に形成したダイ
ヤモンド焼結体のチップを嵌め込んだワークセンタが実
用化されている。本出願人もダイヤモンド焼結体のチッ
プを用いたワークセンタとして、特開平９−２０１７０
３号公報、特開平９−２０１７０４号公報、特開平９−
２０１７０５号公報に記載のワークセンタを提案してい
る。
る。研削や孔開けなど様々な加工が可能な旋盤や円筒研
削盤においては、被加工物を正確に芯出しすることが重
要であり、芯出しのためのワークセンタが用いられてい
る。ワークセンタの先端部は切削または研削時に強い力
が集中的に加わるため磨耗しやすく、この摩耗を軽減す
る対策として、シャンク先端部に円錐状に形成したダイ
ヤモンド焼結体のチップを嵌め込んだワークセンタが実
用化されている。本出願人もダイヤモンド焼結体のチッ
プを用いたワークセンタとして、特開平９−２０１７０
３号公報、特開平９−２０１７０４号公報、特開平９−
２０１７０５号公報に記載のワークセンタを提案してい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記したよ
うなダイヤモンド焼結体は、超高圧、高温下で焼結する
ことにより製作されるものであり、その製作に大がかり
な設備を必要とし、製作コストも高いという難点があ
る。また、焼結体の形状は円筒状や平板上のものに限ら
れ、円錐状などの立体的な形状の焼結体を得ることが難
しいので、円錐状に整形するために後加工が必要であ
る。さらに、寸法の面でも制約があり、砥粒層の厚さが
５ｍｍを超える大きさのものは製作が困難である。
うなダイヤモンド焼結体は、超高圧、高温下で焼結する
ことにより製作されるものであり、その製作に大がかり
な設備を必要とし、製作コストも高いという難点があ
る。また、焼結体の形状は円筒状や平板上のものに限ら
れ、円錐状などの立体的な形状の焼結体を得ることが難
しいので、円錐状に整形するために後加工が必要であ
る。さらに、寸法の面でも制約があり、砥粒層の厚さが
５ｍｍを超える大きさのものは製作が困難である。
【０００５】これに対し、口径の大きいセンタ穴用のワ
ークセンタの場合にダイヤモンド焼結体の使用量を節減
するための方策として、尖端周辺部を金属質またはサー
メット系高剛性材で構成し、基体の尖端を除く傾斜周面
に焼結超砥粒層を接合したワークセンタが、特開平８−
５２６０２号公報に開示されている。このように、先端
部の一部のみにダイヤモンド焼結体を用いるようにする
ことによって、大型のワークセンタについてもダイヤモ
ンド焼結体の適用が可能となる。
ークセンタの場合にダイヤモンド焼結体の使用量を節減
するための方策として、尖端周辺部を金属質またはサー
メット系高剛性材で構成し、基体の尖端を除く傾斜周面
に焼結超砥粒層を接合したワークセンタが、特開平８−
５２６０２号公報に開示されている。このように、先端
部の一部のみにダイヤモンド焼結体を用いるようにする
ことによって、大型のワークセンタについてもダイヤモ
ンド焼結体の適用が可能となる。
【０００６】しかしながら、ダイヤモンド焼結体自体の
問題として、砥粒の集中度が１５０程度以上の高集中度
の場合、砥粒とマトリックスの間の結合力が不十分なた
め、砥粒の脱落が生じやすく、耐摩耗性に欠けるという
という問題がある。また高集中度の場合、砥材層と基材
との熱膨張差により、界面からの剥離を生じやすいとい
う問題がある。これらの問題は上記のワークセンタに限
らず、他の工具類についても言えることである。
問題として、砥粒の集中度が１５０程度以上の高集中度
の場合、砥粒とマトリックスの間の結合力が不十分なた
め、砥粒の脱落が生じやすく、耐摩耗性に欠けるという
という問題がある。また高集中度の場合、砥材層と基材
との熱膨張差により、界面からの剥離を生じやすいとい
う問題がある。これらの問題は上記のワークセンタに限
らず、他の工具類についても言えることである。
【０００７】本発明が解決すべき課題は、工具類の耐摩
耗性が要求される部分に形成される砥材層として、砥粒
とマトリックス、基材との間の結合力を高めるととも
に、砥材層と基材との熱膨張差による残留応力を緩和し
て、砥粒の脱落および砥材層の剥離を防止することにあ
る。
耗性が要求される部分に形成される砥材層として、砥粒
とマトリックス、基材との間の結合力を高めるととも
に、砥材層と基材との熱膨張差による残留応力を緩和し
て、砥粒の脱落および砥材層の剥離を防止することにあ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の硬質工具は、ダ
イヤモンド，ＣＢＮなどの超砥粒を炭化物形成元素で被
覆した砥粒と、Ｃｕ−Ｓｎ系、Ａｇ−Ｃｕ系、Ｎｉ系な
どのろう材に１〜１５質量％の活性金属を含有する活性
金属含有ろう材とからなる砥材層を、線膨張係数が４×
１０-6〜８×１０-6Ｋ-1の金属である基材上に形成した
ことを特徴とする。
イヤモンド，ＣＢＮなどの超砥粒を炭化物形成元素で被
覆した砥粒と、Ｃｕ−Ｓｎ系、Ａｇ−Ｃｕ系、Ｎｉ系な
どのろう材に１〜１５質量％の活性金属を含有する活性
金属含有ろう材とからなる砥材層を、線膨張係数が４×
１０-6〜８×１０-6Ｋ-1の金属である基材上に形成した
ことを特徴とする。
【０００９】本発明の硬質工具においては、超砥粒を炭
化物形成元素で被覆した砥粒を用いたことによって、砥
材層を焼結する工程において砥粒被覆金属がろう材中に
拡散して、砥粒がろう材に強固に固着される。また、砥
材層を焼結する工程は従来のダイヤモンド焼結体の製作
時のような高温、高圧力を必要としないので、製造コス
トは安価であり、大型、立体的形状の砥材層を形成する
ことも容易である。
化物形成元素で被覆した砥粒を用いたことによって、砥
材層を焼結する工程において砥粒被覆金属がろう材中に
拡散して、砥粒がろう材に強固に固着される。また、砥
材層を焼結する工程は従来のダイヤモンド焼結体の製作
時のような高温、高圧力を必要としないので、製造コス
トは安価であり、大型、立体的形状の砥材層を形成する
ことも容易である。
【００１０】砥粒に被覆する炭化物形成元素として好ま
しいのは、ＴｉまたはＣｒである。炭化物形成元素とし
てはＴｉ、Ｃｒ以外にＶ、Ｆｅ、Ｗ、Ｓｉ、などがある
が、砥粒への被覆のしやすさ、被覆層の結合力、耐熱性
などの点から、とくにＴｉまたはＣｒが望ましい。
しいのは、ＴｉまたはＣｒである。炭化物形成元素とし
てはＴｉ、Ｃｒ以外にＶ、Ｆｅ、Ｗ、Ｓｉ、などがある
が、砥粒への被覆のしやすさ、被覆層の結合力、耐熱性
などの点から、とくにＴｉまたはＣｒが望ましい。
【００１１】また本発明の硬質工具においては、１〜１
５質量％の活性金属を含有したろう材を用いたことによ
って、砥材層を焼結する工程において、ろう材中の活性
金属が砥粒のＣと反応して化学的に結合するので、砥粒
がより強固に基材に固着される。
５質量％の活性金属を含有したろう材を用いたことによ
って、砥材層を焼結する工程において、ろう材中の活性
金属が砥粒のＣと反応して化学的に結合するので、砥粒
がより強固に基材に固着される。
【００１２】活性金属の含有量が１質量％より少ない
と、砥粒と反応する量が少なく、化学的結合が不十分と
なり、１５質量％を超えると、焼結が困難となり、ろう
材の強度が低下するので、活性金属の含有量は上記の範
囲内とする。
と、砥粒と反応する量が少なく、化学的結合が不十分と
なり、１５質量％を超えると、焼結が困難となり、ろう
材の強度が低下するので、活性金属の含有量は上記の範
囲内とする。
【００１３】活性金属としては、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｆ
ｅ、Ｍｏ、Ｗ、Ｓｉ、Ｚｒのいずれか１つ以上を用いる
ことができる。このような活性金属を用いることによ
り、耐摩耗性、耐熱性、強度に優れた砥材層を得ること
ができる。とくに活性金属としてＴｉやＣｒなどの炭化
物形成元素を含むろう材を用いると、焼結工程におい
て、ろう材中の活性金属が砥粒のＣと反応しやすくな
り、化学的結合が充分に起こるため、砥粒保持力が高
く、砥粒の脱落が起こりにくくなる。ろう材の基本成分
系はＣｕ−Ｓｎ系、Ａｇ−Ｃｕ系、Ｎｉ系などとし、こ
れに必要に応じてＴｉ、Ｃｒ、Ｖなどを添加することが
できる。
ｅ、Ｍｏ、Ｗ、Ｓｉ、Ｚｒのいずれか１つ以上を用いる
ことができる。このような活性金属を用いることによ
り、耐摩耗性、耐熱性、強度に優れた砥材層を得ること
ができる。とくに活性金属としてＴｉやＣｒなどの炭化
物形成元素を含むろう材を用いると、焼結工程におい
て、ろう材中の活性金属が砥粒のＣと反応しやすくな
り、化学的結合が充分に起こるため、砥粒保持力が高
く、砥粒の脱落が起こりにくくなる。ろう材の基本成分
系はＣｕ−Ｓｎ系、Ａｇ−Ｃｕ系、Ｎｉ系などとし、こ
れに必要に応じてＴｉ、Ｃｒ、Ｖなどを添加することが
できる。
【００１４】さらに本発明の硬質工具は、基材として線
膨張係数が４×１０-6〜８×１０-6Ｋ-1の金属を用いた
ことによって、砥材層と基材との熱膨張差による残留応
力が小さくなり、基材からの砥材層の剥離が生じにくく
なる。上記した砥粒とろう材の混合物の線膨張係数は８
×１０-6〜１０×１０-6Ｋ-1の範囲であるから、これに
近い線膨張係数の金属を基材として用いることにより、
熱膨張差による残留応力を小さくすることができる。こ
のような金属としては、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系、ＷＣ−Ｃ
ｏ系などの金属を用いることができるが、とくに砥材層
の線膨張係数に近いＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系金属（コバー
ル）を用いることが望ましい。
膨張係数が４×１０-6〜８×１０-6Ｋ-1の金属を用いた
ことによって、砥材層と基材との熱膨張差による残留応
力が小さくなり、基材からの砥材層の剥離が生じにくく
なる。上記した砥粒とろう材の混合物の線膨張係数は８
×１０-6〜１０×１０-6Ｋ-1の範囲であるから、これに
近い線膨張係数の金属を基材として用いることにより、
熱膨張差による残留応力を小さくすることができる。こ
のような金属としては、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系、ＷＣ−Ｃ
ｏ系などの金属を用いることができるが、とくに砥材層
の線膨張係数に近いＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系金属（コバー
ル）を用いることが望ましい。
【００１５】本発明にかかる硬質工具は、概略次のよう
な手順により製作することができる。 ダイヤモンド砥粒（２０〜３０μｍ）にＴｉ（または
Ｃｒ）を被覆した砥粒を準備する。 ろう材として、Ｃｕ６０〜８０質量％、Ｓｎ１６〜２
０質量％、Ｔｉ２〜１５質量％、Ｚｒ２〜５質量％の活
性金属ろう材（金属粉）を準備する。 ろう材に砥粒を２５〜６０体積％混合する。 上記混合物をカーボン製の型に充填し、非酸化性雰囲
気中で９００〜１０００℃、３０〜６０分間、加圧しな
がら焼結する。
な手順により製作することができる。 ダイヤモンド砥粒（２０〜３０μｍ）にＴｉ（または
Ｃｒ）を被覆した砥粒を準備する。 ろう材として、Ｃｕ６０〜８０質量％、Ｓｎ１６〜２
０質量％、Ｔｉ２〜１５質量％、Ｚｒ２〜５質量％の活
性金属ろう材（金属粉）を準備する。 ろう材に砥粒を２５〜６０体積％混合する。 上記混合物をカーボン製の型に充填し、非酸化性雰囲
気中で９００〜１０００℃、３０〜６０分間、加圧しな
がら焼結する。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明をワークセンタに適
用した実施形態について説明する。図１は実施形態にお
けるセンタ先端部を示す図で、（ａ）は砥材層形成前の
正面図、（ｂ）は砥材層形成後の正面（一部断面）図で
ある。
用した実施形態について説明する。図１は実施形態にお
けるセンタ先端部を示す図で、（ａ）は砥材層形成前の
正面図、（ｂ）は砥材層形成後の正面（一部断面）図で
ある。
【００１７】本実施形態のワークセンタは、先端部外径
１０ｍｍ、先端角度６０度のワークセンタであり、前記
の製作手順にしたがって製作したものである。砥材層は
粒径３０μｍのダイヤモンド砥粒にＴｉを厚さ１μｍ被
覆した砥粒を用い、ろう材はＣｕ７７質量％、Ｓｎ１８
質量％にＴｉとＺｒをそれぞれ２．５質量％添加した金
属粉末を用いた。ダイヤモンド砥粒の混合比率は５０体
積％（集中度２００）とし、基材はＣｏ１７質量％、Ｎ
ｉ２９質量％、Ｆｅ５４質量％の組成で線膨張係数が５
×１０-6Ｋ-1のコバールを用いた。
１０ｍｍ、先端角度６０度のワークセンタであり、前記
の製作手順にしたがって製作したものである。砥材層は
粒径３０μｍのダイヤモンド砥粒にＴｉを厚さ１μｍ被
覆した砥粒を用い、ろう材はＣｕ７７質量％、Ｓｎ１８
質量％にＴｉとＺｒをそれぞれ２．５質量％添加した金
属粉末を用いた。ダイヤモンド砥粒の混合比率は５０体
積％（集中度２００）とし、基材はＣｏ１７質量％、Ｎ
ｉ２９質量％、Ｆｅ５４質量％の組成で線膨張係数が５
×１０-6Ｋ-1のコバールを用いた。
【００１８】基材であるシャンク１０の先端部１１は、
図１（ａ）に示すように、角度６０度の傾斜面を階段状
にして複数段の平面１２を形成している。このように階
段状にすることによって、同図（ｂ）に示すように、砥
材層２０との接合面積を大きくして接合強度を大きくす
ることができる。また図示していないが、階段状とする
のに代えて傾斜面に複数条の溝を形成しても、同様に接
合面積を大きくすることができる。
図１（ａ）に示すように、角度６０度の傾斜面を階段状
にして複数段の平面１２を形成している。このように階
段状にすることによって、同図（ｂ）に示すように、砥
材層２０との接合面積を大きくして接合強度を大きくす
ることができる。また図示していないが、階段状とする
のに代えて傾斜面に複数条の溝を形成しても、同様に接
合面積を大きくすることができる。
【００１９】本発明の効果を確認するために、上記実施
形態のワークセンタ（発明品）と、比較例として特開平
８−５２６０２号公報記載のダイヤモンド焼結体を材料
とするワークセンタを作成した（比較品）。これらのワ
ークセンタを旋盤に取り付けて耐用試験を行った。図２
に試験結果を示す。
形態のワークセンタ（発明品）と、比較例として特開平
８−５２６０２号公報記載のダイヤモンド焼結体を材料
とするワークセンタを作成した（比較品）。これらのワ
ークセンタを旋盤に取り付けて耐用試験を行った。図２
に試験結果を示す。
【００２０】〔試験条件〕 使用機械 ：両センター円筒研削盤 ワークセンタ：φ１０、先端角度６０度 被研削材 ：炭素鋼（Ｓ２５Ｃ）
【００２１】〔試験結果〕図２は比較品のワークセンタ
の耐用度指数を１００としたときの発明品のワークセン
タの耐用度指数を示す図である。ここで耐用度とは、素
材表面の形状が崩れ、工具交換に至るまでの使用時間を
もって表したものである。発明品のワークセンタは、砥
材層の剥離や割れが発生せず、比較品のワークセンタに
比して耐用度が２０％向上している。また、比較品に比
べて発明品は、製造装置、材料、製造方法の面で著しく
低コストで製造することができた。
の耐用度指数を１００としたときの発明品のワークセン
タの耐用度指数を示す図である。ここで耐用度とは、素
材表面の形状が崩れ、工具交換に至るまでの使用時間を
もって表したものである。発明品のワークセンタは、砥
材層の剥離や割れが発生せず、比較品のワークセンタに
比して耐用度が２０％向上している。また、比較品に比
べて発明品は、製造装置、材料、製造方法の面で著しく
低コストで製造することができた。
【００２２】
【発明の効果】本発明によって以下の効果を奏すること
ができる。
ができる。
【００２３】（１）超砥粒をＴｉ、Ｃｒなどの炭化物形
成元素で被覆した砥粒を用いたことによって、砥材層を
焼結する工程において砥粒被覆金属がろう材中に拡散し
て、砥粒がろう材に強固に固着される。また、砥材層を
焼結する工程は従来のダイヤモンド焼結体の製作時のよ
うな高温、高圧力を必要としないので、製造コストは安
価であり、大型、立体的形状の砥材層を形成することも
容易である。
成元素で被覆した砥粒を用いたことによって、砥材層を
焼結する工程において砥粒被覆金属がろう材中に拡散し
て、砥粒がろう材に強固に固着される。また、砥材層を
焼結する工程は従来のダイヤモンド焼結体の製作時のよ
うな高温、高圧力を必要としないので、製造コストは安
価であり、大型、立体的形状の砥材層を形成することも
容易である。
【００２４】（２）ろう材としてＴｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｆ
ｅ、Ｍｏ、Ｗ、Ｓｉ、Ｚｒなどの活性金属を特定量含有
させた活性金属含有ろう材を用いることにより、耐摩耗
性、耐熱性、強度に優れた砥材層を得ることができる。
ｅ、Ｍｏ、Ｗ、Ｓｉ、Ｚｒなどの活性金属を特定量含有
させた活性金属含有ろう材を用いることにより、耐摩耗
性、耐熱性、強度に優れた砥材層を得ることができる。
【００２５】（３）基材として線膨張係数が４×１０-6
〜８×１０-6Ｋ-1の金属を用いることにより、砥材層と
基材との熱膨張差による残留応力を小さくすることがで
き、基材からの砥材層の剥離を防止することができる。
〜８×１０-6Ｋ-1の金属を用いることにより、砥材層と
基材との熱膨張差による残留応力を小さくすることがで
き、基材からの砥材層の剥離を防止することができる。
【図１】 本発明の実施形態におけるセンタ先端部を示
す図で、（ａ）は砥材層形成前の正面図、（ｂ）は砥材
層形成後の正面（一部断面）図である。
す図で、（ａ）は砥材層形成前の正面図、（ｂ）は砥材
層形成後の正面（一部断面）図である。
【図２】 耐用試験結果を示すグラフである。
１０ シャンク １１ シャンク先端部 １２ 平面 ２０ 砥材層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ２４Ｄ 3/06 Ｂ２４Ｄ 3/06 Ａ Ｃ (72)発明者 峠 直樹 福岡県浮羽郡田主丸町大字竹野210番地 ノリタケダイヤ株式会社内 Ｆターム(参考） 3C045 FE07 3C063 AA10 AB10 BA37 BB02 BC02
Claims (4)
- 【請求項１】 ダイヤモンド，ＣＢＮなどの超砥粒を炭
化物形成元素で被覆した砥粒と、Ｃｕ−Ｓｎ系、Ａｇ−
Ｃｕ系、Ｎｉ系などのろう材に１〜１５質量％の活性金
属を含有する活性金属含有ろう材とからなる砥材層を、
線膨張係数が４×１０-6〜８×１０-6Ｋ-1の金属である
基材上に一体焼結により形成した硬質工具。 - 【請求項２】 前記炭化物形成元素がＴｉまたはＣｒで
ある請求項１記載の硬質工具。 - 【請求項３】 前記活性金属がＴｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｆｅ、
Ｍｏ、Ｗ、Ｓｉ、Ｚｒのいずれか１つ以上である請求項
１または２記載の硬質工具。 - 【請求項４】 前記基材がＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系金属であ
る請求項１〜３のいずれかに記載の硬質工具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23880599A JP3398626B2 (ja) | 1999-08-25 | 1999-08-25 | 硬質工具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23880599A JP3398626B2 (ja) | 1999-08-25 | 1999-08-25 | 硬質工具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001062601A true JP2001062601A (ja) | 2001-03-13 |
| JP3398626B2 JP3398626B2 (ja) | 2003-04-21 |
Family
ID=17035563
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23880599A Expired - Fee Related JP3398626B2 (ja) | 1999-08-25 | 1999-08-25 | 硬質工具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3398626B2 (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005161510A (ja) * | 2003-12-02 | 2005-06-23 | Yoshihiro Tanigawa | メタルボンド砥石とその製造方法 |
| JP2006026809A (ja) * | 2004-07-16 | 2006-02-02 | Asahi Diamond Industrial Co Ltd | 切断用超砥粒工具 |
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|---|---|
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