JP2001062260A - スパイラル型気液接触膜モジュール - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 パーティクルの発生を抑制し、クリーンな気
体溶解液を製造することができる信頼性の高いスパイラ
ル型気液接触膜モジュールを提供する。 【解決手段】 スパイラル型気液接触膜モジュールは、
気体供給管３の一端を気体供給口１４としてハウジング
１外へ延出させ、気体供給管３と入口側キャップ部材１
ａを溶接棒６により溶接して液密にシールし、気体供給
口１４からオゾンガスＯＧを気体供給管３内へ直接供給
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液体中への気体の
溶解または液体中からの気体の拡散といった気液接触操
作に用いられるスパイラル型気液接触膜モジュールに関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、化学工業等の多くの分野におい
て、液体への気体溶解あるいは液体からの気体放散とい
った気液接触操作が行われている。たとえば、気体溶解
として、医薬品分野等における微生物培養液への酸素供
給、電子工業における超純水ラインへのオゾン溶解、水
産業界における養魚への酸素供給、あるいはＮＯ_x （窒
素酸化物）やＳＯ_x （硫黄酸化物）等の排ガス処理が挙
げられ、また、気体放散としては、純水製造における脱
炭酸処理が挙げられる。

【０００３】上記の気液接触操作に使用される膜モジュ
ールの形態の一つとして、スパイラル型気液接触膜モジ
ュールがある。このスパイラル型気液接触膜モジュール
では、透過性膜および流路材を中心管（有孔中空管）に
スパイラル状に巻回することにより構成されるエレメン
トをハウジング内に収容する構造が一般的である。

【０００４】また、気体溶解の一例として、半導体工業
におけるオゾン水の製造がある。現在、ウェーハの洗浄
には、アンモニア−過酸化水素水混合液、塩酸−過酸化
水素水混合液等の薬液が用いられているが、廃水処理に
かかるコストダウン、環境問題等の観点から、オゾン水
による洗浄が注目されている。ここで、ウェーハの洗浄
に用いられるオゾン水は、１０〜３０ｐｐｍと高濃度な
オゾン水が要求され、濃度コントロールも容易でなけれ
ばならない。また、当然のことながら、パーティクルに
ついても超純水レベルが要求される。

【０００５】これらの条件を満たすためには、従来から
用いられているいわゆるバブリング法では、高濃度なイ
オン水が得られにくい、クリーン度に問題がある、濃度
コントロールが困難である等の課題があり、膜モジュー
ルを使用してオゾンガスを超純水中に溶解させる方法が
近年用いられている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記のようなオゾン水
製造の場合、スパイラル型気液接触膜モジュールでは、
有孔中空管、気体供給口およびハウジングの各接続部
は、液密にシールされている必要がある。このため、従
来のスパイラル型気液接触膜モジュールでは、たとえ
ば、図５に示すように、継手１０１，１０２を用い、有
孔中空管１０４、気体供給口１０５およびハウジング１
０６の各接続部の接続およびシールを行っていた。しか
しながら、この従来のスパイラル型気液接触膜モジュー
ルでは、本来液接するはずのない継手１０１の表面が液
接し、さらに、ナット１０３のねじ部が液溜まりとな
り、パーティクルの発生原因となっていた。

【０００７】また、他の従来のスパイラル型気液接触膜
モジュールでは、たとえば、図６に示すように、アダプ
タ２０１を用い、ハウジング２０６とアダプタ２０１と
をＯリング２０２により液密にシールし、有孔中空管２
０４とアダプタ２０１とをＯリング２０３により液密に
シールしていた。

【０００８】ここで、気体としてオゾンガスが使用され
る場合、Ｏリング２０３として、ＮＢＲ、ＳＢＲ、ＥＰ
Ｒ等の一般的なゴム材はもちろんのこと、フッ素ゴムを
用いても、Ｏリング２０３が劣化する。Ｏリング２０３
が劣化すると、シール性が劣化するばかりでなく、パー
ティクルの発生原因にもなっていた。また、ＰＴＦＥ
（四フッ化エチレン樹脂）製のＯリングの場合、オゾン
ガスに対する耐性があるが、塑性変形を起こし易く、長
期間シールする場合に信頼性が低かった。

【０００９】本発明の目的は、パーティクルの発生を抑
制し、クリーンな気体溶解液を製造することができる信
頼性の高いスパイラル型気液接触膜モジュールを提供す
ることである。

【００１０】

【課題を解決するための手段および発明の効果】本発明
に係るスパイラル型気液接触膜モジュールは、透過性膜
と流路材とを重ねて有孔中空管の外周面にスパイラル状
に巻回して形成されたスパイラル型気液接触膜エレメン
トを容器内に液密に納めたスパイラル型気液接触膜モジ
ュールであって、有孔中空管の一端が気体供給口として
容器外へ延出し、有孔中空管の一端と容器とが液密にシ
ールされるものである。

【００１１】本発明に係るスパイラル型気液接触膜モジ
ュールにおいて、容器外へ延出した有孔中空管の一端を
気体供給口として用い、この気体供給口から気体が有孔
中空管内部へ直接供給され、有孔中空管の一端と容器と
が液密にシールされている。したがって、本来液接する
はずのない部品や使用する気体に耐性のないＯリング等
を容器内部に設ける必要がなく、パーティクルの発生を
抑制し、クリーンな気体溶解液を製造することができる
信頼性の高いスパイラル型気液接触膜モジュールを提供
することができる。

【００１２】透過性膜は、疎水性多孔質膜であることが
好ましい。この場合、透過性膜が疎水性であるため、溶
剤を含む液体が導入された場合でも、透過性膜の表面が
親水化されることを防止することができるので、液体に
接する透過性膜の表面が疎水性を保持し、気体溶解効率
または脱気効率の低下を防止することができる。また、
透過性膜が多孔質膜であるため、透過性膜の接合部分に
介在する接合剤が多孔質膜内に含浸しやすくなり、透過
性膜の接合強度を高めることができる。

【００１３】有孔中空管の一端と容器とが溶接棒により
溶接されて液密にシールされることが好ましい。この場
合、有孔中空管および容器自体が熱融解する必要がな
く、有孔中空管および容器の材質の選択幅を拡大するこ
とができる。

【００１４】溶接棒は、パーフルオロアルコキシ樹脂か
らなることが好ましい。この場合、パーフルオロアルコ
キシ樹脂はきわめて溶融しやすく、容易に有孔中空管と
容器とを熱融着により溶接することができる。

【００１５】有孔中空管の一端と容器とが熱融着されて
液密にシールされることが好ましい。この場合、必要最
小限の部品点数で有孔中空管の一端と容器とを液密にシ
ールすることができる。

【００１６】容器および有孔中空管は、パーフルオロア
ルコキシ樹脂またはパーフルオロエチレンプロピレン樹
脂からなることが好ましい。この場合、パーフルオロア
ルコキシ樹脂およびパーフルオロエチレンプロピレン樹
脂はきわめて溶融しやすく、容器を有孔中空管に容易に
熱融着することができる。

【００１７】有孔中空管の一端側には段差部が形成さ
れ、段差部と容器の内壁とが当接することが好ましい。
この場合、容器に対して有孔中空管を容易に位置決めす
ることができる。

【００１８】スパイラル型気液接触膜エレメントが連続
または独立した一または複数対の疎水性多孔質膜を内側
に液体側流路材を挟んでかつ外側に気体側流路材を重ね
て有孔中空管の外周面にスパイラル状に巻回されてな
り、スパイラル型気液接触膜エレメントが容器内に収容
され、容器がスパイラル型気液接触膜エレメントの外周
面に装着される本体部材と、本体部材の両端部に装着さ
れる第１および第２のキャップ部材とから構成され、疎
水性多孔質膜間で液体側流路材により形成される液体側
流路の内周側の側部および外周側の側部が封止されると
ともに、疎水性多孔質膜間で気体側流路材により形成さ
れる気体側流路の両端部が封止され、有孔中空管の気体
供給口から気体が供給され、本体部材に気体排出口が設
けられ、液体側流路に連通する液体供給口が第１のキャ
ップ部材に設けられ、液体側流路に連通する気体溶解液
出口が第２のキャップ部材に設けられ、容器内のスパイ
ラル型気液接触膜エレメントの両端部側に形成される第
１の空間と、本体部材とスパイラル型気液接触膜エレメ
ントとの間に形成される第２の空間とが分離され、第１
の空間のうちの一方が液体供給口に連通するとともに他
方が気体溶解液出口に連通し、第２の空間が気体排出口
に連通することが好ましい。

【００１９】この場合、液体は、容器の第１のキャップ
部材の液体供給口から一方の第１の空間内に供給され、
スパイラル型気液接触膜エレメントの疎水性多孔質膜間
に形成された液体側流路を通り他方の第１の空間に流動
し、容器の第２のキャップ部材の気体溶解液出口から外
部に排出される。また、気体は、有孔中空管の気体供給
口から直接供給され、スパイラル型気液接触膜エレメン
トの疎水性多孔質膜間に形成された気体側流路を通り容
器内の第２の空間に流動し、容器の本体部材に形成され
た気体排出口から外部に排出される。このとき、スパイ
ラル型気液接触膜エレメントの内部において、液体と気
体とは疎水性多孔質膜を介して接触し、目的成分の透過
作用が行われる。したがって、本来液接するはずのない
部品や使用する気体に耐性のないＯリング等を容器内部
に設ける必要がなく、パーティクルの発生を抑制し、ク
リーンな気体溶解液を製造することができる信頼性の高
いスパイラル型気液接触膜モジュールを提供することが
できる。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る一実施の形態
のスパイラル型気液接触膜モジュールについて説明す
る。また、以下においては、オゾン水を生成する場合を
例にあげて説明する。

【００２１】図１は、本発明による一実施の形態のスパ
イラル型気液接触膜モジュールの軸方向の断面図であ
る。

【００２２】図１に示すスパイラル型気液接触膜モジュ
ールは、円筒形のハウジング１およびハウジング１の内
部に挿入されたスパイラル型気液接触膜エレメント２を
備える。

【００２３】ハウジング１は、円筒状の本体部材１ｃ
と、入口側キャップ部材１ａおよび出口側キャップ部材
１ｂとから構成される。スパイラル型気液接触膜エレメ
ント２の外周部に本体部材１ｃが装着され、さらに本体
部材１ｃの両端部にそれぞれ入口側キャップ部材１ａお
よび出口側キャップ部材１ｂがねじ結合により装着され
る。スパイラル型気液接触膜エレメント２と本体部材１
ｃとの間は液密にシールされる。また、本体部材１ｃと
入口側キャップ部材１ａとの間および本体部材１ｃと出
口側キャップ部材１ｂとの間は溶接棒により溶接され液
密にシールされる。

【００２４】本体部材１ｃには、気体排出口１３が設け
られている。気体排出口１３がスパイラル型気液接触膜
モジュールの底部に位置するように、スパイラル型気液
接触膜モジュールは横向きに設置される。入口側キャッ
プ部材１ａの円筒側部に液体供給口１１が設けられ、出
口側キャップ部材１ｂの円筒底部に気体溶解液出口１２
が設けられている。

【００２５】ハウジング１すなわち入口側キャップ部材
１ａ、出口側キャップ部材１ｂおよび本体部材１ｃの材
質としては、ＰＴＦＥ（四フッ化エチレン樹脂）を用い
ることが好ましく、ｎｅｗＰＦＡ（パーフルオロアルコ
キシ樹脂）、ＰＶＤＦ（ビニリデンフルオライド樹
脂）、ＦＥＰ（パーフルオロエチレンプロピレン樹脂）
を用いることもできる。ここで、ｎｅｗＰＦＡは、従来
のＰＦＡ（パーフルオロアルコキシ樹脂）の分子構造の
両端に存在する不安定末端基の代わりに分子構造の両端
にＣＦ₃ 基を有し、より純粋なフロロポリマーとなって
いるものである。そのため、ｎｅｗＰＦＡは、従来のＰ
ＦＡと比べ化学的に安定な構造を持ち、従来のＰＦＡよ
りも種々の薬液に対する耐薬品性が向上している。

【００２６】有孔中空管からなる気体供給管３の一方の
端部は、三段円筒形状を有する。直径の最も小さい一段
目の円筒部には雄ねじが形成され、二段目の円筒部が入
口側キャップ部材１ａの円筒底部に設けられた孔に挿入
され、直径の最も大きい三段目の円筒部の頭部が入口側
キャップ部材１ａの円筒底部に当接し、気体供給管３が
入口側キャップ部材１ａに対して位置決めされている。
気体供給管３の材質としては、ｎｅｗＰＦＡを用いるこ
とが好ましく、ＰＴＦＥ、ＰＶＤＦ、ＦＥＰを用いるこ
ともできる。

【００２７】上記のように、気体供給管３の一方の端部
が入口側キャップ部材１ａ外へ延出し、気体供給口１４
を形成している。なお、気体供給管３の一方の端部の形
状は、この例に特に限定されず、入口側キャップ部材１
ａ外へ延出していれば、雌ねじ形状、チューブ形状、継
手形状等の他の形状であってもよい。

【００２８】気体供給管３と入口側キャップ部材１ａと
は、溶接棒６により溶接され、液密にシールされてい
る。溶接棒６の材質としては、ＰＦＡ、ｎｅｗＰＦＡを
用いることが好ましい。

【００２９】なお、気体供給管３および入口側キャップ
部材１ａがＰＦＡ、ｎｅｗＰＦＡ、ＦＥＰ等のように熱
融着可能な樹脂の場合、溶接棒６を用いずに、気体供給
管３および入口側キャップ部材１ａを熱融着してシール
してもよい。また、使用する気体および液体に耐性があ
る場合は、Ｏリング等のパッキング材を用いて、気体供
給管３と入口側キャップ部材１ａとの間をシールしても
よい。

【００３０】図２は、図１に示すスパイラル型気液接触
膜モジュールのスパイラル型気液接触膜エレメント２の
一部切欠き斜視図である。

【００３１】図２において、スパイラル型気液接触膜エ
レメント２は、液体側流路材３３の両面に疎水性多孔質
膜３４を重ね合わせ、さらに疎水性多孔質膜３４の他方
の面に気体側流路材３５を重ね合わせ、それらを気体供
給管３の周りに巻回することにより構成されている。疎
水性多孔質膜３４の材質としては、オゾンに対する耐久
性から、ＰＴＦＥを用いることが好ましい。なお、オゾ
ンの生成以外の他の用途に使用する場合、対象となる気
体に対する耐性があれば、ポリエチレン、ポリスルホ
ン、ポリプロピレン等からなる他の疎水性多孔質膜を用
いてもよい。

【００３２】図３は、図１に示すスパイラル型気液接触
膜モジュールのＡ−Ａ線部分拡大断面図である。

【００３３】図３に示すように、スパイラル型気液接触
膜エレメント２において、液体側流路材３３を挟んだ疎
水性多孔質膜３４間のスパイラル状の空間が液体側流路
３９を構成する。スパイラル状の液体側流路３９の内周
側の側部（気体供給管３に平行な辺）および外周側の側
部が、液体側流路材３３を挟む疎水性多孔質膜３４同士
を融着することにより封止されている。これにより、液
体側流路３９の内周側の側部および外周側の側部にそれ
ぞれ内周側封止部３９ａおよび外周側封止部３９ｂが形
成される。一方、気体側流路材３５を挟んだ疎水性多孔
質膜３４間のスパイラル状の空間が気体側流路３８を構
成する。

【００３４】図４は、図１のスパイラル型気液接触膜モ
ジュールの部分拡大断面図である。図２および図４に示
すように、液体側流路３９は、純水ＰＷおよびオゾン水
ＯＷがスパイラル型気液接触膜エレメント２の軸方向に
流動可能な空間になる。また、液体側流路３９の軸方向
の両端部は開放されているため、スパイラル型気液接触
膜エレメント２の一方の端面から純水ＰＷが流入すると
ともに、他方の端面からオゾン水ＯＷが流出することが
できる。

【００３５】一方、スパイラル状の気体側流路３８の軸
方向の両端部は、樹脂材３７により封止されている。こ
れにより、気体側流路３８を封止する封止部２ｂ，２ｃ
がスパイラル型気液接触膜エレメント２の両端部に形成
される。したがって、気体側流路３８への純水ＰＷの流
入が防止されるとともに、気体側流路３８は、オゾンガ
スＯＧがスパイラル型気液接触膜エレメント２のスパイ
ラル方向に流動可能な空間となる。

【００３６】上記の構成により、スパイラル型気液接触
膜エレメント２の気液接触部２ａにおいて、気体側流路
３８と液体側流路３９とは、疎水性多孔質膜３４、外周
側封止部３９ａ、内周側封止部３９ｂおよび封止部２
ｂ，２ｃによって分離された構成となる。

【００３７】また、図４に示すように、スパイラル型気
液接触膜エレメント２の最外周の疎水性多孔質膜３４と
本体部材１ｃとの間は、樹脂材３７により液密にシール
されており、スパイラル型気液接触膜エレメント２の外
周面と本体部材１ｃの内周面とで構成された円筒形空間
３８ａが形成される。

【００３８】次に、上記のように構成されたスパイラル
型気液接触膜モジュールの運転時の状態について説明す
る。

【００３９】まず、図１に示すように、スパイラル型気
液接触膜モジュールの運転時には、純水ＰＷが液体供給
口１１を通り、ハウジング１の入口側キャップ部材１ａ
とスパイラル型気液接触膜エレメント２の端面とで構成
された入口空間４に流入する。一方、オゾンガスＯＧ
は、気体供給管３の気体供給口１４からスパイラル型気
液接触膜エレメント２の内部に供給される。

【００４０】次に、図３および図４に示すように、純水
ＰＷは、液体側流路３９内を液体側流路材３３に沿って
軸方向に流れる。一方、オゾンガスＯＧは、気体供給管
３の側面の供給孔３ａから気体側流路３８内に入る。オ
ゾンガスＯＧは、気体側流路材３５に沿って気体供給管
３に直交する方向にスパイラル状に流動し、気体側流路
材３５の外周部の側部から円筒形空間３８ａに排出され
た後、気体排出口１３から外部へ排出される。

【００４１】このとき、スパイラル型気液接触膜エレメ
ント２の気液接触部２ａでは、気体供給管３にほぼ直交
する方向にスパイラル状に流動するオゾンガスＯＧと、
気体供給管３に平行に流動する純水ＰＷとが疎水性多孔
質膜３４を介して接触する。これにより、オゾンガスＯ
Ｇが疎水性多孔質膜３４を透過して純水ＰＷ中に溶解
し、オゾン水ＯＷが生成される。

【００４２】次に、スパイラル型気液接触膜エレメント
２の端面から流出したオゾン水ＯＷは、図１に示すよう
に、出口側キャップ部材１ｂとスパイラル型気液接触膜
エレメント２の端面とで構成された出口空間５を通り、
気体溶解液出口１２から外部へ排出される。

【００４３】また、図３に示すように、スパイラル型気
液接触膜エレメント２の液体側流路３９で発生した水蒸
気は、疎水性多孔質膜３４を透過し、気体側流路３８に
おいて凝縮し、凝縮水ＣＷとなる。凝縮水ＣＷは、オゾ
ンガスＯＧとともに気体側流路３８をスパイラル状に流
動し、気体側流路材３５の外周部の側部から円筒形空間
３８ａに排出された後、気体排出口１３から外部へ排出
される。

【００４４】上記のように、本実施の形態では、気体供
給管３の一端を気体供給口１４としてハウジング１外へ
延出させ、気体供給管３と入口側キャップ部材１ａを溶
接棒６により溶接して液密にシールしているので、気体
供給口１４からオゾンガスＯＧを気体供給管３内へ直接
供給することができる。したがって、本来液接するはず
のない部品やオゾンガスに耐性のないＯリング等をハウ
ジング１内部に設ける必要がなく、パーティクルの発生
を抑制し、クリーンな気体溶解液であるオゾン水ＯＷを
製造することができる。

【００４５】なお、上記の説明では、本発明に係るスパ
イラル型気液接触膜モジュールを用いてオゾン水を生成
する場合について説明したが、本発明は他の用途のスパ
イラル型気液接触膜モジュールにも適用することがで
き、オゾン水以外の気体溶解液を生成することも可能で
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による一実施の形態のスパイラル型気液
接触膜モジュールの軸方向の断面図である。

【図２】図１のスパイラル型気液接触膜モジュールにお
けるスパイラル型気液接触膜エレメントの一部切欠き傾
斜図である。

【図３】図１中のＡ−Ａ線断面図である。

【図４】図１のスパイラル型気液接触膜モジュールの部
分拡大断面図である。

【図５】従来のスパイラル型気液接触膜モジュールの軸
方向の部分断面図である。

【図６】従来のスパイラル型気液接触膜モジュールの軸
方向の部分断面図である。

【符号の説明】

１ ハウジング １ａ 入口側キャップ部材 １ｂ 出口側キャップ部材 １ｃ 本体部材 ２ スパイラル型気液接触膜エレメント ３ 気体供給管 ４ 入口空間 ５ 出口空間 ６ 溶接棒 １１ 液体供給口 １２ 気体溶解液出口 １３ 気体排出口 １４ 気体供給口 ３３ 液体側流路材 ３４ 疎水性多孔質膜 ３５ 気体側流路材 ３８ 気体側流路 ３９ 液体側流路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 4D006 GA32 GA35 HA61 HA62 JA15A JA15C JA19A JA19C JA22C JA22Z JA23C JA25A JA25C JA27A JA27C JA30C JB06 JB07 MA03 MB10 MB11 MC22 MC23 MC30X MC62 PA10 PB02 PB20 PB70 PC01

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 透過性膜と流路材とを重ねて有孔中空管
   の外周面にスパイラル状に巻回して形成されたスパイラ
   ル型気液接触膜エレメントを容器内に液密に納めたスパ
   イラル型気液接触膜モジュールであって、 前記有孔中空管の一端が気体供給口として前記容器外へ
   延出し、前記有孔中空管の一端と前記容器とが液密にシ
   ールされることを特徴とするスパイラル型気液接触膜モ
   ジュール。
2. 【請求項２】 前記透過性膜は、疎水性多孔質膜である
   ことを特徴とする請求項１記載のスパイラル型気液接触
   膜モジュール。
3. 【請求項３】 前記有孔中空管の一端と前記容器とが溶
   接棒により溶接されて液密にシールされることを特徴と
   する請求項１または２記載のスパイラル型気液接触膜モ
   ジュール。
4. 【請求項４】 前記溶接棒は、パーフルオロアルコキシ
   樹脂からなることを特徴とする請求項３記載のスパイラ
   ル型気液接触膜モジュール。
5. 【請求項５】 前記有孔中空管の一端と前記容器とが熱
   融着されて液密にシールされることを特徴とする請求項
   １または２記載のスパイラル型気液接触膜モジュール。
6. 【請求項６】 前記容器および前記有孔中空管は、パー
   フルオロアルコキシ樹脂またはパーフルオロエチレンプ
   ロピレン樹脂からなることを特徴とする請求項１〜５の
   いずれかに記載のスパイラル型気液接触膜モジュール。
7. 【請求項７】 前記有孔中空管の一端側には段差部が形
   成され、前記段差部と前記容器の内壁とが当接すること
   を特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のスパイラ
   ル型気液接触膜モジュール。
8. 【請求項８】 前記スパイラル型気液接触膜エレメント
   が連続または独立した一または複数対の疎水性多孔質膜
   を内側に液体側流路材を挟んでかつ外側に気体側流路材
   を重ねて前記有孔中空管の外周面にスパイラル状に巻回
   されてなり、前記スパイラル型気液接触膜エレメントが
   前記容器内に収容され、前記容器が前記スパイラル型気
   液接触膜エレメントの外周面に装着される本体部材と、
   前記本体部材の両端部に装着される第１および第２のキ
   ャップ部材とから構成され、前記疎水性多孔質膜間で前
   記液体側流路材により形成される液体側流路の内周側の
   側部および外周側の側部が封止されるとともに、前記疎
   水性多孔質膜間で前記気体側流路材により形成される気
   体側流路の両端部が封止され、前記有孔中空管の前記気
   体供給口から気体が供給され、前記本体部材に気体排出
   口が設けられ、前記液体側流路に連通する液体供給口が
   前記第１のキャップ部材に設けられ、前記液体側流路に
   連通する気体溶解液出口が前記第２のキャップ部材に設
   けられ、前記容器内の前記スパイラル型気液接触膜エレ
   メントの両端部側に形成される第１の空間と、前記本体
   部材と前記スパイラル型気液接触膜エレメントとの間に
   形成される第２の空間とが分離され、前記第１の空間の
   うちの一方が前記液体供給口に連通するとともに他方が
   前記気体溶解液出口に連通し、前記第２の空間が前記気
   体排出口に連通することを特徴とする請求項１〜６のい
   ずれかに記載のスパイラル型気液接触膜モジュール。