JPH11114310A - 液体脱気用接触装置 - Google Patents
液体脱気用接触装置Info
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- JPH11114310A JPH11114310A JP10232989A JP23298998A JPH11114310A JP H11114310 A JPH11114310 A JP H11114310A JP 10232989 A JP10232989 A JP 10232989A JP 23298998 A JP23298998 A JP 23298998A JP H11114310 A JPH11114310 A JP H11114310A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D19/00—Degasification of liquids
- B01D19/0031—Degasification of liquids by filtration
-
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- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
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- B01D63/00—Apparatus in general for separation processes using semi-permeable membranes
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-
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- B01D63/024—Hollow fibre modules with a single potted end
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- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
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- Physical Water Treatments (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 液体からの溶解気体の物質移動を増大させた
液体から脱気するための新しい接触装置及びシステムを
提供する。 【解決手段】 孔の開いたコア２４、複数の微孔中空フ
ァイバー２６、及び外殻３２を含む液体を脱気するため
の接触装置１２である。ファイバー２６はコア２４を取
り囲み、２つの末端を有する。管板２８が上記末端を固
定する。邪魔板３０が管板２８の間に配置されている。
中空ファイバー２６は邪魔板３０で閉じられている。外
殻３２がファイバー２６、管板２８、及び邪魔板３０を
格納している。液体を脱気するためのシステムには、気
体を含有する液体源１６、真空源１４、及び接触装置１
２が含まれる。
液体から脱気するための新しい接触装置及びシステムを
提供する。 【解決手段】 孔の開いたコア２４、複数の微孔中空フ
ァイバー２６、及び外殻３２を含む液体を脱気するため
の接触装置１２である。ファイバー２６はコア２４を取
り囲み、２つの末端を有する。管板２８が上記末端を固
定する。邪魔板３０が管板２８の間に配置されている。
中空ファイバー２６は邪魔板３０で閉じられている。外
殻３２がファイバー２６、管板２８、及び邪魔板３０を
格納している。液体を脱気するためのシステムには、気
体を含有する液体源１６、真空源１４、及び接触装置１
２が含まれる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は液体を脱気するため
の接触装置及びシステムに関する。
の接触装置及びシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】流体を分離することが可能な接触装置は
公知であり、例えば引用することにより本明細書の一部
をなすものとする米国特許第４，２２０，５３５号、第
５，２６４，１７１号、及び第５，３５２，３６１号を
見られたい。これらの接触装置は孔を開けた中心筒と、
筒を取り囲む複数の中空ファイバーと、中空ファイバー
の末端を固定する管板と、管板の間に配置された邪魔板
と、及び筒、ファイバー、管板と邪魔板を取り囲む外殻
とからなる。しかしながら、ファイバーは邪魔板で閉じ
られず、一つの管板から他の管板へ中空ファイバーの内
腔を通って流体の流通があるように開いている。
公知であり、例えば引用することにより本明細書の一部
をなすものとする米国特許第４，２２０，５３５号、第
５，２６４，１７１号、及び第５，３５２，３６１号を
見られたい。これらの接触装置は孔を開けた中心筒と、
筒を取り囲む複数の中空ファイバーと、中空ファイバー
の末端を固定する管板と、管板の間に配置された邪魔板
と、及び筒、ファイバー、管板と邪魔板を取り囲む外殻
とからなる。しかしながら、ファイバーは邪魔板で閉じ
られず、一つの管板から他の管板へ中空ファイバーの内
腔を通って流体の流通があるように開いている。
【０００３】例えば、水から溶解気体を分離するといっ
た流体を分離する能力のある接触装置には、多くの工業
的応用がある。これらの応用には、ボイラーあるいは発
電所タービンにおける錆防止システム、飲料水、冷却
水、あるいは熱水パイプラインの錆防止システム、電子
工業用の超純水（例えば、製造工程における半導体ウエ
ハのすすぎ）、超音波洗浄プロセス、食品加工用水など
が含まれる。上述の応用のうち２つが特に興味深い。水
パイプラインにおける錆防止と電子工業用の超純水であ
る。各応用において水からの溶解酸素の除去が極めて重
要である。水パイプラインにおける錆防止においては、
酸素は溶解した鉄あるいはパイプラインからの鉄と反応
して錆を形成し、錆が沈殿しうる。飲料水の場合には、
錆の沈殿物は嫌われるものであり、しみや着色を引き起
こす。パイプラインの場合には、パイプの閉塞の原因に
なりうる。電子工業用の超純水においては、製造工程の
半導体ウエハのすすぎに水を使用する。すすぎ水中の溶
解酸素はウエハの表面を食刻し、破壊することがある。
また、それはウエハの表面を被覆し、有効なすすぎを妨
げることもある。したがって、水からの溶解酸素の除去
は極めて重要である。したがって、液体から脱気するた
めの新しい接触装置及びシステムを開発するニーズが存
在する。
た流体を分離する能力のある接触装置には、多くの工業
的応用がある。これらの応用には、ボイラーあるいは発
電所タービンにおける錆防止システム、飲料水、冷却
水、あるいは熱水パイプラインの錆防止システム、電子
工業用の超純水（例えば、製造工程における半導体ウエ
ハのすすぎ）、超音波洗浄プロセス、食品加工用水など
が含まれる。上述の応用のうち２つが特に興味深い。水
パイプラインにおける錆防止と電子工業用の超純水であ
る。各応用において水からの溶解酸素の除去が極めて重
要である。水パイプラインにおける錆防止においては、
酸素は溶解した鉄あるいはパイプラインからの鉄と反応
して錆を形成し、錆が沈殿しうる。飲料水の場合には、
錆の沈殿物は嫌われるものであり、しみや着色を引き起
こす。パイプラインの場合には、パイプの閉塞の原因に
なりうる。電子工業用の超純水においては、製造工程の
半導体ウエハのすすぎに水を使用する。すすぎ水中の溶
解酸素はウエハの表面を食刻し、破壊することがある。
また、それはウエハの表面を被覆し、有効なすすぎを妨
げることもある。したがって、水からの溶解酸素の除去
は極めて重要である。したがって、液体から脱気するた
めの新しい接触装置及びシステムを開発するニーズが存
在する。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は液体を脱気する
ための接触装置及びシステムである。接触装置には、孔
を開けたコア、複数の微細孔中空ファイバー、及び外殻
が含まれる。ファイバはコアを囲み、２つの末端を有す
る。管板はファイバーの末端を固定する。管板の間には
邪魔板が配置されている。中空ファイバーは邪魔板にお
いて閉じる。外殻はファイバー、管板、及び邪魔板を格
納する。液体を脱気するためのシステムには、気体を含
有する液体源、真空源、及び接触装置が含まれる。液体
源はコアの１つの末端と液体が流通するようになってい
る。真空源は管板を通って中空ファイバーの内腔と流体
の流通がある。液体はコアを出て、ファイバーを横断
し、邪魔板の周りを回って、ファイバーを横断して、ま
たコアに戻ってくる。
ための接触装置及びシステムである。接触装置には、孔
を開けたコア、複数の微細孔中空ファイバー、及び外殻
が含まれる。ファイバはコアを囲み、２つの末端を有す
る。管板はファイバーの末端を固定する。管板の間には
邪魔板が配置されている。中空ファイバーは邪魔板にお
いて閉じる。外殻はファイバー、管板、及び邪魔板を格
納する。液体を脱気するためのシステムには、気体を含
有する液体源、真空源、及び接触装置が含まれる。液体
源はコアの１つの末端と液体が流通するようになってい
る。真空源は管板を通って中空ファイバーの内腔と流体
の流通がある。液体はコアを出て、ファイバーを横断
し、邪魔板の周りを回って、ファイバーを横断して、ま
たコアに戻ってくる。
【０００５】
【発明の実施の形態】図面を参照すれば、図１はシステ
ム１０の概略図を示す。なお、図中類似の符号は類似の
要素を指す。
ム１０の概略図を示す。なお、図中類似の符号は類似の
要素を指す。
【０００６】システム１０は液体を脱気するためのもの
である。通常、システム１０は接触装置１２（以下にさ
らに詳しく説明する）、真空源１４、気体の入った液体
の入口１６、脱気した液体の出口１８からなる。真空源
１４は真空配管を経て接触装置１２に接続する。真空は
接触装置１２の両端から引く。（この配置が重要なこと
は以下にさらに詳しく説明する）気体を含んだ液体を接
触装置１２の入口１６に供給する。脱気した液体を接触
装置１２の出口１８から取り出す。（接触装置の操作は
以下にさらに詳しく説明する）特定の用途に関するシス
テム１０の操作の詳細は以下に説明する。２２は脱気さ
れた気体の排気管である。
である。通常、システム１０は接触装置１２（以下にさ
らに詳しく説明する）、真空源１４、気体の入った液体
の入口１６、脱気した液体の出口１８からなる。真空源
１４は真空配管を経て接触装置１２に接続する。真空は
接触装置１２の両端から引く。（この配置が重要なこと
は以下にさらに詳しく説明する）気体を含んだ液体を接
触装置１２の入口１６に供給する。脱気した液体を接触
装置１２の出口１８から取り出す。（接触装置の操作は
以下にさらに詳しく説明する）特定の用途に関するシス
テム１０の操作の詳細は以下に説明する。２２は脱気さ
れた気体の排気管である。
【０００７】図２、３、及び４を参照すると、接触装置
１２は、孔を開けた管状体からなるコア２４と、コア２
４を取り囲む複数の中空ファイバー２６と、ファイバー
２６の両末端にある管板２８と、管板２８の間に配置さ
れファイバー２６を保持する邪魔板３０と、コア、ファ
イバー、管板、邪魔板を取り囲む外殻３２とからなる。
中空ファイバー２６は、コア２４の軸線とほぼ並行に配
設するのが好ましい。接触装置１２は物質移動装置であ
り、それによって溶解気体を含有する液体は入口１６を
経由してコア２４に導入される。好ましくは、コア２４
には転流体２５が含まれる。転流体２５はコア２４中の
ブロックであり、入口１６から出口１８への直接の流体
の流通を阻止する。液体はコア２４の外へ出て、ファイ
バー２６を横切るように流れ、邪魔板３０の周りを回っ
て、再びファイバー２６を横切るように流れてコア２４
に戻り、出口１８から外へ出る。接触装置１２は配管２
０を経由して真空源１４と流体の流通がある。配管２０
は真空ヘッド空間３４と流通がある。ヘッド空間３４と
中空ファイバー２６の内腔は流通がある。
１２は、孔を開けた管状体からなるコア２４と、コア２
４を取り囲む複数の中空ファイバー２６と、ファイバー
２６の両末端にある管板２８と、管板２８の間に配置さ
れファイバー２６を保持する邪魔板３０と、コア、ファ
イバー、管板、邪魔板を取り囲む外殻３２とからなる。
中空ファイバー２６は、コア２４の軸線とほぼ並行に配
設するのが好ましい。接触装置１２は物質移動装置であ
り、それによって溶解気体を含有する液体は入口１６を
経由してコア２４に導入される。好ましくは、コア２４
には転流体２５が含まれる。転流体２５はコア２４中の
ブロックであり、入口１６から出口１８への直接の流体
の流通を阻止する。液体はコア２４の外へ出て、ファイ
バー２６を横切るように流れ、邪魔板３０の周りを回っ
て、再びファイバー２６を横切るように流れてコア２４
に戻り、出口１８から外へ出る。接触装置１２は配管２
０を経由して真空源１４と流体の流通がある。配管２０
は真空ヘッド空間３４と流通がある。ヘッド空間３４と
中空ファイバー２６の内腔は流通がある。
【０００８】通常、接触装置１２は、引用することによ
り本明細書の一部をなすものとする米国特許第５，２６
４，１７１号及び第５，３５２，３６１号に述べられて
いるように組み立てる。好ましい実施形態においては、
コア２４は筒状であり、外殻３２と同軸である。邪魔板
３０は管板２８から等距離の位置にあり、コア２４と接
触している。転流体２５は邪魔板３０と同一平面上にあ
る。邪魔板３０の両側の中空ファイバー２６の密度は同
一である。しかしながら、本発明はこのように限定され
るものでない。図２、３、及び４に図示した接触装置の
差異は、好ましくは邪魔板３０内にある中空ファイバー
２６の終端３６に関するものである。例えば、図２にお
いてはファイバー２６の終端３６は挟むことにより閉じ
られている。好ましくは、中空ファイバー２６はコア２
４上に巻き付ける前にファイバーマットに成形してお
き、終端３６は例えば、熱、超音波などの溶接装置によ
り成形される。図３においては、別な実施形態が図示さ
れている。そこでは、邪魔板３０内の終端３６”は物理
的に切断し、遮断されている。図４においては、終端３
６”は別々の邪魔板部３０’及び３０”中に形成する。
り本明細書の一部をなすものとする米国特許第５，２６
４，１７１号及び第５，３５２，３６１号に述べられて
いるように組み立てる。好ましい実施形態においては、
コア２４は筒状であり、外殻３２と同軸である。邪魔板
３０は管板２８から等距離の位置にあり、コア２４と接
触している。転流体２５は邪魔板３０と同一平面上にあ
る。邪魔板３０の両側の中空ファイバー２６の密度は同
一である。しかしながら、本発明はこのように限定され
るものでない。図２、３、及び４に図示した接触装置の
差異は、好ましくは邪魔板３０内にある中空ファイバー
２６の終端３６に関するものである。例えば、図２にお
いてはファイバー２６の終端３６は挟むことにより閉じ
られている。好ましくは、中空ファイバー２６はコア２
４上に巻き付ける前にファイバーマットに成形してお
き、終端３６は例えば、熱、超音波などの溶接装置によ
り成形される。図３においては、別な実施形態が図示さ
れている。そこでは、邪魔板３０内の終端３６”は物理
的に切断し、遮断されている。図４においては、終端３
６”は別々の邪魔板部３０’及び３０”中に形成する。
【０００９】運転時には、本発明の接触装置の設計によ
ると、液体からの溶解気体の物質移動を増大させること
ができる。すべての物質移動装置におけるのと同じく、
移動の駆動力は濃度勾配である。本発明においては、中
空ファイバーの管板の両末端から真空に引くことによ
り、並流あるいは向流で濃度勾配が最大になる。さら
に、図５を参照すればこのことが図示されている。
ると、液体からの溶解気体の物質移動を増大させること
ができる。すべての物質移動装置におけるのと同じく、
移動の駆動力は濃度勾配である。本発明においては、中
空ファイバーの管板の両末端から真空に引くことによ
り、並流あるいは向流で濃度勾配が最大になる。さら
に、図５を参照すればこのことが図示されている。
【００１０】図５においては、液体流量（立方メートル
／時、ｍ3 ／ｈ）をｘ軸とし、全物質移動係数Ｋoa（メ
ートル／時、ｍ／ｈ）をｙ軸として各種接触装置につい
て比較している。各例において、接触装置は２５℃、１
８トル（ｔｏｒｒ）、及び水中溶解酸素８５００ｍｇ／
ｍ3 （ｐｐｂ）で操作した。曲線１は本発明により作製
した、１９．３平方メートルの中空ファイバー外表面積
（Hoechst Celanese Corporation, Separation Group o
f Charlotte, North Carolina, USAから市販されている
ＣＥＬＧＡＲＤ（登録商標）Ｘ−４０中空ファイバーを
膜として使用）を有する接触装置に対するものである。
曲線２は３０平方メートル以上の中空ファイバー外表面
積を持つ、大日本インキ化学工業、東京、日本から市販
されている（この接触装置の名称はＳＥＰＡＲＥＬ（登
録商標）ＥＦＭ−５３０ ＧＭ１１２である）接触装置
に対するものである。曲線３は１９．３平方メートルの
中空ファイバー外表面積を持ち、米国特許第５，２６
４，１７１号及び第５，３５２，３６１号により作製さ
れ、Hoechst Celanese Corporation, Separation Group
of Charlotte, North Carolina, USAからＬＩＱＵＩ−
ＣＥＬ（登録商標）の商品名で販売されている接触装置
に対するものである。中空ファイバー膜は上述のＣＥＬ
ＧＡＲＤ（登録商標）Ｘ−４０中空ファイバーである。
曲線４は１９．３平方メートルの中空ファイバー外表面
積を持ち、米国特許第５，２６４，１７１号及び第５，
３５２，３６１号により作製された接触装置に対するも
のであるが、邪魔板は使用しなかった。中空ファイバー
膜は上述のＣＥＬＧＡＲＤ（登録商標）Ｘ−４０中空フ
ァイバーである。
／時、ｍ3 ／ｈ）をｘ軸とし、全物質移動係数Ｋoa（メ
ートル／時、ｍ／ｈ）をｙ軸として各種接触装置につい
て比較している。各例において、接触装置は２５℃、１
８トル（ｔｏｒｒ）、及び水中溶解酸素８５００ｍｇ／
ｍ3 （ｐｐｂ）で操作した。曲線１は本発明により作製
した、１９．３平方メートルの中空ファイバー外表面積
（Hoechst Celanese Corporation, Separation Group o
f Charlotte, North Carolina, USAから市販されている
ＣＥＬＧＡＲＤ（登録商標）Ｘ−４０中空ファイバーを
膜として使用）を有する接触装置に対するものである。
曲線２は３０平方メートル以上の中空ファイバー外表面
積を持つ、大日本インキ化学工業、東京、日本から市販
されている（この接触装置の名称はＳＥＰＡＲＥＬ（登
録商標）ＥＦＭ−５３０ ＧＭ１１２である）接触装置
に対するものである。曲線３は１９．３平方メートルの
中空ファイバー外表面積を持ち、米国特許第５，２６
４，１７１号及び第５，３５２，３６１号により作製さ
れ、Hoechst Celanese Corporation, Separation Group
of Charlotte, North Carolina, USAからＬＩＱＵＩ−
ＣＥＬ（登録商標）の商品名で販売されている接触装置
に対するものである。中空ファイバー膜は上述のＣＥＬ
ＧＡＲＤ（登録商標）Ｘ−４０中空ファイバーである。
曲線４は１９．３平方メートルの中空ファイバー外表面
積を持ち、米国特許第５，２６４，１７１号及び第５，
３５２，３６１号により作製された接触装置に対するも
のであるが、邪魔板は使用しなかった。中空ファイバー
膜は上述のＣＥＬＧＡＲＤ（登録商標）Ｘ−４０中空フ
ァイバーである。
【００１１】図５の曲線は次の式により作成した。
【数１】ＫoaＡ／Ｑ＝ｌｎ（Ｃi ／Ｃo ）ここで、
【数２】Ｋoaは全物質移動係数（ｍ／ｈ）であり、 Ａ＝膜の外表面積（ｍ2 ） Ｑ＝液体流量（ｍ3 ／ｈ） Ｃ＝溶解気体Ｏ2 の濃度、ｉ＝入口、ｏ＝出口 である。
【００１２】工業用水の錆防止の用途においては、通常
工業用水の酸素含量は約９０００パーツパービリオン
（ｐｐｂ）以上である。殆どの工業用途においては、酸
素は５００ｐｐｂ以下の含量に除去しなければならな
い。本発明の接触装置を使用する場合、５０トル（ｔｏ
ｒｒ）以下の真空と約２００平方フィートの膜接触面積
によりこれが達成される。超純水の用途においては、通
常、供給水の溶解酸素量は約９０００ｐｐｂあるいはそ
れ以上であり、１から１０ｐｐｂ以下の酸素になるよう
に脱気する。本発明の接触装置の場合、１５から２０ト
ル（ｔｏｒｒ）の真空と約２００平方フィートの有効表
面積を持つ接触装置を使用して、これが達成できる。
工業用水の酸素含量は約９０００パーツパービリオン
（ｐｐｂ）以上である。殆どの工業用途においては、酸
素は５００ｐｐｂ以下の含量に除去しなければならな
い。本発明の接触装置を使用する場合、５０トル（ｔｏ
ｒｒ）以下の真空と約２００平方フィートの膜接触面積
によりこれが達成される。超純水の用途においては、通
常、供給水の溶解酸素量は約９０００ｐｐｂあるいはそ
れ以上であり、１から１０ｐｐｂ以下の酸素になるよう
に脱気する。本発明の接触装置の場合、１５から２０ト
ル（ｔｏｒｒ）の真空と約２００平方フィートの有効表
面積を持つ接触装置を使用して、これが達成できる。
【００１３】一般的に、このシステムはいかなる液体脱
気工程にも使用できる。このような工程として他に、腐
食防止用としてボイラー供給水からの酸素の除去、イオ
ン交換樹脂の再生間の寿命を延長するための二酸化炭素
の除去、及び既に記述したものなどがある。真空源は１
２５トル（ｔｏｒｒ）から１８トル（ｔｏｒｒ）ないし
８トル（ｔｏｒｒ）の圧力範囲にある。
気工程にも使用できる。このような工程として他に、腐
食防止用としてボイラー供給水からの酸素の除去、イオ
ン交換樹脂の再生間の寿命を延長するための二酸化炭素
の除去、及び既に記述したものなどがある。真空源は１
２５トル（ｔｏｒｒ）から１８トル（ｔｏｒｒ）ないし
８トル（ｔｏｒｒ）の圧力範囲にある。
【００１４】本発明は、その精神あるいは本質から逸脱
することなく、他の形で実施することができ、したがっ
て本発明の範囲を示すものとしては前述の明細書よりも
むしろ特許請求の範囲を参照すべきである。本発明を図
示するため、図面には好ましい形を示してあるが、当然
図示した正確な配置及び装置に制約されるものでない。
することなく、他の形で実施することができ、したがっ
て本発明の範囲を示すものとしては前述の明細書よりも
むしろ特許請求の範囲を参照すべきである。本発明を図
示するため、図面には好ましい形を示してあるが、当然
図示した正確な配置及び装置に制約されるものでない。
【図１】液体を脱気するためのシステムを示す概略図で
ある。
ある。
【図２】本発明の１番目の実施形態の断面図である。
【図３】本発明の２番目の実施形態の断面図である。
【図４】本発明の３番目の実施形態の断面図である。
【図５】各種接触装置（本発明およびそれ以外）の流量
（液体）を関数にした全物質移動係数のグラフ上の比較
である。
（液体）を関数にした全物質移動係数のグラフ上の比較
である。
１０ 脱気システム １２ 接触装置 １４ 真空源 １６ 液体入口 １８ 液体出口 ２４ コア ２６ 微孔中空ファイバー ２８ 管板 ３０ 邪魔板 ３２ 外殻
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 598064794 13800 Ｓｏｕｔｈ Ｌａｋｅｓ Ｄｒｉ ｖｅ，Ｃｈａｒｌｏｔｔｅ，ＮｏｒｔｈＣ ａｒｏｌｉｎａ 28273，Ｕｎｉｔｅｄ Ｓｔａｔｅｓ ｏｆ Ａｍｅｒｉｃａ (72)発明者 ジェイムズ・ジェイ・ロウアリー アメリカ合衆国ノースカロライナ州28209, シャーロット，リッジウッド・アヴェニュ ー 379 (72)発明者 チャールズ・ジェイ・ランクル アメリカ合衆国ノースカロライナ州28277, シャーロット，ウィリアム・ペン・レイン 10425
Claims (9)
- 【請求項１】 孔が開いたコアと、上記コアを取り囲む
複数の微孔中空ファイバーであって、上記ファイバーが
２つの末端を有し、上記末端を管板が固定し、上記管板
の間には邪魔板が配置され、上記邪魔板で上記ファイバ
ーが閉じられている中空ファイバーと、及び上記ファイ
バー、管板、及び邪魔板を格納する外殻とからなる液体
脱気用接触装置。 - 【請求項２】 上記ファイバーが挟むことにより閉じら
れている請求項１に記載の接触装置。 - 【請求項３】 上記ファイバーが切断及び閉塞により閉
じられている請求項１に記載の接触装置。 - 【請求項４】 上記邪魔板が２つの分離した部分からな
り、上記ファイバーが一つの上記部分中に終端を持って
終わる請求項１に記載の接触装置。 - 【請求項５】 気体を含有する液体源と、真空源と、接
触装置とを含んでなり、該接触装置が、孔を開けたコア
と、上記コアを取り囲む内腔を有する複数の微孔中空フ
ァイバーであって、上記ファイバーが２個の末端を有
し、上記末端を管板が固定し、上記管板の間に邪魔板が
配置され、上記邪魔板で上記ファイバーが閉じられてい
る中空ファイバーと、上記ファイバー、管板、及び邪魔
板を格納する外殻とを含んでなり、ここで上記液体源は
上記コアの一方の末端と流体の流通があり、真空源は上
記管板を通って上記内腔と流体の流通があり、上記液体
は上記コアを出て、上記ファイバーを横切るように流
れ、上記邪魔板の周りを回り、上記ファイバーを横切る
ようにして上記コアに戻ってくることを特徴とする液体
脱気システム。 - 【請求項６】 上記液体が水である請求項５に記載のシ
ステム。 - 【請求項７】 上記真空源が１２５トルから８トルの範
囲にある請求項５に記載のシステム。 - 【請求項８】 上記システムを錆防止に使用する請求項
５に記載のシステム。 - 【請求項９】 上記システムを超純水源に使用する請求
項５に記載のシステム。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US08/914,740 US5938922A (en) | 1997-08-19 | 1997-08-19 | Contactor for degassing liquids |
| US08/914740 | 1997-08-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11114310A true JPH11114310A (ja) | 1999-04-27 |
Family
ID=25434728
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10232989A Pending JPH11114310A (ja) | 1997-08-19 | 1998-08-19 | 液体脱気用接触装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5938922A (ja) |
| JP (1) | JPH11114310A (ja) |
| KR (1) | KR19990023507A (ja) |
| AU (1) | AU7615398A (ja) |
| CA (1) | CA2243010A1 (ja) |
| IL (1) | IL125816A0 (ja) |
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