JP2001060447A - 質量分析装置 - Google Patents
質量分析装置Info
- Publication number
- JP2001060447A JP2001060447A JP11234615A JP23461599A JP2001060447A JP 2001060447 A JP2001060447 A JP 2001060447A JP 11234615 A JP11234615 A JP 11234615A JP 23461599 A JP23461599 A JP 23461599A JP 2001060447 A JP2001060447 A JP 2001060447A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- skimmer
- ion guide
- ion
- diameter
- ions
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/06—Electron- or ion-optical arrangements
- H01J49/062—Ion guides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/06—Electron- or ion-optical arrangements
- H01J49/067—Ion lenses, apertures, skimmers
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 高いイオン通過効率を維持しつつイオンガイ
ドの構造を簡単にする。 【解決手段】 円柱形状のロッド電極１７１、１７２か
ら成るイオンガイド１７の一端面をスキマー１６の平坦
部１６ｃに近接して配置すると共に、スキマー１６の円
錐部１６ｂの底面の直径ｄ2をロッド電極の内接円の直
径ｄ1とほぼ同一又はそれよりも小さくする。これによ
り、差圧によってスキマー１６のオリフィス１６ａを通
過したあと広がりつつ進むイオンは、確実にロッド電極
１７１、１７２で囲まれる空間に導入され、次段の分析
室に送り込まれる。
ドの構造を簡単にする。 【解決手段】 円柱形状のロッド電極１７１、１７２か
ら成るイオンガイド１７の一端面をスキマー１６の平坦
部１６ｃに近接して配置すると共に、スキマー１６の円
錐部１６ｂの底面の直径ｄ2をロッド電極の内接円の直
径ｄ1とほぼ同一又はそれよりも小さくする。これによ
り、差圧によってスキマー１６のオリフィス１６ａを通
過したあと広がりつつ進むイオンは、確実にロッド電極
１７１、１７２で囲まれる空間に導入され、次段の分析
室に送り込まれる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高周波誘導結合プ
ラズマ質量分析装置（ＩＣＰ−ＭＳ）、エレクトロスプ
レイ質量分析装置（ＥＳＩ−ＭＳ）、大気圧化学イオン
化質量分析装置（ＡＰＣＩ−ＭＳ）等の比較的大気圧に
近い圧力下で試料をイオン化する質量分析装置に関す
る。
ラズマ質量分析装置（ＩＣＰ−ＭＳ）、エレクトロスプ
レイ質量分析装置（ＥＳＩ−ＭＳ）、大気圧化学イオン
化質量分析装置（ＡＰＣＩ−ＭＳ）等の比較的大気圧に
近い圧力下で試料をイオン化する質量分析装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来のＥＳＩ−ＭＳの一例を示す
概略構成図、図５は図４中のスキマー周辺の拡大図であ
る。この質量分析装置は、液体クロマトグラフ装置のカ
ラムの出口端に接続されたノズル１１が配設されたイオ
ン化室１０と、四重極フィルタ１９及びイオン検出器２
０が配設された分析室１８との間に、それぞれ隔壁で隔
てられた第１中間室１２及び第２中間室１５が設けられ
ている。イオン化室１０と第１中間室１２との間は細径
の脱溶媒パイプ（ヒーテッドキャピラリ）１３を介し
て、第１中間室１２と第２中間室１５との間は、頂点に
小径の通過孔（オリフィス）１６ａを有する円錐形状の
スキマー１６を介してのみ連通している。
概略構成図、図５は図４中のスキマー周辺の拡大図であ
る。この質量分析装置は、液体クロマトグラフ装置のカ
ラムの出口端に接続されたノズル１１が配設されたイオ
ン化室１０と、四重極フィルタ１９及びイオン検出器２
０が配設された分析室１８との間に、それぞれ隔壁で隔
てられた第１中間室１２及び第２中間室１５が設けられ
ている。イオン化室１０と第１中間室１２との間は細径
の脱溶媒パイプ（ヒーテッドキャピラリ）１３を介し
て、第１中間室１２と第２中間室１５との間は、頂点に
小径の通過孔（オリフィス）１６ａを有する円錐形状の
スキマー１６を介してのみ連通している。
【０００３】イオン化室１０内はノズル１１から連続的
に供給される試料液の気化分子によりほぼ大気圧になっ
ており、第１中間室１２内はロータリポンプ（ＲＰ）に
より約１０２Paの低真空状態まで真空排気される。ま
た、第２中間室１５内はターボ分子ポンプ（ＴＭＰ）に
より約１０−１〜１０−２Paの中真空状態まで真空排気
され、分析室１８内はターボ分子ポンプ（ＴＭＰ）によ
り約１０−３〜１０−４Paの高真空状態まで真空排気さ
れる。即ち、イオン化室１０から分析室１８に向かって
各室毎に真空度を高くすることにより、分析室１８内が
高真空状態に維持されるようにしている。
に供給される試料液の気化分子によりほぼ大気圧になっ
ており、第１中間室１２内はロータリポンプ（ＲＰ）に
より約１０２Paの低真空状態まで真空排気される。ま
た、第２中間室１５内はターボ分子ポンプ（ＴＭＰ）に
より約１０−１〜１０−２Paの中真空状態まで真空排気
され、分析室１８内はターボ分子ポンプ（ＴＭＰ）によ
り約１０−３〜１０−４Paの高真空状態まで真空排気さ
れる。即ち、イオン化室１０から分析室１８に向かって
各室毎に真空度を高くすることにより、分析室１８内が
高真空状態に維持されるようにしている。
【０００４】試料液はノズル１１からイオン化室１０内
に噴霧（エレクトロスプレイ）され、液滴中の溶媒が蒸
発する過程で試料分子はイオン化される。イオンが入り
混じった微細液滴はイオン化室１０と第１中間室１２と
の圧力差により脱溶媒パイプ１３中に引き込まれ、脱溶
媒パイプ１３を通過する過程で溶媒が蒸発して更にイオ
ン化が進む。第１中間室１２内には対向する平板板状又
はリング状の電極１４が設けられており、この電極１４
により形成される電場によって脱溶媒パイプ１３を介し
てのイオンの引き込みを助けると共に、イオンをスキマ
ー１６のオリフィス１６ａ近傍（後方焦点位置Ｆ）に収
束させる。
に噴霧（エレクトロスプレイ）され、液滴中の溶媒が蒸
発する過程で試料分子はイオン化される。イオンが入り
混じった微細液滴はイオン化室１０と第１中間室１２と
の圧力差により脱溶媒パイプ１３中に引き込まれ、脱溶
媒パイプ１３を通過する過程で溶媒が蒸発して更にイオ
ン化が進む。第１中間室１２内には対向する平板板状又
はリング状の電極１４が設けられており、この電極１４
により形成される電場によって脱溶媒パイプ１３を介し
てのイオンの引き込みを助けると共に、イオンをスキマ
ー１６のオリフィス１６ａ近傍（後方焦点位置Ｆ）に収
束させる。
【０００５】収束されたイオンは、第１及び第２中間室
１２、１５の間の差圧によってスキマー１６のオリフィ
ス１６ａを通過し、イオンガイド（「イオンレンズ」又
は「イオン輸送レンズ」とも言う）１７により収束及び
加速された後に分析室１８へと送られる。分析室１８で
は、特定の質量数（質量ｍ／電荷ｚ）を有するイオンの
みが四重極フィルタ１９中央の長手方向の空間を通り抜
け、イオン検出器２０に到達して検出される。
１２、１５の間の差圧によってスキマー１６のオリフィ
ス１６ａを通過し、イオンガイド（「イオンレンズ」又
は「イオン輸送レンズ」とも言う）１７により収束及び
加速された後に分析室１８へと送られる。分析室１８で
は、特定の質量数（質量ｍ／電荷ｚ）を有するイオンの
みが四重極フィルタ１９中央の長手方向の空間を通り抜
け、イオン検出器２０に到達して検出される。
【０００６】上記構成においてイオンガイド１７は、飛
行するイオンを電場によって収束しつつ加速するもので
あって、従来より種々の形状のものが提案されている。
そのようなイオンガイドの一つとして、マルチポール型
のイオンガイドが知られている。このイオンガイド１７
は、複数の略円柱形状のロッド電極が直径ｄ１なる円に
外接するように離間して配設された構成を有しており、
隣接するロッド電極には、同一の直流電圧にそれぞれ位
相が反転した高周波電圧が重畳された電圧が印加され
る。このような高周波電場により、イオン光軸Ｃの延伸
方向に導入されたイオンは所定の周期で振動しながら進
む。このため、イオンの収束効果が高く、より多くのイ
オンを後段の分析室１８へ送ることができる。
行するイオンを電場によって収束しつつ加速するもので
あって、従来より種々の形状のものが提案されている。
そのようなイオンガイドの一つとして、マルチポール型
のイオンガイドが知られている。このイオンガイド１７
は、複数の略円柱形状のロッド電極が直径ｄ１なる円に
外接するように離間して配設された構成を有しており、
隣接するロッド電極には、同一の直流電圧にそれぞれ位
相が反転した高周波電圧が重畳された電圧が印加され
る。このような高周波電場により、イオン光軸Ｃの延伸
方向に導入されたイオンは所定の周期で振動しながら進
む。このため、イオンの収束効果が高く、より多くのイ
オンを後段の分析室１８へ送ることができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記第１及び第２中間
室１２、１５において、できる限りイオンの通過効率を
向上させるには、オリフィス１６ａからイオンガイド１
７のロッド電極で囲まれる空間までの距離が短いことが
好ましい。そのため、上記イオンガイド１７は、スキマ
ー１６に対向する端面を、スキマー１６の傾斜面に合わ
せて斜めに切り落とした形状を有しており、その斜め端
面部がスキマー１６の円錐部の中に突出するように配置
されている。このため、ロッド電極の加工に手間を要
し、コストが高いものとなる。
室１２、１５において、できる限りイオンの通過効率を
向上させるには、オリフィス１６ａからイオンガイド１
７のロッド電極で囲まれる空間までの距離が短いことが
好ましい。そのため、上記イオンガイド１７は、スキマ
ー１６に対向する端面を、スキマー１６の傾斜面に合わ
せて斜めに切り落とした形状を有しており、その斜め端
面部がスキマー１６の円錐部の中に突出するように配置
されている。このため、ロッド電極の加工に手間を要
し、コストが高いものとなる。
【０００８】また、スキマー１６のオリフィス１６ａ周
囲は試料分子などの付着により汚れてくるため、清掃の
ためにスキマー１６を着脱可能な構造としておく必要が
ある。しかしながら、上記構成では、スキマー１６又は
イオンガイド１７をイオン光軸Ｃ方向にスライド移動可
能な構造としておくか、或いは、スキマー１６をヒンジ
により回動自在に取り付ける構造としておく必要があっ
た。このため、スキマー１６やイオンガイド１７の取付
構造が複雑になるという問題もあった。
囲は試料分子などの付着により汚れてくるため、清掃の
ためにスキマー１６を着脱可能な構造としておく必要が
ある。しかしながら、上記構成では、スキマー１６又は
イオンガイド１７をイオン光軸Ｃ方向にスライド移動可
能な構造としておくか、或いは、スキマー１６をヒンジ
により回動自在に取り付ける構造としておく必要があっ
た。このため、スキマー１６やイオンガイド１７の取付
構造が複雑になるという問題もあった。
【０００９】本発明はこのような課題を解決するために
成されたものであり、その主たる目的は、高いイオン通
過効率を維持しつつ、イオンガイドの構造やスキマーの
取付構造を簡単にすることができる質量分析装置を提供
することにある。
成されたものであり、その主たる目的は、高いイオン通
過効率を維持しつつ、イオンガイドの構造やスキマーの
取付構造を簡単にすることができる質量分析装置を提供
することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に成された本発明は、高圧側のイオン化室で試料をイオ
ン化し、頂部に小径の孔を設けた円錐形状のスキマーを
通して差圧により低圧側の分析室にイオンを引き込む質
量分析装置において、イオン光軸方向に延伸し、該イオ
ン光軸の周囲に互いに分離して所定の円に外接するよう
に配設された偶数本の円柱状電極から成る多重極イオン
ガイドを前記分析室内のスキマーの後方直近に設けると
共に、該スキマーの円錐部の底面の径を前記イオンガイ
ドの内接円の径よりも小さくしたことを特徴としてい
る。
に成された本発明は、高圧側のイオン化室で試料をイオ
ン化し、頂部に小径の孔を設けた円錐形状のスキマーを
通して差圧により低圧側の分析室にイオンを引き込む質
量分析装置において、イオン光軸方向に延伸し、該イオ
ン光軸の周囲に互いに分離して所定の円に外接するよう
に配設された偶数本の円柱状電極から成る多重極イオン
ガイドを前記分析室内のスキマーの後方直近に設けると
共に、該スキマーの円錐部の底面の径を前記イオンガイ
ドの内接円の径よりも小さくしたことを特徴としてい
る。
【００１１】なお、上記スキマーの頂部の開き角度はイ
オンのみを効率良く採取するように定められ、一般的に
はその角度は４０〜６０°程度の範囲に設定される。
オンのみを効率良く採取するように定められ、一般的に
はその角度は４０〜６０°程度の範囲に設定される。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明に係る質量分析装置の一実
施形態を図１〜図３を参照して説明する。図１は本実施
形態による質量分析装置におけるスキマー周辺の構成
図、図２はスキマーとイオンガイドとの位置関係を示す
模式図である。
施形態を図１〜図３を参照して説明する。図１は本実施
形態による質量分析装置におけるスキマー周辺の構成
図、図２はスキマーとイオンガイドとの位置関係を示す
模式図である。
【００１３】図１に示すように、この実施形態による質
量分析装置では、イオンガイド１７を構成するロッド電
極１７１、１７２（図２に示したロッド電極１７３、１
７４も同様）は、スキマー１６に対向する端面が垂直に
切り落とされたほぼ完全な円柱形状を有している。この
イオンガイド１７の内接円１７ａの直径ｄ1はロッド電
極１７１の径などによって一義的に決定される。一方、
スキマー１６の頂部の開き角度θは、イオンの通過効率
を考慮して決められる（通常４０〜６０°程度）。そし
て、スキマー１６の円錐部１６ｂの底面１６ｄの直径ｄ
2は、上記ｄ1とほぼ同一か、或いはｄ1よりも小さくな
るように決められている。開き角度θと底面１６ｄの直
径ｄ2が決まることによって、円錐部１６ｂの高さｄ4は
自動的に決まる。
量分析装置では、イオンガイド１７を構成するロッド電
極１７１、１７２（図２に示したロッド電極１７３、１
７４も同様）は、スキマー１６に対向する端面が垂直に
切り落とされたほぼ完全な円柱形状を有している。この
イオンガイド１７の内接円１７ａの直径ｄ1はロッド電
極１７１の径などによって一義的に決定される。一方、
スキマー１６の頂部の開き角度θは、イオンの通過効率
を考慮して決められる（通常４０〜６０°程度）。そし
て、スキマー１６の円錐部１６ｂの底面１６ｄの直径ｄ
2は、上記ｄ1とほぼ同一か、或いはｄ1よりも小さくな
るように決められている。開き角度θと底面１６ｄの直
径ｄ2が決まることによって、円錐部１６ｂの高さｄ4は
自動的に決まる。
【００１４】即ち、このようにしてスキマー１６とイオ
ンガイド１７との関係を決定することにより、スキマー
１６のオリフィス１６ａを通過して拡がりつつ進むイオ
ンは、ほぼ漏れなくイオンガイド１７の内接円１７ａ内
の空間に飛び込む。飛び込んだイオンは各ロッド電極１
７１〜１７４に印加されている電圧により形成される電
場によって適当に収束され、後段の分析室内に送り込ま
れる。従って、イオンの通過効率が向上する。
ンガイド１７との関係を決定することにより、スキマー
１６のオリフィス１６ａを通過して拡がりつつ進むイオ
ンは、ほぼ漏れなくイオンガイド１７の内接円１７ａ内
の空間に飛び込む。飛び込んだイオンは各ロッド電極１
７１〜１７４に印加されている電圧により形成される電
場によって適当に収束され、後段の分析室内に送り込ま
れる。従って、イオンの通過効率が向上する。
【００１５】ところで、上記イオンガイド１７では、実
際には内接円１７ａ内の外周側に導入されたイオンは収
束が適切に行われる確率が低く、必ずしもイオンの通過
効率が良好ではない。即ち、図２に示す、光軸Ｃの周囲
の直径ｄ3の範囲が、イオンの通過効率がきわめて高い
領域、いわゆるアクセプタンス領域１７ｂである。図３
（ａ）及び（ｂ）は、スキマー１６の位置と、スキマー
１６の円錐部１６ｂの底面における径方向のイオンの密
度分布とを示す図であり、更に図３（ｃ）は、そのイオ
ンの密度分布に対するイオンガイド１７の位置を示す図
である。
際には内接円１７ａ内の外周側に導入されたイオンは収
束が適切に行われる確率が低く、必ずしもイオンの通過
効率が良好ではない。即ち、図２に示す、光軸Ｃの周囲
の直径ｄ3の範囲が、イオンの通過効率がきわめて高い
領域、いわゆるアクセプタンス領域１７ｂである。図３
（ａ）及び（ｂ）は、スキマー１６の位置と、スキマー
１６の円錐部１６ｂの底面における径方向のイオンの密
度分布とを示す図であり、更に図３（ｃ）は、そのイオ
ンの密度分布に対するイオンガイド１７の位置を示す図
である。
【００１６】図３（ｂ）に示す通り、イオン光軸Ｃ付近
でイオン密度は最大であって周辺にいくほど密度は大き
く減衰するが、スキマー１６の周壁付近でも僅かながら
イオンが存在する。図１の構成では、このようにスキマ
ー１６の円錐部１６ｂの周壁近傍から飛び出たイオンは
アクセプタンス領域１７ｂの外側に入り、イオンガイド
１７を通過する可能性がきわめて小さい。そこで、イオ
ン通過効率を一段と上げるには、スキマー１６の円錐部
１６ｂの底面の直径ｄ2をアクセプタンス領域１７ｂの
径ｄ3とほぼ同一か或いはそれよりも小さくすることが
好ましい。このような構成とすれば、スキマー１６のオ
リフィス１６ａを通過したイオンはそのほぼ全てがイオ
ンガイド１７のアクセプタンス領域１７ｂに突入し、イ
オンガイド１７で適切に収束されて分析室１８に導入さ
れる確率がきわめて高くなる。
でイオン密度は最大であって周辺にいくほど密度は大き
く減衰するが、スキマー１６の周壁付近でも僅かながら
イオンが存在する。図１の構成では、このようにスキマ
ー１６の円錐部１６ｂの周壁近傍から飛び出たイオンは
アクセプタンス領域１７ｂの外側に入り、イオンガイド
１７を通過する可能性がきわめて小さい。そこで、イオ
ン通過効率を一段と上げるには、スキマー１６の円錐部
１６ｂの底面の直径ｄ2をアクセプタンス領域１７ｂの
径ｄ3とほぼ同一か或いはそれよりも小さくすることが
好ましい。このような構成とすれば、スキマー１６のオ
リフィス１６ａを通過したイオンはそのほぼ全てがイオ
ンガイド１７のアクセプタンス領域１７ｂに突入し、イ
オンガイド１７で適切に収束されて分析室１８に導入さ
れる確率がきわめて高くなる。
【００１７】但し、スキマー１６の円錐部１６ｂの高さ
ｄ4が小さ過ぎると、その頂部の開き角度θが上記条件
の範囲であったとしても、イオン光軸Ｃから僅かに外れ
て進行する気化溶媒などを除去する作用が十分に機能し
ない。従って、実際には、スキマー１６の円錐部１６ｂ
の底面の直径ｄ2をアクセプタンス領域１７ｂの径ｄ3よ
りも遙かに小さくすることは困難であり、直径ｄ2をｄ3
とほぼ同一にすることが適当である。
ｄ4が小さ過ぎると、その頂部の開き角度θが上記条件
の範囲であったとしても、イオン光軸Ｃから僅かに外れ
て進行する気化溶媒などを除去する作用が十分に機能し
ない。従って、実際には、スキマー１６の円錐部１６ｂ
の底面の直径ｄ2をアクセプタンス領域１７ｂの径ｄ3よ
りも遙かに小さくすることは困難であり、直径ｄ2をｄ3
とほぼ同一にすることが適当である。
【００１８】なお、上記実施例は一例であって、本発明
の趣旨の範囲で適宜変形や修正を行えることは明らかで
ある。
の趣旨の範囲で適宜変形や修正を行えることは明らかで
ある。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る質量
分析装置によれば、差圧によってスキマーの通過孔を通
して分析室側に引き込まれたイオンが、スキマーの円錐
部の内周壁面に沿って広がりつつ進んだ場合でも、確実
にイオンガイドで囲まれる空間内に送り込まれる。従っ
て、より多くのイオンをイオンガイドで収束して質量分
離器へと導入することができるので、分析感度や精度が
向上する。
分析装置によれば、差圧によってスキマーの通過孔を通
して分析室側に引き込まれたイオンが、スキマーの円錐
部の内周壁面に沿って広がりつつ進んだ場合でも、確実
にイオンガイドで囲まれる空間内に送り込まれる。従っ
て、より多くのイオンをイオンガイドで収束して質量分
離器へと導入することができるので、分析感度や精度が
向上する。
【００２０】また、本発明に係る質量分析装置によれ
ば、イオンガイドの端部がスキマーの円錐部に入り込ん
でいないので、イオンガイドを移動させることなく、ス
キマーを横方向（軸に垂直な方向）に移動させることが
できる。そのため、スキマーの着脱機構が簡単になる。
更に、イオンガイドのロッド電極自体も、その端面を垂
直に切り落とせばよいので、加工が容易であって安価に
なる。
ば、イオンガイドの端部がスキマーの円錐部に入り込ん
でいないので、イオンガイドを移動させることなく、ス
キマーを横方向（軸に垂直な方向）に移動させることが
できる。そのため、スキマーの着脱機構が簡単になる。
更に、イオンガイドのロッド電極自体も、その端面を垂
直に切り落とせばよいので、加工が容易であって安価に
なる。
【図１】 本発明の一実施形態による質量分析装置にお
けるスキマー周辺の構成図。
けるスキマー周辺の構成図。
【図２】 本実施形態におけるスキマーとイオンガイド
との位置関係を示す模式図。
との位置関係を示す模式図。
【図３】 本実施形態におけるスキマー及びイオンガイ
ドと、スキマーを通過したイオンの密度分布との関係を
示す図。
ドと、スキマーを通過したイオンの密度分布との関係を
示す図。
【図４】 従来のＥＳＩ−ＭＳの一例を示す概略構成
図。
図。
【図５】 図４中のスキマー周辺の拡大図。
１０…イオン化室 １２…第１中間室 １３…脱溶媒パイプ １５…第２中間室 １６…スキマー １６ａ…オリフィス １７…イオンガイド １７１、１７２、１７３、１７４…ロッド電極 ｄ1…イオンガイドの内接円の直径 ｄ2…スキマーの円錐部の底面の直径 ｄ3…イオンガイドのアクセプタンス領域の直径 ｄ4…スキマーの円錐部の高さ
Claims (1)
- 【請求項１】 高圧側のイオン化室で試料をイオン化
し、頂部に小径の孔を設けた円錐形状のスキマーを通し
て差圧により低圧側の分析室にイオンを引き込む質量分
析装置において、イオン光軸方向に延伸し、該イオン光
軸の周囲に互いに分離して所定の円に外接するように配
設された偶数本の円柱状電極から成る多重極イオンガイ
ドを前記分析室内のスキマーの後方直近に設けると共
に、該スキマーの円錐部の底面の径を前記イオンガイド
の内接円の径よりも小さくしたことを特徴とする質量分
析装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23461599A JP3596368B2 (ja) | 1999-08-20 | 1999-08-20 | 質量分析装置 |
| US10/002,353 US6661002B2 (en) | 1999-08-20 | 2001-11-14 | Mass spectrograph |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23461599A JP3596368B2 (ja) | 1999-08-20 | 1999-08-20 | 質量分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001060447A true JP2001060447A (ja) | 2001-03-06 |
| JP3596368B2 JP3596368B2 (ja) | 2004-12-02 |
Family
ID=16973830
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23461599A Expired - Lifetime JP3596368B2 (ja) | 1999-08-20 | 1999-08-20 | 質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3596368B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002367560A (ja) * | 2001-06-06 | 2002-12-20 | Shimadzu Corp | 質量分析装置 |
| GB2392548B (en) * | 2001-06-25 | 2004-09-08 | Micromass Ltd | Mass spectrometer |
| JP2008527653A (ja) * | 2005-01-10 | 2008-07-24 | アプレラ コーポレイション | 質量分析器における改良された感度のための方法および装置 |
| RU2447433C2 (ru) * | 2010-07-13 | 2012-04-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Самарский государственный университет" | Способ анализа оптических изомеров под действием электрического поля на сорбент и устройство для его осуществления |
| WO2017094146A1 (ja) * | 2015-12-02 | 2017-06-08 | 株式会社島津製作所 | 四重極マスフィルタ及び四重極型質量分析装置 |
-
1999
- 1999-08-20 JP JP23461599A patent/JP3596368B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002367560A (ja) * | 2001-06-06 | 2002-12-20 | Shimadzu Corp | 質量分析装置 |
| JP4569049B2 (ja) * | 2001-06-06 | 2010-10-27 | 株式会社島津製作所 | 質量分析装置 |
| GB2392548B (en) * | 2001-06-25 | 2004-09-08 | Micromass Ltd | Mass spectrometer |
| JP2008527653A (ja) * | 2005-01-10 | 2008-07-24 | アプレラ コーポレイション | 質量分析器における改良された感度のための方法および装置 |
| RU2447433C2 (ru) * | 2010-07-13 | 2012-04-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Самарский государственный университет" | Способ анализа оптических изомеров под действием электрического поля на сорбент и устройство для его осуществления |
| WO2017094146A1 (ja) * | 2015-12-02 | 2017-06-08 | 株式会社島津製作所 | 四重極マスフィルタ及び四重極型質量分析装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3596368B2 (ja) | 2004-12-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3791479B2 (ja) | イオンガイド | |
| JP3079055B2 (ja) | エレクトロスプレー、大気圧化学的イオン化質量分析計およびイオン発生源 | |
| JP3993895B2 (ja) | 質量分光測定装置及びイオン輸送分析方法 | |
| JP5233670B2 (ja) | 質量分析装置 | |
| US5663560A (en) | Method and apparatus for mass analysis of solution sample | |
| US4531056A (en) | Method and apparatus for the mass spectrometric analysis of solutions | |
| JP5601370B2 (ja) | 大気圧イオン化質量分析装置 | |
| JP4178110B2 (ja) | 質量分析装置 | |
| US6005245A (en) | Method and apparatus for ionizing a sample under atmospheric pressure and selectively introducing ions into a mass analysis region | |
| JP3379485B2 (ja) | 質量分析装置 | |
| JP6593548B2 (ja) | 質量分析装置及びイオン検出装置 | |
| JP5802566B2 (ja) | 質量分析装置 | |
| US11056327B2 (en) | Inorganic and organic mass spectrometry systems and methods of using them | |
| US9437410B2 (en) | System and method for applying curtain gas flow in a mass spectrometer | |
| JP4752676B2 (ja) | 質量分析装置 | |
| JP4415490B2 (ja) | 液体クロマトグラフ質量分析装置 | |
| US20030062474A1 (en) | Electrospray ion source for mass spectrometry with atmospheric pressure desolvating capabilities | |
| JP2005259483A (ja) | 質量分析装置 | |
| JP2019530165A (ja) | イオン汚染を制御するための方法およびシステム | |
| JPH07260765A (ja) | 質量分析装置 | |
| JP2001060447A (ja) | 質量分析装置 | |
| JP2011113832A (ja) | 質量分析装置 | |
| EP0771019B1 (en) | Method and apparatus for mass analysis of solution sample | |
| JP2022179305A (ja) | イオン分析装置 | |
| US8502162B2 (en) | Atmospheric pressure ionization apparatus and method |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20040202 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040427 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040531 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040817 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040830 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3596368 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080917 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080917 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090917 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090917 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100917 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110917 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110917 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120917 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120917 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130917 Year of fee payment: 9 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |