JP2005259483A - 質量分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】オリフィス70が形成された隔壁7に近接したリング状の補助電極6を設け、補助電極6に所定の交流電圧を印加する。オリフィス70は後方に向かって径が縮小するように内壁面71がテーパ状に形成されているため、交流電圧によって形成される交流電場がオリフィス70の内部空間に入り込み易く、そこにイオンをイオン光軸C方向に閉じ込める領域が形成される。イオンがオリフィス70に向かって到来するとイオンには光軸Cに略直交する方向で光軸Cに向かう力が作用するため、途中でガス分子に衝突しても軌道が広がりにくく、効率良くオリフィス70を通過して後段へと送られる。
【選択図】 図1
Description
前記開口部の内壁面で囲まれる空間に交流電場を形成するための交流電場形成手段を備え、該交流電場によって該開口部を通過しようとするイオンに対してイオン光軸近傍への閉じ込め力を作用させるようにしたことを特徴としている。
2…ノズル
3…脱溶媒パイプ
4…第1中間真空室
5…第1イオンレンズ
6…補助電極
7…隔壁
70…オリフィス
71…内壁面
72…空間
8…第2中間真空室
9…第2イオンレンズ
10…質量分析室
11…四重極質量フィルタ
12…イオン検出器
13…イオン閉じ込め用電圧発生部
C…イオン光軸
Claims (3)
- 略大気圧雰囲気にあるイオン化室と高真空雰囲気にあって質量分離部及び検出器を備えた質量分析室との間に、細径の開口部を介して連通した1乃至複数の中間真空室を有して成り、高圧側の室内から低圧側の室内へと前記開口部を通してイオンを輸送するようにした差動排気系の質量分析装置において、
前記開口部の内壁面で囲まれる空間に交流電場を形成するための交流電場形成手段を備え、該交流電場によって該開口部を通過しようとするイオンに対してイオン光軸近傍への閉じ込め力を作用させるようにしたことを特徴とする質量分析装置。 - 前記高圧側の室内又は低圧側の室内において前記開口部が形成された隔壁に近接して電極を配置し、該電極に交流電圧を印加することによって前記開口部内の空間に交流電場を形成することを特徴とする請求項1に記載の質量分析装置。
- 前記高圧側の室内で前記隔壁に近接して電極を配置し、前記開口部はその内径が高圧側室から低圧側室に向かって小さくなるように内壁面がテーパ状に形成されていることを特徴とする請求項2に記載の質量分析装置。
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