JP2001059192A - Ｎｉ−Ｆｅ合金のエッチング用組成物およびエッチング方法 - Google Patents
Ｎｉ−Ｆｅ合金のエッチング用組成物およびエッチング方法Info
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- JP2001059192A JP2001059192A JP11234679A JP23467999A JP2001059192A JP 2001059192 A JP2001059192 A JP 2001059192A JP 11234679 A JP11234679 A JP 11234679A JP 23467999 A JP23467999 A JP 23467999A JP 2001059192 A JP2001059192 A JP 2001059192A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 エッチング速度が実用化される５０℃以上で
も、エッチング後のエッチング面の仕上がりが良好であ
り、作業環境に問題がなく、人体に安全なＮｉ−Ｆｅ合
金のエッチング用組成物およびエッチング方法を提供す
る。 【解決手段】 塩酸０．０１〜２．０重量部、好ましく
は０．１〜０．９重量部と、有機ホスホン酸またはその
塩０．０１〜５．０重量部、好ましくは０．０３〜１．
０重量部とを含み、３０〜６０重量％、好ましくは４５
〜６０重量％のの塩化第二鉄水溶液によって１００重量
部に調整したエッチング用組成物およびこのエッチング
用組成物を５０℃以上、好ましくは６０〜８０℃でＮｉ
−Ｆｅ合金をエッチングする方法。
も、エッチング後のエッチング面の仕上がりが良好であ
り、作業環境に問題がなく、人体に安全なＮｉ−Ｆｅ合
金のエッチング用組成物およびエッチング方法を提供す
る。 【解決手段】 塩酸０．０１〜２．０重量部、好ましく
は０．１〜０．９重量部と、有機ホスホン酸またはその
塩０．０１〜５．０重量部、好ましくは０．０３〜１．
０重量部とを含み、３０〜６０重量％、好ましくは４５
〜６０重量％のの塩化第二鉄水溶液によって１００重量
部に調整したエッチング用組成物およびこのエッチング
用組成物を５０℃以上、好ましくは６０〜８０℃でＮｉ
−Ｆｅ合金をエッチングする方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、Ｎｉ−Ｆｅ合金板
をフォトエッチングにより金属を加工する際に使用する
エッチング用組成物および前記エッチング組成物を用い
るエッチング方法に関する。
をフォトエッチングにより金属を加工する際に使用する
エッチング用組成物および前記エッチング組成物を用い
るエッチング方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】フォトエッチングによる金属の加工技術
は、電子部品の精密加工および各種機構部品などのケミ
カルエッチング、半導体デバイス製造工程などをはじめ
とする産業分野で広く利用され、それを応用してブラウ
ン管のシャドウマスク、ＩＣリードフレーム、プリント
配線基板等が製造されている。科学技術の進展にともな
ってより高密度、高精度なエッチング加工が要求されて
きている。
は、電子部品の精密加工および各種機構部品などのケミ
カルエッチング、半導体デバイス製造工程などをはじめ
とする産業分野で広く利用され、それを応用してブラウ
ン管のシャドウマスク、ＩＣリードフレーム、プリント
配線基板等が製造されている。科学技術の進展にともな
ってより高密度、高精度なエッチング加工が要求されて
きている。
【０００３】特に、Ｎｉ−Ｆｅ合金を用いたカラーブラ
ウン管のシャドウマスク（３６％Ｎｉ−Ｆｅ合金）や半
導体リードフレーム（４２％Ｎｉ−Ｆｅ合金）に代表さ
れる電子部品材料では、エッチング後の表面仕上がりが
重要視されるが、通常の低炭素鋼ほど良好な加工精度を
得ることが困難とされている。
ウン管のシャドウマスク（３６％Ｎｉ−Ｆｅ合金）や半
導体リードフレーム（４２％Ｎｉ−Ｆｅ合金）に代表さ
れる電子部品材料では、エッチング後の表面仕上がりが
重要視されるが、通常の低炭素鋼ほど良好な加工精度を
得ることが困難とされている。
【０００４】また、コンピュータのディスプレ用に使用
される丸孔タイプのシャドウマスクでは、エッチング面
の平滑性と真円性、さらには孔径の均一性などが要求さ
れ、リードフレームについても高集積化、微細化によっ
てエッチング面の平滑性と直線性、さらにはサイドエッ
チングの減少などの要求がある。
される丸孔タイプのシャドウマスクでは、エッチング面
の平滑性と真円性、さらには孔径の均一性などが要求さ
れ、リードフレームについても高集積化、微細化によっ
てエッチング面の平滑性と直線性、さらにはサイドエッ
チングの減少などの要求がある。
【０００５】従来、これらの問題点の解決にあたっては
金属素材の製造方法についての提案が多く、たとえば、
特開平２−５４７４３号公報、特開平２−５４７４４号
公報、特開平２−１７７０３号公報、特開平１０−８３
７５８号公報等が挙げられるが、エッチング液側からの
提案はほとんど報告されていない。
金属素材の製造方法についての提案が多く、たとえば、
特開平２−５４７４３号公報、特開平２−５４７４４号
公報、特開平２−１７７０３号公報、特開平１０−８３
７５８号公報等が挙げられるが、エッチング液側からの
提案はほとんど報告されていない。
【０００６】エッチング剤としての塩化第二鉄水溶液に
添加するものとして、特開平１−３０１８６９号公報の
アセチレンアルコールまたはそのアルキレンオキサイド
付加物およびアルカンスルホン酸、アルカノールスルホ
ン酸またはそれらの塩を必須成分とするエッチング促進
添加剤が提案されているが、これらの添加剤ではＮｉ−
Ｆｅ合金に対しての前記のエッチング後の仕上がり向上
効果が充分とは言えない。
添加するものとして、特開平１−３０１８６９号公報の
アセチレンアルコールまたはそのアルキレンオキサイド
付加物およびアルカンスルホン酸、アルカノールスルホ
ン酸またはそれらの塩を必須成分とするエッチング促進
添加剤が提案されているが、これらの添加剤ではＮｉ−
Ｆｅ合金に対しての前記のエッチング後の仕上がり向上
効果が充分とは言えない。
【０００７】また特開平２−１４１５８９号公報には、
アルカンスルホン酸、ヒドロキシ基含有アルカンスルホ
ン酸またはこれらの塩類、アセチレンアルコールアルキ
レンオキシド付加物、ポリエチレングリコールおよび有
機リン化合物の４成分を必須成分とするエッチング促進
添加剤が提案されているが、これらの添加剤はエッチン
グ面の真円性、または直線性、あるいは孔径の均一性な
どの点については考慮されていない。
アルカンスルホン酸、ヒドロキシ基含有アルカンスルホ
ン酸またはこれらの塩類、アセチレンアルコールアルキ
レンオキシド付加物、ポリエチレングリコールおよび有
機リン化合物の４成分を必須成分とするエッチング促進
添加剤が提案されているが、これらの添加剤はエッチン
グ面の真円性、または直線性、あるいは孔径の均一性な
どの点については考慮されていない。
【０００８】また特開平４−５６７８４号公報には、炭
素数３〜６のアセチレンアルコールおよびＳＯ2とジア
リルアンモニウム塩およびジアリルアミン塩から選ばれ
る１種以上の共重合物を必須成分とするエッチング促進
添加剤が提案されている。さらに特開平６−２００３８
５号公報には、平滑性、直線性等を改善するためのエッ
チング用添加剤として、炭素数３〜６のアセチレンアル
コールと、多価アルコールと−Ｓ基、−Ｓ基もしくは＞
Ｃ＝Ｓ基とを含む有機硫黄化合物が有効であると提案さ
れている。しかしながら、上記の組成物では温度が６５
℃以上の条件でエッチング試験を行うとＮｉ−Ｆｅ合金
板に対して安定した仕上がり（平滑性、真円性、孔径の
均一性）向上の効果が確認できなかった。
素数３〜６のアセチレンアルコールおよびＳＯ2とジア
リルアンモニウム塩およびジアリルアミン塩から選ばれ
る１種以上の共重合物を必須成分とするエッチング促進
添加剤が提案されている。さらに特開平６−２００３８
５号公報には、平滑性、直線性等を改善するためのエッ
チング用添加剤として、炭素数３〜６のアセチレンアル
コールと、多価アルコールと−Ｓ基、−Ｓ基もしくは＞
Ｃ＝Ｓ基とを含む有機硫黄化合物が有効であると提案さ
れている。しかしながら、上記の組成物では温度が６５
℃以上の条件でエッチング試験を行うとＮｉ−Ｆｅ合金
板に対して安定した仕上がり（平滑性、真円性、孔径の
均一性）向上の効果が確認できなかった。
【０００９】また特公平３−７７２７９号公報には、鉄
系金属の化学溶解用添加剤および化学溶解処理液の組成
成分中にオキシホスホン酸やアミノホスホン酸が提案さ
れており、温度６０℃以下での表面仕上がり効果が確認
されている。温度６０℃以下では、Ｎｉ−Ｆｅ合金のエ
ッチング速度が遅く、生産性が低下し実用的には好まし
くない。
系金属の化学溶解用添加剤および化学溶解処理液の組成
成分中にオキシホスホン酸やアミノホスホン酸が提案さ
れており、温度６０℃以下での表面仕上がり効果が確認
されている。温度６０℃以下では、Ｎｉ−Ｆｅ合金のエ
ッチング速度が遅く、生産性が低下し実用的には好まし
くない。
【００１０】また特開平４−５６７８４号公報に提案さ
れている炭素数３〜６のアセチレンアルコールは、臭気
が強く作業環境を悪化させるため好ましくない。また、
特開平１０−４６３６５号公報の実施例に示されたエッ
チング添加剤に含有されている有機硫黄化合物ｂｖ（エ
チレンチオ尿素）は、平滑性の向上に寄与すると提案さ
れているが、エチレンチオ尿素は労安法の指定化学物質
であり、人体の健康に影響を及ぼす恐れがあるため取り
扱い上の注意が必要となり好ましくない。
れている炭素数３〜６のアセチレンアルコールは、臭気
が強く作業環境を悪化させるため好ましくない。また、
特開平１０−４６３６５号公報の実施例に示されたエッ
チング添加剤に含有されている有機硫黄化合物ｂｖ（エ
チレンチオ尿素）は、平滑性の向上に寄与すると提案さ
れているが、エチレンチオ尿素は労安法の指定化学物質
であり、人体の健康に影響を及ぼす恐れがあるため取り
扱い上の注意が必要となり好ましくない。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、エッ
チングが実用化される塩化第二鉄水溶液の温度が５０℃
以上でもエッチング後のエッチング面の平滑性、直線
性、真円性、孔径の均一性等の仕上がり効果が得られ、
作業環境上問題なく、人体に対して安全であるＮｉ−Ｆ
ｅ合金のエッチング用組成物およびエッチング方法を提
供することである。
チングが実用化される塩化第二鉄水溶液の温度が５０℃
以上でもエッチング後のエッチング面の平滑性、直線
性、真円性、孔径の均一性等の仕上がり効果が得られ、
作業環境上問題なく、人体に対して安全であるＮｉ−Ｆ
ｅ合金のエッチング用組成物およびエッチング方法を提
供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は、塩酸（ＨＣｌ
として）０．０１〜２．０重量部、好ましくは０．１〜
０．９重量部と、有機ホスホン酸またはその塩０．０１
〜５．０重量部、好ましくは０．０３〜１．０重量部と
を含み、３０〜６０重量％、好ましくは４５〜６０重量
％の塩化第二鉄水溶液によって１００重量部に調整した
ことを特徴とするＮｉ−Ｆｅ合金のエッチング用組成物
である。
として）０．０１〜２．０重量部、好ましくは０．１〜
０．９重量部と、有機ホスホン酸またはその塩０．０１
〜５．０重量部、好ましくは０．０３〜１．０重量部と
を含み、３０〜６０重量％、好ましくは４５〜６０重量
％の塩化第二鉄水溶液によって１００重量部に調整した
ことを特徴とするＮｉ−Ｆｅ合金のエッチング用組成物
である。
【００１３】本発明に従えば、エッチング剤としての塩
化第二鉄水溶液の濃度は、３０〜６０重量％、好ましく
は４５〜６０重量％、さらに好ましくは５０〜６０重量
％とされる。塩化第二鉄水溶液の濃度が３０重量％未満
ではエッチング速度は大きくなるが、表面粗度または表
面荒れが大となり、エッチング面の表面平滑性、真円
性、直線性がいずれも悪化する。また塩化第二鉄水溶液
の濃度６０重量％以上ではエッチング速度が遅く、生産
性から考え実用的ではない。
化第二鉄水溶液の濃度は、３０〜６０重量％、好ましく
は４５〜６０重量％、さらに好ましくは５０〜６０重量
％とされる。塩化第二鉄水溶液の濃度が３０重量％未満
ではエッチング速度は大きくなるが、表面粗度または表
面荒れが大となり、エッチング面の表面平滑性、真円
性、直線性がいずれも悪化する。また塩化第二鉄水溶液
の濃度６０重量％以上ではエッチング速度が遅く、生産
性から考え実用的ではない。
【００１４】また塩酸は、ＨＣｌとして、前記エッチン
グ剤に０．０１〜２．０重量％、好ましくは０．１〜
０．９重量％添加される。塩酸濃度が０．０１重量％未
満では、Ｎｉ−Ｆｅ合金のフォトエッチング孔径または
線幅の均一性が得難く、また表面の平滑性、真円性が悪
くなる。また塩酸濃度が２．０重量％を超えると、基板
とフォトレジストの密着性に悪影響を与え、サイドエッ
チングが大きくなり、エッチングファクタを低下させ
る。
グ剤に０．０１〜２．０重量％、好ましくは０．１〜
０．９重量％添加される。塩酸濃度が０．０１重量％未
満では、Ｎｉ−Ｆｅ合金のフォトエッチング孔径または
線幅の均一性が得難く、また表面の平滑性、真円性が悪
くなる。また塩酸濃度が２．０重量％を超えると、基板
とフォトレジストの密着性に悪影響を与え、サイドエッ
チングが大きくなり、エッチングファクタを低下させ
る。
【００１５】また有機ホスホン酸またはその塩は、前記
エッチング剤に０．０１〜５．０重量％、好ましくは
０．０３〜１．０重量％添加される。この濃度が０．０
１重量％未満では所定の効果が得られず、５重量％を超
えると、エッチング剤中に安定して溶解させることがで
きない。
エッチング剤に０．０１〜５．０重量％、好ましくは
０．０３〜１．０重量％添加される。この濃度が０．０
１重量％未満では所定の効果が得られず、５重量％を超
えると、エッチング剤中に安定して溶解させることがで
きない。
【００１６】また本発明は、前記エッチング用組成物が
５０℃以上であることを特徴とする。
５０℃以上であることを特徴とする。
【００１７】本発明に従うエッチング用組成物は、５０
℃以上でＮｉ−Ｆｅ合金をエッチングしても、エッチン
グ面の平滑性、真円性、直線性が良好な状態で保持され
る。したがって実用的に好ましい速度で仕上がりが向上
したエッチングができる。
℃以上でＮｉ−Ｆｅ合金をエッチングしても、エッチン
グ面の平滑性、真円性、直線性が良好な状態で保持され
る。したがって実用的に好ましい速度で仕上がりが向上
したエッチングができる。
【００１８】また本発明は、有機ホスホン酸がアミノト
リメチレンホスホン酸、１−ヒドロキシエチリデン−
１，１−ジホスホン酸、エチレンジアミンテトラメチレ
ンホスホン酸、ヘキサメチレンジアミンテトラメチレン
ホスホン酸、ジエチレントリアミンペンタメチレンホス
ホン酸の少なくとも１種以上であり、その塩がナトリウ
ム塩、カリウム塩、リチウム塩、アンモニウム塩、アミ
ン塩、アルカノールアミン塩のいずれかであることを特
徴とする。
リメチレンホスホン酸、１−ヒドロキシエチリデン−
１，１−ジホスホン酸、エチレンジアミンテトラメチレ
ンホスホン酸、ヘキサメチレンジアミンテトラメチレン
ホスホン酸、ジエチレントリアミンペンタメチレンホス
ホン酸の少なくとも１種以上であり、その塩がナトリウ
ム塩、カリウム塩、リチウム塩、アンモニウム塩、アミ
ン塩、アルカノールアミン塩のいずれかであることを特
徴とする。
【００１９】本発明に従えば、有機ホスホン酸またはそ
の塩は、特に限定されるものではないが、有機ホスホン
酸としては、アミノトリメチレンホスホン酸、１−ヒド
ロキシエチリデン−１，１−ジホスホン酸、エチレンジ
アミンテトラメチレンホスホン酸、ヘキサメチレンジア
ミンテトラメチレンホスホン酸、ジエチレントリアミン
ペンタメチレンホスホン酸などが好ましい。また、有機
ホスホン酸塩として上記有機ホスホン酸のナトリウム
塩、カリウム塩、リチウム塩、アンモニウム塩、アミン
塩、アルカノールアミン塩が好ましい。アミン塩とし
て、エチルアミン、プロピルアミン、エチレンジアミ
ン、トリエチレンテトラミン、ジエチレントリアミン、
テトラエチレンペンタミン、ペンタエチレンヘキサミン
などが例示される。またアルカノールアミン塩として、
モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタ
ノールアミンなどが例示される。
の塩は、特に限定されるものではないが、有機ホスホン
酸としては、アミノトリメチレンホスホン酸、１−ヒド
ロキシエチリデン−１，１−ジホスホン酸、エチレンジ
アミンテトラメチレンホスホン酸、ヘキサメチレンジア
ミンテトラメチレンホスホン酸、ジエチレントリアミン
ペンタメチレンホスホン酸などが好ましい。また、有機
ホスホン酸塩として上記有機ホスホン酸のナトリウム
塩、カリウム塩、リチウム塩、アンモニウム塩、アミン
塩、アルカノールアミン塩が好ましい。アミン塩とし
て、エチルアミン、プロピルアミン、エチレンジアミ
ン、トリエチレンテトラミン、ジエチレントリアミン、
テトラエチレンペンタミン、ペンタエチレンヘキサミン
などが例示される。またアルカノールアミン塩として、
モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタ
ノールアミンなどが例示される。
【００２０】また本発明は、前記エッチング用組成物
を、５０℃以上、好ましくは６０〜８０℃の温度で使用
することを特徴とするＮｉ−Ｆｅ合金のエッチング方法
である。
を、５０℃以上、好ましくは６０〜８０℃の温度で使用
することを特徴とするＮｉ−Ｆｅ合金のエッチング方法
である。
【００２１】本発明に従えば、Ｎｉ−Ｆｅ合金をエッチ
ングするために、前記エッチング用組成物は５０℃以
上、好ましくは６０〜８０℃の範囲の温度で使用され
る。
ングするために、前記エッチング用組成物は５０℃以
上、好ましくは６０〜８０℃の範囲の温度で使用され
る。
【００２２】エッチング用組成物の温度は、６０℃未満
ではエッチング速度が遅く好ましくない。特に５０℃未
満ではエッチングが実用化できないほどエッチング速度
が遅い。８０℃を超えると、エッチング面の平滑性が劣
り好ましくない。
ではエッチング速度が遅く好ましくない。特に５０℃未
満ではエッチングが実用化できないほどエッチング速度
が遅い。８０℃を超えると、エッチング面の平滑性が劣
り好ましくない。
【００２３】
【発明の実施の形態】以下、本発明を実施例および比較
例によって、具体的に説明するが、本発明はこれらの実
施例に限定されるものではない。
例によって、具体的に説明するが、本発明はこれらの実
施例に限定されるものではない。
【００２４】（実施例１および比較例１）板厚１５０μ
ｍ、縦横４００ｍｍの３６％Ｎｉ−Ｆｅ合金板の表裏面
に水溶性レジストで、直径１００μｍの丸孔パターンを
数百個／ｃｍ2塗布したものを試験片とした。この試験
片に温度６５℃で、表１に示す有機ホスホン酸またはそ
の塩（ｃ）と塩酸（ｂ）と塩化第二鉄（ａ）とを表２の
割合で含む水溶液から成る本発明のエッチング用組成
物、および（ｃ）成分を含まない表２で示す比較例のエ
ッチング用組成物を、スプレ圧２．０ｋｇｆ／ｃｍ2の
条件でスプレ噴霧し、エッチングを行った。エッチング
試験結果を表２に示す。
ｍ、縦横４００ｍｍの３６％Ｎｉ−Ｆｅ合金板の表裏面
に水溶性レジストで、直径１００μｍの丸孔パターンを
数百個／ｃｍ2塗布したものを試験片とした。この試験
片に温度６５℃で、表１に示す有機ホスホン酸またはそ
の塩（ｃ）と塩酸（ｂ）と塩化第二鉄（ａ）とを表２の
割合で含む水溶液から成る本発明のエッチング用組成
物、および（ｃ）成分を含まない表２で示す比較例のエ
ッチング用組成物を、スプレ圧２．０ｋｇｆ／ｃｍ2の
条件でスプレ噴霧し、エッチングを行った。エッチング
試験結果を表２に示す。
【００２５】
【表１】
【００２６】
【表２】
【００２７】表２に示すように、本発明のエッチング用
組成物で処理した試験片は、表面の仕上がり（平滑性、
真円性、孔径の均一性）は良好であった。比較例のエッ
チング用組成物で処理した試験片は、表面の仕上がりが
悪く、エッチングファクタも低いことが判る。
組成物で処理した試験片は、表面の仕上がり（平滑性、
真円性、孔径の均一性）は良好であった。比較例のエッ
チング用組成物で処理した試験片は、表面の仕上がりが
悪く、エッチングファクタも低いことが判る。
【００２８】（実施例２および比較例２）板厚１５０μ
ｍ、縦横各４００ｍｍの４２％Ｎｉ−Ｆｅ合金板の表裏
に水溶性レジストで、線幅１００μｍのパターンを配布
したものを試験片とした。この試験片を実施例１および
比較例１と同条件でスプレ噴霧し、エッチングを行っ
た。エッチング試験結果を表３に示す。
ｍ、縦横各４００ｍｍの４２％Ｎｉ−Ｆｅ合金板の表裏
に水溶性レジストで、線幅１００μｍのパターンを配布
したものを試験片とした。この試験片を実施例１および
比較例１と同条件でスプレ噴霧し、エッチングを行っ
た。エッチング試験結果を表３に示す。
【００２９】
【表３】
【００３０】表３に示すように、本発明のエッチング用
組成物で処理した試験片は、表面の仕上がり性能として
の平滑性および直線（スリットの蛇行性）は良好であっ
た。比較例のエッチング用組成物で処理した試験片は、
表面の仕上がりが悪くエッチングファクタも低いことが
判る。
組成物で処理した試験片は、表面の仕上がり性能として
の平滑性および直線（スリットの蛇行性）は良好であっ
た。比較例のエッチング用組成物で処理した試験片は、
表面の仕上がりが悪くエッチングファクタも低いことが
判る。
【００３１】（実施例３）実施例１と同じ試験片を用
い、この試験片に温度を５０〜９０℃の範囲で変化した
実施例１と同じエッチング用組成物を実施例１と同一ス
プレ圧でスプレ噴霧し、エッチングを行った。エッチン
グ試験結果を表４に示す。
い、この試験片に温度を５０〜９０℃の範囲で変化した
実施例１と同じエッチング用組成物を実施例１と同一ス
プレ圧でスプレ噴霧し、エッチングを行った。エッチン
グ試験結果を表４に示す。
【００３２】
【表４】
【００３３】表４に示すように、エッチング組成物の温
度が好ましい範囲（６０〜８０℃）ではエッチング速度
が早く、表面平滑性がよいが、温度が６０℃未満の５０
℃ではエッチング速度が遅く、また温度が８０℃を超え
る９０℃では表面平滑性が劣ることが判る。またエッチ
ング速度は、温度が５０℃未満では、さらに遅くなり実
際に用いることはできない。
度が好ましい範囲（６０〜８０℃）ではエッチング速度
が早く、表面平滑性がよいが、温度が６０℃未満の５０
℃ではエッチング速度が遅く、また温度が８０℃を超え
る９０℃では表面平滑性が劣ることが判る。またエッチ
ング速度は、温度が５０℃未満では、さらに遅くなり実
際に用いることはできない。
【００３４】なお表面の仕上がり、エッチング速度（Ｅ
Ｒ）およびエッチングファクタ（ＥＦ）は次の方法で求
めた。
Ｒ）およびエッチングファクタ（ＥＦ）は次の方法で求
めた。
【００３５】・表面仕上がり 上下からのスプレで貫通させたエッチング部分を走査電
子顕微鏡で観察し、エッチング面の平滑性、真円性、孔
径の均一性について目視判定した。◎：仕上がり非常に
良好、○：仕上がり良好、×：仕上がり不良をそれぞれ
示す。
子顕微鏡で観察し、エッチング面の平滑性、真円性、孔
径の均一性について目視判定した。◎：仕上がり非常に
良好、○：仕上がり良好、×：仕上がり不良をそれぞれ
示す。
【００３６】・エッチング速度（ＥＲ） 試験片の板厚約半分のところまで片面からスプレーエッ
チングし、単位時間当りの孔の深さで表した。単位：μ
ｍ／ｍｉｎ
チングし、単位時間当りの孔の深さで表した。単位：μ
ｍ／ｍｉｎ
【００３７】・エッチングファクタ（ＥＦ） 試験片の板厚約半分のところまで片面からスプレーエッ
チングし、レジストの開孔幅（Ｗ１）、エッチング後の
開孔幅（Ｗ２）、深さ（Ｄ）から次式により求めた。 ＥＦ ＝ ２Ｄ ／（Ｗ２−Ｗ１） ＥＦ値が大きくなるほど微細加工性が優れていることを
意味するものである。
チングし、レジストの開孔幅（Ｗ１）、エッチング後の
開孔幅（Ｗ２）、深さ（Ｄ）から次式により求めた。 ＥＦ ＝ ２Ｄ ／（Ｗ２−Ｗ１） ＥＦ値が大きくなるほど微細加工性が優れていることを
意味するものである。
【００３８】
【発明の効果】以上のように請求項１〜６に記載の本発
明によれば、塩化第二鉄水溶液に塩酸と、有機ホスホン
酸またはその塩とを添加したエッチング用組成物による
Ｎｉ−Ｆｅ合金板のフォトエッチングによって、エッチ
ング速度が実用できる程度に大きくエッチングパターン
の微細化に伴うエッチング処理面の仕上がりが良好とな
る。
明によれば、塩化第二鉄水溶液に塩酸と、有機ホスホン
酸またはその塩とを添加したエッチング用組成物による
Ｎｉ−Ｆｅ合金板のフォトエッチングによって、エッチ
ング速度が実用できる程度に大きくエッチングパターン
の微細化に伴うエッチング処理面の仕上がりが良好とな
る。
【００３９】また、請求項７，８に記載の本発明によれ
ば、前記エッチング組成物でＮｉ−Ｆｅ合金をエッチン
グするときの温度は５０℃以上、好ましくは６０〜８０
℃の範囲である。これによってエッチング速度は、実用
化できる程度であり、またエッチング面の平滑性が劣る
こともない。
ば、前記エッチング組成物でＮｉ−Ｆｅ合金をエッチン
グするときの温度は５０℃以上、好ましくは６０〜８０
℃の範囲である。これによってエッチング速度は、実用
化できる程度であり、またエッチング面の平滑性が劣る
こともない。
Claims (8)
- 【請求項１】 塩酸（ＨＣｌとして）０．０１〜２．０
重量部と、有機ホスホン酸またはその塩０．０１〜５．
０重量部とを含み、３０〜６０重量％の塩化第二鉄水溶
液によって１００重量部に調整したことを特徴とするＮ
ｉ−Ｆｅ合金のエッチング用組成物。 - 【請求項２】 塩酸（ＨＣｌとして）０．０１〜２．０
重量部と、有機ホスホン酸またはその塩０．０１〜５．
０重量部とを含み、３０〜６０重量％の塩化第二鉄水溶
液によって１００重量部に調整したことを特徴とするＮ
ｉ−Ｆｅ合金の５０℃以上でのエッチング用組成物。 - 【請求項３】 塩化第二鉄水溶液の濃度が４５〜６０重
量％であることを特徴とする請求項１または２記載の組
成物。 - 【請求項４】 塩酸がＨＣｌとして０．１〜０．９重量
部含有されることを特徴とする請求項１または２記載の
組成物。 - 【請求項５】 有機ホスホン酸またはその塩が０．０３
〜１．０重量％含有されることを特徴とする請求項１ま
たは２記載の組成物。 - 【請求項６】 有機ホスホン酸がアミノトリメチレンホ
スホン酸、１−ヒドロキシエチリデン−１，１−ジホス
ホン酸、エチレンジアミンテトラメチレンホスホン酸、
ヘキサメチレンジアミンテトラメチレンホスホン酸、ジ
エチレントリアミンペンタメチレンホスホン酸の少なく
とも１種以上であり、その塩がナトリウム塩、カリウム
塩、リチウム塩、アンモニウム塩、アミン塩、アルカノ
ールアミン塩のいずれかであることを特徴とする請求項
１または２記載の組成物。 - 【請求項７】 請求項１〜６のいずれかに記載のエッチ
ング用組成物を、５０℃以上温度で使用することを特徴
とするＮｉ−Ｆｅ合金のエッチング方法。 - 【請求項８】 前記使用温度が６０〜８０℃の範囲であ
ることを特徴とする請求項７に記載のエッチング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11234679A JP2001059192A (ja) | 1999-08-20 | 1999-08-20 | Ｎｉ−Ｆｅ合金のエッチング用組成物およびエッチング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11234679A JP2001059192A (ja) | 1999-08-20 | 1999-08-20 | Ｎｉ−Ｆｅ合金のエッチング用組成物およびエッチング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001059192A true JP2001059192A (ja) | 2001-03-06 |
Family
ID=16974768
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11234679A Pending JP2001059192A (ja) | 1999-08-20 | 1999-08-20 | Ｎｉ−Ｆｅ合金のエッチング用組成物およびエッチング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001059192A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10151180A1 (de) * | 2001-10-17 | 2003-04-30 | Norbert Nowack | Verfahren zur Entmetallisierung von metallischen Gegenständen |
| CN116121754A (zh) * | 2022-12-30 | 2023-05-16 | 浙江奥首材料科技有限公司 | 一种有机体系Al/Mo蚀刻液、其制备方法及应用 |
-
1999
- 1999-08-20 JP JP11234679A patent/JP2001059192A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10151180A1 (de) * | 2001-10-17 | 2003-04-30 | Norbert Nowack | Verfahren zur Entmetallisierung von metallischen Gegenständen |
| DE10151180A8 (de) * | 2001-10-17 | 2010-03-18 | Nowack, Norbert, Prof. Dr.-Ing. | Verfahren und Lösung zur Entschichtung von metallischen Gegenständen mit Nickel-Korrosionsschutzbeschichtung |
| DE10151180B4 (de) * | 2001-10-17 | 2010-05-12 | Nowack, Norbert, Prof. Dr.-Ing. | Verfahren und Lösung zur Entschichtung von metallischen Gegenständen mit Nickel-Korrosionsschutzbeschichtung |
| CN116121754A (zh) * | 2022-12-30 | 2023-05-16 | 浙江奥首材料科技有限公司 | 一种有机体系Al/Mo蚀刻液、其制备方法及应用 |
| CN116121754B (zh) * | 2022-12-30 | 2023-11-17 | 浙江奥首材料科技有限公司 | 一种有机体系Al/Mo蚀刻液、其制备方法及应用 |
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