JP2001059094A

JP2001059094A - 低発塵潤滑剤及び低発塵グリース

Info

Publication number: JP2001059094A
Application number: JP23570299A
Authority: JP
Inventors: Masakazu Hirata; 正和平田; Takayuki Kawamura; 隆之川村; Masami Minami; 政美南
Original assignee: NTN Corp; NTN Toyo Bearing Co Ltd
Current assignee: NTN Corp
Priority date: 1999-08-23
Filing date: 1999-08-23
Publication date: 2001-03-06

Abstract

(57)【要約】【課題】低塵性のみならず、環境上優れ、かつ、高耐
久性及び低騒音性に優れた潤滑剤及びグリースを提供す
ることである。【解決手段】２５℃における表面張力が小さくとも２
５ｍＮ／ｍである潤滑油を基油とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、低発塵性の潤滑
剤及びグリースに関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体製造設備や液晶製造設備
などでは、製造工程において製品や部品に触れる空気中
の浮遊粒状物質量が一定の規定されたレベル以下となる
ように空調管理がなされている。これは、微細な塵埃が
製品や材料に付着すると、製品の歩留りを低下させ、ま
た製造効率を低下させるからである。上記のように、空
気中の浮遊粒状物質量が一定の規定されたレベル以下の
清浄な雰囲気に管理された空間は、一般にクリーンルー
ムと呼ばれる。

【０００３】このようなクリーンルーム内で使用される
軸受や直動装置には、潤滑グリースの飛沫が発生しない
ように、低飛散性のグリースを封入した低発塵性転がり
軸受や、ボールねじ又はリニアガイド等の直動装置が使
用されている。

【０００４】また、電子計算機のハードディスク等の情
報記録装置においても、記録媒体の表面に微細な塵埃が
付着しただけでも誤作動が起きる可能性があるので、情
報記録装置またはその付近で使用する軸受には、潤滑グ
リースの飛沫（ミスト状の微細な飛沫）が発生しないよ
うなグリースを採用した低発塵性転がり軸受を採用して
いる。

【０００５】上記のクリーンルーム用転がり軸受や直動
装置に充填された低発塵性グリースとしては、比重が大
きなフッ素系グリースが用いられてきた。このフッ素系
グリースの代表例としてパーフルオロポリエーテル（Ｐ
ＦＰＥ）を基油とし、ポリテトラフルオロエチレン（Ｐ
ＴＦＥ）を増ちょう剤とするものがあげられる。しか
し、フッ素系グリースは、耐熱性は優れているが潤滑性
が不足し、充填した軸受のトルクを大きくする場合があ
った。

【０００６】また、鉱油を基油とし、ナトリウムコンプ
レックス石けんを増ちょう剤するアンドックＣ（商品
名）などのナトリウム石けん系グリースが電子計算機用
グリースとして知られている。しかし、このグリース
は、吸水性が高いのでグリースの性状が経時的に変化し
て潤滑不良を起こしやすく、また、音響性能が良くない
ため、特に低騒音、低振動性が重視される場合には適用
ができなかった。

【０００７】これに対し、電子計算機軸受用のグリース
組成物として、鉱油、合成炭化水素油およびポリフェニ
ルエーテル油の群の中から選ばれた少なくとも１種の基
油と水酸基を含まない炭素数１２〜２４の高級脂肪酸の
リチウム塩を２０〜３０重量％含有する組成物を使用す
ることが、特開平５−９４８９号公報に記載されてい
る。また、電子計算機軸受用グリース組成物として、鉱
油および合成炭化水素油から選ばれた少なくとも１種の
基油と、炭素数１２〜２４の高級脂肪酸のリチウム塩と
高級ヒドロキシ脂肪酸のリチウム塩からなる増ちょう剤
を２０〜３０重量％含有するグリース組成物を使用する
ことが、特開平６−３３００７０号公報に記載され、さ
らに、ボールねじ装置やリニアガイド装置に上記グリー
ス組成物を封入した低発塵性の直動装置を用いること
が、特開平８−２７０７４７号公報に記載されている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の低発塵性転がり軸受として、炭素数１２〜２４の
高級脂肪酸のリチウム塩と高級ヒドロキシ脂肪酸のリチ
ウム塩等の金属石けんを増ちょう剤としたグリースを充
填したものは、グリースが含有する金属元素によって問
題が起こる場合がある。すなわち、最近の製造プロセス
では、重金属ばかりでなくリチウムのような軽金属も汚
染源になるので環境上の問題があり、また金属元素が基
油の酸化反応を促進させるという問題を起こす可能性が
ある。

【０００９】さらに、高級脂肪酸や高級ヒドロキシ脂肪
酸のリチウム塩からなる増ちょう剤の耐熱温度（最高使
用可能温度）は約１２０℃であるが、これより耐熱性を
向上させた場合に、確実に低発塵性を満足する転がり軸
受は知られていない。

【００１０】さらにまた、これらグリースの低発塵化は
主にグリースの硬さ（増ちょう剤量）に依存しており、
トルクや音響性能を上げたい場合には対応ができないと
いう状況である。

【００１１】そこで、この発明の課題は、低塵性のみな
らず、環境上優れ、かつ、高耐久性及び低騒音性に優れ
た潤滑剤及びグリースを提供することである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、この発明は、２５℃における表面張力が小さくとも
２５ｍＮ／ｍである潤滑油を基油としたことを特徴とす
る。

【００１３】この潤滑油を使用することにより、飛沫
（ミスト状の微細な飛沫）の発生を抑制することがで
き、低発塵性及び環境的に優れ、かつ、高耐久性を有す
る潤滑剤を得ることができ、これをそのまま、または、
それを用いてグリースを調整して転がり軸受、ボールね
じ及びリニアガイドを作製することにより、低発塵性、
環境的に優れ、かつ、高耐久性及び低騒音性に優れた転
がり軸受、ボールねじ及びリニアガイドを得ることがで
きる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施形態を説明
する。

【００１５】この発明にかかる第１の実施形態は、所定
の表面張力を有する潤滑油を基油とした低発塵潤滑剤で
ある。

【００１６】上記潤滑油の２５℃における表面張力は、
小さくとも２５ｍＮ／ｍがよく、３０〜５５ｍＮ／ｍが
好ましい。表面張力が２５ｍＮ／ｍより小さいと、転動
部で潤滑油に加わる力に抗しきれず、潤滑油が表面から
変形、破壊され飛沫を生じ易いので、発塵性の改良効果
が得られにくい。

【００１７】また、上記潤滑油の粘度範囲は、１０〜２
００ｍｍ²／ｓがよく、２０〜１００ｍｍ²／ｓが好ま
しい。１０ｍｍ²／ｓより小さいと、上記潤滑油の蒸発
量が多くなり寿命が短くなる。また、２００ｍｍ²／ｓ
より大きいと、トルクが大きくなりすぎ好ましくない。

【００１８】上記潤滑油の例としては、鉱油、合成炭化
水素油、エーテル油等があげられる。上記鉱油として
は、石油からの高度精製油が好ましい。また、パラフィ
ン系油でもナフテン系油でもよいが、ナフテン系油のほ
うが好ましい。

【００１９】上記合成炭化水素油としては、ポリ−α−
オレフィン油、ポリ−α−オレフィンとエチレンとのコ
オリゴマー合成油、液状ポリブテン等のオレフィン重合
油、アルキル芳香族油等があげられる。このうち、１−
デセン（ＣＨ₃（ＣＨ₂）₇ＣＨ＝ＣＨ₂）のオリゴマ
ーや、ポリ−α−オレフィンとエチレンの共重合体から
なる合成油等を用いることが好ましい。

【００２０】また、アルキルシクロペンタン系油を使用
することができる。この具体例としては、Ｎｙｅ社製の
ＮｙｅＳｙｎｔｈｅｔｉｃＯｉｌ２００１Ａ等が
あげられる。

【００２１】上記エーテル油としては、市販されている
芳香環数が２〜５のものをいずれも使用することができ
るが、環数が増えるとそれだけ低温域での性能が低下し
高価になる。このため、芳香環が２〜４であって、アル
キル置換基によって低温性能を向上させたジフェニル、
トリフェニル、テトラフェニルのＣ₁₂〜Ｃ₂₀の（ジ）ア
ルキル基が導入されたフェニルエーテル油が好ましく、
より好ましくはアルキルジフェニルエーテル油である。

【００２２】上記潤滑油は、１種類のみで基油として使
用できるが、複数種の混合した潤滑油を基油として用い
てもよい。

【００２３】上記潤滑油を基油とする低発塵潤滑剤から
なる被膜を、軸受、ボールねじ等の摺動部材の表面に形
成させたり、摺動機能を向上させたい部材を潤滑剤保持
材で構成し、これに上記潤滑油を含浸させることによ
り、低発塵用潤滑機構を形成することができる。この低
発塵用潤滑機構を構成する上記摺動部材や潤滑保持材の
表面に形成される潤滑油の平均厚みは、大きくても１０
μｍが好ましい。１０μｍを越えると、上記低発塵潤滑
剤の流動性が大きくなり膜厚維持が困難となる場合があ
る。

【００２４】上記の潤滑油保持材としては、フェルト、
焼結金属、多孔質樹脂等があげられるが、潤滑油の保持
能力を有すれば、他の保持材でも使用できる。上記多孔
質樹脂の例としては、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミ
ド樹脂等があげられる。多孔質のポリイミド樹脂やポリ
アミドイミド樹脂は、原料粉末を目的の形状に加圧し
て、焼成することにより得られる。

【００２５】上記ポリイミド樹脂の例としては、宇部興
産社製：ＵＩＰ−Ｓ，Ｒ、オーストリア国レンジング社
製：Ｐ８４−ＨＴ、東レ社製：ＴＩ−３０００、デュポ
ン社製：ベスペル、三井化学社製：オーラム等があげら
れる。また、上記ポリアミドイミド樹脂の例としては、
米国アモコ社製トーロン等をあげることができる。

【００２６】上記潤滑油は、上記摺動部材に被膜した
り、潤滑剤保持材に含浸させて使用する以外に、上記潤
滑油に増ちょう剤を加えたグリースと合成樹脂粉末とを
練り合わせ、樹脂のゲル化温度以上に昇温した後に冷却
して固化させて低発塵潤滑剤（以下、「固化低発塵潤滑
剤」と称する。）として使用することができる。この固
化低発塵潤滑剤は、定形性を有すると共に、固化時に任
意の形状に成形することができるので、低発塵潤滑剤を
使用する装置の一部の部材の代替として使用することが
可能である。

【００２７】上記の合成樹脂としては、超高分子量ポリ
エチレン、ポリアミド、ポリオキシメチレン（ＰＯＭ）
等があげられる。

【００２８】上記の低発塵潤滑剤及び固化低発塵潤滑剤
には、その機能を損なわない限り、酸化防止剤、極圧
剤、摩耗抑制剤、防錆剤、清浄分散剤等のいわゆる潤滑
油添加剤を添加してもよい。但し、半導体製造設備は金
属を嫌うので、このような設備に使用する場合は、金属
を含まない潤滑油添加剤を添加するのが好ましい。

【００２９】この発明にかかる第２の実施形態は、所定
の表面張力を有する潤滑油を基油とし、これに増ちょう
剤を加えた低発塵グリースである。

【００３０】上記潤滑油の２５℃における表面張力は、
小さくとも２５ｍＮ／ｍがよく、３０〜５５ｍＮ／ｍが
好ましい。表面張力が２５ｍＮ／ｍより小さいと、転動
部で潤滑油に加わる力に抗しきれず、潤滑油が表面から
変形、破壊され飛沫を生じ易いので、発塵性の改良効果
が得られにくい。

【００３１】また、上記潤滑油の粘度範囲は、１０〜２
００ｍｍ²／ｓがよく、２０〜１００ｍｍ²／ｓが好ま
しい。１０ｍｍ²／ｓより小さいと、上記潤滑油の蒸発
量が多くなり寿命が短くなる。また、２００ｍｍ²／ｓ
より大きいと、トルクが大きくなりすぎ好ましくない。

【００３２】上記潤滑油の例としては、鉱油、合成炭化
水素油、エーテル油等があげられる。上記鉱油として
は、石油からの高度精製油が好ましい。また、パラフィ
ン系油でもナフテン系油でもよいが、ナフテン系油のほ
うが好ましい。

【００３３】上記合成炭化水素油としては、ポリ−α−
オレフィン油、ポリ−α−オレフィンとエチレンとのコ
オリゴマー合成油、液状ポリブテン等のオレフィン重合
油、アルキル芳香族油等があげられる。このうち、１−
デセン（ＣＨ₃（ＣＨ₂）₇ＣＨ＝ＣＨ₂）のオリゴマ
ーや、ポリ−α−オレフィンとエチレンの共重合体から
なる合成油等を用いることが好ましい。

【００３４】また、アルキルシクロペンタン系油を使用
することができる。この具体例としては、Ｎｙｅ社製の
ＮｙｅＳｙｎｔｈｅｔｉｃＯｉｌ２００１Ａ等が
あげられる。

【００３５】上記エーテル油としては、市販されている
芳香環数が２〜５のものをいずれも使用することができ
るが、環数が増えるとそれだけ低温域での性能が低下し
高価になる。このため、芳香環が２〜４であって、アル
キル置換基によって低温性能を向上させたジフェニル、
トリフェニル、テトラフェニルのＣ₁₂〜Ｃ₂₀の（ジ）ア
ルキル基が導入されたフェニルエーテル油が好ましく、
より好ましくはアルキルジフェニルエーテル油である。

【００３６】上記潤滑油は、１種類のみで基油として使
用できるが、複数種の混合した潤滑油を基油として用い
てもよい。

【００３７】上記増ちょう剤としては、飛沫しにくいも
のがよく、また、使用場所によっては金属を嫌う場合が
あるので、金属を使用していないものが好ましい。この
ような例としては、ウレアがあげられる。このウレアの
中でも、芳香族ウレアがより好ましい。

【００３８】上記低発塵グリースは、その６０回混和ち
ょう度が２００〜３００のものが好ましい。２００より
小さいと硬すぎて、グリースの生産性、軸受への封入性
が低下する。また、３００より大きいと、柔らかすぎ
て、グリースの流動性が高く、軸受内で攪拌され易くな
り、発塵が増える場合がある。

【００３９】上記潤滑油と増ちょう剤の混合割合は、得
られるグリースに対し、増ちょう剤が１５〜３５ｗｔ％
添加したものが好ましい。１５ｗｔ％より小さいと柔ら
かすぎて、グリースの流動性が高く、軸受内で攪拌され
易くなり、発塵が増加する場合がある。また、３５ｗｔ
％より大きいと硬くなりすぎる場合がある。さらに、潤
滑油量が少ないので寿命が短くなる場合がある。

【００４０】上記のグリースには、その機能を損なわな
い限り、酸化防止剤、極圧剤、摩耗抑制剤、防錆剤、清
浄分散剤等のいわゆる潤滑油添加剤を添加してもよい。
但し、半導体製造設備は金属を嫌うので、このような設
備に使用する場合は、金属を含まない潤滑油添加剤を添
加するのが好ましい。

【００４１】上記の第１の実施形態にかかる低発塵潤滑
油及び固化低発塵潤滑剤、並びに第２の実施形態にかか
る低発塵グリースは、各種の低発塵用の装置に使用する
ことができる。そのような装置としては、転がり軸受
や、ボールねじ、リニアガイド等の直動装置等があげら
れる。そして、これらの装置をクリーンルームの可動部
に用いることができ、また、このクリーンルーム内で使
用される半導体製造装置や液晶製造装置、又は電算機等
に使用することができる。

【００４２】

【実施例】（第１の実施形態における実施例）潤滑油を軸受に適用した場合の発塵量〔実施例１〜１０、比較例１〜５〕表１に示す潤滑油を
試験軸受（内径８ｍｍ、外径２２ｍｍ、幅７ｍｍ、ナイ
ロン保持器付き、ボール個数７個）に平均膜厚が１μｍ
又は１０μｍとなるように塗布した。この試験軸受を用
いて下記の発塵量測定試験１を行った。その結果を表１
に示す。

【００４３】なお、比較例５は、潤滑油のかわりにグリ
ースを使用した。すなわち、実施例１〜１０と同様に、
試験軸受にグリースを０．１ｇ封入した。

【００４４】また、表１中、「ＰＡＯ」は、ポリ−α−
オレフィン（合成炭化水素油）、「エステル」はエステ
ル油、「ＤＡＰＥ」は、アルキルジフェニルエーテル
油、「ＰＰＥ」は、ポリフェニルエーテル油を示す。

【００４５】発塵量測定試験１図１に試験装置の概略説明図を示すように、試験台１を
貫通する回転軸２の上部に２つの試験用軸受３をそれぞ
れ挿通するように取付け、クランプ型治具４にコイルば
ね５を介して２つの試験用軸受にスラスト荷重を負荷
し、クランプ型治具４を試験台１上に固定された係止具
６で回転不能の状態に固定した。

【００４６】また、試験台１の上面には、クランプ型治
具４を覆う大きさの箱型の気密性カバー７を設け、この
気密性カバー７には、クリーンエア（塵埃を含まない清
浄空気）の導入ダクト８及び排気ダクト９を接続し、排
気ダクト９は吸気ポンプを内蔵するダストカウンタ１０
（パーティクルカウンタとも呼ばれる。）に接続した。
なお、回転軸２は試験台１の下方に設置した電動モータ
１１で回転駆動し、試験台１の下面と回転軸２は磁性流
体シール１２で密封した。

【００４７】試験条件は、２つの軸受に対するスラスト
荷重を１０Ｎとし、回転軸の回転速度は１５００回転／
分（以下、「ｒｐｍ」と略する。）、雰囲気温度は室
温、試験は２０時間連続して行い、試験終了時にダスト
カウンタ１０で粒子径（直径）０．１μｍ以上の浮遊粒
子の採集個数（個／ｃｆ）を測定した。

【００４８】

【表１】

【００４９】結果表面張力が２５ｍＮ／ｍ以上の潤滑剤では、低発塵を発
現できることが明らかとなった。

【００５０】固化低発塵潤滑剤をボールねじに適用した
場合の発塵量〔実施例１１〜１４、比較例６〕次に、ボールねじのシ
ール部材にこの発明にかかる低発塵潤滑剤を用いた場合
の発塵性について検討した。すなわち、下記ボールねじ
を用い、表２に記載の樹脂粉末、及び潤滑剤又はグリー
スから構成される固化低発塵潤滑剤を成形し、下記ボー
ルねじのシール部材として使用した。なお、比較例６に
おいては、上記固化低発塵潤滑剤のかわりにフッ素グリ
ースを使用した。

【００５１】そして、このボールねじを用いて、下記の
発塵量測定試験２を行った。その結果を表２に示す。

【００５２】なお、表２中で、「ＵＨＭＷＰＥ」は、超
高分子量ポリエチレンを示す。また、潤滑剤及びグリー
スのメーカは、表１に示したものと同様である。

【００５３】ボールねじボールねじの軸径は１４ｍｍ、リードは４ｍｍ、ボール
径は２．３８１ｍｍで、材質としてＳＵＳ４４０Ｃのも
のを使用した。具体的形状は、下記のとおりである。

【００５４】すなわち、使用したボールねじ２０は、図
２（ａ）に示すように、ネジ軸２１の外周面２１ｂに設
けた螺旋溝２１ａと、ボールナット２２の内径面に設け
た螺旋溝２２ａとの間に複数のボール２３を配し、ねじ
軸２１とボールナット２２とがボール２３を介して螺合
したものである。このねじ軸２１又はボールナット２２
が回転すると、その回転力がボール２３の転動循環を介
してボールナット２２又はねじ軸２１に伝達され、ボー
ルナット２２又はねじ軸２１が軸方向に移動する。ボー
ルナット２２の両端部には、リング上のシール部材２５
が装着され、このシール部材２５がねじ軸１に接触して
ボールナット２内をシールする。このシール部材５の外
周には、ガータスプリング２６が装着されている。

【００５５】上記シール部材２５は、図２（ｂ）に示す
ように、リング状に成形した後、これを各円周が等分に
なるように４箇所で分割したものである。この４つの分
割部のうち３つの分割部２７は、その内径面２７ｂにか
ら内部に突出した突部２７ａを有し、残りの１つの分割
部２８の内径面２８ｂは、他の分割部２７の内径面２７
ｂより若干内側に設けられる。すなわち、上記４つの分
割部の外径面は全体で１つの円形状をなすものの、その
内径面は、１つの円形状を構成せず、分割部２８の内径
面２８ｂが他の分割部２７の内径面２７ｂと突部２７ａ
との間に位置する。

【００５６】発塵量測定試験２図３に試験装置の概略説明図を示すように、試験台３１
を貫通する回転軸３２の途中にボールねじ３３を取付
け、その周囲を気密性カバー３４で覆った。

【００５７】上記気密性カバー３４を、途中にフィルタ
３９を有するクリーンエア（塵埃を含まない清浄空気）
の導入ダクト３６及び排気ダクト３７を接続し、排気ダ
クト３７は吸気ポンプを内蔵するダストカウンタ３８に
接続した。なお、回転軸２は試験台１の上方に設置した
電動モータ１１で回転駆動し、試験台１の下面と回転軸
２は磁性流体シール４０で密封した。

【００５８】試験条件は、測定回転数１５００ｒｐｍ、
加減速時間０．３秒、停止時間１．０秒でボールねじの
回転及び停止を繰り返した。また、気密性カバー３４へ
のエア導入量は、２８．３リットル／ｍｉｎであった。
また、フィルタ４０は、０．０１μｍ以上の粒子を１０
０％カットするものである。

【００５９】上記条件下で１００時間連続して行い、試
験終了時にダストカウンタ３８で粒子径（直径）０．１
μｍ以上の浮遊粒子の採集個数（個／ｃｆ）を測定し
た。

【００６０】

【表２】

【００６１】結果表面張力が２５ｍＮ／ｍ以上の潤滑剤又はグリースを用
いたものでは、低発塵を発現できるできることが明らか
となった。

【００６２】固化低発塵潤滑剤を軸受に適用した場合の
発塵量及び音響〔実施例１５〜１８、比較例７〜８〕表３に記載の樹脂
粉末、及び潤滑剤又はグリースから構成される固化低発
塵潤滑剤４１を図４（ａ）（ｂ）に示す試験軸受４２
（内輪４３の内径８ｍｍ、外輪４４の外径２２ｍｍ、幅
７ｍｍ、鉄板保持器４５付き、ボール４６の個数７個）
に封入した。この試験軸受４２を用いて上記の発塵量測
定試験１及び下記の音響試験を行った。その結果を表３
に示す。

【００６３】なお、表３中の潤滑剤及びグリースのメー
カは、表１に示したものと同様である。また、「アンド
ッグＣ」は、エッソ社製のグリースである。

【００６４】音響試験内径２０ｍｍ、外径４７ｍｍ、幅１４ｍｍの軸受を１８
００ｒｐｍで回転させ、軸受から発する音響（ｄＢＡ）
を測定した。

【００６５】

【表３】

【００６６】結果表面張力が２５ｍＮ／ｍ以上の潤滑剤又はグリースを用
いたものでは、低発塵を発現できると共に、発生音量は
少なかった。

【００６７】これに対し、比較例８では、保持器から発
せられる音が発生音中に混ざっていた。

【００６８】（第２の実施形態における実施例及び比較
例）潤滑油の特性各種の潤滑油の動粘度、表面張力、発塵個数を測定し
た。その結果を表４に示す。

【００６９】

【表４】

【００７０】グリースを軸受及びボールねじに適用した
場合の発塵量〔実施例１９〜２５、比較例９〕表５に記載の基油（潤
滑油）及び増ちょう剤からなるグリースを試験軸受（内
径８ｍｍ、外径２２ｍｍ、幅７ｍｍ、ナイロン保持器付
き、ボール個数７個）に０．１ｇ封入した。この試験軸
受４２を用いて上記の発塵量測定試験１を行った。その
結果を表４の「試験Ｉ」に示す。なお、このときの回転
速度を３０００ｒｐｍ、試験温度を８０℃、試験時間を
５００時間とした。

【００７１】また、実施例１１に記載の方法と同様にし
て、上記グリースをボールねじのシール部材として使用
し、ボールねじの発塵量測定試験２を行った。その結果
を表５の「試験II」に示す。

【００７２】また、ちょう度とは、グリースのみかけ硬
さで、規定円すいが試料に貫入した深さをｍｍ単位の１
０倍で表した数値をいい、ＪＩＳＫ２２２０に規定
された方法で測定した。

【００７３】なお、表５における脂肪族ウレア、脂環ウ
レア、芳香族ウレア等のウレア増ちょう剤は、下記の方
法で製造した。

【００７４】ウレア増ちょう剤の製造表６にウレア増ちょう剤の製造に用いた増ちょう剤及び
酸化防止剤を示した。

【００７５】このウレアグリースは、イソシアネートと
アミン化合物を反応させることにより製造することがで
きる。まず、基油の半量に表６に記載のイソシアネート
を溶解させ、また、基油の残りの半量に表６に記載の脂
肪族アミン、脂環族アミン又は芳香族アミンのいずれか
を溶解し、両者を混合した。このときのイソシアネート
とアミン化合物の混合比を１：２（モル比）とした。そ
して、１００〜１２０℃で３０分間攪拌を続けて反応さ
せ、グリース状とした。ウレア反応の終了を赤外吸収ス
ペクトルにおけるイソシアネート基（−Ｎ＝Ｃ＝Ｏ）の
特性吸収（１１６０ｃｍ^-1）により判定した。そして、
表６に記載の酸化防止剤を０．５ｗｔ％加えた。さら
に、１００〜１２０℃で１０分間攪拌し、氷水の敷いた
ステンレスパッドの上に開けて冷却した。十分に冷却し
た後、三本ロールで均質化させ、脂肪族ウレア、脂環ウ
レア、芳香族ウレアのウレア増ちょう剤を製造した。

【００７６】

【表５】

【００７７】

【表６】

【００７８】結果表面張力が２５ｍＮ／ｍ以上の潤滑剤又はグリースを用
いたものでは、通常のフッ素グリースよりも低発塵を発
現することができる。

【００７９】

【発明の効果】この発明にかかる低発塵潤滑剤は、微細
な飛沫が発生しにくく、低塵性を有すると共に、高耐久
性及び低騒音性に優れる。

【００８０】また、この低発塵潤滑剤は、金属成分を全
く含まない成分とした場合、環境を汚染することなく、
また、潤滑油の酸化を促進させることがないという利点
を有する。

【００８１】さらに、この低発塵潤滑剤を用いた転がり
軸受、ボールねじ、リニアガイド等の部材をクリーンル
ーム用低発塵性転がり軸受等の部材に採用すると、クリ
ールーム内に潤滑剤の飛沫からなる浮遊粒子を飛散させ
ることがなくなる。

【００８２】さらにまた、この低発塵潤滑剤を用いた転
がり軸受、ボールねじ、リニアガイド等の部材をクリー
ンルーム内で使用される半導体製造装置の転がり軸受等
の部材に採用すると、クリールーム内に潤滑剤の飛沫か
らなる浮遊粒子を飛散させることがなくなると共に、集
積度の高い半導体の製造効率を向上させることが可能と
なる。

【図面の簡単な説明】

【図１】発塵量測定試験の例を示す断面図

【図２】（ａ）ボールねじの例を示す一部拡大断面図（ｂ）シール部材の正面図

【図３】他の発塵量測定試験の例を示す断面図

【図４】（ａ）軸受の例を示す正面図（ｂ）（ａ）のＡ−Ａ断面図

【符号の説明】

１試験台２回転軸３試験軸受４クランプ型治具５コイルばね６係止具７気密性カバー８導入ダクト９排気ダクト１０ダストカウンタ１１電動モータ１２磁気流体シール２０ボールねじ２１ねじ軸２１ａ螺旋溝２２ボールナット２２ａ螺旋溝２３ボール２５シール部材２６ガータスプリング２７分割部２７ａ突部２７ｂ内径面２８分割部２８ｂ内径面３１試験台３２回転軸３３ボールねじ３４気密性カバー３５モータ３６導入ダクト３７排気ダクト３８ダストカウンタ３９フィルタ４０磁性流体シール４１固化低塵潤滑剤４２軸受４３内輪４４外輪４５保持器４６ボール

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｃ１０Ｍ 115/08 Ｃ１０Ｍ 115/08 171/06 171/06 Ｆ１６Ｃ 33/66 Ｆ１６Ｃ 33/66 Ｚ // Ｃ１０Ｎ 20:00 20:06 30:00 40:02 40:06 50:10 70:00 (72)発明者南政美三重県桑名市大字東方字尾弓田3066 エヌティエヌ株式会社内Ｆターム(参考） 3J101 AA02 AA32 AA42 AA52 AA62 AA72 CA31 EA64 FA01 FA60 GA55 4H104 BB08A BE13B CA02A CB14A CE13A CE14B DA02A EA01A EA02Z EA08A EB02 EB06 JA01 LA15 LA20 PA01 PA04 PA38 QA12 QA18 RA03

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】２５℃における表面張力が小さくとも２
５ｍＮ／ｍである潤滑油を基油とした低発塵潤滑剤。
【請求項２】請求項１に記載の低発塵潤滑剤を潤滑剤
保持材に含浸させた低発塵用潤滑機構。
【請求項３】上記低発塵潤滑剤の平均膜厚が、大きく
ても１０μｍである請求項２に記載の低発塵用潤滑機
構。
【請求項４】上記潤滑剤保持材は、フェルト、焼結金
属、多孔質樹脂のいずれかである請求項２に記載の低発
塵用潤滑機構。
【請求項５】請求項１に記載の低発塵潤滑剤、又は請
求項１に記載の低発塵潤滑剤に増ちょう剤を加えたグリ
ースと合成樹脂粉末とを練り合わせ、樹脂のゲル化温度
以上に昇温した後に冷却することにより固化させた低発
塵潤滑剤。
【請求項６】２５℃における表面張力が小さくとも２
５ｍＮ／ｍである潤滑油を基油とし、これに増ちょう剤
を加えたグリースを主成分とする低発塵潤滑剤。
【請求項７】２５℃における表面張力が小さくとも２
５ｍＮ／ｍである潤滑油を基油とし、これに増ちょう剤
を加えた低発塵グリース。
【請求項８】上記増ちょう剤は、ウレアである請求項
７に記載の低発塵グリース。
【請求項９】上記ウレアは芳香族ウレアである請求項
８に記載の低発塵グリース。
【請求項１０】上記潤滑油はアルキルジフェニルエー
テル油である請求項７乃至９のいずれかに記載の低発塵
グリース。
【請求項１１】上記増ちょう剤量が全体の１５〜３５
ｗｔ％である請求項７乃至１０のいずれかに記載の低発
塵グリース。
【請求項１２】６０回混和ちょう度が２００〜３００
である請求項７乃至１１のいずれかに記載の低発塵グリ
ース。
【請求項１３】請求項１、５、又は６のいずれかに記
載の低発塵潤滑剤を使用し、請求項２乃至４のいずれか
に記載の低発塵用潤滑機構を有し、又は請求項７乃至１
２のいずれかに記載の低発塵グリースを封入した低発塵
用転がり軸受。
【請求項１４】請求項１、５、又は６のいずれかに記
載の低発塵潤滑剤を使用し、請求項２乃至４のいずれか
に記載の低発塵用潤滑機構を有し、又は請求項７乃至１
２のいずれかに記載の低発塵グリースを封入した低発塵
用ボールねじ。
【請求項１５】請求項１、５、又は６のいずれかに記
載の低発塵潤滑剤を使用し、請求項２乃至４のいずれか
に記載の低発塵用潤滑機構を有し、又は請求項７乃至１
２のいずれかに記載の低発塵グリースを封入したリニア
ガイド。
【請求項１６】請求項１３に記載の低発塵用転がり軸
受、請求項１４に記載の低発塵用ボールねじ、又は請求
項１５に記載のリニアガイドを可動部に用いたクリーン
ルーム。
【請求項１７】請求項１６に記載のクリーンルーム内
で使用される半導体製造設備。
【請求項１８】請求項１３に記載の低発塵用転がり軸
受を用いた電算機。