JP2001041232A - 揺動部用総玉軸受 - Google Patents
揺動部用総玉軸受Info
- Publication number
- JP2001041232A JP2001041232A JP11249096A JP24909699A JP2001041232A JP 2001041232 A JP2001041232 A JP 2001041232A JP 11249096 A JP11249096 A JP 11249096A JP 24909699 A JP24909699 A JP 24909699A JP 2001041232 A JP2001041232 A JP 2001041232A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- balls
- load
- ball
- ball bearing
- oscillation part
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/30—Parts of ball or roller bearings
- F16C33/37—Loose spacing bodies
- F16C33/3713—Loose spacing bodies with other rolling elements serving as spacing bodies, e.g. the spacing bodies are in rolling contact with the load carrying rolling elements
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Rolling Contact Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 軸受寿命および発塵性を向上させるととも
に、通電性を損なうことのない揺動部用総玉軸受を提供
すること。 【解決手段】 揺動部用総玉軸受において、少なくとも
軌道面１ａ，２ａに潤滑剤を塗布した鋼製軌道輪１，２
間に、予圧が付与された複数の負荷用玉３とそれよりわ
ずかに小径で予圧が付与されないスペーサ用玉４とを交
互に配置し、上記負荷用玉３のうち、少なくとも１個の
玉３ｂを通電性を有する金属製とし残りの玉３ａをセラ
ミックス製にしたことを特徴とする。
に、通電性を損なうことのない揺動部用総玉軸受を提供
すること。 【解決手段】 揺動部用総玉軸受において、少なくとも
軌道面１ａ，２ａに潤滑剤を塗布した鋼製軌道輪１，２
間に、予圧が付与された複数の負荷用玉３とそれよりわ
ずかに小径で予圧が付与されないスペーサ用玉４とを交
互に配置し、上記負荷用玉３のうち、少なくとも１個の
玉３ｂを通電性を有する金属製とし残りの玉３ａをセラ
ミックス製にしたことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、半導体製
造装置の揺動部に使用される総玉軸受に関する。
造装置の揺動部に使用される総玉軸受に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の半導体製造装置などの揺動部に使
用される総玉軸受は、少なくとも軌道面に潤滑剤を塗布
した鋼製軌道輪間に、予圧が付与された複数の負荷用玉
が配置されているが、揺動による早期の油膜切れに起因
した軸受寿命の低下や発塵性の増大を防止するため、セ
ラミックス製の玉が使用されている。
用される総玉軸受は、少なくとも軌道面に潤滑剤を塗布
した鋼製軌道輪間に、予圧が付与された複数の負荷用玉
が配置されているが、揺動による早期の油膜切れに起因
した軸受寿命の低下や発塵性の増大を防止するため、セ
ラミックス製の玉が使用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の半導体装置
等の通電性を有する装置においては、装置内に静電気が
発生したとき、通電してその静電気を逃がすことが必要
になるが、総玉軸受の玉がセラミックス製であるため、
通電性がなく、装置内の金属と金属接触部にて電食等が
発生し、装置の損傷につながることがある。
等の通電性を有する装置においては、装置内に静電気が
発生したとき、通電してその静電気を逃がすことが必要
になるが、総玉軸受の玉がセラミックス製であるため、
通電性がなく、装置内の金属と金属接触部にて電食等が
発生し、装置の損傷につながることがある。
【０００４】従って、本発明は、軸受寿命および発塵性
を向上させるとともに、通電性を損なうことのない揺動
部用総玉軸受を提供することを目的とする。
を向上させるとともに、通電性を損なうことのない揺動
部用総玉軸受を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は上記課題を解
消するためになされたものであり、揺動部用総玉軸受に
おいて、少なくとも軌道面に潤滑剤を塗布した鋼製軌道
輪間に、予圧が付与された複数の負荷用玉とそれよりわ
ずかに小径で予圧が付与されないスペーサ用玉とを交互
に配置し、上記負荷用玉のうち、少なくとも１個の玉を
通電性を有する金属製とし残りの玉をセラミックス製に
したことを特徴とする。
消するためになされたものであり、揺動部用総玉軸受に
おいて、少なくとも軌道面に潤滑剤を塗布した鋼製軌道
輪間に、予圧が付与された複数の負荷用玉とそれよりわ
ずかに小径で予圧が付与されないスペーサ用玉とを交互
に配置し、上記負荷用玉のうち、少なくとも１個の玉を
通電性を有する金属製とし残りの玉をセラミックス製に
したことを特徴とする。
【０００６】
【発明の実施の形態】図１および図２は本発明の一実施
形態である揺動部に使用されるアンギュラ総玉軸受であ
り、軸受鋼から形成された内輪１および外輪２の少なく
とも両軌道面１ａ，２ａに例えばふっ素系のグリースな
どの潤滑剤を塗布し、この内外輪１，２間に予圧が付与
された複数の負荷用玉３とそれよりわずかに小径で予圧
が付与されないスペーサ用玉４とが交互に配置され、上
記負荷用玉３のうち、複数個をセラミックス製玉３ａと
するとともに、残りの少なくとも１個を通電用として金
属製例えばステンレス製玉３ｂにされている。
形態である揺動部に使用されるアンギュラ総玉軸受であ
り、軸受鋼から形成された内輪１および外輪２の少なく
とも両軌道面１ａ，２ａに例えばふっ素系のグリースな
どの潤滑剤を塗布し、この内外輪１，２間に予圧が付与
された複数の負荷用玉３とそれよりわずかに小径で予圧
が付与されないスペーサ用玉４とが交互に配置され、上
記負荷用玉３のうち、複数個をセラミックス製玉３ａと
するとともに、残りの少なくとも１個を通電用として金
属製例えばステンレス製玉３ｂにされている。
【０００７】上記負荷用玉３であるセラミックス製玉３
ａおよび金属製玉３ｂは同一寸法とされている。さら
に、スペーサ用玉４は、上記負荷用玉３より数μｍ小さ
い金属製例えばステンレス製玉から形成されている。
ａおよび金属製玉３ｂは同一寸法とされている。さら
に、スペーサ用玉４は、上記負荷用玉３より数μｍ小さ
い金属製例えばステンレス製玉から形成されている。
【０００８】また、上記セラミックス製玉３ａは、金属
製玉に表面をセラミックス被覆にて形成してもよい。こ
の構成とすればコストダウンにつながる。
製玉に表面をセラミックス被覆にて形成してもよい。こ
の構成とすればコストダウンにつながる。
【０００９】上記総玉軸受構成としたため、例えばロボ
ットアームなどの揺動部にて使用されるような、大径で
薄肉軌道輪でしかも数十個の転動体を用い予圧をかけら
れて使用されても、スペーサ用玉４により負荷用玉３が
玉詰まりを起こすことがなく、かつセラミックス製玉３
ａにより、摩耗が防止され、発塵が少なくなる。また、
通電用に挿入した金属製負荷用玉３ｂは、少なくとも軌
道輪１ａ，２ａに塗布された潤滑剤にて潤滑されるた
め、摩耗が防止され、さらに確実に通電の役割を果た
す。
ットアームなどの揺動部にて使用されるような、大径で
薄肉軌道輪でしかも数十個の転動体を用い予圧をかけら
れて使用されても、スペーサ用玉４により負荷用玉３が
玉詰まりを起こすことがなく、かつセラミックス製玉３
ａにより、摩耗が防止され、発塵が少なくなる。また、
通電用に挿入した金属製負荷用玉３ｂは、少なくとも軌
道輪１ａ，２ａに塗布された潤滑剤にて潤滑されるた
め、摩耗が防止され、さらに確実に通電の役割を果た
す。
【００１０】
【発明の効果】この発明は、揺動部に使用される総玉軸
受において、少なくとも軌道面に潤滑剤を塗布した鋼製
軌道輪間に、予圧が付与された複数の負荷用玉セラミッ
クス製とそれよりわずかに小径で予圧が付与されないス
ペーサ用玉とを交互に配置し、上記負荷用玉のうち、少
なくとも１個の玉を通電性を有する金属製とし残りの玉
をセラミックス製にしたため、軸受寿命および発塵性を
向上させるとともに、通電性を損なうことがない。
受において、少なくとも軌道面に潤滑剤を塗布した鋼製
軌道輪間に、予圧が付与された複数の負荷用玉セラミッ
クス製とそれよりわずかに小径で予圧が付与されないス
ペーサ用玉とを交互に配置し、上記負荷用玉のうち、少
なくとも１個の玉を通電性を有する金属製とし残りの玉
をセラミックス製にしたため、軸受寿命および発塵性を
向上させるとともに、通電性を損なうことがない。
【図１】本発明の一実施形態の断面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。
１ 内輪 １ａ 軌道面 ２ 外輪 ２ａ 軌道面 ３ 玉 ３ａ セラミックス製玉 ３ｂ 金属製玉 ４ スペーサ用玉
Claims (1)
- 【請求項１】 少なくとも軌道面に潤滑剤を塗布した鋼
製軌道輪間に、予圧が付与された複数の負荷用玉とそれ
よりわずかに小径で予圧が付与されないスペーサ用玉と
を交互に配置し、上記負荷用玉のうち、少なくとも１個
の玉を通電性を有する金属製とし残りの玉をセラミック
ス製にしたことを特徴とする揺動部用総玉軸受。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11249096A JP2001041232A (ja) | 1999-07-30 | 1999-07-30 | 揺動部用総玉軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11249096A JP2001041232A (ja) | 1999-07-30 | 1999-07-30 | 揺動部用総玉軸受 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001041232A true JP2001041232A (ja) | 2001-02-13 |
Family
ID=17187922
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11249096A Pending JP2001041232A (ja) | 1999-07-30 | 1999-07-30 | 揺動部用総玉軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001041232A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10233938A1 (de) * | 2002-07-25 | 2004-02-12 | Lucas Automotive Gmbh | Maschinenelement mit zwischen beweglichen Bauteilen angeordneten Wälzkörpern |
| JP2010500184A (ja) * | 2006-08-11 | 2010-01-07 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | ロボット・リスト・アセンブリの為の方法および装置 |
| WO2010022478A1 (en) * | 2008-09-01 | 2010-03-04 | Are Engines Limited | Internal combustion rotary piston engine |
| WO2014182307A1 (en) * | 2013-05-10 | 2014-11-13 | Roller Bearing Company Of America, Inc. | Double row preloaded ball bearing with spacer balls |
| CN104454975A (zh) * | 2014-11-07 | 2015-03-25 | 济宁精益轴承有限公司 | 无保持架滚动轴承 |
-
1999
- 1999-07-30 JP JP11249096A patent/JP2001041232A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10233938A1 (de) * | 2002-07-25 | 2004-02-12 | Lucas Automotive Gmbh | Maschinenelement mit zwischen beweglichen Bauteilen angeordneten Wälzkörpern |
| DE10233938B4 (de) * | 2002-07-25 | 2007-09-13 | Lucas Automotive Gmbh | Elektromechanische Bremsanlage mit einem Maschinenelement mit zwischen beweglichen Bauteilen angeordneten Wälzkörpern |
| JP2010500184A (ja) * | 2006-08-11 | 2010-01-07 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | ロボット・リスト・アセンブリの為の方法および装置 |
| WO2010022478A1 (en) * | 2008-09-01 | 2010-03-04 | Are Engines Limited | Internal combustion rotary piston engine |
| WO2014182307A1 (en) * | 2013-05-10 | 2014-11-13 | Roller Bearing Company Of America, Inc. | Double row preloaded ball bearing with spacer balls |
| US9599151B2 (en) | 2013-05-10 | 2017-03-21 | Roller Bearing Company Of America, Inc. | Double row preloaded ball bearing with spacer balls |
| CN104454975A (zh) * | 2014-11-07 | 2015-03-25 | 济宁精益轴承有限公司 | 无保持架滚动轴承 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060127 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060131 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060330 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060711 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060908 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061212 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070201 |
|
| A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20070216 |
|
| A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20070330 |