JP2001012405A - 流体圧アクチュエータの駆動方法およびその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 流体圧アクチュエータの応答性を向上させる
とともに、そのふらつきを減少させる。 【解決手段】 双方向駆動可能な流体圧ポンプ１０と、
流体圧シリンダ２０のヘッド側およびロッド側とを連結
し、ヘッド側連結路１１およびロッド側連結路１６を、
電磁弁１３、１８を介して選択的に流体圧タンク１５と
連通させる。流体圧ポンプ１０を駆動する電動モータ３
０の回転方向に基づいて、電磁弁１３、１８の選択位置
を切り換えることで、ヘッド側連結路１１から流体圧タ
ンク１５への余剰流体の流出、および流体圧タンク１５
からロッド側連結路１６への不足流体の流入を、流体圧
シリンダ２０内の流体圧力に左右されずに制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、例えば工具を往
復動させる各種の工作機械に適用される流体圧アクチュ
エータの駆動方法と、流体圧アクチュエータの駆動装置
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、図４、図５に示すように、双方
向駆動可能な流体圧ポンプ１０と、流体圧アクチュエー
タ２０（流体圧シリンダ２１）とを備え、電動モータ３
０の駆動により流体圧ポンプ１０を回転させてその回転
方向および回転速度をコントロールすることによって、
流体圧シリンダ２１のピストン２２の位置や移動速度を
コントロールするようになった、非圧縮性流体を用いる
流体圧回路がある。

【０００３】この流体圧回路は、流体圧ポンプ１０の一
方向回転によりピストン２２が図４に示すように動作
（図では上昇）するときは、ロッド側の圧力がパイロッ
トチェック弁６１のクラッキング圧力以上になるため、
ロッド側とヘッド側との面積差に起因する余剰流体は、
パイロットチェック弁６１を通って流体圧タンク１５に
排出される。

【０００４】一方、流体圧ポンプ１０の逆方向回転によ
りピストン２２が図５に示すように動作（図では下降）
するときは、ロッド側の圧力が大気圧以下になるため、
流体圧タンク１５からチェック弁６２を通って流体が回
路に供給されるようになっている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のものは、図５に示す動作状態において、ロッ
ド側の圧力が大気圧以下になったとき、チェック弁６２
が流体圧タンク１５から流体を吸い込む際のチェック弁
６２の前後の圧力差は、最大でも１kgf／cm²しか発生し
ないため、チェック弁６２を開く力は小さく、応答性が
悪い。そして、チェック弁６２の開放応答性が悪いと、
流体圧ポンプ１０の吸入側圧力が大気圧よりも低くなり
すぎるため、大気圧を利用して流体を吸い込むようにな
った流体圧ポンプ１０は、吸い込みが不充分で流体を吐
出できなくなり、その結果、ピストン２２の応答性（図
では下降応答性）が悪くなる。

【０００６】そこで、これを回避するため、流体圧ポン
プ１０の吸入側圧力が大気圧よりもできるだけ低くなら
ないように、チェック弁６２のクラッキング圧力を極力
低めに抑える必要がある。ところが、クラッキング圧力
を小さくすることは、チェック弁６２内のばね力を小さ
くすることであり、ばね力が小さいとチェック弁６２を
閉じる際の応答性が悪くなる。そして、チェック弁６２
の閉鎖応答性が悪いと、図４に示す動作の際、チェック
弁６２を通って流体が流体圧タンク１５へ逃げてしま
い、その結果、ピストン２２の応答性（図では上昇応答
性）が悪くなる。

【０００７】このように、従来のものは、ロッド側とヘ
ッド側との流体圧力差に起因して開閉動作するパイロッ
トチェック弁６１およびチェック弁６２を使用している
ため、チェック弁２２の開閉応答性が悪く、また、チェ
ック弁６２の開放応答性と閉鎖応答性とを同時に改善す
ることができない結果、ピストン２２（流体圧アクチュ
エータ２０）の応答性が悪く、また、ピストン２２（流
体圧アクチュエータ２０）のふらつきの原因にもなると
いう問題があった。

【０００８】この発明の課題は、上記従来のもののもつ
問題点を排除して、双方向駆動可能な流体圧ポンプと流
体圧アクチュエータとを備えた流体圧回路において、流
体圧タンクとの選択的連通（流体の流出／流入）を、流
体圧アクチュエータ（流体圧シリンダ）のロッド側とヘ
ッド側との流体圧力差によらずに制御することで、流体
圧アクチュエータの応答性を向上させるとともに、その
ふらつきを減少させることのできる流体圧アクチュエー
タの駆動方法およびその装置を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この発明は上記課題を解
決するものであって、請求項１に係る発明は、双方向駆
動可能な流体圧ポンプと、流体圧シリンダのヘッド側お
よびロッド側とを連結し、ヘッド側連結路またはロッド
側連結路を、弁を介して選択的に流体圧タンクと連通さ
せる流体圧回路を構成し、流体圧ポンプの回転により流
体圧シリンダのピストンの位置をコントロールするよう
になった流体圧アクチュエータにおいて、前記流体圧ポ
ンプを駆動する電動モータの回転方向が、流体圧ポンプ
から前記ロッド側連結路に流体を吐出させる方向のと
き、電動モータの当該回転方向に基づいて、前記ヘッド
側連結路と前記流体圧タンクとを連通させる位置に前記
弁を位置決めする工程と、前記電動モータの回転方向
が、前記流体圧ポンプから前記ヘッド側連結路に流体を
吐出させる方向のとき、電動モータの当該回転方向に基
づいて、前記ロッド側連結路と前記流体圧タンクとを連
通させる位置に前記弁を位置決めする工程とからなる流
体圧アクチュエータの駆動方法である。

【００１０】請求項２に係る発明は、双方向駆動可能な
流体圧ポンプと、流体圧シリンダのヘッド側およびロッ
ド側とを連結し、ヘッド側連結路またはロッド側連結路
を、弁を介して選択的に流体圧タンクと連通させる流体
圧回路を構成し、流体圧ポンプの回転により流体圧シリ
ンダのピストンの位置をコントロールするようになった
流体圧アクチュエータにおいて、前記ヘッド側連結路か
ら前記流体圧タンクへの余剰流体の流出、および流体圧
タンクから前記ロッド側連結路への不足流体の流入を制
御する前記弁の選択位置を、前記流体圧ポンプを駆動す
る電動モータの回転方向に基づいて切り換えるように構
成した流体圧アクチュエータの駆動装置である。

【００１１】請求項３に係る発明は、双方向駆動可能な
流体圧ポンプと、流体圧シリンダのヘッド側およびロッ
ド側とを連結し、ヘッド側連結路またはロッド側連結路
を、弁を介して選択的に流体圧タンクと連通させる流体
圧回路を構成し、流体圧ポンプの回転により流体圧シリ
ンダのピストンの位置をコントロールするようになった
流体圧アクチュエータにおいて、前記流体圧ポンプを駆
動する電動モータの回転方向が、流体圧ポンプから前記
ロッド側連結路に流体を吐出させる方向のとき、電動モ
ータの当該回転方向に基づいて、前記ヘッド側連結路と
前記流体圧タンクとを連通させる位置に前記弁を位置決
めする手段と、前記電動モータの回転方向が、前記流体
圧ポンプから前記ヘッド側連結路に流体を吐出させる方
向のとき、電動モータの当該回転方向に基づいて、前記
ロッド側連結路と前記流体圧タンクとを連通させる位置
に前記弁を位置決めする手段とを備えている流体圧アク
チュエータの駆動装置である。

【００１２】請求項４に係る発明は、請求項３記載の発
明において、前記弁が前記ヘッド側連結路と前記流体圧
タンクとを連通させる位置にあるとき、ヘッド側連結路
から流体圧タンクへ余剰流体を流出させる一方、前記弁
が前記ロッド側連結路と前記流体圧タンクとを連通させ
る位置にあるとき、流体圧タンクからロッド側連結路へ
不足流体を流入させる流体圧アクチュエータの駆動装置
である。

【００１３】請求項５に係る発明は、双方向駆動可能な
流体圧ポンプと、流体圧シリンダのヘッド側およびロッ
ド側とを連結し、ヘッド側連結路またはロッド側連結路
を、弁を介して選択的に流体圧タンクと連通させる流体
圧回路を構成し、流体圧ポンプの回転により流体圧シリ
ンダのピストンの位置をコントロールするようになった
流体圧アクチュエータにおいて、前記流体圧ポンプを駆
動する電動モータの回転方向を検出する手段と、検出し
た回転方向にしたがって前記弁を位置決めする手段とを
備え、前記電動モータの回転方向が、前記流体圧ポンプ
から前記ロッド側連結路に流体を吐出させる方向のと
き、前記弁が前記ヘッド側連結路と流体圧タンクとを連
通させて、余剰流体を流体圧タンクに流出させる一方、
前記電動モータの回転方向が、前記流体圧ポンプから前
記ヘッド側連結路に流体を吐出させる方向のとき、前記
弁が前記ロッド側連結路と流体圧タンクとを連通させ
て、不足流体を流体圧タンクから流入させるように構成
した流体圧アクチュエータの駆動装置である。

【００１４】請求項６に係る発明は、請求項２〜５のい
ずれかに記載の発明において、前記弁は電磁弁である流
体圧アクチュエータの駆動装置である。

【００１５】請求項７に係る発明は、請求項２〜５のい
ずれかに記載の発明において、前記弁は、前記ヘッド側
連結路と前記流体圧タンクとの間に配置されるノーマル
オープン型の電磁弁と、前記ロッド側連結路と流体圧タ
ンクとの間に配置されるノーマルクローズ型の電磁弁と
から構成される流体圧アクチュエータの駆動装置であ
る。

【００１６】請求項８に係る発明は、請求項２、３また
は５記載の発明において、前記ピストンの位置を検出す
る手段と、ピストンの目標位置と前記検出手段の出力と
に基づいて、前記電動モータの速度指令値を出力する手
段と、前記出力手段からの電動モータの速度指令値と前
記電動モータからの速度フィードバックとに基づいて、
当該電動モータに必要な電流を供給する手段とを備えて
いる流体圧アクチュエータの駆動装置である。

【００１７】請求項９に係る発明は、請求項８記載の発
明において、前記電動モータ速度指令出力手段は、前記
ピストン位置検出手段の出力を受け付けるピストン位置
カウンタと、ピストンの目標位置に所定の速度分配を加
味する位置指令カウンタと、前記位置指令カウンタの値
と前記ピストン位置カウンタの値との差分から、ピスト
ンの速度指令値を算出するピストン位置ループゲイン部
と、ピストンの前記速度指令値と前記ピストン位置カウ
ンタから得られるピストンの速度フィードバックとの差
分から、ピストンの加速度指令値を算出するピストン速
度ループゲイン部とを備え、前記ピストン速度ループゲ
イン部が、ピストンの前記加速度指令値を前記電動モー
タの速度指令値として出力する流体圧アクチュエータの
駆動装置である。

【００１８】請求項１０に係る発明は、請求項８記載の
発明において、前記電流供給手段は、前記電動モータ速
度指令出力手段からの電動モータの速度指令値と前記電
動モータからの速度フィードバックとの差分から、電動
モータの加速度指令値を算出するモータ速度ループゲイ
ン部と、電流制御部とを備え、前記モータ速度ループゲ
イン部が、電動モータの前記加速度指令値を電流指令値
として前記電流制御部に出力し、前記電流制御部が、前
記電流指令値で指令された電流を前記電動モータに出力
する流体圧アクチュエータの駆動装置である。

【００１９】

【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を、図面を
参照して説明する。図１は、この発明による流体圧アク
チュエータの駆動装置の一実施の形態を示す回路図であ
り、この流体圧アクチュエータの駆動装置１は、双方向
回転可能な流体圧ポンプ１０と、流体圧アクチュエータ
２０としての流体圧シリンダ２１のヘッド側とをヘッド
側連結路１１で連結する一方、流体圧ポンプ１０と流体
圧シリンダ２１のロッド側とをロッド側連結路１６で連
結した非圧縮性流体を用いる流体圧回路において、ヘッ
ド側連結路１１と流体圧タンク１５との連通路１２に、
ノーマルオープン型の電磁弁１３を配置する一方、ロッ
ド側連結路１６と流体圧タンク１５との連通路１７に、
ノーマルクローズ型の電磁弁１８を配置し、両電磁弁１
３、１８の開閉動作を、流体圧ポンプ１０を駆動する電
動モータ３０の回転方向に応じて制御するものである。

【００２０】流体圧ポンプ１０は、電動モータ３０が一
方向に回転すると、ポート１０ａから流体を吸い込んで
それをポート１０ｂから吐出し、また、電動モータ３０
が逆方向に回転すると、反対にポート１０ｂから流体を
吸い込んでそれをポート１０ａから吐出するものであ
り、流体の吸い込み／吐出量は、電動モータ３０の回転
速度に応じて変動するようになっている。

【００２１】流体圧アクチュエータ２０は、流体圧ポン
プ１０の作動により、流体が流体圧シリンダ２１のロッ
ド側に流入（ヘッド側から流出）されると、ピストン２
２が上昇することで流体圧アクチュエータ２０も同様に
動作し、また、流体が流体圧シリンダ２１のヘッド側に
流入（ロッド側から流出）されると、ピストン２２が下
降することで流体圧アクチュエータ２０も同様に動作す
るものである。そして、上昇／下降するピストン２２の
位置をピストン位置センサ２５が検出し、その検出値を
ピストン位置コントローラ４０に出力するようになって
いる。

【００２２】電磁弁１３、１８は、流体圧シリンダ２１
のロッド側とヘッド側との面積差によって生じるロッド
側の流入／流出量と、ヘッド側の流入／流出量との違い
に基づいて、ヘッド側の余剰流体を流体圧タンク１５に
流出させ、また、ロッド側の不足流体を流体圧タンク１
５から流入させるものである。そして、これらの電磁弁
１３、１８は、モータ回転方向判別部３５を介して、電
動モータ３０の回転を検出するエンコーダ３１に接続さ
れていて、モータ回転方向判別部３５がエンコーダ３１
の出力信号に基づいて電動モータ３０の回転方向を判別
することで、その回転方向に応じて電磁弁１３、１８へ
の信号を制御するようになっている。

【００２３】ピストン位置コントローラ４０は、ピスト
ン２２（流体圧アクチュエータ２０）の目標位置が設定
される目標位置設定部４１と、目標位置に到達するまで
のピストン２２の速度分配が決められる速度分配部４２
と、目標位置に速度分配を加味してピストン２２の位置
指令を与える位置指令カウンタ４３と、ピストン位置セ
ンサ２５の検出値が入力されるピストン位置カウンタ４
４と、位置指令カウンタ４３の値とピストン位置カウン
タ４４の値との差分から、ピストン２２の速度指令値を
算出するピストン位置ループゲイン部４５と、ピストン
２２の速度指令値とピストン位置カウンタ４４から得ら
れるピストン２２の速度フィードバックとの差分から、
ピストン２２の加速度指令値を算出するピストン速度ル
ープゲイン部４６とを備え、ピストン速度ループゲイン
部４６が、ピストン２２の加速度指令値を電動モータ３
０の速度指令値としてサーボアンプ５０に出力するよう
になっている。

【００２４】サーボアンプは５０、ピストン位置コント
ローラ４０から入力される電動モータ３０の速度指令値
と、エンコーダ３１から入力される電動モータ３０の速
度フィードバックとの差分から、電動モータ３０の加速
度指令値を算出するモータ速度ループゲイン部５１と、
電流制御部５２とを備え、モータ速度ループゲイン部５
１が、電動モータ３０の加速度指令値を電流指令値とし
て電流制御部５２に出力し、電流制御部５２がこれを受
けて、電流指令値で指令された電流を電動モータ３０に
出力し、この出力電流によって電動モータ３０を回転さ
せるようになっている。

【００２５】次に、上記の実施の形態の作用について、
図２、図３を用いて説明する。まず、図２に示すように
ピストン２２（流体圧アクチュエータ２０）を上昇させ
る場合は、ピストン位置コントローラ４０の目標位置設
定部４１に、上昇させる目標位置を設定して、この駆動
装置１を作動させる。

【００２６】すると、ピストン位置コントローラ４０
が、ピストン２２の目標位置と、ピストン位置センサ２
５から入力されるピストン２２の検出位置とに基づい
て、電動モータ３０の速度指令値をサーボアンプ５０に
出力し、サーボアンプ５０は、この電動モータ３０の速
度指令値と、エンコーダ３１から入力される電動モータ
３０の速度フィードバックとに基づいて、電動モータ３
０に必要な電流を供給する。

【００２７】この電流供給に応じて、電動モータ３０が
一方向（正方向）に回転して、流体圧ポンプ１０を図２
に示す吐出方向に作動させる。

【００２８】この流体圧ポンプ１０の作動により、流体
が流体圧シリンダ２１のロッド側に流入されるととも
に、ヘッド側から流出され、それによってピストン２２
が上昇することで、流体圧アクチュエータ２０も同様に
動作する。

【００２９】このとき、モータ回転方向判別部３５は、
電動モータ３０が正方向に回転していることを判別する
ことで、電磁弁１３、１８に切り換え信号を送らず、そ
のため電磁弁１３、１８は、図２に示すようにいずれも
ノーマル状態に保たれる。

【００３０】それにより、流体圧シリンダ２１のロッド
側（流入側）とヘッド側（流出側）との面積差によって
生じる余剰流体（流入量＜流出量）は、ノーマルオープ
ン状態にある電磁弁１３を通って流体圧タンク１５に排
出されることとなる。

【００３１】つぎに、図３に示すようにピストン２２
（流体圧アクチュエータ２０）を下降させる場合は、ピ
ストン位置コントローラ４０の目標位置設定部４１に、
下降させる目標位置を設定して、この駆動装置１を作動
させる。

【００３２】すると、ピストン位置コントローラ４０
が、ピストン２２の目標位置と、ピストン位置センサ２
５から入力されるピストン２２の検出位置とに基づい
て、電動モータ３０の速度指令値をサーボアンプ５０に
出力し、サーボアンプ５０は、この電動モータ３０の速
度指令値と、エンコーダ３１から入力される電動モータ
３０の速度フィードバックとに基づいて、電動モータ３
０に必要な電流を供給する。

【００３３】この電流供給に応じて、電動モータ３０が
逆方向に回転して、流体圧ポンプ１０を図３に示す吐出
方向に作動させる。

【００３４】この流体圧ポンプ１０の作動により、流体
が流体圧シリンダ２１のへッド側に流入されるととも
に、ロッド側から流出され、それによってピストン２２
が下降することで、流体圧アクチュエータ２０も同様に
動作する。

【００３５】このとき、モータ回転方向判別部３５は、
電動モータ３０が逆方向に回転していることを判別する
ことで、電磁弁１３、１８に切り換え信号を送り、その
ため電磁弁１３、１８は、図３に示すようにいずれも反
転状態に切り換わる。

【００３６】それにより、流体圧シリンダ２１のヘッド
側（流入側）とロッド側（流出側）との面積差によって
生じる不足流体（流入量＞流出量）は、反転状態にある
電磁弁１８を通って流体圧タンク１５から吸い込まれる
こととなる。

【００３７】なお、上記の実施の形態では、２個の電磁
弁１３、１８を使用したが、これに限定するものでな
く、例えば、１個の電磁弁で連通路１２、１７を選択的
に切り換えるようにしてもよく、また、例えば、電磁比
例弁を使用し、電動モータ３０の回転速度（回転速度指
令、実回転速度）によって、電磁比例弁の開閉度を無段
階に制御することも可能である。

【００３８】また、上記の実施の形態では、モータ回転
方向判別部３５の具体的構成についての説明は省略した
が、適宜の手段を利用して構成することができるもので
あり、また、モータ回転方向判別部３５が、エンコーダ
３１の出力信号に基づいて電動モータ３０の回転方向を
判別することを例示したが、これに限定するものでな
く、例えば、電動モータ３０の回転検出器の信号（電動
モータ３０の速度フィードバック）、電動モータ３０の
速度指令値、ピストン２２の加速度指令値、ピストン２
２の速度偏差値、ピストン２２の速度指令値、ピストン
２２の位置偏差値、ピストン２２の位置指令値の変化
量、ピストン２２の目標位置の変化量、等によっても、
電動モータ３０の回転方向を直接または間接に判別する
ことが可能である。

【００３９】

【発明の効果】この発明は以上のように、双方向駆動可
能な流体圧ポンプと、流体圧シリンダのヘッド側および
ロッド側とを連結し、ヘッド側連結路およびロッド側連
結路を、弁を介して選択的に流体圧タンクと連通させる
流体圧回路を構成し、流体圧ポンプの回転により流体圧
シリンダのピストンの位置をコントロールするようにな
った流体圧アクチュエータにおいて、前記ヘッド側連結
路から前記流体圧タンクへの余剰流体の流出、および流
体圧タンクから前記ロッド側連結路への不足流体の流入
を制御する前記弁の選択位置を、前記流体圧ポンプを駆
動する電動モータの回転方向に基づいて切り換えるよう
に構成したので、ヘッド側連結路またはロッド側連結路
と流体圧タンクとの選択的連通を、流体圧シリンダ内の
流体圧力差に左右されずに制御することができ、それに
より、流体圧アクチュエータの応答性を向上させるとと
もに、そのふらつきを減少させることができる効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】流体圧アクチュエータの駆動装置の一実施の形
態を示す回路図である。

【図２】図１のものの流体圧アクチュエータ上昇駆動時
の動作を示す回路図である。

【図３】図１のものの流体圧アクチュエータ下降駆動時
の動作を示す回路図である。

【図４】従来のものの流体圧アクチュエータ上昇駆動時
の動作を示す回路図である。

【図５】従来のものの流体圧アクチュエータ下降駆動時
の動作を示す回路図である。

【符号の説明】

１ 流体圧アクチュエータの駆動装置 １０ 流体圧ポンプ １０ａ ポート １０ｂ ポート １１ ヘッド側連結路 １２ 連通路 １３ 電磁弁 １５ 流体圧タンク １６ ロッド側連結路 １７ 連通路 １８ 電磁弁 ２０ 流体圧アクチュエータ ２１ 流体圧シリンダ ２２ ピストン ２５ ピストン位置センサ ３０ 電動モータ ３１ エンコーダ ３５ モータ回転方向判別部 ４０ ピストン位置コントローラ ４１ 目標位置設定部 ４２ 速度分配部 ４３ 位置指令カウンタ ４４ ピストン位置カウンタ ４５ ピストン位置ループゲイン部 ４６ ピストン速度ループゲイン部 ５０ サーボアンプ ５１ モータ速度ループゲイン部 ５２ 電流制御部 ６１ パイロットチェック弁 ６２ チェック弁

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 双方向駆動可能な流体圧ポンプと、流体
   圧シリンダのヘッド側およびロッド側とを連結し、ヘッ
   ド側連結路またはロッド側連結路を、弁を介して選択的
   に流体圧タンクと連通させる流体圧回路を構成し、流体
   圧ポンプの回転により流体圧シリンダのピストンの位置
   をコントロールするようになった流体圧アクチュエータ
   において、 前記流体圧ポンプを駆動する電動モータの回転方向が、
   流体圧ポンプから前記ロッド側連結路に流体を吐出させ
   る方向のとき、電動モータの当該回転方向に基づいて、
   前記ヘッド側連結路と前記流体圧タンクとを連通させる
   位置に前記弁を位置決めする工程と、 前記電動モータの回転方向が、前記流体圧ポンプから前
   記ヘッド側連結路に流体を吐出させる方向のとき、電動
   モータの当該回転方向に基づいて、前記ロッド側連結路
   と前記流体圧タンクとを連通させる位置に前記弁を位置
   決めする工程と、からなることを特徴とする流体圧アク
   チュエータの駆動方法。
2. 【請求項２】 双方向駆動可能な流体圧ポンプと、流体
   圧シリンダのヘッド側およびロッド側とを連結し、ヘッ
   ド側連結路またはロッド側連結路を、弁を介して選択的
   に流体圧タンクと連通させる流体圧回路を構成し、流体
   圧ポンプの回転により流体圧シリンダのピストンの位置
   をコントロールするようになった流体圧アクチュエータ
   において、 前記ヘッド側連結路から前記流体圧タンクへの余剰流体
   の流出、および流体圧タンクから前記ロッド側連結路へ
   の不足流体の流入を制御する前記弁の選択位置を、前記
   流体圧ポンプを駆動する電動モータの回転方向に基づい
   て切り換えるように構成したことを特徴とする流体圧ア
   クチュエータの駆動装置。
3. 【請求項３】 双方向駆動可能な流体圧ポンプと、流体
   圧シリンダのヘッド側およびロッド側とを連結し、ヘッ
   ド側連結路またはロッド側連結路を、弁を介して選択的
   に流体圧タンクと連通させる流体圧回路を構成し、流体
   圧ポンプの回転により流体圧シリンダのピストンの位置
   をコントロールするようになった流体圧アクチュエータ
   において、 前記流体圧ポンプを駆動する電動モータの回転方向が、
   流体圧ポンプから前記ロッド側連結路に流体を吐出させ
   る方向のとき、電動モータの当該回転方向に基づいて、
   前記ヘッド側連結路と前記流体圧タンクとを連通させる
   位置に前記弁を位置決めする手段と、 前記電動モータの回転方向が、前記流体圧ポンプから前
   記ヘッド側連結路に流体を吐出させる方向のとき、電動
   モータの当該回転方向に基づいて、前記ロッド側連結路
   と前記流体圧タンクとを連通させる位置に前記弁を位置
   決めする手段と、を備えていることを特徴とする流体圧
   アクチュエータの駆動装置。
4. 【請求項４】 前記弁が前記ヘッド側連結路と前記流体
   圧タンクとを連通させる位置にあるとき、ヘッド側連結
   路から流体圧タンクへ余剰流体を流出させる一方、前記
   弁が前記ロッド側連結路と前記流体圧タンクとを連通さ
   せる位置にあるとき、流体圧タンクからロッド側連結路
   へ不足流体を流入させることを特徴とする請求項３記載
   の流体圧アクチュエータの駆動装置。
5. 【請求項５】 双方向駆動可能な流体圧ポンプと、流体
   圧シリンダのヘッド側およびロッド側とを連結し、ヘッ
   ド側連結路またはロッド側連結路を、弁を介して選択的
   に流体圧タンクと連通させる流体圧回路を構成し、流体
   圧ポンプの回転により流体圧シリンダのピストンの位置
   をコントロールするようになった流体圧アクチュエータ
   において、 前記流体圧ポンプを駆動する電動モータの回転方向を検
   出する手段と、 検出した回転方向にしたがって前記弁を位置決めする手
   段とを備え、 前記電動モータの回転方向が、前記流体圧ポンプから前
   記ロッド側連結路に流体を吐出させる方向のとき、前記
   弁が前記ヘッド側連結路と流体圧タンクとを連通させ
   て、余剰流体を流体圧タンクに流出させる一方、 前記電動モータの回転方向が、前記流体圧ポンプから前
   記ヘッド側連結路に流体を吐出させる方向のとき、前記
   弁が前記ロッド側連結路と流体圧タンクとを連通させ
   て、不足流体を流体圧タンクから流入させる、ように構
   成したことを特徴とする流体圧アクチュエータの駆動装
   置。
6. 【請求項６】 前記弁は電磁弁であることを特徴とする
   請求項２〜５のいずれかに記載の流体圧アクチュエータ
   の駆動装置。
7. 【請求項７】 前記弁は、前記ヘッド側連結路と前記流
   体圧タンクとの間に配置されるノーマルオープン型の電
   磁弁と、前記ロッド側連結路と流体圧タンクとの間に配
   置されるノーマルクローズ型の電磁弁とから構成される
   ことを特徴とする請求項２〜５のいずれかに記載の流体
   圧アクチュエータの駆動装置。
8. 【請求項８】 前記ピストンの位置を検出する手段と、 ピストンの目標位置と前記検出手段の出力とに基づい
   て、前記電動モータの速度指令値を出力する手段と、 前記出力手段からの電動モータの速度指令値と前記電動
   モータからの速度フィードバックとに基づいて、当該電
   動モータに必要な電流を供給する手段と、を備えている
   ことを特徴とする請求項２、３または５記載の流体圧ア
   クチュエータの駆動装置。
9. 【請求項９】 前記電動モータ速度指令出力手段は、 前記ピストン位置検出手段の出力を受け付けるピストン
   位置カウンタと、 ピストンの目標位置に所定の速度分配を加味する位置指
   令カウンタと、 前記位置指令カウンタの値と前記ピストン位置カウンタ
   の値との差分から、ピストンの速度指令値を算出するピ
   ストン位置ループゲイン部と、 ピストンの前記速度指令値と前記ピストン位置カウンタ
   から得られるピストンの速度フィードバックとの差分か
   ら、ピストンの加速度指令値を算出するピストン速度ル
   ープゲイン部とを備え、 前記ピストン速度ループゲイン部が、ピストンの前記加
   速度指令値を前記電動モータの速度指令値として出力す
   ることを特徴とする請求項８記載の流体圧アクチュエー
   タの駆動装置。
10. 【請求項１０】 前記電流供給手段は、 前記電動モータ速度指令出力手段からの電動モータの速
    度指令値と前記電動モータからの速度フィードバックと
    の差分から、電動モータの加速度指令値を算出するモー
    タ速度ループゲイン部と、 電流制御部とを備え、 前記モータ速度ループゲイン部が、電動モータの前記加
    速度指令値を電流指令値として前記電流制御部に出力
    し、 前記電流制御部が、前記電流指令値で指令された電流を
    前記電動モータに出力することを特徴とする請求項８記
    載の流体圧アクチュエータの駆動装置。