JP2001000829A - 排ガス除害装置及びそれを備えた処理装置 - Google Patents
排ガス除害装置及びそれを備えた処理装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ランニングコストを抑えつつ、効率良く排ガ
スを除害することができる排ガス除害装置及びそれを備
えた処理装置を提供すること。 【解決手段】 排ガスに対して除害処理を行う除害処理
室内に排ガスの供給が開始されると共に、除害処理室内
への排ガス除害用ガスの供給を開始し、除害処理室内へ
の排ガスの供給を停止すると共に、除害処理室内への排
ガス除害用ガスの供給を停止するように、排ガス除害用
ガスの供給タイミングを制御する。このとき、除害処理
室内への排ガスの供給を停止させた時点から所定時間後
に、除害処理室内への排ガス除害用ガスの供給を停止さ
せる。
スを除害することができる排ガス除害装置及びそれを備
えた処理装置を提供すること。 【解決手段】 排ガスに対して除害処理を行う除害処理
室内に排ガスの供給が開始されると共に、除害処理室内
への排ガス除害用ガスの供給を開始し、除害処理室内へ
の排ガスの供給を停止すると共に、除害処理室内への排
ガス除害用ガスの供給を停止するように、排ガス除害用
ガスの供給タイミングを制御する。このとき、除害処理
室内への排ガスの供給を停止させた時点から所定時間後
に、除害処理室内への排ガス除害用ガスの供給を停止さ
せる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は排ガス除害装置に関
し、特に半導体ウエハなどの被処理体に対してエッチン
グ処理などの処理を施す処理装置に備えられた排ガス除
害装置に関する。
し、特に半導体ウエハなどの被処理体に対してエッチン
グ処理などの処理を施す処理装置に備えられた排ガス除
害装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエハなどの被処理体に対してエ
ッチング処理などの処理を施す処理装置においては、Ｃ
Ｏのような処理ガスが排ガスとして発生した場合に排ガ
スを除害する装置が備えられている。この排ガス除害装
置、例えばＣＯ除害装置は、ＣＯガスを酸化させるＣＯ
酸化器と、そのＣＯ酸化器を加熱するヒータとから主に
構成されている。
ッチング処理などの処理を施す処理装置においては、Ｃ
Ｏのような処理ガスが排ガスとして発生した場合に排ガ
スを除害する装置が備えられている。この排ガス除害装
置、例えばＣＯ除害装置は、ＣＯガスを酸化させるＣＯ
酸化器と、そのＣＯ酸化器を加熱するヒータとから主に
構成されている。
【０００３】このような構成を有するＣＯ除害装置で
は、ＣＯガスをＣＯ酸化器に供給し、ＣＯ酸化器をヒー
タで加熱して、ＣＯ酸化器内のＣＯガスをＣＯ２ガスに
酸化し、このＣＯ２ガスを排気する。
は、ＣＯガスをＣＯ酸化器に供給し、ＣＯ酸化器をヒー
タで加熱して、ＣＯ酸化器内のＣＯガスをＣＯ２ガスに
酸化し、このＣＯ２ガスを排気する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のＣＯ除害装置に
おいては、ＣＯガスが処理装置に流れている、流れてい
ないに拘わらず、常にＣＯ酸化器に酸素を約６〜７リッ
トル／分で流している。このように除害するＣＯガスの
供給に関係なく酸素を供給しているので、酸素のランニ
ングコストが高くなるという問題がある。
おいては、ＣＯガスが処理装置に流れている、流れてい
ないに拘わらず、常にＣＯ酸化器に酸素を約６〜７リッ
トル／分で流している。このように除害するＣＯガスの
供給に関係なく酸素を供給しているので、酸素のランニ
ングコストが高くなるという問題がある。
【０００５】本発明はかかる点に鑑みてなされたもので
あり、ランニングコストを抑えつつ、効率良く排ガスを
除害することができる排ガス除害装置及びそれを備えた
処理装置を提供することを目的とする。
あり、ランニングコストを抑えつつ、効率良く排ガスを
除害することができる排ガス除害装置及びそれを備えた
処理装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は以下の手段を講じた。
に、本発明は以下の手段を講じた。
【０００７】本発明は、被処理体に対して処理ガスを用
いて所定の処理を施す処理装置における排ガスを除害す
る装置であって、排ガスに対して除害処理を行う除害処
理室と、前記除害処理室内に排ガスを供給する排ガス供
給手段と、前記除害処理室内に排ガス除害用ガスを供給
する排ガス除害用ガス供給手段と、前記排ガス除害用ガ
スの供給タイミングを制御するタイミング制御手段と、
を具備し、前記除害処理室内への排ガスの供給を開始す
ると共に、前記除害処理室内への前記排ガス除害用ガス
の供給を開始し、前記除害処理室内への排ガスの供給を
停止すると共に、前記除害処理室内への前記排ガス除害
用ガスの供給を停止することを特徴とする排ガス除害装
置を提供する。
いて所定の処理を施す処理装置における排ガスを除害す
る装置であって、排ガスに対して除害処理を行う除害処
理室と、前記除害処理室内に排ガスを供給する排ガス供
給手段と、前記除害処理室内に排ガス除害用ガスを供給
する排ガス除害用ガス供給手段と、前記排ガス除害用ガ
スの供給タイミングを制御するタイミング制御手段と、
を具備し、前記除害処理室内への排ガスの供給を開始す
ると共に、前記除害処理室内への前記排ガス除害用ガス
の供給を開始し、前記除害処理室内への排ガスの供給を
停止すると共に、前記除害処理室内への前記排ガス除害
用ガスの供給を停止することを特徴とする排ガス除害装
置を提供する。
【０００８】この構成によれば、排ガスの供給を開始す
ると共に、排ガス除害用ガスの供給を開始し、排ガスの
供給を停止すると共に、排ガス除害用ガスの供給を停止
するので、排ガス除害用ガスを無駄なく使用することが
できる。したがって、ランニングコストを抑えつつ、効
率良く排ガスを除害することができる。
ると共に、排ガス除害用ガスの供給を開始し、排ガスの
供給を停止すると共に、排ガス除害用ガスの供給を停止
するので、排ガス除害用ガスを無駄なく使用することが
できる。したがって、ランニングコストを抑えつつ、効
率良く排ガスを除害することができる。
【０００９】本発明の排ガス除害装置においては、前記
除害処理室内への排ガスの供給を停止させた時点から所
定時間計測する計測手段を具備することが好ましい。
除害処理室内への排ガスの供給を停止させた時点から所
定時間計測する計測手段を具備することが好ましい。
【００１０】この構成によれば、排ガス除害用ガスの供
給時間を排ガスの供給時間よりも長くすることができる
ので、排ガスが除害処理されずに排気されることを確実
に防止することができる。
給時間を排ガスの供給時間よりも長くすることができる
ので、排ガスが除害処理されずに排気されることを確実
に防止することができる。
【００１１】また、本発明は、被処理体に対して処理ガ
スを用いて所定の処理を施す処理装置であって、被処理
体への処理を行う処理室を備えた装置本体と、前記処理
室内に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、前記処理
ガスの排ガスを除害処理する除害処理部と、を具備し、
前記除害処理部は、排ガスに対して除害処理を行う除害
処理室と、前記除害処理室内に排ガス除害用ガスを供給
する排ガス除害用ガス供給手段と、前記排ガス除害用ガ
スの供給タイミングを制御するタイミング制御手段と、
を具備し、前記処理室から前記除害処理室内に排ガスが
供給されると共に、前記除害処理室内への前記排ガス除
害用ガスの供給を開始し、前記処理室から前記除害処理
室内に排ガスの供給が停止されると共に、前記除害処理
室内への前記排ガス除害用ガスの供給を停止することを
特徴とする処理装置を提供する。
スを用いて所定の処理を施す処理装置であって、被処理
体への処理を行う処理室を備えた装置本体と、前記処理
室内に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、前記処理
ガスの排ガスを除害処理する除害処理部と、を具備し、
前記除害処理部は、排ガスに対して除害処理を行う除害
処理室と、前記除害処理室内に排ガス除害用ガスを供給
する排ガス除害用ガス供給手段と、前記排ガス除害用ガ
スの供給タイミングを制御するタイミング制御手段と、
を具備し、前記処理室から前記除害処理室内に排ガスが
供給されると共に、前記除害処理室内への前記排ガス除
害用ガスの供給を開始し、前記処理室から前記除害処理
室内に排ガスの供給が停止されると共に、前記除害処理
室内への前記排ガス除害用ガスの供給を停止することを
特徴とする処理装置を提供する。
【００１２】この構成によれば、排ガスの除害を確実に
しかも効率良く行うことができ、しかも被処理体への処
理を行うことができる。
しかも効率良く行うことができ、しかも被処理体への処
理を行うことができる。
【００１３】また、本発明は、被処理体に対して処理ガ
スを用いて所定の処理を施す処理装置における排ガスを
除害する方法であって、排ガスに対して除害処理を行う
除害処理室内に排ガスの供給が開始されると共に、前記
除害処理室内への前記排ガス除害用ガスの供給を開始
し、前記除害処理室内への排ガスの供給を停止すると共
に、前記除害処理室内への前記排ガス除害用ガスの供給
を停止するように、前記排ガス除害用ガスの供給タイミ
ングを制御することを特徴とする排ガス除害方法を提供
する。
スを用いて所定の処理を施す処理装置における排ガスを
除害する方法であって、排ガスに対して除害処理を行う
除害処理室内に排ガスの供給が開始されると共に、前記
除害処理室内への前記排ガス除害用ガスの供給を開始
し、前記除害処理室内への排ガスの供給を停止すると共
に、前記除害処理室内への前記排ガス除害用ガスの供給
を停止するように、前記排ガス除害用ガスの供給タイミ
ングを制御することを特徴とする排ガス除害方法を提供
する。
【００１４】この方法によれば、排ガスの供給を開始す
ると共に、排ガス除害用ガスの供給を開始し、排ガスの
供給を停止すると共に、排ガス除害用ガスの供給を停止
するので、排ガス除害用ガスを無駄なく使用することが
できる。したがって、ランニングコストを抑えつつ、効
率良く排ガスを除害することができる。
ると共に、排ガス除害用ガスの供給を開始し、排ガスの
供給を停止すると共に、排ガス除害用ガスの供給を停止
するので、排ガス除害用ガスを無駄なく使用することが
できる。したがって、ランニングコストを抑えつつ、効
率良く排ガスを除害することができる。
【００１５】本発明の排ガス除害方法においては、前記
除害処理室内への排ガスの供給を停止させた時点から所
定時間後に、前記除害処理室内への前記排ガス除害用ガ
スの供給を停止させることが好ましい。
除害処理室内への排ガスの供給を停止させた時点から所
定時間後に、前記除害処理室内への前記排ガス除害用ガ
スの供給を停止させることが好ましい。
【００１６】この方法によれば、排ガス除害用ガスの供
給時間を排ガスの供給時間よりも長くすることができる
ので、排ガスが除害処理されずに排気されることを確実
に防止することができる。
給時間を排ガスの供給時間よりも長くすることができる
ので、排ガスが除害処理されずに排気されることを確実
に防止することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、添付図面を参照して詳細に説明する。
て、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００１８】図１は、本発明の一実施の形態に係る排ガ
ス除害装置を備えた処理装置の概略構成を示す図であ
る。本実施の形態においては、処理装置がエッチング装
置であり、被処理体が半導体ウエハであり、排ガスがＣ
Ｏガスである場合について説明する。
ス除害装置を備えた処理装置の概略構成を示す図であ
る。本実施の形態においては、処理装置がエッチング装
置であり、被処理体が半導体ウエハであり、排ガスがＣ
Ｏガスである場合について説明する。
【００１９】図１に示すエッチング処理装置は、半導体
ウエハに対してエッチング処理を行うエッチング室Ａ１
１を及びエッチング室Ｂ１２を有するエッチング装置本
体１と、エッチング処理に必要なガスをエッチング室１
１，１２に供給するガスボックス２と、排ガス（ＣＯガ
ス）に除害処理を行うＣＯ用除害装置３とから主に構成
されている。
ウエハに対してエッチング処理を行うエッチング室Ａ１
１を及びエッチング室Ｂ１２を有するエッチング装置本
体１と、エッチング処理に必要なガスをエッチング室１
１，１２に供給するガスボックス２と、排ガス（ＣＯガ
ス）に除害処理を行うＣＯ用除害装置３とから主に構成
されている。
【００２０】エッチング装置本体１において、エッチン
グ室１１，１２には、それぞれ排気系１３，１４が接続
されており、エッチング室１１，１２で処理された後の
排ガスを排気するようになっている。
グ室１１，１２には、それぞれ排気系１３，１４が接続
されており、エッチング室１１，１２で処理された後の
排ガスを排気するようになっている。
【００２１】また、エッチング室１１，１２には、それ
ぞれ後述するガスボックス２から処理ガスが供給される
供給系が接続されている。この供給系には、それぞれエ
アオペバルブ（電磁弁）２０及びガスフィルタ１９が接
続されている。
ぞれ後述するガスボックス２から処理ガスが供給される
供給系が接続されている。この供給系には、それぞれエ
アオペバルブ（電磁弁）２０及びガスフィルタ１９が接
続されている。
【００２２】ガスボックス２は、エッチングに必要なガ
スを供給する複数のガス供給ラインを有している。これ
らのガス供給ラインには、それぞれマニュアルバルブ１
７、レギュレータ１８、ガスフィルタ１９、エアオペバ
ルブ２０、及びマスフローコントローラ（ＭＦＣ）２１
が接続されている。これらにより、それぞれの処理ガス
について、ガスの供給・停止やガス流量の制御、ガスの
フィルタリングを行うことができる。
スを供給する複数のガス供給ラインを有している。これ
らのガス供給ラインには、それぞれマニュアルバルブ１
７、レギュレータ１８、ガスフィルタ１９、エアオペバ
ルブ２０、及びマスフローコントローラ（ＭＦＣ）２１
が接続されている。これらにより、それぞれの処理ガス
について、ガスの供給・停止やガス流量の制御、ガスの
フィルタリングを行うことができる。
【００２３】ガスボックス２は、エッチング室１１，１
２にＣＯガスを供給するＣＯガス供給ライン１５，１６
を有している。このＣＯガス供給ライン１５，１６にお
けるエアオペバルブを図１においてそれぞれ２０Ａ，２
０Ｂと示す。なお、このＣＯガスは工場から供給され
る。
２にＣＯガスを供給するＣＯガス供給ライン１５，１６
を有している。このＣＯガス供給ライン１５，１６にお
けるエアオペバルブを図１においてそれぞれ２０Ａ，２
０Ｂと示す。なお、このＣＯガスは工場から供給され
る。
【００２４】ＣＯ用除害装置３は、排ガス中の酸性ガス
を吸着する酸性ガス吸着部２３を有している。エッチン
グ装置本体１からの排ガスはドライポンプ２２を介して
酸性ガス吸着部２３に送られる。
を吸着する酸性ガス吸着部２３を有している。エッチン
グ装置本体１からの排ガスはドライポンプ２２を介して
酸性ガス吸着部２３に送られる。
【００２５】また、ＣＯ用除害装置３には、除害処理室
であるＣＯ酸化器２４が設置されている。このＣＯ酸化
器２４の外側には、ヒータ２５が配設されており、ＣＯ
酸化器２４を所定温度、すなわちＣＯ酸化処理が行われ
るために十分な温度、例えば２００℃前後に加熱してい
る。
であるＣＯ酸化器２４が設置されている。このＣＯ酸化
器２４の外側には、ヒータ２５が配設されており、ＣＯ
酸化器２４を所定温度、すなわちＣＯ酸化処理が行われ
るために十分な温度、例えば２００℃前後に加熱してい
る。
【００２６】ＣＯ酸化器２４には、工場から酸素が供給
されるように酸素供給ラインが接続されている。この酸
素は、フローメータ２６により流量が検出されるように
なっている。また、この酸素供給ラインには、エアオペ
バルブ２０Ｃが接続されている。なお、酸素の代わりに
空気を用いても良い。
されるように酸素供給ラインが接続されている。この酸
素は、フローメータ２６により流量が検出されるように
なっている。また、この酸素供給ラインには、エアオペ
バルブ２０Ｃが接続されている。なお、酸素の代わりに
空気を用いても良い。
【００２７】上記ガスボックス２のエアオペバルブ２０
Ａ，２０Ｂ及びＣＯ用除害装置のエアオペバルブ２０Ｃ
は、制御系により、後述するタイミングにより開閉が制
御される。
Ａ，２０Ｂ及びＣＯ用除害装置のエアオペバルブ２０Ｃ
は、制御系により、後述するタイミングにより開閉が制
御される。
【００２８】次に、上記構成を有する排ガス除害装置の
動作について図２〜図４を用いて説明する。図２は、図
１に示す処理装置の制御系を説明するための概略図であ
る。また、図３，４は、本発明の一実施の形態に係る排
ガス除害装置の酸素供給のタイミングを示すタイミング
図である。
動作について図２〜図４を用いて説明する。図２は、図
１に示す処理装置の制御系を説明するための概略図であ
る。また、図３，４は、本発明の一実施の形態に係る排
ガス除害装置の酸素供給のタイミングを示すタイミング
図である。
【００２９】エッチング処理が施される半導体ウエハが
エッチング装置本体１のエッチング室Ａ１１，Ｂ１２に
搬送され、それぞれのエッチング室１１，１２に、エッ
チング処理に必要な処理ガスが導入される。これによ
り、エッチング室１１，１２においてそれぞれ半導体ウ
エハに対してエッチング処理が施される。
エッチング装置本体１のエッチング室Ａ１１，Ｂ１２に
搬送され、それぞれのエッチング室１１，１２に、エッ
チング処理に必要な処理ガスが導入される。これによ
り、エッチング室１１，１２においてそれぞれ半導体ウ
エハに対してエッチング処理が施される。
【００３０】この処理ガスには、それぞれＣＯガス供給
ライン１５，１６から供給されたＣＯガスが含まれてい
る。また、これらの処理ガスは、レギュレータ１８によ
り流速調整され、ガスフィルタ１９により清浄化され、
ＭＦＣ２１により流量制御される。さらに、マニュアル
バルブ１７及びエアオペバルブ２０により供給・停止が
制御される。
ライン１５，１６から供給されたＣＯガスが含まれてい
る。また、これらの処理ガスは、レギュレータ１８によ
り流速調整され、ガスフィルタ１９により清浄化され、
ＭＦＣ２１により流量制御される。さらに、マニュアル
バルブ１７及びエアオペバルブ２０により供給・停止が
制御される。
【００３１】エッチング室１１，１２で処理された後の
ガスは、エッチング装置本体１からドライポンプ２２に
入り乾燥された後で、ＣＯ用除害装置３に送られ、ま
ず、酸性ガス吸着部２３で酸性ガス分が除去され、その
後にＣＯ酸化器２４に送られる。ＣＯ酸化器２４でＣＯ
ガスは酸素により酸化され、排気ラインで排気される。
ガスは、エッチング装置本体１からドライポンプ２２に
入り乾燥された後で、ＣＯ用除害装置３に送られ、ま
ず、酸性ガス吸着部２３で酸性ガス分が除去され、その
後にＣＯ酸化器２４に送られる。ＣＯ酸化器２４でＣＯ
ガスは酸素により酸化され、排気ラインで排気される。
【００３２】以下、ＣＯガスの供給のシーケンスについ
て説明する。また、酸素供給が停止ている状態から処理
を開始する場合について説明する。
て説明する。また、酸素供給が停止ている状態から処理
を開始する場合について説明する。
【００３３】まず、ガスボックス２内のエアオペバルブ
２０Ａを開く。所定時間経過後に、ガスボックス２内の
エアオペバルブ２０Ｂを開く。このエアオペバルブ２０
Ａ，２０Ｂの開信号をＣＯ用除害装置内のシーケンスコ
ントローラに取り込む。すなわち、図２において、電磁
弁コントローラ３１によりエアオペバルブ２０Ａが開か
れると、リレーＡ３２により回路が接続されてシーケン
スコントローラ３４にエアオペバルブ２０Ａの開信号が
入力される。同様に、電磁弁コントローラ３１によりエ
アオペバルブ２０Ｂが開かれると、リレーＢ３３により
回路が接続されてシーケンスコントローラ３４にエアオ
ペバルブ２０Ｂの開信号が入力される。
２０Ａを開く。所定時間経過後に、ガスボックス２内の
エアオペバルブ２０Ｂを開く。このエアオペバルブ２０
Ａ，２０Ｂの開信号をＣＯ用除害装置内のシーケンスコ
ントローラに取り込む。すなわち、図２において、電磁
弁コントローラ３１によりエアオペバルブ２０Ａが開か
れると、リレーＡ３２により回路が接続されてシーケン
スコントローラ３４にエアオペバルブ２０Ａの開信号が
入力される。同様に、電磁弁コントローラ３１によりエ
アオペバルブ２０Ｂが開かれると、リレーＢ３３により
回路が接続されてシーケンスコントローラ３４にエアオ
ペバルブ２０Ｂの開信号が入力される。
【００３４】次いで、シーケンスコントローラ３４は、
ガスボックス２のエアオペバルブ２０Ａの開信号を受け
て、エアオペバルブ２０Ｃを開いてＣＯ酸化器２４へ酸
素を供給する。ＣＯ酸化器２４はあらかじめ所定温度、
例えば２００℃に加熱されているので、ＣＯ酸化器２４
にＣＯガス及び酸素が供給されると、ＣＯガスが酸素に
より酸化されてＣＯ２ガスになり、除害処理が完了す
る。
ガスボックス２のエアオペバルブ２０Ａの開信号を受け
て、エアオペバルブ２０Ｃを開いてＣＯ酸化器２４へ酸
素を供給する。ＣＯ酸化器２４はあらかじめ所定温度、
例えば２００℃に加熱されているので、ＣＯ酸化器２４
にＣＯガス及び酸素が供給されると、ＣＯガスが酸素に
より酸化されてＣＯ２ガスになり、除害処理が完了す
る。
【００３５】ＣＯガスの供給が停止したときに、酸素の
供給を停止する。具体的には、ＣＯガスの供給が停止し
た後、所定時間経過後に、酸素の供給を停止する。これ
により、酸素の供給時間をＣＯガスの供給時間よりも長
くすることができるので、ＣＯガスが除害処理されずに
排気されることを確実に防止することができる。
供給を停止する。具体的には、ＣＯガスの供給が停止し
た後、所定時間経過後に、酸素の供給を停止する。これ
により、酸素の供給時間をＣＯガスの供給時間よりも長
くすることができるので、ＣＯガスが除害処理されずに
排気されることを確実に防止することができる。
【００３６】酸素の供給を停止する場合、除害装置に計
測手段として備えられたタイマーを設定する。タイマー
時間は、エッチング装置内のＣＯガスがドライポンプ２
２の吸気配管から除害装置のＣＯ酸化器２４を通過する
までの時間以上とする。ここでは、約６０分とする。
測手段として備えられたタイマーを設定する。タイマー
時間は、エッチング装置内のＣＯガスがドライポンプ２
２の吸気配管から除害装置のＣＯ酸化器２４を通過する
までの時間以上とする。ここでは、約６０分とする。
【００３７】シーケンスコントローラ３４のタイマー
は、ガスボックス２のエアオペバルブ２０Ａ，２０Ｂの
開信号が切れたタイミングで計測を開始する。そして、
エッチング室１１，１２において最後のウエハ処理の終
了まで、除害装置の酸素供給用のエアオペバルブ２０Ｃ
は開いたままとする。エッチング室１１，１２において
最後のウエハを処理した後、ガスボックス２内のエアオ
ペバルブ２０Ａ，２０Ｂを閉じる。その後、シーケンス
コントローラ３４のタイマーの計測を開始する。タイマ
ーの設定時間（６０分）終了までの間は酸素供給用のエ
アオペバルブ２０Ｃは開いたままとする。
は、ガスボックス２のエアオペバルブ２０Ａ，２０Ｂの
開信号が切れたタイミングで計測を開始する。そして、
エッチング室１１，１２において最後のウエハ処理の終
了まで、除害装置の酸素供給用のエアオペバルブ２０Ｃ
は開いたままとする。エッチング室１１，１２において
最後のウエハを処理した後、ガスボックス２内のエアオ
ペバルブ２０Ａ，２０Ｂを閉じる。その後、シーケンス
コントローラ３４のタイマーの計測を開始する。タイマ
ーの設定時間（６０分）終了までの間は酸素供給用のエ
アオペバルブ２０Ｃは開いたままとする。
【００３８】但し、再度エアオペバルブ２０Ａ又は２０
Ｂの開信号が入るとカウントがリセットされる。すなわ
ち、図３に示すように、タイマーの計測中でタイマー設
定時間が終了する前にエアオペバルブ２０Ａが開いて開
信号がシーケンスコントローラ３４に入力されると、タ
イマーは停止し、酸素供給用のエアオペバルブ２０Ｃは
開いたままとなる。
Ｂの開信号が入るとカウントがリセットされる。すなわ
ち、図３に示すように、タイマーの計測中でタイマー設
定時間が終了する前にエアオペバルブ２０Ａが開いて開
信号がシーケンスコントローラ３４に入力されると、タ
イマーは停止し、酸素供給用のエアオペバルブ２０Ｃは
開いたままとなる。
【００３９】図４に示すように、タイマーの計測中にエ
アオペバルブ２０Ａ又は２０Ｂの開信号がシーケンスコ
ントローラ３４に入力されなければ、酸素供給用のエア
オペバルブ２０Ｃを閉じる。
アオペバルブ２０Ａ又は２０Ｂの開信号がシーケンスコ
ントローラ３４に入力されなければ、酸素供給用のエア
オペバルブ２０Ｃを閉じる。
【００４０】このように、上記ＣＯ除害装置によれば、
ＣＯガスの供給を開始すると共に、酸素の供給を開始
し、ＣＯの供給を停止すると共に、酸素の供給を停止す
るので、酸素を無駄なく使用することができる。したが
って、エッチング装置の稼動状況に応じて、ＣＯ酸化に
必要な空気や酸素のみを供給することができる。その結
果、ランニングコストを抑えつつ、効率良くＣＯガスを
除害することができる。
ＣＯガスの供給を開始すると共に、酸素の供給を開始
し、ＣＯの供給を停止すると共に、酸素の供給を停止す
るので、酸素を無駄なく使用することができる。したが
って、エッチング装置の稼動状況に応じて、ＣＯ酸化に
必要な空気や酸素のみを供給することができる。その結
果、ランニングコストを抑えつつ、効率良くＣＯガスを
除害することができる。
【００４１】上記処理装置においては、ＣＯ用除害装置
のフローメータ２６の代わりにＭＦＣ（マスフローコン
トローラ／流量調整器）などを用い、エッチング装置側
での処理条件（例えばＣＯ流量など）に応じて酸素の供
給量を可変としても良い。これにより、ＣＯガスを酸化
するために必要最小限の酸素のみを消費するようにでき
る。
のフローメータ２６の代わりにＭＦＣ（マスフローコン
トローラ／流量調整器）などを用い、エッチング装置側
での処理条件（例えばＣＯ流量など）に応じて酸素の供
給量を可変としても良い。これにより、ＣＯガスを酸化
するために必要最小限の酸素のみを消費するようにでき
る。
【００４２】また、上記処理装置においては、エッチン
グ装置側で常にＣＯガスを使用する加工条件の場合に
は、ＣＯガス供給ラインのバルブ信号ではなく、エッチ
ング装置自体のＲＵＮ信号を用いて上記と同様に酸素供
給を制御することもできる。
グ装置側で常にＣＯガスを使用する加工条件の場合に
は、ＣＯガス供給ラインのバルブ信号ではなく、エッチ
ング装置自体のＲＵＮ信号を用いて上記と同様に酸素供
給を制御することもできる。
【００４３】本発明は、上記実施の形態に限定されず、
種々変更して実施することが可能である。例えば、上記
実施の形態においては、処理装置がエッチング装置であ
り、被処理体が半導体ウエハであり、排ガスがＣＯガス
である場合について説明しているが、本発明では、処理
装置が他の処理装置であっても良く、被処理体が他の被
処理体であっても良く、排ガスがＣＯガス以外のガスで
あっても良い。
種々変更して実施することが可能である。例えば、上記
実施の形態においては、処理装置がエッチング装置であ
り、被処理体が半導体ウエハであり、排ガスがＣＯガス
である場合について説明しているが、本発明では、処理
装置が他の処理装置であっても良く、被処理体が他の被
処理体であっても良く、排ガスがＣＯガス以外のガスで
あっても良い。
【００４４】
【発明の効果】以上説明したように本発明の排ガス除害
装置は、排ガスの供給を開始すると共に、排ガス除害用
ガスの供給を開始し、排ガスの供給を停止すると共に、
排ガス除害用ガスの供給を停止するので、排ガス除害用
ガスを無駄なく使用することができる。したがって、ラ
ンニングコストを抑えつつ、効率良く排ガスを除害する
ことができる。
装置は、排ガスの供給を開始すると共に、排ガス除害用
ガスの供給を開始し、排ガスの供給を停止すると共に、
排ガス除害用ガスの供給を停止するので、排ガス除害用
ガスを無駄なく使用することができる。したがって、ラ
ンニングコストを抑えつつ、効率良く排ガスを除害する
ことができる。
【００４５】この排ガス除害装置において、除害処理室
内への排ガスの供給を停止させた時点から所定時間後
に、除害処理室内への排ガス除害用ガスの供給を停止さ
せることにより、排ガス除害用ガスの供給時間を排ガス
の供給時間よりも長くすることができるので、排ガスが
除害処理されずに排気されることを確実に防止すること
ができる。
内への排ガスの供給を停止させた時点から所定時間後
に、除害処理室内への排ガス除害用ガスの供給を停止さ
せることにより、排ガス除害用ガスの供給時間を排ガス
の供給時間よりも長くすることができるので、排ガスが
除害処理されずに排気されることを確実に防止すること
ができる。
【００４６】また、本発明の処理装置は、排ガスの除害
を確実にしかも効率良く行うことができ、しかも被処理
体への処理を行うことができる。
を確実にしかも効率良く行うことができ、しかも被処理
体への処理を行うことができる。
【図１】本発明の一実施の形態に係る排ガス除害装置を
備えた処理装置の概略構成を示す図である。
備えた処理装置の概略構成を示す図である。
【図２】図１に示す処理装置の制御系を説明するための
概略図である。
概略図である。
【図３】本発明の一実施の形態に係る排ガス除害装置の
酸素供給のタイミングを示すタイミング図である。
酸素供給のタイミングを示すタイミング図である。
【図４】本発明の一実施の形態に係る排ガス除害装置の
酸素供給のタイミングを示すタイミング図である。
酸素供給のタイミングを示すタイミング図である。
１…エッチング装置本体、２…ガスボックス、３…ＣＯ
用除害装置、１１…エッチング室Ａ、１２…エッチング
室Ｂ、１３，１４…排気系、１５…ＣＯ供給ラインＡ、
１６…ＣＯ供給ラインＢ、１７…マニュアルバルブ、１
８…レギュレータ、１９…ガスフィルタ、２０，２０
Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ…エアオペバルブ、２１…ＭＦＣ、
２２…ドライポンプ、２３…酸性ガス吸着部、２４…Ｃ
Ｏ酸化器、２５…ヒータ、２６…フローメータ、３１…
電磁弁コントローラ、３２…リレーＡ、３３…リレー
Ｂ、３４…除害装置シーケンスコントローラ。
用除害装置、１１…エッチング室Ａ、１２…エッチング
室Ｂ、１３，１４…排気系、１５…ＣＯ供給ラインＡ、
１６…ＣＯ供給ラインＢ、１７…マニュアルバルブ、１
８…レギュレータ、１９…ガスフィルタ、２０，２０
Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ…エアオペバルブ、２１…ＭＦＣ、
２２…ドライポンプ、２３…酸性ガス吸着部、２４…Ｃ
Ｏ酸化器、２５…ヒータ、２６…フローメータ、３１…
電磁弁コントローラ、３２…リレーＡ、３３…リレー
Ｂ、３４…除害装置シーケンスコントローラ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 4D002 AA08 AB01 AC10 BA04 BA05 BA12 CA13 CA20 DA70 EA02 GA01 GA02 GA03 GB01 GB02 GB03 GB05 GB11
Claims (5)
- 【請求項１】 被処理体に対して処理ガスを用いて所定
の処理を施す処理装置における排ガスを除害する装置で
あって、 排ガスに対して除害処理を行う除害処理室と、 前記除害処理室内に排ガスを供給する排ガス供給手段
と、 前記除害処理室内に排ガス除害用ガスを供給する排ガス
除害用ガス供給手段と、 前記排ガス除害用ガスの供給タイミングを制御するタイ
ミング制御手段と、を具備し、 前記除害処理室内への排ガスの供給を開始すると共に、
前記除害処理室内への前記排ガス除害用ガスの供給を開
始し、前記除害処理室内への排ガスの供給を停止すると
共に、前記除害処理室内への前記排ガス除害用ガスの供
給を停止することを特徴とする排ガス除害装置。 - 【請求項２】 前記除害処理室内への排ガスの供給を停
止させた時点から所定時間計測する計測手段を具備する
ことを特徴とする請求項１記載の排ガス除害装置。 - 【請求項３】 被処理体に対して処理ガスを用いて所定
の処理を施す処理装置であって、 被処理体への処理を行う処理室を備えた装置本体と、 前記処理室内に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、 前記処理ガスの排ガスを除害処理する除害処理部と、を
具備し、前記除害処理部は、 排ガスに対して除害処理を行う除害処理室と、 前記除害処理室内に排ガス除害用ガスを供給する排ガス
除害用ガス供給手段と、 前記排ガス除害用ガスの供給タイミングを制御するタイ
ミング制御手段と、を具備し、 前記処理室から前記除害処理室内に排ガスが供給される
と共に、前記除害処理室内への前記排ガス除害用ガスの
供給を開始し、前記処理室から前記除害処理室内に排ガ
スの供給が停止されると共に、前記除害処理室内への前
記排ガス除害用ガスの供給を停止することを特徴とする
処理装置。 - 【請求項４】 被処理体に対して処理ガスを用いて所定
の処理を施す処理装置における排ガスを除害する方法で
あって、 排ガスに対して除害処理を行う除害処理室内に排ガスの
供給が開始されると共に、前記除害処理室内への前記排
ガス除害用ガスの供給を開始し、前記除害処理室内への
排ガスの供給を停止すると共に、前記除害処理室内への
前記排ガス除害用ガスの供給を停止するように、前記排
ガス除害用ガスの供給タイミングを制御することを特徴
とする排ガス除害方法。 - 【請求項５】 前記除害処理室内への排ガスの供給を停
止させた時点から所定時間後に、前記除害処理室内への
前記排ガス除害用ガスの供給を停止させることを特徴と
する請求項４記載の排ガス除害方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11175537A JP2001000829A (ja) | 1999-06-22 | 1999-06-22 | 排ガス除害装置及びそれを備えた処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11175537A JP2001000829A (ja) | 1999-06-22 | 1999-06-22 | 排ガス除害装置及びそれを備えた処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001000829A true JP2001000829A (ja) | 2001-01-09 |
Family
ID=15997819
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11175537A Withdrawn JP2001000829A (ja) | 1999-06-22 | 1999-06-22 | 排ガス除害装置及びそれを備えた処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001000829A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008272596A (ja) * | 2007-03-14 | 2008-11-13 | Kobelco Eco-Solutions Co Ltd | 有機ハロゲン化合物を含む廃棄物の加熱処理方法及び加熱処理装置 |
| JP2009082892A (ja) * | 2007-10-03 | 2009-04-23 | Kanken Techno Co Ltd | 排ガス処理装置の温度制御方法及び該方法を用いた排ガス処理装置と排ガス処理システム |
-
1999
- 1999-06-22 JP JP11175537A patent/JP2001000829A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008272596A (ja) * | 2007-03-14 | 2008-11-13 | Kobelco Eco-Solutions Co Ltd | 有機ハロゲン化合物を含む廃棄物の加熱処理方法及び加熱処理装置 |
| JP2009082892A (ja) * | 2007-10-03 | 2009-04-23 | Kanken Techno Co Ltd | 排ガス処理装置の温度制御方法及び該方法を用いた排ガス処理装置と排ガス処理システム |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040427 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050712 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20050825 |