JP2000506261A - 圧力センサ - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1.特に非常に高い圧力を測定するために用いられ、 望ましくは測定子(1、21、31、51、61)の外部から圧力が加えられる構成であり 、 前記測定子は、中央キャビティ(3、23、33、63)を備え、かつこの中央キャ ビティを形成するために封止連結される二つの部品(1A-B、21A-B、31A-B、61A- B)からなり、 この測定子に圧力を加えたときにこの測定子の機械的応力状態を検出するセン サ手段(11-14)を備えた 圧力センサにおいて、 前記測定子の前記二つの部分(1A-B、21A-B、31A-B、61A-B)はプレーナ技術 、望ましくはシリコンまたは水晶のプレーナ技術により製造され、 横方向の寸法に比べて長さ方向に充分に長く、 前記キャビティ(3、23、33、63)はこの長さ方向に向いて配置され、 前記センサ手段(11-14)は前記測定子の外面(5)または内面に隣接して配置 された圧電抵抗素子により構成された ことを特徴とする圧力センサ。 2.前記測定子(1)の長さは少なくとも横方向の寸法の十倍である請求項1記載 の圧力センサ。 3.前記測定子の外側断面形状は方形、六角形または八角形であり、二つの長さ 方向の面に対して対称形である請求項1または2記載の圧力センサ。 4.前記キャビティ(3)の断面形状は二つの対向する角が前記測定子を構成する 前記二つの部分(1A-B)の接合面(8)に配置されたダイヤモンド型である請求 項1ないし3のいずれか記載の圧力センサ。 5.前記二つの部分(1A-B、21A-B、31A-B、61A-B)は少なくとも断面形状 について同等である請求項1ないし4のいずれか記載の圧力センサ。 6.前記二つの部分(21A-B)はその厚さが異なり、前記キャビティ(23)は前記 二つの部分の一方(21A)の他方に向き合う面に設けられた凹部により形成せれ た請求項1ないし4のいずれか記載の圧力センサ。 7.前記二つの部分が陽極接合により連結された請求項1ないし6のいずれか記載 の圧力センサ。 8.前記二つの部分は融着により連結された請求項1ないし6のいずれか記載の圧 力センサ。 9.前記キャビティ(3、23、33、63)には参照圧力が加えられるように構成され た請求項1ないし8のいずれか記載の圧力センサ。 10.前記測定子(1)が保持部材(18)内の望ましくは円形の孔(19)に取り付 けられ、 前記測定子(1)には、前記孔(19)内に配置される取付部(7)に隣接して、 高圧側に、一部(2A-B)が前記孔(19)の周囲の外側に放射状に配置された外側 断面形状をもつ支持部(2)が設けられた 請求項1ないし9のいずれか記載の圧力センサ。 11.前記取付部の断面形状は、前記測定子(1)の多角形外側断面形状からその 多角形とは異なる形状で放射状に突出し、望ましくは前記取付部(7)に対して 傾斜した角(2A-B)を含む請求項10記載の圧力センサ。 12.前記圧電抵抗素子(11-14)とその配線(15)とが前記測定子(1)の構造と 一体に形成された請求項1ないし11のいずれか記載の圧力センサ。 13.前記圧電抵抗素子(11-14)とその配線(15)とが前記測定子(1)の面(5 )に埋め込まれた請求項1ないし12のいずれか記載の圧力センサ。 14.前記圧電抵抗素子(11-14)、望ましくは多数の4素子(49)が電気的ブリッ ジ回路に配置された請求項1ないし13のいずれか記載の圧力センサ。 15.前記キャビティは、平坦な断面をもつ測定子(61)に、互いに隣接して配置 された多数の別々のチャネル(63)を含む請求項1ないし14のいずれか記載の圧 力センサ。 16.前記測定子(61)の大きな面(65)は中空の取付部材(68)に連結され、こ の取付部材(68)は外側の一部が高圧にさられ、この取付部材(68)の内部(69 が低圧側に配置され、前記センサ手段への配線が前記取付部材(68)の内側から 外に向けて設けられた請求項15記載の圧力センサ。 17.特に非常に高い圧力を測定するために用いられ、 外部から高圧力および比較的大きな力が加えられる構成の測定子(1)を備え た 測定装置において、前記測定子は、プレーナ技術、望ましくはシリコンまたは 水晶のプレーナ技術により製造され、かつ筐体すなわち保持部材(18)内の貫通 孔(19)内に取り付けられ、 前記測定子(1)には、前記貫通孔(19)内の取付部(7)に隣接して、高圧側 に、前記貫通孔(19)内に配置される取付部(7)に隣接して、高圧側に、一部 が前記貫通孔(19)の周囲の外側に放射状に配置された外側断面形状をもつ支持 部(2)が設けられた ことを特徴とする測定装置。 18.前記取付部の断面形状は、前記測定子(1)の多角形外側断面形状からその 多角形とは異なる形状で放射状に突出し、望ましくは前記取付部(7)に対して 傾斜した角(2A-D)を含む請求項17記載の測定装置。
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