KR100433969B1

KR100433969B1 - 압력센서

Info

Publication number: KR100433969B1
Application number: KR10-1998-0706684A
Authority: KR
Inventors: 프로데 메링달; 브죄른 에릭 제베르그
Original assignee: 니포텍크 에이/에스
Priority date: 1996-02-27
Filing date: 1997-02-20
Publication date: 2004-07-16
Also published as: WO1997032190A1; DE69725020T2; NO304328B1; AU2106497A; US6145383A; EP1012554A1; NO960779D0; DE69725020D1; NO960779L; EP1012554B1; ATE250214T1; DK1012554T3; KR19990087282A; JP2000506261A

Abstract

본 발명의 특히 고압용 압력 센서는 양호하게는 측정 요소(1) 상에 외부에서 작용하도록 되어 있고, 상기 측정 요소는 중심 공동(3)을 갖고 있으며 공동을 형성하기 위해 밀봉 결합된 두 부분(1A, 1B)을 포함하고, 압력이 적용될 때 측정 요소의 기계적 응력 상태를 측정하기 위한 센서 수단(11, 12, 13, 14)을 포함한다. 측정 요소의 두 부분(1A, 1B)은 양호하게는 실리시움 또는 석영의 편평 기술로 제조되고 측면 치수보다는 사실상 큰 길이를 갖고 공동은 종방향으로 향해진다. 센서 수단(11, 12, 13, 14)은 측정 요소의 외면(5) 또는 내면에 인접해서 놓여 있는 압전 저항 요소의 형태이다.

Description

압력 센서{PRESSURE SENSOR}

원리상 압력 센서는 스프링 요소(측정 요소)와 측정 또는 센서 장치를 포함한다. 실리시움(silicium) 기술에 기초한 일반적인 상용 압력 센서는 스프링 요소로서 막(membrane)을 사용할 수 있으며, 센서 장치로서 압전 저항성(piezo-resistive) 저항기가 구비된다. 막과 같은 스프링 요소는 동일하지 않은 탄성 계수를 갖는 재료로의 변이를 갖는 기판에서 클램핑(clamping)과 관련한 효과에 민감하기 때문에 고압에서 바람직하지 않다. 이러한 막에서 탐지되는 응력은 압축 및 인장 응력의 조합이다. 인장 응력이 충분히 높게 되면, 파손이 발생할 수 있다. 변형이 크면 막에서의 응력은 압력의 선형 함수가 되지 않게 되고, 이는 비선형 신호를 발생시킨다.

상술한 바와 같은 고압용 압력 센서는 일반적으로 공지되어 있는 것이며, 노르웨이 특허 출원 제94.0785호에서 찾을 수도 있다. 노르웨이 특허 출원제94.0785호에 따르는 압력 센서는 변형의 커패시티 판독(capacitive reading)에 의한 보우르동(Bourdong) 효과에 기초한다. 공지된 압력 센서는 관상 측정 요소 상에 놓여있지만, 내부 공동(들)은 요소의 굽힘을 얻기 위해 항상 편심식으로 배열된다. 이러한 굽힘이 발생될 때 전단 응력(shear stress)이 결합부에서 발생할 수 있으며, 이것은 다시 내부의 파손으로 이어진다. 커패시티 판독의 단점은 아주 높은 압력의 경우 아주 작은 외경을 갖는 것이 바람직하게 되고, 이것은 극히 작은 커패시턴스(capacitance)가 되게 한다는 것이다. 이러한 것들을 검출하는 것은 아주 어렵다. 커패시티 판독의 다른 단점은 측정 요소가 직접적으로 처리 매체에 반응하지 않는다는데 있다. 이것은 커패시티(capacity)가 유전 상수에 민감하고 커패시터(capacitor) 간극으로 들어올 수 있는 입자 형태의 오염에 아주 민감하기 때문이다.

1966년 태피어 간행자 트론드하임(Tapier publisher Trondheim) 발행 오을 에이. 솔하임의 "인스트루먼테링스테크니크(Instrumenteringstecknikk)"의 제118쪽에는 여기서 사용된 측정 원리가 설명되어 있다. 이 책에 따르는 측정 원리는 관상의 측정 요소 상에 스트레인 게이지(strain guage)의 부착을 포함한다. 요소의 표면 상에서 방사 방향으로의 응력은 항상 축방향 응력보다 2배 높게 된다. 이들 두 방향에서의 응력의 차이는 압력에 비례한다. 관상 요소의 외부에 최고의 압력이 가해지게 되면, 파손을 발생시키는 인장 응력은 억제된다. 공지된 측정 원리는 유럽 특허 출원 제0.107.549에 따른 보다 현대적인 설계에서 부분적으로 사용된다. 그러나 이 유럽 특허 출원에 따른 설계는 외부 또는 내부 압력이 작용될 때 축방향응력과 방사상 응력 사이의 차이를 이용하지 않고, 변형 변화에만 기초한다. 센서 장치는 음향 표면파와 작동하는데, 이것은 완전한 압력 센서는 임의의 하한값 이상의 전체 치수를 가져야만 한다는 것을 의미한다.

특허 문헌으로부터의 다른 그리고 어느 정도는 미약한 예가 프랑스 특허 제2.531.533호에서 개시되고 있다.

본 발명은 양호하게는 측정 요소 상에 외부에서 작용하도록 구성된 특히 고압용 압력 센서에 관한 것이고, 상기 측정 요소는 중심 공동을 갖고 상기 공동을 형성하도록 밀봉 결합된 두 부분을 포함하고, 압력을 받을 때 측정 요소의 기계적 응력 상태를 측정하기 위한 센서 수단을 포함한다.

도1은 홀더에 장착된 본 발명에 따른 측정 요소의 제1 실시예의 사시도이다.

도2a는 도1의 측정 요소의 주요부의 확대 단면도이다.

도2b는 상술한 홀더에 인접한 도1의 측정 요소의 접촉부의 확대 단면도이다.

도3은 도2a 및 도2b의 단면에 대응하는 도면으로서, 측정 요소, 즉 공동의 다른 단면도이다.

도4는 다른 단면 형상, 즉 직사각형 형상의 단면도이다.

도5는 본 발명에 따른 측정 요소가 합체된 측정 장치의 단순화된 단면도이다.

도6은 도5의 장치를 (좌측) 단부에서 본 도면이다.

도7은 공동이 개별 채널로 분할된 본 발명에 따른 측정 요소의 특별 실시예의 입면도이다.

도8은 도7의 측정 요소를 위에서 본 도면이다.

도9는 도7의 선 IX-IX를 따르는 측정 요소의 단면도이며, 원 "A"는 원 부분의 확대도이다.

공지된 기술을 기초로 해서, 서두에서 설명한 바와 같은 압력 센서에서 우선 측정 요소의 두 부분은 양호하게는 실리시움 또는 석영(quartz)의 편평 기술로 제조되며, 측면 치수보다는 사실상 큰 길이를 갖고, 공동은 종방향으로 향해지며, 센서 장치는 측정 요소의 외면 또는 내면에 인접해서 놓여 있는 압전 저항 요소(piezo-resistive element)의 형태이다.

측정 요소의 하나 또는 두 부분에는 두 부분이 결합될 때 상술한 공동이 형성되도록 주요 면들 중 하나로부터 긴 모양의 리세스 또는 채널이 구비되며, 일반적으로 공동은 관형일 수 있다. 양호하게는 본 발명에 따른 측정 요소는 크기에 있어 측면보다 적어도 열 배의 길이를 갖는다. 일반적으로 내외부에서의 압력차가 측정될 수 있도록 배열된 직선형의 설계가 선호된다. 측정 요소의 형상이, 압력을 받을 때 굽힘을 방지하는 작용을 하고(보우르동 효과), 인장 응력뿐만 아니라 결합면에서의 전단 응력이 최소화되는 점에서 유리하다. 후술하는 바로부터 알 수 있듯이, 이것은 측정 요소의 단면의 중앙으로 위치된 공동을 가짐으로써 주로 얻어진다. 공동은 압력차의 측정을 위한 기준 압력에 사용될 수 있도록 제조되거나, 절대 압력을 측정하기 위해 양호하게는 진공인 한정된 기준 압력으로 밀폐된다. 측정 요소의 외면은, 처리 매체 또는 공지된 방식으로 절연막에 의해 처리 매체로부터 분리되는 공지되거나 또는 선택된 매체에 직접적으로 반응함으로써 측정될 압력에 반응하도록 설계된다.

초소형 기계적 제조 기술, 즉 편평 기술의 사용에 기초한 발명에 의해서, 특히 초고압 측정에 사용될 때 특히 유리한 본 발명에 따른 아주 작은 크기의 측정 요소를 제공할 수 있다. 또한, 실제 측정 장치에서 실제 측정 요소의 소정의 장착, 합체 또는 패키징의 관점에서 긴 모양의 설계는 아주 유리하다.

주변 하우징 또는 유지 부재(또는 홀더)에 결합된 지지 또는 장착 수단을 갖는 신규하고 특별한 측정 장치를 제공하는 것은 본 발명의 독립적인 태양이다.

후술하는 본 발명은 도면 상에서 예로서 설명된 다양한 실시예를 참조로 해서 보다 상세하게 설명하기로 한다.

도1에 도시된 예에서 긴 모양의 측정 요소(1)는 두 부분(1A, 1B)으로 이루어진다. 이것들은 동일하며 두 단부벽(3A, 3B) 사이에서 내부 공동을 함께 형성한다. 따라서, 공동(3)은 본 도면에서 8각형 단면으로 도시된 측정 요소(1)의 주요 부분의 단부까지 계속 이어지지 않는다.

측정 요소의 표면(5)에는 다수의 도선(15)을 통해서 외부 전자 장치 또는 측정 회로에 접속되는 센서 수단(11, 12, 13, 14)이 구비된다. 센서 수단(11, 12, 13, 14)은 공지되어 있고 양호하게는 브리지 회로에 배열된 압전 저항 요소의 형태이다. 센서는 주변 매체와 내부 공동(3) 사이의 변화하는 압력차를 받게 될 때 측정 요소의 변형 또는 기계적 응력 상태의 변화에 민감하게 반응한다.

전체 측정 요소가 장착되는 유지 부재(18)와 상호 작용하기 위해서, 내단부에서 측정 요소의 8각형 주요 부분(1)은 직사각형 외단면 형상을 갖는 접촉부(2)와 연속적이다. 따라서 유지 부재(18)는 양호하게는 원형인 관통 구멍(19)을 가지며,측정 요소의 장착부(7)를 수납하도록 되어 있고, 장착부(7)는 유리하게는 주요 부분(1)과 동일한 외부 단면 형상을 갖는다. 접촉부(2)는 유지 부재(18)에 대한 측정 요소의 고정 결합을 위해 제공되며, 이것은 특히 측정 요소가 아주 놓은 압력을 받을 때 중요하게 된다. 이러한 압력은 측정 요소(1)를 구멍(19)의 축방향으로 가압하도록 하지만, 돌출 코너(2A, 2B, 2C, 2D)(도2A 참조)는 이러한 압력 적용 하에서 측정 요소의 변위를 효과적으로 억제한다. 구멍(19)을 통해서 장착부(7)는 8각형 단면과 원형 구멍 사이의 공간을 충전시키는 적절한 접착제에 의해 부가적으로 고정될 수 있다.

도2A는 평면(8)에서 결합된 두 부분(1A, 1B)을 포함하는 측정 요소의 단면 형상을 보다 상세하게 도시하고 있다. 도2A에서, 홀더(18)에 대해 접촉 또는 결합하는 작용을 하는 네 개의 코너(2A, 2B, 2C, 2D)가 도시되어 있다.

도2B의 정사각형 외부 단면 형상은 접촉부(2)의 단면에 대응하지만, 절대 압력 측정이 이루어질 때, 내부 공동(3)은 접촉부(2) 내에 실제로 존재하지 않고, 즉 도1에서와 같이 단부 벽(3A, 3B) 사이의 밀폐된 공동(3)을 갖는다. 따라서, 도2B는 유효 길이를 갖는 다른 주요 형상을 도시하고 있는 것으로, 여기에서 공동(3)은 도2A 및 도1과 동일한 단면 형상을 가질 수 있다. 따라서, 본 발명에 따라서 두 부분(1A, 1B) 사이의 결합면(8)에 위치된 두 코너를 갖는 다이아몬드 형상의 단면을 갖는 공동(3)으로 설계하는 것이 좋다.

도3은 측정 요소(31)의 외부 단면 형상이 도2A와 동일하지만, 즉 8각형이지만, 내부 공동(33)이 6각 단면 프로파일(profile)을 갖는 변형예를 도시하고 있다.다이아몬드 형상을 갖는 공동(3)과의 유사성에서 이것은 편평 기술에서, 특히 에칭에 의한 제조에 적합하다. 직사각형 및 8각형 외부 단면 형상과 더불어, 본 발명에 따른 측정 요소는 6각 단면과 같은 다른 변형예의 다각형 단면 형상으로 제조될 수 있다.

상술한 바와 같은 편평 기술에 기초해서, 측정 요소의 두 부분은 애노드 접합(anodic bonding) 또는 소위 용융 접합(fusion bonding)에 의해서 유리하게 접합될 수 있다. 도1, 도2A, 및 도2B에서 예로서 설명된 측정 요소의 단면이 결합면(8)(이외에도 이에 수직한 중심면에 대해서도)에 대해 대칭인 반면, 도4의 직사각형 단면은 동일한 단면을 갖는 두 부분(21A, 21B)으로 이루어진다. 부분(21A)은 보다 두꺼우며 소정의 공동을 형성하는 리세스(23)가 구비된 유일한 곳이다. 결합면은 (28)로 도시되고 있으며, 부분(21B)은 부분(21A)과 함께 측정 요소(21)의 전체 단면을 형성하는 적절한 판형으로 된 부분이다. 그러나 이 실시예에서, 공동은 측정 요소(21)의 전체 단면 내에서 중심에 대칭으로 위치된다.

도5 및 도6은 본 발명에 따른 측정 요소와 결합하는 보다 완전한 측정 장치의 실제 예를 도시하고 있다. 도5에서 도시된 바와 같은 하우징 또는 홀더는 세 개의 주요 부분, 즉 중심 보어(41A)를 갖는 슬리브 부분(41)과, 양호하게는 외부 나사가 구비될 수 있는 내부 부분(42)과, 외부가 너트 헤드로서 설계된 중간 부분(43)을 포함한다. 측정 요소(51)의 유효한 주요 부분이 보어(41A)로 돌출하도록 장착되기 때문에, 슬리브 부분(41)은 압력이 측정되는 영역으로 삽입되도록 되어 있다. 다른 측면에서, 측정 요소(51)에 의해 측정된 보다 높은 압력이 있다고가정할 때, 내부 부분(42)은 저압측에 위치되도록 된다. 중간 부분(43)은 도1의 유지 부재(18)에 대응하는 유지 부재(48)를 가지며, 구멍(49)은 도1의 부분(2)에 대응하는 측정 요소의 접촉부를 수납하기 위해 보다 넓은 부분(49A)을 갖는 것으로 여겨질 수 있다. 측정 요소(51)에 포함된 장착 부분(57)은 내부의 전자 부품 또는 저압측 외부에 위치된 전기 회로에 대한 전기 접속을 위해서 관통 구멍(49)을 통과해서 부분(42)의 내부로 더욱 들어가게 된다.

마지막으로 도7, 도8 및 도9는 본 발명에 따른 특별한 실시예를 도시하고 있으며, 측정 요소는 특히 도9에서 도시된 바와 같이 강하게 편평화된 단면 형상을 갖는다. 편평 기술로 제조된 두 부분(61A, 61B)은 상술한 측정 요소(61)가 일반적으로 판상을 갖도록 접합된다. 내부 공동은 여러 개의 개별 채널로 분할되며, 그 중 네 개의 채널(63)은 도9의 "A"에서 도시된다. 측정 요소(61) 내에서 여러 개의 평행한 그리고 종방향의 공동 또는 채널의 배열은 어떤 관점에서 유리할 수 있다. 측정 요소가 압력을 받을 때 발생하는 응력 탐지로서의 효과는 예컨대 도7에 도시된 표면(65)과 같은 주요 면 상에서 또는 인접한 압전 저항 요소 형태의 센서 장치에 의해 양호하게 탐지될 수 있다. 전기 도선을 구비한 센서 장치는 도7 내지 도9에서는 특별하게 도시되고 있지는 않지만, 도1의 표면(5)에 도시된 방식과 상당히 대응하게 배열될 수 있다.

도7에는 고압측과 저압측 사이의 경계(60)와, 예컨대 애노드 접합된 측정 요소의 주요 면(65)에 제공된 장착 부재(68)가 개략적으로 도시되어 있다. 장착 부재(68)는 측정 요소(61) 상의 센서 수단(도시 안됨)으로부터 나오는 전기 도선을운반하기 위해 도면부호 69로 도시된 바와 같이 중공형이다. 따라서 장착 부재(68)의 중공 내부(69)는 저압측과 연통하도록 되어서, 센서 장치로부터의 요구되는 전기적 접속의 관점에서 다른 것들 사이에서, 저압측과 고압측 사이에는 실질적이고 유리한 전이가 발생된다. 도1의 경우와 같이, 압전 저항 요소는 유리하게는 측정 요소 구조물, 즉 특히 표면(65)에 인접한 부분(61B)내로 합체된다. 도선과 압전 저항 요소는 특히 측정 요소에 관련된 표면 내부에, 즉 도7의 표면(65)과 도1의 표면(5)에 묻히도록 배열된다.

장착 부재(68)가 실질 구성인 도7 및 도8에서 도시된 바와 같은 측정 요소(61)의 장착 또는 "패키징" 형태는 어떤 경우에는 유리하며, 이것은 완전한 측정 장치에서 사실상 중요하다. 이 실시예에서의 장착 방법은 측정 요소(61)의 강하게 편평화된, 판상 형상과 밀접하게 관련된다.

상술한 바와 같이 도1의 보다 "일반적인" 측정 요소의 장착 또는 패키징은 도7 및 도8에서의 패키징 방법과는 다르다. 이외에도 도1(및 도5)에 따른 패키징 방법이 여기에서 설명된 것과는 다른 설계 및 다른 목적의 측정 요소를 위한 경우에도 중요한 것일 수 있다. 그러나, 이러한 모든 변형예에서, 측정 요소는 상술한 바와 같이 통상 요소의 측면 치수보다 열 배의 크기를 갖는 길이를 갖는 긴 모양이다. 이러한 긴 형상은 본질적으로 제작 경제적 관점에서 보다 짧은 요소를 사용하는 것이 유리할 수 있지만 이러한 특별한 패키징 방법에 대해서 아주 실질적이다. 제조 및 실제 장착에서 본 실시예에 설명된 접촉부(2)는 아주 중요하다. 이와 관련해서 돌출 코너(2A, 2B, 2C, 2D)(도2A)에서의 접촉면이 측정 요소의 축에 수직한면으로 직접 방사상이 아닌 경사지게 연장될 수 있다는 것은 중요하다.

이러한 측정 요소의 장착, 패키징 및 포장과 관련해서, 측정 요소가 관련된 압력 매체에 직접 노출될 수 있도록 표면 상에 보호성 필름, 예컨대 Si₃N₄, 폴리아미드-플라스틱 재료가 적용될 수 있는 것은 명백하다.

특히 얻어지는 소정의 효율 및 경제적 제조 과정과 관련해서, 많은 다른 변경과 개조가 본 발명의 틀 내에서 가능하다. 예컨대, 본질적으로 측정 요소의 두 부분의 각각은 조립된 구조이며, 여기에 다른 형태의 재료의 층이 포함될 수 있다. 또한, 순수한 강도 상의 이유로 해서 원형의 내부 공동이 이상적인 형상일 수 있지만, 제조와 관련해서 이러한 형상이 유리하지 않다는 것은 명백하다. 또한, 센서 장치가 측정 요소의 한 면 이상, 예컨대 서로 대향하도록 대면하는 두 개의 면에 제공될 수 있는 개조도 가능하다.

Claims

측정 요소(1, 21, 31, 51, 61) 상에 외부에서 작용하도록 구성된 고압용 압력 센서이며, 상기 측정 요소는 중심 공동(3, 23, 33, 63)을 갖고 상기 공동을 형성하도록 밀봉 결합된 두 부분(1A, 1B; 21A, 21B; 31A, 31B; 61A, 61B)을 포함하고, 압력을 받을 때 측정 요소의 기계적 응력 상태를 측정하기 위한 센서 수단(11, 12, 13, 14)을 포함하는 고압용 압력 센서이며,

측정 요소의 두 부분(1A, 1B; 21A, 21B; 31A, 31B; 61A, 61B)은 편평 기술로 제조되며 측면 치수보다는 큰 길이를 갖고, 상기 공동(3, 23, 33, 63)은 종방향으로 향해지고, 상기 측정 요소의 단면 형상은 두 개의 종방향 면에 대해 대칭이고, 상기 센서 수단(11, 12, 13, 14)은 측정 요소의 외면(5) 또는 내면에 인접해서 놓여 있는 압전 저항 요소의 형태인 것을 특징으로 하는 압력 센서.
제1항에 있어서, 상기 측정 요소(1)의 길이는 측면 치수보다 열 배 이상의 크기로 된 것을 특징으로 하는 압력 센서.
제1항 또는 제2항에 있어서, 측정 요소의 외부 단면 형상은 직사각형, 6각형 및 8각형 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 압력 센서.
제1항 또는 제2항에 있어서, 공동(3)의 단면은 측정 요소를 형성하는 두 부분(1A, 1B) 사이의 결합면(8)에 위치된 두 개의 대향하는 코너를 구비한 다이아몬드 형상인 것을 특징으로 하는 압력 센서.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 두 부분(1A, 1B; 21A, 21B; 31A, 31B; 61A, 61B)은 단면 형상에 관한 한 동일한 것을 특징으로 하는 압력 센서.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 두 부분(21A, 21B)은 다른 두께를 갖고, 상기 공동(23)은 두 부분 중의 다른 부분과 대면하는 면으로부터 두 부분 중 한 부분(21A)의 리세스에 의해 형성된 것을 특징으로 하는 압력 센서.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 두 부분은 애노드 접합에 의해 결합된 것을 특징으로 하는 압력 센서.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 두 부분은 용융 접합에 의해 결합된 것을 특징으로 하는 압력 센서.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 공동(3, 23, 33, 63)은 기준 압력을 수용하도록 구성된 것을 특징으로 하는 압력 센서.
측정 요소(1)가 홀더(18)의 원형 구멍(19)에 장착된 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 따른 압력 센서이며,

고압측의 구멍(19)의 장착부(7)에 인접한 측정 요소(1)에는 그 외부 단면 형상의 임의의 위치(2A, 2B)에서 구멍(19)의 외주연의 방사상 외면에 위치된 접촉부(2)가 구비된 것을 특징으로 하는 압력 센서.
제10항에 있어서, 장착부의 외부 단면 형상은 장착부(7)를 포함하는 측정 요소(1)의 다른 다각형 외부 단면 형상에 대한 관계에서 방사상으로 돌출한 코너(2A, 2B)를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 센서.
제10항 또는 제11항에 있어서, 상기 압전 저항 요소(11, 12, 13, 14)로의 도선(15)이 측정 요소의 구조물과 합체된 것을 특징으로 하는 압력 센서.
제1항, 제2항, 제10항 및 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 압전 저항 요소(11, 12, 13, 14)와 도선(15)이 측정 요소(1)의 표면(5) 내부에 매설되어 있는 것을 특징으로 하는 압력 센서.
제1항, 제2항, 제10항 및 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 네 개의 요소의 압전 저항 요소(11, 12, 13, 14)가 전기 브리지 회로에 배열된 것을 특징으로 하는 압력 센서.
제1항, 제2항, 제10항 및 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 공동은 편평한 단면을 갖는 측정 요소(61)에 나란히 배열된 다수의 개별 채널(63)을 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 센서.
제15항에 있어서, 상기 측정 요소(61)의 주요 면(65)은 외부에서 부분적으로 고압을 받도록 된 중공 장착 부재(68)에 결합되고, 장착 부재(68)의 내부(69)는 저압측에 위치되도록 되고, 상기 센서 수단을 위한 도선은 장착 부재(68)의 내부에서 외향으로 연장된 것을 특징으로 하는 압력 센서.
외부에서 고압과 이에 의해 비교적 큰 힘을 받도록 된 측정 요소(1)를 포함하는 매우 높은 압력을 측정하기 위한 측정 장치이며,

상기 측정 요소는 편평 기술로 제조되며 하우징 또는 유지 부재(18) 내의 관통 구멍(19)에 장착되고, 고압측의 상기 구멍(19)의 장착부(7)에 인접한 측정 요소(1)에는 그 외부 단면 형상의 임의의 위치에서 구멍(19)의 외주연의 방사상 외면에 위치된 접촉부(2)가 구비된 것을 특징으로 하는 측정 장치.
제17항에 있어서, 상기 접촉부의 외부 단면 형상은 장착부(7)를 포함하는 측정 요소(1)의 다른 다각형 외부 단면 형상에 대한 관계에서 방사상으로 돌출한 코너(2A, 2B, 2C, 2D)를 포함하는 것을 특징으로 하는 측정 장치.