JP2000501242A

JP2000501242A - 熱加工用機器及び方法

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Publication number: JP2000501242A
Application number: JP9520565A
Authority: JP
Inventors: コウブル，テリー・エイ，ジユニア; デイツプ，アンソニー; エングダール，エリツク・エイチ; オリバー，イアン・アール; ラトライフ，クリストフアー・テイ
Original assignee: シリコン・バレー・グループ・インコーポレーテツド
Priority date: 1995-11-28
Filing date: 1996-11-22
Publication date: 2000-02-02
Also published as: WO1997020341A1; DE69628761D1; EP0864170A4; AU1058497A; DE69628761T2; EP0864170B1; ATE243364T1; TW333674B; US5618351A; EP0864170A1; KR100419812B1

Abstract

(57)【要約】熱処理用ボート（２６、３４）は、中心軸（３６）及び、軸に沿って隙間を空けて配置された複数のバンドスロット（３８、３９）を有するシリンダーを含んでなる。スロットの高さは約３．８から１２．７ｍｍである。各バンドは、等式：高さハ゛ント゛＝円柱の高さ−Σバンドスロットの高さ／バンド数［式中、高さハ゛ント゛常に≧ウェファーの厚さ；円柱の高さはシリンダーの全体の高さ、ｍｍであり；バンドスロットの高さはスロットの高さ、ｍｍであり；バンド数は処理ボート中のバンドの総数である］に従う高さ、高さハ゛ント゛、ｍｍをもつ。各バンドは好ましくは、その中にウェファー（４６、１００）を保持するためのウェファー保持装置（４４、７０、７２、７４、７６）を含む。この装置により、ヒーターにより提供された熱は、ウェファーに、熱ストレスからの機械的損傷を誘起させずに、毎分５０℃から毎分１００℃の速度で２１℃から１１００℃までウェファーの温度を上昇させることができる。

Description

【発明の詳細な説明】熱加工用機器及び方法技術分野本発明は半導体及びガラスウェファー基板（substarate）等の熱処理のための、改良された熱加工用機器及び方法に関する。技術的背景熱処理装置は、半導体又はガラス基板を基礎にした電子装置の製造において、拡散層を形成するため、又は酸化もしくは窒化ケイ素のフィルムを形成するために使用されてきた。これらの基板は具体的には、ケイ素又はその他の半導体材料から製造された薄いウェファーであり、以下の装置の説明はウェファー基板に関して提供され、その機器はいずれの薄いガラス又は半導体シートを処理するためにも同様に適していることが理解され、そしてこれらの材料すべての処理が本発明の範囲内にあると考えられる。これらの装置は、加熱室内に不活性又は反応性ガスを導入しながら、反応容器又は加熱室内でウェファーを加熱することにより、所望の加熱処理をもたらす。これらの加熱室は、絶縁されたシェル内に密閉された加熱要素に囲まれている。１回の加熱処理操作において多数のウェファーを処理するために、ウェファーボート中に、一段毎に相互に平行な配向でウェファーを保持することが慣例である。この組み合わせ物を以後ウェファースタックと称する。熱処理用機器及び方法は、例えばスリップ又はそりを引き起こすことによるようにウェファーを損傷することなく、熱処理を実施しなければならない。従って、基板の幅にわたる著しい温度差は避けなければならない。一方、加熱過程は、所望の処理を達成するためには必要で最短なものでなければならない。加熱炉又は反応容器への、そしてそこからのウェファーの移動温度は５００から６００℃である。加熱サイクルは、移動温度においてウェファースタックを加熱室内に配置し、そして外界ガスを適当な保護ガスで置換後に開始される。ウェファースタック中の通常のウェファーの間隔は大体、ウェファー毎に４ｍｍである。加熱室を囲む加熱要素が放射する熱は、主としてウェファーの外側先端に衝突する。加熱及び冷却速度の増加は、ウェファーの外側先端と中心との間の温度差の増加をもたらし、加熱及び冷却速度の過剰な増加は、熱の歪みをもたらし、ウェファーに、そり、石英の欠陥及びスリップをもたらす。このような構成（co nfiguration）の最大加熱速度は１０〜１２℃／分に制限され、最大冷却速度は約５℃／分である。これは各熱処理サイクルの時間を長くし、各熱処理装置の製造能力又は処理量を著しく制約する。ニシムラ等に対する日本特許公開公報、特開平４−１８４９２３号公報（１９９２年７月１日）は、加熱時間を減少させることを目的をした熱処理用機器に付き記載している。該機器において、ウェファーは、ウェファーの周辺において最大になるように漸増する熱容量をもつ、円形のジグ中に保持されている。該ジグはその周辺の周りにウェファーを保持する輪形トレイを含んでなり、そのトレイの熱容量の大きさ（thickness）は一定か又は、内側から外側に向かって増加している。トレイは、その中で比熱が内側よりも外側でより大きい、数種の材料から形成することができる。ニシムラ等のシステムは、加熱室中の構成部品の熱容量を著しく増加させ、加熱相に対して、より大きい熱エネルギーの提供、及びそのサイクルの冷却相期間には、より大きい熱除去を必要とする。加熱及び冷却相の両者の最小時間はこれらの高い熱容量構成部品により増加される。発明の詳細５０から１００℃／分の加熱速度及び５０℃／分までの冷却速度をもつ、早急な加熱及び冷却熱処理用機器及び方法を提供することが本発明の目的である。処理されるウェファーのスタックの幅及び表面にわたる温度差を著しく減少させ、それにより処理されるウェファーに対する熱ストレスによる損傷を著しく減少もしくは排除させる、熱処理用機器及び方法を提供することが、本発明のもう１つの目的である。要約すると、本発明の熱処理用ボートは、中心軸並びに、前記の中心軸に垂直な面中に、相対する上側の面及び下側の面をもち、中心軸に沿って前以て決められた位置に隙間を空けて配置されている、１種類以上のスロット（バンドスロット）の複数の組み合わせをもつシリンダーを含んでなる。各セットの少なくとも１本のバンドが、前記のシリンダーの全周の少なくとも約５０％すなわち１８０゜から全周未満の周りに伸長している。隣接するバンドスロットがそれらの間に輪形バンドを区画している。各スロットの高さは約３．８から１２．７ｍｍである。各バンドは、等式：［式中、高さバンドは常に³ウェファーの厚さであり；円柱の高さはシリンダーの全体の高さ、ｍｍであり；バンドスロットの高さはスロットの高さ、ｍｍであり；そしてバンド数は、処理ボート中のバンドの総数である］に従う、高さ、高さバンド、ｍｍをもつ。各面中に複数のスロットが存在できる。１つの態様において、シリンダーは、シリンダーの長さに沿って伸びる中心軸の面中に、それを通る実行器スロットを含み、該ウェファー装填用もしくは実行器用スロットは好ましくは５から２０ｍｍの幅をもつ。バンド数は、高さバンドが少なくともウェファーの厚さ以上である場合は、約１２から約１００にすることができる。各バンドは好ましくは、その中に、その上方末端面と、前記のその下方末端面との間の、実質的に中間の位置に、ウェファーを保持するためのウェファー保持装置を含む。ウェファー保持装置は好ましくは、好ましくは同じ面上の上方先端面をもつ、少なくとも３個の、内側に伸長する突起物を含む。該突起物は好ましくは、内側に伸長しているストリップであり、各ストリップの上方先端面は、シリンダーの軸に垂直な面中に、各々のバンドを通過する切り込みにより形成される。該ストリップは、バンドに接合されてそれと一体のストリップの両端をもつ、単一の切り込みにより形成された、好ましい内側に押し込まれたたストリップにすることができる。代替的には、該ストリップは多角形のタブにすることができ、各タブは、シリンダー壁を通って伸長する、複数の、タブを区画する、連続する切り込みにより形成される。連続する切り込みの各セットは、前記の中心軸に大体平行な、ヒンジ線から伸長することができる。一番上の切り込みは前記の中心軸に垂直な面中にあり、タブはヒンジ線の回りで内側に曲げられて、内側に伸長する突起物を形成する。各バンドは内側面を有し、各バンドとウェファー保持装置は、それに合わせてサイズが決められている、ウェファーにより占められる容量に応じた、ウェファー占領区域を区画しており、ウェファー占領区域の外側先端と、各々のバンドの内側面との間の半径方向の隙間は約１．５から６．３ｍｍの範囲内にある。好ましくは、バンド数はウェファーのサイズに対して選択される。ウェファー占領区域の外径が約１５０ｍｍである場合は、バンド数は約２５から１００にすることができる。ウェファー占領区域の外径が約２００ｍｍの場合は、バンド数は約２５から７５にすることができる。ウェファー占領区域の外径が約３００ｍｍの場合は、バンド数は約１２から４８にすることができる。熱シールドは金属、石英、セラミック、黒鉛又は複合材料のような材料から選択される。石英、ポリシリコン、炭化ケイ素、アルミナ又はシリカのようなものから製造された構成部品が好ましい。サンドブラストの、不透明な及び透明な熔融石英のような、異なった透明度をもつ石英形態を使用することができる。熱シールド材は、最大熱処理温度におけるディメンション及び構造の安定性、処理される材料の汚染を防ぐための純度及び不活性さ、並びにウェファーボートを囲む熱源により放射される赤外線輻射熱の一部からウェファーの表面を遮蔽するための不透明性、をもたねばならない。要約すると、本発明の方法は、共通の垂直軸をもち、輻射熱を放射しているヒーターにより囲まれた加熱区域内に、相互に平行な向きに配置された多数のウェファーを加熱処理する。該方法は、各ウェファーの外側先端とヒーターとの間に設置された輪形熱バンドにより、ヒーターにより放射された輻射熱から、各ウェファーの外側部分を絶縁することを含んでなる。各輪形熱バンドは、中心軸並びに、前記の中心軸に垂直な面中に相対する上側の面及び下側の面をもち、中心軸に沿って前以て決められた位置に隙間を空けて配置された１個以上のスロット（バンドスロット）の複数のセットをもつシリンダー中に形成された、複数の熱バンドの１つである。各セット中の少なくとも１個のバンドスロットは、前記のシリンダーの全周の、大体少なくとも５０％すなわち１８０゜から全周未満の周りを伸びている。隣接するバンドスロットはそれらの間に輪形バンドを区画している。各スロットの高さは約３．８から１２．７ｍｍである。各バンドは、等式：［式中、高さバンドは常に³ウェファーの厚さであり；円柱の高さはシリンダーの全体の高さ、ｍｍであり；バンドスロットの高さはスロットの高さ、ｍｍであり；そしてバンド数は処理ボート中のバンドの総数である］に従う、高さのｍｍ、高さバンドをもつ。好ましい方法においては、各ウェファーの先端と、それが遮蔽されているバンドとの間の距離は１．５から６．３ｍｍである。最適な方法においては、ヒーターにより提供される熱は、ウェファー中に誘導されたストレスによる機械的な損傷をもたらさずに、５０℃／分から１００℃／分の速度で２１℃から１１００℃までウェファーの温度を上昇させるのに十分である。本発明の単位ウェファー実行器は、ロボットアームへの取り付けのための近位末端上の起動装置、装填及び取り外しのためにウェファーを保持するための遠位末端上のウェファー保持装置、並びに作動機とウェファー保持装置を連接するアーム、を有する。アームは２枚の、隙間を空けて置いた板を含んでなる。ウェファー保持装置は、ウェファー接触のための持ち上げられた領域及びそれを通る通路を含む。持ち上げられた領域及び通路は、ウェファー保持装置から、起動装置、ウェファー取り付け真空及び光ファイバー視覚設備への熱の伝達を減少させるための装置を含んでなる。図の簡単な説明図１は、ウェファースタックを加熱区域に配置した、本発明の代表的な熱処理用機器の断面略図である。図２は、ウェファースタック保持体を部分的に降下させた位置に置いた、図１に示した熱処理用機器の断面略図である。図３は、本発明の単位ウェファーボートの一部の等角図である。図４はウェファーを装填したウェファー保持タブを示す、図３のウェファーボートの側面の断面図である。図５は、その中のタブの切り込みを示す、輪形バンドの断片部分である。図６は、タブをウェファー保持位置の方向へ内側に曲げた後の、図５の輪形バンドの断片部分である。図７は、図４のウェファーボートの断片断面図である。図８は、ウェファー装填実行器用スロットを示す、図３のウェファーボートの正面図である。図９は、実行器装填スロットと、ウェファー保持タブとの相対的配置を示す、図３のウェファーボートの上面図である。図１０は、ウェファー装填実行器と組み合わせた、図３のウェファーボートの等角図である。図１１は、ウェファー装填実行器の側面を示す、図１０のウェファーボートの側面図である。図１２は、ウェファー装填実行器の等角図である。図１３は、図１２のウェファー装填実行器の上面図である。図１４は、線Ａ−Ａに沿って採られた、図１３のウェファー装填実行器の断面図である。図１５は、装置のウェファー保持体末端から見た、図１２のウェファー装填実行器の端面図である。図１６は、図１２のウェファー装填実行器の側面図である。図１７は、作動機末端から見たウェファー装填実行器の端面図である。図１８は、ウェファーを装填から外す前に、ウェファーボートに近付いている、ウェファーを装填された実行器の側面図である。図１９は、ウェファーを配置する前の、ウェファーボート内の位置にある、ウェファーを装填された実行器の側面図である。図２０はウェファーをウェファーボート中に配置後に、引き抜かれている実行器の側面図である。発明の実施のための方法本発明の機器は、主として電子産業のための半導体装置の製造における、薄いウェファー又はガラス基板の熱処理のために使用される。この機器は、ウェファーが、共通の垂直な中心軸及び、平行な、隙間を空けた配置を有する位置に保持された、ウェファー又は基板を加工する。ウェファーを、ウェファーボート又は同様なラック中に配置して、ウェファーに対する熱ストレスの損傷を与えないで、著しく減少したサイクルの加工時間を提供する。図１は、ウェファースタックを加熱区域内に置いた、本発明の代表的熱処理用機器の断面略図であり、図２は、ウェファースタック保持体を一部低下させた位置にある、熱処理用機器の断面略図である。この機器は、軸に沿って移動可能な基礎支持台４の付いた、外側を絶縁されたハウジング又はケーシング２をもつ、反応器又は反応炉である。反応器のケーシングの内面は、室内に均一な恒温を提供するために分配された、抵抗性（resistance）加熱要素６又は同様な熱源で裏内されている。支持台４は、熱処理前に炉内にウェファーボートを装填し、処理サイクルが終結後に、そこからそれを取り出すために、米国特許第５，３２０，６８０号明細書中に記載のような、通常のシステムにより昇降される。反応器を通るガスフローは石英のシリンダー又は管１２及び１４により部分的に調節される。外側シリンダー１２と、内側シリンダー１４との間の隙間１７は、それを通って上昇するガスを通して、それらの温度を所望の処理温度以上に上昇させる前加熱区域である。処理室の上端は中央ディスク１６を含む。湾曲した管のフランジ１８はディスク１６の周辺から外側管１２の上端に伸びている。管フランジ１８の内側面２０は好ましくは、それにより誘導されるガスの層流パターンを維持し、真空負荷下における頭部ディスク１６の支持を強化するために、例えば円環体の断面の形態に湾曲されている。アセンブリの下端はガス流入用道管２４を有する。反応加熱室は内側シリンダー１４により区画されている。ペデスタル２８上に支持されているウェファーボート２６は、処理サイクル中、加熱室内に配置され、内側シリンダー１４は、ウェファーボートを通過するガスフローの通路を区画している。管アセンブリの下方部はガス排出用道管３２を有する。ペデスタル２８は室の下部を通る熱喪失を減少させるための加熱要素（図示されていない）を含むことができる。図３は、本発明の単位ウェファーボートの一部の等角図であり、図４はウェファーを装填したウェファー保持タブを示す、図３のウェファーボートの側面の断面図である。ウェファーボート３４は中心軸３６及び、前記の中心軸に垂直で、それに沿って隙間を空けて配置された、複数のスロット面３８及び３９をもつシリンダーを含んでなる。少なくとも１個のスロットは前記のシリンダーの全周の少なくとも５０％すなわち１８０゜から全周未満の周りに伸びている。隣接面のスロットはそれらの間に輪形のバンド４０を区画する。それを通ってスロットが伸びていない垂直な部分は支持円柱４２として働く。輪形のバンド４０は、正確で平行な配向でウェファー４６（図４）を保持する、一体のウェファー保持タブ４４を有する。ウェファー実行器用スロット４８は、スロット３９の大体中央部において、軸３６と概括的に平行な方向に、シリンダーの壁を通って伸びている（図８も参照願いたい）。図５は、その中のタブの切り込みを示す、輪形バンド５０の断片部分であり、図６は、タブ５２がウェファー保持位置の方向へ内側に曲げられた後の、図５の輪形バンドの断片部分である。ウェファー保持装置は好ましくは、少なくとも３個の内側に伸びるタブ突起物を含む。内側に伸びる突起物は同一平面の上端面５４を有する、多角形のタブにすることができる。各タブは、複数の、シリンダー壁５０を通過して伸びるタブを区画し、連結した切り込み５６及び５８を作成することにより形成することができ、連結した切り込みの各セットは、中心軸３６に大体平行なヒンジ線６０から伸びている（図４）。上端の切り込み５６は、前記の中心軸３６に垂直な面内にあり、タブ５２はヒンジ線６０の回りに内側に曲げられて、内側に伸びる突起物４４を形成する（図３）。視覚的には各タブは長方形である。図７は、ボートの相対的なディメンションのパラメーターを示す、図４のウェファーボートの断片断面図である。断熱バンドの高さ及び、隣接断熱物の先端の間の距離は、本発明の、本質的に重要な特徴である。それらは、熱源に直接曝露されることから遮蔽されるウェファー表面のサイズ及び位置、並びに、ウェファーに至近の熱源から遮蔽される更なる領域を確定させる。このように、それらは、ウェファーの内部領域から外側の先端及び中心に向かう、ウェファー内の熱伝導パターンを確立する。この加熱パターンにより、ウェファーの中心と外側先端との間の温度差を、早急な加熱期間中ですら著しく減少させ、ウェファーに対する破損的熱損傷を排除するために必要な、サイクル時間を著しく減少させることが見いだされた。ウェファーの上側の面の間の距離（ウェファー間距離又はピッチ）「ａ」は、ウェファー保持タブ４４の上側の面５４間の距離により測定される距離である。断熱バンドの高さ「ｂ」は、スロット３８同士の間の距離により決定され、ウェファーボートの高さ、各ボート中のバンド数及びスロットの高さにより制約される。相対する断熱バンド４０の間の距離、すなわち、シリンダーの中心軸に平行な方向の、スロット３８の高さは、「ｃ」により表される。ウェファー４６の先端６２と、断熱バンド４０の内側面との隙間は「ｄ」により表される。ウェファー４６は好ましくは、それぞれの断熱バンドの中心に配置され、従って、ウェファーの中心面とバンドの上側の面６６との間の距離「ｅ」、及び、バンド６８の下側面と、ウェファーの中心面との間の距離「ｆ」は好ましくは、大体同じである。各バンドのスロット３８の高さ「ｃ」は約３．８から１２．７ｍｍである。各バンドは、等式：［式中、高さバンドは常に³ウェファーの厚さであり；円柱の高さはシリンダーの全体の高さ、ｍｍであり；バンドスロットの高さはスロットの高さ、ｍｍであり；そしてバンド数は処理ボート中のバンドの総数である］に従う、ｍｍの高さ「ｂ」又は高さバンドを有する。各バンドは内側面を有し、各バンドとウェファー保持装置は、それに合わせてそのサイズを決められている、ウェファーが占める容量に対応する、ウェファー占領区域を区画し、ウェファー占領区域の外側先端と、それぞれのバンドの内側面との間の半径方向の隙間「ｄ」は、約１．５から６．３の範囲内にある。好ましくは、バンド数はウェファーサイズに対して選択される。バンド数は、高さバンドが少なくともウェファーの厚さ以上である場合は、約１２から約１００にすることができる。ウェファー占領区域の外径が約１５０ｍｍの時は、バンド数は最適には約２５から１００である。ウェファー占領区域の外径が約２００ｍｍである場合は、バンド数は最適には約２５から７５である。ウェファー占領区域の外径が約３００ｍｍである場合は、バンド数は最適には、約１２から４８である。最適には、各バンドの高さと、隣接バンド間のバンドの距離は実質的に同じである。これらの限界パラメーターの値は以下の表１、２、３、４、５及び６に示されている。熱シールドは、金属、石英、セラミック、黒鉛又は複合材料のような材料から選択される。石英、ポリシリコン、炭化ケイ素、アルミナ又はシリカからできた構成部品が好ましい。サンドブラスト、不透明及び透明の熔融石英のような、異なった不透明度をもつ石英の形態を使用することができる。断熱材は、最大熱処理温度においてディメンション及び構造的安定性、処理される材料の汚染を防ぐための純度及び不活性さ、並びにウェファーボートを囲む熱源により放射される赤外線輻射熱の一部からウェファー表面を遮蔽する不透明性、をもたなければならない。本発明の方法は、輻射熱を放射するヒーターにより囲まれた加熱区域内に、相互に平行な向きに配置された多数のウェファーを熱処理する。その方法は、前記のウェファーボートアセンブリを使用して、ヒーターにより放射される輻射熱から各ウェファーの外側部分を遮蔽することを含んでなる。最適な方法においては、ヒーターによりもたらされる熱は、ウェファー中に誘導された熱ストレスによる機械的な損傷を引き起こさないで、５０℃／分から１００℃／分の速度で２１℃から１１００℃までウェファーの温度を上昇させるのに十分である。図８はウェファー装填実行器用スロットを示す、図３のウェファーボートの正面図である。シリンダーの中心軸に平行な方向のシリンダーの壁の長さを通るスロット４８が、ウェファー装填実行装置の垂直の通過のために提供され、スロット３９の大体中央部に配置されている。ウェファー装填実行器用スロット４８は、５から２０ｍｍの幅「ｗ」をもつことができる。「ｗ」の値は、表１、２、３、４、５及び６に前記されている。図９は実行装填スロットとウェファー保持タブの好ましい相対的配置を示す、図３のウェファーボートの上面図である。前方の保持タブ７０及び７２は断熱バンド３４の前半分に対称的に配置されている。後方の保持タブ７４及び７６は断熱バンド３４の後方半分に、好ましくはタブ７０及び７２の間の距離よりも近くに、対称的に配置されている。図１０は、ウェファー装填実行器７８と組み合った、図３のウェファーボートの等角図である。実行器は、通常のコンピューター調節ロボット（図示されていない）のアームに取り付けるための形状をもつコネクター８０、バンド４０中のスロット４８を通過するのに十分薄いか又は狭いアーム８２、並びにウェファー保持台８４を有する。ウェファーの装填及び取り外し時の実行器７８の動きを、図１８〜２０について以下に示す。図１１は、ウェファーボートの断面（section）の中間位置に配置された、ウェファー装填実行器７８の側面を示す、図１０のウェファーボートの側面図である。図１２はウェファー装填実行器７８の等角図であり、図１３はその上面図である。実行器８０の遠位末端はアーム８２に連接している。アーム８２は狭い幅をもち、隙間９０により分離されている２本の細い伸長物８６及び８８を含んでなる。硬いブランク又は鋳物から機械加工される時、材料を抜き取って、光ファイバー視覚システム（vision system）及び真空ウェファー取り付け通路（図示されていない）に合う隙間９０を提供している。アーム８２の遠位末端はウェファー保持台８４に連接されている。台８４の上部保持面は、ウェファーに接触するための持ち上げられた面９２を残し、取り外し時の熱吸収を減少させ、そして装填の合間の熱喪失を促進するために材料を抜き取ってある。図１４は線Ａ−Ａに沿って採られた、図１３のウェファー装填実行器７８の断面図であり、図１５は、装置のウェファー保持末端からみた、図１２のウェファー装填実行器の端面図である。アーム８２はウェブ９４によりウェファー保持台８４に連接されている。ウェブ９４及び保持台８４両者は、ウェファー取り付け真空及び光ファイバー視覚システムを容易にするためにそれを通る穴又は類似の通路９６を有する。図１６は、図１２のウェファー装填実行器の側面図であり、図１７は作動機末端から見た図１２のウェファー装填実行器の端面図である。アーム８２は、作動機末端からウェファー保持末端に向かって９８狭くなって、重量を軽減し、そしてウェファー保持台８４からの熱伝導及び冷却を調節する。実行器７８はウェファーボート中のそれらの各々の保持体中へウェファーを継続して装填するために使用される。図１８、１９及び２０は、ウェファーを装填から外す前の、ウェファーボートに近付いてくる、そしてウェファーを設置する前の、ウェファーボート内の位置への移動後の、ウェファーを装填された実行器、並びにウェファーボート内にウェファーを配置した後に実行器を引き離す時の実行器、それぞれの側面図である。図１８において、実行器はスロット開口部１０２を通過するように配置された、ウェファー保持体８４上に保持されたウェファー１００を伴って、ウェファーボートに近付く。図１９においては、実行器８４とウェファー１００がスロット１０２を通過して、ウェファー１００はウェファー保持体４４の直上に配置される。実行器８４は、保持体４４上にウェファー１００を配置後、スロット４８を降下する（図１０）。次に実行器８４をシステムから取り出すためにスロット１０４と同列まで降下させる。図２０において、ウェファー保持体８４は、ウェファー１００をその場所に残して、ウェファーボートから取り出された。この方法を、ウェファーボートが完全に装填されるまで、繰り返して次のウェファーを配置する。次に、ウェファーボートを、本発明に従うウェファーの処理のために、炉内に持ち上げる。システムの処理及び冷却後、ウェファーボートは炉から引き降ろして、実行器７８が、１段毎に、前記の段階から正確に逆の順番の方法により、ウェファーの下部のスロットに侵入させ、ウェファーを持ち上げ、そしてすぐ上のスロットを通ってそれを取り出すことにより、ウェファーを取り外す。このシステムはまた、すぐ上又は下のウェファーを移動させても移動させなくても、ボート内のどんな位置のウェファーをも挿入及び取り外しする「つまんで配置する」能力をも提供する。前記の説を考慮すると、本発明の多数の修正及び変更が可能であることは、当業者に容易に明白であろう。従って、付記の請求の範囲内で、本明細書に特記された以外にも本発明を実施し得ることを理解することができる。

【手続補正書】【提出日】１９９８年６月３０日（１９９８．６．３０）【補正内容】（１）明細書第３頁末行の「常に^３ウェファーの厚さ」を、『常にウェファーの厚さ以上』と訂正する。（２）明細書第６頁下から第１２行の「常に^３ウェファーの厚さ」を、『常にウェファーの厚さ以上』と訂正する。（３）明細書第１２頁下から第１４行の「常に^３ウェファーの厚さ」を、『常にウェファーの厚さ以上』と訂正する。（４）明細書第１４頁第８行の「^３ウェファー厚さ」を、『ウェファー厚さ以上』と訂正する。（５）請求の範囲を、別紙に記載のとおり訂正する。請求の範囲『１．中心軸並びに、前記の中心軸に垂直な面内に、相対する上側の面及び下側の面をもち、前記の中心軸に沿って前以て決められた位置に空間を空けて配置されている、１個以上のバンドスロットの複数の組み合わせ、をもつシリンダーを含んでなる熱処理用ボートであって、各面内の少なくとも１個のスロットが、前記のシリンダーの全周の少なくとも１８０゜から全周未満の周りに伸長しており、隣接するバンドスロットの組み合わせが、それらの間に輪形バンドを区画しており、各スロットの高さが約３．８から１２．７ｍｍであり、各バンドが、等式：［式中、高さバンドは常にウェファーの厚さ以上であり；円柱の高さはシリンダーの全体の高さ、ｍｍであり；バンドスロットの高さはスロットの高さ、ｍｍであり；そしてバンド数は処理ボート中のバンドの総数である］に従う高さ、高さバンド、ｍｍをもつ、ことを特徴とする熱処理用ボート。２．各面内に複数のスロットを含んでなる、請求の範囲第１項記載の熱処理用ボート。３．シリンダーが、シリンダーの長さに沿って伸びる中心軸の面内に、それを通るウェファー装填実行スロットを含み、ウェファー装填実行スロットが５から２０ｍｍの幅をもつ、請求の範囲第２項記載の熱処理用ボート。４．高さバンドが少なくとも、ウェファーの厚さ以上である場合、バンド数が約１２から約１００である、請求の範囲第１項記載の熱処理用ボート。５．各バンドが、その上端面と前記の下端面との間の実質的に中央にある位置で、その中にウェファーを保持するためのウェファー保持装置を含む、請求の範囲第１項記載の熱処理用ボート。６．各ウェファー保持装置が、同平面の上側の面を有する、少なくとも３個の、内側に伸びている突起物を含む、請求の範囲第５項記載の熱処理用ボート。７．内側に伸びている突起物が内側に伸びているストリップであり、各突起物の上端が、前記のシリンダーの軸に実質的に垂直な面中に、それぞれのバンドを通過する切り込みにより形成された、請求の範囲第６項記載の熱処理用ボート。８．内側に伸びているストリップが、バンドと一体のストリップの両端をもつ、バンドを通過する単一の切り込みにより形成された、内側に押し込まれたストリップである、請求の範囲第７項記載の熱処理ボート。９．内側に伸びているストリップが、シリンダーの壁を通過して伸びている、複数のタブ区画切り込みにより形成されたタブである、請求の範囲第７項記載の熱処理用ボート。１０．各バンドが、内側面をもち、各バンド及びウェファー保持装置が、それに合わせて、そのサイズが決められている、ウェファーが占めている容量に対応する、ウェファー占領区域を区画しており、ウェファー占領区域の外側先端と、それぞれのバンドの内側面との間の半径方向の隙間が約１．５から６．３ｍｍの範囲内にある、請求の範囲第５項記載の熱処理用ボート。１１．各バンド及びウェファー保持装置が、それに合わせてそのサイズが決められている、ウェファーが占める容量に対応する、ウェファー占領区域を区画し、そしてウェファー占領区域の外径が約１５０ｍｍであり、そしてバンド数が約２５から１００である、請求の範囲第５項記載の熱処理用ボート。１２．各バンド及びウェファー支持装置が、それに合わせてそのサイズが決められている、ウェファーが占める容量に対応する、ウェファー占領区域を区画し、そしてウェファー占領区域の外径が約２００ｍｍであり、そしてバンド数が約２５から７５である、請求の範囲第５項記載の熱処理用ボート。１３．各バンド及びウェファー支持装置が、それに合わせてそのサイズが決められている、ウェファーが占める容量に対応する、ウェファー占領区域を区画しそして、ウェファー占領区域の外径が約３００ｍｍであり、そしてバンド数が約１２から４８である、請求の範囲第５項記載の熱処理用ボート。１４．各バンドが不完全な円であり、その相対する末端が５から２０ｍｍの高さをもつスロットを区画している、請求の範囲第１項記載の熱処理用ボート。１５．金属、石英、セラミック、黒鉛又はそれらの複合体から製造された構成部品をもつ、請求の範囲第１項記載の熱処理用ボート。１６．構成部品が石英、ポリシリコン、炭化ケイ素又はシリカでできている、請求の範囲第１５項記載の熱処理用ボート。１７．各ボートにおいて、各バンドの高さ及び、隣接バンド間のバンドの隙間が実質的に同じである、請求の範囲第１項記載の熱処理用ボート。１８．共通の垂直軸上に配置され、輻射熱を放出するヒーターにより囲まれた加熱区域中で、相互に平行な向きに配置された、多数のウェファーを熱処理するための方法で、その改良法が、各ウェファーの外側先端とヒーターとの間に配置された輪形熱バンドにより、ヒーターにより放射された輻射熱から、各ウェファーの外側部分を遮蔽することを含んでなり、各輪形の熱バンドが、中心軸並びに、前記の中心軸に垂直な面中に、相対する上側の面及び下側の面をもち、中心軸に沿って前以て決められた位置に空間を空けて配置されている、１個以上のバンドスロットの複数の組み合わせ、をもつシリンダー中に形成された複数の熱バンドの１本であり、各セットの少なくとも１個のバンドスロットが前記のシリンダーの全周の少なくとも１８０゜から全周未満の周りに伸長しており、隣接するバンドスロットがそれらの間に輪形のバンドを区画しており、各スロットの高さが約３．８から１２．７ｍｍであり、各バンドが、等式：［式中、高さバンドは常にウェファーの厚さ以上であり；円柱の高さはシリンダーの全体の高さ、ｍｍであり；バンドスロットの高さはスロットの高さ、ｍｍであり；そしてバンド数は処理ボート中のバンドの総数である］に従う、高さ、高さバンド、ｍｍをもつ。１９．各ウェファーの先端と、それが、それにより遮蔽されているバンドとの間の距離が１．５から６．３ｍｍである、請求の範囲第１８項記載の方法。２０．ヒーターにより提供される熱が、ウェファーに対して、熱ストレスによる機械的損傷を誘起させずに、５０℃／分から１００℃／分の速度で２１℃から１１００℃までウェファーの温度を上昇させるのに十分である、請求の範囲第１８項記載の方法。』

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＫＥ，ＬＳ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＺ，ＵＧ)，ＵＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＥ，ＨＵ，ＩＬ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＳ，ＵＺ，ＶＮ (72)発明者エングダール，エリツク・エイチアメリカ合衆国カリフオルニア州94550リバーモア・ツアーマラインアベニユー138 (72)発明者オリバー，イアン・アールアメリカ合衆国カリフオルニア州92117サンデイエゴ・カーソンストリート3944 (72)発明者ラトライフ，クリストフアー・テイアメリカ合衆国カリフオルニア州92625コロナデルマル・ジヤスミンアベニユー１／２ 612

Claims

【特許請求の範囲】１．中心軸並びに、前記の中心軸に垂直な面内に、相対する上側の面及び下側の面をもち、前記の中心軸に沿って前以て決められた位置に空間を空けて配置されている、１個以上のバンドスロットの複数の組み合わせ、をもつシリンダーを含んでなる熱処理用ボートであって、各面内の少なくとも１個のスロットが、前記のシリンダーの全周の少なくとも１８０゜から全周未満の周りに伸長しており、隣接するバンドスロットの組み合わせが、それらの間に輪形バンドを区画しており、各スロットの高さが約３．８から１２．７ｍｍであり、各バンドが、等式：［式中、高さバンドは常に³ウェファーの厚さであり；円柱の高さはシリンダーの全体の高さ、ｍｍであり；バンドスロットの高さはスロットの高さ、ｍｍであり：そしてバンド数は処理ボート中のバンドの総数である］に従う高さ、高さバンド、ｍｍをもつ、ことを特徴とする熱処理用ボート。２．各面内に複数のスロットを含んでなる、請求の範囲第１項記載の熱処理用ボート。３．シリンダーが、シリンダーの長さに沿って伸びる中心軸の面内に、それを通るウェファー装填実行スロットを含み、ウェファー装填実行スロットが５から２０ｍｍの幅をもつ、請求の範囲第２項記載の熱処理用ボート。４．高さバンドが少なくとも、ウェファーの厚さ以上である場合、バンド数が約１２から約１００である、請求の範囲第１項記載の熱処理用ボート。５．各バンドが、その上端面と前記の下端面との間の実質的に中央にある位置で、その中にウェファーを保持するためのウェファー保持装置を含む、請求の範囲第１項記載の熱処理用ボート。６．各ウェファー保持装置が、同平面の上側の面を有する、少なくとも３個の、内側に伸びている突起物を含む、請求の範囲第５項記載の熱処理用ボート。７．内側に伸びている突起物が内側に伸びているストリップであり、各突起物の上端が、前記のシリンダーの軸に実質的に垂直な面中に、それぞれのバンドを通過する切り込みにより形成された、請求の範囲第６項記載の熱処理用ボート。８．内側に伸びているストリップが、バンドと一体のストリップの両端をもつ、バンドを通過する単一の切り込みにより形成された、内側に押し込まれたストリップである、請求の範囲第７項記載の熱処理ボート。９．内側に伸びているストリップが、シリンダーの壁を通過して伸びている、複数のタブ区画切り込みにより形成されたタブである、請求の範囲第７項記載の熱処理用ボート。１０．各バンドが、内側面をもち、各バンド及びウェファー保持装置が、それに合わせて、そのサイズが決められている、ウェファーが占めている容量に対応する、ウェファー占領区域を区画しており、ウェファー占領区域の外側先端と、それぞれのバンドの内側面との間の半径方向の隙間が約１．５から６．３ｍｍの範囲内にある、請求の範囲第５項記載の熱処理用ボート。１１．各バンド及びウェファー保持装置が、それに合わせてそのサイズが決められている、ウェファーが占める容量に対応する、ウェファー占領区域を区画し、そしてウェファー占領区域の外径が約１５０ｍｍであり、そしてバンド数が約２５から１００である、請求の範囲第５項記載の熱処理用ボート。１２．各バンド及びウェファー支持装置が、それに合わせてそのサイズが決められている、ウェファーが占める容量に対応する、ウェファー占領区域を区画し、そしてウェファー占領区域の外径が約２００ｍｍであり、そしてバンド数が約２５から７５である、請求の範囲第５項記載の熱処理用ボート。１３．各バンド及びウェファー支持装置が、それに合わせてそのサイズが決められている、ウェファーが占める容量に対応する、ウェファー占領区域を区画しそして、ウェファー占領区域の外径が約３００ｍｍであり、そしてバンド数が約１２から４８である、請求の範囲第５項記載の熱処理用ボート。１４．各バンドが不完全な円であり、その相対する末端が５から２０ｍｍの高さをもつスロットを区画している、請求の範囲第１項記載の熱処理用ボート。１５．金属、石英、セラミック、黒鉛又はそれらの複合体から製造された構成部品をもつ、請求の範囲第１項記載の熱処理用ボート。１６．構成部品が石英、ポリシリコン、炭化ケイ素又はシリカでできている、請求の範囲第１５項記載の熱処理用ボート。１７．各ボートにおいて、各バンドの高さ及び、隣接バンド間のバンドの隙間が実質的に同じである、請求の範囲第１項記載の熱処理用ボート。１８．共通の垂直軸上に配置され、輻射熱を放出するヒーターにより囲まれた加熱区域中で、相互に平行な向きに配置された、多数のウェファーを熱処理するための方法で、その改良法が、各ウェファーの外側先端とヒーターとの間に配置された輪形熱バンドにより、ヒーターにより放射された輻射熱から、各ウェファーの外側部分を遮蔽することを含んでなり、各輪形の熱バンドが、中心軸並びに、前記の中心軸に垂直な面中に、相対する上側の面及び下側の面をもち、中心軸に沿って前以て決められた位置に空間を空けて配置されている、１個以上のバンドスロットの複数の組み合わせ、をもつシリンダー中に形成された複数の熱バンドの１本であり、各セットの少なくとも１個のバンドスロットが前記のシリンダーの全周の少なくとも１８０゜から全周未満の周りに伸長しており、隣接するバンドスロットがそれらの間に輪形のバンドを区画しており、各スロットの高さが約３．８から１２．７ｍｍであり、各バンドが、等式：［式中、高さバンドは常に³ウェファーの厚さであり；円柱の高さはシリンダーの全体の高さ、ｍｍであり；バンドスロットの高さはスロットの高さ、ｍｍであり；そしてバンド数は処理ボート中のバンドの総数である］に従う、高さ、高さバンド、ｍｍをもつ。１９．各ウェファーの先端と、それが、それにより遮蔽されているバンドとの間の距離が１．５から６．３ｍｍである、請求の範囲第１８項記載の方法。２０．ヒーターにより提供される熱が、ウェファーに対して、熱ストレスによる機械的損傷を誘起させずに、５０℃／分から１００℃／分の速度で２１℃から１１００℃までウェファーの温度を上昇させるのに十分である、請求の範囲第１８項記載の方法。