JP2000357888A - 半導体モジュール装置 - Google Patents

半導体モジュール装置

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JP2000357888A JP11168469A JP16846999A JP2000357888A JP 2000357888 A JP2000357888 A JP 2000357888A JP 11168469 A JP11168469 A JP 11168469A JP 16846999 A JP16846999 A JP 16846999A JP 2000357888 A JP2000357888 A JP 2000357888A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】半導体モジュール装置に関し、冷却効率を向上
させ、かつ、実装高さも低く押さえることを目的とす
る。 【解決手段】複数の発熱素子1、1・・を実装した基板
2の上面を該基板2の保持フレームを兼ねる放熱プレー
ト3で覆ってなる半導体モジュール装置であって、前記
放熱プレート3には複数の放熱フィン4、4・・が突設
されるとともに、放熱プレート3には該放熱プレート3
の上方を覆って冷却風の風洞5を形成するカバープレー
ト6が固定され、かつ、前記冷却風洞5内には冷却ファ
ン装置7を固定して構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体モジュール装
置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】半導体モジュール装置の従来例を図1
2、13に示す。この従来例において、半導体モジュー
ル装置は、フレーム19により保持される実装基板2上
に複数の半導体素子を実装して形成される。フレーム1
9はアルミニウム等の熱伝導性の良好な材料により形成
され、半導体素子の搭載領域の上方を覆うカバー部19
aを有する。カバー部19aの上面には図示しない小型
冷却ファン装置7を保持したファン組立体20が固定さ
れ、半導体素子からの発熱はヒートスプレッダとして機
能するカバー部19aに伝熱された後、ファン組立体2
0により冷却される。なお、図において19bはファン
組立体20の上面に冷却風の風洞を形成するためのカバ
ー体を示す。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した従来
例には以下の欠点がある。すなわち、上述した従来例に
おいては、カバー部19a上にファン組立体20を積層
する構造を取るために、実装高さが高くなる。また、半
導体素子からの発熱は、カバー部19aに伝熱された
後、さらに、ファン組立体20のベースプレート20a
に伝熱されて放熱される構造を取るためには、カバー部
19aとベースプレート20aとの接触部における熱抵
抗が大きく、冷却効率が悪い。
【0004】本発明は、以上の欠点を解消すべくなされ
てものであって、冷却効率が高く、かつ実装高さも低く
押さえられる半導体モジュール装置の提供を目的とす
る。さらに、本発明の他の目的は、冷却効率の高い発熱
体の冷却装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明によれば上記目的
は、複数の発熱素子1、1・・を実装した基板2の上面
を該基板2の保持フレームを兼ねる放熱プレート3で覆
ってなる半導体モジュール装置であって、前記放熱プレ
ート3には複数の放熱フィン4、4・・が突設されると
ともに、放熱プレート3には該放熱プレート3の上方を
覆って冷却風の風洞5を形成するカバープレート6が固
定され、かつ、前記冷却風洞5内には冷却ファン装置7
が固定される半導体モジュール装置を提供することによ
り達成される。
【0006】本発明において、基板2上の発熱素子1か
らの発熱は、基板2の保持フレームを兼ねる放熱プレー
ト3に伝熱された後、放熱プレート3上の放熱フィン4
から放熱される。したがって、伝熱ルートに機械的接合
境界面が存在しないために、熱抵抗が少なくなり、冷却
効率が向上する。また、冷却ファン装置7は冷却風洞5
内に配置されるために、高さ寸法が小さくなり、実装高
さが低くなる。
【0007】冷却ファン装置7は放熱プレート3に固定
することも、カバープレート6に固定することも可能で
あるが、カバープレート6に固定した場合には、冷却フ
ァン装置7、特に軸受け部の熱による劣化を防止するこ
とができる。冷却ファン装置7には種々のものが使用可
能であるが、冷却風を上方から吸い込み真横に吹き出す
遠心型ファンは面積が広く薄型の構造をもつ本発明に係
る半導体モジュール装置に最適である。また、冷却ファ
ン装置7は一般に吐き出し側に障害壁がある場合の方が
吸い込み側にある場合に比して風量低下が少ないという
特性を持つために、冷却ファン装置7は、排気側が冷却
風洞5内方を向くように配置するのが望ましい。
【0008】上記放熱フィン4は適宜形状に形成するこ
とが可能であるが、ピン形状に形成し、その内の幾本か
を他のものに比して長く形成し、当該長寸の放熱フィン
4aをカバープレート6を貫通してカバープレート6の
上方に露出させることにより、冷却風洞5への導入流を
利用した放熱が可能になる。また、カバープレート6上
にすべての放熱フィン4を突出させない構成を取ること
により、導入流の圧損がいたずらに高くなることが防止
され、冷却ファン装置7の吸入性能を悪化させることが
ない。
【0009】カバープレート6に冷却風の吐き出し方向
を規制する遮断立ち上がり壁9を設けると、冷却風洞5
の排気口、すなわち、冷却風の吐き出し方向をカバープ
レート6の取付姿勢により変更することが可能になる。
吐き出し方向を変更できるようにすると、半導体モジュ
ール装置が装着される装置本体側の排気を直接筐体外部
に吐き出す位置に実装する方法が理想的だが、排気口近
傍に部品、壁面等の排気障害物があって排気能力が低下
する場合にも排気方向を簡単に変更できるために、実装
位置の融通性が向上し、使い勝手がより向上する。
【0010】この場合、冷却ファン装置7を冷却風洞5
の中心に配置し、カバープレート6の裏面に導風壁10
を設けておくと、カバープレート6の装着姿勢に関わら
ず、冷却風を吐き出し方向に導くことができるために、
装着姿勢による冷却効果の違いを最小限にすることがで
きる。導風壁10は、図7に示すように、冷却ファン装
置7の回転翼7aの回転接線方向Aに対して排気方向が
鋭角で交差する隅部(図7における領域B)近傍から排
気方向に沿って延びており、該隅部での回転ファン装置
7から送られる冷却風と排気流との衝突を防止し、さら
に、冷却風を図7において矢印Cで示すように、導風壁
10が設けられていない辺縁に導く。この結果、冷却風
の衝突による全体的な冷却効率の低下が防止されるとと
もに、カバープレート6の取付姿勢が変化しても、導風
壁10に対応する辺縁近傍以外の領域内の発熱素子1を
優先的に冷却することができる。
【0011】また、カバープレート6は長方形の放熱プ
レート3の短辺長を一辺の長さとする正方形状に形成
し、放熱プレート3の3辺に辺縁を対応させて装着した
場合には、カバープレート6の装着姿勢を変更して排気
方向を変えても、放熱プレート3の冷却風洞対応領域3
aを可及的に広く、かつ、一定にすることが可能とな
る。このため、カバープレート6の装着姿勢の変更に伴
う冷却効果の違いを最小限にすることができる。さら
に、カバープレート6に設けた補助導風切欠13から冷
却風を放熱プレート3の中央部に排出するように構成す
ると、冷却風洞対応領域3a以外の領域に冷却風を送風
させることが可能になるために、該領域直下に配置され
た発熱素子1も効率的に冷却することができる。
【0012】この場合、補助導風口11近傍の天井壁
を、辺縁に近づくにつれて漸次放熱プレート3に接近す
る傾斜面12とすると、補助導風口11近傍において冷
却風流が絞られて風速が速くなるために、冷却風洞対応
領域3aに比して冷却効率が低下する中央部の領域の冷
却効率を可及的に向上させることができる。
【0013】また、カバープレート6の排気用開放辺8
以外の辺縁に補助導風切欠13を形成し、放熱プレート
3側に、放熱プレート3の3辺に対応する補助導風切欠
13を閉塞する閉塞壁14を設けると、カバープレート
6をどのような姿勢で取り付けても放熱プレート3の中
央部を向く補助導風切欠13のみが開放されて補助導風
口11を形成し、他の補助導風切欠13は閉塞壁14に
より閉塞されることとなる。この結果、冷却風洞5から
の冷却風の吹き出し口が徒に多くなることがなく、冷却
風洞対応領域3aでの冷却効率の低下が防止される。
【0014】さらに、半導体モジュール装置を、複数の
発熱素子1を実装した基板2の上面を基板2の保持フレ
ーム19を兼ねる放熱プレート3で覆ってなる半導体モ
ジュール装置であって、前記放熱プレート3には複数の
放熱フィン4が突設されるとともに、放熱プレート3の
放熱フィン基端面15には、ヒートパイプ保持溝16が
形成され、かつ、放熱プレート3には、冷却ファン装置
7の固定部17が形成されるように構成することができ
る。
【0015】この半導体モジュール装置によれば、電源
の容量等の事情によって、冷却ファン装置7を取り外し
て放熱プレート3の上面に形成されるヒートパイプ保持
溝16にヒートパイプ21を固定した状態で運用するこ
とも、あるいは、ヒートパイプ21を取り除き、装置本
体側に冷却ファン装置7を固定して運用することも可能
であり、融通性を向上させることができる。
【0016】以上における半導体モジュール装置は、基
板2の保持フレームを兼ねる放熱プレート3と冷却ファ
ン装置7により冷却装置を構成するものであるが、発熱
体1への固定ブロック18から長短2種類の放熱フィン
4を複数本突設した放熱プレート3と、放熱プレート3
に固定され、該放熱プレート3の上方を覆って冷却風の
風洞5を形成するカバープレート6と、風洞5内に固定
される冷却ファン装置7とを有し、前記長寸の放熱フィ
ン4aは、カバープレート6を貫通してカバープレート
6上方に突出する独立した発熱体の冷却装置を構成する
ことができる。
【0017】この冷却装置は、複数の発熱体1、1・
・、あるいは単一の発熱体1をスポット的に冷却する場
合に有効であり、カバープレート6を貫通してカバープ
レート6の上方に飛び出す長寸の放熱フィン4aが吸気
流により冷却されるために、冷却効率がより向上する。
すなわち、上述したように、冷却ファン装置7への冷却
効率の低下に与える影響は、吸気側での圧損の増加の方
が、排気側での圧損の増加より大きなために、圧損の原
因となる放熱フィン4aの本数を冷却風洞5内で多く、
吸気側のカバープレート6上面で少なくすることによ
り、冷却ファン装置7の効率的運用が可能になる。ま
た、カバープレート6から長寸の放熱フィン4aを飛び
出させることにより、半導体モジュール装置の上面を壁
等に密着させた状態で配置しても、放熱フィン4aの先
端とカバープレート6との間には吸気用の空間を確実に
確保することができる。
【0018】
【発明の実施の形態】図1、2に基板2上にCPU、お
よびその周辺回路を実装し、外部PCIバスをサポート
し、対象装置に接続することにより対象装置の制御部を
構成することのできる3×5インチ程度の大きさのカー
ドプロセッサとして構成された本発明の実施の形態を示
す。
【0019】半導体モジュール装置は、CPU、VC
L、ビデオチップセット等の発熱素子1と、受動素子2
aを表面実装した基板2と、放熱プレート3を有し、基
板2の一側縁裏面に固定される図示しないコネクタによ
り対象装置に接続される。また、上記コネクタの反対
面、すなわち、基板2の表面一側縁には、補助基板22
を接続するためのコネクタ2bが固定される。コネクタ
2bは後述する放熱プレート3の放熱部3bに開設され
たコネクタ挿通開口3cを貫通して放熱部3b上に突出
し、補助基板22は、コネクタ挿通開口3c近傍におい
て放熱部3bにねじ止めされる。この実施の形態におい
て補助基板22にはカードコネクタ22aが固定され、
該カードコネクタ22aに例えば増設メモリボード等が
接続される。なお、図2において23は補助基板22と
放熱パネルとの間に介装される絶縁シートを示す。
【0020】放熱プレート3は、アルミニウム合金等、
熱伝導性の良好な材料により製せられ、基板2のほぼ全
面を覆う長方形の放熱部3bの四側縁に基板2を保持す
るフレーム部3dを一体に膨隆して形成される。フレー
ム部3dの四隅部には取付部24が設けられ、該取付部
24にねじ止めして対象装置に固定される。
【0021】図3に示すように、上記放熱部3bには冷
却風洞対応領域3aが設定される。冷却風洞対応領域3
aは、上記コネクタ挿通開口3cが開設される辺縁に対
向する辺縁を一辺とする正方形領域を占有し、該冷却風
洞対応領域3a上面には、図4に示すように、基端面か
らの突出高さが異なる2種類のピン状放熱フィン4a、
4bが交互に複数本立設される。なお、図3において、
長寸の放熱フィン4aを塗りつぶして表示する。これら
放熱フィン4a、4bは、冷却風洞対応領域3a内の中
心に位置する円形のファン収容領域25、およびこのフ
ァン収容領域25から側縁に延びる帯状領域を除く範囲
に立設されており、上記帯状領域は放熱フィン基端面1
5より1段低くされてヒートパイプ保持溝16とされ
る。また、上記冷却風洞対応領域3aの側縁には後述す
るカバープレート6の補助導風切欠13を閉塞するため
の閉塞壁14が立設される。
【0022】上記冷却風洞対応領域3aの上方にはファ
ン組立体20が固定される。ファン組立体20は、冷却
風洞対応領域3aとほぼ等しい正方形状のカバープレー
ト6に冷却ファン装置7を固定して形成される。図5、
6に示すように、カバープレート6は中心部、すなわ
ち、上記放熱部3bのファン収容領域25の直上位置に
円形の吸気開口6aを有し、該吸気開口6aの中心に冷
却ファン装置7の回転翼7aが配置される(図1、2参
照)。冷却ファン装置7はカバープレート6に固定され
るファン保持脚7bにより保持される。なお、図1、2
において7cは冷却ファン装置7への給電用のハーネス
を示す。
【0023】上記ファン組立体20の放熱プレート3へ
の固定は、放熱プレート3に形成された固定部17にね
じ止めして行われ、固定状態において短寸の放熱フィン
4bがカバープレート6裏面に形成されたフィン嵌合凹
部6bに嵌合するとともに、長寸の放熱フィン4aはカ
バープレート6に開設されたフィン挿通孔6cを貫通し
てカバープレート6上部に露出する(図8参照)。図6
に示すように、カバープレート6は放熱プレート3に対
して中心周りに90°刻みで相対回転位置を変更しても
カバープレート6のフィン挿通孔6cが長寸の放熱フィ
ン4aに、フィン嵌合凹部6bが短寸の放熱フィン4に
対応するように、放熱フィン4の配置、およびフィン嵌
合凹部6b等の配置が決定される。なお、図6において
フィン嵌合凹部6bを塗りつぶして表示する。カバープ
レート6を固定した状態でカバープレート6と冷却風洞
対応領域3aとの間には長寸、および端寸の放熱フィン
4、4・・が林立した冷却風洞5が形成され、冷却風洞
5内の中央部に回転翼7aが周囲を放熱フィン4により
囲まれた状態で配置される。冷却ファン装置7を駆動す
ると、カバープレート6近傍の空気が吸気開口6aから
冷却風洞5内に強制導入される。
【0024】また、排気用開放辺8を除くカバープレー
ト6の各辺縁には、遮断立ち上がり壁9が放熱プレート
3側に突設されており、該遮断立ち上がり壁9を切り欠
くことにより、補助導風切欠13が形成される。カバー
プレート6を放熱プレート3に固定した状態で、放熱プ
レート3の放熱フィン基端面15と排気用開放辺8によ
り冷却風洞5の排気口が形成され、該冷却風洞5内に導
入された冷却風は、カバープレート6の裏面に形成され
た導風壁10によりガイドされて速やかに排気用開放辺
8から排気される。導風壁10は、反時計回り(図7に
おける矢印D方向)に回転駆動される冷却ファン装置7
に対応させたもので、図6、7に示すように、冷却ファ
ン装置7の回転翼7aの回転接線方向Aを向く導入部1
0aと、カバープレート6の辺縁に平行で、上記排気用
開放辺8に向かう平行部10bとからなる。導入部10
aは、冷却ファン装置7の回転中心から冷却風の衝突領
域(図7のB領域)にやや寄った位置に始端を有して配
置される。上記冷却風の衝突領域への風向きを変更し、
かつ、風路幅の縮小により過大な圧損が生じないよう
に、導風壁10の平行部10bの基端は、回転翼7aの
回転接線方向A上の回転翼7aの回転径の1/5ないし
1/4離れた位置で、かつ、回転翼7aの回転軌跡外周
とカバープレート6の周縁とを1:2ないし1:1に内
分(図7におけるa:b)する点に設定するのが望まし
い。
【0025】したがってこの実施の形態において、導風
壁10側に送られた冷却風A’は導風壁10により曲げ
られてCPU等の発熱素子の中でも高い発熱量を有する
高発熱素子1の搭載領域に送風されるために、該高発熱
素子1を効率的に冷却することができる。また、上記高
発熱素子1側に多量の冷却風の送ることにより、隅部E
での冷却風のよどみもなくなるために、全体の冷却効率
も向上する。
【0026】上記ファン組立体20は、放熱プレート3
の冷却風洞対応領域3aに平面視において合致するよう
に固定されるもので、図9に示すように、冷却ファン装
置4の中心周りに回転した4種類の取付姿勢を選択する
ことが可能であり、いずれの取付姿勢をとっても中央部
に向かう補助導風切欠13のみが開放され、他の3カ所
の補助導風切欠13は、放熱プレート3上の閉塞壁14
により閉塞されるように、補助導風切欠13、および閉
塞壁14の位置が決定される。また、各補助導風切欠1
3近傍の天井壁は、図8に示すように、辺縁に近づくに
つれて漸次放熱プレート3に接近する傾斜面12とされ
ている。
【0027】したがってこの実施の形態において、放熱
プレート3にファン組立体20を固定した状態で冷却フ
ァン装置4を駆動すると、図8において矢印Aで示すよ
うに、外気が吸気開口6aから冷却風洞5内に強制導入
される。一方、基板2上の高発熱素子1からの発熱は、
放熱プレート3に伝達され、冷却風洞5内に林立する放
熱フィン4から直ちに放熱される。また、図8に示すよ
うに、カバープレート6外部から冷却風洞5内に導入さ
れる外気は、導入途中で長寸の放熱フィン4aを冷却す
るために、全体の冷却効率が向上する。さらに、対象装
置内の部品等の配置により、排気方向を変更するには、
ファン組立体20を一旦放熱プレート3から取り外し、
カバープレート6の排気用開放辺8の位置を所望の方向
に向ければよい。カバープレート6の取付姿勢に関わら
ず、放熱プレート3の中央部には、補助導風切欠13が
開放されるために、放熱プレート3中央部上面は補助導
風切欠13から排出される冷却風により冷却される。図
9において排気方向を矢印Bで、補助導風切欠13から
の風の流れを矢印Cで示す。補助導風切欠13により形
成される補助導風口11は、天井面が排気方向に向いて
傾斜する傾斜状となっているために、排出途中に絞られ
て風速が速くなるために、冷却効率も向上する。
【0028】上記冷却ファン装置7は、ベアリングハウ
スを放熱プレート3に埋め込んで、保持することも可能
であるが、この実施の形態に示すように、冷却ファン装
置7をカバープレート6に固定してファン組立体20を
構成すると、ファン組立体20を取り外して状態で運用
することもできる。この場合、冷却効率を高めるために
は、図10に示すように、ヒートパイプ保持溝16にヒ
ートパイプ21を嵌合させ、ファン収容部において固定
することもできる。なお、図10において27はヒート
パイプ固定具を示す。
【0029】なお、以上の例において放熱プレート3
は、基板2全体を覆う大きさとして、フレーム部3dを
兼ねるように構成されているが、図11に示すように、
基板2上の特定の素子をスポット的に冷却する際に使用
する冷却装置として構成することもできる。なお、本実
施の形態の説明において、上述した実施の形態と実質的
に同一の構成要素は図中に同一符号を付して説明を省略
する。
【0030】この実施の形態において、冷却装置は発熱
素子1に固定される放熱プレート3と、放熱プレート3
上に固定されて冷却風洞5を形成するカバープレート6
と、ベアリングハウス(冷却ファン装置7の軸受け部)
が放熱プレート3に埋め込まれた冷却ファン装置7とを
有して構成される。放熱プレート3はアルミニウム合金
等の熱伝導製の良好な材料により形成され、発熱素子1
に固定される固定ブロック18から複数の放熱フィン
4、4・・を突設させて形成される。放熱プレート3上
の放熱フィン4は、長短2種類が交互に配置され、長寸
の放熱フィン4aはカバープレート6上面に突出する。
【0031】したがってこの実施の形態において、カバ
ープレート6の上方に発生する風流も放熱フィン4の放
熱に利用することができるために、冷却効率が向上す
る。また、カバープレート6から突出する放熱フィン4
aの本数は、冷却風洞5内の本数に比して少ないため
に、吸気開口6aからの吸い込み時に過大な圧損を生じ
させることがない。このため、冷却ファン装置7の吸気
能力に悪影響を及ぼすこともない。
【0032】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、冷却効率を向上させることができる上に、実
装高さも低くできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を示す斜視図である。
【図2】図1の分解斜視図である。
【図3】放熱プレートを示す平面図である。
【図4】図3の4A-4A線断面図である。
【図5】カバープレートの表面図である。
【図6】カバープレートの裏面図である。
【図7】導風壁の作用を示す図である。
【図8】図6の7A-7A線断面図である。
【図9】カバープレートの取付姿勢を示す図である。
【図10】ヒートパイプを装着した状態を示す図であ
る。
【図11】本発明の他の実施の形態を示す図で、(a)
は平面図、(b)は(a)の一部を断面して示す側面図
である。
【図12】従来例を示す斜視図である。
【図13】図12の分解斜視図である。
【符号の説明】
1 発熱素子 2 基板 3 放熱プレート 4 放熱フィン 4a 長寸の放熱フィン 5 風洞 6 カバープレート 7 冷却ファン装置 8 排気用開放辺 9 遮断立ち上がり壁 10 導風壁 11 補助導風口 12 傾斜面 13 補助導風切欠 14 閉塞壁 15 放熱フィン基端面 16 ヒートパイプ保持溝 17 固定部 18 固定ブロック

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】複数の発熱素子を実装した基板の上面を該
    基板の保持フレームを兼ねる放熱プレートで覆ってなる
    半導体モジュール装置であって、 前記放熱プレートには複数の放熱フィンが突設されると
    ともに、放熱プレートには該放熱プレートの上方を覆っ
    て冷却風の風洞を形成するカバープレートが固定され、 かつ、前記冷却風洞内には冷却ファン装置が固定される
    半導体モジュール装置。
  2. 【請求項2】前記冷却ファン装置はカバープレートに固
    定される請求項1記載の半導体モジュール装置。
  3. 【請求項3】前記放熱フィンはピン形状に形成されると
    ともに、その内の適宜本数は他に比して長寸とされ、 前記長寸の放熱フィンがカバープレートを貫通してカバ
    ープレートの上方に露出している請求項1または2記載
    の半導体モジュール装置。
  4. 【請求項4】前記カバープレートは放熱プレートに対す
    る取付姿勢が可変であり、かつ、カバープレートには排
    気用開放辺以外からの冷却風の吐き出しを規制する遮断
    立ち上がり壁が設けられる請求項1、2または3記載の
    半導体モジュール装置。
  5. 【請求項5】前記冷却ファン装置は冷却風洞の中心に配
    置されるとともに、カバープレートの裏面には、冷却フ
    ァン装置の回転翼の回転接線方向に対して排気方向が鋭
    角で交差する隅部近傍から排気方向に沿って延びる導風
    壁が設けられる請求項4記載の半導体モジュール装置。
  6. 【請求項6】前記放熱プレートは長方形形状をなすとと
    もに、カバープレートは、前記放熱プレートの短辺長を
    一辺とする正方形形状に形成されて辺縁を放熱プレート
    の3辺に対応させて固定され、 かつ、冷却風洞には、放熱プレート中央部を向く補助導
    風口が開設される請求項4または5記載の半導体モジュ
    ール装置。
  7. 【請求項7】前記補助導風口近傍の天井壁は、辺縁に近
    づくにつれて漸次放熱プレートに接近する傾斜面とされ
    る請求項6記載の半導体モジュール装置。
  8. 【請求項8】前記カバープレートの排気用開放辺以外の
    辺縁には補助導風切欠が形成されるとともに、 放熱プレートには、該放熱プレートの3辺に対応する補
    助導風切欠を閉塞する閉塞壁が設けられる請求項6また
    は7記載の半導体モジュール装置。
  9. 【請求項9】複数の発熱素子を実装した基板の上面を該
    基板の保持フレームを兼ねる放熱プレートで覆ってなる
    半導体モジュール装置であって、 前記放熱プレートには複数の放熱フィンが突設されると
    ともに、放熱プレートの放熱フィン基端面には、ヒート
    パイプ保持溝が形成され、 かつ、放熱プレートには、冷却ファン装置の固定部が形
    成される半導体モジュール装置。
  10. 【請求項10】発熱体への固定ブロックから長短2種類
    の放熱フィンを複数本突設した放熱プレートと、 放熱プレートに固定され、該放熱プレートの上方を覆っ
    て冷却風の風洞を形成するカバープレートと、 風洞内に固定される冷却ファン装置とを有し、 前記長寸の放熱フィンは、カバープレートを貫通してカ
    バープレート上方に突出する発熱体の冷却装置。
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