JP2000348865A - 有機el素子 - Google Patents
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/10—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
- H10K50/11—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED] characterised by the electroluminescent [EL] layers
-
- H—ELECTRICITY
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- H05B33/00—Electroluminescent light sources
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- H05B33/14—Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces characterised by the chemical or physical composition or the arrangement of the electroluminescent material, or by the simultaneous addition of the electroluminescent material in or onto the light source
-
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-
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-
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- Optics & Photonics (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 異常電流を十分に抑制することができる有機
EL素子を提供する。 【解決手段】 陰極と陽極との間に1層以上の有機層を
有する有機EL素子において、有機層の厚さが2000
Å未満であり、かつ、陰極の厚さL[Å]が下記の式で
示される条件を満たす有機EL素子とする。400
[Å]≦L≦n×0.8[Å](ただし、nは、有機層
の厚さを示す。)また、陰極と陽極との間に1層以上の
有機層を有する有機EL素子において、有機層の厚さが
2000Å以上であり、かつ、陰極の厚さL[Å]が下
記の式で示される条件を満たす有機EL素子とする。4
00[Å]≦L≦n×3[Å](ただし、nは、有機層
の厚さを示す。)
EL素子を提供する。 【解決手段】 陰極と陽極との間に1層以上の有機層を
有する有機EL素子において、有機層の厚さが2000
Å未満であり、かつ、陰極の厚さL[Å]が下記の式で
示される条件を満たす有機EL素子とする。400
[Å]≦L≦n×0.8[Å](ただし、nは、有機層
の厚さを示す。)また、陰極と陽極との間に1層以上の
有機層を有する有機EL素子において、有機層の厚さが
2000Å以上であり、かつ、陰極の厚さL[Å]が下
記の式で示される条件を満たす有機EL素子とする。4
00[Å]≦L≦n×3[Å](ただし、nは、有機層
の厚さを示す。)
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、有機EL素子に関
し、とくに、異常電流を抑制することができる有機EL
素子に関する。
し、とくに、異常電流を抑制することができる有機EL
素子に関する。
【0002】
【従来の技術】有機エレクトロルミネッセンス素子(有
機EL素子)は、陽極から注入された正孔と陰極から注
入された電子が蛍光能を有する発光層内で再結合し、励
起状態から失括する際に光を放射する現象を利用するも
のである。有機EL素子の研究は、有機化合物の高い蛍
光量子収率と、多種多様に設計可能な分子構造に着目し
たところに端を発したものであったが、その発光輝度、
発光効率は低く、実用レベルとは言えなかった。
機EL素子)は、陽極から注入された正孔と陰極から注
入された電子が蛍光能を有する発光層内で再結合し、励
起状態から失括する際に光を放射する現象を利用するも
のである。有機EL素子の研究は、有機化合物の高い蛍
光量子収率と、多種多様に設計可能な分子構造に着目し
たところに端を発したものであったが、その発光輝度、
発光効率は低く、実用レベルとは言えなかった。
【0003】しかし、その後、タング(Tang)ら
は、従来の発光層のみを電極で挟み込んだ構造から、正
孔を輸送する能力に優れた材料(以下、正孔輸送層とい
う)とを組み合わせた積層構造をとることで格段にその
性能が向上することを見出した(アプライド・フィジッ
クス・レター(Applied Physics Le
tter)、51巻、913ページ、1987年)。こ
れを機に研究は、正孔を注入する役割を持った層(正孔
注入層)、電子を輸送する役割を持った層(電子輸送
層)など、完全に機能分離するという手法を基本とした
ものに集中され、各有機材料の高性能化もあいまって表
示装置として実用化に拍車がかかっている。最近では、
フルカラー表示装置に必要な三原色の発光、すなわち
青、緑、赤色が高輝度、高効率で得られ、各材料ごとに
適切なキャリア輸送材料が選択されつつある。
は、従来の発光層のみを電極で挟み込んだ構造から、正
孔を輸送する能力に優れた材料(以下、正孔輸送層とい
う)とを組み合わせた積層構造をとることで格段にその
性能が向上することを見出した(アプライド・フィジッ
クス・レター(Applied Physics Le
tter)、51巻、913ページ、1987年)。こ
れを機に研究は、正孔を注入する役割を持った層(正孔
注入層)、電子を輸送する役割を持った層(電子輸送
層)など、完全に機能分離するという手法を基本とした
ものに集中され、各有機材料の高性能化もあいまって表
示装置として実用化に拍車がかかっている。最近では、
フルカラー表示装置に必要な三原色の発光、すなわち
青、緑、赤色が高輝度、高効率で得られ、各材料ごとに
適切なキャリア輸送材料が選択されつつある。
【0004】また、各種産業機器の表示装置のユニット
や画素に用いられうる有機ELの駆動方法としては、液
晶駆動方式を踏襲することが可能である。すなわち、素
子のマルチプレックス性能に依存したパッシブ(マトリ
ックス)駆動やスイッチング素子を、画素毎に配置・付
加して駆動するアクティブマトリクス駆動等を挙げるこ
とができる。
や画素に用いられうる有機ELの駆動方法としては、液
晶駆動方式を踏襲することが可能である。すなわち、素
子のマルチプレックス性能に依存したパッシブ(マトリ
ックス)駆動やスイッチング素子を、画素毎に配置・付
加して駆動するアクティブマトリクス駆動等を挙げるこ
とができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】有機EL素子は、素子
内部にキャリア、すなわち電流を流すことで発光に至る
性格上、液晶表示装置と比較しても電気特性が特に重要
である。
内部にキャリア、すなわち電流を流すことで発光に至る
性格上、液晶表示装置と比較しても電気特性が特に重要
である。
【0006】図1は、有機EL素子のバンド図の一例を
示した図である。図1において、符号1は、有機EL素
子の有機層を示している。この有機層1は、正孔注入層
2、正孔輸送層3、発光層4、電子輸送層5の4つの有
機層からなるものである。図1に示すように、陽極、陰
極から強電界によって注入された正孔、電子は、発光層
4内で再結合するまでに、いくつかのポテンシャルを持
った有機層をホッピングしなければならない。各有機層
が、図1のような理想的なポテンシャルで仕切られたバ
ンド構造をもつことが望ましいが、実際の各有機膜は、
数十〜数百Åと非常に薄い為に、その界面は、混合され
た乱れた構造をとる。このようなバンドが形成される
と、本来の電流パスであるポテンシャルの他に、別のポ
テンシャルを介した異常電流(リーク電流)が観測され
る。
示した図である。図1において、符号1は、有機EL素
子の有機層を示している。この有機層1は、正孔注入層
2、正孔輸送層3、発光層4、電子輸送層5の4つの有
機層からなるものである。図1に示すように、陽極、陰
極から強電界によって注入された正孔、電子は、発光層
4内で再結合するまでに、いくつかのポテンシャルを持
った有機層をホッピングしなければならない。各有機層
が、図1のような理想的なポテンシャルで仕切られたバ
ンド構造をもつことが望ましいが、実際の各有機膜は、
数十〜数百Åと非常に薄い為に、その界面は、混合され
た乱れた構造をとる。このようなバンドが形成される
と、本来の電流パスであるポテンシャルの他に、別のポ
テンシャルを介した異常電流(リーク電流)が観測され
る。
【0007】また、同様の理由により有機EL素子の逆
バイアス駆動時にも異常電流は発生する。これは、すな
わち、有機EL素子に電界が印加されている状態であれ
ば、有機EL素子の発光、非発光時に関わらず異常電流
が発生することを意味し、表示装置としての品質を著し
く低下させる要因となる。
バイアス駆動時にも異常電流は発生する。これは、すな
わち、有機EL素子に電界が印加されている状態であれ
ば、有機EL素子の発光、非発光時に関わらず異常電流
が発生することを意味し、表示装置としての品質を著し
く低下させる要因となる。
【0008】このような異常電流を抑制する方法とし
て、特開平9ー102395では陰極材料にアルミニウ
ムを用いる方法が開示されている。しかし、この方法で
の異常電流抑制効果は不十分であった。また、特開平9
−245965は、表面荒さを最大50Å以下としたこ
とを特徴とした陽極に関するものであるが、陽極表面の
研磨にコストがかかってしまう点や、再現性の問題が露
呈していた。本発明は、前記課題に鑑みてなされたもの
であり、異常電流を十分に抑制することができる有機E
L素子を提供することを目的としている。
て、特開平9ー102395では陰極材料にアルミニウ
ムを用いる方法が開示されている。しかし、この方法で
の異常電流抑制効果は不十分であった。また、特開平9
−245965は、表面荒さを最大50Å以下としたこ
とを特徴とした陽極に関するものであるが、陽極表面の
研磨にコストがかかってしまう点や、再現性の問題が露
呈していた。本発明は、前記課題に鑑みてなされたもの
であり、異常電流を十分に抑制することができる有機E
L素子を提供することを目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】有機EL素子の有機層1
に一般に使用される材料の多くは、無機化合物と比較す
ると耐熱性が低い。さらに、有機層1の厚みは、数十〜
数千Åと非常に薄いために、熱などの外的要因によって
容易にその構造を歪めてしまう。特に、陰極6となる金
属の沸点は、通常、数百℃から数千℃と高熱であり、抵
抗加熱型蒸着のような輻射熱を伴うプロセスでは、下地
である有機層1は、このような高温を直接受けることに
なる。さらに、金属蒸発粒子が基板上で凝結して薄膜を
形成する際にも、下地となる有機層1には熱応力による
金属粒子の熱拡散といった形でダメージが与えられる。
に一般に使用される材料の多くは、無機化合物と比較す
ると耐熱性が低い。さらに、有機層1の厚みは、数十〜
数千Åと非常に薄いために、熱などの外的要因によって
容易にその構造を歪めてしまう。特に、陰極6となる金
属の沸点は、通常、数百℃から数千℃と高熱であり、抵
抗加熱型蒸着のような輻射熱を伴うプロセスでは、下地
である有機層1は、このような高温を直接受けることに
なる。さらに、金属蒸発粒子が基板上で凝結して薄膜を
形成する際にも、下地となる有機層1には熱応力による
金属粒子の熱拡散といった形でダメージが与えられる。
【0010】有機EL素子への輻射熱による影響は、一
般に、基板と蒸発源との距離が離れていれば小さいと考
えられる。しかし、この場合、蒸着材料の熱効率、すな
わち成膜に必要な予め真空槽にセットする蒸着材料の量
を、距離を離すのに比例して増やさねばならず有効な策
とはならない。
般に、基板と蒸発源との距離が離れていれば小さいと考
えられる。しかし、この場合、蒸着材料の熱効率、すな
わち成膜に必要な予め真空槽にセットする蒸着材料の量
を、距離を離すのに比例して増やさねばならず有効な策
とはならない。
【0011】また、一般に使用されている陰極の材料
は、図2に示すように、基板8上で熱応力を発生し、陰
極の膜厚が厚いほど大きな値を示す。特に、図2に示す
ように、パターン化された陰極であるITOなどのエッ
ジ部で強く作用し、この陰極の段差部付近にある有機層
1aは、強い影響を受ける。この熱応力によって、有機
EL素子作製後には、陽極と陰極が不完全に接触したシ
ョートやリーク電流などの異常電流が発生しやすい。
は、図2に示すように、基板8上で熱応力を発生し、陰
極の膜厚が厚いほど大きな値を示す。特に、図2に示す
ように、パターン化された陰極であるITOなどのエッ
ジ部で強く作用し、この陰極の段差部付近にある有機層
1aは、強い影響を受ける。この熱応力によって、有機
EL素子作製後には、陽極と陰極が不完全に接触したシ
ョートやリーク電流などの異常電流が発生しやすい。
【0012】本発明の有機EL素子は、陰極と陽極との
間に1層以上の有機層を有する有機EL素子において、
有機層の厚さが2000Å未満であり、かつ、陰極の厚
さL[Å]が下記の式で示される条件を満たすものであ
る。 400[Å]≦L≦n×0.8[Å] (ただし、nは、有機層の厚さを示す。) このような有機EL素子では、有機層は、厚さが200
0Å未満であるので、陰極成膜時の輻射熱ならびに熱応
力による陰極材料拡散の影響をほとんど受けない。した
がって、本発明の有機EL素子では、陰極材料にもよる
が基板上で最大20℃程度の上昇のみとなる。また、有
機層の厚さが2000Å未満であり、かつ、前記陰極の
厚さL[Å]が上記の式で示される条件を満たすもので
あるので、配線の断線などの影響を受けにくく、金属成
膜時の熱応力による有機層への影響が小さいものとな
る。
間に1層以上の有機層を有する有機EL素子において、
有機層の厚さが2000Å未満であり、かつ、陰極の厚
さL[Å]が下記の式で示される条件を満たすものであ
る。 400[Å]≦L≦n×0.8[Å] (ただし、nは、有機層の厚さを示す。) このような有機EL素子では、有機層は、厚さが200
0Å未満であるので、陰極成膜時の輻射熱ならびに熱応
力による陰極材料拡散の影響をほとんど受けない。した
がって、本発明の有機EL素子では、陰極材料にもよる
が基板上で最大20℃程度の上昇のみとなる。また、有
機層の厚さが2000Å未満であり、かつ、前記陰極の
厚さL[Å]が上記の式で示される条件を満たすもので
あるので、配線の断線などの影響を受けにくく、金属成
膜時の熱応力による有機層への影響が小さいものとな
る。
【0013】また、本発明の有機EL素子は、陰極と陽
極との間に1層以上の有機層を有する有機EL素子にお
いて、有機層の厚さが2000Å以上であり、かつ、陰
極の厚さL[Å]が下記の式で示される条件を満たすも
のである。 400[Å]≦L≦n×3[Å] (ただし、nは、有機層の厚さを示す。) このような有機EL素子では、有機層の厚さが2000
Å以上であるので、陰極成膜時の熱応力に強いものとな
る。また、有機層の厚さが2000Å以上であり、か
つ、陰極の厚さL[Å]が上記の式で示される条件を満
たすものであるので、配線の断線などの影響を受けにく
く、金属成膜時の熱応力による有機層への影響が小さい
ものとなる。
極との間に1層以上の有機層を有する有機EL素子にお
いて、有機層の厚さが2000Å以上であり、かつ、陰
極の厚さL[Å]が下記の式で示される条件を満たすも
のである。 400[Å]≦L≦n×3[Å] (ただし、nは、有機層の厚さを示す。) このような有機EL素子では、有機層の厚さが2000
Å以上であるので、陰極成膜時の熱応力に強いものとな
る。また、有機層の厚さが2000Å以上であり、か
つ、陰極の厚さL[Å]が上記の式で示される条件を満
たすものであるので、配線の断線などの影響を受けにく
く、金属成膜時の熱応力による有機層への影響が小さい
ものとなる。
【0014】このように、本発明の有機EL素子は、有
機層の厚さと陰極の厚さとを上記の条件を満たすものと
したので、陰極成膜時に発生する輻射熱と熱応力が有機
層にダメージを与えることがないものとなり、リーク電
流やショートの発生を低減することができる。このこと
より、これを用いて単純マトリクス型の表示装置を作製
した場合に、非選択画素の点灯を防ぐことができ、コン
トラスト向上に繋がる。
機層の厚さと陰極の厚さとを上記の条件を満たすものと
したので、陰極成膜時に発生する輻射熱と熱応力が有機
層にダメージを与えることがないものとなり、リーク電
流やショートの発生を低減することができる。このこと
より、これを用いて単純マトリクス型の表示装置を作製
した場合に、非選択画素の点灯を防ぐことができ、コン
トラスト向上に繋がる。
【0015】
【発明の実施の形態】本発明に係る有機EL素子は、陰
極と陽極との間に1層以上の有機層を有する有機EL素
子であり、例えば、以下の構造等を挙げることができ
る。 (1)陽極/発光層/陰極 (2)陽極/正孔輸送層/発光層/陰極 (3)陽極/正孔注入層/発光層/陰極 (4)陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/陰極 (5)陽極/発光層/電子輸送層/陰極 (6)陽極/正孔注入層/発光層/電子輸送層/陰極 (7)陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子輸
送層/陰極 また、(1)〜(7)の構造において、それぞれの層
は、1層からなるものとしてもよいし、2以上の層から
なる混合層としてもよい。さらに、各有機層の界面に別
の有機層が挿入されていてもよい。
極と陽極との間に1層以上の有機層を有する有機EL素
子であり、例えば、以下の構造等を挙げることができ
る。 (1)陽極/発光層/陰極 (2)陽極/正孔輸送層/発光層/陰極 (3)陽極/正孔注入層/発光層/陰極 (4)陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/陰極 (5)陽極/発光層/電子輸送層/陰極 (6)陽極/正孔注入層/発光層/電子輸送層/陰極 (7)陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子輸
送層/陰極 また、(1)〜(7)の構造において、それぞれの層
は、1層からなるものとしてもよいし、2以上の層から
なる混合層としてもよい。さらに、各有機層の界面に別
の有機層が挿入されていてもよい。
【0016】本発明に係る有機EL素子に用いられる正
孔輸送層を形成する材料としては、特に限定されず、従
来から正孔輸送材料として使用されている化合物もしく
は新規化合物などが使用可能である。例えば、ビス−
(ジ(p−トリル)アミノフェニル)−1、1−シクロ
ヘキサン、N、N’−ジフェニル−N,N’−ビス(3
−メチルフェニル)−1、1’−ビフェニル−4、4’
−ジアミン、N、N’−ジフェニル−N、N’−ビス
(1−ナフチル)−(1、1’−ビフェニル)−4、
4’−ジアミンなどが挙げられる。
孔輸送層を形成する材料としては、特に限定されず、従
来から正孔輸送材料として使用されている化合物もしく
は新規化合物などが使用可能である。例えば、ビス−
(ジ(p−トリル)アミノフェニル)−1、1−シクロ
ヘキサン、N、N’−ジフェニル−N,N’−ビス(3
−メチルフェニル)−1、1’−ビフェニル−4、4’
−ジアミン、N、N’−ジフェニル−N、N’−ビス
(1−ナフチル)−(1、1’−ビフェニル)−4、
4’−ジアミンなどが挙げられる。
【0017】また、発光層を形成する材料としては、主
に以前から発光体として知られていたアントラセンやピ
レン、トリス(8−キノリノラト)アルミニウム錯体及
びその誘導体の他、ビススチリルアントラセン誘導体、
テトラフェニルブタジエン誘導体、クマリン誘導体オキ
サジアゾール誘導体、ジスチリルベンゼン誘導体、ピロ
ロピリジン誘導体、ペリノン誘導体、シクロペンタジエ
ン誘導体、オキサゾール誘導体、チアジアゾロピリジン
誘導体、ペリノン誘導体などが使用される。また、ポリ
マー系では、ポリフェニレンビニレン誘導体、ポリパラ
フェニレン誘導体、ポリチオフェン誘導体などを使用す
ることができる。さらに、発光層中に、発光効率を向上
させたり、発光寿命を延ばす目的で、微量の不純物を意
図的に混入させてもよい。具体的には、ルブレン、キナ
クリドン誘導体、フェノキサゾン660、ジシアノメチ
レンスチリルピラン誘導体、ペリノン、ペリレン、クマ
リン誘導体、ジメチルアミノピラジンカルボニトリル、
ピラジンジカルボニトリル誘導体、Nile Red、
ローダミン誘導体などから選択される。
に以前から発光体として知られていたアントラセンやピ
レン、トリス(8−キノリノラト)アルミニウム錯体及
びその誘導体の他、ビススチリルアントラセン誘導体、
テトラフェニルブタジエン誘導体、クマリン誘導体オキ
サジアゾール誘導体、ジスチリルベンゼン誘導体、ピロ
ロピリジン誘導体、ペリノン誘導体、シクロペンタジエ
ン誘導体、オキサゾール誘導体、チアジアゾロピリジン
誘導体、ペリノン誘導体などが使用される。また、ポリ
マー系では、ポリフェニレンビニレン誘導体、ポリパラ
フェニレン誘導体、ポリチオフェン誘導体などを使用す
ることができる。さらに、発光層中に、発光効率を向上
させたり、発光寿命を延ばす目的で、微量の不純物を意
図的に混入させてもよい。具体的には、ルブレン、キナ
クリドン誘導体、フェノキサゾン660、ジシアノメチ
レンスチリルピラン誘導体、ペリノン、ペリレン、クマ
リン誘導体、ジメチルアミノピラジンカルボニトリル、
ピラジンジカルボニトリル誘導体、Nile Red、
ローダミン誘導体などから選択される。
【0018】電子輸送層は、陰極から注入された電子を
効率よく輸送する必要がある。そのためには、電子移動
度、電子親和力が大きく、成膜性に優れた材料が使用さ
れる。このような条件を満たす材料としては、トリス
(8−キノリノラト)アルミニウム錯体などのオキシン
錯体、ペリレン誘導体、ペリノン誘導体、ナフタレン誘
導体、クマリン誘導体、オキサジアゾール誘導体、フェ
ナントロリン誘導体などを挙げることができる。
効率よく輸送する必要がある。そのためには、電子移動
度、電子親和力が大きく、成膜性に優れた材料が使用さ
れる。このような条件を満たす材料としては、トリス
(8−キノリノラト)アルミニウム錯体などのオキシン
錯体、ペリレン誘導体、ペリノン誘導体、ナフタレン誘
導体、クマリン誘導体、オキサジアゾール誘導体、フェ
ナントロリン誘導体などを挙げることができる。
【0019】上記の有機層を形成する材料からなる薄膜
の形成は、主に真空蒸着法によって行われるが、電子ビ
ーム蒸着、スパッタリング、分子積層法、溶媒からのコ
ーティングも可能である。コーティングの場合には、ポ
リ塩化ビニル、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリ
(Nービニルカルバゾール)、ポリメチルメタクリレー
ト、ポリブチルメタクリレート、ノルボルネン誘導体の
開環重合体、ポリエステル、ポリスルホン、ポリフェニ
レンオキシド、ポリブタジエン、炭化水素樹脂、ケトン
樹脂、フェノキシ樹脂、ポリアミド、エチルセルロー
ス、ABS樹脂、フェノール樹脂、シリコーン樹脂、エ
ポキシ樹脂などとともに溶媒に溶解または分散させてコ
ーティングすることも可能である。
の形成は、主に真空蒸着法によって行われるが、電子ビ
ーム蒸着、スパッタリング、分子積層法、溶媒からのコ
ーティングも可能である。コーティングの場合には、ポ
リ塩化ビニル、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリ
(Nービニルカルバゾール)、ポリメチルメタクリレー
ト、ポリブチルメタクリレート、ノルボルネン誘導体の
開環重合体、ポリエステル、ポリスルホン、ポリフェニ
レンオキシド、ポリブタジエン、炭化水素樹脂、ケトン
樹脂、フェノキシ樹脂、ポリアミド、エチルセルロー
ス、ABS樹脂、フェノール樹脂、シリコーン樹脂、エ
ポキシ樹脂などとともに溶媒に溶解または分散させてコ
ーティングすることも可能である。
【0020】陽極を形成する材料としては、光を取り出
すために透明である必要があり、例えば、酸化錫、酸化
インジウム、酸化錫インジウム(ITO)などの導電性
金属酸化物、あるいは、金、銀、クロム、アルミニウム
などの金属、そして、これらの金属とITOとの積層
物、ヨウ化銅、硫化銅などの無機導電性物質、ポリチオ
フェン、ポリピロール、ポリアニリン、ポリフェニレン
ビニレン、ポリフェニレン、ポリエチレンまたはドーピ
ング処理を施したこれらの導電性ポリマ、そして、これ
ら導電性ポリマとITOとの積層物などを用いることが
でき、特に限定されるものではないが、ITOガラスや
ネサガラスを用いることが特に望ましい。また、陽極の
抵抗は、有機EL素子の発光に十分な電流が供給できれ
ば良いので、特別に限定されないが、素子の消費電力の
観点からは、低抵抗であるあることが望ましい。
すために透明である必要があり、例えば、酸化錫、酸化
インジウム、酸化錫インジウム(ITO)などの導電性
金属酸化物、あるいは、金、銀、クロム、アルミニウム
などの金属、そして、これらの金属とITOとの積層
物、ヨウ化銅、硫化銅などの無機導電性物質、ポリチオ
フェン、ポリピロール、ポリアニリン、ポリフェニレン
ビニレン、ポリフェニレン、ポリエチレンまたはドーピ
ング処理を施したこれらの導電性ポリマ、そして、これ
ら導電性ポリマとITOとの積層物などを用いることが
でき、特に限定されるものではないが、ITOガラスや
ネサガラスを用いることが特に望ましい。また、陽極の
抵抗は、有機EL素子の発光に十分な電流が供給できれ
ば良いので、特別に限定されないが、素子の消費電力の
観点からは、低抵抗であるあることが望ましい。
【0021】陰極は、効率よく電子を発光層に伝達でき
る物質に供給させなくてはならないので、電極と隣接す
る物質との密着性、イオン化ポテンシャルの調整などが
必要になってくる。また、長期間の使用に対して安定な
性能を維持するために、大気中でも比較的安定な材料を
使用することが望ましいが、保護膜や適切な封止も可能
であることから、これに限定されるものではない。陰極
を形成する材料としては、具体的には、インジウム、
金、銀、アルミニウム、鉛、マグネシウムなどの金属や
希土類単体、アルカリ金属、あるいはこれらの合金など
を使用することができる。
る物質に供給させなくてはならないので、電極と隣接す
る物質との密着性、イオン化ポテンシャルの調整などが
必要になってくる。また、長期間の使用に対して安定な
性能を維持するために、大気中でも比較的安定な材料を
使用することが望ましいが、保護膜や適切な封止も可能
であることから、これに限定されるものではない。陰極
を形成する材料としては、具体的には、インジウム、
金、銀、アルミニウム、鉛、マグネシウムなどの金属や
希土類単体、アルカリ金属、あるいはこれらの合金など
を使用することができる。
【0022】このような有機EL素子において、陰極の
成膜時に発生する輻射熱と熱応力は、陰極の膜厚で変化
し、また、有機層の輻射熱や熱応力に対する耐性は、有
機層の膜厚で変化する。すなわち、陰極の成膜時に発生
する輻射熱と熱応力は、陰極の膜厚が厚くなるのに伴っ
て大きくなる。また、有機層の膜厚は、2000Å未満
であると、陰極の成膜時に発生する輻射熱と熱応力によ
る陰極材料拡散の影響を受けにくく、2000Å以上で
あると、陰極の成膜時に発生する熱応力に強い。
成膜時に発生する輻射熱と熱応力は、陰極の膜厚で変化
し、また、有機層の輻射熱や熱応力に対する耐性は、有
機層の膜厚で変化する。すなわち、陰極の成膜時に発生
する輻射熱と熱応力は、陰極の膜厚が厚くなるのに伴っ
て大きくなる。また、有機層の膜厚は、2000Å未満
であると、陰極の成膜時に発生する輻射熱と熱応力によ
る陰極材料拡散の影響を受けにくく、2000Å以上で
あると、陰極の成膜時に発生する熱応力に強い。
【0023】有機膜の膜厚を、陰極材料拡散の影響を受
けにくい2000Å未満とした場合、陰極の膜厚L
[Å]は、400[Å]≦L≦n×0.8[Å](ただ
し、nは、有機層の厚さを示す。)で示される式の条件
を満たす範囲とされる。陰極の膜厚L[Å]が400
[Å]未満であると、配線の断線の影響を受けやすくな
るため好ましくない。一方、n×0.8[Å]を越える
膜厚L[Å]とした場合、金属成膜時の熱応力による有
機層への影響が大きくなり、異常電流が発生しやすくな
るため好ましくない。
けにくい2000Å未満とした場合、陰極の膜厚L
[Å]は、400[Å]≦L≦n×0.8[Å](ただ
し、nは、有機層の厚さを示す。)で示される式の条件
を満たす範囲とされる。陰極の膜厚L[Å]が400
[Å]未満であると、配線の断線の影響を受けやすくな
るため好ましくない。一方、n×0.8[Å]を越える
膜厚L[Å]とした場合、金属成膜時の熱応力による有
機層への影響が大きくなり、異常電流が発生しやすくな
るため好ましくない。
【0024】このような有機EL素子においては、有機
膜の膜厚を2000Å未満とし、陰極の膜厚L[Å]を
400[Å]≦L≦n×0.8[Å](ただし、nは、
有機層の厚さを示す。)とした場合、陰極成膜時に発生
する輻射熱と熱応力が有機層にダメージを与えることが
ないものとなり、リーク電流やショートの発生を低減す
ることができる。
膜の膜厚を2000Å未満とし、陰極の膜厚L[Å]を
400[Å]≦L≦n×0.8[Å](ただし、nは、
有機層の厚さを示す。)とした場合、陰極成膜時に発生
する輻射熱と熱応力が有機層にダメージを与えることが
ないものとなり、リーク電流やショートの発生を低減す
ることができる。
【0025】また、有機膜の膜厚を、熱応力に強い20
00Å以上とした場合、陰極の膜厚L[Å]は、400
[Å]≦L≦n×3[Å](ただし、nは、有機層の厚
さを示す。)で示される式の条件を満たす範囲とされ
る。陰極の膜厚L[Å]が400[Å]未満であると、
配線の断線の影響を受けやすくなるため好ましくない。
一方、n×3[Å]を越える膜厚L[Å]とした場合、
金属成膜時の熱応力による有機層への影響が大きくな
り、異常電流が発生しやすくなるため好ましくない。
00Å以上とした場合、陰極の膜厚L[Å]は、400
[Å]≦L≦n×3[Å](ただし、nは、有機層の厚
さを示す。)で示される式の条件を満たす範囲とされ
る。陰極の膜厚L[Å]が400[Å]未満であると、
配線の断線の影響を受けやすくなるため好ましくない。
一方、n×3[Å]を越える膜厚L[Å]とした場合、
金属成膜時の熱応力による有機層への影響が大きくな
り、異常電流が発生しやすくなるため好ましくない。
【0026】このような有機EL有機EL素子において
は、有機膜の膜厚を2000Å以上とし、陰極の膜厚L
[Å]を400[Å]≦L≦n×3[Å](ただし、n
は、有機層の厚さを示す。)とした場合、陰極成膜時に
発生する輻射熱と熱応力が有機層にダメージを与えるこ
とがないものとなり、リーク電流やショートの発生を低
減することができる。
は、有機膜の膜厚を2000Å以上とし、陰極の膜厚L
[Å]を400[Å]≦L≦n×3[Å](ただし、n
は、有機層の厚さを示す。)とした場合、陰極成膜時に
発生する輻射熱と熱応力が有機層にダメージを与えるこ
とがないものとなり、リーク電流やショートの発生を低
減することができる。
【0027】次に、実施例を示して本発明を詳しく説明
する。 (実施例1)透明ガラス基板上にITOを1000Åと
なるようにスパッタ法により成膜した。この時のシート
抵抗は10Ω/Åであった。次に、所定のパターンとな
るようにITOをエッチングし、ITOパターン付きガ
ラスを用意した。この基板を純水、IPAで洗浄したあ
と、UVオゾン洗浄を行い、表面を十分に洗浄した。
する。 (実施例1)透明ガラス基板上にITOを1000Åと
なるようにスパッタ法により成膜した。この時のシート
抵抗は10Ω/Åであった。次に、所定のパターンとな
るようにITOをエッチングし、ITOパターン付きガ
ラスを用意した。この基板を純水、IPAで洗浄したあ
と、UVオゾン洗浄を行い、表面を十分に洗浄した。
【0028】次に、正孔輸送層材料として、α−NPD
(N、N’−ジフェニル−N、N’−ビス(1−ナフチ
ル)−(1,1’−ビフェニル)−4,4’−ジアミ
ン)をモリブデン製のボートに100mg、また、発光
層材料としてAlq3(トリス(8−キノリノラト)ア
ルミニウム錯体)をモリブデン製のボートに100mg
それぞれ別々に容易し、別の蒸発源となるように真空蒸
着装置内にセットした。先に用意した基板を同一の真空
蒸着装置内にセットした後、装置内を2×10-4Paの
真空度となるまで排気し、到達した時点でα−NPDが
入ったボートを加熱していった。α−NPDが蒸発速度
3Å/secの一定速度になるまで温度をコントロール
した後、上部に設けられたシャッターを開放し、成膜を
開始し、500Å成膜した時点でシャッターを閉じ蒸着
を終了した。同様の要領でAlq3を成膜速度3Å/s
ec、膜厚550Å成膜し、有機層形成を終了した。こ
の時の有機層の総厚を光学式膜厚計で測定すると110
0Åであった。
(N、N’−ジフェニル−N、N’−ビス(1−ナフチ
ル)−(1,1’−ビフェニル)−4,4’−ジアミ
ン)をモリブデン製のボートに100mg、また、発光
層材料としてAlq3(トリス(8−キノリノラト)ア
ルミニウム錯体)をモリブデン製のボートに100mg
それぞれ別々に容易し、別の蒸発源となるように真空蒸
着装置内にセットした。先に用意した基板を同一の真空
蒸着装置内にセットした後、装置内を2×10-4Paの
真空度となるまで排気し、到達した時点でα−NPDが
入ったボートを加熱していった。α−NPDが蒸発速度
3Å/secの一定速度になるまで温度をコントロール
した後、上部に設けられたシャッターを開放し、成膜を
開始し、500Å成膜した時点でシャッターを閉じ蒸着
を終了した。同様の要領でAlq3を成膜速度3Å/s
ec、膜厚550Å成膜し、有機層形成を終了した。こ
の時の有機層の総厚を光学式膜厚計で測定すると110
0Åであった。
【0029】次にこの有機層が成膜された基板を再度真
空槽内にセットし、先ほど成膜した有機成膜用ボートを
取り除き、代わりにアルミニウムをタングステン製ボー
トに1g入れ再度真空槽内を排気した。4×10-4Pa
まで排気した時点でボートを加熱していき蒸発速度4Å
/secとなるよう温度を調節した。安定したところで
上部に設置されているシャッターを開放し、600Åの
膜厚となったところで成膜を完了し、ITO/α−NP
D/Alq3/Alの構造をもちかつ、400Å≦L≦
0.8n(n=1100)の関係式を満たすAlの膜厚
(=600Å)の有機EL素子を作製した。
空槽内にセットし、先ほど成膜した有機成膜用ボートを
取り除き、代わりにアルミニウムをタングステン製ボー
トに1g入れ再度真空槽内を排気した。4×10-4Pa
まで排気した時点でボートを加熱していき蒸発速度4Å
/secとなるよう温度を調節した。安定したところで
上部に設置されているシャッターを開放し、600Åの
膜厚となったところで成膜を完了し、ITO/α−NP
D/Alq3/Alの構造をもちかつ、400Å≦L≦
0.8n(n=1100)の関係式を満たすAlの膜厚
(=600Å)の有機EL素子を作製した。
【0030】この有機EL素子にITOを陽極、アルミ
ニウムを陰極として15Vの電圧を印加すると2000
μAの電流が流れた。また、ITOを陰極、アルミニウ
ムを陽極として15Vの電圧を印加すると200pAの
電流が流れほとんどリーク電流は認められなかった。こ
の15V印加時の整流比を計算すると1×107であっ
た。
ニウムを陰極として15Vの電圧を印加すると2000
μAの電流が流れた。また、ITOを陰極、アルミニウ
ムを陽極として15Vの電圧を印加すると200pAの
電流が流れほとんどリーク電流は認められなかった。こ
の15V印加時の整流比を計算すると1×107であっ
た。
【0031】(実施例2)透明ガラス基板上にITOを
1000Åとなるようにスパッタ法により成膜した。こ
の時のシート抵抗は10Ω/Åであった。次に、所定の
パターンとなるようにITOをエッチングし、ITOパ
ターン付きガラスを用意した。この基板を純水、IPA
で洗浄したあと、UVオゾン洗浄を行い、表面を十分に
洗浄した。
1000Åとなるようにスパッタ法により成膜した。こ
の時のシート抵抗は10Ω/Åであった。次に、所定の
パターンとなるようにITOをエッチングし、ITOパ
ターン付きガラスを用意した。この基板を純水、IPA
で洗浄したあと、UVオゾン洗浄を行い、表面を十分に
洗浄した。
【0032】次に、正孔輸送層材料として、α−NPD
(N、N’−ジフェニル−N、N’−ビス(1−ナフチ
ル)−(1,1’−ビフェニル)−4,4’−ジアミ
ン)、正孔注入材料として銅フタロシアニンをそれぞれ
別のモリブデン製のボートに100mg、また、発光層
材料としてAlq3(トリス(8−キノリノラト)アル
ミニウム錯体)をモリブデン製のボートに100mg用
意し、別の蒸発源となるように真空蒸着装置内にセット
した。先に用意した基板を同一の真空蒸着装置内にセッ
トした後、装置内を2×10-4Paの真空度となるまで
排気し、到達した時点で銅フタロシアニンが入ったボー
トを加熱していった。銅フタロシアニンが蒸発速度3Å
/secの一定速度になるまで温度をコントロールした
後、上部に設けられたシャッターを開放し、成膜を開始
し、300Å成膜した時点でシャッターを閉じ蒸着を終
了した。同様の要領でα−NPDを成膜速度3Å/se
c、膜厚550Å成膜し、最後にAlq3が入ったボー
トを加熱することによって蒸発速度3Å/sec、70
0Åの膜厚を形成し有機層全体の形成を終了した。この
時の有機層の総厚を光学式膜厚計で測定すると基板の中
心部で1600Åであった。
(N、N’−ジフェニル−N、N’−ビス(1−ナフチ
ル)−(1,1’−ビフェニル)−4,4’−ジアミ
ン)、正孔注入材料として銅フタロシアニンをそれぞれ
別のモリブデン製のボートに100mg、また、発光層
材料としてAlq3(トリス(8−キノリノラト)アル
ミニウム錯体)をモリブデン製のボートに100mg用
意し、別の蒸発源となるように真空蒸着装置内にセット
した。先に用意した基板を同一の真空蒸着装置内にセッ
トした後、装置内を2×10-4Paの真空度となるまで
排気し、到達した時点で銅フタロシアニンが入ったボー
トを加熱していった。銅フタロシアニンが蒸発速度3Å
/secの一定速度になるまで温度をコントロールした
後、上部に設けられたシャッターを開放し、成膜を開始
し、300Å成膜した時点でシャッターを閉じ蒸着を終
了した。同様の要領でα−NPDを成膜速度3Å/se
c、膜厚550Å成膜し、最後にAlq3が入ったボー
トを加熱することによって蒸発速度3Å/sec、70
0Åの膜厚を形成し有機層全体の形成を終了した。この
時の有機層の総厚を光学式膜厚計で測定すると基板の中
心部で1600Åであった。
【0033】次にこの有機層が成膜された基板を再度真
空槽内にセットし、先ほど成膜した有機成膜用ボートを
取り除き、代わりにアルミニウムをタングステン製ボー
トに1g入れ再度真空槽内を排気した。4×10-4Pa
まで排気した時点でボートを加熱していき蒸発速度4Å
/secとなるよう温度を調節した。安定したところで
上部に設置されているシャッターを開放し、1000Å
の膜厚となったところで成膜を完了し、ITO/銅フタ
ロシアニン/α−NPD/Alq3/Alの構造をもち
かつ、400Å≦L≦0.8n(n=1600)の関係
式を満たすAlの膜厚(=1000Å)の有機EL素子
を作製した。
空槽内にセットし、先ほど成膜した有機成膜用ボートを
取り除き、代わりにアルミニウムをタングステン製ボー
トに1g入れ再度真空槽内を排気した。4×10-4Pa
まで排気した時点でボートを加熱していき蒸発速度4Å
/secとなるよう温度を調節した。安定したところで
上部に設置されているシャッターを開放し、1000Å
の膜厚となったところで成膜を完了し、ITO/銅フタ
ロシアニン/α−NPD/Alq3/Alの構造をもち
かつ、400Å≦L≦0.8n(n=1600)の関係
式を満たすAlの膜厚(=1000Å)の有機EL素子
を作製した。
【0034】この有機EL素子にITOを陽極、アルミ
ニウムを陰極として15Vの電圧を印加すると1800
μAの電流が流れた。また、ITOを陰極、アルミニウ
ムを陽極として15Vの電圧を印加すると100pAの
電流が流れほとんどリーク電流は認められなかった。こ
の15V印加時の整流比を計算すると1.8×107で
あった。
ニウムを陰極として15Vの電圧を印加すると1800
μAの電流が流れた。また、ITOを陰極、アルミニウ
ムを陽極として15Vの電圧を印加すると100pAの
電流が流れほとんどリーク電流は認められなかった。こ
の15V印加時の整流比を計算すると1.8×107で
あった。
【0035】(実施例3)透明ガラス基板上にITOを
1000Åとなるようにスパッタ法により成膜した。こ
の時のシート抵抗は10Ω/Åであった。次に、所定の
パターンとなるようにITOをエッチングし、ITOパ
ターン付きガラスを用意した。この基板を純水、IPA
で洗浄したあと、UVオゾン洗浄を行い、表面を十分に
洗浄した。
1000Åとなるようにスパッタ法により成膜した。こ
の時のシート抵抗は10Ω/Åであった。次に、所定の
パターンとなるようにITOをエッチングし、ITOパ
ターン付きガラスを用意した。この基板を純水、IPA
で洗浄したあと、UVオゾン洗浄を行い、表面を十分に
洗浄した。
【0036】次に、正孔輸送層材料として、α−NPD
(N、N’−ジフェニル−N、N’−ビス(1−ナフチ
ル)−(1,1’−ビフェニル)−4,4’−ジアミ
ン)をモリブデン製のボートに100mg、また、発光
層材料としてAlq3(トリス(8−キノリノラト)ア
ルミニウム錯体)をモリブデン製のボートに100mg
それぞれ別々に容易し、別の蒸発源となるように真空蒸
着装置内にセットした。先に用意した基板を同一の真空
蒸着装置内にセットした後、装置内を2×10-4Paの
真空度となるまで排気し、到達した時点でα−NPDが
入ったボートを加熱していった。α−NPDが蒸発速度
3Å/secの一定速度になるまで温度をコントロール
した後、上部に設けられたシャッターを開放し、成膜を
開始し、500Å成膜した時点でシャッターを閉じ蒸着
を終了した。同様の要領でAlq3を成膜速度3Å/s
ec、膜厚550Å成膜し、有機層形成を終了した。こ
の時の有機層の総厚を光学式膜厚計で測定すると110
0Åであった。
(N、N’−ジフェニル−N、N’−ビス(1−ナフチ
ル)−(1,1’−ビフェニル)−4,4’−ジアミ
ン)をモリブデン製のボートに100mg、また、発光
層材料としてAlq3(トリス(8−キノリノラト)ア
ルミニウム錯体)をモリブデン製のボートに100mg
それぞれ別々に容易し、別の蒸発源となるように真空蒸
着装置内にセットした。先に用意した基板を同一の真空
蒸着装置内にセットした後、装置内を2×10-4Paの
真空度となるまで排気し、到達した時点でα−NPDが
入ったボートを加熱していった。α−NPDが蒸発速度
3Å/secの一定速度になるまで温度をコントロール
した後、上部に設けられたシャッターを開放し、成膜を
開始し、500Å成膜した時点でシャッターを閉じ蒸着
を終了した。同様の要領でAlq3を成膜速度3Å/s
ec、膜厚550Å成膜し、有機層形成を終了した。こ
の時の有機層の総厚を光学式膜厚計で測定すると110
0Åであった。
【0037】次にこの有機層が成膜された基板を再度真
空槽内にセットし、先ほど成膜した有機成膜用ボートを
取り除き、代わりにインジウムをタングステン製ボート
に1g入れ再度真空槽内を排気した。4×10-4Paま
で排気した時点でボートを加熱していき蒸発速度4Å/
secとなるよう温度を調節した。安定したところで上
部に設置されているシャッターを開放し、600Åの膜
厚となったところで成膜を完了し、ITO/α−NPD
/Alq3/Inの構造をもち、かつ、400Å≦L≦
0.8n(n=1100)の関係式を満たすInの膜厚
(=600Å)の有機EL素子を作製した。
空槽内にセットし、先ほど成膜した有機成膜用ボートを
取り除き、代わりにインジウムをタングステン製ボート
に1g入れ再度真空槽内を排気した。4×10-4Paま
で排気した時点でボートを加熱していき蒸発速度4Å/
secとなるよう温度を調節した。安定したところで上
部に設置されているシャッターを開放し、600Åの膜
厚となったところで成膜を完了し、ITO/α−NPD
/Alq3/Inの構造をもち、かつ、400Å≦L≦
0.8n(n=1100)の関係式を満たすInの膜厚
(=600Å)の有機EL素子を作製した。
【0038】この有機EL素子にITOを陽極、インジ
ウムを陰極として15Vの電圧を印加すると700μA
の電流が流れた。また、ITOを陰極、インジウムを陽
極として15Vの電圧を印加すると300pAの電流が
流れほとんどリーク電流は認められなかった。この15
V印加時の整流比を計算すると2.3×106であっ
た。
ウムを陰極として15Vの電圧を印加すると700μA
の電流が流れた。また、ITOを陰極、インジウムを陽
極として15Vの電圧を印加すると300pAの電流が
流れほとんどリーク電流は認められなかった。この15
V印加時の整流比を計算すると2.3×106であっ
た。
【0039】(実施例4)透明ガラス基板上にITOを
1000Åとなるようにスパッタ法により成膜した。こ
の時のシート抵抗は10Ω/Åであった。次に、所定の
パターンとなるようにITOをエッチングし、ITOパ
ターン付きガラスを用意した。この基板を純水、IPA
で洗浄したあと、UVオゾン洗浄を行い、表面を十分に
洗浄した。
1000Åとなるようにスパッタ法により成膜した。こ
の時のシート抵抗は10Ω/Åであった。次に、所定の
パターンとなるようにITOをエッチングし、ITOパ
ターン付きガラスを用意した。この基板を純水、IPA
で洗浄したあと、UVオゾン洗浄を行い、表面を十分に
洗浄した。
【0040】次に、正孔輸送層材料として、α−NPD
(N、N’−ジフェニル−N、N’−ビス(1−ナフチ
ル)−(1,1’−ビフェニル)−4,4’−ジアミ
ン)をモリブデン製のボートに100mg、また、発光
層材料としてAlq3(トリス(8−キノリノラト)ア
ルミニウム錯体)をモリブデン製のボートに100mg
それぞれ別々に容易し、別の蒸発源となるように真空蒸
着装置内にセットした。先に用意した基板を同一の真空
蒸着装置内にセットした後、装置内を2×10-4Paの
真空度となるまで排気し、到達した時点でα−NPDが
入ったボートを加熱していった。α−NPDが蒸発速度
3Å/secの一定速度になるまで温度をコントロール
した後、上部に設けられたシャッターを開放し、成膜を
開始し、500Å成膜した時点でシャッターを閉じ蒸着
を終了した。同様の要領でAlq3を成膜速度3Å/s
ec、膜厚550Å成膜し、有機層形成を終了した。こ
の時の有機層の総厚を光学式膜厚計で測定すると110
0Åであった。
(N、N’−ジフェニル−N、N’−ビス(1−ナフチ
ル)−(1,1’−ビフェニル)−4,4’−ジアミ
ン)をモリブデン製のボートに100mg、また、発光
層材料としてAlq3(トリス(8−キノリノラト)ア
ルミニウム錯体)をモリブデン製のボートに100mg
それぞれ別々に容易し、別の蒸発源となるように真空蒸
着装置内にセットした。先に用意した基板を同一の真空
蒸着装置内にセットした後、装置内を2×10-4Paの
真空度となるまで排気し、到達した時点でα−NPDが
入ったボートを加熱していった。α−NPDが蒸発速度
3Å/secの一定速度になるまで温度をコントロール
した後、上部に設けられたシャッターを開放し、成膜を
開始し、500Å成膜した時点でシャッターを閉じ蒸着
を終了した。同様の要領でAlq3を成膜速度3Å/s
ec、膜厚550Å成膜し、有機層形成を終了した。こ
の時の有機層の総厚を光学式膜厚計で測定すると110
0Åであった。
【0041】次にこの有機層が成膜された基板を再度真
空槽内にセットし、先ほど成膜した有機成膜用ボートを
取り除き、代わりにアルミニウムをタングステン製ボー
トに1g入れ、また、別のボートにリチウムを1g入れ
再度真空槽内を排気した。4×10-4Paまで排気した
時点でボートを加熱していき蒸発速度4 /secとな
るよう温度を調節した。また、同時にリチウムが入った
ボートも加熱し、蒸発速度2Å/secで安定したとこ
ろで上部に設置されているシャッターを開放し共蒸着を
行った。600Åの膜厚となったところで成膜を完了
し、ITO/α−NPD/Alq3/AlLiの構造を
もちかつ、400Å≦L≦0.8n(n=1100)の
関係式を満たすInの膜厚(=600Å)の有機EL素
子を作製した。
空槽内にセットし、先ほど成膜した有機成膜用ボートを
取り除き、代わりにアルミニウムをタングステン製ボー
トに1g入れ、また、別のボートにリチウムを1g入れ
再度真空槽内を排気した。4×10-4Paまで排気した
時点でボートを加熱していき蒸発速度4 /secとな
るよう温度を調節した。また、同時にリチウムが入った
ボートも加熱し、蒸発速度2Å/secで安定したとこ
ろで上部に設置されているシャッターを開放し共蒸着を
行った。600Åの膜厚となったところで成膜を完了
し、ITO/α−NPD/Alq3/AlLiの構造を
もちかつ、400Å≦L≦0.8n(n=1100)の
関係式を満たすInの膜厚(=600Å)の有機EL素
子を作製した。
【0042】この有機EL素子にITOを陽極、アルミ
ニウムリチウムを陰極として15Vの電圧を印加すると
2mAの電流が流れた。また、ITOを陰極、アルミニ
ウムリチウムを陽極として15Vの電圧を印加すると6
0pAの電流が流れほとんどリーク電流は認められなか
った。この15V印加時の整流比を計算すると3.3×
107であった。
ニウムリチウムを陰極として15Vの電圧を印加すると
2mAの電流が流れた。また、ITOを陰極、アルミニ
ウムリチウムを陽極として15Vの電圧を印加すると6
0pAの電流が流れほとんどリーク電流は認められなか
った。この15V印加時の整流比を計算すると3.3×
107であった。
【0043】(実施例5)透明ガラス基板上にITOを
1000Åとなるようにスパッタ法により成膜した。こ
の時のシート抵抗は10Ω/Åであった。次に、所定の
パターンとなるようにITOをエッチングし、ITOパ
ターン付きガラスを用意した。この基板を純水、IPA
で洗浄したあと、UVオゾン洗浄を行い、表面を十分に
洗浄した。
1000Åとなるようにスパッタ法により成膜した。こ
の時のシート抵抗は10Ω/Åであった。次に、所定の
パターンとなるようにITOをエッチングし、ITOパ
ターン付きガラスを用意した。この基板を純水、IPA
で洗浄したあと、UVオゾン洗浄を行い、表面を十分に
洗浄した。
【0044】次に、正孔輸送層材料として、α−NPD
(N、N’−ジフェニル−N、N’−ビス(1−ナフチ
ル)−(1,1’−ビフェニル)−4,4’−ジアミ
ン)をモリブデン製のボートに100mg、また、発光
層材料としてAlq3(トリス(8−キノリノラト)ア
ルミニウム錯体)をモリブデン製のボートに100mg
それぞれ別々に容易し、別の蒸発源となるように真空蒸
着装置内にセットした。先に用意した基板を同一の真空
蒸着装置内にセットした後、装置内を2×10-4Paの
真空度となるまで排気し、到達した時点でα−NPDが
入ったボートを加熱していった。α−NPDが蒸発速度
3Å/secの一定速度になるまで温度をコントロール
した後、上部に設けられたシャッターを開放し、成膜を
開始し、500Å成膜した時点でシャッターを閉じ蒸着
を終了した。同様の要領でAlq3を成膜速度3Å/s
ec、膜厚550Å成膜し、有機層形成を終了した。こ
の時の有機層の総厚を光学式膜厚計で測定すると110
0Åであった。
(N、N’−ジフェニル−N、N’−ビス(1−ナフチ
ル)−(1,1’−ビフェニル)−4,4’−ジアミ
ン)をモリブデン製のボートに100mg、また、発光
層材料としてAlq3(トリス(8−キノリノラト)ア
ルミニウム錯体)をモリブデン製のボートに100mg
それぞれ別々に容易し、別の蒸発源となるように真空蒸
着装置内にセットした。先に用意した基板を同一の真空
蒸着装置内にセットした後、装置内を2×10-4Paの
真空度となるまで排気し、到達した時点でα−NPDが
入ったボートを加熱していった。α−NPDが蒸発速度
3Å/secの一定速度になるまで温度をコントロール
した後、上部に設けられたシャッターを開放し、成膜を
開始し、500Å成膜した時点でシャッターを閉じ蒸着
を終了した。同様の要領でAlq3を成膜速度3Å/s
ec、膜厚550Å成膜し、有機層形成を終了した。こ
の時の有機層の総厚を光学式膜厚計で測定すると110
0Åであった。
【0045】次にこの有機層が成膜された基板を再度真
空槽内にセットし、先ほど成膜した有機成膜用ボートを
取り除き、代わりにマグネシウムをタングステン製ボー
トに1g入れ、また、別のボートに銀を1g入れ再度真
空槽内を排気した。4×10 -4Paまで排気した時点で
ボートを加熱していき蒸発速度7Å/secとなるよう
温度を調節した。また、同時にリチウムが入ったボート
も加熱し、蒸発速度4Å/secで安定したところで上
部に設置されているシャッターを開放し共蒸着を行っ
た。600Åの膜厚となったところで成膜を完了し、I
TO/α−NPD/Alq3/MgAgの構造をもちか
つ、400Å≦L≦0.8n(n=1100)の関係式
を満たすInの膜厚(=600Å)の有機EL素子を作
製した。
空槽内にセットし、先ほど成膜した有機成膜用ボートを
取り除き、代わりにマグネシウムをタングステン製ボー
トに1g入れ、また、別のボートに銀を1g入れ再度真
空槽内を排気した。4×10 -4Paまで排気した時点で
ボートを加熱していき蒸発速度7Å/secとなるよう
温度を調節した。また、同時にリチウムが入ったボート
も加熱し、蒸発速度4Å/secで安定したところで上
部に設置されているシャッターを開放し共蒸着を行っ
た。600Åの膜厚となったところで成膜を完了し、I
TO/α−NPD/Alq3/MgAgの構造をもちか
つ、400Å≦L≦0.8n(n=1100)の関係式
を満たすInの膜厚(=600Å)の有機EL素子を作
製した。
【0046】この有機EL素子にITOを陽極、マグネ
シウム銀を陰極として15Vの電圧を印加すると1mA
の電流が流れた。また、ITOを陰極、マグネシウム銀
を陽極として15Vの電圧を印加すると100pAの電
流が流れほとんどリーク電流は認められなかった。この
15V印加時の整流比を計算すると1.0×107であ
った。
シウム銀を陰極として15Vの電圧を印加すると1mA
の電流が流れた。また、ITOを陰極、マグネシウム銀
を陽極として15Vの電圧を印加すると100pAの電
流が流れほとんどリーク電流は認められなかった。この
15V印加時の整流比を計算すると1.0×107であ
った。
【0047】(実施例6)α−NPDの膜厚を800Å
とし、Alq3の膜厚を1000Åとし、さらにアルミ
ニウムの膜厚を1300Åとした以外は実施例1と同様
の方法により有機EL素子を作製した。この有機EL素
子にITOを陽極、アルミニウムを陰極として15Vの
電圧を印加すると200μAの電流が流れた。また、I
TOを陰極、アルミニウムを陽極として15Vの電圧を
印加すると60pAの電流が流れほとんどリーク電流は
認められなかった。この15V印加時の整流比を計算す
ると3.3×106であった。
とし、Alq3の膜厚を1000Åとし、さらにアルミ
ニウムの膜厚を1300Åとした以外は実施例1と同様
の方法により有機EL素子を作製した。この有機EL素
子にITOを陽極、アルミニウムを陰極として15Vの
電圧を印加すると200μAの電流が流れた。また、I
TOを陰極、アルミニウムを陽極として15Vの電圧を
印加すると60pAの電流が流れほとんどリーク電流は
認められなかった。この15V印加時の整流比を計算す
ると3.3×106であった。
【0048】(実施例7)α−NPDの膜厚を800Å
とし、Alq3の膜厚を1000Åとし、さらにインジ
ウムの膜厚を1300Åとした以外は実施例3と同様に
作製した有機EL素子を作製した。この有機EL素子に
ITOを陽極、インジウムを陰極として15Vの電圧を
印加すると100μAの電流が流れた。また、ITOを
陰極、インジウムを陽極として15Vの電圧を印加する
と200pAの電流が流れほとんどリーク電流は認めら
れなかった。この15V印加時の整流比を計算すると
2.0×106であった。
とし、Alq3の膜厚を1000Åとし、さらにインジ
ウムの膜厚を1300Åとした以外は実施例3と同様に
作製した有機EL素子を作製した。この有機EL素子に
ITOを陽極、インジウムを陰極として15Vの電圧を
印加すると100μAの電流が流れた。また、ITOを
陰極、インジウムを陽極として15Vの電圧を印加する
と200pAの電流が流れほとんどリーク電流は認めら
れなかった。この15V印加時の整流比を計算すると
2.0×106であった。
【0049】(実施例8)α−NPDの膜厚を800Å
とし、Alq3の膜厚を1000Åとし、さらにアルミ
ニウムリチウムの膜厚を1300Åとした以外は実施例
4と同様に作製した有機EL素子を作製した。この有機
EL素子にITOを陽極、アルミニウムリチウムを陰極
として15Vの電圧を印加すると1mAの電流が流れ
た。また、ITOを陰極、アルミニウムリチウムを陽極
として15Vの電圧を印加すると60pAの電流が流れ
ほとんどリーク電流は認められなかった。この15V印
加時の整流比を計算すると1.7×107であった。
とし、Alq3の膜厚を1000Åとし、さらにアルミ
ニウムリチウムの膜厚を1300Åとした以外は実施例
4と同様に作製した有機EL素子を作製した。この有機
EL素子にITOを陽極、アルミニウムリチウムを陰極
として15Vの電圧を印加すると1mAの電流が流れ
た。また、ITOを陰極、アルミニウムリチウムを陽極
として15Vの電圧を印加すると60pAの電流が流れ
ほとんどリーク電流は認められなかった。この15V印
加時の整流比を計算すると1.7×107であった。
【0050】(実施例9)α−NPDの膜厚を1000
Åとし、Alq3の膜厚を2000Åとし、さらにアル
ミニウムの膜厚を5000Åとした以外は実施例1と同
様の方法により有機EL素子を作製した。この有機EL
素子にITOを陽極、アルミニウムを陰極として15V
の電圧を印加すると10μAの電流が流れた。また、I
TOを陰極、アルミニウムを陽極として15Vの電圧を
印加すると60pAの電流が流れほとんどリーク電流は
認められなかった。この15V印加時の整流比を計算す
ると1.7×105であった。
Åとし、Alq3の膜厚を2000Åとし、さらにアル
ミニウムの膜厚を5000Åとした以外は実施例1と同
様の方法により有機EL素子を作製した。この有機EL
素子にITOを陽極、アルミニウムを陰極として15V
の電圧を印加すると10μAの電流が流れた。また、I
TOを陰極、アルミニウムを陽極として15Vの電圧を
印加すると60pAの電流が流れほとんどリーク電流は
認められなかった。この15V印加時の整流比を計算す
ると1.7×105であった。
【0051】(実施例10)α−NPDの膜厚を100
0Åとし、Alq3の膜厚を2000Åとし、さらにイ
ンジウムの膜厚を5000Åとした以外は実施例3と同
様に作製した素子を作製した。この有機EL素子にIT
Oを陽極、インジウムを陰極として15Vの電圧を印加
すると1μAの電流が流れた。また、ITOを陰極、イ
ンジウムを陽極として15Vの電圧を印加すると10p
Aの電流が流れほとんどリーク電流は認められなかっ
た。この15V印加時の整流比を計算すると1.0×1
05であった。
0Åとし、Alq3の膜厚を2000Åとし、さらにイ
ンジウムの膜厚を5000Åとした以外は実施例3と同
様に作製した素子を作製した。この有機EL素子にIT
Oを陽極、インジウムを陰極として15Vの電圧を印加
すると1μAの電流が流れた。また、ITOを陰極、イ
ンジウムを陽極として15Vの電圧を印加すると10p
Aの電流が流れほとんどリーク電流は認められなかっ
た。この15V印加時の整流比を計算すると1.0×1
05であった。
【0052】(実施例11)α−NPDの膜厚を100
0Åとし、Alq3の膜厚を2000Åとし、さらにア
ルミニウムリチウムの膜厚を5000Åとした以外は実
施例4と同様に作製した素子を作製した。この有機EL
素子にITOを陽極、アルミニウムリチウムを陰極とし
て15Vの電圧を印加すると500μAの電流が流れ
た。また、ITOを陰極、アルミニウムリチウムを陽極
として15Vの電圧を印加すると45pAの電流が流れ
ほとんどリーク電流は認められなかった。この15V印
加時の整流比を計算すると1.1×107であった。
0Åとし、Alq3の膜厚を2000Åとし、さらにア
ルミニウムリチウムの膜厚を5000Åとした以外は実
施例4と同様に作製した素子を作製した。この有機EL
素子にITOを陽極、アルミニウムリチウムを陰極とし
て15Vの電圧を印加すると500μAの電流が流れ
た。また、ITOを陰極、アルミニウムリチウムを陽極
として15Vの電圧を印加すると45pAの電流が流れ
ほとんどリーク電流は認められなかった。この15V印
加時の整流比を計算すると1.1×107であった。
【0053】(実施例12)α−NPDをMTDATA
(4−4’−4’’−トリス(N−(3−メチルフェニ
ル)−N−フェニルアミノ)トリフェニルアミン)と
し、Zn(oxz)2(2−(o−ヒドロキシフェニ
ル)−ベンズオキサゾールの亜鉛錯体)とした以外は実
施例1と同様な方法により有機EL素子を作製した。こ
の有機EL素子にITOを陽極、アルミニウムを陰極と
して15Vの電圧を印加すると650μAの電流が流れ
た。また、ITOを陰極、アルミニウムを陽極として1
5Vの電圧を印加すると220pAの電流が流れほとん
どリーク電流は認められなかった。この15V印加時の
整流比を計算すると3.0×107であった。
(4−4’−4’’−トリス(N−(3−メチルフェニ
ル)−N−フェニルアミノ)トリフェニルアミン)と
し、Zn(oxz)2(2−(o−ヒドロキシフェニ
ル)−ベンズオキサゾールの亜鉛錯体)とした以外は実
施例1と同様な方法により有機EL素子を作製した。こ
の有機EL素子にITOを陽極、アルミニウムを陰極と
して15Vの電圧を印加すると650μAの電流が流れ
た。また、ITOを陰極、アルミニウムを陽極として1
5Vの電圧を印加すると220pAの電流が流れほとん
どリーク電流は認められなかった。この15V印加時の
整流比を計算すると3.0×107であった。
【0054】(実施例13)α−NPDをTPD(N、
N’−ジフェニル−N、N’−ビス(3−フェニル)−
1,1’−ビフェニル−ビフェニル−4,4’−ジアミ
ン)とし、Zn(oxz)2(2−(o−ヒドロキシフ
ェニル)−ベンズオキサゾールの亜鉛錯体)とした以外
は実施例1と同様な方法により有機EL素子を作製し
た。この有機EL素子にITOを陽極、アルミニウムを
陰極として15Vの電圧を印加すると600μAの電流
が流れた。また、ITOを陰極、アルミニウムを陽極と
して15Vの電圧を印加すると180pAの電流が流れ
ほとんどリーク電流は認められなかった。この15V印
加時の整流比を計算すると3.3×107であった。
N’−ジフェニル−N、N’−ビス(3−フェニル)−
1,1’−ビフェニル−ビフェニル−4,4’−ジアミ
ン)とし、Zn(oxz)2(2−(o−ヒドロキシフ
ェニル)−ベンズオキサゾールの亜鉛錯体)とした以外
は実施例1と同様な方法により有機EL素子を作製し
た。この有機EL素子にITOを陽極、アルミニウムを
陰極として15Vの電圧を印加すると600μAの電流
が流れた。また、ITOを陰極、アルミニウムを陽極と
して15Vの電圧を印加すると180pAの電流が流れ
ほとんどリーク電流は認められなかった。この15V印
加時の整流比を計算すると3.3×107であった。
【0055】(実施例14)α−NPDをMTDATA
(4−4’−4’’−トリス(N−(3−メチルフェニ
ル)−N−フェニルアミノ)トリフェニルアミン)と
し、Zn(oxz)2(2−(o−ヒドロキシフェニ
ル)−ベンズオキサゾールの亜鉛錯体)とした以外は実
施例2と同様な方法により有機EL素子を作製した。こ
の有機EL素子にITOを陽極、アルミニウムを陰極と
して15Vの電圧を印加すると800μAの電流が流れ
た。また、ITOを陰極、アルミニウムを陽極として1
5Vの電圧を印加すると130pAの電流が流れほとん
どリーク電流は認められなかった。この15V印加時の
整流比を計算すると6.2×106であった。
(4−4’−4’’−トリス(N−(3−メチルフェニ
ル)−N−フェニルアミノ)トリフェニルアミン)と
し、Zn(oxz)2(2−(o−ヒドロキシフェニ
ル)−ベンズオキサゾールの亜鉛錯体)とした以外は実
施例2と同様な方法により有機EL素子を作製した。こ
の有機EL素子にITOを陽極、アルミニウムを陰極と
して15Vの電圧を印加すると800μAの電流が流れ
た。また、ITOを陰極、アルミニウムを陽極として1
5Vの電圧を印加すると130pAの電流が流れほとん
どリーク電流は認められなかった。この15V印加時の
整流比を計算すると6.2×106であった。
【0056】(実施例15)α−NPDをTPD(N、
N’−ジフェニル−N、N’−ビス(3−フェニル)−
1,1’−ビフェニル−ビフェニル−4,4’−ジアミ
ン)とし、Zn(oxz)2(2−(o−ヒドロキシフ
ェニル)−ベンズオキサゾールの亜鉛錯体)とした以外
は実施例2と同様な方法により有機EL素子を作製し
た。この有機EL素子にITOを陽極、アルミニウムを
陰極として15Vの電圧を印加すると400μAの電流
が流れた。また、ITOを陰極、アルミニウムを陽極と
して15Vの電圧を印加すると90pAの電流が流れほ
とんどリーク電流は認められなかった。この15V印加
時の整流比を計算すると4.4×106であった。
N’−ジフェニル−N、N’−ビス(3−フェニル)−
1,1’−ビフェニル−ビフェニル−4,4’−ジアミ
ン)とし、Zn(oxz)2(2−(o−ヒドロキシフ
ェニル)−ベンズオキサゾールの亜鉛錯体)とした以外
は実施例2と同様な方法により有機EL素子を作製し
た。この有機EL素子にITOを陽極、アルミニウムを
陰極として15Vの電圧を印加すると400μAの電流
が流れた。また、ITOを陰極、アルミニウムを陽極と
して15Vの電圧を印加すると90pAの電流が流れほ
とんどリーク電流は認められなかった。この15V印加
時の整流比を計算すると4.4×106であった。
【0057】(実施例16)α−NPDをMTDATA
(4−4’−4’’−トリス(N−(3−メチルフェニ
ル)−N−フェニルアミノ)トリフェニルアミン)と
し、Zn(oxz)2(2−(o−ヒドロキシフェニ
ル)−ベンズオキサゾールの亜鉛錯体)とした以外は実
施例3と同様な方法により有機EL素子を作製した。こ
の有機EL素子にITOを陽極、インジウムを陰極とし
て15Vの電圧を印加すると20μAの電流が流れた。
また、ITOを陰極、インジウムを陽極として15Vの
電圧を印加すると10pAの電流が流れほとんどリーク
電流は認められなかった。この15V印加時の整流比を
計算すると2.0×106であった。
(4−4’−4’’−トリス(N−(3−メチルフェニ
ル)−N−フェニルアミノ)トリフェニルアミン)と
し、Zn(oxz)2(2−(o−ヒドロキシフェニ
ル)−ベンズオキサゾールの亜鉛錯体)とした以外は実
施例3と同様な方法により有機EL素子を作製した。こ
の有機EL素子にITOを陽極、インジウムを陰極とし
て15Vの電圧を印加すると20μAの電流が流れた。
また、ITOを陰極、インジウムを陽極として15Vの
電圧を印加すると10pAの電流が流れほとんどリーク
電流は認められなかった。この15V印加時の整流比を
計算すると2.0×106であった。
【0058】(実施例17)α−NPDをTPD(N、
N’−ジフェニル−N、N’−ビス(3−フェニル)−
1,1’−ビフェニル−ビフェニル−4,4’−ジアミ
ン)とし、Zn(oxz)2(2−(o−ヒドロキシフ
ェニル)−ベンズオキサゾールの亜鉛錯体)とした以外
は実施例2と同様な方法により有機EL素子を作製し
た。この有機EL素子にITOを陽極、インジウムを陰
極として15Vの電圧を印加すると12μAの電流が流
れた。また、ITOを陰極、インジウムを陽極として1
5Vの電圧を印加すると10pAの電流が流れほとんど
リーク電流は認められなかった。この15V印加時の整
流比を計算すると1.2×106であった。
N’−ジフェニル−N、N’−ビス(3−フェニル)−
1,1’−ビフェニル−ビフェニル−4,4’−ジアミ
ン)とし、Zn(oxz)2(2−(o−ヒドロキシフ
ェニル)−ベンズオキサゾールの亜鉛錯体)とした以外
は実施例2と同様な方法により有機EL素子を作製し
た。この有機EL素子にITOを陽極、インジウムを陰
極として15Vの電圧を印加すると12μAの電流が流
れた。また、ITOを陰極、インジウムを陽極として1
5Vの電圧を印加すると10pAの電流が流れほとんど
リーク電流は認められなかった。この15V印加時の整
流比を計算すると1.2×106であった。
【0059】(実施例18)α−NPDをMTDATA
(4−4’−4’’−トリス(N−(3−メチルフェニ
ル)−N−フェニルアミノ)トリフェニルアミン)と
し、Zn(oxz)2(2−(o−ヒドロキシフェニ
ル)−ベンズオキサゾールの亜鉛錯体)とした以外は実
施例4と同様な方法により有機EL素子を作製した。こ
の有機EL素子にITOを陽極、アルミニウムリチウム
を陰極として15Vの電圧を印加すると2mAの電流が
流れた。また、ITOを陰極、アルミニウムリチウムを
陽極として15Vの電圧を印加すると130pAの電流
が流れほとんどリーク電流は認められなかった。この1
5V印加時の整流比を計算すると6.7×107であっ
た。
(4−4’−4’’−トリス(N−(3−メチルフェニ
ル)−N−フェニルアミノ)トリフェニルアミン)と
し、Zn(oxz)2(2−(o−ヒドロキシフェニ
ル)−ベンズオキサゾールの亜鉛錯体)とした以外は実
施例4と同様な方法により有機EL素子を作製した。こ
の有機EL素子にITOを陽極、アルミニウムリチウム
を陰極として15Vの電圧を印加すると2mAの電流が
流れた。また、ITOを陰極、アルミニウムリチウムを
陽極として15Vの電圧を印加すると130pAの電流
が流れほとんどリーク電流は認められなかった。この1
5V印加時の整流比を計算すると6.7×107であっ
た。
【0060】(実施例19)α−NPDをTPD(N、
N’−ジフェニル−N、N’−ビス(3−フェニル)−
1,1’−ビフェニル−ビフェニル−4,4’−ジアミ
ン)とし、Zn(oxz)2(2−(o−ヒドロキシフ
ェニル)−ベンズオキサゾールの亜鉛錯体)とした以外
は実施例4と同様な方法により有機EL素子を作製し
た。この有機EL素子にITOを陽極、アルミニウムリ
チウムを陰極として15Vの電圧を印加すると4mAの
電流が流れた。また、ITOを陰極、アルミニウムリチ
ウムを陽極として15Vの電圧を印加すると230pA
の電流が流れほとんどリーク電流は認められなかった。
この15V印加時の整流比を計算すると3.1×107
であった。
N’−ジフェニル−N、N’−ビス(3−フェニル)−
1,1’−ビフェニル−ビフェニル−4,4’−ジアミ
ン)とし、Zn(oxz)2(2−(o−ヒドロキシフ
ェニル)−ベンズオキサゾールの亜鉛錯体)とした以外
は実施例4と同様な方法により有機EL素子を作製し
た。この有機EL素子にITOを陽極、アルミニウムリ
チウムを陰極として15Vの電圧を印加すると4mAの
電流が流れた。また、ITOを陰極、アルミニウムリチ
ウムを陽極として15Vの電圧を印加すると230pA
の電流が流れほとんどリーク電流は認められなかった。
この15V印加時の整流比を計算すると3.1×107
であった。
【0061】(実施例20)α−NPDをMTDATA
(4−4’−4’’−トリス(N−(3−メチルフェニ
ル)−N−フェニルアミノ)トリフェニルアミン)と
し、Zn(oxz)2(2−(o−ヒドロキシフェニ
ル)−ベンズオキサゾールの亜鉛錯体)とした以外は実
施例5と同様な方法により有機EL素子を作製した。こ
の有機EL素子にITOを陽極、マグネシウム銀を陰極
として15Vの電圧を印加すると1mAの電流が流れ
た。また、ITOを陰極、マグネシウム銀を陽極として
15Vの電圧を印加すると90pAの電流が流れほとん
どリーク電流は認められなかった。この15V印加時の
整流比を計算すると1.1×107であった。
(4−4’−4’’−トリス(N−(3−メチルフェニ
ル)−N−フェニルアミノ)トリフェニルアミン)と
し、Zn(oxz)2(2−(o−ヒドロキシフェニ
ル)−ベンズオキサゾールの亜鉛錯体)とした以外は実
施例5と同様な方法により有機EL素子を作製した。こ
の有機EL素子にITOを陽極、マグネシウム銀を陰極
として15Vの電圧を印加すると1mAの電流が流れ
た。また、ITOを陰極、マグネシウム銀を陽極として
15Vの電圧を印加すると90pAの電流が流れほとん
どリーク電流は認められなかった。この15V印加時の
整流比を計算すると1.1×107であった。
【0062】(実施例21)α−NPDをTPD(N、
N’−ジフェニル−N、N’−ビス(3−フェニル)−
1,1’−ビフェニル−ビフェニル−4,4’−ジアミ
ン)とし、Zn(oxz)2(2−(o−ヒドロキシフ
ェニル)−ベンズオキサゾールの亜鉛錯体)とした以外
は実施例5と同様な方法により有機EL素子を作製し
た。この有機EL素子にITOを陽極、マグネシウム銀
を陰極として15Vの電圧を印加すると2.2mAの電
流が流れた。また、ITOを陰極、マグネシウム銀を陽
極として15Vの電圧を印加すると100pAの電流が
流れほとんどリーク電流は認められなかった。この15
V印加時の整流比を計算すると2.2×10 7であっ
た。
N’−ジフェニル−N、N’−ビス(3−フェニル)−
1,1’−ビフェニル−ビフェニル−4,4’−ジアミ
ン)とし、Zn(oxz)2(2−(o−ヒドロキシフ
ェニル)−ベンズオキサゾールの亜鉛錯体)とした以外
は実施例5と同様な方法により有機EL素子を作製し
た。この有機EL素子にITOを陽極、マグネシウム銀
を陰極として15Vの電圧を印加すると2.2mAの電
流が流れた。また、ITOを陰極、マグネシウム銀を陽
極として15Vの電圧を印加すると100pAの電流が
流れほとんどリーク電流は認められなかった。この15
V印加時の整流比を計算すると2.2×10 7であっ
た。
【0063】(比較例1)アルミニウムの膜厚を200
0Åとした以外は実施例1と同様に有機EL素子を作製
した。この有機EL素子にITOを陽極、アルミニウム
を陰極として15Vの電圧を印加すると14μAの電流
が流れた。また、ITOを陰極、アルミニウムを陽極と
して15Vの電圧を印加すると1μAの電流が流れリー
ク電流は認められた。この15V印加時の整流比を計算
すると14であった。
0Åとした以外は実施例1と同様に有機EL素子を作製
した。この有機EL素子にITOを陽極、アルミニウム
を陰極として15Vの電圧を印加すると14μAの電流
が流れた。また、ITOを陰極、アルミニウムを陽極と
して15Vの電圧を印加すると1μAの電流が流れリー
ク電流は認められた。この15V印加時の整流比を計算
すると14であった。
【0064】(比較例2)アルミニウムの膜厚を200
0Åとした以外は実施例2と同様に有機EL素子を作製
した。この有機EL素子にITOを陽極、アルミニウム
を陰極として15Vの電圧を印加すると16μAの電流
が流れた。また、ITOを陰極、アルミニウムを陽極と
して15Vの電圧を印加すると1μAの電流が流れリー
ク電流は認められた。この15V印加時の整流比を計算
すると16であった。
0Åとした以外は実施例2と同様に有機EL素子を作製
した。この有機EL素子にITOを陽極、アルミニウム
を陰極として15Vの電圧を印加すると16μAの電流
が流れた。また、ITOを陰極、アルミニウムを陽極と
して15Vの電圧を印加すると1μAの電流が流れリー
ク電流は認められた。この15V印加時の整流比を計算
すると16であった。
【0065】(比較例3)インジウムの膜厚を2000
Åとした以外は実施例3と同様に有機EL素子を作製し
た。この有機EL素子にITOを陽極、インジウムを陰
極として15Vの電圧を印加すると720μAの電流が
流れた。また、ITOを陰極、インジウムを陽極として
15Vの電圧を印加すると2μAの電流が流れリーク電
流は認められた。この15V印加時の整流比を計算する
と360であった。
Åとした以外は実施例3と同様に有機EL素子を作製し
た。この有機EL素子にITOを陽極、インジウムを陰
極として15Vの電圧を印加すると720μAの電流が
流れた。また、ITOを陰極、インジウムを陽極として
15Vの電圧を印加すると2μAの電流が流れリーク電
流は認められた。この15V印加時の整流比を計算する
と360であった。
【0066】(比較例4)アルミニウムリチウムの膜厚
を2000Åとした以外は実施例4と同様に有機EL素
子を作製した。この有機EL素子にITOを陽極、アル
ミニウムリチウムを陰極として15Vの電圧を印加する
と4mAの電流が流れた。また、ITOを陰極、アルミ
ニウムリチウムを陽極として15Vの電圧を印加すると
2μAの電流が流れリーク電流は認められた。この15
V印加時の整流比を計算すると2.0×103であっ
た。
を2000Åとした以外は実施例4と同様に有機EL素
子を作製した。この有機EL素子にITOを陽極、アル
ミニウムリチウムを陰極として15Vの電圧を印加する
と4mAの電流が流れた。また、ITOを陰極、アルミ
ニウムリチウムを陽極として15Vの電圧を印加すると
2μAの電流が流れリーク電流は認められた。この15
V印加時の整流比を計算すると2.0×103であっ
た。
【0067】(比較例5)マグネシウム銀の膜厚を20
00Åとした以外は実施例5と同様に有機EL素子を作
製した。この有機EL素子にITOを陽極、マグネシウ
ム銀を陰極として15Vの電圧を印加すると1.4mA
の電流が流れた。また、ITOを陰極、マグネシウム銀
を陽極として15Vの電圧を印加すると6μAの電流が
流れリーク電流は認められた。この15V印加時の整流
比を計算すると200であった。
00Åとした以外は実施例5と同様に有機EL素子を作
製した。この有機EL素子にITOを陽極、マグネシウ
ム銀を陰極として15Vの電圧を印加すると1.4mA
の電流が流れた。また、ITOを陰極、マグネシウム銀
を陽極として15Vの電圧を印加すると6μAの電流が
流れリーク電流は認められた。この15V印加時の整流
比を計算すると200であった。
【0068】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の有機EL
素子は、有機層の厚さと陰極の厚さとを上記の条件を満
たすものとしたので、陰極成膜時に発生する輻射熱と熱
応力が有機層にダメージを与えることがないものとな
り、リーク電流やショートの発生を低減することができ
る。このことより、これを用いて単純マトリクス型の表
示装置を作製した場合に、非選択画素の点灯を防ぐこと
ができ、コントラスト向上に繋がる。
素子は、有機層の厚さと陰極の厚さとを上記の条件を満
たすものとしたので、陰極成膜時に発生する輻射熱と熱
応力が有機層にダメージを与えることがないものとな
り、リーク電流やショートの発生を低減することができ
る。このことより、これを用いて単純マトリクス型の表
示装置を作製した場合に、非選択画素の点灯を防ぐこと
ができ、コントラスト向上に繋がる。
【図1】 有機EL素子のバンド図の一例を示した図で
ある。
ある。
【図2】 陰極からの熱応力を説明するための図であ
る。
る。
1 有機層 2 正孔注入層 3 正孔輸送層 4 発光層 5 電子輸送層
Claims (2)
- 【請求項1】 陰極と陽極との間に1層以上の有機層を
有する有機EL素子において、 前記有機層の厚さが2000Å未満であり、かつ、 前記陰極の厚さL[Å]が下記の式で示される条件を満
たすことを特徴とする有機EL素子。 400[Å]≦L≦n×0.8[Å] ただし、nは、有機層の厚さを示す。 - 【請求項2】 陰極と陽極との間に1層以上の有機層を
有する有機EL素子において、 前記有機層の厚さが2000Å以上であり、かつ、 前記陰極の厚さL[Å]が下記の式で示される条件を満
たすことを特徴とする有機EL素子。 400[Å]≦L≦n×3[Å] ただし、nは、有機層の厚さを示す。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11160257A JP2000348865A (ja) | 1999-06-07 | 1999-06-07 | 有機el素子 |
TW089109826A TW526678B (en) | 1999-06-07 | 2000-05-22 | Organic electroluminescent element |
DE10026236A DE10026236A1 (de) | 1999-06-07 | 2000-05-26 | Organische Elektrolumineszenzvorrichtung |
KR1020000030845A KR20010020955A (ko) | 1999-06-07 | 2000-06-05 | 유기 전자냉광 소자 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11160257A JP2000348865A (ja) | 1999-06-07 | 1999-06-07 | 有機el素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000348865A true JP2000348865A (ja) | 2000-12-15 |
Family
ID=15711107
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11160257A Pending JP2000348865A (ja) | 1999-06-07 | 1999-06-07 | 有機el素子 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000348865A (ja) |
KR (1) | KR20010020955A (ja) |
DE (1) | DE10026236A1 (ja) |
TW (1) | TW526678B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5181019B2 (ja) * | 2008-04-07 | 2013-04-10 | パイオニア株式会社 | 発光素子及び表示パネル |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7158161B2 (en) | 2002-09-20 | 2007-01-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Organic electroluminescence element and an exposure unit and image-forming apparatus both using the element |
AU2003298493A1 (en) * | 2002-12-18 | 2004-07-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Exposing apparatus and image forming apparatus using organic electroluminescence element |
WO2005006460A1 (en) * | 2003-07-09 | 2005-01-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Organic electroluminescence element and an exposure unit and image-forming apparatus both using the element |
-
1999
- 1999-06-07 JP JP11160257A patent/JP2000348865A/ja active Pending
-
2000
- 2000-05-22 TW TW089109826A patent/TW526678B/zh not_active IP Right Cessation
- 2000-05-26 DE DE10026236A patent/DE10026236A1/de not_active Ceased
- 2000-06-05 KR KR1020000030845A patent/KR20010020955A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5181019B2 (ja) * | 2008-04-07 | 2013-04-10 | パイオニア株式会社 | 発光素子及び表示パネル |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20010020955A (ko) | 2001-03-15 |
TW526678B (en) | 2003-04-01 |
DE10026236A1 (de) | 2001-03-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030225 |