JP2000347083A - 光学部品の接着構造およびその製造方法 - Google Patents
光学部品の接着構造およびその製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】第一の光学部品、第二の光学部品およびマウン
トを備えており、第一の光学部品がマウントに対して接
着されている光学部品の接着構造を製造する際に、光学
接着剤の硬化収縮に伴う光軸合わせの精度の低下を防止
する。 【解決手段】第一の光学部品１０の光軸と第二の光学部
品６の光軸とが互いに二次元的に１μｍ以下の精度で光
軸合わせされている状態で、第一の光学部品１０の接着
面１０ｂとマウント３の接着面３ａとが、硬化収縮した
光学接着剤５によって接着されている。マウントの接着
面３ａに深さ５−１５０μｍの溝４Ａ、４Ｂが形成され
ている。光学接着剤の少なくとも一部が溝４Ａ、４Ｂ中
に充填されている。好ましくは、溝４Ａ、４Ｂの幅が１
−５ｍｍであり、第一の光学部品１０の接着面１０ｂと
マウント３の接着面３ａとの間に、接着剤層１５が介在
している場合には、接着剤層１５の厚さが１−３μｍで
ある。
トを備えており、第一の光学部品がマウントに対して接
着されている光学部品の接着構造を製造する際に、光学
接着剤の硬化収縮に伴う光軸合わせの精度の低下を防止
する。 【解決手段】第一の光学部品１０の光軸と第二の光学部
品６の光軸とが互いに二次元的に１μｍ以下の精度で光
軸合わせされている状態で、第一の光学部品１０の接着
面１０ｂとマウント３の接着面３ａとが、硬化収縮した
光学接着剤５によって接着されている。マウントの接着
面３ａに深さ５−１５０μｍの溝４Ａ、４Ｂが形成され
ている。光学接着剤の少なくとも一部が溝４Ａ、４Ｂ中
に充填されている。好ましくは、溝４Ａ、４Ｂの幅が１
−５ｍｍであり、第一の光学部品１０の接着面１０ｂと
マウント３の接着面３ａとの間に、接着剤層１５が介在
している場合には、接着剤層１５の厚さが１−３μｍで
ある。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザーダイオー
ドおよび光導波路基板のような複数の光学部品の各光軸
を、サブミクロンオーダーで光軸合わせしつつ、マウン
トへと接着した構造およびその製造方法に関するもので
ある。
ドおよび光導波路基板のような複数の光学部品の各光軸
を、サブミクロンオーダーで光軸合わせしつつ、マウン
トへと接着した構造およびその製造方法に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】例えば、光ピックアップ等に用いられる
青色レーザー用光源として、ニオブ酸リチウムやタンタ
ル酸リチウム単結晶に周期的な分極反転構造を形成した
光導波路を使用した疑似位相整合（Quasi-Phase-Matche
d ：ＱＰＭ）方式の第二高調波発生（Second-Harmonic-
Generation:SHG）デバイスが期待されている。こうした
デバイスは、光ディスクメモリー用、医学用、光化学
用、各種光計測用等の幅広い応用が可能である。
青色レーザー用光源として、ニオブ酸リチウムやタンタ
ル酸リチウム単結晶に周期的な分極反転構造を形成した
光導波路を使用した疑似位相整合（Quasi-Phase-Matche
d ：ＱＰＭ）方式の第二高調波発生（Second-Harmonic-
Generation:SHG）デバイスが期待されている。こうした
デバイスは、光ディスクメモリー用、医学用、光化学
用、各種光計測用等の幅広い応用が可能である。
【０００３】こうしたデバイスを作製するためには、分
極反転構造が形成された光導波路基板を作製し、この光
導波路基板とレーザーダイオードとをマウントへと固定
し、光導波路基板の光導波路の光軸とレーザーダイオー
ドの光軸とをサブミクロンオーダーで光軸合わせする必
要がある。この際には、通常、光導波路基板をマウント
の表面へと光学接着剤によって接着し、光学接着剤を硬
化させる。この際には、例えば紫外線硬化型樹脂、可視
光線硬化型樹脂、瞬間接着剤などを使用できる。
極反転構造が形成された光導波路基板を作製し、この光
導波路基板とレーザーダイオードとをマウントへと固定
し、光導波路基板の光導波路の光軸とレーザーダイオー
ドの光軸とをサブミクロンオーダーで光軸合わせする必
要がある。この際には、通常、光導波路基板をマウント
の表面へと光学接着剤によって接着し、光学接着剤を硬
化させる。この際には、例えば紫外線硬化型樹脂、可視
光線硬化型樹脂、瞬間接着剤などを使用できる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、光学接着剤を
硬化させつつ、光導波路とレーザーダイオードとの光軸
をサブミクロンオーダーで光軸合わせすることは、実際
の製造上は極めて困難である。なぜなら、光学接着剤を
マウントの接着面上に塗布する際には、光学接着剤の粘
性や、マウントへの濡れ性の影響によって、接着面の全
面にわたって必要量を正確に塗布することは難しく、何
らかの形でムラが生じ易い。
硬化させつつ、光導波路とレーザーダイオードとの光軸
をサブミクロンオーダーで光軸合わせすることは、実際
の製造上は極めて困難である。なぜなら、光学接着剤を
マウントの接着面上に塗布する際には、光学接着剤の粘
性や、マウントへの濡れ性の影響によって、接着面の全
面にわたって必要量を正確に塗布することは難しく、何
らかの形でムラが生じ易い。
【０００５】光学接着剤の硬化収縮に伴って、光学部品
の光軸合わせの精度が低下する原因は幾つかある。例え
ば、図４（ａ）の例では、マウント３の接着面３ａ上
に、光学接着剤５Ａを介して光導波路基板１０が設置さ
れている。なお、１０ａは基板１０の上面であり、１０
ｂは背面であり、１０ｃは側面である。光学接着剤５Ａ
の一部は、１２で示すように、基板１０の側面１０ｃか
ら外へと溢れており、メニスカスを形成している。光学
接着剤が硬化収縮する際に、各メニスカス１２が不均等
に収縮すると、基板１０が矢印Ａのように引っ張られ、
傾斜し、光軸合わせの精度を劣化させる。
の光軸合わせの精度が低下する原因は幾つかある。例え
ば、図４（ａ）の例では、マウント３の接着面３ａ上
に、光学接着剤５Ａを介して光導波路基板１０が設置さ
れている。なお、１０ａは基板１０の上面であり、１０
ｂは背面であり、１０ｃは側面である。光学接着剤５Ａ
の一部は、１２で示すように、基板１０の側面１０ｃか
ら外へと溢れており、メニスカスを形成している。光学
接着剤が硬化収縮する際に、各メニスカス１２が不均等
に収縮すると、基板１０が矢印Ａのように引っ張られ、
傾斜し、光軸合わせの精度を劣化させる。
【０００６】図４（ｂ）の例では、光学接着剤５Ｂが厚
く、このため矢印Ｂ方向の収縮量が大きくなり、光軸合
わせの精度にバラツキが生ずる。図４（ｃ）の例では、
光学接着剤５Ｃの左側が厚くなっており、右側が薄くな
っているために、硬化収縮後に基板１０に傾斜が残る。
く、このため矢印Ｂ方向の収縮量が大きくなり、光軸合
わせの精度にバラツキが生ずる。図４（ｃ）の例では、
光学接着剤５Ｃの左側が厚くなっており、右側が薄くな
っているために、硬化収縮後に基板１０に傾斜が残る。
【０００７】こうした硬化収縮に伴って生ずる光軸合わ
せの精度の低下を防止するためには、光学接着剤の厚さ
を小さくし、かつ硬化収縮を小さくすることが必要であ
る。光学接着剤の粘性が高い場合には、光学接着剤の厚
さが大きくなり易い。一方、粘性の低い光学接着剤は、
塗布厚さを小さくし易いが、硬化収縮割合が大きいこと
が多い。これらの諸原因から、光学部品を量産するのに
際して、光学接着剤が硬化収縮した後の時点で、各光学
部品の各光軸を二次元的にサブミクロンオーダーの精度
で光軸合わせし、歩留りを向上させることは困難であ
る。
せの精度の低下を防止するためには、光学接着剤の厚さ
を小さくし、かつ硬化収縮を小さくすることが必要であ
る。光学接着剤の粘性が高い場合には、光学接着剤の厚
さが大きくなり易い。一方、粘性の低い光学接着剤は、
塗布厚さを小さくし易いが、硬化収縮割合が大きいこと
が多い。これらの諸原因から、光学部品を量産するのに
際して、光学接着剤が硬化収縮した後の時点で、各光学
部品の各光軸を二次元的にサブミクロンオーダーの精度
で光軸合わせし、歩留りを向上させることは困難であ
る。
【０００８】本発明の課題は、第一の光学部品、第二の
光学部品およびマウントを備えており、少なくとも第一
の光学部品がマウントに対して接着されている光学部品
の接着構造を製造する方法であって、光学接着剤の硬化
収縮に伴う光軸合わせの精度の低下を防止することであ
る。
光学部品およびマウントを備えており、少なくとも第一
の光学部品がマウントに対して接着されている光学部品
の接着構造を製造する方法であって、光学接着剤の硬化
収縮に伴う光軸合わせの精度の低下を防止することであ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、第一の光学部
品、第二の光学部品、および第一と第二の光学部品とを
固定するマウントを備えており、少なくとも第一の光学
部品がマウントに対して接着されている光学部品の接着
構造であって、第一の光学部品の光軸と第二の光学部品
の光軸とが互いに二次元的に１μｍ以下の精度で光軸合
わせされている状態で、第一の光学部品の接着面とマウ
ントの接着面とが、硬化収縮した光学接着剤によって接
着されており、マウントの接着面に深さ５−１５０μｍ
の溝が形成されており、光学接着剤の少なくとも一部が
溝中に充填されていることを特徴とする。
品、第二の光学部品、および第一と第二の光学部品とを
固定するマウントを備えており、少なくとも第一の光学
部品がマウントに対して接着されている光学部品の接着
構造であって、第一の光学部品の光軸と第二の光学部品
の光軸とが互いに二次元的に１μｍ以下の精度で光軸合
わせされている状態で、第一の光学部品の接着面とマウ
ントの接着面とが、硬化収縮した光学接着剤によって接
着されており、マウントの接着面に深さ５−１５０μｍ
の溝が形成されており、光学接着剤の少なくとも一部が
溝中に充填されていることを特徴とする。
【００１０】また、本発明は、第一の光学部品、第二の
光学部品およびマウントを備えており、少なくとも第一
の光学部品がマウントに対して接着されている光学部品
の接着構造を製造する方法であって、マウントの接着面
に深さ５−１５０μｍの溝を形成し、第一の光学部品の
接着面とマウントの接着面との間に光学接着剤を介在さ
せ、この光学接着剤の少なくとも一部を溝中に充填し、
第一の光学部品の光軸と第二の光学部品の光軸とが互い
に二次元的に１μｍ以下の精度で光軸合わせされるよう
に光学接着剤を硬化収縮させることを特徴とする。
光学部品およびマウントを備えており、少なくとも第一
の光学部品がマウントに対して接着されている光学部品
の接着構造を製造する方法であって、マウントの接着面
に深さ５−１５０μｍの溝を形成し、第一の光学部品の
接着面とマウントの接着面との間に光学接着剤を介在さ
せ、この光学接着剤の少なくとも一部を溝中に充填し、
第一の光学部品の光軸と第二の光学部品の光軸とが互い
に二次元的に１μｍ以下の精度で光軸合わせされるよう
に光学接着剤を硬化収縮させることを特徴とする。
【００１１】本発明者は、マウントの接着面に適当な深
さの溝を設け、溝の中に光学接着剤の少なくとも一部を
充填することによって、過剰な光学接着剤が横溢した
り、マウントと導波路チップ間の光学接着剤の厚さが過
大になったりするのを防止し、光学接着剤の硬化収縮に
よる光軸合わせの精度の低下を防止することに成功し
た。
さの溝を設け、溝の中に光学接着剤の少なくとも一部を
充填することによって、過剰な光学接着剤が横溢した
り、マウントと導波路チップ間の光学接着剤の厚さが過
大になったりするのを防止し、光学接着剤の硬化収縮に
よる光軸合わせの精度の低下を防止することに成功し
た。
【００１２】更に、溝の厚さを調整することによって、
マウントの接着面と第一の光学部品の接着面との間に残
る光学接着剤の量を調節し、これによって接着剤層の厚
さを最適にし、光学部品とマウントとの接着強度を最大
化できる。
マウントの接着面と第一の光学部品の接着面との間に残
る光学接着剤の量を調節し、これによって接着剤層の厚
さを最適にし、光学部品とマウントとの接着強度を最大
化できる。
【００１３】第一の光学部品としては、光導波路基板、
ＳＨＧ基板の他、光ファイバアレイを例示できる。第二
の光学部品としては、レーザーダイオードの他、発光ダ
イオード、光ファイバアレイを例示できる。
ＳＨＧ基板の他、光ファイバアレイを例示できる。第二
の光学部品としては、レーザーダイオードの他、発光ダ
イオード、光ファイバアレイを例示できる。
【００１４】光導波路基板、ＳＨＧ基板等の材質として
は、ＬｉＮｂＯ3 、ＬｉＴａＯ3 、ＬｉＮｂＯ3 −Ｌｉ
ＴａＯ3 固溶体、ニオブ酸リチウムカリウム、ニオブ酸
リチウムカリウム−タンタル酸リチウムカリウム固溶
体、ＫＴｉＯＰＯ4等を例示できる。マウントの材質も
特に限定されず、ＳＵＳ、コバール等の金属や、セラミ
ックまたはガラスである。セラミックとして特に好まし
いものは、例えばアルミナ、ジルコニア、ガラスセラミ
ックスである。しかし、寸法的および熱的に安定なエン
ジニアリングプラスチックのような、他の材料もまた適
切である。いずれにせよ、第一の光学部品の材質と熱膨
張係数が近くなるように選択する必要がある。
は、ＬｉＮｂＯ3 、ＬｉＴａＯ3 、ＬｉＮｂＯ3 −Ｌｉ
ＴａＯ3 固溶体、ニオブ酸リチウムカリウム、ニオブ酸
リチウムカリウム−タンタル酸リチウムカリウム固溶
体、ＫＴｉＯＰＯ4等を例示できる。マウントの材質も
特に限定されず、ＳＵＳ、コバール等の金属や、セラミ
ックまたはガラスである。セラミックとして特に好まし
いものは、例えばアルミナ、ジルコニア、ガラスセラミ
ックスである。しかし、寸法的および熱的に安定なエン
ジニアリングプラスチックのような、他の材料もまた適
切である。いずれにせよ、第一の光学部品の材質と熱膨
張係数が近くなるように選択する必要がある。
【００１５】光学接着剤も特に限定されないが、エポキ
シ系、変性アクリレート系の紫外線硬化型樹脂、可視光
硬化型樹脂、シアノアクリレート系の瞬間接着性樹脂、
アクリル系の嫌気性樹脂を例示できる。
シ系、変性アクリレート系の紫外線硬化型樹脂、可視光
硬化型樹脂、シアノアクリレート系の瞬間接着性樹脂、
アクリル系の嫌気性樹脂を例示できる。
【００１６】本発明においては、マウントの上に第一の
光学部品を接着するのと共に、第二の光学部品をキャン
パッケージに固定し、キャンパッケージをマウントに対
して接着することができる。これによって、第二の光学
部品は、キャンパッケージを介してマウントに対して固
定されている。
光学部品を接着するのと共に、第二の光学部品をキャン
パッケージに固定し、キャンパッケージをマウントに対
して接着することができる。これによって、第二の光学
部品は、キャンパッケージを介してマウントに対して固
定されている。
【００１７】図１は、本発明の接着構造の一例を模式的
に示す正面図であり、図２は、図１の接着構造の断面図
である。マウント１は、垂直方向に延びるレーザーダイ
オード９のマウント部２と、水平方向に延びる光導波路
基板１０のマウント部３とからなる。
に示す正面図であり、図２は、図１の接着構造の断面図
である。マウント１は、垂直方向に延びるレーザーダイ
オード９のマウント部２と、水平方向に延びる光導波路
基板１０のマウント部３とからなる。
【００１８】マウント部２の一方の主面２ａには、レー
ザーダイオード９のキャンパッケージ６の表面６ａが接
着されている。ステム７がマウント部２の貫通孔２ｃに
挿入され、マウント部２の他方の主面２ｂ側へと突き出
している。ステム７の下側面にサブマウント（レーザー
ダイオードチップキャリア）８が取り付けられており、
サブマウント８の下側にレーザーダイオードチップ９が
取り付けられている。
ザーダイオード９のキャンパッケージ６の表面６ａが接
着されている。ステム７がマウント部２の貫通孔２ｃに
挿入され、マウント部２の他方の主面２ｂ側へと突き出
している。ステム７の下側面にサブマウント（レーザー
ダイオードチップキャリア）８が取り付けられており、
サブマウント８の下側にレーザーダイオードチップ９が
取り付けられている。
【００１９】マウント部３の主面（接着面）３ａには、
所定数と寸法の溝４Ａ、４Ｂが形成されており、主面３
ａ上に基板１０の背面（接着面）１０ｂが接着されてい
る。図１、図２の例においては、光学接着剤の硬化物５
が、溝４Ａ、４Ｂに充填されており、かつ主面３ａと基
板１０の背面１０ｂとの間にも介在し、接着剤層１５を
形成している。接着剤層１５が形成される場合には、毛
細管現象によって形成される１−３μｍの厚さとするこ
とが好ましい。しかし、接着剤層１５は必須ではなく、
溝４Ａ、４Ｂにほぼすべての光学接着剤が充填されてい
てもよい。
所定数と寸法の溝４Ａ、４Ｂが形成されており、主面３
ａ上に基板１０の背面（接着面）１０ｂが接着されてい
る。図１、図２の例においては、光学接着剤の硬化物５
が、溝４Ａ、４Ｂに充填されており、かつ主面３ａと基
板１０の背面１０ｂとの間にも介在し、接着剤層１５を
形成している。接着剤層１５が形成される場合には、毛
細管現象によって形成される１−３μｍの厚さとするこ
とが好ましい。しかし、接着剤層１５は必須ではなく、
溝４Ａ、４Ｂにほぼすべての光学接着剤が充填されてい
てもよい。
【００２０】光学接着剤の硬化収縮が終了した段階で、
レーザーダイオードチップ９の光軸と、光導波路１１の
光軸とが、光軸に垂直な平面内で二次元的に１μｍ以下
の精度で光軸合わせされている必要がある。この精度
は、更には０．２μｍ以下とすることが好ましい。
レーザーダイオードチップ９の光軸と、光導波路１１の
光軸とが、光軸に垂直な平面内で二次元的に１μｍ以下
の精度で光軸合わせされている必要がある。この精度
は、更には０．２μｍ以下とすることが好ましい。
【００２１】本発明においては、第一の光学部品を載置
するマウントとは別体の第二のマウントを設け、第二の
マウント上に第二の光学部品を接着することができる。
図３は、この実施形態に係る接着構造を概略的に示す正
面図である。図３では、平板形状の第一のマウント１６
と第二のマウント１７とを接着する。
するマウントとは別体の第二のマウントを設け、第二の
マウント上に第二の光学部品を接着することができる。
図３は、この実施形態に係る接着構造を概略的に示す正
面図である。図３では、平板形状の第一のマウント１６
と第二のマウント１７とを接着する。
【００２２】第二のマウント１７の主面１７ｂには、サ
ブマウント（レーザーダイオードチップキャリア）８が
取り付けられており、サブマウント８の上側にレーザー
ダイオードチップ９が取り付けられている。
ブマウント（レーザーダイオードチップキャリア）８が
取り付けられており、サブマウント８の上側にレーザー
ダイオードチップ９が取り付けられている。
【００２３】第一のマウント１６の主面（接着面）１６
ａには、所定数と寸法の溝４Ａ、４Ｂが形成されてい
る。主面１６ａに、基板１０の背面（接着面）１０ｂが
接着されている。図３の例においては、光学接着剤の硬
化物５が、溝４Ａ、４Ｂに充填されており、かつ主面１
６ａと基板１０の背面１０ｂとの間にも介在し、接着層
１５を形成している。しかし、接着剤層１５は必須では
なく、溝４Ａ、４Ｂにほぼすべての光学接着剤が充填さ
れていてもよい。
ａには、所定数と寸法の溝４Ａ、４Ｂが形成されてい
る。主面１６ａに、基板１０の背面（接着面）１０ｂが
接着されている。図３の例においては、光学接着剤の硬
化物５が、溝４Ａ、４Ｂに充填されており、かつ主面１
６ａと基板１０の背面１０ｂとの間にも介在し、接着層
１５を形成している。しかし、接着剤層１５は必須では
なく、溝４Ａ、４Ｂにほぼすべての光学接着剤が充填さ
れていてもよい。
【００２４】第一のマウント１７の側面（接着面）１７
ａと、第二のマウント１６の突起１６ｂの主面（接着
面）１６ｃとの間に、例えばアクリル樹脂系接着剤を塗
布し、硬化させ、接着層１８を生成させ、マウント１７
と１６とを接着する。
ａと、第二のマウント１６の突起１６ｂの主面（接着
面）１６ｃとの間に、例えばアクリル樹脂系接着剤を塗
布し、硬化させ、接着層１８を生成させ、マウント１７
と１６とを接着する。
【００２５】以下、具体的な実験結果について述べる。
（実験Ａ）前述した方法に従って、図１、図２に示す接
着構造を作製した。ただし、マウント１の材質をＳＵＳ
とし、マウント部３の寸法を、９．０ｍｍ×１２．０ｍ
ｍ×４．５ｍｍとした。光導波路基板１０の材質をニオ
ブ酸リチウム単結晶とし、光導波路１１をプロトン交換
法によって形成した。光学接着剤としては、表１に示す
ものを使用した。
（実験Ａ）前述した方法に従って、図１、図２に示す接
着構造を作製した。ただし、マウント１の材質をＳＵＳ
とし、マウント部３の寸法を、９．０ｍｍ×１２．０ｍ
ｍ×４．５ｍｍとした。光導波路基板１０の材質をニオ
ブ酸リチウム単結晶とし、光導波路１１をプロトン交換
法によって形成した。光学接着剤としては、表１に示す
ものを使用した。
【００２６】マウント３の主面３ａの上に光導波路基板
１０の背面１０ｂを設置し、マウント部３の溝４Ａ、４
Ｂに光学接着剤をディスペンサーによって充填し、光学
接着剤に紫外線を照射し、硬化させた。次いで、波長８
４０ｎｍのレーザー光をレーザーダイオードチップ９か
ら発光させ、光導波路１１からの出射光の強度を測定
し、発光強度に対する強度の減衰量（ｄＢ）を算出し
た。
１０の背面１０ｂを設置し、マウント部３の溝４Ａ、４
Ｂに光学接着剤をディスペンサーによって充填し、光学
接着剤に紫外線を照射し、硬化させた。次いで、波長８
４０ｎｍのレーザー光をレーザーダイオードチップ９か
ら発光させ、光導波路１１からの出射光の強度を測定
し、発光強度に対する強度の減衰量（ｄＢ）を算出し
た。
【００２７】基板３には２個の溝４Ａ、４Ｂを設けた。
各溝は、基板３の主面３ａを横方向に横断するように設
け、幅は３ｍｍとし、深さは表１に示すように変更し
た。
各溝は、基板３の主面３ａを横方向に横断するように設
け、幅は３ｍｍとし、深さは表１に示すように変更し
た。
【００２８】
【表１】
【００２９】この結果から判るように、深さ５−１５０
μｍの溝を形成することによって、光軸合わせ後の光量
が著しく増加することが判る。また、溝の深さは、２５
μｍ以上とすることが好ましく、５０μｍ以上とするこ
とが更に好ましい。また、溝の深さは１００μｍ以下と
することが一層好ましい。
μｍの溝を形成することによって、光軸合わせ後の光量
が著しく増加することが判る。また、溝の深さは、２５
μｍ以上とすることが好ましく、５０μｍ以上とするこ
とが更に好ましい。また、溝の深さは１００μｍ以下と
することが一層好ましい。
【００３０】（実験Ｂ）実験Ａと同様にして接着構造を
作製し、各接着構造について、光導波路基板の垂直上方
向に対する接着強度を測定し、表２に示す。なお、各溝
の幅は３ｍｍとし、深さは、表２に示すように変更し
た。
作製し、各接着構造について、光導波路基板の垂直上方
向に対する接着強度を測定し、表２に示す。なお、各溝
の幅は３ｍｍとし、深さは、表２に示すように変更し
た。
【００３１】
【表２】
【００３２】この結果から判るように、溝の深さを５−
１５０μｍとすることによって、５０ｋｇ／ｃｍ2 以上
の高い接着強度が得られた。接着強度が５０ｋｇ／ｃｍ
2 以上であれば、−４０−と８５℃との間で１０００サ
イクルの熱衝撃試験を行っても、１ｄＢ以下の光量変動
を達成できる。また、溝の深さは１０μｍ以上が好まし
く、１００μｍ以下が更に好ましい。５０−８０μｍと
することが特に好ましい。
１５０μｍとすることによって、５０ｋｇ／ｃｍ2 以上
の高い接着強度が得られた。接着強度が５０ｋｇ／ｃｍ
2 以上であれば、−４０−と８５℃との間で１０００サ
イクルの熱衝撃試験を行っても、１ｄＢ以下の光量変動
を達成できる。また、溝の深さは１０μｍ以上が好まし
く、１００μｍ以下が更に好ましい。５０−８０μｍと
することが特に好ましい。
【００３３】（実験Ｃ）実験Ａと同様にして接着構造
を、各実験番号についてそれぞれ各１０個作製し、発光
強度に対する強度の減衰量（ｄＢ）を算出した。ただ
し、溝の深さを１００μｍとし、溝の幅を表３に示すよ
うに変更した。各実験番号における減衰量の最大値と最
小値を表３に示す。
を、各実験番号についてそれぞれ各１０個作製し、発光
強度に対する強度の減衰量（ｄＢ）を算出した。ただ
し、溝の深さを１００μｍとし、溝の幅を表３に示すよ
うに変更した。各実験番号における減衰量の最大値と最
小値を表３に示す。
【００３４】
【表３】
【００３５】この結果から判るように、溝の幅を１ｍｍ
以上とすることが、減衰量が小さくなり、またバラツキ
も少なくなることから、特に好ましい。
以上とすることが、減衰量が小さくなり、またバラツキ
も少なくなることから、特に好ましい。
【００３６】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、第
一の光学部品、第二の光学部品およびマウントを備えて
おり、少なくとも第一の光学部品がマウントに対して接
着されている光学部品の接着構造を製造する方法であっ
て、光学接着剤の硬化収縮に伴う光軸合わせの精度の低
下を防止することができる。
一の光学部品、第二の光学部品およびマウントを備えて
おり、少なくとも第一の光学部品がマウントに対して接
着されている光学部品の接着構造を製造する方法であっ
て、光学接着剤の硬化収縮に伴う光軸合わせの精度の低
下を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る接着構造を模式的に
示す正面図であり、光導波路基板１０がマウント３に接
着されている。
示す正面図であり、光導波路基板１０がマウント３に接
着されている。
【図２】図２の接着構造の断面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る接着構造を模式的に
示す正面図であり、光導波路基板１０がマウント１６に
接着されており、レーザーダイオードチップ９がサブマ
ウントを介して第二のマウント１７に接着されている。
示す正面図であり、光導波路基板１０がマウント１６に
接着されており、レーザーダイオードチップ９がサブマ
ウントを介して第二のマウント１７に接着されている。
【図４】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、それぞれ、マウン
ト部３と光導波路基板１０との接着状態の一例を説明す
るための模式的断面図である。
ト部３と光導波路基板１０との接着状態の一例を説明す
るための模式的断面図である。
１、１６ マウント ２ レーザーダイオード
（第二の光学部品）を固定するためのマウント部
２ａ レーザーダイオードに対する接着面
３ 光導波路基板に対するマウント部 ３ａ、１
６ａマウントの接着面 ４Ａ、４Ｂ 溝
５ 硬化収縮した光学接着剤 ６ レーザーダイ
オード用のキャンパッケージ ９ レーザーダイ
オードチップ（第二の光学部品） １０ 光導波
路基板（第一の光学部品） １０ｂ 光導波路基
板の接着面 １１ 光導波路形成部 １５ 接着剤層 １７ 第二のマウント
（第二の光学部品）を固定するためのマウント部
２ａ レーザーダイオードに対する接着面
３ 光導波路基板に対するマウント部 ３ａ、１
６ａマウントの接着面 ４Ａ、４Ｂ 溝
５ 硬化収縮した光学接着剤 ６ レーザーダイ
オード用のキャンパッケージ ９ レーザーダイ
オードチップ（第二の光学部品） １０ 光導波
路基板（第一の光学部品） １０ｂ 光導波路基
板の接着面 １１ 光導波路形成部 １５ 接着剤層 １７ 第二のマウント
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高辻 沙織 愛知県名古屋市瑞穂区須田町２番56号 日 本碍子株式会社内 Ｆターム(参考） 2H037 AA01 BA02 BA24 DA03 DA06 DA17 DA18 2H043 AE02 AE24 5F073 BA02 FA21
Claims (8)
- 【請求項１】第一の光学部品、第二の光学部品、および
第一の光学部品と第二の光学部品とを固定するマウント
を備えており、少なくとも前記第一の光学部品が前記マ
ウントに対して接着されている光学部品の接着構造であ
って、 前記第一の光学部品の光軸と前記第二の光学部品の光軸
とが互いに二次元的に１μｍ以下の精度で光軸合わせさ
れている状態で、前記第一の光学部品の接着面と前記マ
ウントの接着面とが、硬化収縮した光学接着剤によって
接着されており、前記マウントの接着面に深さ５−１５
０μｍの溝が形成されており、前記光学接着剤の少なく
とも一部が前記溝中に充填されていることを特徴とす
る、光学部品の接着構造。 - 【請求項２】前記溝の深さが１００μｍ以下であること
を特徴とする、請求項１記載の光学部品の接着構造。 - 【請求項３】前記溝の幅が１−５ｍｍであることを特徴
とする、請求項１または２記載の光学部品の接着構造。 - 【請求項４】前記第一の光学部品の接着面と前記マウン
トの接着面との間に、前記光学接着剤からなる接着剤層
が前記溝以外に介在しており、この接着剤層の厚さが１
−３μｍであることを特徴とする、請求項１−３のいず
れか一つの請求項に記載の光学部品の接着構造。 - 【請求項５】前記第一の光学部品が光導波路を備える光
導波路基板であり、前記第二の光学部品がレーザーダイ
オードであり、前記レーザーダイオードの光軸と前記光
導波路の光軸とが互いに二次元的に１μｍ以下の精度で
光軸合わせされていることを特徴とする、請求項１−４
のいずれか一つの請求項に記載の光学部品の接着構造。 - 【請求項６】第一の光学部品、第二の光学部品、および
第一の光学部品と第二の光学部品とを固定するマウント
を備えており、少なくとも前記第一の光学部品が前記マ
ウントに対して接着されている光学部品の接着構造を製
造する方法であって、 前記マウントの接着面に深さ５−１５０μｍの溝を形成
し、前記第一の光学部品の接着面と前記マウントの接着
面との間に光学接着剤を介在させ、この光学接着剤の少
なくとも一部を前記溝中に充填し、前記第一の光学部品
の光軸と前記第二の光学部品の光軸とが互いに二次元的
に１μｍ以下の精度で光軸合わせされるように前記光学
接着剤を硬化収縮させることを特徴とする、光学部品の
接着構造の製造方法。 - 【請求項７】前記溝の深さが１００μｍ以下であること
を特徴とする、請求項６記載の光学部品の接着構造の製
造方法。 - 【請求項８】前記溝の幅が１−５ｍｍであることを特徴
とする、請求項６または７記載の光学部品の接着構造の
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000055538A JP2000347083A (ja) | 1999-03-31 | 2000-03-01 | 光学部品の接着構造およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9099499 | 1999-03-31 | ||
| JP11-90994 | 1999-03-31 | ||
| JP2000055538A JP2000347083A (ja) | 1999-03-31 | 2000-03-01 | 光学部品の接着構造およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000347083A true JP2000347083A (ja) | 2000-12-15 |
Family
ID=26432393
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000055538A Pending JP2000347083A (ja) | 1999-03-31 | 2000-03-01 | 光学部品の接着構造およびその製造方法 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000347083A (ja) |
Cited By (6)
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-
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- 2000-03-01 JP JP2000055538A patent/JP2000347083A/ja active Pending
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| JP2018081316A (ja) * | 2013-03-25 | 2018-05-24 | 日本碍子株式会社 | 光入力部材の保持部品と光導波路部品との接続構造およびその製造方法 |
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