JP2000346071A - 多孔質静圧気体軸受 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 供給高圧気体の漏出をなくして供給高圧気体
の利用効率を上げることができて軸受隙間に気体膜を所
望に形成できる多孔質静圧気体軸受を提供すること。 【解決手段】 多孔質静圧気体軸受１は、裏金２と、裏
金２の内周面３に固定された多孔質焼結金属層６とを具
備しており、多孔質焼結金属層６の端面８及び９には、
当該端面８及び９を覆って且つ多孔質焼結金属層６の内
周面１０を越えて突出しないようにして封止材１１及び
１２が固着されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、多孔質静圧気体軸
受、特に、多孔質焼結金属層を具備した多孔質静圧気体
軸受に関する。

【０００２】

【発明が解決しようとする課題】静圧気体軸受は、支持
する可動体との間に気体膜を形成して、この気体膜を介
して可動体を移動自在に支持するものであるために、好
ましく製造された静圧気体軸受は、それが本来的に有す
るセンタリング機能等と相俟って、軸受隙間に潤滑油及
び給油が必要なく、しかも、高速移動においても振動を
生じさせないで、低摩擦、低発熱でもって可動体を好ま
しく支持できる。

【０００３】静圧気体軸受の一つとして、裏金と、この
裏金に固定された多孔質焼結金属層とを具備した多孔質
静圧気体軸受が用いられるが、この多孔質静圧気体軸受
では、供給される高圧気体の利用効率を上げるために
は、多孔質焼結金属層において、軸受面となる面からの
み高圧気体を噴出することが好ましい。

【０００４】ところで、上記の多孔質静圧気体軸受は、
裏金の一方の面に単に多孔質焼結金属層を貼着又は嵌着
したものであるために、多孔質焼結金属層の端面又は嵌
着面からの高圧気体の漏出は避けられず、高圧気体の利
用効率が低下してしまう。

【０００５】一方、多孔質焼結金属層の形成材料とし
て、青銅、アルミニウム合金、ステンレスを主体とした
もの、特に、青銅を主体としたものが多く用いられる
が、このような形成材料を用いた多孔質焼結金属層で
は、それ自体は一応好ましい通気性を有するが、多孔質
焼結金属層の寸法精度や表面粗さが十分でないので、多
くの場合には、１０^−３ｍｍオーダの軸受表面粗さを得
るべく、軸受表面となるその面に更に機械加工が施され
る。

【０００６】この機械加工は、主として旋盤およびフラ
イス加工や研削により行われるが、この旋盤およびフラ
イス加工や研削は多孔質焼結金属層の表面に目詰りを惹
起させ、その通気性（絞り特性）に大きく影響を与える
ことになる。特に、研削においては、多孔質焼結金属層
の表面に塑性流動を惹起させ、カエリやバリを生じさせ
る。

【０００７】本発明は、前記諸点に鑑みてなされたもの
であって、その目的とするところは、供給高圧気体の漏
出をなくして供給高圧気体の利用効率を上げることがで
きて軸受隙間に気体膜を所望に形成できる多孔質静圧気
体軸受を提供することにある。

【０００８】本発明の他の目的とするところは、好まし
い通気性と平面度を有した軸受表面からなる多孔質静圧
気体軸受を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の第一の態様の多
孔質静圧気体軸受は、裏金と、この裏金の一方の面に固
定された多孔質焼結金属層とを具備しており、多孔質焼
結金属層の端面には、当該多孔質焼結金属層の端面を覆
って且つ多孔質焼結金属層の軸受面を越えて突出しない
ようにして封止材が固着されている。

【００１０】第一の態様の多孔質静圧気体軸受によれ
ば、多孔質焼結金属層の端面に封止材が固着されている
ために、当該端面からの供給高圧気体の漏出をなくし得
て、供給高圧気体の利用効率を上げることができ、軸受
隙間に気体膜を所望に形成でき、しかも、封止材が多孔
質焼結金属層の軸受面を越えて突出しないようになって
いるために、支持する可動体に悪影響を及ぼすことがな
い。

【００１１】本発明の第二の態様の多孔質静圧気体軸受
では、第一の態様の多孔質静圧気体軸受において、多孔
質焼結金属層は、裏金の端面に隣接する裏金の一方の面
の所与の範囲を除いて、当該裏金の一方の面を覆って固
定されており、封止材は、裏金の一方の面の所与の範囲
にも固着されている。

【００１２】第二の態様の多孔質静圧気体軸受によれ
ば、封止材が裏金の一方の面の所与の範囲にも固着され
ているので、裏金と多孔質焼結金属層との相互固着面か
らの供給高圧気体の漏出をもなくし得て、第一の態様の
多孔質静圧気体軸受よりも更に供給高圧気体の利用効率
を上げることができ、軸受隙間に気体膜を所望に形成で
きる。

【００１３】本発明の第三の態様の多孔質静圧気体軸受
では、第一又は第二の態様の多孔質静圧気体軸受におい
て、裏金は、円筒状に形成されており、多孔質焼結金属
層は、裏金の円筒状の内周面に固定されている。

【００１４】本発明の第四の態様の多孔質静圧気体軸受
では、第一又は第二の態様の多孔質静圧気体軸受におい
て、裏金は、平板状に形成されており、多孔質焼結金属
層は、裏金の平板状の一方の平坦面に固定されている。

【００１５】第三の態様の多孔質静圧気体軸受では、可
動体としての回転軸を少なくともラジアル方向に回転自
在に支持でき、第四の態様の多孔質静圧気体軸受では、
可動体としての直動体、すなわちスライダを直動自在に
支持できる。

【００１６】本発明の第五の態様の多孔質静圧気体軸受
では、第一又は第二の態様の多孔質静圧気体軸受におい
て、裏金は、円筒部と、この円筒部に一体に形成された
鍔部とを具備しており、多孔質焼結金属層は、円筒部の
内周面に固着されたラジアル軸受部層と、鍔部の外側の
端面に隣接する鍔部の一方の面の所与の範囲を除いて、
当該鍔部の一方の面を覆って固定されてスラスト軸受部
層とを具備しており、封止材は、スラスト軸受部層の外
側の端面に、当該端面を覆って且つスラスト軸受部層の
軸受面を越えて突出しないようにして、固着されてい
る。

【００１７】第五の態様の多孔質静圧気体軸受では、可
動体としての回転軸をラジアル方向及びスラスト方向に
回転自在に支持できる。

【００１８】本発明の第六の態様の多孔質静圧気体軸受
では、第五の態様の多孔質静圧気体軸受において、封止
材は、鍔部の一方の面の所与の範囲にも固着されてい
る。

【００１９】第六の態様の多孔質静圧気体軸受によれ
ば、第二の態様の多孔質静圧気体軸受と同様に、鍔部と
スラスト軸受部層との相互固着面からの供給高圧気体の
漏出をもなくし得て、回転軸をラジアル方向及びスラス
ト方向に回転自在に支持できる多孔質静圧気体軸受、例
えばスラストワッシャにおいて供給高圧気体の利用効率
を上げることができ、ラジアル方向に加えてスラスト方
向における軸受隙間に気体膜を所望に形成できる。

【００２０】本発明の第七の態様の多孔質静圧気体軸受
では、第一から第六のいずれかの態様の多孔質静圧気体
軸受において、封止材は、エポキシ樹脂又はフェノール
樹脂からなる。

【００２１】封止材としては、上記のように、エポキシ
樹脂又はフェノール樹脂が熱膨張係数が小さく、耐熱性
を有する点で好ましいのであるが、本発明はこれらに限
定されず、その他α−シアノアクリレート系樹脂又は熱
可塑性樹脂であってもよい。

【００２２】本発明の第八の態様の多孔質静圧気体軸受
では、第一から第七のいずれかの態様の多孔質静圧気体
軸受において、封止材は、軸受隙間からの高圧気体の外
部への排出を案内するように、傾斜面をもって多孔質焼
結金属層の端面に固着されている。

【００２３】第八の態様の多孔質静圧気体軸受によれ
ば、高圧気体流が整流して外部に排出されるので、支持
される可動体が排出高圧気体流の乱れにより振動される
ことがない。

【００２４】本発明の第九の態様の多孔質静圧気体軸受
では、第一から第八のいずれかの態様の多孔質静圧気体
軸受において、多孔質焼結金属層は、粒界に無機物質粒
子が含有されている。

【００２５】第九の態様の多孔質静圧気体軸受によれ
ば、多孔質焼結金属層の粒界には無機物質粒子が含有さ
れているので、多孔質焼結金属層の目詰りが抑制され
て、理想的な絞り構造となっており、而して、軸受隙間
に所望の気体膜を形成できる。

【００２６】なお、本発明の多孔質静圧気体軸受におい
て、多孔質静圧気体軸受の軸受面となる多孔質焼結金属
層の露出表面の粗さを１０^−３ｍｍ以下にして、支持す
る可動体の振動を極力少なくするように構成するとよ
い。

【００２７】本発明の第十の態様の多孔質静圧気体軸受
では、第九の態様の多孔質静圧気体軸受において、多孔
質焼結金属層は、少なくとも錫、ニッケル、燐及び銅を
含んでおり、無機物質粒子は、黒鉛、窒化ホウ素、フッ
化黒鉛、フッ化カルシウム、酸化アルミニウム、酸化ケ
イ素及び炭化ケイ素のうちの少なくとも一つからなる。

【００２８】本発明の第十一の態様の多孔質静圧気体軸
受では、第一から第十のいずれかの態様の多孔質静圧気
体軸受において、多孔質焼結金属層は、裏金の一方の面
に焼結により固定されている。

【００２９】第十一の態様の多孔質静圧気体軸受によれ
ば、多孔質焼結金属層と裏金とをぴったりと固定できる
ために、この相互固定からの高圧気体の流出を防ぐこと
ができる。

【００３０】本発明の第十二の態様の多孔質静圧気体軸
受では、第一から第十一のいずれかの態様の多孔質静圧
気体軸受において、裏金は、鉄及び鉄合金並びに銅及び
銅合金よりなる群から選ばれた金属からなる。

【００３１】本発明の第十三の態様の多孔質静圧気体軸
受では、第一から第十二のいずれかの態様の多孔質静圧
気体軸受において、多孔質焼結金属層に高圧気体を導く
ように、裏金に形成された通路手段を更に具備してい
る。

【００３２】なお、第十三の態様の多孔質静圧気体軸受
のように裏金に通路手段を形成する代わりに、多孔質焼
結金属層に高圧気体供給手段の通路を形成してもよい。

【００３３】本発明の多孔質静圧気体軸受に支持される
可動体の一つとしては、例えば２万ｒｐｍ乃至５万ｒｐ
ｍ、更には、１０万ｒｐｍ程度の高速、高精度の回転が
必要である回転軸を挙げることができるが、その他の可
動体、例えば直動体としてのスライダであってもよい。

【００３４】

【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態を、図に
示す好ましい例に基づいて更に詳細に説明する。なお、
本発明はこれら例に何等限定されないのである。

【００３５】図１から図３において、本例の多孔質静圧
気体軸受１は、鉄及び鉄合金並びに銅及び銅合金よりな
る群から選ばれた金属からなる円筒状に形成された裏金
２と、裏金２の一方の面である円筒状の内周面３に、当
該内周面３において裏金２の環状の端面４及び５に隣接
する環状の範囲Ａを除いて当該内周面３を覆って、焼結
により固定された円筒状の多孔質焼結金属層６と、多孔
質焼結金属層６に高圧気体を導くように、裏金２に形成
された通路手段７とを具備しており、多孔質焼結金属層
６の環状の端面８及び９には、当該の端面８及び９並び
に範囲Ａの内周面３を覆って且つ多孔質焼結金属層６の
軸受面である内周面１０を越えて突出しないようにして
封止材１１及び１２が固着されている。封止材１１及び
１２の夫々は、範囲Ａにおいて内周面３にも固着されて
いる。封止材１１と１２とは、互いに同様に構成されて
いるので、以下、封止材１１について説明する。

【００３６】多孔質焼結金属層６は、少なくとも錫、ニ
ッケル、燐及び銅を含んでおり、多孔質焼結金属層６の
粒界には、塑性変形をすることがない無機物質であると
ころの、黒鉛、窒化ホウ素、フッ化黒鉛、フッ化カルシ
ウム、酸化アルミニウム、酸化ケイ素及び炭化ケイ素の
うちの少なくとも一つからなる無機物質粒子が含有され
ている。このような無機物質が多孔質焼結金属層６の
錫、ニッケル、燐及び銅に分散配合されていると、この
もの自体が機械加工によって塑性変形することがなく、
加えて、多孔質焼結金属層６の素地の金属部分の塑性変
形を分断し軽減する働きがあるため、機械加工における
多孔質焼結金属層６の目詰りを抑えることができる。多
孔質焼結金属層６は、焼結に代えて、接着剤等により裏
金２の内周面３に固着されてもよい。

【００３７】範囲Ａは、できるだけ狭いほうが好ましい
のであるが、あまり狭いと封止材１１の形成作業が困難
となる上に、封止材１１の厚みが薄くなり、高圧気体に
よって端面８から剥がされる虞があるので、形成作業及
び封止材１１の強度との観点から決定されればよい。

【００３８】本例の封止材１１は、多孔質静圧気体軸受
１で回転自在に支持される回転軸２１の表面２２と多孔
質焼結金属層６の円筒状の内周面１０との間、すなわち
環状の軸受隙間２３からの高圧気体の外部への排出を案
内するように、傾斜面２５をもって多孔質焼結金属層６
の端面８及び範囲Ａにおいて内周面３に固着されてい
る。

【００３９】通路手段７は、裏金２を貫通して当該裏金
２に形成された導入孔３１と、内周面３において裏金２
に形成された複数の環状溝３２と、導入孔３１に連通す
ると共に、環状溝３２を相互に連通させる導通溝３３と
を具備している。

【００４０】以上の多孔質静圧気体軸受１は、導入孔３
１を介して環状溝３２及び導通溝３３に供給された高圧
気体が、多孔質焼結金属層６の内周面１０から噴出され
て軸受隙間２３に気体膜を形成する結果、回転軸２１
を、センタリング機能をもって中心軸Ｏの周りでＲ方向
に回転自在に支持する。

【００４１】そして多孔質静圧気体軸受１では、多孔質
焼結金属層６の端面８及び９並びに範囲Ａにおいて内周
面３に封止材１１及び１２が固着されているために、当
該端面８及び９からの供給高圧気体の漏出をなくし得
て、供給高圧気体の利用効率を上げることができ、軸受
隙間２３に気体膜を所望に形成でき、しかも、封止材１
１及び１２が多孔質焼結金属層６の軸受面である内周面
１０を越えて突出しないようになっているために、支持
する可動体としての回転軸２１に悪影響を及ぼすことが
ない。

【００４２】加えて、多孔質静圧気体軸受１では、封止
材１１及び１２が軸受隙間２３からの高圧気体の外部へ
の排出を案内するように、換言すれば、高圧気体流を整
流して排出するように、傾斜面２５をもって形成されて
いるので、支持される回転軸２１が排出高圧気体流の乱
れにより振動されることがない。なお、傾斜面２５は、
図示のように直面に代えて、凹面又は凸面からなってい
てもよい。

【００４３】更に、多孔質静圧気体軸受１において、多
孔質焼結金属層６の粒界には無機物質粒子が含有されて
いるので、多孔質焼結金属層６の目詰りが抑制されて、
理想的な絞り構造となっており、而して、軸受隙間２３
に所望の気体膜を形成できる。

【００４４】以上の多孔質静圧気体軸受１は、回転軸２
１に対してラジアル軸受として構成した例であるが、図
４に示すように、例えばスラストワッシャ等のスラスト
軸受として多孔質静圧気体軸受４１を構成してもよい。
本例の多孔質静圧気体軸受４１では、裏金４２は、円筒
部４３と、円筒部４３に一体に形成された環状の鍔部４
４とを具備しており、多孔質焼結金属層４５は、円筒部
４３の円筒状の内周面４６に焼結により固着された円筒
状のラジアル軸受部層４７と、鍔部４４の環状の側面４
８に、当該側面４８において鍔部４４の環状の端面４９
に隣接する環状の範囲Ａを除いて当該側面４８を覆っ
て、焼結により固着されたスラスト軸受部層５０とを具
備しており、封止材５１は、ラジアル軸受部層４７の環
状の端面５２と端面５２に隣接するスラスト軸受部層５
０の内側の環状の端面５３とに、当該両端面５２及び５
３を覆って且つラジアル軸受部層４７及びスラスト軸受
部層５０の軸受面である円筒状の内周面５４及び環状の
側面５５を越えて突出しないようにして、固着されてお
り、封止材６１は、スラスト軸受部層５０の外側の環状
の端面６２及び範囲Ａの側面４８に、当該端面６２並び
に範囲Ａの側面４８を覆って且つスラスト軸受部層５０
の側面５５を越えて突出しないようにして固着されてい
る。

【００４５】多孔質静圧気体軸受４１では，環状の封止
材５１は、多孔質静圧気体軸受４１で回転自在に支持さ
れる回転軸７１の円柱部７２の表面７３とラジアル軸受
部層４７の内周面５４との間の環状の軸受隙間７４から
の高圧気体の軸受隙間７５への排出を案内するように、
傾斜面７６をもって両端面５２及び５３に固着されてお
り、環状の封止材６１は、円柱部７２に一体的に形成さ
れた回転軸７１の鍔部７７の一方の側面７８とスラスト
軸受部層５０の側面５５との間の前記の環状の軸受隙間
７５からの高圧気体の外部への排出を案内するように、
傾斜面７９をもって端面６２及び範囲Ａの側面４８に固
着されている。なお、多孔質静圧気体軸受４１にも、導
入孔３１、環状溝３２及び導通溝３３と同様の導入孔
（図示せず）、環状溝８１及び導通溝８２等からなる通
路手段が裏金４２に設けられている。

【００４６】多孔質静圧気体軸受４１は、多孔質静圧気
体軸受１と同様に、回転軸７１の円柱部７２を、センタ
リング機能をもってラジアル方向に関して回転自在に支
持することができると共に、軸受隙間７５に生じる気体
膜により鍔部７７をスラスト方向に関して回転自在に支
持することができる。そして、スラスト軸受部層５０の
端面６２及び範囲Ａの側面４８に封止材６１が固着され
ているために、当該端面６２等からの供給高圧気体の漏
出をなくし得て、供給高圧気体の利用効率を上げること
ができ、軸受隙間７４及び７５に気体膜を所望に形成で
き、しかも、封止材５１及び６１が内周面５４及び側面
５５を越えて突出しないようになっているために、支持
する可動体としての回転軸７１に悪影響を及ぼすことが
ない。また、封止材５１及び６１が傾斜面７６及び７９
を夫々有しているために、回転軸７１が、軸受隙間７４
と７５との間での気体流の乱れ及び排出高圧気体流の乱
れにより振動されることがない。

【００４７】以上は回転軸２１及び７１についての多孔
質静圧気体軸受の例であるが、可動体として直動体（ス
ライダ）についての多孔質静圧気体軸受の例を図５に示
す。図５に示す直動体（スライダ）９０を直動自在に支
持する多孔質静圧気体軸受９１において、裏金９２は、
矩形状であって平板状に形成されており、多孔質焼結金
属層９３は、裏金９２の平板状の一方の平坦面９４に、
裏金９２の全周囲の端面９５に隣接する平坦面９４の所
与の範囲Ａを除いて、当該裏金９２の平坦面９４を覆っ
て焼結により固定されており、多孔質焼結金属層９３の
全周囲の端面９６及び範囲Ａの平坦面９４には、当該多
孔質焼結金属層９３の端面９６及び範囲Ａの平坦面９４
を覆って且つ多孔質焼結金属層９３の軸受面９７を越え
て突出しないようにして、傾斜面９８を有した封止材９
９が固着されており、裏金９２には、導入孔３１、環状
溝３２及び導通溝３３と同様の、導入孔１００、直線溝
１０１及び導通溝１０２からなる通路手段が設けられて
いる。

【００４８】多孔質静圧気体軸受９１でも、端面９６か
らの供給高圧気体の外部への漏出をなくし得て、供給高
圧気体の利用効率を上げることができ、軸受隙間１１１
に気体膜を所望に形成でき、しかも、支持する可動体と
しての直動体９０に悪影響を及ぼすことがなく、排出高
圧気体流の乱れにより直動体９０が振動されることがな
い。

【００４９】以上において、多孔質焼結金属層６、４５
又は９３は、例えば、重量比で錫４〜１０％、ニッケル
１０〜４０％、燐０．５〜４％、黒鉛３〜１０％及び残
部銅からなる混合粉末を加圧成形して、鍔なし若しくは
鍔付円筒状又は平板状の圧粉体を製造し、この圧粉体
を、鉄、鉄合金、銅又は銅合金等からなる鍔なし若しく
は鍔付円筒状又は平板状の裏金２、４２又は９２の内周
面に挿入又は載置し、これを還元性雰囲気もしくは真空
中で８００〜１１５０℃の温度で２０〜６０分間焼結し
て形成する。焼結中、圧粉体の表面を適宜の手段を用い
て加圧して、圧粉体を裏金に押し付けるとよい。圧粉体
の製造においての圧粉圧力としては、２〜７トン／ｃｍ
^２程度が好ましい。こうして焼結して得られた多孔質焼
結金属層素材の露出面を、その粗さが１０^−３ｍｍ以下
となるように、研削やラッピングにより機械加工して、
所望の多孔質焼結金属層６、４５又は９３を得る。

【００５０】得られた多孔質焼結金属層６、４５又は９
３では、これから噴出される気体の流量が、機械加工前
の多孔質焼結金属層素材における流量の１／１０〜１／
３０程度になる。また、多孔質焼結金属層６、４５又は
９３は、裏金２、４２又は９２との間に相互に金属成分
の拡散を生じ強固に密着一体化し、その密着強度も１０
００ｋｇ／ｃｍ^２以上を示し、しかも、両者の間には隙
間はなく、この部分からの圧縮気体の漏れは皆無である
ことが確認された。

【００５１】なお、多孔質焼結金属層６、４５又は９３
のための上記形成成分の混合粉末に有機質結合剤水溶液
を添加し、均一に混合して原料粉末とし、該原料粉末を
圧延ロールに供給して原料粉末からなる圧延シートを形
成し、この圧延シートを所望の寸法に切断し、切断した
圧延シートを裏金２、４２又は９２の内周面に円筒状に
して挿入し又はそれ自体を裏金の平坦表面に載置し、こ
れを還元性雰囲気もしくは真空中で８７０〜１１５０℃
の温度で０．１〜５．０ｋｇｆ／ｃｍ^２の圧力下で２０
〜１２０分間焼結して、圧延シートの焼結と裏金２、４
２又は９２への拡散接合とを同時に行わせて、裏金２、
４２又は９２の一方の面に焼結された多孔質焼結金属層
６、４５又は９３を具備した軸受素材を形成し、こうし
て得られた軸受素材の多孔質焼結金属層６、４５又は９
３の露出面を上記と同様にして機械加工して、所望の多
孔質静圧気体軸受１、４１又は９１を得るようにしても
よい。

【００５２】この例示の圧延シートの圧粉密度は、５．
４８〜６．７２ｇ／ｃｍ^３、その厚さ１．３８ｍｍ〜
２．３８ｍｍであって、焼結時間及び温度の設定によ
り、得られる多孔質焼結金属層６、４５又は９３の密度
および多孔度は異なるが、概ね上述した条件で、焼結密
度５．１５〜６．１９ｇ／ｃｍ^３、多孔質度（含油率換
算）１１．１〜３４．１容積％であり、このように製造
された軸受素材でも、多孔質焼結金属層６、４５又は９
３は、裏金２、４２又は９２に拡散接合して一体化して
おり、接合部からの圧縮気体の漏洩は皆無であり、多孔
質静圧気体軸受１、４１又は９１として十分に満足して
使用し得るものであることを確認した。

【００５３】

【発明の効果】本発明によれば、供給高圧気体の漏出を
なくして供給高圧気体の利用効率を上げることができて
軸受隙間に気体膜を所望に形成できる多孔質静圧気体軸
受を提供することができる。

【００５４】また、本発明によれば、好ましい通気性と
平面度を有した軸受表面からなる多孔質静圧気体軸受を
提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の好ましい実施の形態の一例の断面図で
ある。

【図２】図１に示す例の側面図である。

【図３】図１に示す例の一部拡大図である。

【図４】本発明の好ましい実施の形態の他の例の一部断
面図である。

【図５】本発明の好ましい実施の形態の更に他の例の断
面図である。

【符号の説明】

１ 多孔質静圧気体軸受 ２ 裏金 ６ 多孔質焼結金属層 １１ 封止材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 冨田 博嗣 神奈川県藤沢市桐原町８番地 オイレス工 業株式会社藤沢事業場内 Ｆターム(参考） 3J102 AA02 BA03 BA17 CA36 EA02 EA06 EA16 EA17 EA18 EA24 FA08 4K018 AA08 AB01 AB02 AB03 AB04 AB07 KA03 KA22

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 裏金と、この裏金の一方の面に固定され
   た多孔質焼結金属層とを具備しており、多孔質焼結金属
   層の端面には、当該多孔質焼結金属層の端面を覆って且
   つ多孔質焼結金属層の軸受面を越えて突出しないように
   して封止材が固着されている多孔質静圧気体軸受。
2. 【請求項２】 多孔質焼結金属層は、裏金の端面に隣接
   する裏金の一方の面の所与の範囲を除いて、当該裏金の
   一方の面を覆って固定されており、封止材は、裏金の一
   方の面の所与の範囲にも固着されている請求項１に記載
   の多孔質静圧気体軸受。
3. 【請求項３】 裏金は、円筒状に形成されており、多孔
   質焼結金属層は、裏金の円筒状の内周面に固定されてい
   る請求項１又は２に記載の多孔質静圧気体軸受。
4. 【請求項４】 裏金は、平板状に形成されており、多孔
   質焼結金属層は、裏金の平板状の一方の平坦面に固定さ
   れている請求項１又は２に記載の多孔質静圧気体軸受。
5. 【請求項５】 裏金は、円筒部と、この円筒部に一体に
   形成された鍔部とを具備しており、多孔質焼結金属層
   は、円筒部の内周面に固着されたラジアル軸受部層と、
   鍔部の外側の端面に隣接する鍔部の一方の面の所与の範
   囲を除いて、当該鍔部の一方の面を覆って固定されてス
   ラスト軸受部層とを具備しており、封止材は、スラスト
   軸受部層の外側の端面に、当該端面を覆って且つスラス
   ト軸受部層の軸受面を越えて突出しないようにして、固
   着されている請求項１又は２に記載の多孔質静圧気体軸
   受。
6. 【請求項６】 封止材は、鍔部の一方の面の所与の範囲
   にも固着されている請求項５に記載の多孔質静圧気体軸
   受。
7. 【請求項７】 封止材は、エポキシ樹脂又はフェノール
   樹脂からなる請求項１から６のいずれか一項に記載の多
   孔質静圧気体軸受。
8. 【請求項８】 封止材は、軸受隙間からの高圧気体の外
   部への排出を案内するように、傾斜面をもって多孔質焼
   結金属層の端面に固着されている請求項１から７のいず
   れか一項に記載の多孔質静圧気体軸受。
9. 【請求項９】 多孔質焼結金属層は、粒界に無機物質粒
   子が含有されている請求項１から８のいずれか一項に記
   載の多孔質静圧気体軸受。
10. 【請求項１０】 多孔質焼結金属層は、少なくとも錫、
    ニッケル、燐及び銅を含んでおり、無機物質粒子は、黒
    鉛、窒化ホウ素、フッ化黒鉛、フッ化カルシウム、酸化
    アルミニウム、酸化ケイ素及び炭化ケイ素のうちの少な
    くとも一つからなる請求項８に記載の多孔質静圧気体軸
    受。
11. 【請求項１１】 多孔質焼結金属層は、裏金の一方の面
    に焼結により固定されている請求項１から１０のいずれ
    か一項に記載の多孔質静圧気体軸受。
12. 【請求項１２】 裏金は、鉄及び鉄合金並びに銅及び銅
    合金よりなる群から選ばれた金属からなる請求項１から
    １１のいずれか一項に記載の軸受装置。
13. 【請求項１３】 多孔質焼結金属層に高圧気体を導くよ
    うに、裏金に形成された通路手段を更に具備している請
    求項１から１２のいずれか一項に記載の多孔質静圧気体
    軸受。