JP4442012B2 - 多孔質静圧気体軸受及びその製造方法 - Google Patents

多孔質静圧気体軸受及びその製造方法 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、多孔質金属焼結体を用いた多孔質静圧気体軸受及びその製造方法に関する。
【0002】
【発明が解決しようとする課題】
多孔質静圧気体軸受は、すぐれた高速安定性と高い負荷容量とをもつものとして、従来から注目されており、種々研究もなされているが実用化に際してはいくつかの克服すべき問題がある。
【0003】
多孔質静圧気体軸受に対して多孔質金属焼結体を用いる場合、供給される高圧気体が無駄に消費されないように、通常、軸受面以外に対しては封孔処理が施される。
【0004】
斯かる封孔処理は、多孔質金属焼結体の表面にシリコーン樹脂等からなる封止剤を塗布して通常なされるが、塗布されて多孔質金属焼結体の表面に形成された封孔用の封止剤層は、高圧気体からの風圧を受けるためにある程度の厚みを必要とする結果、多孔質金属焼結体の寸法精度に影響を与えると共に、多孔質金属焼結体の表面から剥がれだす虞もある。
【0005】
また、封止剤による封孔処理は、塗布後にその乾燥工程を必要とする上に、封止剤が流動して軸受面として形成された多孔質金属焼結体の他の表面に流れ出す虞もあり、作業時間がかかり煩雑な工程となり、更に、封止剤が多孔質金属焼結体の細孔内に染み込んで、必要な細孔をも封止してしまう虞もある。
【0006】
本発明は、前記諸点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、シリコーン樹脂等からなる封止剤を用いないで封孔処理を行い得、而して、多孔質金属焼結体の寸法精度を所望に得られて、長期に亘って安定な封孔を維持でき、しかも、煩雑な工程をなくし得て封孔作業時間を大幅に短縮できて、必要なところのみの封孔を行い得る多孔質静圧気体軸受及びその製造方法を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明の第一の態様の多孔質静圧気体軸受は、多孔質金属焼結体を具備しており、ここで、多孔質金属焼結体の軸受面は、無秩序に混在した、金属部分と無機質部分と多数の細孔の開口とを有しており、軸受面以外であって多孔質金属焼結体の外部に露出する面は、金属部分と、この金属部分の展延部とを有しており、外部に露出する面の少なくとも大部分の細孔の開口は、展延部で塞がれている。
【0008】
第一の態様の多孔質静圧気体軸受によれば、軸受面以外であって多孔質金属焼結体の外部に露出する面の少なくとも大部分の細孔の開口が金属部分の展延部で塞がれているために、この露出する面からの気体の噴出をなくし得、供給される高圧気体の無駄な消費をなくし得ると共に、細孔の封孔が金属部分の展延部でなされているために、封止剤に比較して長期に亘って安定な封孔を維持できる上に、露出する面からの張り出しがなく、多孔質金属焼結体の寸法精度を所望に得られる。
【0009】
なお、第一の態様の多孔質静圧気体軸受においては、外部に露出する面の細孔の開口は、展延部以外の金属部分でも塞がれており、これにより外部に露出する面は、細孔の開口がほとんど存在しないようにされている。
【0010】
本発明では、その第二の態様の多孔質静圧気体軸受のように、軸受面は、更に、金属部分の展延部を有しており、斯かる軸受面の金属部分の展延部は、本発明の第三の態様の多孔質静圧気体軸受では、軸受面の多数の開口のうちの少なくとも一部の開口を絞っている。
【0011】
第三の態様の多孔質静圧気体軸受によれば、展延部により軸受面の一部の細孔の開口が絞られているために、細孔が軸受面でそのまま大きく開口することに起因する自励振動(ニューマチックハンマー現象)を減少でき、安定な軸受機能を発揮できる。
【0012】
本発明の第二の態様における軸受面の金属部分の展延部は、本発明の第四の態様の多孔質静圧気体軸受のように、軸受面の多数の開口のうちの一部の開口を塞いでいても、また、本発明の第五の態様の多孔質静圧気体軸受のように、無機質部分で分断されていてもよい。
【0013】
多孔質金属焼結体は、本発明の第六の態様の多孔質静圧気体軸受では、円筒形状を有していると共に、外部に露出した環状の端面を有しており、本発明の第七の態様の多孔質静圧気体軸受では、円筒形状を有していると共に、ハウジング内に嵌装されており、外部に露出した環状の端面を有している。
【0014】
第六の態様の多孔質静圧気体軸受によれば、多孔質金属焼結体の外周面又は内周面を軸受面とすることによりラジアル軸受を構成でき、第七の態様の多孔質静圧気体軸受によれば、ハウジングにより多孔質金属焼結体の外周面の封孔処理を行うことができ、多孔質金属焼結体の細孔の外周面での開口から無駄に気体が噴出することをなくし得る。
【0015】
また、多孔質金属焼結体は、本発明の第八の態様の多孔質静圧気体軸受では、方形形状を有していると共に、外部に露出した矩形状の端面を有しており、本発明の第九の態様の多孔質静圧気体軸受では、方形形状を有していると共に、板状の裏金に固着されており、外部に露出した矩形状の端面を有している。
【0016】
本発明による多孔質静圧気体軸受は、多孔質金属焼結体を裸で用いて多孔質金属焼結体そのものから構成してもよいが、上述の第七の態様のように、多孔質金属焼結体の外周面をハウジングで覆って、多孔質金属焼結体とハウジングとから構成してもよく、更には、第九の態様のように、多孔質金属焼結体を板状の裏金に固着して、斯かる板状の裏金と多孔質金属焼結体とから構成してもよく、この場合には、本発明の多孔質静圧気体軸受をスライダのような直動部材の軸受として用いることができる。
【0017】
本発明の第十の態様の多孔質静圧気体軸受では、第一から第九のいずれかの態様の多孔質静圧気体軸受において、軸受面及び外部に露出する面の金属部分は、少なくとも錫、燐及び銅を含んでおり、軸受面の無機質部分は、黒鉛、窒化ホウ素、フッ化黒鉛、フッ化カルシウム、酸化アルミニウム、酸化ケイ素及び炭化ケイ素のうちの少なくとも一つを含んでおり、本発明の第十一の態様の多孔質静圧気体軸受では、第十の態様の多孔質静圧気体軸受において、軸受面及び外部に露出する面の金属部分は、更に、ニッケル又はマンガンを含んでいる。
【0018】
第十の態様の多孔質静圧気体軸受によれば、軸受面及び外部に露出する面の金属部分に展延性に優れた金属を含んでいるために好ましい展延部を提供でき、また、第十の態様の多孔質静圧気体軸受において、軸受面の無機質部分に、特に黒鉛、窒化ホウ素、フッ化黒鉛及びフッ化カルシウムの少なくとも一つを含んでいると、これらは固体潤滑材として機能するので、多孔質静圧気体軸受に支持される回転軸又はスライダの静止時又は始動時に相互に接触しても、これらに損傷が生じ難くフェールセーフな多孔質静圧気体軸受となる。
【0019】
本発明の第一の態様の多孔質静圧気体軸受の製造方法は、金属粉末及び無機質粉末を含む円筒状圧粉部と、この円筒状圧粉部の両端面に配されていると共に、主として金属粉末を含む環状圧粉部とを一体的に有した圧粉体を準備する準備工程と、この圧粉体を焼結して円筒状の多孔質金属焼結体を作製する多孔質金属焼結体作製工程と、この多孔質金属焼結体に研削を施して、多孔質金属焼結体の円筒面に軸受面を形成し、多孔質金属焼結体の端面に外部に露出する面を形成する研削工程とを具備する。
【0020】
斯かる第一の態様の製造方法によれば、多孔質金属焼結体に研削を施して、多孔質金属焼結体の端面に外部に露出する面を形成するために、主として金属粉末からなる端面において金属部分に研削により塑性変形を生じさせて、露出する面の細孔の開口を閉塞できる結果、シリコーン樹脂等からなる封止剤を用いないで封孔処理を行い得、而して、多孔質金属焼結体の寸法精度を所望に得られて、長期に亘って安定な封孔を維持でき、しかも、煩雑な工程をなくし得て封孔作業時間を大幅に短縮できて、必要なところのみの封孔を行い得る。
【0021】
本発明の第二の態様の多孔質静圧気体軸受の製造方法は、主として金属粉末を含む厚肉円筒状圧粉体と、この厚肉円筒状圧粉体の内周面に配されていると共に、金属粉末及び無機質粉末を含む薄肉円筒状圧粉体とを有した組み合わせ圧粉体を準備する準備工程と、この組み合わせ圧粉体を焼結して、厚肉円筒状圧粉体と薄肉円筒状圧粉体とを一体化してなる円筒状の多孔質金属焼結体を作製する多孔質金属焼結体作製工程と、この多孔質金属焼結体に研削を施して、多孔質金属焼結体の円筒面に軸受面を形成し、多孔質金属焼結体の端面に外部に露出する面を形成する研削工程とを具備する。
【0022】
第二の態様の製造方法によれば、多孔質金属焼結体に研削を施して、多孔質金属焼結体の端面に外部に露出する面を形成するために、主として金属粉末を含む厚肉円筒状圧粉体から大部分がなる端面において金属部分に研削により塑性変形を生じさせて、露出する面の細孔の開口を閉塞できる結果、上記の第一の態様の製造方法と同様な効果を生じさせることができる。
【0023】
本発明の第三の態様の多孔質静圧気体軸受の製造方法は、金属粉末及び無機質粉末を含む軸受面用の圧粉体と、主として金属粉末を含む端面用の圧粉体とを準備する準備工程と、軸受面用の圧粉体を軸受面となるべき部位に配置し、端面用の圧粉体を軸受面以外であって外部に露出する面となる部位に配して、これらの組み合わせ体を作製する組み合わせ体作製工程と、この作製した組み合わせ体を焼結して、軸受面用の圧粉体と端面用の圧粉体とを一体化してなる多孔質金属焼結体を作製する多孔質金属焼結体作製工程と、多孔質金属焼結体に研削を施して、軸受面用の圧粉体で形成された部位に軸受面を形成し、端面用の圧粉体で形成された部位に外部に露出する面を形成する研削工程とを具備する。
【0024】
第三の態様の製造方法によれば、多孔質金属焼結体に研削を施して、主として金属粉末を含む端面用の圧粉体で形成された部位に外部に露出する面を形成し、斯かる露出する面において金属部分に研削により塑性変形を生じさせて、当該露出する面の細孔の開口を閉塞する結果、上記の第一及び第二の態様の製造方法と同様な効果を生じさせることができる。
【0025】
本発明の第四の態様の製造方法では、上記の製造方法において、金属粉末は、少なくとも錫、燐及び銅を含んでおり、無機質粉末は、黒鉛、窒化ホウ素、フッ化黒鉛、フッ化カルシウム、酸化アルミニウム、酸化ケイ素及び炭化ケイ素のうちの少なくとも一つを含んでいる。
【0026】
第四の態様の製造方法によれば、金属粉末からなる焼結部分が優れた展延性を呈するために、外部に露出する面では細孔の開口を確実に閉塞できる一方、軸受面では、金属粉末からなる焼結部分の優れた展延性に拘らず、金属粉末からなる焼結部分が塑性変形して細孔の開口を閉じようとしても、脆性な無機質部分で金属粉末からなる焼結部分の塑性流動が分断されて細孔の開口の閉塞が好ましく抑制され、而して、軸受面の形成後も、細孔の目詰まりが抑制された理想的な絞り構造となった細孔を有した多孔質静圧気体軸受を得ることができ、更に、無機質粉末として黒鉛、窒化ホウ素、フッ化黒鉛及びフッ化カルシウムのうちの少なくとも一つを含む場合は、これらが固体潤滑材として機能する結果、多孔質静圧気体軸受に支持される回転軸又はスライダの静止時又は始動時に相互に接触しても、これらに損傷が生じ難くフェールセーフな多孔質静圧気体軸受となる。
【0027】
なお、本発明の第五の態様の製造方法のように、金属粉末が、更に、ニッケル又はマンガンを含んでいると、金属粉末からなる焼結部分の剛性を適宜増大し得る。
【0028】
また本発明の第六の態様の製造方法のように、多孔質金属焼結体をハウジング内に嵌装、固着する嵌装工程を更に具備していてもよい。
【0029】
第六の態様の製造方法によれば、ハウジングで補強されると共に、多孔質金属焼結体の一つの面をハウジングで封孔処理できる多孔質静圧気体軸受を製造できる。
【0030】
多孔質金属焼結体を形成するための金属粉末は、その粒径が30μmから150μmのものを、好ましくは45μmから75μmのものを用いるのが好ましく、同じく無機質粉末は、その粒径が30μmから300μmのものを、好ましくは45μmから150μmのものを用いるのが好ましく、斯かる金属粉末及び無機質粉末を用いた多孔質金属焼結体の焼結密度及び多孔度は焼結時間及び焼結温度で異なるが、例えば、2トン/cmから7トン/cmの圧力を加えて圧粉体を形成し、この圧粉体を還元性雰囲気もしくは真空中で800℃から1150℃の温度で20分から60分間焼結した場合には、概ね焼結密度は、5.15g/cm乃至6.19g/cm、多孔度は21.1%乃至34.1%(含油率換算)である。
【0031】
本発明の方法において、多孔質金属焼結体に対する機械加工は、多くの場合、旋削加工後、研削加工が行われる。この研削加工における加工代は、概ね0.2mm以下の範囲で行われるのがよい。
【0032】
以下、本発明及び本発明の実施の形態を、図面を参照してその好ましい例に基づいて説明する。なお、本発明はこれらの例に限定されないのである。
【0033】
【発明の実施の形態】
図1から図4において、本例の多孔質静圧気体軸受1は、円筒状の多孔質金属焼結体2と、同じく円筒状であって、多孔質金属焼結体2が内部に嵌装された金属製の剛性のハウジング3とを具備している。
【0034】
円筒形状を有した多孔質金属焼結体2において、ラジアル軸受面としての円筒状の内周面4は、無秩序に混在した、多数の細孔5の開口6と、金属部分7と、無機質部分8と、金属部分7の展延部9とを有しており、内周面4以外であって多孔質金属焼結体2の外部に露出する面、本例では環状の両端面10及び11は、金属部分12と、金属部分12の展延部13とを有しており、両端面10及び11の細孔5の開口は、展延部13で塞がれている。
【0035】
内周面4における金属部分7の展延部9は、開口6を絞っているもの、開口6を塞いでいるもの及び無機質部分8で分断されているものからなる。
【0036】
外部に露出する面として環状の両端面10及び11を有した多孔質金属焼結体2において、その円筒状の外周面21には環状凹所22が形成されており、ハウジング3の円筒状の内周面23によって蓋された環状凹所22は、多孔質金属焼結体2の細孔5へ気体、本例では高圧空気を供給する環状供給路24を形成している。
【0037】
ハウジング3は、環状供給路24に連通すると共にねじが切られた貫通孔25を具備しており、貫通孔25に空気供給プラグが取付けられるようになっている。ハウジング3の内周面23がぴったりと多孔質金属焼結体2の外周面21に接触していることにより、外周面21での多孔質金属焼結体2の細孔5の開口が封止されている。なお、外周面21での封孔処理をより完全なものとするために、ハウジング3の内周面23と多孔質金属焼結体2の外周面21との間に、シリコーン樹脂等からなる封止剤を介在させてもよい。
【0038】
本例では、内周面4並びに両端面10及び11の金属部分7及び12は、錫、燐、ニッケル及び銅を含んでおり、内周面4の無機質部分8は、黒鉛を含んでいる。
【0039】
以上の多孔質静圧気体軸受1において、貫通孔25に供給された高圧空気は、環状供給路24に供給され、環状供給路24に供給された高圧空気は、多孔質金属焼結体2の細孔5を介して内周面4から噴出されて、内周面4に挿着された回転軸31の外周面との間に高圧空気膜を形成し、而して、多孔質静圧気体軸受1は、斯かる回転軸31をラジアル方向において回転自在に支持する。
【0040】
多孔質静圧気体軸受1によれば、内周面4以外であって多孔質金属焼結体2の外部に露出する両端面10及び11の細孔5の開口が金属部分12の展延部13で塞がれているために、両端面10及び11からの空気の噴出をなくし得、供給される高圧空気の無駄な消費をなくし得ると共に、細孔5の封孔が金属部分12の展延部13でなされているために、封止剤に比較して長期に亘って安定な封孔を維持できる上に、両端面10及び11からの張り出しがなく、多孔質金属焼結体2の寸法精度を所望に得られる。
【0041】
また多孔質静圧気体軸受1によれば、展延部9により内周面4の一部の細孔5の開口6が絞られているために、多くの細孔5が内周面4でそのまま大きく開口することに起因する自励振動(ニューマチックハンマー現象)をなくし得、安定な軸受機能を発揮でき、しかも、ハウジング3により多孔質金属焼結体2の外周面21の封孔処理を行うことができ、多孔質金属焼結体2の細孔5の外周面21での開口から無駄に気体が噴出することをなくし得る。
【0042】
次に以上の多孔質静圧気体軸受1を製造する方法の一例を説明する。先ず、図5に示すような、円筒状の内周面27を有した外型28と、中子としての小径円柱部29及び大径円柱部30を有した下型26とを準備すると共に、外型28と下型26とにより形成された円筒中空部32に、例えば錫4%から10%、ニッケル10%から40%、燐0.5%から4%及び残部銅からなる混合金属粉末であって、黒鉛、窒化ホウ素、フッ化黒鉛、フッ化カルシウム、酸化アルミニウム、酸化ケイ素及び炭化ケイ素等の無機質粉末を含まない混合金属粉末を入れて堆積させることにより、環状の薄い混合粉末層33を形成し、混合粉末層33の形成後、同じく円筒中空部32に、重量比で錫4%から10%、ニッケル10%から40%、燐0.5%から4%、黒鉛3%から10%及び残部銅からなる金属粉末と、黒鉛、窒化ホウ素、フッ化黒鉛、フッ化カルシウム、酸化アルミニウム、酸化ケイ素及び炭化ケイ素の少なくとも一つを含む無機質粉末との混合粉末を入れて堆積させることにより、円筒状の厚い混合粉末層34を形成し、混合粉末層34の形成後に、混合粉末層33と同様な主として混合金属粉末の環状の薄い混合粉末層35を同様にして形成する。
【0043】
次に、図6に示すような小径円柱部29が嵌入する円柱状の内部36を有する円筒状の上型37を準備すると共に、上型37の内部36に小径円柱部29を嵌入すると共に上型37を下型26に向かって押圧しながら円筒中空部32に挿入して、混合粉末層33、34及び35に2トン/cmから7トン/cmの圧力を加えて、混合粉末層34からなる円筒状圧粉部38と、混合粉末層33及び35からなって、円筒状圧粉部38の両端面に配された環状圧粉部39及び40とを一体的に有した圧粉体52を成形し、成形後、型から取り出して圧粉体52を得る。
【0044】
こうして準備された圧粉体52に機械加工を施して図7に示すような環状凹所22を形成し、環状凹所22が形成された圧粉体52を、還元性雰囲気もしくは真空中で800℃から1150℃の温度で20分から60分間焼結して、環状凹所22を有した図7に示すような円筒状の多孔質金属焼結体2を作製する。
【0045】
多孔質金属焼結体2の作製後、次に、多孔質金属焼結体2の円筒面である内周面4を旋削加工して、旋削加工後、続いて研削加工して内周面4を軸受面として形成し、多孔質金属焼結体2の環状の端面10及び11を、当該端面10及び11において十分な金属部分12の展延部13が生じるように適宜旋削加工して、旋削加工後、続いて研削加工して、端面10及び11を外部に露出する面として形成する。内周面4並びに端面10及び11の研削加工における加工代は、概ね0.2mm以下の範囲で行なうとよい。
【0046】
これらの研削工程後、図8に示すように、多孔質金属焼結体2を、予めねじ切りされた貫通孔25を有する円筒状のハウジング3内に嵌装、固着することにより、図1及び図2に示すような多孔質静圧気体軸受1を得ることができる。
【0047】
以上の製造方法によれば、前述の特長をもった多孔質静圧気体軸受1を得ることができる上に、多孔質金属焼結体2に研削を施して、多孔質金属焼結体2の端面10及び11に外部に露出する面を形成するために、主として金属粉末からなる端面10及び11の金属部分12に塑性変形を生じさせて、露出する端面10及び11の細孔5の開口を閉塞できる結果、シリコーン樹脂等からなる封止剤を用いないで封孔処理を行い得、而して、多孔質金属焼結体2の寸法精度を所望に得られて、長期に亘って安定な封孔を維持でき、しかも、煩雑な工程をなくし得て封孔作業時間を大幅に短縮できて、必要なところのみの封孔を行い得る。
【0048】
また上記の製造方法によれば、金属部分7及び12が優れた展延性を呈するために、端面10及び11では細孔5の開口を確実に閉塞できる一方、内周面4では、金属部分7の優れた展延性に拘らず、金属部分7が塑性変形して細孔5の開口6を閉じようとしても、脆性な無機質部分8で金属部分7の塑性流動が分断されて細孔5の開口6の閉塞が好ましく抑制され、而して、内周面4からなる軸受面の形成後も、細孔5の目詰まりが抑制された理想的な絞り構造となった細孔5を有した多孔質静圧気体軸受1を得ることができ、更に、無機質粉末として黒鉛、窒化ホウ素、フッ化黒鉛及びフッ化カルシウムのうちの少なくとも一つを含む場合には、これらが固体潤滑材として機能する結果、多孔質静圧気体軸受1に支持される回転軸31の静止時又は始動時に相互に接触しても、これらに損傷が生じ難くフェールセーフな多孔質静圧気体軸受1となる。
【0049】
更に上記の製造方法によれば、ハウジング3で補強されると共に、多孔質金属焼結体2の外周面21をハウジング3で封孔処理できる多孔質静圧気体軸受1を製造できる。
【0050】
多孔質静圧気体軸受1を次のようにして製造してもよい。即ち、図9に示すように、例えば錫4%から10%、ニッケル10%から40%、燐0.5%から4%及び残部銅の主として金属粉末を含む厚肉円筒状圧粉体61と、厚肉円筒状圧粉体61の円筒状の内周面62に密に配されていると共に、重量比で錫4%から10%、ニッケル10%から40%、燐0.5%から4%、黒鉛3%から10%及び残部銅からなる金属粉末及び無機質粉末を含む薄肉円筒状圧粉体63とを有した組み合わせ圧粉体64を準備する。
【0051】
厚肉円筒状圧粉体61及び薄肉円筒状圧粉体63は、金属粉末並びに金属粉末と無機質粉末との混合粉末の夫々を型内に配置して2トン/cmから7トン/cmの圧力を加えて成形することにより作製され、組み合わせ圧粉体64は、厚肉円筒状圧粉体61の内部に薄肉円筒状圧粉体63を嵌入することにより作製される。
【0052】
次に、組み合わせ圧粉体64の円筒状の外周面65に、本例では図10に示すように二条の環状凹所22a及び22bと、これら環状凹所22a及び22bを連通する連通溝66とを機械加工により形成する。
【0053】
こうして準備された環状凹所22a及び22b並びに連通溝66を有する組み合わせ圧粉体64を上記と同様にして焼結して、厚肉円筒状圧粉体61と薄肉円筒状圧粉体63とを一体化し、図10に示すような円筒状の多孔質金属焼結体2を作製し、多孔質金属焼結体2に上記と同様に旋削加工、研削加工を施して、多孔質金属焼結体2の円筒面4に軸受面を形成し、多孔質金属焼結体2の端面10及び11に外部に露出する面を形成する。研削工程後、図11に示すように、多孔質金属焼結体2を、上記と同様に、予めねじ切りされた貫通孔25を有する円筒状のハウジング3内に嵌装、固着することにより、図1及び図2に示すような多孔質静圧気体軸受1を得ることができる。
【0054】
本例により製造された多孔質静圧気体軸受1は、環状凹所22a及び22bによる二条の環状供給路24を有することになり、斯かる二条の環状供給路24は、連通溝66を介して貫通孔25に連通されることになる。なお、環状凹所22a及び22bを互いに連通する連通溝66を一個に限らず二個以上形成してもよい。
【0055】
図9から図11に示す製造方法によれば、多孔質金属焼結体2に研削加工を施して、多孔質金属焼結体2の端面10及び11に外部に露出する面を形成するために、主として金属粉末を含む厚肉円筒状圧粉体61の焼結体から大部分がなる端面10及び11の金属部分12に塑性変形を生じさせて、露出する面の細孔5の開口を閉塞できる結果、先の製造方法と同様な効果を生じさせることができる。
【0056】
更に多孔質静圧気体軸受1を次のようにして製造してもよい。即ち、図12に示すような、例えば錫、燐、ニッケル及び銅を含んだ金属粉末と黒鉛を含んだ無機質粉末とを含む軸受面用の円筒状の圧粉体41と、例えば錫4%から10%、ニッケル10%から40%、燐0.5%から4%及び残部銅からなる金属粉末を含む図13に示すような端面用の環状の圧粉体42二個とを準備する。
【0057】
次に、図14に示すように圧粉体41の両端面に圧粉体42を配置して、すなわち、圧粉体41を軸受面となるべき部位に配置し、圧粉体42を軸受面以外であって外部に露出する面となる部位に配して、これらの組み合わせ体43を作製する。組み合わせ体43の作製に際しては、適当な治具を用いて圧粉体41の両端面に対して圧粉体42がぴったりと接触して且つ互いの内周面が面一になるようにする。
【0058】
作製した組み合わせ体43を、還元性雰囲気もしくは真空中で800℃から1150℃の温度で20分から60分間焼結して、圧粉体41と圧粉体42とを互いの当接面で一体化して、図15に示すような外周面21に環状凹所22を有した一体物としての多孔質金属焼結体2を作製する。
【0059】
多孔質金属焼結体2の作製後、次に、多孔質金属焼結体2の円筒状の内周面4を旋削加工して、旋削加工後、続いて研削加工して内周面4を軸受面として形成し、多孔質金属焼結体2の環状の端面10及び11を、当該端面10及び11において十分な金属部分12の展延部13が生じるように適宜旋削加工して、旋削加工後、続いて研削加工して、端面10及び11を外部に露出する面として形成する。内周面4並びに端面10及び11の研削加工における加工代は、概ね0.2mm以下の範囲で行なうとよい。
【0060】
これらの研削工程後、図16に示すように、多孔質金属焼結体2を、予めねじ切りされた貫通孔25を有する円筒状のハウジング3内に嵌装、固着することにより、図1及び図2に示すような多孔質静圧気体軸受1を得ることができる。
【0061】
以上の製造方法によれば、前述の特長をもった多孔質静圧気体軸受1を得ることができる上に、多孔質金属焼結体2に研削を施して、錫4%から10%、ニッケル10%から40%、燐0.5%から4%及び残部銅からなる金属粉末を含む圧粉体42で形成された部位に外部に露出する端面10及び11を形成し、斯かる端面10及び11において研削により金属部分12に塑性変形を生じさせて、当該端面10及び11の細孔5の開口を閉塞する結果、上記と同様の効果を生じさせることができる。
【0062】
なお、図12から図16に示す製造方法では、圧粉体41の内径と等しい内径を有した二つの圧粉体42を準備し、圧粉体42を圧粉体41の両端面に配置して組み合わせ体43を作製したが、これに代えて、圧粉体41の外径と等しい内径を有した二つの圧粉体42を準備し、斯かる圧粉体42を図17に示すように圧粉体41の両端面に隣接する外周面に配置して組み合わせ体51を作製して、組み合わせ体51を上記と同様に焼成して、多孔質静圧気体軸受1を製造してもよい。また更に、内外径の等しい圧粉体41と圧粉体42とを準備し、圧粉体41の外周面に環状凹所22と同等の凹所を機械加工により形成した後に、圧粉体41の両端面に圧粉体42を配置して組み合わせ体を作製して、この組み合わせ体を上記と同様に焼成して、多孔質静圧気体軸受1を製造してもよい。
【0063】
上記の製造方法では、ハウジング3内に嵌装、固着する前に、軸受面4並びに端面10及び11の旋削、研削加工を行ったが、これに代えて、ハウジング3内に嵌装、固着後に軸受面4並びに端面10及び11の旋削、研削加工を行ってもよい。
【0064】
また上記は円筒状の多孔質静圧気体軸受1を製造する方法であるが、これに代えて、方形形状の軸受面用及び端面用の圧粉体を準備し、端面用の圧粉体を軸受面用の圧粉体の端面に配してこれらの組み合わせ体を作成して、以後、上記と同様に焼成して方形形状の多孔質金属焼結体を作成し、この多孔質金属焼結体を方形形状の裏金に固着して、斯かる方形形状の多孔質金属焼結体の外部に露出する全面に研削を施して方形形状の多孔質静圧気体軸受1を製造するようにしてもよい。この場合、組み合わせ体の焼成と同時に、組み合わせ体の裏金への固着をこの焼成により行わせるようにしてもよい。
【0065】
【発明の効果】
本発明によれば、シリコーン樹脂等からなる封止剤を用いないで封孔処理を行い得、而して、多孔質金属焼結体の寸法精度を所望に得られて、長期に亘って安定な封孔を維持でき、しかも、煩雑な工程をなくし得て封孔作業時間を大幅に短縮できて、必要なところのみの封孔を行い得る多孔質静圧気体軸受及びその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の好ましい例の斜視図である。
【図2】図1に示す例の断面図である。
【図3】図1に示す例の内周面の拡大断面説明図である。
【図4】図1に示す例の端面の拡大断面説明図である。
【図5】図1に示す例の製造方法の一例の説明図である。
【図6】図1に示す例の製造方法の一例の説明図である。
【図7】図1に示す例の製造方法の一例の説明図である。
【図8】図1に示す例の製造方法の一例の説明図である。
【図9】図1に示す例の製造方法の他の例の説明図である。
【図10】図1に示す例の製造方法の他の例の説明図である。
【図11】図1に示す例の製造方法の他の例の説明図である。
【図12】図1に示す例の製造方法の更に他の例の説明図である。
【図13】図1に示す例の製造方法の更に他の例の説明図である。
【図14】図1に示す例の製造方法の更に他の例の説明図である。
【図15】図1に示す例の製造方法の更に他の例の説明図である。
【図16】図1に示す例の製造方法の更に他の例の説明図である。
【図17】図1に示す例の製造方法の更に別の例の説明図である。
【符号の説明】
1 多孔質静圧気体軸受
2 多孔質金属焼結体
3 ハウジング
4 内周面
5 細孔
6 開口
7、12 金属部分
8 無機質部分
9、13 展延部
10、11 端面

Claims (17)

  1. 多孔質金属焼結体を具備した多孔質静圧気体軸受であって、多孔質金属焼結体の軸受面は、無秩序に混在した、金属部分と無機質部分と多数の細孔の開口とを有しており、軸受面以外であって多孔質金属焼結体の外部に露出する面は、金属部分と、この金属部分の展延部とを有しており、外部に露出する面の少なくとも大部分の細孔の開口は、展延部で塞がれている多孔質静圧気体軸受。
  2. 軸受面は、更に、金属部分の展延部を有している請求項1に記載の多孔質静圧気体軸受。
  3. 軸受面の金属部分の展延部は、軸受面の多数の開口のうちの少なくとも一部の開口を絞っている請求項2に記載の多孔質静圧気体軸受。
  4. 軸受面の金属部分の展延部は、軸受面の多数の開口のうちの一部の開口を塞いでいる請求項2に記載の多孔質静圧気体軸受。
  5. 軸受面の金属部分の展延部は、無機質部分で分断されている請求項2から4のいずれか一項に記載の多孔質静圧気体軸受。
  6. 多孔質金属焼結体は、円筒形状を有していると共に、外部に露出した環状の端面を有している請求項1から5のいずれか一項に記載の多孔質静圧気体軸受。
  7. 多孔質金属焼結体は、円筒形状を有していると共に、ハウジング内に嵌装されており、外部に露出した環状の端面を有している請求項1から6のいずれか一項に記載の多孔質静圧気体軸受。
  8. 多孔質金属焼結体は、方形形状を有していると共に、外部に露出した矩形状の端面を有している請求項1から5のいずれか一項に記載の多孔質静圧気体軸受。
  9. 多孔質金属焼結体は、方形形状を有していると共に、板状の裏金に固着されており、外部に露出した矩形状の端面を有している請求項1から5及び請求項8のいずれか一項に記載の多孔質静圧気体軸受。
  10. 軸受面及び外部に露出する面の金属部分は、少なくとも錫、燐及び銅を含んでおり、軸受面の無機質部分は、黒鉛、窒化ホウ素、フッ化黒鉛、フッ化カルシウム、酸化アルミニウム、酸化ケイ素及び炭化ケイ素のうちの少なくとも一つを含んでいる請求項1から9のいずれか一項に記載の多孔質静圧気体軸受。
  11. 軸受面及び外部に露出する面の金属部分は、更に、ニッケル又はマンガンを含んでいる請求項10に記載の多孔質静圧気体軸受。
  12. 金属粉末及び無機質粉末を含む円筒状圧粉部と、この円筒状圧粉部の両端面に配されていると共に、主として金属粉末を含む環状圧粉部とを一体的に有した圧粉体を準備する準備工程と、この圧粉体を焼結して円筒状の多孔質金属焼結体を作製する多孔質金属焼結体作製工程と、この多孔質金属焼結体に研削を施して、多孔質金属焼結体の円筒面に軸受面を形成し、多孔質金属焼結体の端面に外部に露出する面を形成する研削工程とを具備する、多孔質静圧気体軸受の製造方法。
  13. 主として金属粉末を含む厚肉円筒状圧粉体と、この厚肉円筒状圧粉体の内周面に配されていると共に、金属粉末及び無機質粉末を含む薄肉円筒状圧粉体とを有した組み合わせ圧粉体を準備する準備工程と、この組み合わせ圧粉体を焼結して、厚肉円筒状圧粉体と薄肉円筒状圧粉体とを一体化してなる円筒状の多孔質金属焼結体を作製する多孔質金属焼結体作製工程と、この多孔質金属焼結体に研削を施して、多孔質金属焼結体の円筒面に軸受面を形成し、多孔質金属焼結体の端面に外部に露出する面を形成する研削工程とを具備する、多孔質静圧気体軸受の製造方法。
  14. 金属粉末及び無機質粉末を含む軸受面用の圧粉体と、主として金属粉末を含む端面用の圧粉体とを準備する準備工程と、軸受面用の圧粉体を軸受面となるべき部位に配置し、端面用の圧粉体を軸受面以外であって外部に露出する面となる部位に配して、これらの組み合わせ体を作製する組み合わせ体作製工程と、この作製した組み合わせ体を焼結して、軸受面用の圧粉体と端面用の圧粉体とを一体化してなる多孔質金属焼結体を作製する多孔質金属焼結体作製工程と、多孔質金属焼結体に研削を施して、軸受面用の圧粉体で形成された部位に軸受面を形成し、端面用の圧粉体で形成された部位に外部に露出する面を形成する研削工程とを具備する、多孔質静圧気体軸受の製造方法。
  15. 金属粉末は、少なくとも錫、燐及び銅を含んでおり、無機質粉末は、黒鉛、窒化ホウ素、フッ化黒鉛、フッ化カルシウム、酸化アルミニウム、酸化ケイ素及び炭化ケイ素のうちの少なくとも一つを含んでいる請求項12から14のいずれか一項に記載の多孔質静圧気体軸受の製造方法。
  16. 金属粉末は、更に、ニッケル又はマンガンを含んでいる請求項15に記載の多孔質静圧気体軸受の製造方法。
  17. 多孔質金属焼結体をハウジング内に嵌装、固着する嵌装工程を更に具備している請求項12から16のいずれか一項に記載の多孔質静圧気体軸受の製造方法。
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