JP2000343052A - 洗浄装置 - Google Patents

洗浄装置

Info

Publication number
JP2000343052A
JP2000343052A JP11223571A JP22357199A JP2000343052A JP 2000343052 A JP2000343052 A JP 2000343052A JP 11223571 A JP11223571 A JP 11223571A JP 22357199 A JP22357199 A JP 22357199A JP 2000343052 A JP2000343052 A JP 2000343052A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pump
cleaning
liquid
solvent
cleaning tank
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP11223571A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3193909B2 (ja
Inventor
Ikuo Ishii
郁男 石井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Act Five Co Ltd
Original Assignee
Act Five Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Act Five Co Ltd filed Critical Act Five Co Ltd
Priority to JP22357199A priority Critical patent/JP3193909B2/ja
Publication of JP2000343052A publication Critical patent/JP2000343052A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3193909B2 publication Critical patent/JP3193909B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 洗浄槽を減圧するためのポンプを備える洗浄
装置において、該ポンプへの液体の侵入や洗浄槽とポン
プを接続する配管内での結露を防止する。 【解決手段】 洗浄槽11からポンプ16へ至る流路を
構成する排気管15の一部をヒータ18により加熱す
る。洗浄槽11からポンプ16へ吸引される気体(空
気)に含まれる液体(水や溶剤の微細液滴)は、排気管
15のヒータ18に包まれた区間を通過する際に完全に
気化されるため、ポンプ16に液体が侵入するおそれは
ない。また、排気管15が加熱されているため、その内
壁に水や溶剤の結露が生じることがない。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、溶剤を被洗浄物に
接触させることにより該被洗浄物の洗浄を行う洗浄装置
に関する。
【0002】
【従来の技術】密閉された洗浄槽内で被洗浄物と溶剤
(液体又は気体)とを接触させることにより該被洗浄物
の洗浄を行う洗浄装置において、洗浄中に洗浄槽内を減
圧することにより洗浄効果を高めるという方法が従来よ
り知られている。例えば、洗浄槽内に貯留された液状の
溶剤に被洗浄物を浸漬することによる該被洗浄物の洗浄
(浸漬洗浄)を行う装置の場合、洗浄槽内を減圧する
と、脱気効果により袋穴や密着物の間にも溶剤が入り込
むため、洗浄効果が高まる。一方、洗浄槽内に満たされ
た気体状の溶剤(溶剤蒸気)の中に被洗浄物を配するこ
とによる該被洗浄物の洗浄(蒸気洗浄)を行う装置の場
合、洗浄槽内を減圧すると、洗浄槽内での溶剤の拡散が
促進される。また、洗浄槽内を減圧すると溶剤の沸点が
標準状態における沸点より低くなるため、高沸点溶剤で
も比較的低い温度で気化させたり又は気体状態を維持す
ることができる。
【0003】洗浄槽の減圧にはポンプ(真空ポンプ)を
用いるのが通例であるが、もしポンプに液体(水、溶
剤)が引き込まれると、そのポンプが故障するおそれが
ある。特に、高性能(高効率)のポンプ(例えばルーツ
式ポンプ)を用いる場合、僅かな液体(微細な液滴)の
侵入でもそのポンプが故障する可能性がある。そこで、
上述のように構成された洗浄装置では、例えば、洗浄槽
からポンプへ至る流路(配管)の途上に、気体中に含ま
れる蒸気を凝縮させるための凝縮器や、気体により運ば
れて飛来する液体(水や溶剤の微細液滴)を捕集して気
体のみ通過させる液体トラップを配設することにより、
ポンプへの液体の侵入を防ぐようにする必要がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述のように
凝縮器又は液体トラップを配しても、凝縮器内で凝縮し
た液体や液体トラップに捕集された液体がポンプの吸引
力により吸い出されてポンプに侵入するおそれがある。
特に、ポンプの負荷低減のためのリリーフ弁を凝縮器又
は液体トラップよりも上流に配した場合、上述のように
液体が吸い出される可能性が高い。また、従来のように
凝縮器又は液体トラップをポンプの前段に配すると、凝
縮した液体又は捕集された液体の量が徐々に増加するの
に応じて流路内の蒸気圧が高まる。このようになると、
流路内だけでなく洗浄槽内の真空度も低下し、上述した
ような浸漬洗浄や蒸気洗浄の効率が下がってしまう。ま
た、配管の温度が低いと、配管の内壁に水や溶剤等の結
露が生じることがあるが、この結露によって生じた液体
が洗浄槽内へ戻ると、洗浄効率は更に低くなってしま
う。本発明はこのような問題に鑑みて成されたものであ
り、その課題とするところは、洗浄槽を減圧するための
ポンプへの液体の侵入や洗浄槽とポンプを接続する配管
内での結露を防ぐための手段を備える洗浄装置を提供す
ることにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に成された本発明は、内部で溶剤を被洗浄物に接触させ
るための洗浄槽と、前記洗浄槽に接続された流路と、前
記流路を通じて前記洗浄槽の内部を減圧するためのポン
プと、前記流路の途上に配設された加熱手段と、を備え
ることを特徴とする洗浄装置を提供する。
【0006】
【発明の実施の形態】本発明に係る洗浄装置において、
ポンプが起動されると、洗浄槽の内部の気体が吸い出さ
れ、上記流路をポンプの方向へ流れる。この流路の途上
の所定箇所には加熱手段が配設されており、上記気体は
上記流路の上記箇所を通過する際、加熱手段から発生し
た熱を吸収する。この熱により、気体により運ばれて飛
来する液体(水や溶剤の微細液滴)は完全に気化される
ため、該気体は液体成分を含まない状態でポンプに流入
する。また、溶剤蒸気の温度を上げることにより、ポン
プ直前の流路内又はポンプ内で液体が再凝縮することも
防止される。
【0007】本発明に係る洗浄装置の第一の形態として
は、例えば、上記流路として洗浄槽とポンプを接続する
配管を備え、上記加熱手段はこの配管そのものを加熱す
るという構成のものが考えられる。このような形態の洗
浄装置の一例を図1に示す。
【0008】図1の洗浄装置10は、洗浄槽11の内部
で被洗浄物(ワーク)12と溶剤13とを接触させるこ
とにより該被洗浄物12の洗浄を行うものである。この
洗浄装置10では、溶剤13を用いた浸漬洗浄及び蒸気
洗浄のいずれの方法でも被洗浄物12の洗浄を行うこと
ができる。例えば、浸漬洗浄を行う場合は、洗浄槽11
に十分な量の溶剤13を貯留し、その中に被洗浄物12
を浸漬する。また、蒸気洗浄を行う場合は、図1に示し
たように、洗浄槽11の上部に被洗浄物12を配置する
のに十分な空間を残して底部に溶剤13を貯留し、洗浄
槽11に備えられたヒータ(第一ヒータ)14で洗浄槽
11を加熱して溶剤13を気化させる。なお、洗浄槽1
1の底部にはドレイン111が備えられている。洗浄槽
11の側壁には排気口112が備えられており、該排気
口112は弁151により通断される排気管15を通じ
てポンプ16の吸気口161と連絡している。排気管1
5の途上には真空破壊弁171を備える分岐管17が接
続されている。分岐管17とポンプ16との間には、排
気管15の一部を包むヒータ(第二ヒータ)18が備え
られている。
【0009】上記洗浄装置10において、ポンプ16を
稼動させると、洗浄槽11内の空気が排気管15へ吸引
される。このように空気を吸引しながら第二ヒータ18
に通電すると、第二ヒータ18の内部で排気管15が加
熱され、該排気管15内を流れる気体により運ばれて飛
来する微細液滴が気化される。また、上記のように排気
管15を加熱することにより、排気管15の内壁におけ
る水や溶剤の結露も有効に防止される。
【0010】なお、第一の形態の洗浄装置において、加
熱手段は、配管全体を加熱してもよいが、液体を気化す
るのに十分な長さを有する一部の区間においてのみ配管
を加熱するようにしてもよい。なお、後者の場合、気化
した水や溶剤が上記加熱区間からポンプへ至る配管の中
で再度凝縮することを防ぐため、加熱区間とポンプとの
距離を、加熱手段から発生する熱による影響をポンプが
受けない範囲で、短くすることが好ましい。
【0011】本発明に係る洗浄装置の第二の形態として
は、上記流路の途上に、洗浄槽からポンプへ吸引される
気体により運ばれて飛来する微細液滴を捕集するための
液体トラップを配設し、上記加熱手段をこの液体トラッ
プに設ける、という構成のものが考えられる。このよう
な形態の洗浄装置の一例を図2に示す。
【0012】図2の洗浄装置20は、洗浄槽11とは別
に蒸気発生槽21を備える蒸気洗浄装置である。蒸気発
生槽21にはヒータ(第三ヒータ)22が備えられてお
り、これにより蒸気発生槽21内に貯留された溶剤13
が加熱され、溶剤蒸気が発生する。この溶剤蒸気は管2
3を通じて洗浄槽11に導入され、そこで被洗浄物12
に接触する。こうして被洗浄物12の蒸気洗浄が行われ
る。また、排気管15の途上には図1の洗浄装置10の
第二ヒータ18の代わりに液体トラップ24が配設さ
れ、更に、液体トラップ24を加熱するためのヒータ
(第四ヒータ)25が該液体トラップ24の本体に取り
付けられている。
【0013】上記洗浄装置20において、ポンプ16を
稼動させると、洗浄槽11内の空気が排気管15へ吸引
され、その空気が液体トラップ24を通過する際に、該
空気により運ばれる微細液滴が該液体トラップ24によ
り捕集される。このように空気を吸引している間に第四
ヒータ25に通電すると、液体トラップ24により捕集
された微細液滴が気化される。
【0014】なお、第二の形態の洗浄装置において、加
熱手段により供給する熱量は、液体トラップに捕集され
た液体を瞬時に気化させるために十分な量とすることが
好ましい。また、気化した水や溶剤が液体トラップから
ポンプへ至る流路の中で再度凝縮することを防ぐため、
液体トラップとポンプとの距離を、加熱手段から発生す
る熱による影響をポンプが受けない範囲で、短くするこ
とが好ましい。
【0015】
【発明の効果】以上のように、本発明に係る洗浄装置で
は、洗浄槽からポンプへ吸引される気体に含まれる液体
はポンプへ到達するまでに加熱手段からの熱により全て
気化される。このようにポンプが液体の侵入に対して確
実に防護されているため、液体の侵入に弱い高性能のポ
ンプを使用することも可能である。また、液体トラップ
を用いる形態の装置では、液体トラップが気体中の液体
を確実に捕集し、捕集された液体を加熱手段が瞬時に気
化するため、ポンプはより確実に液体の侵入から防護さ
れる。また、上記第一の形態のように配管を加熱手段で
加熱するようにすれば、配管の内壁において水や溶剤等
が結露することがなくなり、配管内で再凝縮した液体が
洗浄槽へ戻ることによる洗浄効率の低下が防止される。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る洗浄装置の一例を示す概略構成
図。
【図2】 本発明に係る洗浄装置の別の例を示す概略構
成図。
【符号の説明】
10、20…洗浄装置 11…洗浄槽 12…被洗浄物(ワーク) 13…溶剤 14…ヒータ(第一ヒータ) 15…排気管 16…ポンプ 18…ヒータ(第二ヒータ) 22…ヒータ(第三ヒータ) 24…液体トラップ 25…ヒータ(第四ヒータ)

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 内部で溶剤を被洗浄物に接触させるため
    の洗浄槽と、 前記洗浄槽に接続された流路と、 前記流路を通じて前記洗浄槽の内部を減圧するためのポ
    ンプと、 前記流路の途上に配設された加熱手段と、 を備えることを特徴とする洗浄装置。
  2. 【請求項2】 上記流路は上記洗浄槽と上記ポンプを接
    続する配管であり、上記加熱手段は前記配管そのものを
    加熱することを特徴とする請求項1に記載の洗浄装置。
  3. 【請求項3】 上記流路の途上に、上記洗浄槽から上記
    ポンプへ吸引される気体により運ばれて飛来する液体を
    捕集するための液体トラップが配設され、上記加熱手段
    は前記液体トラップに設けられていることを特徴とする
    請求項1に記載の洗浄装置。
JP22357199A 1999-03-30 1999-08-06 洗浄装置 Expired - Lifetime JP3193909B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22357199A JP3193909B2 (ja) 1999-03-30 1999-08-06 洗浄装置

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8830999 1999-03-30
JP11-88309 1999-03-30
JP22357199A JP3193909B2 (ja) 1999-03-30 1999-08-06 洗浄装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000343052A true JP2000343052A (ja) 2000-12-12
JP3193909B2 JP3193909B2 (ja) 2001-07-30

Family

ID=26429703

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP22357199A Expired - Lifetime JP3193909B2 (ja) 1999-03-30 1999-08-06 洗浄装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3193909B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011251263A (ja) * 2010-06-03 2011-12-15 Act Five Kk 蒸気洗浄装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011251263A (ja) * 2010-06-03 2011-12-15 Act Five Kk 蒸気洗浄装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP3193909B2 (ja) 2001-07-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4272193B2 (ja) 部品洗浄乾燥方法、及び部品洗浄乾燥装置
JP4982320B2 (ja) 基板処理装置
TW208689B (ja)
JP3193909B2 (ja) 洗浄装置
CN107847848B (zh) 用于从环境中提取水的装置
JP3788588B2 (ja) 部品洗浄乾燥方法
WO1997048475A1 (en) Fluid extraction apparatus
JPH07218123A (ja) 水性溶媒含有試料の真空乾燥方法とその乾燥方法を実施するための真空ポンプ装置
WO2003006184A1 (fr) Dispositif de lavage et procede de lavage
JPH05123658A (ja) 被洗浄物の洗浄方法およびその装置
JP6292224B2 (ja) 滅菌装置および滅菌方法
JP6526858B2 (ja) 洗浄液蒸留再生装置、部品洗浄装置、及び、洗浄液の蒸留再生方法
JP4891168B2 (ja) 基板処理装置
US6345515B1 (en) Conditioning and filling system for a spray evaporative cooling working fluid
JP2005195568A (ja) 異物検査方法および異物検査装置
JP2000334402A (ja) 減圧蒸気洗浄装置
JPH08173920A (ja) アルコール除去装置
JP2007098332A (ja) 有機溶剤回収システム
KR950013496B1 (ko) 피세정물의 세정방법 및 장치
FR2584617A1 (fr) Dispositif de regeneration de solvant de nettoyage a sec
JP2853317B2 (ja) ウエハー処理装置
JP4049928B2 (ja) 水素換気装置
KR100405156B1 (ko) 고압 세정장치
CN113287993A (zh) 洗碗机及基于洗碗机的控制方法
JPH06275596A (ja) ベーパ処理装置

Legal Events

Date Code Title Description
TRDD Decision of grant or rejection written
R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 3193909

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090525

Year of fee payment: 8

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090525

Year of fee payment: 8

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100525

Year of fee payment: 9

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110525

Year of fee payment: 10

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110525

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120525

Year of fee payment: 11

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130525

Year of fee payment: 12

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term