JP2000338178A

JP2000338178A - オートハンドラ、その駆動制御方法、及び記憶媒体

Info

Publication number: JP2000338178A
Application number: JP11146918A
Authority: JP
Inventors: Yoshinori Ohashi; 善則大橋
Original assignee: Ando Electric Co Ltd
Current assignee: Ando Electric Co Ltd
Priority date: 1999-05-26
Filing date: 1999-05-26
Publication date: 2000-12-08

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明の課題は、オートハンドラを停止させ
ることなく、ロットの最後の端数ＩＣを積載したトレー
内の全てのＩＣを供給することである。【解決手段】この目的を達成するために、請求項１記
載の発明のオートハンドラは、１ロットのＩＣ２が複数
のトレー１に整列載置され、固定ハンド３Ａと可変ハン
ド３Ｂがトレー１内のＩＣ２を移送するオートハンドラ
であって、１ロットの最後のトレー２を検出する検出手
段（例えば、トレー有無センサ９Ｃ）と、前記検出手段
により１ロットの最後のトレー２が検出されると、該ト
レー２上のＩＣ２の載置状態に応じて、前記２本のハン
ドの吸着及び搬送動作を個別に駆動制御する駆動制御手
段（例えば、ＣＰＵ１０１、駆動制御部１０６）と、を
備えることを特徴としている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ローダ部にセッ
トされたトレーからＩＣを自動的に測定部に搬送し、測
定部での試験結果によりアンローダ部にセットされたト
レー内に自動的に分類収納するオートハンドラに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来のオートハンドラの構成を図５によ
り説明する。

【０００３】図５は、オートハンドラの正面図であり、
このオートハンドラは、供給ハンド３及び収容ハンド
４、並びに、ローダ部６Ａ、空トレーバッファ部６Ｂ、
アンローダ部６Ｃ、及び不良品収容部６Ｄを備えてい
る。

【０００４】図５では、空になったトレー１は空トレー
搬送ハンド７により搬送される。供給ハンド３はＩＣを
トレーから測定部に供給する。収容ハンド４は測定済の
ＩＣをトレー内に分類収容する。

【０００５】ローダ部６Ａには、ＩＣが整列載置された
トレー１が複数段搭載されており、アンローダ部６Ｃに
は、測定済のＩＣを収容したトレー１が複数段搭載され
ている。エレベータ８は、ローダ部６Ａとアンローダ部
６Ｃに装備されており、ボールねじとボールブッシュか
らなる上下駆動機であってトレー１を昇降する。

【０００６】空トレーバッファ部６Ｂは、複数枚の空の
トレー１を一時的に保有し、不良品収容部６Ｄには、Ｉ
Ｃの不良品を収容するためのトレー１が１枚設置されて
いる。

【０００７】次に、従来のオートハンドラの動作を図５
を用いて説明する。図５において、エレベータ８は、ロ
ーダ部６Ａに積層されたトレー１をＩＣ供給位置まで上
昇し、積層されたトレー１と分離ツメ５が互いに近づく
形で、最上段にあるトレー１は、分離ツメ５により下段
の他のトレー１から分離される。なお、トレー１の両側
壁には分離ツメ５が入る溝が予め形成されている。

【０００８】そして、エレベータ８は、残りの積層トレ
ー１を待機位置まで下降して待機する。分離されたトレ
ー１内のＩＣが供給ハンド３で全て移送されると、空に
なったトレー１は空トレー搬送ハンド７により空トレー
バッファ部６Ｂに搬送される。

【０００９】空トレーバッファ部６Ｂに空のトレー１が
搬送されると、エレベータ８は待機位置からＩＣ供給位
置まで上昇し、前述と同様な動作を再開する。これ以
降、ローダ部６Ａにトレー１が無くなるまで、同じ動作
が繰り返される。

【００１０】空トレーバッファ部６Ｂに一時的に保管さ
れていた空のトレー１は、空トレー搬送ハンド７により
アンローダ部６Ｃの分離ツメ５上に１枚ずつ搬送され
る。アンローダ部６Ｃの分離ツメ５上の空のトレー１に
は収容ハンド４により測定済のＩＣが順次収容され、こ
のトレー１内の全ての収容箇所に測定済のＩＣが収容さ
れると、満杯になったトレーはアンローダ部６Ｃのエレ
ベータ８上に積層される。

【００１１】次に、供給ハンド３の構成を図６により説
明する。図６の供給ハンド３は、固定ハンド３Ａと可変
ハンド３Ｂの２つのハンドを有している。

【００１２】固定ハンド３Ａ及び可変ハンド３Ｂは、ラ
ック・ピニオン機構で上下駆動モーター３Ｃ及び３Ｄと
すべり結合しており、固定ハンド３Ａ及び可変ハンド３
Ｂは、上下駆動モータ３Ｃ及び３Ｄを駆動することによ
り昇降する。

【００１３】固定ハンド３Ａ及び可変ハンド３Ｂは、そ
の先端にそれぞれ吸着パッド３Ｇを保持している。固定
ハンド３Ａを下降し、吸着パッド３Ｇを図７に図示する
ＩＣ２のパッケージ部に接触させ、吸着パッド３Ｇの中
心部から空気を吸引すればＩＣ２を吸着できる。また、
固定ハンド３Ａの吸引を停止すればＩＣ２を離脱でき
る。同様に、可変ハンド３ＢもＩＣ２を吸着又は離脱す
ることができる。

【００１４】更に、可変ハンド３Ｂは、ピッチ変換モー
ター３Ｅの回転により駆動されるベルト３Ｆに結合され
ており、固定ハンド３Ａと可変ハンド３Ｂの中心軸間距
離Ｌを任意に設定できる。可変ハンド３Ｂと固定ハンド
３Ａの距離間隔を、トレー１内に配列されるＩＣのＹ軸
方向の距離間隔に合わせることにより、トレー１から同
時に２個のＩＣ２を吸着することができる。

【００１５】収容ハンド４も同様の構成であり、ハンド
をこのように構成することにより、トレー１内に配列さ
れるＩＣ２の中心間距離Ｌが異なる別のトレーでも、初
期設定によりオートハンドラを汎用することができる。

【００１６】図７はトレー１と供給ハンド３の部分斜視
図であり、ハンド３の動作の概念図である。

【００１７】図８は、トレー１の平面図であり、図８に
示されるように、トレー１には複数の矩形の溝１Ａが縦
横に形成されている。溝１ＡにＩＣ２が載置されると、
ＩＣ２の姿勢が規制されることにより、トレー１内にＩ
Ｃ２が整列する。

【００１８】溝１Ａの中心部には、貫通穴１Ｂが設けら
れており、吸着パッド３Ｇが溝１Ａに向かって下降し、
吸引したときの負圧力の高低を検知することにより、溝
１Ａ内のＩＣ２の有無を確認できる。すなわち、溝１Ａ
にＩＣ２が有る場合には、ＩＣ２のパッケージ部で吸着
パッド３Ｇを密閉することとなり負圧力が高くなり、ま
た、溝１ＡにＩＣ２が無い場合には、吸着パッド３Ｇは
貫通穴１Ｂを介して大気と連通することとなり負圧力が
低くなる。

【００１９】次に、ローダ部６Ａにおける従来のＩＣ２
の供給手順を図９のフローチャートを用いて説明する。

【００２０】ローダ部６Ａの分離ツメ５によりエレベー
タ８上のトレー１が１枚分離されると、装置には、トレ
ー１の全ての溝１ＡにＩＣ２が有るものとするデータが
セットされる（ステップＳ１）。

【００２１】そして、固定ハンド３Ａはトレー１上の位
置Ｐ１上に移動され、同時に、可変ハンド３Ｂを移動し
て位置Ｐ５上に移動される（ステップＳ２）。

【００２２】その位置で、固定ハンド３Ａと可変ハンド
３Ｂは下降され、ＩＣ２を吸着して（ステップＳ３）、
固定ハンド３Ａと可変ハンド３Ｂは上昇させられる（ス
テップＳ４）。

【００２３】ステップＳ５では、両方のハンドがＩＣ２
を吸着したかを負圧力の高低により確認する。ステップ
Ｓ５において、両方のハンドともＩＣ２の吸着を確認で
きた場合には、ステップＳ８に進み、吸着が確認できな
かった場合には、ステップＳ６に進む。

【００２４】両方のハンドともＩＣ２の吸着を確認でき
たときは、トレー１の位置Ｐ１と位置Ｐ５のＩＣ有デー
タを消去する（ステップＳ８）。

【００２５】そして、供給ハンド３をＩＣの離脱位置に
移動させ（ステップＳ９）、両方のハンドを下降させた
後、吸引を停止してＩＣを離脱してから（ステップＳ１
０）、両方のハンドを上昇させる（ステップＳ１１）。

【００２６】ステップＳ１２では、トレー１内のＩＣ有
データを確認し、ＩＣ２がトレー１内にまだある場合に
は、ステップＳ２に戻り、トレー１の次の位置Ｐ２と位
置Ｐ６のＩＣを吸着する。この動作を繰り返し、トレー
１の位置Ｐ１から位置Ｐ８までのＩＣが移送される。

【００２７】ここまで進むと、固定ハンド３Ａと可変ハ
ンド３Ｂはトレー１の次の位置Ｐ９・Ｐ１３上に移動す
る。この場合には、トレー１の位置Ｐ１３の溝１ＡにＩ
Ｃ２が無いため、ステップＳ５において、吸着不良と判
断し、ステップＳ６に進む。そして、装置は吸着不良の
アラームを出力して（ステップＳ６）、装置は停止す
る。

【００２８】ステップＳ７では、オペレータによりＩＣ
２の供給を中断するかどうかが判断される。この場合に
おいて、トレー１の位置Ｐ１０と位置Ｐ１１にはまだＩ
Ｃ２が存在するため、オペレータは装置を再稼働して、
ステップＳ８以降の動作を再開する。

【００２９】次の位置Ｐ１０と位置Ｐ１４の吸着動作に
おいても、同様にして吸着不良のアラームが発生し、装
置が停止する。トレー１の位置Ｐ１１にはまだＩＣ２が
存在するため、オペレータは装置を再稼働する。

【００３０】更に、次の位置Ｐ１１と位置Ｐ１５の吸着
確認においてもアラームが発生し、装置が停止する。こ
こで、トレー１上からＩＣ２が全て供給されたことを確
認して、オペレータは供給の中断を選択し、全ての供給
動作が終了する。

【００３１】

【発明が解決しようとする課題】オートハンドラでは、
検査されるＩＣ２は１ロット単位で処理される。一般的
に、ローダ部６Ａのエレベータ８上には、上段からＩＣ
が満杯のトレー１が積載され、最下段のトレー１には図
８に示すような溝１Ａに空きがある。

【００３２】従来技術によるＩＣの供給手順では、図８
に示すような溝１Ａの空きがあるトレー内の全てのＩＣ
の供給が終了するまでには図９に示したフロー制御によ
り複数回装置が停止する場合があり、これにより装置の
稼働効率を低下させていた。また、装置が停止する度に
オペレータが再稼働していたため、オペレータに過度の
負担がかかっていた。

【００３３】この発明は、オートハンドラを停止させる
ことなく、ロットの最後の端数ＩＣを積載したトレー内
の全てのＩＣを供給することを目的とする。

【００３４】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、請求項１記載の発明は、１ロットのＩＣが複数のト
レーに整列載置され、複数のハンドが前記トレー内のＩ
Ｃを移送するオートハンドラであって、１ロットの最
後のトレーを検出する検出手段（例えば、トレー有無セ
ンサ９Ｃ）と、前記検出手段によりロットの最後のトレ
ーが検出されると、該トレー上のＩＣの載置状態に応じ
て、前記複数のハンドの吸着及び搬送動作を個別に駆動
制御する駆動制御手段（例えば、ＣＰＵ１０１、駆動制
御部１０６）と、を備えることを特徴としている。

【００３５】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、前記駆動制御手段は、前記トレー上に整列
載置するＩＣの載置位置マップを記憶する記憶手段（例
えば、記憶装置１０８）と、前記記憶手段により記憶さ
れた載置位置マップに基づいて、前記複数のハンドの吸
着及び搬送動作を個別に駆動制御して、該載置位置マッ
プ内でＩＣの未載置位置を特定する未載置位置特定手段
（例えば、ＣＰＵ１０１、固定ハンド３Ａ、可変ハンド
３Ｂ）と、前記未載置位置特定手段により特定された未
載置位置以後の前記複数のハンドの吸着及び搬送動作を
中断する動作中断手段（例えば、ＣＰＵ１０１）と、を
備えることを特徴としている。

【００３６】請求項３記載の発明は、請求項１又は請求
項２記載の発明において、前記複数のハンドは、固定ハ
ンドと、固定ハンドとの距離を変えることのできる可変
ハンドで構成することを特徴としている。

【００３７】請求項４記載の発明は、１ロットのＩＣが
複数のトレーに整列載置され、複数のハンドが前記トレ
ー内のＩＣを移送するオートハンドラの駆動制御方法で
あって、１ロットの最後のトレーを検出する検出工程
（例えば、トレー有無センサ９Ｃ）と、前記検出工程に
よりロットの最後のトレーが検出されると、該トレー上
のＩＣの載置状態に応じて、前記複数のハンドの吸着及
び搬送動作を個別に駆動制御する駆動制御工程（例え
ば、ＣＰＵ１０１、駆動制御部１０６）と、を含むこと
を特徴としている。

【００３８】請求項５記載の発明は、請求項４記載のオ
ートハンドラの駆動制御方法において、前記駆動制御工
程は、前記トレー上に整列載置するＩＣの載置位置マッ
プを記憶する記憶工程（例えば、記憶装置１０８）と、
前記記憶工程により記憶された載置位置マップに基づい
て、前記複数のハンドの吸着及び搬送動作を個別に駆動
制御して、該載置位置マップ内でＩＣの未載置位置を特
定する未載置位置特定工程（例えば、ＣＰＵ１０１、固
定ハンド３Ａ、可変ハンド３Ｂ）と、前記未載置位置特
定工程により特定された未載置位置以後の前記複数のハ
ンドの吸着及び搬送動作を中断する動作中断工程（例え
ば、ＣＰＵ１０１）と、を含むことを特徴としている。

【００３９】請求項６記載の発明は、請求項４又は請求
項５記載の発明において、前記複数のハンドは、固定ハ
ンドと、固定ハンドとの距離を変えることのできる可変
ハンドで構成することを特徴としている。

【００４０】請求項７記載の発明は、１ロットのＩＣが
複数のトレーに整列載置され、複数のハンドが前記トレ
ー内のＩＣを移送するオートハンドラを駆動制御するた
めのコンピュータが実行可能なプログラムを格納した記
憶媒体であって、１ロットの最後のトレーを検出させる
ためのコンピュータが実行可能なプログラムコード（例
えば、トレー有無センサ９Ｃ）と、前記検出によりロッ
トの最後のトレーが検出されると、該トレー上のＩＣの
載置状態に応じて、前記複数のハンドの吸着及び搬送動
作を個別に駆動制御させるためのコンピュータが実行可
能なプログラムコード（例えば、ステップＳ２２〜ステ
ップＳ２４、ステップＳ２９〜ステップＳ３１）と、を
含むプログラムを格納したことを特徴としている。

【００４１】請求項８記載の発明は、請求項７記載の記
憶媒体において、前記駆動制御させるためのコンピュー
タが実行可能なプログラムコードは、前記トレー上に整
列載置するＩＣの載置位置マップを記憶させるためのコ
ンピュータが実行可能なプログラムコード（例えば、ス
テップＳ２１、ステップＳ２８、ステップＳ３５、ステ
ップＳ３６）と、前記記憶された載置位置マップに基づ
いて、前記複数のハンドの吸着及び搬送動作を個別に駆
動制御して、該載置位置マップ内でＩＣの未載置位置を
特定するためのコンピュータが実行可能なプログラムコ
ード（例えば、ステップＳ２６、ステップＳ３３）と、
前記特定された未載置位置以後の前記複数のハンドの吸
着及び搬送動作を中断させるためのコンピュータが実行
可能なプログラムコード（例えば、ステップＳ２７、ス
テップＳ３４）と、を含むプログラムであることを特徴
としている。

【００４２】請求項９記載の発明は、請求項７又は請求
項８記載の発明において、前記複数のハンドは、固定ハ
ンドと、固定ハンドとの距離を変えることのできる可変
ハンドで構成することを特徴としている。

【００４３】請求項１、請求項４、及び請求項７記載の
発明によれば、本発明が適用されるオートハンドラは、
１ロットの最後のトレーであることを検出できる構造を
備えており、１ロットの最後のトレーからＩＣを測定部
に搬送する時に限り、両方のハンドを同時に駆動して２
列単位で行うのではなく、それぞれのハンドを独立して
駆動制御することにより、トレーからのＩＣの吸着及び
搬送動作を個別に行うことができる。

【００４４】また、請求項２、請求項５、及び請求項８
記載の発明によれば、本発明が適用されるオートハンド
ラは、１ロットの最後のトレーからＩＣを吸着及び搬送
する場合には、ＩＣの載置位置を記憶し及び未載置位置
を特定して、それぞれのハンドを独立して駆動制御する
ことにより、１列単位でＩＣを吸着及び搬送動作をする
ことができ、未載置位置が特定されたときには、その位
置以後の吸着及び搬送動作を中断することができる。

【００４５】更に、請求項３、請求項６、及び請求項９
記載の発明によれば、固定ハンドと可変ハンドとを有す
るオートハンドラにおいて、１ロットの最後のトレー上
のＩＣ載置状態に応じて、各ハンドの動作を効率よく制
御できる。

【００４６】これらにより、オートハンドラを停止させ
ることなくトレー内の端数ＩＣを吸着し及び測定部に搬
送することができる。そのため、オペレータはオートハ
ンドラがＩＣの吸着及び搬送動作を停止するたびに再稼
働しなくてよく、オペレータの負担が軽減される。

【００４７】更に、オートハンドラはＩＣの搬送途中に
止まることなく稼働できるので、全体として稼働効率を
向上することができる。

【００４８】

【発明の実施の形態】以下、図を参照して本発明の一実
施の形態を詳細に説明する。まず、構成を説明する。

【００４９】図１は、本発明を適用したオートハンドラ
のローダ部６Ａの構成図であり、このオートハンドラの
他の構成は図５から図８に示したものと同一であるため
図示及び説明は省略する。ローダ部６Ａは、分離ツメ５
及びエレベータ８、並びに、一対の供給位置センサ９
Ａ、一対の待機位置センサ９Ｂ、トレー有無検出センサ
９Ｃ、及びスリット板９Ｄにより構成されている。分離
ツメ５及びエレベータ８は、従来の技術で説明したもの
と同じである。

【００５０】供給位置センサ９Ａは、例えば、投光器と
受光器からなる一対の光センサであり、トレー１の供給
位置におけるトレー１の有無を確認する。同様に、待機
位置センサ９Ｂも、例えば、投光器と受光器からなる一
対の光センサであり、トレー１の待機位置におけるトレ
ー１の有無を確認する。

【００５１】また、スリット板９Ｄは、エレベータ８の
トレー搭載台側壁から突出する形で取り付けられてお
り、トレー有無センサ９Ｃは、例えば、透過型あるいは
反射型の光センサであって、エレベータ８が上昇してス
リット板９Ｄがトレー有無センサ９Ｃを遮断することに
より、エレベータ８の上昇位置を検知できる。

【００５２】図２は、図１の状態からエレベータ８が上
昇した状態を示した図である。次に、図１の動作を図２
を援用して説明する。

【００５３】エレベータ８上に積層されたトレー１は、
最上段のトレー１が供給位置センサ９Ａで検知されるま
で上昇させられ、この供給位置では、分離ツメ５が最上
段のトレーに入り、エレベータ８が下降することによ
り、最上段のトレー１のみを分離することができる。

【００５４】待機位置センサ９Ｂが、残された下段の複
数のトレー１の上端部を検知すると、エレベータ８は、
下降動作を停止してその位置に待機する。この待機位置
において、スリット板９Ｄがトレー有無センサ９Ｃを遮
断しなければ、エレベータ８上にはまだトレー１がある
と判断される。

【００５５】しかし、図２に示す様に、エレベータ８上
からトレー１が無くなると、スリット板９Ｄがトレー有
無センサ９Ｃを遮断する構造となっており、このトレー
有無センサ９Ｃが遮断されることにより、装置は分離ツ
メ５の上にあるトレー１がロット最後のトレーであるこ
とを認識する。

【００５６】図３は、本実施の形態におけるオートハン
ドラの制御装置の全体構成を示す図である。この図３に
おいて、オートハンドラの制御は、制御装置１００、各
種センサ２００、及び各種モーター３００により構成さ
れている。

【００５７】制御装置１００は、その制御系の要部構成
は、図３に示すブロック図のように、ＣＰＵ１０１、入
力部１０２、表示部１０３、ＲＯＭ１０４、Ｉ／Ｆ１０
５、駆動制御部１０６、ＲＡＭ１０７、及び記憶装置１
０８により構成されている。

【００５８】ＣＰＵ（Central Processing Unit）１０
１は、記憶装置１０８内に格納されているシステムプロ
グラム及び当該システムに対応する各種アプリケーショ
ンプログラムの中から指定されたアプリケーションプロ
グラムをＲＡＭ１０７内の図示しないプログラム格納領
域に展開し、入力部１０２から入力される各種指示ある
いはデータをＲＡＭ１０７内に一時的に格納し、この入
力指示及び入力データに応じて記憶装置１０８内に格納
されたアプリケーションプログラムに従って各種処理を
実行し、その処理結果をＲＡＭ１０７内に格納するとと
もに、表示部１０３に表示する。そして、ＲＡＭ１０７
に格納した処理結果を入力部１０２から入力指示される
記憶装置１０８内の保存先に保存する。

【００５９】また、ＣＰＵ１０１は、指定された特定の
処理をオートハンドラに実行させる際には、記憶装置１
０８内に格納されたＯＳ（Operating System）プログラ
ムにより指定されたを制御プログラムに基づいて、セン
サで認識されたエレベータ８の位置等により、モーター
を駆動制御し、これらの駆動状態を表示部１０３に表示
する。

【００６０】入力部１０２は、カーソルキー、数字入力
キー及び各種機能キー等を備えたキーボード及びマウス
を含み、押下されたキーの押下信号やマウスの位置信号
をＣＰＵ１０１に出力する。

【００６１】表示部１０３は、ＣＲＴ（Cathode Ray Tu
be）等により構成され、ＣＰＵ１０１から入力される表
示データを表示する。

【００６２】ＲＯＭ（Read Only Memory）１０４は、上
記ＯＳプログラムに係る基本的な各種パラメータ等を設
定するための基本プログラム等を予め記憶する。

【００６３】Ｉ／Ｆ（Interface）１０５は、図１にお
いて示す各種センサ（９Ａ、９Ｂ、９Ｃ）から入力され
るオートハンドラ各部の動作検出信号をＣＰＵ１０１に
伝達する。

【００６４】駆動制御部１０６は、ＣＰＵ１０１から入
力される各種指示信号に応じて、オートハンドラの各駆
動部における各種モーター３００（図６に示す３Ｃ及び
３Ｄ等）を駆動制御する駆動制御信号を生成して、この
各種モーター３００を駆動制御する。

【００６５】ＲＡＭ（Random Access Memory）１０７
は、ＣＰＵ１０１が上記各種アプリケーションプログラ
ムを実行する際に各種データを展開するプログラム格納
領域を形成するとともに、ＣＰＵ１０１が上記保守処理
を実行する際に通信プロトコルに基づいてメールを展開
するためのメモリ空間等を展開するメモリ領域を形成す
る。

【００６６】記憶装置１０８は、プログラムやデータ等
が予め記憶されており、この記憶装置１０８は磁気的、
光学的記録媒体、若しくは半導体メモリで構成されてい
る。この記憶装置１０８は、制御装置１００に固定的に
設けたもの、若しくは着脱自在に装着するものであり、
この記憶装置１０８には上記システムプログラム、各種
アプリケーションプログラム、及び各処理プログラムで
処理されたデータ等を記憶する。

【００６７】センサ２００は、例えば、図１に示すよう
なトレー１の位置を検出するための供給位置センサ等
（９Ａ、９Ｂ、９Ｃ等）である。

【００６８】モーター３００は、例えば、図６に示すよ
うな固定ハンド３Ａ及び可変ハンド３Ｂを上下に駆動す
るための上下駆動用モーター等（３Ｃ、３Ｄ等）であ
る。

【００６９】次いで、図４のフローチャートを用いて、
ロット最後の端数ＩＣを積載したトレー１のＩＣ２の供
給手順を説明する。以下、従来の技術の説明で用いた図
８を援用して説明する。

【００７０】ローダ部６Ａの分離ツメ５によりエレベー
タ８上にあるロット最後の端数ＩＣ積載トレーが１枚分
離されると、ＣＰＵ１０１は、図８に示すトレー１の全
ての溝１ＡにＩＣ２が有るものとデータをセットする
（ステップＳ２１）。

【００７１】そして、ＣＰＵ１０１は、固定ハンド３Ａ
をこのトレー１上の位置Ｐ１上に移動するように信号を
出力し、駆動制御部１０６を介してモーター３００を駆
動することにより、固定ハンド３Ａを所定の位置まで移
動する（ステップＳ２２）。このトレー１上の位置Ｐ１
上に移動したことをセンサ２００が検出すると、Ｉ／Ｆ
１０５を介してＣＰＵ１０１に伝達され、指定した信号
に従って固定ハンド３Ａが移動したことを確認する。そ
して、上述の制御と同様に、ＣＰＵ１０１は、その位置
で固定ハンド３Ａを下降する信号を出力する。固定ハン
ド３Ａが下降したことを確認したＣＰＵ１０１は、吸着
バッド３ＧでＩＣ２を吸着した後（ステップＳ２３）、
固定ハンド３Ａを上昇させる（ステップＳ２４）。

【００７２】以下同様に、所定の信号を出力したＣＰＵ
１０１は、その信号に従って駆動制御部１０６を介し
て、モーター３００を駆動し、指定した位置に移動でき
たことをセンサ２００により確認して、次の動作の信号
を出力して、フローチャートのステップを進めていくこ
ととなる。

【００７３】ステップＳ２５では、ＣＰＵ１０１は、固
定ハンド３ＡがＩＣ２を吸着したかを負圧力の高低によ
り確認する。このステップＳ２５において、固定ハンド
３Ａが正常にＩＣ２を吸着できた場合には、ステップＳ
２８に進み、正常に吸着ができなかった場合には、ステ
ップＳ２６に進む。

【００７４】固定ハンド３Ａが正常にＩＣ２を吸着して
いることを確認できたときには、ＣＰＵ１０１は、トレ
ー１の位置Ｐ１のＩＣ有データを消去する（ステップＳ
２８）。

【００７５】続いて、ＣＰＵ１０１は、可変ハンド３Ｂ
の吸着動作のために、可変ハンド３Ｂをトレー１上の位
置Ｐ２上に移動し（ステップＳ２９）、その位置で可変
ハンド３Ｂ下降し、ＩＣ２を吸着する（ステップＳ３
０）。その後、ＣＰＵ１０１は、可変ハンド３Ｂを上昇
させる（ステップＳ３１）。

【００７６】ステップＳ３２では、ＣＰＵ１０１は、可
変ハンド３ＢがＩＣ２を吸着したかを負圧力の高低によ
り確認する。このステップＳ３２において、可変ハンド
３Ｂが正常にＩＣ２を吸着できた場合には、ステップＳ
３５に進み、正常に吸着ができなかった場合には、ステ
ップＳ３３に進む。

【００７７】可変ハンド３Ｂが正常にＩＣ２を吸着して
いることを確認できたときには、ＣＰＵ１０１は、トレ
ー１の位置Ｐ２のＩＣ有データを消去する（ステップＳ
３５）。

【００７８】ここまでのステップで、ＣＰＵ１０１は、
両方のハンドがＩＣ２の吸着していることを確認できた
ので、供給ハンド３をＩＣ２離脱位置に移動し（ステッ
プＳ３７）、両方のハンドを下降させた後、空気の吸引
を停止してＩＣ２を離脱してから（ステップＳ３８）、
両方のハンドを上昇させる（ステップＳ３９）。

【００７９】ステップＳ４０では、ＣＰＵ１０１は、ト
レー１内のＩＣ有データを確認し、ＩＣ２がトレー１内
にまだあると判断した場合には、ステップＳ２２に戻
り、固定ハンド３Ａがトレー１の次の位置Ｐ３のＩＣ２
を吸着する。この動作を繰り返すことにより、位置Ｐ１
〜Ｐ１０のＩＣ２が移送されることとなる。

【００８０】ここまで進むと、ＣＰＵ１０１は、固定ハ
ンド３Ａをトレー１上の位置Ｐ１１まで移動し、その位
置でＩＣ２を吸着させた後、可変ハンド３Ｂをトレー１
の位置Ｐ１２上に移動する（ステップＳ２９）。この場
合には、トレー１の位置Ｐ１２の溝１ＡにＩＣ２が無い
ため、ステップＳ３３において、ＣＰＵ１０１は、ＩＣ
２の吸着に失敗したと判定する。そうすると、ＣＰＵ１
０１は、吸着不良アラームの出力信号を出力し、吸着不
良アラームが出力される（ステップＳ３３）。

【００８１】ステップＳ３４では、オペレータによりＩ
Ｃ２の供給を中断するかどうかが判断される。この場合
において、トレー１の位置Ｐ１３以降の溝１ＡにはＩＣ
２が存在しないため、オペレータは、供給の中断を選択
する。

【００８２】オペレーターにより供給の中断が選択され
ると、ＣＰＵ１０１は、全溝のＩＣ有データを消去する
（ステップＳ３６）。

【００８３】ここで、固定ハンド３ＡにはＩＣ２が吸着
されているので、ＣＰＵ１０１は、供給ハンド３をＩＣ
２離脱位置に移動して（ステップＳ３７）、ＩＣ２を離
脱した後、全ての供給動作が終了する。

【００８４】このようにして、装置を停止させることな
く、ロット最後の端数ＩＣを積載したトレー１内の全て
のＩＣ２を供給することができる。

【００８５】尚、実施の形態においては、トレーからＩ
Ｃを移送する供給ハンドは２本のハンドを提示したが、
例えば偶数個となる４本のハンドを持つ供給ハンドであ
っても、この発明の権利範囲を逸脱するものではない。

【００８６】

【発明の効果】請求項１、請求項４、及び請求項７記載
の発明によれば、本発明が適用されるオートハンドラ
は、１ロットの最後のトレーであることを検出できる構
造を備えており、１ロットの最後のトレーからＩＣを測
定部に搬送する時に限り、両方のハンドを同時に駆動し
て２列単位で行うのではなく、それぞれのハンドを独立
して駆動制御することにより、トレーからのＩＣの吸着
及び搬送動作を個別に行うことができる。

【００８７】また、請求項２、請求項５、及び請求項８
記載の発明によれば、本発明が適用されるオートハンド
ラは、１ロットの最後のトレーからＩＣを吸着及び搬送
する場合には、ＩＣの載置位置を記憶し及び未載置位置
を特定して、それぞれのハンドを独立して駆動制御する
ことにより、１列単位でＩＣを吸着及び搬送動作をする
ことができ、未載置位置が特定されたときには、その位
置以後の吸着及び搬送動作を中断することができる。

【００８８】更に、請求項３、請求項６、及び請求項９
記載の発明によれば、固定ハンドと可変ハンドとを有す
るオートハンドラにおいて、１ロットの最後のトレー上
のＩＣ載置状態に応じて、各ハンドの動作を効率よく制
御できる。

【００８９】これらにより、オートハンドラを停止させ
ることなくトレー内の端数ＩＣを吸着し及び測定部に搬
送することができる。そのため、オペレータはオートハ
ンドラがＩＣの吸着及び搬送動作を停止するたびに再稼
働しなくてよく、オペレータの負担が軽減される。

【００９０】更に、オートハンドラはＩＣの搬送途中に
止まることなく稼働できるので、全体として稼働効率を
向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用した一実施の形態におけるオート
ハンドラのローダ部の構成図である。

【図２】図１のローダ部の動作の状態変化を示した図で
ある。

【図３】本実施の形態におけるオートハンドラの制御系
の構成を示したブロック図である。

【図４】図３のＣＰＵ１０１により実行されるＩＣの供
給手順を示すフローチャートである。

【図５】従来のオートハンドラの構成図である。

【図６】図５の供給ハンド３の構成図である。

【図７】図５のトレー１と供給ハンド３の部分斜視図で
ある。

【図８】図７のトレー１の平面図である。

【図９】図５のローダ部における従来のＩＣの供給手順
を示すフローチャートである。

【符号の説明】

１トレー１Ａ溝１Ｂ穴２ＩＣ３供給ハンド３Ａ固定ハンド３Ｂ可変ハンド４収容ハンド５分離ツメ６Ａローダ部８エレベータ９Ａ供給位置センサ９Ｂ待機位置センサ９Ｃトレー有無センサ９Ｄスリット板１００オートハンドラの制御装置１０１ＣＰＵ１０２入力部１０３表示部１０４ＲＯＭ１０５Ｉ／Ｆ１０６駆動制御部１０７ＲＡＭ１０８記憶装置２００センサ３００モーター

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】１ロットのＩＣが複数のトレーに整列載置
され、複数のハンドが前記トレー内のＩＣを移送するオ
ートハンドラであって、１ロットの最後のトレーを検出する検出手段と、前記検出手段によりロットの最後のトレーが検出される
と、該トレー上のＩＣの載置状態に応じて、前記複数の
ハンドの吸着及び搬送動作を個別に駆動制御する駆動制
御手段と、を備えることを特徴とするオートハンドラ。
【請求項２】前記駆動制御手段は、前記トレー上に整列載置するＩＣの載置位置マップを記
憶する記憶手段と、前記記憶手段により記憶された載置位置マップに基づい
て、前記複数のハンドの吸着及び搬送動作を個別に駆動
制御して、該載置位置マップ内でＩＣの未載置位置を特
定する未載置位置特定手段と、前記未載置位置特定手段により特定された未載置位置以
後の前記複数のハンドの吸着及び搬送動作を中断する動
作中断手段と、を備えることを特徴とする請求項１記載のオートハンド
ラ。
【請求項３】前記複数のハンドは、固定ハンドと、固定
ハンドとの距離を変えることのできる可変ハンドで構成
することを特徴とする請求項１又は請求項２記載のオー
トハンドラ。
【請求項４】１ロットのＩＣが複数のトレーに整列載置
され、複数のハンドが前記トレー内のＩＣを移送するオ
ートハンドラの駆動制御方法であって、１ロットの最後のトレーを検出する検出工程と、前記検出工程によりロットの最後のトレーが検出される
と、該トレー上のＩＣの載置状態に応じて、前記複数の
ハンドの吸着及び搬送動作を個別に駆動制御する駆動制
御工程と、を含むことを特徴とするオートハンドラの駆動制御方
法。
【請求項５】前記駆動制御工程は、前記トレー上に整列載置するＩＣの載置位置マップを記
憶する記憶工程と、前記記憶工程により記憶された載置位置マップに基づい
て、前記複数のハンドの吸着及び搬送動作を個別に駆動
制御して、該載置位置マップ内でＩＣの未載置位置を特
定する未載置位置特定工程と、前記未載置位置特定工程により特定された未載置位置以
後の前記複数のハンドの吸着及び搬送動作を中断する動
作中断工程と、を含むことを特徴とする請求項４記載のオートハンドラ
の駆動制御方法。
【請求項６】前記複数のハンドは、固定ハンドと、固定
ハンドとの距離を変えることのできる可変ハンドで構成
することを特徴とする請求項４又は請求項５記載のオー
トハンドラの駆動制御方法。
【請求項７】１ロットのＩＣが複数のトレーに整列載置
され、複数のハンドが前記トレー内のＩＣを移送するオ
ートハンドラを駆動制御するためのコンピュータが実行
可能なプログラムを格納した記憶媒体であって、１ロットの最後のトレーを検出させるためのコンピュー
タが実行可能なプログラムコードと、前記検出によりロットの最後のトレーが検出されると、
該トレー上のＩＣの載置状態に応じて、前記複数のハン
ドの吸着及び搬送動作を個別に駆動制御させるためのコ
ンピュータが実行可能なプログラムコードと、を含むプログラムを格納したことを特徴とする記憶媒
体。
【請求項８】前記駆動制御させるためのコンピュータが
実行可能なプログラムコードは、前記トレー上に整列載置するＩＣの載置位置マップを記
憶させるためのコンピュータが実行可能なプログラムコ
ードと、前記記憶された載置位置マップに基づいて、前記複数の
ハンドの吸着及び搬送動作を個別に駆動制御して、該載
置位置マップ内でＩＣの未載置位置を特定するためのコ
ンピュータが実行可能なプログラムコードと、前記特定された未載置位置以後の前記複数のハンドの吸
着及び搬送動作を中断させるためのコンピュータが実行
可能なプログラムコードと、を含むプログラムであることを特徴とする請求項７記載
の記憶媒体。
【請求項９】前記複数のハンドは、固定ハンドと、固定
ハンドとの距離を変えることのできる可変ハンドで構成
することを特徴とする請求項７又は請求項８記載の記憶
媒体。