JP2000321139A - フーリエ分光器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 インターフェログラムの合成方法を最適化す
ることにより高Ｓ／Ｎのフーリエ分光器を実現する。 【解決手段】 干渉計を走査して測定光の干渉光を測定
し、この測定結果を演算制御回路でフーリエ変換するこ
とにより測定光のスペクトルを求めるフーリエ分光器に
おいて、干渉光を受光する受光手段と、この受光手段の
出力をディジタル信号に変換して保持する低利得処理チ
ャンネル及び高利得処理チャンネルと、高利得処理チャ
ンネルの出力の飽和範囲を拡大した低利得データ使用範
囲の出力を高利得処理チャンネルの出力に対して換算さ
れた低利得処理チャンネルの出力で置換する演算制御回
路とを設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、フーリエ分光器に
関し、特にＡ／Ｄ変換器のノイズを低減したフーリエ分
光器に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のフーリエ分光器は、干渉計を走査
して測定光の干渉光を測定し、この測定結果をコンピュ
ータ等の演算制御手段でフーリエ変換することにより測
定光のスペクトルを求める。

【０００３】測定結果であるインターフェログラムの中
央部には急峻なセンターバーストと呼ばれるピークが存
在する。このため従来のフーリエ分光器ではこのセンタ
ーバーストを飽和させないようにＡ／Ｄ変換器のフルス
パンを設定するので、量子化電圧が増大してしまいＳ／
Ｎが低下してしまうと言った問題点があった。

【０００４】このような問題点を解決するため本願出願
人の出願に係る「特願平７−１５４１８１（特開平９−
００５１６０）」がある。前記出願では高利得処理チャ
ンネルと低利得処理チャンネルの２系統の処理チャンネ
ルを設け、高利得処理チャンネルでの測定結果の内飽和
した部分を低利得処理チャンネルでの測定結果で置換す
ることにより高Ｓ／Ｎのフーリエ分光器を実現してい
る。

【０００５】図８はこのような従来のフーリエ分光器の
一例を示す構成ブロック図である。図８において１は受
光素子であるフォトダイオード及び電流電圧変換回路か
ら構成される受光手段、２はサンプリング周波数の１／
２以上の高周波数信号を減衰させるフィルタ回路、３は
センターバースト部分が飽和しないように利得が設定さ
れた低利得増幅器、４及び７はＡ／Ｄ変換器、５及び８
は記憶回路、６はセンターバースト部分が飽和するよう
に利得が設定された高利得増幅器、９は演算制御回路、
１００は図示しない干渉計からの干渉光である。

【０００６】また、３〜５は低利得処理チャンネル５０
を、６〜８は高利得処理チャンネル５１を、１〜８は処
理手段５２をそれぞれ構成している。

【０００７】干渉光１００は受光手段１に入射され、受
光手段１の出力はフィルタ回路２を介して低利得増幅器
３及び高利得増幅器６にそれぞれ接続される。低利得増
幅器３及び高利得増幅器６の出力はそれぞれＡ／Ｄ変換
器４及び７に接続され、Ａ／Ｄ変換器４及び７の出力は
記憶回路５及び８に接続される。また、記憶回路５及び
８の出力は演算制御回路９にそれぞれ接続される。

【０００８】ここで、図８に示す従来例の動作を図９を
用いて説明する図９は高Ｓ／Ｎのインターフェログラム
の生成を示すタイミング図である。

【０００９】受光手段１で検出された干渉光１００は電
気信号に変換され、フィルタ回路２でサンプリング周波
数の１／２以上の高周波数信号が減衰される。このフィ
ルタ回路２の出力信号は低利得増幅器３及び高利得増幅
器６でそれぞれ増幅され、Ａ／Ｄ変換器４及び７でディ
ジタル信号に変換された後記憶回路５及び８に格納され
る。

【００１０】演算制御回路９は記憶回路５及び８に格納
された各々のインターフェログラムの合成処理を行い。
合成されたインターフェログラムをフーリエ変換して測
定光のスペクトルを求める。

【００１１】図９（ａ）は低利得処理チャンネル５０で
得られたインターフェログラム（以下単に低利得データ
と呼ぶ。）の一例を、図９（ｂ）は高利得処理チャンネ
ル５１で得られたインターフェログラム（以下単に高利
得データと呼ぶ。）の一例をそれぞれ示す特性曲線であ
る。但し、図９（ｂ）に示す特性曲線は高利得増幅器６
の設定利得で除算されて図９（ａ）の特性曲線に対して
電圧値が換算されている。

【００１２】図９中”ＳＶ０１”及び”ＳＶ０２”に示
す飽和電圧レベルを越える部分では信号が飽和している
ので、演算制御回路９は図９中”ＳＲ０１”に示す飽和
範囲を検出する。

【００１３】そして、演算制御回路９は前記飽和範囲の
高利得データを低利得データに置き換えて図９（ｃ）に
示す合成されたインターフェログラムを生成させる。す
なわち、図９中”ＳＶ０３”及び”ＳＶ０４”に示す飽
和電圧レベルを越える範囲である図９中”ＬＤ０１”の
部分は低利得データが適用され、その他の部分である図
９中”ＨＤ０１”及び”ＨＤ０２”の部分には低利得デ
ータに対して換算された高利得データがそれぞれ適用さ
れる。

【００１４】この結果、高利得処理チャンネル５１でゼ
ロ付記の微小な信号を検出し、低利得処理チャンネル５
０でセンターバースト付近の変動を非飽和で検出して両
者の信号を合成することにより、見かけ上入力レンジが
広くなり、Ａ／Ｄ変換器のノイズが低減するので高Ｓ／
Ｎのフーリエ分光器が実現できる。

【００１５】また、図９中”ＳＲ０１”に示す飽和範囲
全体を低利得データで置き換えるのではなく飽和してい
る高利得データのみを低利得データと置き換えることに
よりＳ／Ｎを向上させている。

【００１６】また、高利得データと低利得データの位相
差が存在する場合には伝達関数を測定して位相補正を行
った後に両者を合成する。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、図８に示す従
来例では図９中”ＳＲ０１”に示す飽和範囲全体を低利
得データで置き換えた場合には位相誤差により境界部分
での誤差が大きくなり、Ｓ／Ｎが低下してしまうと言っ
た問題点があった。

【００１８】例えば、図１０は合成されたインターフェ
ログラムと誤差電圧の関係を示すタイミング図である。
図１０（ａ）は図９（ｃ）に示す合成されたインターフ
ェログラムと同一であり、図１０（ｂ）に示す誤差電圧
は図１０（ａ）から図９（ａ）の低利得データを減算し
た値である。

【００１９】図１０から分かるように図１０中”ＬＤ１
１”に示す部分の誤差は”０”であるが図１０中”ＨＤ
１１”及び”ＨＤ１２”との境界近傍で大きな誤差が生
じている。このため、Ｓ／Ｎの低下を招いてしまう。

【００２０】また、図９中”ＳＲ０１”に示す飽和範囲
全体を低利得データで置き換えるのではなく飽和してい
る高利得データのみを低利得データと置き換えること場
合には、前記飽和範囲内の高利得データはそのデータ自
身誤差が多いので実際にはＳ／Ｎが低下してしまうと言
った問題点があった。

【００２１】さらに、伝達関数を測定して位相補正を行
うには作業が煩雑になり、また、伝達関数の測定精度と
演算制御回路９で行われるディジタルフィルタ処理の精
度によりＳ／Ｎが低下してしまうと言った問題点があっ
た。従って本発明が解決しようとする課題は、インター
フェログラムの合成方法を最適化することにより高Ｓ／
Ｎのフーリエ分光器を実現することにある。

【００２２】

【課題を解決するための手段】このような課題を達成す
るために、本発明のうち請求項１記載の発明は、干渉計
を走査して測定光の干渉光を測定し、この測定結果を演
算制御回路でフーリエ変換することにより測定光のスペ
クトルを求めるフーリエ分光器において、前記干渉光を
受光する受光手段と、この受光手段の出力をディジタル
信号に変換して保持する低利得処理チャンネル及び高利
得処理チャンネルと、前記高利得処理チャンネルの出力
の飽和範囲を拡大した低利得データ使用範囲の出力を前
記高利得処理チャンネルの出力に対して換算された前記
低利得処理チャンネルの出力で置換する演算制御回路と
を備えたことにより、飽和範囲近傍での大きな誤差を除
去することが可能になり高Ｓ／Ｎのフーリエ分光器が実
現できる。

【００２３】請求項２記載の発明は、干渉計を走査して
測定光の干渉光を測定し、この測定結果を演算制御回路
でフーリエ変換することにより測定光のスペクトルを求
めるフーリエ分光器において、前記干渉光を受光する受
光手段と、この受光手段の出力をディジタル信号に変換
して保持する低利得処理チャンネル及び高利得処理チャ
ンネルと、前記低利得処理チャンネルの出力に対して換
算された前記高利得処理チャンネルの出力の飽和範囲を
拡大した低利得データ使用範囲の出力を前記低利得処理
チャンネルの出力で置換する演算制御回路とを備えたこ
とにより、飽和範囲近傍での大きな誤差を除去すること
が可能になり高Ｓ／Ｎのフーリエ分光器が実現できる。

【００２４】請求項３記載の発明は、請求項１及び請求
項２記載の発明であるフーリエ分光器において、前記演
算制御回路が、前記飽和範囲と予め設定されている設定
範囲の双方が包含される範囲を求めて前記低利得データ
使用範囲として設定することにより、飽和範囲近傍での
大きな誤差を除去することが可能になり高Ｓ／Ｎのフー
リエ分光器が実現できる。

【００２５】請求項４記載の発明は、請求項３記載の発
明であるフーリエ分光器において、前記演算制御回路
が、前記低利得データ使用範囲を予め設定された値分だ
け拡大することにより、飽和範囲近傍での大きな誤差を
除去することが可能になり高Ｓ／Ｎのフーリエ分光器が
実現できる。

【００２６】請求項５記載の発明は、請求項１記載の発
明であるフーリエ分光器において、参照光を受光する第
２の受光手段と、この第２の受光手段の出力をディジタ
ル信号に変換して保持する第２の低利得処理チャンネル
及び第２の高利得処理チャンネルとを備え、前記演算制
御回路が、前記高利得処理チャンネルの出力の飽和範囲
と前記第２の高利得処理チャンネルの出力の飽和範囲の
双方が包含される範囲を前記低利得データ使用範囲と
し、前記高利得処理チャンネルの前記低利得データ使用
範囲の出力を前記高利得処理チャンネルの出力に対して
換算された前記低利得処理チャンネルの出力で置換し、
前記第２の高利得処理チャンネルの前記低利得データ使
用範囲の出力を前記第２の高利得処理チャンネルの出力
に対して換算された前記第２の低利得処理チャンネルの
出力で置換することにより、ダブルビームの場合に低利
得データ使用範囲を測定光と参照光とで同一にすること
になりインターフェログラムの合成誤差を減少させるこ
とが可能になる。

【００２７】請求項６記載の発明は、請求項２記載の発
明であるフーリエ分光器において、参照光を受光する第
２の受光手段と、この第２の受光手段の出力をディジタ
ル信号に変換して保持する第２の低利得処理チャンネル
及び第２の高利得処理チャンネルとを備え、前記演算制
御回路が、前記高利得処理チャンネルの出力の飽和範囲
と前記第２の高利得処理チャンネルの出力の飽和範囲の
双方が包含される範囲を前記低利得データ使用範囲と
し、前記低利得処理チャンネルの出力に対して換算され
た前記高利得処理チャンネルの前記低利得データ使用範
囲の出力を前記低利得処理チャンネルの出力で置換し、
前記第２の低利得処理チャンネルの出力に対して換算さ
れた前記第２の高利得処理チャンネルの前記低利得デー
タ使用範囲の出力を前記第２の低利得処理チャンネルの
出力で置換することにより、ダブルビームの場合に低利
得データ使用範囲を測定光と参照光とで同一にすること
になりインターフェログラムの合成誤差を減少させるこ
とが可能になる。

【００２８】請求項７記載の発明は、請求項５及び請求
項６記載の発明であるフーリエ分光器において、前記演
算制御回路が、前記全飽和範囲と予め設定されている設
定範囲の双方が包含される範囲を求めて前記低利得デー
タ使用範囲として設定することにより、ダブルビームの
場合に低利得データ使用範囲を測定光と参照光とで同一
にすることになりインターフェログラムの合成誤差を減
少させることが可能になる。

【００２９】請求項８記載の発明は、請求項７記載の発
明であるフーリエ分光器において、前記演算制御回路
が、前記低利得データ使用範囲を予め設定された値分だ
け拡大することにより、ダブルビームの場合に低利得デ
ータ使用範囲を測定光と参照光とで同一にすることにな
りインターフェログラムの合成誤差を減少させることが
可能になる。

【００３０】

【発明の実施の形態】以下本発明を図面を用いて詳細に
説明する。図１は本発明に係るフーリエ分光器の一実施
例を示す構成ブロック図である。

【００３１】図１において１〜８，５０，５１，５２及
び１００は図８と同一符号を付してあり、１０は演算制
御回路である。接続関係に関しても演算制御回路９が演
算制御回路１０に置換された点以外は図８に示す接続関
係と同様である。

【００３２】ここで、図１に示す実施例の動作を図２及
び図３を用いて説明する。図２は演算制御回路１０の動
作を説明するフロー図、図３はインターフェログラムの
生成を示すタイミング図である。但し、基本的な回路動
作に関しては図８に示す従来例と同様であるので説明は
省略する。

【００３３】図３（ａ）は低利得処理チャンネル５０で
得られた低利得データの一例を、図３（ｂ）は高利得処
理チャンネル５１で得られた高利得データの一例を、図
３（ｃ）は従来の場合の誤差電圧をそれぞれ示す特性曲
線である。但し、図３（ｂ）に示す特性曲線は高利得増
幅器６の設定利得で除算されて図３（ａ）の特性曲線に
対して電圧値が換算されている。

【００３４】図２中”Ｓ００１”において演算制御回路
１０は記憶回路８に格納された高利得データから飽和開
始点、飽和終了点及び飽和範囲を検出する。図２中”Ｓ
００２”において演算制御回路１０が飽和を検出できな
い場合は図２中”Ｓ００３”において低利得データとの
置き換えをしないで図２中”Ｓ００７”の処理を行う。

【００３５】例えば、演算制御回路１０は図３中”ＳＰ
２１”及び”ＥＰ２１”に示すような飽和開始点及び飽
和終了点を検出すると共に両者から図３中”ＳＲ２１”
に示す飽和範囲を得る。

【００３６】一方、図２中”Ｓ００２”において演算制
御回路１０が飽和を検出した場合には図２中”Ｓ００
４”において検出された飽和範囲と予め設定されている
設定範囲の双方が包含される範囲を求めてこれを低利得
データ使用範囲とする。

【００３７】例えば、設定範囲が図３中”ＣＲ２１”に
示すような範囲であれば、図３中”ＳＲ２１”に示す飽
和範囲と前記設定範囲の双方が包含される図３中”ＣＲ
２１”の部分が低利得データ使用範囲となる。但し、飽
和範囲”ＳＲ２１”の方が設定範囲”ＣＲ２１”を包含
する関係にある場合には飽和範囲”ＳＲ２１”が低利得
データ使用範囲になる。

【００３８】さらに、図２中”Ｓ００５”において演算
制御回路１０は低利得データ使用範囲を予め設定された
値分だけ拡大する。

【００３９】例えば、図３中”ＡＲ２１”及び”ＡＲ２
２”に示す分だけ低利得データ使用範囲を拡大し図３
中”ＬＤ２１”に示す部分を新たな低利得データ使用範
囲とする。

【００４０】このように、低利得データ使用範囲を予め
設定された値分だけ拡大する理由としては、前述のよう
に飽和範囲の方が設定範囲を包含する関係にある場合に
は飽和範囲が低利得データ使用範囲になり、飽和範囲の
境界部分に存在する大きな誤差が除去されずに残ってし
まうためである。

【００４１】例えば、指定範囲との関係により図３中”
ＳＲ２１”に示す飽和範囲が低利得データ使用範囲とな
った場合には、低利得データ使用範囲（飽和範囲）を図
３中”ＡＲ２１”及び”ＡＲ２２”に示す分だけ拡大す
ることにより、図３中”ＥＲ２１”及び”ＥＲ２２”に
示すような飽和範囲の境界部分に存在する大きな誤差が
除去されることになる。

【００４２】図２中”Ｓ００６”において演算制御回路
１０は先に設定した低利得データ使用範囲の高利得デー
タを低利得データで置き換えてインターフェログラムを
合成させる。

【００４３】最後に、図２中”Ｓ００７”において演算
制御回路１０は合成されたインターフェログラムをフー
リエ変換して測定光のスペクトルを求める。

【００４４】すなわち、図３に示す場合では図３中”Ｌ
Ｄ２１”に示す低利得データ使用範囲の誤差は”０”に
なるので、例えば、図３中”ＥＲ２１”や”ＥＲ２２”
に示すような誤差が除去されてＳ／Ｎが向上することに
なる。

【００４５】また、図４は高利得データと低利得データ
との間に位相差がある場合に低利得データ使用範囲を変
化させてインターフェログラムを合成した場合のＳ／Ｎ
を示す特性曲線図である。

【００４６】図４中”ＣＴ０１”、”ＣＴ０２”及び”
ＣＴ０３”は”３点”，”２１点”及び”４１点”の低
利得データを用いた場合のＳ／Ｎを示している。図４か
ら分かるように低利得データの使用数が少ないほどＳ／
Ｎが悪化する。これは、誤差がインターフェログラムの
中心ほど大きくなるためである。言い換えれば、低利得
データを多く使用する方がＳ／Ｎは向上する。

【００４７】一方、雑音レベルに関しては逆の結果とな
る。図５は雑音レベルの状態を示す特性曲線図である。
図５中”ＣＴ１１”は合成されたインターフェログラ
ム、図５中”ＣＴ１２”は低利得データのみによるイン
ターフェログラム、図５中”ＣＴ１３”は高利得データ
のみによるインターフェログラムの場合の雑音レベルを
それぞれ示している。図５からわかるように低利得デー
タの使用数が増加するにしたがって雑音レベルが増加す
る。

【００４８】但し、低利得データの使用数が増加するに
したがって雑音レベルが増加するもののフーリエ変換を
行う点数に対して低利得データの使用割合が少なければ
問題とはならない。

【００４９】この結果、飽和を検出した場合に検出され
た飽和範囲と予め設定されている設定範囲の双方が包含
される範囲を求めると共に予め設定された値分だけ拡大
して低利得データと置き換える範囲を決定することによ
り、飽和範囲近傍での大きな誤差を除去することが可能
になり高Ｓ／Ｎのフーリエ分光器が実現できる。

【００５０】また、図１に示す実施例ではシングルビー
ムのフーリエ分光器を例示したが勿論ダブルビームであ
っても構わない。図６はダブルビームのフーリエ分光器
の一実施例を示す構成ブロック図である。

【００５１】図６において１ａ及び１ｂは受光素子であ
るフォトダイオード及び電流電圧変換回路から構成され
る受光手段、２ａ及び２ｂはサンプリング周波数の１／
２以上の高周波数信号を減衰させるフィルタ回路、３ａ
及び３ｂは低利得増幅器、４ａ，４ｂ，７ａ及び７ｂは
Ａ／Ｄ変換器、５ａ，５ｂ，８ａ及び８ｂは記憶回路、
６ａ及び６ｂは高利得増幅器、１０ａは演算制御回路、
１０１及び１０２は図示しない干渉計からの測定光及び
参照光である。

【００５２】また、１ａ〜８ａは測定光１０１側の処理
手段５２ａを、１ｂ〜８ｂは参照光１０２側の処理手段
５２ｂをそれぞれ構成している。

【００５３】処理手段５２ａ及び５２ｂ内の接続関係に
ついては図１に示す処理手段５２と符号に添え字が付く
以外は同一であり、異なる点は記憶回路５ａ，５ｂ，８
ａ及び８ｂの出力がそれぞれ演算制御回路１０ａに接続
される点である。

【００５４】ここで、図６に示す実施例の動作を図７を
用いて説明する。図７は演算制御回路１０ａの動作を説
明するフロー図である。但し、個々の回路動作に関して
も図１と同様であるので説明は省略する。

【００５５】図７中”Ｓ１０１”において演算制御回路
１０ａは記憶回路８ａに格納された測定光の高利得デー
タから飽和開始点、飽和終了点及び飽和範囲を検出し、
図７中”Ｓ１０２”において演算制御回路１０ａは記憶
回路８ｂに格納された参照光の高利得データから飽和開
始点、飽和終了点及び飽和範囲を検出する。

【００５６】図７中”Ｓ１０３”において演算制御回路
１０ａが測定光及び参照光の高利得データのどちらから
も飽和を検出できない場合は図７中”Ｓ１０４”におい
て低利得データとの置き換えをしないで図７中”Ｓ１０
９”の処理を行う。

【００５７】一方、図７中”Ｓ１０３”において演算制
御回路１０ａが測定光及び参照光の高利得データの双方
若しくはどちらか一方から飽和を検出した場合には図７
中”Ｓ１０５”において演算制御回路１０ａは検出され
た測定光の飽和範囲と参照光の飽和範囲の双方が包含さ
れる範囲を求めてこれを全飽和範囲とする。

【００５８】図７中”Ｓ１０６”において演算制御回路
１０ａは前記飽和範囲と予め設定されている設定範囲の
双方が包含される範囲を求めてこれを低利得データ使用
範囲とする。さらに、図７中”Ｓ１０７”において演算
制御回路１０ａは低利得データ使用範囲を予め設定され
た値分だけ拡大する。

【００５９】図７中”Ｓ１０８”において演算制御回路
１０ａは先に設定した低利得データ使用範囲の高利得デ
ータを低利得データで置き換えてインターフェログラム
を合成させる。

【００６０】最後に、図７中”Ｓ１０９”において演算
制御回路１０ａは合成されたインターフェログラムをフ
ーリエ変換して測定光のスペクトルを求める。

【００６１】このように、測定光と参照光との低利得デ
ータ使用範囲を同一にすることにより、フーリエ変換後
の測定光と参照光との誤差曲線が同じような傾向になる
ので、両者の比を計算する等すれば雑音が低下してＳ／
Ｎが向上することになる。

【００６２】この結果、ダブルビームの場合に低利得デ
ータ使用範囲を測定光と参照光とで同一にすることによ
りインターフェログラムの合成誤差を減少させることが
可能になる。

【００６３】なお、図３の説明において高利得データは
高利得増幅器６の設定利得で除算されて低利得データに
対して電圧値が換算されていると説明しているが、その
逆であっても構わない。すなわち、低利得データを高利
得増幅器６の設定利得で乗算して高利得データに対して
電圧値を換算しても構わない。

【００６４】

【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明によれば次のような効果がある。請求項１乃至請
求項４の発明によれば、飽和を検出した場合に検出され
た飽和範囲と予め設定されている設定範囲の双方が包含
される範囲を求めると共に予め設定された値分だけ拡大
して低利得データと置き換える範囲を決定することによ
り、飽和範囲近傍での大きな誤差を除去することが可能
になり高Ｓ／Ｎのフーリエ分光器が実現できる。

【００６５】また、請求項５乃至請求項８の発明によれ
ば、ダブルビームの場合に低利得データ使用範囲を測定
光と参照光とで同一にすることによりインターフェログ
ラムの合成誤差を減少させることが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るフーリエ分光器の一実施例を示す
構成ブロック図である。

【図２】演算制御回路の動作を説明するフロー図であ
る。

【図３】インターフェログラムの生成を示すタイミング
図である。

【図４】インターフェログラムを合成した場合のＳ／Ｎ
を示す特性曲線図である。

【図５】雑音レベルの状態を示す特性曲線図である。

【図６】ダブルビームのフーリエ分光器の一実施例を示
す構成ブロック図である。

【図７】演算制御回路の動作を説明するフロー図であ
る。

【図８】従来のフーリエ分光器の一例を示す構成ブロッ
ク図である。

【図９】高Ｓ／Ｎのインターフェログラムの生成を示す
タイミング図である。

【図１０】合成されたインターフェログラムと誤差電圧
の関係を示すタイミング図である。

【符号の説明】

１，１ａ，１ｂ 受光手段 ２，２ａ，２ｂ フィルタ回路 ３，３ａ，３ｂ 低利得増幅器 ４，４ａ，４ｂ，７，７ａ，７ｂ Ａ／Ｄ変換器 ５，５ａ，５ｂ，８，８ａ，８ｂ 記憶回路 ６，６ａ，６ｂ 高利得増幅器 ９，１０，１０ａ 演算制御回路 ５０ 低利得処理チャンネル ５１ 高利得処理チャンネル ５２，５２ａ，５２ｂ 処理手段 １００ 干渉光 １０１ 測定光 １０２ 参照光

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】干渉計を走査して測定光の干渉光を測定
   し、この測定結果を演算制御回路でフーリエ変換するこ
   とにより測定光のスペクトルを求めるフーリエ分光器に
   おいて、 前記干渉光を受光する受光手段と、 この受光手段の出力をディジタル信号に変換して保持す
   る低利得処理チャンネル及び高利得処理チャンネルと、 前記高利得処理チャンネルの出力の飽和範囲を拡大した
   低利得データ使用範囲の出力を前記高利得処理チャンネ
   ルの出力に対して換算された前記低利得処理チャンネル
   の出力で置換する演算制御回路とを備えたことを特徴と
   するフーリエ分光器。
2. 【請求項２】干渉計を走査して測定光の干渉光を測定
   し、この測定結果を演算制御回路でフーリエ変換するこ
   とにより測定光のスペクトルを求めるフーリエ分光器に
   おいて、 前記干渉光を受光する受光手段と、 この受光手段の出力をディジタル信号に変換して保持す
   る低利得処理チャンネル及び高利得処理チャンネルと、 前記低利得処理チャンネルの出力に対して換算された前
   記高利得処理チャンネルの出力の飽和範囲を拡大した低
   利得データ使用範囲の出力を前記低利得処理チャンネル
   の出力で置換する演算制御回路とを備えたことを特徴と
   するフーリエ分光器。
3. 【請求項３】前記演算制御回路が、 前記飽和範囲と予め設定されている設定範囲の双方が包
   含される範囲を求めて前記低利得データ使用範囲として
   設定することを特徴とする請求項１及び請求項２記載の
   フーリエ分光器。
4. 【請求項４】前記演算制御回路が、 前記低利得データ使用範囲を予め設定された値分だけ拡
   大することを特徴とする請求項３記載のフーリエ分光
   器。
5. 【請求項５】参照光を受光する第２の受光手段と、 この第２の受光手段の出力をディジタル信号に変換して
   保持する第２の低利得処理チャンネル及び第２の高利得
   処理チャンネルとを備え、 前記演算制御回路が、 前記高利得処理チャンネルの出力の飽和範囲と前記第２
   の高利得処理チャンネルの出力の飽和範囲の双方が包含
   される範囲を前記低利得データ使用範囲とし、 前記高利得処理チャンネルの前記低利得データ使用範囲
   の出力を前記高利得処理チャンネルの出力に対して換算
   された前記低利得処理チャンネルの出力で置換し、 前記第２の高利得処理チャンネルの前記低利得データ使
   用範囲の出力を前記第２の高利得処理チャンネルの出力
   に対して換算された前記第２の低利得処理チャンネルの
   出力で置換することを特徴とする請求項１記載のフーリ
   エ分光器。
6. 【請求項６】参照光を受光する第２の受光手段と、 この第２の受光手段の出力をディジタル信号に変換して
   保持する第２の低利得処理チャンネル及び第２の高利得
   処理チャンネルとを備え、 前記演算制御回路が、 前記高利得処理チャンネルの出力の飽和範囲と前記第２
   の高利得処理チャンネルの出力の飽和範囲の双方が包含
   される範囲を前記低利得データ使用範囲とし、 前記低利得処理チャンネルの出力に対して換算された前
   記高利得処理チャンネルの前記低利得データ使用範囲の
   出力を前記低利得処理チャンネルの出力で置換し、 前記第２の低利得処理チャンネルの出力に対して換算さ
   れた前記第２の高利得処理チャンネルの前記低利得デー
   タ使用範囲の出力を前記第２の低利得処理チャンネルの
   出力で置換することを特徴とする請求項２記載のフーリ
   エ分光器。
7. 【請求項７】前記演算制御回路が、 前記全飽和範囲と予め設定されている設定範囲の双方が
   包含される範囲を求めて前記低利得データ使用範囲とし
   て設定することを特徴とする請求項５及び請求項６記載
   のフーリエ分光器。
8. 【請求項８】前記演算制御回路が、 前記低利得データ使用範囲を予め設定された値分だけ拡
   大することを特徴とする請求項７記載のフーリエ分光
   器。