JP2000298998A5 - - Google Patents
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Description
【請求項1】 複数のチップを有する解析用ウェハに対する不良解析システムであって、前記複数のチップはそれぞれ、X方向及びY方向で規定されるマトリクス状に配置された複数のメモリセルと前記複数のメモリセル中の不良メモリセルと置換可能な置換メモリセル群とを有し、前記置換メモリセル群はX方向及びY方向にそれぞれ所定のX方向置換能力及び所定のY方向置換能力で置換可能であり、
前記複数のチップそれぞれにおける前記複数のメモリセルの良/不良を検出して不良のメモリセルには不良ビット情報を付加したメモリセル試験結果を出力するメモリセル試験手段と、
前記メモリセル試験結果に基づき、前記Y方向の不良を考慮した前記X方向置換能力によるX方向救済判定処理と前記X方向の不良を考慮した前記Y方向置換能力によるY方向救済判定処理との連続処理及び致命不良集計処理とを含む致命不良自動抽出処理を実行するデータ解析手段とを備え、
前記X方向救済判定処理は、
(a) 前記複数のメモリセルを複数のX方向置換対象メモリセル群に縮退し、前記複数のX方向置換対象メモリセル群それぞれについて、前記不良ビット情報及び予め定められたY方向仮想置換能力に基づき、前記Y方向の不良を考慮して良/不良を判定するステップと、
(b) 前記複数のX方向置換対象メモリセル群のうち、前記ステップ(a) で不良と判定された第1の数のX方向置換対象メモリセル群それぞれを、前記X方向置換能力に基づき救済可能な範囲で救済判定するステップとを含み、
前記Y方向救済判定処理は、
(c) 前記複数のメモリセルを複数のY方向置換対象メモリセル群に縮退し、前記複数のY方向置換対象メモリセル群それぞれについて、前記不良ビット情報及び予め定められたX方向仮想置換能力に基づき、前記X方向の不良を考慮して良/不良を判定するステップと、
(d) 前記複数のY方向置換対象メモリセル群のうち、前記ステップ(c) で不良と判定された第2の数のY方向置換対象メモリセル群それぞれを、前記Y方向置換能力に基づき救済可能な範囲で救済判定するステップとを含み、
前記致命不良集計処理は、
(e) 前記メモリセル試験結果の前記不良ビット情報のうち、前記X方向救済判定処理及び前記Y方向救済判定処理で救済できなかったメモリセルの不良ビット情報である致命不良ビット情報を集計するステップを含む、
不良解析システム。
前記複数のチップそれぞれにおける前記複数のメモリセルの良/不良を検出して不良のメモリセルには不良ビット情報を付加したメモリセル試験結果を出力するメモリセル試験手段と、
前記メモリセル試験結果に基づき、前記Y方向の不良を考慮した前記X方向置換能力によるX方向救済判定処理と前記X方向の不良を考慮した前記Y方向置換能力によるY方向救済判定処理との連続処理及び致命不良集計処理とを含む致命不良自動抽出処理を実行するデータ解析手段とを備え、
前記X方向救済判定処理は、
(a) 前記複数のメモリセルを複数のX方向置換対象メモリセル群に縮退し、前記複数のX方向置換対象メモリセル群それぞれについて、前記不良ビット情報及び予め定められたY方向仮想置換能力に基づき、前記Y方向の不良を考慮して良/不良を判定するステップと、
(b) 前記複数のX方向置換対象メモリセル群のうち、前記ステップ(a) で不良と判定された第1の数のX方向置換対象メモリセル群それぞれを、前記X方向置換能力に基づき救済可能な範囲で救済判定するステップとを含み、
前記Y方向救済判定処理は、
(c) 前記複数のメモリセルを複数のY方向置換対象メモリセル群に縮退し、前記複数のY方向置換対象メモリセル群それぞれについて、前記不良ビット情報及び予め定められたX方向仮想置換能力に基づき、前記X方向の不良を考慮して良/不良を判定するステップと、
(d) 前記複数のY方向置換対象メモリセル群のうち、前記ステップ(c) で不良と判定された第2の数のY方向置換対象メモリセル群それぞれを、前記Y方向置換能力に基づき救済可能な範囲で救済判定するステップとを含み、
前記致命不良集計処理は、
(e) 前記メモリセル試験結果の前記不良ビット情報のうち、前記X方向救済判定処理及び前記Y方向救済判定処理で救済できなかったメモリセルの不良ビット情報である致命不良ビット情報を集計するステップを含む、
不良解析システム。
【請求項13】 前記解析用ウェハにおけるパターン欠陥を含む欠陥領域を規定した欠陥領域情報を付与する欠陥領域情報付与手段をさらに備え、
前記致命不良集計処理は、
前記ステップ(e) の後、
(f) 前記欠陥領域情報付与手段より得た前記欠陥領域情報で規定される前記欠陥領域を、第1のレベルの前記致命不良ビット情報で規定される不良領域を基点とした第1の領域内に存在する第1のレベルの致命不良欠陥領域と、前記第1のレベルと異なる第2のレベルの前記致命不良ビット情報で規定される不良領域を基点とした第2の領域内に存在する第2のレベルの致命不良欠陥領域と、前記不良ビット情報から前記第1及び第2のレベルの前記致命不良ビット情報を除いた非致命不良ビット情報で規定される不良領域を基点とした第3の領域内に存在する非致命不良欠陥領域と、前記第1〜第3の領域内に存在しない無影響欠陥領域とに分類するステップをさらに含む、
請求項3あるいは請求項4に記載の不良解析システム。
前記致命不良集計処理は、
前記ステップ(e) の後、
(f) 前記欠陥領域情報付与手段より得た前記欠陥領域情報で規定される前記欠陥領域を、第1のレベルの前記致命不良ビット情報で規定される不良領域を基点とした第1の領域内に存在する第1のレベルの致命不良欠陥領域と、前記第1のレベルと異なる第2のレベルの前記致命不良ビット情報で規定される不良領域を基点とした第2の領域内に存在する第2のレベルの致命不良欠陥領域と、前記不良ビット情報から前記第1及び第2のレベルの前記致命不良ビット情報を除いた非致命不良ビット情報で規定される不良領域を基点とした第3の領域内に存在する非致命不良欠陥領域と、前記第1〜第3の領域内に存在しない無影響欠陥領域とに分類するステップをさらに含む、
請求項3あるいは請求項4に記載の不良解析システム。
【請求項17】 複数のチップを有する解析用ウェハに対する致命不良抽出方法であって、前記複数のチップはそれぞれ、X方向及びY方向で規定されるマトリクス状に配置された複数のメモリセルと前記複数のメモリセル中の不良メモリセルと置換可能な置換メモリセル群とを有し、前記置換メモリセル群はX方向及びY方向にそれぞれ所定のX方向置換能力及び所定のY方向置換能力で置換可能であり、
(a) 前記複数のチップそれぞれにおける前記複数のメモリセルの良/不良を検出して不良のメモリセルには不良ビット情報を付加したメモリセル試験結果を得るステップと、
(b) 前記複数のメモリセルを複数のX方向置換対象メモリセル群に縮退し、前記複数のX方向置換対象メモリセル群それぞれについて、前記メモリセル試験結果の前記不良ビット情報及び予め定められたY方向仮想置換能力に基づき、前記Y方向の不良を考慮して良/不良を判定するステップと、
(c) 前記複数のX方向置換対象メモリセル群のうち、前記ステップ(b) で不良と判定された第1の数のX方向置換対象メモリセル群それぞれを、前記X方向置換能力に基づき救済可能な範囲で救済判定するステップと、
(d) 前記複数のメモリセルを複数のY方向置換対象メモリセル群に縮退し、前記複数のY方向置換対象メモリセル群それぞれについて、前記メモリセル試験結果の前記不良ビット情報及び予め定められたX方向仮想置換能力に基づき、前記X方向の不良を考慮して良/不良を判定するステップと、
(e) 前記複数のY方向置換対象メモリセル群のうち、前記ステップ(d) で不良と判定された第2の数のY方向置換対象メモリセル群それぞれを、前記Y方向置換能力に基づき救済可能な範囲で救済判定するステップと、
(f) 前記メモリセル試験結果の前記不良ビット情報のうち、前記ステップ(c) 及びステップ(e) で救済できなかったメモリセルの不良ビット情報である致命不良ビット情報を集計するステップと、
を備える致命不良抽出方法。
(a) 前記複数のチップそれぞれにおける前記複数のメモリセルの良/不良を検出して不良のメモリセルには不良ビット情報を付加したメモリセル試験結果を得るステップと、
(b) 前記複数のメモリセルを複数のX方向置換対象メモリセル群に縮退し、前記複数のX方向置換対象メモリセル群それぞれについて、前記メモリセル試験結果の前記不良ビット情報及び予め定められたY方向仮想置換能力に基づき、前記Y方向の不良を考慮して良/不良を判定するステップと、
(c) 前記複数のX方向置換対象メモリセル群のうち、前記ステップ(b) で不良と判定された第1の数のX方向置換対象メモリセル群それぞれを、前記X方向置換能力に基づき救済可能な範囲で救済判定するステップと、
(d) 前記複数のメモリセルを複数のY方向置換対象メモリセル群に縮退し、前記複数のY方向置換対象メモリセル群それぞれについて、前記メモリセル試験結果の前記不良ビット情報及び予め定められたX方向仮想置換能力に基づき、前記X方向の不良を考慮して良/不良を判定するステップと、
(e) 前記複数のY方向置換対象メモリセル群のうち、前記ステップ(d) で不良と判定された第2の数のY方向置換対象メモリセル群それぞれを、前記Y方向置換能力に基づき救済可能な範囲で救済判定するステップと、
(f) 前記メモリセル試験結果の前記不良ビット情報のうち、前記ステップ(c) 及びステップ(e) で救済できなかったメモリセルの不良ビット情報である致命不良ビット情報を集計するステップと、
を備える致命不良抽出方法。
【0006】
【課題を解決するための手段】
この発明にかかる請求項1記載の不良解析システムは、複数のチップを有する解析用ウェハに対する不良解析システムであって、前記複数のチップはそれぞれ、X方向及びY方向で規定されるマトリクス状に配置された複数のメモリセルと前記複数のメモリセル中の不良メモリセルと置換可能な置換メモリセル群とを有し、前記置換メモリセル群はX方向及びY方向にそれぞれ所定のX方向置換能力及び所定のY方向置換能力で置換可能であり、前記複数のチップそれぞれにおける前記複数のメモリセルの良/不良を検出して不良のメモリセルには不良ビット情報を付加したメモリセル試験結果を出力するメモリセル試験手段と、前記メモリセル試験結果に基づき、前記Y方向の不良を考慮した前記X方向置換能力によるX方向救済判定処理と前記X方向の不良を考慮した前記Y方向置換能力によるY方向救済判定処理との連続処理及び致命不良集計処理とを含む致命不良自動抽出処理を実行するデータ解析手段とを備え、前記X方向救済判定処理は、(a) 前記複数のメモリセルを複数のX方向置換対象メモリセル群に縮退し、前記複数のX方向置換対象メモリセル群それぞれについて、前記不良ビット情報及び予め定められたY方向仮想置換能力に基づき、前記Y方向の不良を考慮して良/不良を判定するステップと、(b) 前記複数のX方向置換対象メモリセル群のうち、前記ステップ(a) で不良と判定された第1の数のX方向置換対象メモリセル群それぞれを、前記X方向置換能力に基づき救済可能な範囲で救済判定するステップとを含み、前記Y方向救済判定処理は、(c) 前記複数のメモリセルを複数のY方向置換対象メモリセル群に縮退し、前記複数のY方向置換対象メモリセル群それぞれについて、前記不良ビット情報及び予め定められたX方向仮想置換能力に基づき、前記X方向の不良を考慮して良/不良を判定するステップと、(d) 前記複数のY方向置換対象メモリセル群のうち、前記ステップ(c) で不良と判定された第2の数のY方向置換対象メモリセル群それぞれを、前記Y方向置換能力に基づき救済可能な範囲で救済判定するステップとを含み、前記致命不良集計処理は、(e) 前記メモリセル試験結果の前記不良ビット情報のうち、前記X方向救済判定処理及び前記Y方向救済判定処理で救済できなかったメモリセルの不良ビット情報である致命不良ビット情報を集計するステップを含んでいる。
【課題を解決するための手段】
この発明にかかる請求項1記載の不良解析システムは、複数のチップを有する解析用ウェハに対する不良解析システムであって、前記複数のチップはそれぞれ、X方向及びY方向で規定されるマトリクス状に配置された複数のメモリセルと前記複数のメモリセル中の不良メモリセルと置換可能な置換メモリセル群とを有し、前記置換メモリセル群はX方向及びY方向にそれぞれ所定のX方向置換能力及び所定のY方向置換能力で置換可能であり、前記複数のチップそれぞれにおける前記複数のメモリセルの良/不良を検出して不良のメモリセルには不良ビット情報を付加したメモリセル試験結果を出力するメモリセル試験手段と、前記メモリセル試験結果に基づき、前記Y方向の不良を考慮した前記X方向置換能力によるX方向救済判定処理と前記X方向の不良を考慮した前記Y方向置換能力によるY方向救済判定処理との連続処理及び致命不良集計処理とを含む致命不良自動抽出処理を実行するデータ解析手段とを備え、前記X方向救済判定処理は、(a) 前記複数のメモリセルを複数のX方向置換対象メモリセル群に縮退し、前記複数のX方向置換対象メモリセル群それぞれについて、前記不良ビット情報及び予め定められたY方向仮想置換能力に基づき、前記Y方向の不良を考慮して良/不良を判定するステップと、(b) 前記複数のX方向置換対象メモリセル群のうち、前記ステップ(a) で不良と判定された第1の数のX方向置換対象メモリセル群それぞれを、前記X方向置換能力に基づき救済可能な範囲で救済判定するステップとを含み、前記Y方向救済判定処理は、(c) 前記複数のメモリセルを複数のY方向置換対象メモリセル群に縮退し、前記複数のY方向置換対象メモリセル群それぞれについて、前記不良ビット情報及び予め定められたX方向仮想置換能力に基づき、前記X方向の不良を考慮して良/不良を判定するステップと、(d) 前記複数のY方向置換対象メモリセル群のうち、前記ステップ(c) で不良と判定された第2の数のY方向置換対象メモリセル群それぞれを、前記Y方向置換能力に基づき救済可能な範囲で救済判定するステップとを含み、前記致命不良集計処理は、(e) 前記メモリセル試験結果の前記不良ビット情報のうち、前記X方向救済判定処理及び前記Y方向救済判定処理で救済できなかったメモリセルの不良ビット情報である致命不良ビット情報を集計するステップを含んでいる。
請求項13記載の不良解析システムは、前記解析用ウェハにおけるパターン欠陥を含む欠陥領域を規定した欠陥領域情報を付与する欠陥領域情報付与手段をさらに備え、前記致命不良集計処理は、前記ステップ(e) の後、(f) 前記欠陥領域情報付与手段より得た前記欠陥領域情報で規定される前記欠陥領域を、第1のレベルの前記致命不良ビット情報で規定される不良領域を基点とした第1の領域内に存在する第1のレベルの致命不良欠陥領域と、前記第1のレベルと異なる第2のレベルの前記致命不良ビット情報で規定される不良領域を基点とした第2の領域内に存在する第2のレベルの致命不良欠陥領域と、前記不良ビット情報から前記第1及び第2のレベルの前記致命不良ビット情報を除いた非致命不良ビット情報で規定される不良領域を基点とした第3の領域内に存在する非致命不良欠陥領域と、前記第1〜第3の領域内に存在しない無影響欠陥領域とに分類するステップをさらに含んでいる。
この発明に係る請求項17記載の致命不良集計方法は、複数のチップを有する解析用ウェハに対する致命不良を抽出する方法であって、前記複数のチップはそれぞれ、X方向及びY方向で規定されるマトリクス状に配置された複数のメモリセルと前記複数のメモリセル中の不良メモリセルと置換可能な置換メモリセル群とを有し、前記置換メモリセル群はX方向及びY方向にそれぞれ所定のX方向置換能力及び所定のY方向置換能力で置換可能であり、(a) 前記複数のチップそれぞれにおける前記複数のメモリセルの良/不良を検出して不良のメモリセルには不良ビット情報を付加したメモリセル試験結果を得るステップと、(b) 前記複数のメモリセルを複数のX方向置換対象メモリセル群に縮退し、前記複数のX方向置換対象メモリセル群それぞれについて、前記メモリセル試験結果の前記不良ビット情報及び予め定められたY方向仮想置換能力に基づき、前記Y方向の不良を考慮して良/不良を判定するステップと、(c) 前記複数のX方向置換対象メモリセル群のうち、前記ステップ(b) で不良と判定された第1の数のX方向置換対象メモリセル群それぞれを、前記X方向置換能力に基づき救済可能な範囲で救済判定するステップと、(d) 前記複数のメモリセルを複数のY方向置換対象メモリセル群に縮退し、前記複数のY方向置換対象メモリセル群それぞれについて、前記メモリセル試験結果の前記不良ビット情報及び予め定められたX方向仮想置換能力に基づき、前記X方向の不良を考慮して良/不良を判定するステップと、(e) 前記複数のY方向置換対象メモリセル群のうち、前記ステップ(d) で不良と判定された第2の数のY方向置換対象メモリセル群それぞれを、前記Y方向置換能力に基づき救済可能な範囲で救済判定するステップと、(f) 前記メモリセル試験結果の前記不良ビット情報のうち、前記ステップ(c) 及びステップ(e) で救済できなかったメモリセルの不良ビット情報である致命不良ビット情報を集計するステップとを備えている。
これらの、別方向のラインを考慮した救済判定を行うステップ(ステップS69a,S69b,S70a及びS70b)の内容に関しては後に詳述する。上述したXライン優先あるいはYライン優先で行う処理が終了するとステップS71に移行する。
一方、ステップS85で0未満であると判定されれば、レベルNでは救済不可能と判断し、ステップS86Bで、不良ピクセルのある場所をレベルNの不良発生場所(致命不良ビット情報)としてデータ解析用EWS2内の所定の記憶部に記憶し、不良ピクセル内の不良ビット情報を消去し、次のXライン置換対象エリアを検証するためステップS87に進む。
<効果>
このように、実施の形態2の不良解析システムは、実施の形態1と同様、LSIテスタ1にてウェハの電気的テストを行った結果と取り込んで、データ解析用EWS2上で図22及び図23〜図25で示した処理を自動的に実行することにより、予め定められたZ種類の仮想設定置換能力に基づく致命不良抽出を自動的に行うことができる。
このように、実施の形態2の不良解析システムは、実施の形態1と同様、LSIテスタ1にてウェハの電気的テストを行った結果と取り込んで、データ解析用EWS2上で図22及び図23〜図25で示した処理を自動的に実行することにより、予め定められたZ種類の仮想設定置換能力に基づく致命不良抽出を自動的に行うことができる。
すなわち、ステップS149の処理は、不良ピクセルのある場所を「レベル0」の救済不可不良発生場所(致命不良ビット情報)としてデータ解析用EWS2内の所定の記憶部に記憶し、Y(bx、by)で表現されるYライン置換対象エリア内の不良ビット情報を消去し、次のYライン置換対象エリアを検証するためステップS153に進ませる処理である。
また、ステップS151の処理は、Y(bx、by)で表現されるYライン置換対象エリア全体を「レベルN(Nはb−α,a−βの大きい方)」の救済不可不良発生場所(致命不良ビット情報)としてデータ解析用EWS2内の所定の記憶部に記憶し、このYライン置換対象エリア内の不良ビット情報を消去し、次のYライン置換対象エリアを検証するためステップS153に進ませる処理である。
<効果>
このように、実施の形態3の不良解析システムは、実施の形態1と同様、LSIテスタ1にてウェハの電気的テストを行った結果と取り込んで、データ解析用EWS2上で図26及び図27〜図30及び図31で示した処理を自動的に実行することにより、従来、人間が手作業で行っていた致命不良抽出を自動的に行うことができる。
このように、実施の形態3の不良解析システムは、実施の形態1と同様、LSIテスタ1にてウェハの電気的テストを行った結果と取り込んで、データ解析用EWS2上で図26及び図27〜図30及び図31で示した処理を自動的に実行することにより、従来、人間が手作業で行っていた致命不良抽出を自動的に行うことができる。
<<実施の形態8>>
図37は、この発明の実施の形態8である致命不良自動抽出方法における致命不良集計処理の出力結果を示す説明図である。図37で示した出力結果は、図22及び図23で示した実施の形態2の全体処理のステップS76あるいは図26及び図27で示した実施の形態3の全体処理のステップS117による1ウェハ当たりの致命不良の集計処
図37は、この発明の実施の形態8である致命不良自動抽出方法における致命不良集計処理の出力結果を示す説明図である。図37で示した出力結果は、図22及び図23で示した実施の形態2の全体処理のステップS76あるいは図26及び図27で示した実施の形態3の全体処理のステップS117による1ウェハ当たりの致命不良の集計処
<<実施の形態10>>
図40は、この発明の実施の形態10である致命不良自動抽出方法における致命不良集計処理における分類方法を示す説明図である。図40で示した分離方法は、図22及び図23で示した実施の形態2の全体処理のステップS76あるいは図40で示した実施の形態3の全体処理のステップS117による1ウェハ当たりの致命不良の集計処理の出力結果の分離方法である。なお、実施の形態10の不良解析システムのハードウェア構成は図38で示した実施の形態9の構成と同様である。
理の出力結果に相当する。
図40は、この発明の実施の形態10である致命不良自動抽出方法における致命不良集計処理における分類方法を示す説明図である。図40で示した分離方法は、図22及び図23で示した実施の形態2の全体処理のステップS76あるいは図40で示した実施の形態3の全体処理のステップS117による1ウェハ当たりの致命不良の集計処理の出力結果の分離方法である。なお、実施の形態10の不良解析システムのハードウェア構成は図38で示した実施の形態9の構成と同様である。
理の出力結果に相当する。
WTデータベース3には、解析用ウェハ上の複数のチップの電気的試験による良否判定を行うウェハテスト(WT)の結果が蓄積されている。WTは置換用のメモリセルによる置き換えが可能か否かを含めて行われるため、WTで不良と判定されたチップは置換用メモリセルでの救済不可能な致命不良を有するチップである。また、WTではファンクション不良、スタンバイ電流異常不良等のカテゴリ別のテストが行われる。このようなWT情報が蓄積されたWTデータベース3はコネクタ12によって、LSIテスタ1、データ解析用EWS2との間にネットワークを構築している。なお、他の構成は図1と同様であるため、説明は省略する。
なお、ステップS18における判断基準は、(1)不良チップのみを対象とする、(2)不良チップの中で特定のカテゴリ(ファンクション不良、スタンバイ電流異常不良等)に属する不良チップのみを対象とする、(3)複数のカテゴリのいずれかに属する不良チップのみを対象とする等の基準が考えられ、実施の形態15では、これら判断基準に該当するチップに対してのみ致命不良自動抽出を行うようにしている。
請求項13記載の不良解析システムのデータ解析手段における致命不良集計処理は、(f) 欠陥領域情報付与手段より得た欠陥領域情報で規定される欠陥領域を、第1のレベルの致命不良ビット情報で規定される不良領域を基点とした第1の領域内に存在する第1のレベルの致命不良欠陥領域と、第1のレベルと異なる第2のレベルの致命不良ビット情報で規定される不良領域を基点とした第2の領域内に存在する第2のレベルの致命不良欠陥領域と、不良ビット情報から第1及び第2のレベルの致命不良ビット情報を除いた非致命不良ビット情報で規定される不良領域を基点とした第3の領域内に存在する非致命不良欠陥領域と、第1〜第3の領域内に存在しない無影響欠陥領域とに分類するステップを含むため、欠陥領域を第1及び第2のレベルの致命不良ビット情報との関係において分類することができる。
【図13】 チップ平面上におけるYライン置換対象エリアを示す説明図である。
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