JP2000294732A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JP2000294732A
JP2000294732A JP11096162A JP9616299A JP2000294732A JP 2000294732 A JP2000294732 A JP 2000294732A JP 11096162 A JP11096162 A JP 11096162A JP 9616299 A JP9616299 A JP 9616299A JP 2000294732 A JP2000294732 A JP 2000294732A
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JP
Japan
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divided
resistors
resistor
terminal
divided resistor
Prior art date
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Pending
Application number
JP11096162A
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English (en)
Inventor
Masahito Kajima
雅人 鹿島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fuji Electric Co Ltd
Original Assignee
Fuji Electric Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】パッケージ前後で、基準電圧Vref の電圧値の
変動を小さく抑制できる分割抵抗を有する半導体装置を
提供すること。 【解決手段】第1の分割抵抗1の一方の端に高い電位V
1を与える第1の端子3が形成され、第2の分割抵抗2
の一方の端に低い電位V2を与える第2の端子4が形成
され、第1の分割抵抗1の他方の端と、第2の分割抵抗
2の他方の端とは中間電位を基準電位Vref として発生
する第3の端子5が形成され、第1の分割抵抗1は複数
個の第1の単位抵抗1a、1b、1cとこの第1の単位
抵抗同志を接続する第1の配線6aでそれぞれ構成さ
れ、第2の分割抵抗2は複数個の第2の単位抵抗2a、
2b、2cとこの第2の単位抵抗同志を接続する第2の
配線6bでそれぞれ構成され、第1および第2の分割抵
抗をAに示すように互いに隣接して配置する。こうする
ことで、パッケージ前後での場所による応力ばらつきが
あっても、基準電圧の変動幅を小さく抑制できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば、DC−
DCコンバータを駆動する電源用IC(集積回路)など
の基準電圧を発生させる場合に用いられる分割抵抗を形
成した半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】DC−DCコンバータを駆動する電源用
ICでは、基準電圧をIC内で発生させる必要がある。
この基準電圧を発生させる手段として、分割抵抗を用い
る方法がある。
【0003】図4は、従来の分割抵抗の要部平面図であ
る。分割抵抗51の一方の端に高い電位V1を与える第
1の端子が形成され、分割抵抗52の一方の端に低い電
位V2を与える第2の端子が形成され、分割抵抗R51
の他方の端と分割抵抗52の他方の端とは中間電位を基
準電位Vref として発生する第3の端子が形成されてい
る。第1の分割抵抗51の第1の端子近傍Bと第2の分
割抵抗52の第2の端子近傍Cは互いに離れている。
【0004】また、高い電位V1と低い電位V2を分割
抵抗51、52で分割し、V1とV2の中間の電位を発
生させる。この中間の電位とグランドとの間の電圧がI
C内の回路を駆動するときの基準電圧Vref となる。こ
の基準電圧Vref は(V1−V2)×(R52/(R5
1+R52))+V2で表される。
【0005】この分割抵抗51、R52は、この分割抵
抗51、52を形成するときのエッチングばらつきやI
Cをモールド樹脂でパッケージするときの応力ばらつき
などの影響を受けて、分割抵抗51、52の抵抗値にば
らつきが生じる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】図4のようなレイアウ
トの分割抵抗51、52では、分割抵抗51と分割抵抗
52がシリコンチップ内で場所的に離れた位置にある。
特に、第1の分割抵抗51の第1の端子53の近傍Bと
第2の分割抵抗52の第2の端子54の近傍Cは位置的
に離れている。例えば、これらの分割抵抗51、52は
モールド樹脂などでパッケージするときに、パッケージ
から応力を受ける。この応力の程度は場所が離れている
第1の分割抵抗51と第2の分割抵抗52では異なる。
そのために、パッケージすることによる、第1の分割抵
抗51の抵抗値の変動幅と第2の分割抵抗52の抵抗値
の変動幅とが異なり、パッケージする前と後で、基準電
圧Vref の値が変化する。この発明の目的は、パッケー
ジ前後で、基準電圧Vref の電圧値の変動を小さく抑制
できる分割抵抗を有する半導体装置を提供することであ
る。
【0007】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、第1の分割抵抗の一方の端に形成され、高電位が
印加される第1の端子と、第2の分割抵抗の一方の端に
形成され、低電位が印加される第2の端子とを有し、第
1の分割抵抗の他方の端と第2の分割抵抗の他方の端と
が接続され、該接続点から前記の高電位と前記の低電位
の間の中間電位が取り出される前記の2個の分割抵抗を
有する半導体装置において、少なくとも、前記第1の端
子近傍の第1の分割抵抗と、前記第2の分割抵抗とが互
いに隣接するか、もしくは、前記第1の分割抵抗と、前
記第2の端子近傍の第2の分割抵抗とが互いに隣接する
構成とする。
【0008】前記第1の分割抵抗および前記第2の分割
抵抗が複数個の単位抵抗と該単位抵抗同志を接続する配
線とから構成されるとよい。前記第1の分割抵抗と前記
第2の分割抵抗の抵抗値が異なるとよい。前記第1およ
び第2の分割抵抗が、帯状のポリシリコン膜で形成され
ると効果的である。
【0009】前記第1の分割抵抗を形成する第1のポリ
シリコン膜の幅もしくは長さと、前記第2の分割抵抗を
形成する第2ポリシリコン膜の幅もしくは長さとが互い
に異なるとよい。
【0010】前記のように、第1の分割抵抗と第2の分
割抵抗を互いに隣接させることで、モールド樹脂などで
パッケージするときに、分割抵抗が応力を受けても、近
接しているために、同じような応力を受け、第1の分割
抵抗の抵抗値の変化と第2の分割抵抗の抵抗値の変化と
がほぼ同じ割合となり、その結果、基準電圧Vref の変
化を小さく抑制できる。
【0011】
【発明の実施の形態】図1は、この発明の第1実施例の
分割抵抗の要部平面図である。図1は半導体装置の一部
を構成する第1の分割抵抗1と第2の分割抵抗2がそれ
ぞれ対向して隣接しており、また第1の端子3と第2の
端子4も対向して隣接している場合を示し、これらが形
成される半導体基板は図示していない。第1の分割抵抗
1の一方の端に高い電位V1を与える第1の端子3が形
成され、第2の分割抵抗2の一方の端に低い電位V2を
与える第2の端子4が形成され、第1の分割抵抗1の他
方の端と、第2の分割抵抗2の他方の端とは中間電位を
基準電位Vref として発生する第3の端子5が形成され
ている。第1の分割抵抗1は複数個の第1の単位抵抗1
a、1b、1cとこの第1の単位抵抗同志を接続する第
1の配線6aでそれぞれ構成されている。また、第2の
分割抵抗2は複数個の第2の単位抵抗2a、2b、2c
とこの第2の単位抵抗同志を接続する第2の配線6bで
それぞれ構成されている。第1および第2の単位抵抗1
a、1b、1c、2a、2b、2cと第1および第2の
配線6a、6bの接続はコンタクトホール7で行われ
る。また、第3の端子5の位置を点線8で示す位置にし
たり、または、第1の単位抵抗1a、1b、1cの抵抗
値と第2の単位抵抗2a、2b、2cの抵抗値を違える
ことで、第1の分割抵抗1の抵抗値と第2の分割抵抗2
の抵抗値とを異なる値にして、第3の端子5から任意の
基準電圧Vref を得ることができる。
【0012】前記したように、高い電位V1と低い電位
V2を、第1の分割抵抗1および第2の分割抵抗2で分
割し、V1とV2の中間の電位とグランドの間で基準電
圧Vref を発生させる。この基準電圧Vref がIC内の
回路を駆動するときの基準電圧となる。この基準電圧V
ref は(V1−V2)×(R2/(R1+R2))+V
2で表される。
【0013】パッケージすることで、例えば、第1の分
割抵抗1と第2の分割抵抗2がパッケージする前の抵抗
値に対してパッケージした後の抵抗値が、共に9割の値
となった場合でも、基準電圧Vref は(V1−V2)×
(0.9×R2/0.9×(R1+R2))+V2=
(V1−V2)×(R2/(R1+R2))+V2とな
り変化しない。実際は、完全に第1の分割抵抗1および
第2の分割抵抗2が同じ値になるように変化する訳では
ないので、パッケージする前後で基準電圧Vrefは多少
変化する。しかし、その変化の度合いは、従来の分割抵
抗で取り出される基準電圧Vref の変化の度合いに比べ
ると、その変化の度合いは極めて小さな値に抑制するこ
とができる。
【0014】特に、従来の分割抵抗との違いは、従来の
第1の分割抵抗51の第1の端子近傍Bと、第2の分割
抵抗52の第2の端子近傍Cは互いに離れていて、場所
による応力ばらつきの影響で、それぞれの抵抗値の変動
幅に大きな違いが出ていたのが、本発明では図1のAに
示すように互いに隣接しているので、場所による応力ば
らつきがあっても、それぞれの抵抗値の変動幅をほぼ同
じようにした点である。
【0015】また、この第1の分割抵抗1および第2の
分割抵抗2を、シリコンチップの表面層に基板とは逆の
導電形の不純物を拡散して形成した拡散抵抗とするより
も、ポリシリコン膜で形成する方が好ましい。これは、
単結晶のシリコンよりポリシリコンの方がピエゾ効果
(応力により抵抗が変わる効果)が小さく、応力の影響
を受けにくいためである。
【0016】前記の第1の分割抵抗1の抵抗値と第2の
分割抵抗2の抵抗値を変える場合は、単位抵抗1a、1
b、1c、2a、2b、2cを形成するポリシリコン膜
の幅や長さを変えればよい。
【0017】図2は、この発明の第2実施例の分割抵抗
の要部平面図である。第1の分割抵抗1および第2の分
割抵抗2とも一本の帯状で、互いに隣接しながら渦巻き
状をしている。第1の端子3と第2の端子4は並ぶよう
に形成され、第3の端子5は他方の端に形成されてい
る。第1の分割抵抗1の帯の幅と第2の分割抵抗2の帯
の幅を変えることで、任意の基準電圧Vref を得ること
ができる。また、第1の分割抵抗1および第2の分割抵
抗2は互いに隣り合っているので、パッケージするとき
の応力をほぼ同じように受ける。そのため、両分割抵抗
の抵抗値もほぼ同じように変化するので、基準電圧Vre
f の変動を小さく抑制できる。この分割抵抗は前記のよ
うにポリシリコン膜で形成するとよい。
【0018】図3は、この発明の第3実施例の分割抵抗
の要部平面図である。図2との違いは円形の渦巻き状が
四角の渦巻きに変わった点と、第1の端子3と第2の端
子4が対向していない点である。勿論対向させて隣接さ
せても構わない。この実施例も前記と同様の効果が得ら
れる。尚、図2および図3の分割抵抗を、図1のように
複数個の単位抵抗と配線で構成しても勿論構わない。
【0019】
【発明の効果】この発明によれば、高電位側の第1の分
割抵抗と低電位側の第2の分割抵抗を隣接させること
で、第1および第2の分割抵抗の接続点から得られる基
準電圧Vref の電圧値をパッケージする前と後で、その
変動を小さく抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1実施例の分割抵抗の要部平面図
【図2】この発明の第2実施例の分割抵抗の要部平面図
【図3】この発明の第3実施例の分割抵抗の要部平面図
【図4】従来の分割抵抗の要部平面図
【符号の説明】
1 第1の分割抵抗 1a〜1c 第1の単位抵抗 2 第2の分割抵抗 2a〜2c 第2の単位抵抗 3 第1の端子 4 第2の端子 5 第3の端子 6a 第1の配線 6b 第2の配線 7 コンタクトホール 8 点線(第3の端子) A 分割抵抗の端子近傍

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】第1の分割抵抗の一方の端に形成され、高
    電位が印加される第1の端子と、第2の分割抵抗の一方
    の端に形成され、低電位が印加される第2の端子とを有
    し、第1の分割抵抗の他方の端と第2の分割抵抗の他方
    の端とが接続され、該接続点から前記の高電位と前記の
    低電位の間の中間電位が取り出される前記の2個の分割
    抵抗を有する半導体装置において、 少なくとも、前記第1の端子近傍の第1の分割抵抗と、
    前記第2の分割抵抗とが互いに隣接するか、もしくは、
    前記第1の分割抵抗と、前記第2の端子近傍の第2の分
    割抵抗とが互いに隣接することを特徴とする半導体装
    置。
  2. 【請求項2】前記第1の分割抵抗および前記第2の分割
    抵抗が複数個の単位抵抗と該単位抵抗同志を接続する配
    線とから構成されることを特徴とする請求項1に記載の
    半導体装置。
  3. 【請求項3】前記第1の分割抵抗と前記第2の分割抵抗
    の抵抗値が異なることを特徴とする請求項1に記載の半
    導体装置。
  4. 【請求項4】前記第1および第2の分割抵抗が、帯状の
    ポリシリコン膜で形成されることを特徴とする請求項1
    ないし3のいずれかに記載の半導体装置。
  5. 【請求項5】前記第1の分割抵抗を形成する第1のポリ
    シリコン膜の幅もしくは長さと、前記第2の分割抵抗を
    形成する第2ポリシリコン膜の幅もしくは長さとが互い
    に異なることを特徴とする請求項4に記載の半導体装
    置。
JP11096162A 1999-04-02 1999-04-02 半導体装置 Pending JP2000294732A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7764109B2 (en) 2008-02-26 2010-07-27 Ricoh Company, Ltd. Semiconductor device and voltage divider circuit
JP2011503856A (ja) * 2007-11-02 2011-01-27 エスティー‐エリクソン、ソシエテ、アノニム マッチした集積電子コンポーネント
JP2014090139A (ja) * 2012-10-31 2014-05-15 Renesas Electronics Corp 抵抗補正回路、抵抗補正方法、及び半導体装置

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011503856A (ja) * 2007-11-02 2011-01-27 エスティー‐エリクソン、ソシエテ、アノニム マッチした集積電子コンポーネント
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