JP2000294176A - 発光装置とそれを用いた画像形成装置 - Google Patents

発光装置とそれを用いた画像形成装置

Info

Publication number
JP2000294176A
JP2000294176A JP9686699A JP9686699A JP2000294176A JP 2000294176 A JP2000294176 A JP 2000294176A JP 9686699 A JP9686699 A JP 9686699A JP 9686699 A JP9686699 A JP 9686699A JP 2000294176 A JP2000294176 A JP 2000294176A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic field
cathode
light emitting
anode
magnet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP9686699A
Other languages
English (en)
Inventor
Keiichi Betsui
圭一 別井
Tadashi Nakatani
忠司 中谷
Kazunori Inoue
和則 井上
Osamu Toyoda
治 豊田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP9686699A priority Critical patent/JP2000294176A/ja
Publication of JP2000294176A publication Critical patent/JP2000294176A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Printers Or Recording Devices Using Electromagnetic And Radiation Means (AREA)
  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 FED発光素子の発光ドット面積を小さくし
て、画像密度の高い画像形成装置を得ること。 【解決手段】 互いに対向する陰極および陽極と、陰極
と陽極との間に介在する蛍光体とを有し、陰極が陽極に
向かって放出する電子を蛍光体に衝突させて蛍光体を発
光させる電界放出陰極形発光素子と、前記陰極・陽極間
に磁界を印加して陰極から陽極に向かう電子を蛍光体上
の所定領域内に収束させる磁界印加部材とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は発光装置とそれを
用いた画像形成装置に関し、特にこの発明の発光装置は
電界放出陰極形発光素子に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、金属、または半導体の鋭利部に高
電界を印加し、その鋭利部先端から電子を真空中に電界
放出させ蛍光体に衝突させて発光させるFED(Field
Emission Display)素子と呼ばれる発光素子が知られて
いる。
【0003】この発光素子の代表的な構造について図8
を用いて説明する。FED発光素子はガラス基板104
上に、カソード電極(陰極)113を形成するととも
に、所定の間隔で円錐型エミッタ101を形成し、円錐
型エミッタ101の近傍に位置するようにガラス基板1
04上に絶縁膜103を介してゲート電極102を形成
した基板部Aと、基板部Aに相対向するように配設され
蛍光体層110とアノード電極106とを積層した基板
部Bとから構成される。円錐型エミッタ101とアノー
ド電極106との間の領域は10-7Torr程度の高真
空である。
【0004】電子放出方法は、陰極となる円錐型エミッ
タ101に対し、ゲート電極102に正電位を印加し、
円錐型エミッタ101の先端部に高電界を形成する。ゲ
ート電極102の空孔径107は非常に小さいため、円
錐型エミッタ101の先端部に電界集中が起こり、真空
中に電子が電界放出される。真空中へ放出された電子1
05は、アノード電極106の正電位によって加速され
蛍光体層110に衝突して蛍光体層110を発光させ最
終的にアノード電極106に吸収される。
【0005】ところで、円錐型エミッタ101には、デ
バイス構造に起因して生じる放出電流の広がりという本
質的な特性があり、図8で円錐型エミッタ101より放
出された電子105は、ゲート電極102によって加速
され、結果としてアノード電極106の位置では、広が
り径108を有するビームスポットとなる。
【0006】これに対して、高画素密度プリンタにFE
D発光素子を用いる場合は、発光ドットのサイズを数十
μmまで小さくしなければならない。例えば、1200
dpi(dot/inch)画素密度には、20μm×
20μm(半径10μm)の小ドットが必要であるが、
そのためには、円錐型エミッタ101とアノード電極1
06との間隔を20μmという極めて小さな間隔にしな
ければならない。
【0007】そこで、このような要求に応えるFED発
光素子として、2つの基板の内一方の基板に溝を設け、
その溝の底部に円錐型エミッタ電極とゲート電極とを配
設し、他方の基板にアノード電極と蛍光体層とを積層
し、両方の基板を互いに密着させ溝の深さを制御するこ
とにより円錐型エミッタとアノード電極との距離を調整
するようにしたものが知られている(例えば、特開平9
−213247号公報参照)。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
このようなFED発光素子では、円錐型エミッタとアノ
ード電極との距離が20μm程度で極めて短いため、高
度な基板の寸法精度および加工精度が必要とされ、均一
なドット面積を有する発光素子を歩留りよく製造するこ
とは容易でない。
【0009】この発明はこのような事情を考慮してなさ
れたもので、円錐型エミッタとアノード電極との間の電
子の放出空間に磁界を印加することにより、その間隔を
大きくした状態で電子を発光層上に収束させ高密度画像
形成に必要な大きさのドット面積を得ることが可能な発
光装置とそれを用いた画像形成装置を提供するものであ
る。
【0010】
【課題を解決するための手段】この発明は、互いに対向
する陰極および陽極と、陰極と陽極との間に介在する蛍
光体とを有し、陰極が陽極に向かって放出する電子を蛍
光体に衝突させ蛍光体を発光させる電界放出陰極形発光
素子と、前記陰極・陽極間に磁界を印加し陰極から陽極
に向かう電子を蛍光体上の所定領域内に収束させる磁界
印加部材とを備える発光装置を提供するものである。
【0011】また、この発明は上記発光装置を複数個一
列に配列した発光アレイと、発光装置から光を受けて静
電潜像を形成する感光体と、前記静電潜像を現像する現
像部と、現像された像を媒体に転写する転写部を備える
画像形成装置を提供するものである。
【0012】
【発明の実施の形態】この発明の発光装置における電界
放出陰極形発光素子は、陰極と、陰極に対向する陽極
と、陰・陽極間に介在する蛍光体から構成される。これ
には、例えばエム・アイ・エリンソン(M. I. Elinson
)等によって発表された冷陰極素子(Radio Eng. Elec
tron Phys, 第10巻、1965年1290〜1296頁)や、金属
又は半導体の鋭利部に高電界を印加し、その鋭利部の先
端から電子を真空中に電界放出させるフィールドエミッ
タ素子(テレビジョン学会誌Vol.47, No.5, 1993年 570
〜574 頁)などを用いることができる。
【0013】この発明の発光装置における磁界印加部材
は、陰極・陽極間に磁界を印加し陰極から陽極に向かう
電子を蛍光体上の所定領域内に収束させるものであり、
これには陰極と陽極との対向方向に磁界を印加するもの
を用いることが好ましい。
【0014】磁界中を電子が走ると電子はローレンツ力
を受ける。磁界が一様であれば電磁力は電子に対する一
定の求心力として作用し、電子は磁界内を磁界に直交す
る方向に円運動しながら磁界に平行な方向に進む。つま
り半径およびピッチが一定の螺旋運動をする。そして、
これらの螺旋運動の半径およびピッチは、いずれも磁界
の磁束密度に反比例するので、この磁束密度を制御する
ことにより、電子を所定面積内に収束させることができ
る。
【0015】この発明は磁界印加部材が磁石からなり、
磁石は極性の異なる2つの磁極を有しその2つの磁極間
に陰極と陽極とが介在するように配置されてもよい。磁
石には永久磁石,電磁石,またはそれらを組合せたもの
を用いることができる。また、永久磁石としては、例え
ばアルニコ磁石,希土類コバルト系磁石などを用いるこ
とができる。
【0016】磁界印加部材が異なる2つの磁極を有する
磁石からなり、磁石はその2つの磁極間に発光素子と感
光体とが介在するように配置されてもよい。また、この
発明の画像形成装置は投影レンズをさらに備え、投影レ
ンズは発光アレイと感光体との間に介在してもよい。投
影レンズには等倍正立レンズを用いることが好ましい。
この発明の画像形成装置はミラーをさらに備え、ミラー
は発光アレイからの光を磁束の方向に直交させて感光体
へ案内するように配置されてもよい。
【0017】実施例 以下図面に示す実施例に基づいてこの発明を詳述する。
図1はこの発明の画像形成装置の要部を示す斜視図,図
2はその断面図であり、感光体ドラム1に対向してその
軸方向にFED(Field Emission Display)素子アレイ
2が設けられ、感光体ドラム1とFED素子アレイ2と
の間に投影レンズアレイ3が設置されている。感光体ド
ラム1の内部とFED素子アレイ2の背面には磁石4,
5が互いに対向するように設けられ、磁石4と5の間の
FED素子アレイ2には磁石5から磁石4に向かう方向
(矢印Z方向に)に磁界が印加されている。
【0018】図3はFED素子アレイ2の要部構成を示
す説明図である。同図において、基板11は、例えば厚
さ1.1mmのガラス板であり、その上にカソード電極
16として、例えば厚さ100nmのTa膜がスパッタ
法で形成されている。
【0019】基板11上にさらに絶縁膜7として、例え
ば厚さ1000nmのSiO2 膜が被着され、ゲート電
極30が金属膜、例えば、厚さ150nm程度のCr,
Ta,Moなどの膜により形成されている。ゲート電極
30と絶縁膜7にはコーン(円錐型エミッタ)用空孔1
3が形成され、空孔底面に露出したカソード電極16の
上にはコーン(円錐型エミッタ)12が、例えば、Mo
を垂直蒸着することにより形成されている。
【0020】そして、図3に示すように1画素領域とし
て、20×20μmの大きさのカソード電極16の中
に、2×2=4個のコーン12が設けられ、4個一組の
コーン12からなる画素領域が複数個アレー状(一列)
に配列されている。
【0021】この微小電界放出陰極アレイと対面するよ
うにガラス透明基板10が設けられ、その下面には、ア
ノード電極15、たとえば、厚さ200〜300nmの
ITO(In2 3 −SnO2 )膜が積層され、その上
には蛍光体層14たとえば、厚さ2μmのZnO:Zn
からなる膜が形成されている。そして、両基板10,1
1を、スペーサ17,18(図2)によりたとえば、1
000μm程度の間隔をあけて密封し内部を高真空にし
てFED素子アレイ2が構成される。
【0022】また、FED素子アレイ2の駆動制御は、
図3に示すようにアノード電極15にアノード電源25
0を接続し、カソード電極16に制御回路200、すな
わち、カソード選択回路を介してカソード電源260を
接続し、制御回路200により選択された特定のカソー
ド電極16のみから電子を放出するようにして行われ
る。特定のカソード電極のコーン12から放出された電
子はゲート電極30により加速され、アノード電極15
の上に形成された蛍光体層14に衝突してそれを発光さ
せる。
【0023】すなわち、制御回路200により負電位を
与えるカソード電極16を適宜選択することにより任意
の蛍光体ドットを発光させることができるので、画像形
成装置用の発光素子アレイとして動作する。
【0024】従って、図1に示すように感光体ドラム1
に対向して設置されたFEDアレイ2の各ドットからの
光はレンズアレイ3を介して感光体ドラム1上に投影さ
れ静電潜像を形成する。感光体ドラム1に形成された静
電潜像は図示しない公知の現像装置,転写装置,定着装
置により処理される。つまり静電潜像が現像装置で現像
され、現像された画像が転写装置により媒体上に転写さ
れ、定着装置で定着される。
【0025】なお、投影レンズアレイ3は一列に配列さ
れた複数の等倍正立レンズから構成され、FEDアレイ
2の発光ドットが忠実に感光体ドラム1上に投影される
ようになっている。
【0026】図4はこの実施例におけるFEDアレイ2
の電子の放出状況を示す説明図である。同図に示すよう
に磁石4,5により基板10,11との間の空間には矢
印Z方向に磁界が印加されている。従って、コーン12
からある角度でアノード電極15に向かって放出される
電子は電磁力を受けて一点鎖線で示す領域A内を螺旋運
動しながら蛍光体層14に到達する(破線で示す矢印は
磁界が印加されない場合の電子の放出範囲を示す)。
【0027】この電子の螺旋運動の状況を図5にさらに
詳しく示している。図5においてコーン12から放出さ
れた電子Eの螺旋運動の半径R〔m〕は R=(m・v)/(B・e) ……(1) で与えられる。また、ゲート電極30とアノード電極1
5間の電界を無視すると、螺旋運動の1周期(ピッチ)
の長さL〔m〕は、 L=(2π/B){(2mv)/e}1/2 ……(2) で与えられる。ここで、m:電子の質量〔kg〕,v:電
子の磁束に直交する速度成分〔m/s〕,B:Z方向に
印加される磁界の磁束密度〔テスラ〕,e:電子の電気
量〔クーロン〕
【0028】従って、式(1)より磁束密度Bを大きく
するほど螺旋運動の半径Rを小さくする、つまり領域A
の断面積を小さくすることができる。また、式(2)よ
り、電子EはピッチLの螺旋運動を行うから、磁束密度
Bを適当に調整してピッチLをコーン12と蛍光体層1
4との距離に一致させることにより、さらに電子を収束
させることができる。
【0029】この実施例では、図4に示すカソード電極
16とゲート電極30との距離Hg=1μm,ゲート電
極30と蛍光体層14との距離Ha=1000μm,コ
ーン12の高さHt=1μm,アノード電極15とゲー
ト電極30との間の電圧1000V,ゲート電極30と
カソード電極16との間の電圧100Vに設定したが、
この場合には、0.5テスラ以下の磁束密度で、電子を
十分に収束できることを確認している。なお、ここで
は、磁石4と5にはアルニコ磁石を使用している。
【0030】また、磁石5をFED素子アレイ2に十分
接近させると、FED素子アレイ2の厚さが薄い(2〜
3mm程度)ので、磁石4を除去してもカソード電極1
6とアノード電極15間には磁石5自体のN極からS極
に向かう磁界が印加され、上記のような電子収束効果が
得られる。
【0031】図6は変形例を示す図2対応図である。こ
の変形例では図2から磁石4,5を除去し、その代りに
ヨーク付きの磁石5aを設けてカソード電極16とアノ
ード電極15との間に図2に示す実施例と同様な磁界を
印加するようにしている。この変形例では磁石4を感光
体ドラム1の内部に設置する必要がないので、構成が簡
単になる。
【0032】図7は他の変形例を示す図2対応図であ
る。この変形例では、図2の磁石4を感光体ドラム1の
外部に磁石5に対向させて設置し、投影レンズ3の代わ
りに投影レンズ3a,3bとミラー3cとを設け、FE
D素子アレイ2から出射される光をミラー3cにより直
角に反射させて感光体ドラム1に導くようにしている。
この変形例でも磁石4を感光体ドラム1の内部に設置し
ないので、構成が簡素化される。
【0033】
【発明の効果】この発明によれば、電界放出陰極形発光
素子の陰極・陽極間に磁束を印加して電子を収束させる
ので、発光ドット面積の小さい発光素子が得られると共
に、この発光素子をアレイ状に配列して画像形成装置に
用いることにより、ドット密度の高い画像を形成するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施例の画像形成装置を示す要部斜
視図である。
【図2】図1の実施例の要部側面図である。
【図3】実施例のFED素子アレイの構成説明図であ
る。
【図4】実施例のFED発光素子の動作説明図である。
【図5】実施例のFED発光素子の電子収束状態説明図
である。
【図6】この発明の変形例を示す図2対応図である。
【図7】この発明の他の変形例を示す図2対応図であ
る。
【図8】従来のFED発光素子の構成説明図である。
【符号の説明】 1 感光体ドラム 2 FED発光素子アレイ 3 投影レンズアレイ 4 磁石 5 磁石
フロントページの続き (72)発明者 井上 和則 神奈川県川崎市中原区上小田中4丁目1番 1号 富士通株式会社内 (72)発明者 豊田 治 神奈川県川崎市中原区上小田中4丁目1番 1号 富士通株式会社内 Fターム(参考) 2C162 AE28 AE32 FA19 FA23 FA44 FA49 5C036 EE03 EF01 EF05 EG12 EG19 EG50 EH04 5C094 AA05 BA16 BA32 BA34 CA18 EA05 EB02 ED01 FB20 GA10 HA10

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 互いに対向する陰極および陽極と、陰極
    と陽極との間に介在する蛍光体とを有し、陰極が陽極に
    向かって放出する電子を蛍光体に衝突させて蛍光体を発
    光させる電界放出陰極形発光素子と、 前記陰極・陽極間に磁界を印加して陰極から陽極に向か
    う電子を蛍光体上の所定領域内に収束させる磁界印加部
    材とを備える発光装置。
  2. 【請求項2】 磁界印加部材は陰極と陽極との対向方向
    に磁界を印加する請求項1記載の発光装置。
  3. 【請求項3】 磁界印加部材が磁石からなり、磁石は極
    性の異なる2つの磁極間に陰極と陽極とが介在するよう
    に配置されてなる請求項1記載の発光装置。
  4. 【請求項4】 磁界印加部材は、その磁界の磁束密度が
    陰極から放出される電子を所定値以下の螺旋半径で螺旋
    運動させる大きさである請求項2記載の発光装置。
  5. 【請求項5】 磁石が永久磁石である請求項3の発光装
    置。
  6. 【請求項6】 請求項1記載の発光装置を複数個一列に
    配列した発光アレイと、発光装置から光を受けて静電潜
    像を形成する感光体と、前記静電潜像を現像する現像部
    と、現像された像を媒体に転写する転写部を備える画像
    形成装置。
  7. 【請求項7】 磁界印加部材が異なる2つの磁極を有す
    る磁石からなり、磁石はその2つの磁極間に発光アレイ
    と感光体とが介在するように配置されてなる請求項6記
    載の画像形成装置。
  8. 【請求項8】 投影レンズをさらに備え、投影レンズは
    発光アレイと感光体との間に介在する請求項6記載の画
    像形成装置。
  9. 【請求項9】 投影レンズが正立等倍レンズである請求
    項8記載の画像形成装置。
  10. 【請求項10】 ミラーをさらに備え、ミラーは発光ア
    レイからの光を磁界の方向に直交させて感光体へ案内す
    るように配置されてなる請求項6記載の画像形成装置。
JP9686699A 1999-04-02 1999-04-02 発光装置とそれを用いた画像形成装置 Withdrawn JP2000294176A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9686699A JP2000294176A (ja) 1999-04-02 1999-04-02 発光装置とそれを用いた画像形成装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9686699A JP2000294176A (ja) 1999-04-02 1999-04-02 発光装置とそれを用いた画像形成装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000294176A true JP2000294176A (ja) 2000-10-20

Family

ID=14176373

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9686699A Withdrawn JP2000294176A (ja) 1999-04-02 1999-04-02 発光装置とそれを用いた画像形成装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000294176A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005322581A (ja) * 2004-05-11 2005-11-17 Nippon Hoso Kyokai <Nhk> 撮像素子及びそれを用いた撮像装置
JP2006269218A (ja) * 2005-03-23 2006-10-05 Rohm Co Ltd 電子装置、それを利用した表示装置およびセンサ、ならびに電子装置の製造方法
JP2010003474A (ja) * 2008-06-19 2010-01-07 Futaba Corp 真空デバイス

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005322581A (ja) * 2004-05-11 2005-11-17 Nippon Hoso Kyokai <Nhk> 撮像素子及びそれを用いた撮像装置
JP4675578B2 (ja) * 2004-05-11 2011-04-27 日本放送協会 撮像素子及びそれを用いた撮像装置
JP2006269218A (ja) * 2005-03-23 2006-10-05 Rohm Co Ltd 電子装置、それを利用した表示装置およびセンサ、ならびに電子装置の製造方法
JP2010003474A (ja) * 2008-06-19 2010-01-07 Futaba Corp 真空デバイス

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100661142B1 (ko) 전자 방출 장치 및 필드 에미션 디스플레이
KR20060095317A (ko) 전자 방출 소자
US6822241B2 (en) Emitter device with focusing columns
JP2000294176A (ja) 発光装置とそれを用いた画像形成装置
JP2910837B2 (ja) 電界放出型電子銃
JP4382790B2 (ja) 電子放出ディスプレイ
US6476408B1 (en) Field emission device
JP2007123267A (ja) 電子放出ディスプレイ
JPH0521022A (ja) 荷電粒子伝送装置及び平板型画像表示装置
JPS63266733A (ja) 撮像管システムとその電子銃
JP3102913B2 (ja) 画像形成装置
JP5221761B2 (ja) 撮像装置
JP2614241B2 (ja) 電子線発生装置
JPH01283735A (ja) 電子線発生装置
JP3202297B2 (ja) 蓄積型画像形成装置
JP3125940B2 (ja) 画像形成装置
JP3125941B2 (ja) 画像表示装置および画像記録装置
JP2005174935A (ja) 表面伝導型電界放出素子及びその形成方法
JP2001110343A (ja) 電界放出型表示装置
JP2727217B2 (ja) 画像表示装置とその駆動方法
JPWO2004003955A1 (ja) 冷陰極構造、電子放出装置及び電子放出型表示装置
KR100318374B1 (ko) 부가 다이나믹 포커싱을 갖는 레이저 음극선관
JPH05151919A (ja) 荷電粒子伝送手段及び平板型画像表示装置
JPH04368917A (ja) 画像形成装置
JP2005056589A (ja) 電子放出素子及び電界放出型表示装置

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20060606