JPH04249025A - 微小電界放出陰極アレイ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【産業上の利用分野】本発明は微小電界放出陰極アレイ
および光プリンタに関する。詳しくは、ゲート電極開口
部の大きさが異なるようにして動作マージンを広くした
微小電界放出陰極アレイの構成に関する。また、蛍光体
ドットアレイと微小電界放出陰極アレイとを組み合わせ
て構成した点滅光源により感光ドラム上に潜像を形成し
て，たとえば、静電記録型の光プリンタを簡易に低価格
で構成する新規なる提案に関する。 【０００２】 【従来の技術】微小電界放出陰極は極微小のマイクロ波
真空管や微小な表示素子など，いわゆる、真空マイクロ
デバイス用の放射電極として欠くことのできない構成要
素である。 【０００３】真空マイクロデバイスは通常の半導体素子
と異なり、微小な真空空間を電子が移動するのを利用す
るので、電子の移動度が大きく、高速・高温動作が可能
で，しかも、放射線損傷を受けにくいなどの特徴があり
、今後マイクロ波素子，超高速演算素子，耐放射線用デ
バイス，耐高温環境用デバイス，微小表示素子などへの
応用が期待されている。 【０００４】図１２は微小電界放出陰極の構造例を示す
図（その１）で、同図（イ）は斜視図，同図（ロ）は断
面図である。たとえば、半導体からなる基板１にエミッ
タとなるコーン２を形成し、その先端２０を取り囲むよ
うにゲート電極３０を形成する。基板１とゲート電極３
０は図示してないゲード絶縁膜で分離されており、また
，　コーンの先端２０の周囲はゲート電極開口部３が開
いている構造である。 【０００５】微小電界放出陰極の動作特性を決める主な
パラメータはゲート電極開口部３の大きさ（Ｒｇ　），
コーン２の高さ（Ｈｔ　），ゲート絶縁膜の厚さ（Ｈｇ
　）　などである。 図１３は微小電界放出陰極の動作特性例を示す図で、縦
軸に放出電流　Ｉｅ　を，　横軸にゲート電圧　Ｖｇ　
をとってある。 【０００６】図中の曲線■は典型的な例で、いま，　コ
ーン２をマイナスにしゲート電極３０をプラスにして電
圧を上げていくと、ある閾値電圧で急激にコーンの先端
２０から電子が放出される。動作点，　たとえば、動作
ゲート電圧　Ｖｇ０で動作放出電流　Ｉｅ０が得られる
。 【０００７】以上の例はエミッタコーンが１つの場合の
例であるが、用途によってはこのようなコーン２０を一
枚の基板に複数個配列してアレイとしてのデバイスを構
成する場合がある。 【０００８】図１４は従来の微小電界放出陰極アレイの
ゲート電極開口部の例を示す図（その１）で、コーンの
先端２０とゲート電極開口部３ｂの配置の記載だけで微
小電界放出陰極アレイ５０’ａを表してある。その他の
個々の構成については図１２のものに準じているので省
略する。 【０００９】図１５は微小電界放出陰極の製造方法の例
を示す図で、シリコン基板の等方性エッチングによりシ
リコンの冷陰極コーンを形成する方法である（Ｍａｔ．
Ｒｅｓ．Ｓｏｃ．Ｓｙｍｐ．，ｖｏｌ．７６，ｐ２５，
１９８７　参照）。 【００１０】たとえば、シリコンからなる基板１の上に
、一様な厚さのＳｉＯ２膜５００を公知の熱酸化法で形
成したあと（１）　、前記ＳｉＯ２膜５００を、公知の
ホトリソグラフィ法で所定の形状，寸法にエッチングし
てＳｉＯ２膜マスクパターン５００’を形成する（２）
。　【００１１】次に、前記処理済み基板を，　たとえ
ば、ＨＦとＨＮＯ３の混合液の中でシリコンのみを等方
性エッチングを行って、ＳｉＯ２膜マスクパターン５０
０’の下にエミッタとなるコーン２を形成する（３）。 【００１２】次いで、前記処理済み基板の上方からＳｉ
Ｏ２を蒸着あるいはスパッタして、前記コーン２の周囲
に空間が生じるようにＳｉＯ２膜５１０　を形成したあ
と（４）　、上方からゲート電極膜３１０，たとえば、
Ｍｏ膜を公知の方法で一様に被着する（５）。この時、
ＳｉＯ２膜マスクパターン５００’の側面の少なくとも
一部が露出しているようにする。　【００１３】最後に
、前記ＳｉＯ２膜マスクパターン５００’の全てとＳｉ
Ｏ２膜５１０　の一部が除去されるように、ＨＦを用い
て選択エッチングを行い前記コーン２を空間に露出させ
て、シリコンからなる基板１上に微小電界放出陰極を形
成している（６） 【００１４】なお、以上の説明は一つの陰極だけについ
て例を示したが、アレイ状に構成する場合には複数の素
子が形成されるようなマスクを適宜用いて、公知のホト
リソグラフィ技術により基板上に一括形成していけばよ
いことは言うまでもない。 【００１５】図１６は微小電界放出陰極の構造例を示す
図（その２）で、前記図１２ではエミッタが円錐状のコ
ーンであったが、この例はエミッタとして横に長いエッ
ジ４で構成されており電子はその刃先４０からラインと
なって放出されるように構成されている。したがって、
ゲート電極開口部５も巾２Ｒｇ　の細長い溝状をなして
いる。 【００１６】この例はラインビームを放出する必要があ
る応用に適していることは言うまでもない。図１７は従
来の微小電界放出陰極アレイのゲート電極開口部の例を
示す図（　その２）である。図１４の場合と同様にエッ
ジの刃先４０とゲート電極開口部５の配置の記載だけで
微小電界放出陰極アレイ５０’ｂを表してある。その他
の個々の構成については図１６のものに準じているので
省略する。やはり広い面積で電子ビーム放射を必要とす
る用途に適した構成のものである。 【００１７】一方、ラインビーム，とくに、光のライン
ビームを用いる装置として、最近急速に普及しているも
のにノンインパクトプリンタ，たとえば、レーザプリン
タがあり、これには光を多くの位置にアクセスする装置
が必要である。光を多くの位置にアクセスする方法には
、代表的なものとして光ビーム走査方式と光アレイ方式
がある。 【００１８】光アレイ方式は多数の光源，たとえば、レ
ーザダイオードなどの発光素子を配列し、それぞれの発
光素子を所要の光点，たとえば、印字ドットに対応させ
るもので、高速・低騒音という特徴がある。 【００１９】光ビーム走査方式では、回転多面鏡やホロ
グラムディスクなどの光偏向素子を回転し光ビームを走
査するもので、高解像度・広角走査が容易であり現在最
も多く使用されている。その代表的な例として、ホログ
ラムディスクを用いる構成のものについて以下に簡単に
説明する。 【００２０】図１８は従来の光プリンタ用の光学系の例
を示す図である。すなわち、光源６１０，たとえば、半
導体レーザから出射したレーザ光は収束レンズ６０４，
たとえば、ホログラムレンズで所要のビーム径に絞られ
るとともに収差補正され、ホログラムディスク６０１上
に形成されたホログラム６０２　に入射する。ホログラ
ムディスク６０１　はモータ６０３　により回転されて
いるので、その回転に従って入射光ビームはホログラム
６０２　で異なる方向に回折されて出射ビーム６０５　
として感光ドラム３００の上を走査するように構成され
ている。 【００２１】なお、たとえば，静電記録方式の光プリン
タに必要なその他のデバイス，たとえば、帯電器，現像
器や紙送り機構などは図面の簡略化のため図示を省略し
た。 【００２２】 【発明が解決しようとする課題】微小電界放出陰極は，
たとえば、図１５に示したように膜形成や露光・エッチ
ングといったプロセスを経て形成される。通常、コーン
２の高さ（Ｈｔ　）やゲート電極開口部３の大きさ（　
２Ｒｇ　）　は数μｍ以下であり、数が少ない時は余り
問題がないが大面積に多素子を形成する場合や、あるい
は，長い線状にエッジ形成する場合には膜形成，　たと
えば、蒸着の均一性や露光・エッチングの均一性が問題
となる。ゲート電極開口部には最適の大きさがあり、そ
れより大きくても小さくともエミッション電流は小さく
なる。すなわち、ゲート電極開口部の半径が最適値から
はずれてしまうと十分なエミッション電流を得ることが
できない。したがって、所要特性の微小電界放出陰極ア
レイとしては高歩留りが得られないという大きな問題が
ある。 【００２３】一方、光プリンタに用いる従来の光アクセ
ス方式では、光アレイ方式は輝度や解像度や価格などに
問題があり，　一方、光ビーム走査方式では回転多面鏡
やホログラムディスク等の偏向素子回転部を有するため
に，　たとえば、レーザプリンタにおいて高品質の印字
性能が要求されるに従い、ますます高精度のモータと回
転制御機構が必要になり、装置の大型化と高価格化を招
くといった問題が生じ、その解決が必要であった。 【００２４】 【課題を解決するための手段】上記の課題は、基板１上
に複数の先端が尖ったコーン２が形成され、それぞれの
コーン２の先端２０を取り囲んでゲート電極開口部３が
設けられ、前記コーン２の先端２０から電界放出により
電子ビームが取り出されてなる微小電界放出陰極アレイ
において、前記ゲート電極開口部３の大きさが異なり、
かつ，　入り混じって配置された微小電界放出陰極アレ
イによって解決することができる。また、基板１上に先
端が尖ったエッジ４が形成され、該エッジ４を取り囲ん
で溝状のゲート電極開口部５が設けられ、前記エッジ４
の刃先４０から電界放出により電子ビームが取り出され
てなる微小電界放出陰極において、前記ゲート電極開口
部５の溝巾がエッジ４に沿って異なる部分を形成したエ
ッジ型の微小電界放出陰極、および，それを一つの基板
上に複数個配列した微小電界放出陰極アレイにより解決
できる。 【００２５】一方、光プリンタに関しては、蛍光体ドッ
トアレイと該蛍光体ドットアレイに電子ビームを照射す
るように配置された微小電界放出陰極とからなる電界放
出陰極型光ヘッド１００と、前記電界放出陰極型光ヘッ
ド１００を発光点滅させる制御回路２００と、前記点滅
光が照射されて潜像が形成される感光体３０１を形成し
た感光ドラム３００とを少なくとも備えた光プリンタに
よって解決することができる。さらに、前記電界放出陰
極型光ヘッド１００を構成する微小電界放出陰極を前記
微小電界放出陰極アレイまたはエッジ型の微小電界放出
陰極で構成することにより一層効果的に解決することが
できる。 【００２６】 【作用】本発明によれば、電子ビーム放出特性に最も影
響の大きいゲート電極開口部３あるいは５の大きさ（　
２Ｒｇ）を，たとえば、大，中，小の３種類に分け、し
かも，入り混じるように形成してあるので、その大きさ
に若干の製造バラツキがあっても、最適開口半径　ＲＧ
　となったコーン２あるいはエッジ４が自己選択的に電
子ビーム放出を行うことができ、広い面積あるいは長い
ラインにわたって安定な動作が可能となる。 【００２７】一方、光源として微小電界放出陰極と蛍光
体とを組み合わせた電界放出陰極型光ヘッドを用いるこ
とにより、小型，低消費電力，高輝度で機械的可動部分
のない高安定の光プリンタができる。また、前記本発明
の微小電界放出陰極アレイまたはエッジ型の微小電界放
出陰極を用いて電界放出陰極型光ヘッドを構成すればよ
り一層効果が上がることは言うまでもない。 【００２８】 【実施例】図１は本発明の第１実施例を示す図で、コー
ンの先端２０とゲート電極開口部３の配置の記載だけで
微小電界放出陰極アレイ５０ａを表してある。この実施
例ではゲート電極開口部を大きさが大，　中，　小の３
種類，すなわち、３ａ，３ｂ，３ｃを一定の周期で前後
左右に繰り返し形成している。 【００２９】なお、その形成方法は，　たとえば、図１
５に詳しく説明したものに準じて行えばよい。また、そ
の大きさや間隔は所定の設計値になるように選択すれば
よい。図２は本発明第１実施例の動作特性を示す図で、
縦軸に放出電流　Ｉｅ　を，　横軸にゲート電圧　Ｖｇ
　をとってある。 【００３０】図中の曲線■は，たとえば、中くらいの大
きさのゲート電極開口部３ｂを有する電界放出陰極の特
性を，　曲線■は小さい方のゲート電極開口部３ｃを有
する電界放出陰極の特性を，　曲線■は大きい方のゲー
ト電極開口部３ａを有する電界放出陰極の特性をそれぞ
れ示す。 【００３１】前記のごとくゲート電極開口部には最適な
大きさ　Ｒｇ０があり、それより大きくても小さくても
エミッション電流は小さくなる。すなわち、ゲート電極
開口部の半径が最適値からずれてしまうと十分なエミッ
ション電流が得られない。したがって、開口部の大きさ
を予め分布させておくと、たとえば，　開口部に作製上
のバラツキがあって小さめにできてしまった領域では大
きなゲート開口のものが最適開口半径になり、一方，　
大きめにできてしまった場合には小さなゲート開口のも
のが最適開口半径となって全体として作製マージンが大
きくなる。 【００３２】図３は本発明の第２実施例を示す図で、同
じくエッジの刃先４０とゲート電極開口部５の配置の記
載だけで微小電界放出陰極アレイ５０ｂを表してある。 その他の個々の構成については図１７のものに準じてい
るので説明を省略する。この例では、一つ一つのエミッ
タ部でエッジの刃先４０に沿っての開口部巾が凹凸をな
して異なるように構成されていることが特徴で、その開
口部巾が最適の部分で自己選択的に電子ビーム放出を行
うことができる。これが全ての素子で行われるので、結
局，広い面積で電子ビーム放出が安定に行われる。 【００３３】図４は本発明の第３実施例を示す図で、こ
の例は上記第２実施例の変形例であり、エッジの刃先４
０に沿っての開口部巾が一定の傾斜をなして異なるよう
に構成されている点だけが異なり、その開口部巾が最適
の部分で自己選択的に電子ビーム放出を行うことができ
ることは全く同様である。 【００３４】なお、以上の２つの例はアレイについて図
示説明したが、一つだけをより長く形成して１本の長い
線状電界放出陰極を形成する場合にも本発明が適用でき
ることは言うまでもない。 【００３５】次に、光プリンタへの電界放出陰極アレイ
の幾つかの適用実施例について図示説明する。図５は本
発明の光プリンタの要部の原理構成を示す図である。図
中、１００　は電界放出陰極型光ヘッド、１５０　はレ
ンズアレイ，　たとえば、正立等倍レンズ、３００　は
感光ドラム、３０１　は感光体である。 【００３６】電界放出陰極型光ヘッド１００　は図示し
てない蛍光体ドットアレイと蛍光体ドットアレイに電子
ビームを照射するように配置された同じく図示してない
微小電界放出陰極とからなり、前記電界放出陰極型光ヘ
ッド１００を図示してない制御回路により発光点滅させ
、レンズアレイ１５０　で感光ドラム３００　上に被着
された感光体３０１，たとえば、ＺｎＯ：Ｚｎ膜に潜像
を形成するように構成される。なお、光プリンタに必要
なその他のデバイス，たとえば、帯電器，現像器や紙送
り機構などは本発明に直接関係しないので簡略化のため
図示を省略した。 【００３７】図６は本発明の第４実施例の要部の構成を
示す図である。図中、１０は透明基板，　たとえば、ガ
ラス基板、１２は透明基板１０上に形成されたアノード
で，　たとえば、厚さ２００　〜３００　ｎｍのＩＴＯ
（Ｉｎ２Ｏ３−ＳｎＯ２）　膜で、大きさ５０μｍ程度
のものを７０μｍ程度のピッチで配置した印字ドットに
相当するものである。各アノード１２の上にはそれぞれ
アノード１２よりも小さめの蛍光体ドッド１１，　たと
えば、厚さ２μｍのＺｎＯ：Ｚｎが形成されている。 【００３８】５０は微小電界放出陰極アレイで、基板１
の上に公知の方法，たとえば、本発明者らが既に発表し
た方法により所定の大きさとピッチで形成する（１９９
０電子情報通信学会秋期全国大会ＳＣ−８−２，５−２
８−２参照）　。 【００３９】両基板を，たとえば、２００　μｍ程度の
間隔をあけて図示したごとく対面配置して固定すれば本
発明の要部をなす電界放出陰極型光ヘッド１００　が構
成される。これを前記図５に示したごとく配置し、制御
回路，帯電器，現像器や紙送り機構などと共に装置組み
立てを行えば本発明の光プリンタが構成される。 【００４０】図７は本発明の第４実施例の駆動方法を説
明する図である。図中、３０はゲート電極、２００　は
制御回路で電界放出陰極型光ヘッド１００を発光点滅さ
せるものであり本実施例の場合には具体的にはゲート選
択回路である。２５０　はアノード電源、２６０　はゲ
ート電源である。 【００４１】すなわち、ゲート電源２６０　で選択的に
ゲート電圧を印加された特定のコーン２の先端２０から
引き出された電子はアノード電源２５０　で正電位に付
勢された前記特定のコーン２　に対応するアノード１２
だけに強く引きつけられ、そのアノード１２の上に形成
された蛍光体ドット１１を照射して発光させる。かくし
て、制御回路２００　でゲート電圧を印加するゲート３
０を適宜選択することにより任意の蛍光体ドット１１を
発光させることができる。 【００４２】本実施例の場合、エミッタとしてコーン２
を配置し、ゲート電極開口部３の直径を２μｍ，コーン
の先端２０のピッチを４μｍとして、電子引き出し選択
用のゲート電圧Ｖｇを８０ｖ　，　アノード電圧　Ｖａ
　を１００ｖ印加することにより電子ビームが選択的に
放出される。すなわち、制御回路２００　を動作させる
ことにより、従来の光アクセス方式に比較して安定で高
い輝度が得られ高性能の光プリンタが構成できることが
わかった。 【００４３】図８は本発明の第５実施例の要部の構成を
示す図である。この例では微小電界放出陰極アレイ５０
を蛍光体ドット１１に対して直角に配置し、蛍光体ドッ
ト１１の側方から電子ビームが照射される構造にしてあ
るので、電子ビームが蛍光体ドット１１の中で減衰され
ることがなく発光効率が高いという利点がある。 【００４４】図９は本発明の第６実施例の要部の構成を
示す図である。この例は前記第５実施例の変形であり、
蛍光体ドット１１と微小電界放出陰極アレイ５０を同一
面上に形成したもので、同様に発光効率が高く、しかも
，両者を同一面に形成できるので製造工程上容易で，　
したがって、歩留りがよく低価格のデバイスが得られる
という利点がある。 【００４５】図１０は本発明の第７実施例の要部の構成
を示す図で、図中の符号は前記の諸図面と同等の部分に
ついて同一符号を付してある。通常、微小電界放出陰極
アレイ５０はＩＣ技術を用いて極めて小さく形成でき、
たとえば，　コーン２の先端のピッチは数μｍ程度とす
ることができる。一方、蛍光体ドット１１の大きさは印
字ドットの大きさに対応するとすれば数１０〜１００　
μｍといった大きさであり、図に示したごとく一つの蛍
光体ドット１１に対して多数のコーン２を配置すること
が可能である。本実施例の構成にすれば各蛍光体ドット
１１に照射される電子ビームの量を大きくでき、かつ，
　冗長性が高くなるので装置全体の信頼性も向上すると
いう利点がある。 【００４６】図１１は本発明の第７実施例の駆動方法を
説明する図である。この例では図７の駆動方法と異なる
のは制御回路２００　がゲート選択回路でなくアノード
選択回路である点である。すなわち、ゲート電源２６０
　で印加されたゲート電圧により一斉に引き出された電
子は制御回路２００　により選択された特定のアノード
１２だけに強く引きつけられ、そのアノード１２の上に
形成された蛍光体ドット１１を照射して発光させる。制
御回路２００　により正電位を与えるアノード１２を適
宜選択することにより任意の蛍光体ドット１１を発光さ
せることができ、同様に従来の光アクセス方式に比較し
て安定で高い輝度が得られ高性能の光プリンタが構成で
きる。 【００４７】なお、とくに図示説明することは省略する
が、電界放出陰極型ヘッド１００　にゲート電極開口部
３あるいは５の大きさが異なり、かつ，　入り混じって
配置された前記本発明の微小電界放出陰極アレイ５０を
使用すれば一層有効であることは説明するまでもない。 【００４８】以上の諸実施例はいずれも例として示した
ものであり、本発明の趣旨に反しない限りこれらに限定
されるものではなく、その他の素材やプロセスあるいは
他の類似の構成を用いて本発明を実現してもよいことは
言うまでもない。 【００４９】 【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば電
子ビーム放出特性に最も影響の大きいゲート電極開口部
３あるいは５の大きさ（　２Ｒｇ）を，たとえば、大，
中，小の３種類に分け、しかも，入り混じるように形成
してあるので、その大きさに若干の製造バラツキがあっ
ても、ゲート開口半径　Ｒｇ０となったコーン２あるい
はエッジ４が自己選択的に電子ビーム放出を行うことが
でき、広い面積あるいは長いラインにわたって安定な動
作が可能となる。 【００５０】一方、光源として微小電界放出陰極と蛍光
体ドットとを組み合わせた電界放出陰極型光ヘッドを用
いることにより、小型，低消費電力，高輝度で機械的可
動部分のない高安定の光プリンタができる。また、前記
本発明の微小電界放出陰極アレイまたはエッジ型の微小
電界放出陰極を用いて電界放出陰極型光ヘッドを構成す
ればより一層有効であり光プリンタの構成の簡易化と性
能の安定化ならびに低価格化に寄与するところが極めて
大きい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例を示す図である。

【図２】本発明第１実施例の動作特性を示す図である。

【図３】本発明の第２実施例を示す図である。

【図４】本発明の第３実施例を示す図である。

【図５】本発明の光プリンタの要部の原理構成を示す図
である。

【図６】本発明の第４実施例の要部の構成を示す図であ
る。

【図７】本発明の第４実施例の駆動方法を説明する図で
ある。

【図８】本発明の第５実施例の要部の構成を示す図であ
る。

【図９】本発明の第６実施例の要部の構成を示す図であ
る。

【図１０】本発明の第７実施例の要部の構成を示す図で
ある。

【図１１】本発明の第７実施例の駆動方法を説明する図
である。

【図１２】微小電界放出陰極の構造例を示す図（その１
）である。

【図１３】微小電界放出陰極の動作特性例を示す図であ
る。

【図１４】従来の微小電界放出陰極アレイのゲート電極
開口部の例を示す図（その１）である。

【図１５】微小電界放出陰極の製造方法の例を示す図で
ある。

【図１６】微小電界放出陰極の構造例を示す図（その２
）である。

【図１７】従来の微小電界放出陰極アレイのゲート電極
開口部の例を示す図（その２）である。

【図１８】従来の光プリンタ用の光学系の例を示す図で
ある。

【符号の説明】

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　基板（１）　上に複数の先端が尖った
   コーン（２）　が形成され、それぞれのコーン（２）　
   の先端（２０）を取り囲んでゲート電極開口部（３）　
   が設けられ、前記コーン（２）　の先端（２０）から電
   界放出により電子ビームが取り出されてなる微小電界放
   出陰極アレイにおいて、前記ゲート電極開口部（３）　
   の大きさが異なり、かつ，　入り混じって配置されてい
   ることを特徴とした微小電界放出陰極アレイ。
2. 【請求項２】　　基板（１）　上に先端が尖ったエッジ
   （４）が形成され、該エッジ（４）を取り囲んで溝状の
   ゲート電極開口部（５）　が設けられ、前記エッジ（４
   ）　の刃先（４０）から電界放出により電子ビームが取
   り出されてなる微小電界放出陰極において、前記ゲート
   電極開口部（５）　の溝巾がエッジ（４）　に沿って異
   なる部分を形成したことを特徴とするエッジ型の微小電
   界放出陰極。
3. 【請求項３】　　請求項２記載のエッジ型の微小電界放
   出陰極を複数個配列することを特徴とした微小電界放出
   陰極アレイ。
4. 【請求項４】　　蛍光体ドットアレイと該蛍光体ドット
   アレイに電子ビームを照射するように配置された微小電
   界放出陰極とからなる電界放出陰極型光ヘッド（１００
   ）と、前記電界放出陰極型光ヘッド（１００）を発光点
   滅させる制御回路（２００）　と、前記点滅光が照射さ
   れて潜像が形成される感光体（３０１）　を形成した感
   光ドラム（３００）　とを少なくとも備えることを特徴
   とした光プリンタ。
5. 【請求項５】　　前記電界放出陰極型光ヘッド（１００
   ）　を構成する微小電界放出陰極が請求項１〜３記載の
   微小電界放出陰極アレイまたはエッジ型の微小電界放出
   陰極であることを特徴とした請求項４記載の光プリンタ
   。