JPH04334855A

JPH04334855A - 蛍光表示管

Info

Publication number: JPH04334855A
Application number: JP13557591A
Authority: JP
Inventors: Ikuo Kato; 幾雄加藤
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 1991-05-10
Filing date: 1991-05-10
Publication date: 1992-11-20

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【技術分野】本発明は、熱陰極線から発せられる熱電子
、または冷陰極からが発せられる電子が蛍光体に衝突す
る際に発光する蛍光により、情報の光書き込みを行う蛍
光管に係り、例えば、光プリントヘッド、フラットパネ
ルディスプレイ等に応用可能なものである。

【０００２】

【従来技術】蛍光表示管は、例えば、一方向に一列又は
複数列に配列形成された多数の短冊状電極（セグメント
電極）に蛍光面を形成し、これを熱陰極とともに真空容
器中に封入し、熱陰極から熱電子を発生せしめる一方、
短冊状電極に選択的に正電圧を印加して、選択された短
冊状電極に熱電子を引き付け、この熱電子が蛍光面に衝
突する際に発する蛍光により表示等を行うものであり、
蛍光表示管、バーコード表示管、光プリンタの光書き込
み部、あるいはフラットディスプレイパネル等に応用さ
れている。

【０００３】図１０及び図１１は蛍光表示管の一例を示
す分解斜視図及び断面図で、基板２０はガラス、セラミ
ック、樹脂等からなり、該基板２０には、一連の短冊状
電極２１が該基板２０の長手方向に列設されている。こ
の短冊状電極２１には、その個々にドット状の蛍光面２
６が形成されておりドットアレイを構成している。尚、
個々の蛍光面２６のサイズは、４０×４０μｍ２のよう
に極めて微細なものであるが、図示の例では、蛍光面の
形状を判り易くするため、蛍光面の寸法を他の部材に比
べて大きく表してある。

【０００４】基板２０の蛍光面２６の配列の両側には、
絶縁体層２２ａ，２２ｂが基板長手方向に沿って形成さ
れ、これらの上には、グリッド電極２３ａ，２３ｂがそ
れぞれ形成されている。また、符号２４は、基板長手方
向に張り渡された熱陰極としてのタングステンワイヤを
示しており、その表面にはＢａＳｒＯ等の電子放射性物
質が塗布されている。また、符号２５は、ガラス等から
なる透明な材料で形成されたフェイス部材で、図１１に
示すように、基板側と一体化される。かくして、基板２
０、絶縁体層２２ａ，２２ｂ、グリッド電極２３ａ，２
３ｂ、フェイス部材２５は、閉空間を形成し、この空間
内には、短冊状電極２１、蛍光体層による蛍光面２６、
熱陰極２４，２４が封入され、上記閉空間は高度に真空
化される。

【０００５】さて、上記構成の蛍光表示管において、グ
リッド電極２３ａ，２３ｂに適宜の電圧を印加しておい
て、熱陰極２４，２４に数１０ｍＡの交流電圧を通ずる
と、熱陰極２４，２４はジュール熱によって加熱されて
熱電子を放出する。かかる状態において、短冊状電極列
２１の一つに正電圧を印加してこれを正電位にすると、
上記熱電子は正電位の短冊状電極の電極部に引き寄せら
れ、該電極部に衝突して蛍光面２６の蛍光物質のエネル
ギー状態を励起させる。そして、励起した蛍光物質は、
基底状態へ戻る際に蛍光を発し、この蛍光がフェイス部
材２５を介して観察される。

【０００６】而して、上述のごとき従来の蛍光体ドット
アレイ管では、短冊状電極２１上に蛍光面２６のアレイ
を形成した後、その両端の絶縁膜２２ａ，２２ｂ上に制
御電極２３ａ，２３ｂを設け、蛍光面アレイの上方に熱
電子を放出するフィラメント２４を設け、これらを真空
容器に封入することにより、作製される。

【０００７】これらの蛍光面アレイを複数列以上設けて
、これを発光させる場合には、全ての蛍光面から引き出
された電極と直接にＩＣをボンディングして駆動するス
タティック駆動と、単純マトリックス駆動のようなダイ
ナミック駆動等がある。スタティック駆動は、蛍光面ア
レイ列数が多いほど、また、蛍光面アレイが微小である
ほど、配線の微細化とＩＣのビット数が増加するため、
技術的に困難になると同時に、高コストになる。例えば
、スタティック駆動では、３列の蛍光面アレイを、１０
０ｄｐｉのピッチ（２５４ミクロン）で、２００ミクロ
ンの大きさの蛍光面で形成した場合、片側実装では、Ｉ
Ｃ側の蛍光面同志の５４ミクロンの隙間に２本の配線を
する必要があり、蛍光表示管で一般的なガラス上のＡ１
配線は難しくなる。これを、光プリントヘッドとして４
００ｄｐｉ程度までの高密度化や、フラットパネルディ
スプレイとしての１００列以上の対応を考えると非常に
難しくなる。

【０００８】このため、ディスプレイとしては、蛍光面
が大きいことを利用して、十分に細かいメシュ状制御電
極を蛍光面の上方に設けてマトリックス駆動にしたり、
フィラメントと組み合わせてマトリックス駆動にしたり
する方法が提案されている。例えば、デュアルワイヤグ
リッド方式の様な方法では、約０．２ｍｍのピッチの６
４０＊４００のグラフィク蛍光表示管も開発されている
。

【０００９】しかし、フィラメントに電圧を印加するた
め、フィラメントの振動により電極間距離が変化するこ
とにより蛍光面の電流密度が変化し、各々のうねりの周
波数で輝度バラツキが生じやすい。また、画素密度が高
くなるにつれて、多くのフィラメントを張るのが非常に
困難になり、その精度が直接輝度バラツキ等に効いてく
る。また、機械的にテンションの加わったフィラメント
を多数張るのは量生性に劣る。このため、微細な蛍光面
アレイを簡単な方法でマトリックス駆動する量産性に優
れた構造や方法が望まれる。

【００１０】

【目的】本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされた
もので、特に、蛍光面アレイの間に、アレイ方向に延長
する複数の制御電極を具備することにより、製造が容易
で量産性に優れかつ安定した品質の、マトリックス駆動
可能な蛍光表示管を提供することを目的としてなされた
ものである。

【００１１】

【構成】本発明は、上記目的を達成するために、（１）
真空中に電子を放出する陰極と、この電子を受けて発光
する少なくとも２列以上の蛍光面アレイとを備えた蛍光
表示管において、蛍光面アレイの間および両側に、絶縁
薄膜上に形成されかつアレイ方向に延長する導電性の薄
膜からなる制御電極を有すること、或いは、（２）前記
（１）において、前記導電性薄膜の厚さを２．０μｍ以
下としたこと、或いは、（３）前記（１）又は（２）に
おいて、前記制御電極のうち、蛍光面アレイの間にある
制御電極が、少なくとも２つ以上の制御電極からなるこ
と、或いは、（４）前記（１）又は（２）において、２
列以上ある前記蛍光面アレイのうち、もっとも両端の蛍
光面アレイの端側の制御電極が、少なくとも２つ以上あ
ること、或いは、（５）前記（１）又は（２）又は（３
）において、前記制御電極の上面が、少なくとも１つは
同一平面上にないこと、或いは、（６）前記（１）にお
いて、少なくとも２列以上ある蛍光面アレイをマトリッ
クス駆動により発光させる際に、蛍光面アレイの間にあ
る少なくとも１つの制御電極に印加する電圧を、もっと
も近い蛍光面の発光時に、両端の制御電極に印加する電
圧と異なるようにしたこと、或いは、（７）前記（３）
において、少なくとも２列以上ある蛍光面アレイをマト
リックス駆動により発光させる際に、蛍光面アレイの間
に少なくとも２つ以上ある制御電極に印加する電圧を、
前記制御電極のもっとも近くにある蛍光面の発光または
非発光状態の違いによって異なるようにしたこと、或い
は、（８）前記（３）において、少なくとも２列以上あ
る蛍光面アレイをマトリックス駆動により発光させる際
に、蛍光面アレイの間に少なくとも３つ以上の制御電極
がある場合に、蛍光面アレイの間にある両端ではない少
なくとも１つ以上の制御電極に印加する電圧を、前記制
御電極のもっとも近くにある蛍光面の発光または非発光
状態の違いに関わらず一定の値にしておくこと、或いは
、（９）前記（５）において、少なくとも２列以上ある
蛍光面アレイをマトリックス駆動により発光させる際に
、もっとも両端の蛍光面アレイの端側の少なくとも２つ
以上ある前記制御電極のうち、蛍光面に隣接していない
少なくとも１つ以上の制御電極に印加する電圧を、両端
の蛍光面アレイの蛍光面の発光または非発光状態の違い
に関わらず一定の値にしておくこと、を特徴としたもの
である。以下、本発明の実施例に基いて説明する。

【００１２】図１は、請求項１及び２に記載の蛍光表示
管の一実施例を説明するための要部斜視図で、図中、１
は基板、２は短冊状のＡｌ電極、３ａは第１列目の蛍光
面アレイ、３ｂは第２列目の蛍光面アレイ、４は絶縁薄
膜、５は金属薄膜からなる制御電極である。また、図２
は、上方からみた図であり、３ｃは第３列目の蛍光面ア
レイである。

【００１３】上記蛍光表示管を作成するには、まず、ガ
ラス基板１に、通常のフォトリソ工程によりＡｌの短冊
状電極２を形成する。その後、ＳｉＯ２系被膜形成塗布
液を用いてＳｉＯ２薄膜４で被覆した後、さらにＡｌ薄
膜を成膜する。こののち、リン酸系のエッチャントで、
アレイ方向に長手の制御電極５を形成し、次に、フッ酸
系のエッチャントで蛍光面のアレイを形成する部分をエ
ッチングして、短冊状電極２を露出させる。この露出し
た電極面に電着液中で対向電極との間に電圧を印加する
ことにより蛍光体粒子を付着させて、蛍光面アレイ３ａ
，３ｂ，３ｃを形成する。ＳｉＯ２薄膜の成膜には、低
温のプラズマＣＶＤ等を用いてもよい。また、このＳｉ
Ｏ２薄膜をドライエッチングしても構わない。この蛍光
面アレイ３ａ，３ｂ，３ｃと制御電極５を形成した基板
上に、熱電子を放出するフィラメントを張設した後、こ
れらを真空管中に密封する。フィラメントの両端に交流
または直流の電圧を印加して、熱電子を放出させると共
に、フィラメントと制御電極、蛍光面アレイとの間に電
圧を印加することにより、蛍光面に熱電子を放出させ、
蛍光面を発光させる。

【００１４】絶縁薄膜４の厚さは、例えば、ＳｉＯ２薄
膜を塗布液によりスピナーを用いて形成するときは、回
転数や塗布液の粘度等を調節することにより、０．１ミ
クロン以下の非常に薄い膜から１．５ミクロン位までの
比較的厚い膜まで任意の厚さで形成でき、制御電極と蛍
光面との距離をある程度変化させることが出来る。

【００１５】任意の蛍光面ドットを発光させるには、そ
の両端の縦長の制御電極に電圧を印加すると同時に、そ
の蛍光面ドットの下の短冊状電極にも電圧を印加して発
光させる。列数が少なければ、単純マトリックス駆動で
も十分な輝度が得られ、例えば、図２では、まず、第１
列目の蛍光面３ａを発光させるには、その両端の２つの
制御電極５１，５２に電圧を印加し、短冊状電極２の中
の発光させたい蛍光面のある電極に電圧を印加する。つ
ぎに、第２列目の蛍光面３ｂを発光させるには、その両
端の２つの制御電極５２，５３に電圧を印加し（１つは
第１列目を発光させるときと同一）、第１列目と同様に
、短冊状電極２の中の発光させたい蛍光面のある電極に
電圧を印加する。第３列目もこれと同様である。このと
き、発光させたい蛍光面の列の両端以外の制御電極に負
の電圧をカットオフ電圧として印加すると、不必要な列
の発光を防止できる。このＳｉＯ２系の絶縁薄膜を制御
電極の下に用いることは、厚膜印刷などにより１０から
３０ミクロン程度の厚さの低融点ガラスによる絶縁膜よ
りも制御電極を蛍光面に近付けることが出来ると同時に
、精度の高いエッチングによる電極面の露出が出来る。また、金属薄膜は、スパッタや蒸着等により、請求項２
に記載のように、２．０μｍ以下に成膜することができ
、これにより、より薄型で精度のよい蛍光表示管を作成
することができる。

【００１６】次に、請求項３に記載の発明の実施例につ
いて説明する。図３は、その実施例を説明するための断
面図で、図中、６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄは、蛍光面のア
レイ方向に延長している制御電極で、蛍光面アレイが２
列３ａ，３ｂある場合を考え、図３は、この２つの蛍光
面アレイ３ａ，３ｂの間に制御電極が２つ（６ｂ，６ｃ
）ある。これにより、第１列の蛍光面３ａの発光の時に
は、６ａと６ｂに正の電圧を印加し、６ｃと６ｄには負
の電圧をカットオフ電位として印加する。逆に、第２列
の蛍光面３ｂを発光するときは、６ａと６ｂに負の電圧
を印加し、６ｃと６ｄに正の電位を印加する。これによ
り、必要な電極に正の電位を加え、また不要な電極に負
のカットオフ電位を加えることが出来るので、発光欠け
や不要な発光を簡単に防止でき、蛍光面の面積や制御電
極の電極幅や高さ等が比較精度が低くてもよくなり、ま
た、カットオフ電位も余り大きくしなくてよくなる。

【００１７】次に、請求項４に記載の発明の実施例につ
いて説明する。図４は、その実施例を説明するための断
面図で、図中、７ａ，７ｅは新たに設けた制御電極であ
る。蛍光面アレイが複数列である時、その中央側と端側
では、端側に電極がないため電界分布が大きく変化し、
電流密度を中央部と端部とで均一にするのが難しい。こ
のため、新たに設けた電極７ａ，７ｅをダミー電極とし
て、蛍光面アレイの発光に関わらず、これに一定の電圧
を印加することにより、中央部と端部の蛍光面アレイ、
または、端部の蛍光面アレイの蛍光面の蛍光面内での電
界強度分布を均一に出来る。これは、蛍光面アレイの中
央部付近の方が正の電位の影響が大きければ、これに合
わせて、ダミー電極は正の電位にし、負の影響が大きい
ときは逆に負にする。

【００１８】次に、請求項５に記載の発明の実施例につ
いて説明する。図５は、その実施例を説明するための断
面図で、この実施例は、図示のように、２列の蛍光面ア
レイ３ａ，３ｂがあるもので、図１の断面図とほぼ同様
であるが、蛍光面アレイの両端の制御電極８ａ，８ｃの
上面の高さを、蛍光面アレイ３ａと３ｂの間にある制御
電極８ｂの上面の高さより高くしている。これにより、
蛍光面アレイ付近の電界分布が、蛍光面アレイ全面で均
一になるように設計しやすくしている。これは、蛍光面
の間に、３つ以上の制御電極を形成した場合や、蛍光面
アレイの両端の端側に２つ以上の制御電極を形成した場
合には、特に、これらの隣接した制御電極の高さを異な
る様にすることにより、蛍光面アレイの発光状態に左右
されない様に、それぞれの制御電極の電位の調節を含め
て、理想的な均一な電界分布にすることが出来る。なお
、これらの制御電極の高さを変化させるには、制御電極
と成る金属薄膜の厚さを変化させる方法と、その下の絶
縁層の厚さを変化させる方法の２つがあるが、絶縁層は
ＳｉＯ２系被膜形成塗布液等により、その厚さを簡単に
調節できるのに対し、金属薄膜等はスパッタや蒸着によ
って形成するため、電界分布の変化に効果のあるほど１
つを厚くするのが難しい。このため、絶縁層の厚さを変
化させる方が簡単である。

【００１９】次に、請求項６に記載の発明の実施例につ
いて説明する。図６は、その一例を説明するための図で
、同図は、３列の蛍光面アレイ３ａ，３ｂ，３ｃを、第
１列、第２列、第３列と列ごとに単純マトリックス駆動
する場合の例で、第１列３ａを発光させるときには、第
２列、第３列のカットオフ電位として９ｃ，９ｄの制御
電極には負の−５Ｖを印加する。また、第１列蛍光面３
ａを発光させるために、９ａ，９ｂの制御電極には正の
電圧を印加する必要があるが、通常＋４０Ｖをこれらに
印加して十分な輝度の均一な発光をさせたい場合にも、
蛍光面アレイの間にある電極９ｂ，９ｃを少し低めにす
る。これにより、第２列が発光し難くなることにより、
カットオフ電位を必要以上に負に大きく設定する必要が
なくなる。しかし、第１列の蛍光面アレイ３ａの両端の
制御電極９ａ，９ｂの電位が異なるため、直交する短冊
状電極に電圧を印加させて発光させた第１列の蛍光面内
では、第２列目の蛍光面アレイ側とその反対側とで、電
流密度にある程度の差ができ、輝度ムラができる。この
ため、これらの輝度ムラを実用上問題がないレベルまで
最小限に抑えるため、制御電極の幅、蛍光面アレイから
の位置、制御電極及び蛍光面アレイに印加する電圧を慎
重に設定する。図６（ｂ）は、第２列目３ｂを発光させ
るときであるが、このときは端の第１列目３ａの発光と
異なり、＋４０Ｖより低めの＋３０Ｖの電圧を両端の制
御電極９ｂ，９ｃに印加すればよい。図６（ｃ）は、２
列の蛍光面アレイ３ａ，３ｂを列（３ａ又は３ｂ）ごと
に発光させる例で、＋４０Ｖで発光させて、−５Ｖのカ
ットオフ電位の場合でも、蛍光面アレイ３ａ，３ｂの間
にある制御電極９ｂを＋３０Ｖにすることにより、十分
にカットオフでき、第２列目３ｂの発光が抑えられ、ま
た、第１列目３ａに十分な電流密度を確保できる。

【００２０】次に、請求項７に記載の発明の実施例につ
いて説明する。図７は、その実施例を説明するための図
で、図示のように、２列の蛍光面アレイ３ａ，３ｂがあ
り、この間に２つの制御電極１０ｂ，１０ｃがある。こ
の場合、蛍光面アレイの両端にある制御電極を各々の蛍
光面アレイ専用の制御電極として用い、図７（ａ）に示
すように、第１列目３ａを発光させる場合には、１０ａ
，１０ｂには４０Ｖを印加し、１０ｃ，１０ｄにはカッ
トオフ電圧として−５Ｖを印加する。また、第２列目３
ｂを発光させる場合には、図７（ｂ）に示すように、１
０ａ，１０ｂに−５Ｖを印加し、１０ｃ，１０ｄに＋４
０Ｖを印加する。これにより、発光させる発光アレイに
、図６に示した請求項６の場合と比べて、均一な電流密
度を生じさせることが出来、均一な輝度を得られ、また
、カットオフ電位も小さく出来、余計な発光がなくなる
。

【００２１】次に、請求項８に記載の発明の実施例につ
いて説明する。図８は、その実施例を説明するための図
で、この例は、図示のように、２列の蛍光面アレイ３ａ
，３ｂを発光させる場合であり、この蛍光面アレイ３ａ
，３ｂの間に３つの制御電極１１ｂ，１１ｃ，１１ｄを
設けている。蛍光面アレイに隣接した制御電極は、その
蛍光面アレイ専用の制御電極として用い、３つあるまん
中の制御電極１１ｃを、電界分布が蛍光面アレイの発光
、非発光になるべく左右されない様に一定の値の電圧を
印加しておく。第１列目３ａを発光させる場合には、図
８（ａ）に示すように、制御電極１１ａ，１１ｂに＋４
０Ｖの電圧を印加し、１１ｄ，１１ｅには第２列目３ｂ
を発光させないために、−５Ｖを印加する。これは、請
求項７と同様である。而して、この場合、１１ｃの電極
には、＋３０Ｖを印加しておく。これにより、請求項７
よりも他の蛍光面アレイの状態に影響されないマトリッ
クス駆動が出来る。この１１ｃに印加する電圧は、他の
蛍光面アレイのカットオフ電位の影響により、発光させ
る蛍光面アレイの電流密度が小さい場合には正の電圧を
印加し、電流密度が大きい場合には負の電圧を印加する
。図８（ｂ）に第２列目３ｂを発光させ、第１列目３ａ
を発光させない場合の例を示す。

【００２２】次に、請求項９に記載の発明の実施例につ
いて説明する。図９は、その実施例を説明するための図
で、この例は、図示のように、もっとも両端の蛍光面ア
レイ（この場合は、２列の蛍光面アレイなので、どちら
ももっとも両端の蛍光面アレイになる）の端側の制御電
極が、１２ａ，１２ｂと１２ｄ，１２ｅというように２
つある場合である。第１列目３ａ、又は第２列目３ｂを
発光させるかによって、１２ｂ，１２ｃ，１２ｄの電極
に、それぞれ図６に示した請求項６のように電圧を印加
して発光させる。しかし、１２ａ，１２ｅは隣接した蛍
光面アレイの発光、非発光に関わらず、一定の＋３０Ｖ
を印加しておくことにより、蛍光面アレイの両端の端側
の電界強度の変化による、蛍光面アレイの電流密度の不
均一差を解消できる。なお、図９は、第２列目３ｂを発
光させる時の印加電圧を示している。

【００２３】

【効果】以上の説明から明らかなように、本発明の各請
求項に記載された発明には、以下のような効果がある。請求項１の蛍光表示管においては、２列以上ある蛍光面
アレイの間および両側に、絶縁薄膜上に形成したアレイ
方向に長手の導電製薄膜からなる制御電極を持っている
ので、複数の蛍光面の列を、簡単にマトリックス駆動で
きる。請求項２の蛍光表示管においては、金属薄膜の厚
さを２．０μｍ以下にしたので、全体が薄型でかつ精度
よく成膜することができる。請求項３の蛍光表示管にお
いては、制御電極のうち、蛍光面アレイの間にある制御
電極が、少なくとも２つ以上あるため、低いカットオフ
電位で、蛍光面の発光欠けの少ない、均一な輝度の、簡
単なマトリックス駆動が出来る。請求項４の蛍光表示管
においては、２列以上ある蛍光面アレイのうち、もっと
も両端の蛍光面アレイの端側の制御電極が、少なくとも
２つ以上あるので、端部の蛍光面アレイでも、中央付近
の蛍光面アレイと大きく変わらない電流密度を得ること
が出来、均一な発光の、簡単なマトリックス駆動が出来
る。請求項５の蛍光表示管においては、制御電極の上面
が、少なくとも１つは同一平面上にないので、それぞれ
の蛍光面アレイに均一な発光が得られる。請求項６の蛍
光表示管においては、蛍光面アレイの間にある少なくと
も１つの制御電極に印加する電圧を、もっとも近い蛍光
面の発光時に、両端の制御電極と異なるようにしている
ので、低いカットオフ電位で、蛍光面の発光欠けの少な
い、均一な輝度の、簡単なマトリックス駆動が出来る。請求項７の蛍光表示管においては、蛍光面アレイの間に
少なくとも２つ以上ある制御電極に印加する電圧を、前
記制御電極のもっとも近くにある蛍光面の発光または非
発光状態の違いによって異なるようにしているので、低
いカットオフ電位で、蛍光面の発光欠けの少ない、均一
な輝度の、簡単なマトリックス駆動が出来る。請求項８
の蛍光表示管においては、蛍光面アレイの間に少なくと
も３つ以上の制御電極がある場合に、蛍光面アレイの間
にある両端ではない少なくとも１つ以上の制御電極に印
加する電位を、前記制御電極のもっとも近くにある蛍光
面の発光又は非発光状態の違いに関わらず一定の値にし
ているので、低いカットオフ電位で、蛍光面の発光欠け
の少ない、均一な輝度の、簡単なマトリックス駆動が出
来る。請求項９の蛍光表示管では、もっとも両端の蛍光
面アレイの端側の少なくとも２つ以上ある前記制御電極
のうち、蛍光面に隣接してない少なくとも１つ以上の制
御電極に印加する電圧を、両端の蛍光面アレイの蛍光面
の発光または非発光状態の違いに関わらず一定の値にし
ているので、端部の蛍光面アレイでも、中央付近の蛍光
面アレイと大きく変わらない電流密度を得ることが出来
、均一な発光の、簡単なマトリックス駆動が出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】　　本発明の一実施例を説明するための要部斜
視図である。

【図２】　　本発明の動作説明をするための要部平面図
である。

【図３】　　請求項３に記載の発明の実施例を説明する
ための要部断面図である。

【図４】　　請求項４に記載の発明の実施例を説明する
ための要部断面図である。

【図５】　　請求項５に記載の発明の実施例を説明する
ための要部断面図である。

【図６】　　請求項６に記載の発明の実施例を説明する
ための要部断面図である。

【図７】　　請求項７に記載の発明の実施例を説明する
ための要部断面図である。

【図８】　　請求項８に記載の発明の実施例を説明する
ための要部断面図である。

【図９】　　請求項９に記載の発明の実施例を説明する
ための要部断面図である。

【図１０】　　蛍光表示管の一例を説明するための分解
斜視図である。

【図１１】　　蛍光表示管の一例を説明するための断面
図である。

【符号の説明】

１…基板、２…電極、３ａ…第１列目の蛍光面アレイ、
３ｂ…第２列目の蛍光面アレイ、３ｃ…第３列目の蛍光
面アレイ、４…絶縁薄膜、５…制御電極、６ａ〜６ｄ…
制御電極、７ａ，７ｅ…ダミー電極、８ａ〜８ｃ，９ａ
〜９ｄ，、１０ａ〜１０ｄ，１１ａ〜１１ｅ，１２ａ〜
１２ｅ…制御電極。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】　　真空中に電子を放出する陰極と、この
電子を受けて発光する少なくとも２列以上の蛍光面アレ
イとを備えた蛍光表示管において、蛍光面アレイの間お
よび両側に、絶縁薄膜上に形成されかつアレイ方向に延
長する導電性の薄膜からなる制御電極を有することを特
徴とした蛍光表示管。
【請求項２】　　請求項１に記載の蛍光表示管において
、前記導電性薄膜の厚さを２．０μｍ以下としたことを
特徴とする蛍光表示管。
【請求項３】　　請求項１又は２に記載の蛍光表示管に
おいて、前記制御電極のうち、蛍光面アレイの間にある
制御電極が、少なくとも２つ以上の制御電極からなるこ
とを特徴とした蛍光表示管。
【請求項４】　　請求項１又は２に記載の蛍光表示管に
おいて、２列以上ある前記蛍光面アレイのうち、もっと
も両端の蛍光面アレイの端側の制御電極が、少なくとも
２つ以上あることを特徴とした蛍光表示管。
【請求項５】　　請求項１又は２又は３に記載の蛍光表
示管において、前記制御電極の上面が、少なくとも１つ
は同一平面上にないことを特徴とした蛍光表示管。
【請求項６】　　請求項１において、少なくとも２列以
上ある蛍光面アレイをマトリックス駆動により発光させ
る際に、蛍光面アレイの間にある少なくとも１つの制御
電極に印加する電圧を、もっとも近い蛍光面の発光時に
、両端の制御電極に印加する電圧と異なるようにしたこ
とを特徴とした蛍光表示管。
【請求項７】　　請求項３に記載の蛍光表示管において
、少なくとも２列以上ある蛍光面アレイをマトリックス
駆動により発光させる際に、蛍光面アレイの間に少なく
とも２つ以上ある制御電極に印加する電圧を、前記制御
電極のもっとも近くにある蛍光面の発光または非発光状
態の違いによって異なるようにすることを特徴とした蛍
光表示管。
【請求項８】　　請求項３に記載の蛍光表示管において
、少なくとも２列以上ある蛍光面アレイをマトリックス
駆動により発光させる際に、蛍光面アレイの間に少なく
とも３つ以上の制御電極がある場合に、蛍光面アレイの
間にある両端ではない少なくとも１つ以上の制御電極に
印加する電圧を、前記制御電極のもっとも近くにある蛍
光面の発光または非発光状態の違いに関わらず一定の値
にしておくことを特徴とする蛍光表示管。
【請求項９】　　請求項５において、少なくとも２列以
上ある蛍光面アレイをマトリックス駆動により発光させ
る際に、もっとも両端の蛍光面アレイの端側の少なくと
も２つ以上ある前記制御電極のうち、蛍光面に隣接して
いない少なくとも１つ以上の制御電極に印加する電圧を
、両端の蛍光面アレイの蛍光面の発光または非発光状態
の違いに関わらず一定の値にしておくことを特徴とする
蛍光表示管。