JP2000292310A - 検査装置及びその方法 - Google Patents
検査装置及びその方法Info
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- JP2000292310A JP2000292310A JP11101416A JP10141699A JP2000292310A JP 2000292310 A JP2000292310 A JP 2000292310A JP 11101416 A JP11101416 A JP 11101416A JP 10141699 A JP10141699 A JP 10141699A JP 2000292310 A JP2000292310 A JP 2000292310A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】検査精度を保持しながら検査効率を格段的に向
上し得る検査装置及びその方法を実現し難かった。 【解決手段】検査装置において、光源から射出された第
１の光ビームを検査対象の数に対応させた複数の第２の
光ビームに分光し、各第２の光ビームをそれぞれ対応す
る検査対象に垂直に照射する分光照射手段を設けるよう
にした。また検査方法において、光源から射出された第
１の光ビームを検査対象の数に対応させた複数の第２の
光ビームに分光し、各第２の光ビームをそれぞれ対応す
る検査対象に垂直に照射するようにした。
上し得る検査装置及びその方法を実現し難かった。 【解決手段】検査装置において、光源から射出された第
１の光ビームを検査対象の数に対応させた複数の第２の
光ビームに分光し、各第２の光ビームをそれぞれ対応す
る検査対象に垂直に照射する分光照射手段を設けるよう
にした。また検査方法において、光源から射出された第
１の光ビームを検査対象の数に対応させた複数の第２の
光ビームに分光し、各第２の光ビームをそれぞれ対応す
る検査対象に垂直に照射するようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は検査装置及びその方
法に関し、例えばＣＣＤ（Charge Coupled Device ）の
品質を検査する検査装置及びその方法に適用して好適な
ものである。
法に関し、例えばＣＣＤ（Charge Coupled Device ）の
品質を検査する検査装置及びその方法に適用して好適な
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の検査装置としては、図４
に示すような検査装置１が知られている。かかる構成の
検査装置１では、光源２から垂直に射出される光ビーム
Ｌ１を第１のミラー３Ａを介して水平方向に反射させ、
赤外線カットフィルタ４及び色温度フィルタ５を介して
射出し光量変換スリット６に照射する。
に示すような検査装置１が知られている。かかる構成の
検査装置１では、光源２から垂直に射出される光ビーム
Ｌ１を第１のミラー３Ａを介して水平方向に反射させ、
赤外線カットフィルタ４及び色温度フィルタ５を介して
射出し光量変換スリット６に照射する。
【０００３】光量変換スリット６は、図示しない制御部
の制御のもとに第１のスリット６Ａと第２のスリット６
Ｂとをそれぞれ矢印ｘ及びｙ方向にスライドさせ、照射
される光ビームＬ１に対して光量を絞る光量変換処理を
施した後、得られた所定光量の光ビームＬ１をＮＤ（Ne
utral Density ）ターレット７に照射する。
の制御のもとに第１のスリット６Ａと第２のスリット６
Ｂとをそれぞれ矢印ｘ及びｙ方向にスライドさせ、照射
される光ビームＬ１に対して光量を絞る光量変換処理を
施した後、得られた所定光量の光ビームＬ１をＮＤ（Ne
utral Density ）ターレット７に照射する。
【０００４】ＮＤターレット７は、図示しない制御部の
制御のもとに矢印Ｘ方向に回転して透過率の異なるＮＤ
フィルタ７Ａ〜７Ｆ等を切り換えられるようになされて
おり、照射される光ビームＬ１をこのＮＤフィルタ７Ａ
〜７Ｆに透過して強度を変えた後、これを拡散部８を介
して拡散させ、パターンターレット９に照射する。
制御のもとに矢印Ｘ方向に回転して透過率の異なるＮＤ
フィルタ７Ａ〜７Ｆ等を切り換えられるようになされて
おり、照射される光ビームＬ１をこのＮＤフィルタ７Ａ
〜７Ｆに透過して強度を変えた後、これを拡散部８を介
して拡散させ、パターンターレット９に照射する。
【０００５】パターンターレット９は、図示しない制御
部の制御のもとに矢印Ｙ方向に回転し、異なるパターン
が形成されたパターンフィルタ９Ａ〜９Ｆ等を切り換え
られるようになされており、対応するパターンフィルタ
９Ａ〜９Ｆに照射される光ビームＬ１を透過することに
より得られたパターン光Ｌ２を第２のミラー３Ｂを介し
て垂直方向に射出し、光学処理部１０のカラーターレッ
ト１１に照射する。
部の制御のもとに矢印Ｙ方向に回転し、異なるパターン
が形成されたパターンフィルタ９Ａ〜９Ｆ等を切り換え
られるようになされており、対応するパターンフィルタ
９Ａ〜９Ｆに照射される光ビームＬ１を透過することに
より得られたパターン光Ｌ２を第２のミラー３Ｂを介し
て垂直方向に射出し、光学処理部１０のカラーターレッ
ト１１に照射する。
【０００６】カラーターレット１１は、図示しない制御
部の制御のもとに矢印ｉ方向に回転して赤色成分
（Ｒ）、緑色成分（Ｇ）、青色成分（Ｂ）の３原色のカ
ラーフィルタ１１Ａ〜１１Ｃを切り換えられるようにな
されており、照射されるパターン光Ｌ２をカラーフィル
タ１１Ａ〜１１Ｃに透過させた後、第１のレンズ１２Ａ
を介して射出しＦ値変換ターレット１３に照射する。
部の制御のもとに矢印ｉ方向に回転して赤色成分
（Ｒ）、緑色成分（Ｇ）、青色成分（Ｂ）の３原色のカ
ラーフィルタ１１Ａ〜１１Ｃを切り換えられるようにな
されており、照射されるパターン光Ｌ２をカラーフィル
タ１１Ａ〜１１Ｃに透過させた後、第１のレンズ１２Ａ
を介して射出しＦ値変換ターレット１３に照射する。
【０００７】Ｆ値変換ターレット１３は、図示しない制
御部の制御のもとに矢印ｊ方向に回転して異なる絞りパ
ターン１３Ａ〜１３Ｆ等を切り換えられるようになされ
ており、照射されるパターン光Ｌ２の明るさ（Ｆ値）を
変換し、これを第２のレンズ１２Ｂを介して射出し、Ｆ
値変換光Ｌ３として測定台１４の一面１４Ａ上の検査対
象であるＣＣＤ１５に垂直に照射する。
御部の制御のもとに矢印ｊ方向に回転して異なる絞りパ
ターン１３Ａ〜１３Ｆ等を切り換えられるようになされ
ており、照射されるパターン光Ｌ２の明るさ（Ｆ値）を
変換し、これを第２のレンズ１２Ｂを介して射出し、Ｆ
値変換光Ｌ３として測定台１４の一面１４Ａ上の検査対
象であるＣＣＤ１５に垂直に照射する。
【０００８】このようにしてこの検査装置１では、光源
２から射出される光ビームＬ１に対し所定の光量変換処
理を施した後、これをＣＣＤ１５に対して垂直に照射す
ることにより、当該ＣＣＤ１５の品質を検査し得るよう
になされている。
２から射出される光ビームＬ１に対し所定の光量変換処
理を施した後、これをＣＣＤ１５に対して垂直に照射す
ることにより、当該ＣＣＤ１５の品質を検査し得るよう
になされている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】ところでこのような検
査装置１において、例えば２つのＣＣＤ１５を同時に検
査できるようにすれば、検査効率を向上することができ
ると考えられるが、ＣＣＤ１５の品質検査においては、
各ＣＣＤ１５に対して光ビームＬ１を垂直に照射する必
要がある。
査装置１において、例えば２つのＣＣＤ１５を同時に検
査できるようにすれば、検査効率を向上することができ
ると考えられるが、ＣＣＤ１５の品質検査においては、
各ＣＣＤ１５に対して光ビームＬ１を垂直に照射する必
要がある。
【００１０】しかしながら、このような検査装置１にお
いて２つのＣＣＤ１５を同時に検査しようとする場合、
光源２から射出される光ビームＬ１は、図５に示すよう
に、各ＣＣＤ１５に対してそれぞれ垂直に照射し難いた
め、各ＣＣＤ１５に対する光ビームＬ１の照射が斜めに
なる問題があった。
いて２つのＣＣＤ１５を同時に検査しようとする場合、
光源２から射出される光ビームＬ１は、図５に示すよう
に、各ＣＣＤ１５に対してそれぞれ垂直に照射し難いた
め、各ＣＣＤ１５に対する光ビームＬ１の照射が斜めに
なる問題があった。
【００１１】このため各ＣＣＤ１５の光ビームＬ１が照
射される位置によってそれぞれ当該照射される光ビーム
Ｌ１の輝度が異なることから、これに起因してこのＣＣ
Ｄ１５では、光ビームＬ１が照射される位置によって光
ビームＬ１に明暗が生じるいわゆるシェーディングを生
じる問題があった。これは、各ＣＣＤ１５の検査を正し
く評価し難くなることを意味する。
射される位置によってそれぞれ当該照射される光ビーム
Ｌ１の輝度が異なることから、これに起因してこのＣＣ
Ｄ１５では、光ビームＬ１が照射される位置によって光
ビームＬ１に明暗が生じるいわゆるシェーディングを生
じる問題があった。これは、各ＣＣＤ１５の検査を正し
く評価し難くなることを意味する。
【００１２】この結果かかる構成の検査装置１では、同
時に検査し得るＣＣＤ１５の数は１つが限度であること
から、この検査装置１におけるＣＣＤ１５の検査効率が
低減する問題があった。
時に検査し得るＣＣＤ１５の数は１つが限度であること
から、この検査装置１におけるＣＣＤ１５の検査効率が
低減する問題があった。
【００１３】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、検査精度を保持しながら検査効率を格段的に向上し
得る検査装置及びその方法を提案しようとするものであ
る。
で、検査精度を保持しながら検査効率を格段的に向上し
得る検査装置及びその方法を提案しようとするものであ
る。
【００１４】
【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、検査装置において、光源から射出
された第１の光ビームを検査対象の数に対応させた複数
の第２の光ビームに分光し、各第２の光ビームをそれぞ
れ対応する検査対象に垂直に照射する分光照射手段を設
けるようにした。
め本発明においては、検査装置において、光源から射出
された第１の光ビームを検査対象の数に対応させた複数
の第２の光ビームに分光し、各第２の光ビームをそれぞ
れ対応する検査対象に垂直に照射する分光照射手段を設
けるようにした。
【００１５】この結果この検査装置では、複数の検査対
象に対して垂直に光ビームを照射することができるた
め、これら各検査対象を同時にかつシェーディングを防
止して高精度に検査することができる。
象に対して垂直に光ビームを照射することができるた
め、これら各検査対象を同時にかつシェーディングを防
止して高精度に検査することができる。
【００１６】また本発明においては、検査方法におい
て、光源から射出された第１の光ビームを検査対象の数
に対応させた複数の第２の光ビームに分光し、各第２の
光ビームをそれぞれ対応する検査対象に垂直に照射する
ようにした。
て、光源から射出された第１の光ビームを検査対象の数
に対応させた複数の第２の光ビームに分光し、各第２の
光ビームをそれぞれ対応する検査対象に垂直に照射する
ようにした。
【００１７】この結果この検査方法では、複数の検査対
象に対して垂直に光ビームを照射することができるた
め、これら各検査対象を同時にかつシェーディングを防
止して高精度に検査することができる。
象に対して垂直に光ビームを照射することができるた
め、これら各検査対象を同時にかつシェーディングを防
止して高精度に検査することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下図面について、本発明の一実
施の形態を詳述する。
施の形態を詳述する。
【００１９】図４との対応部分に同一符号を付して示す
図１において、２０は全体として本実施の形態による検
査装置を示し、検査装置１の光学処理部１０に変えて分
光処理部２１が設けられている点を除いて従来の検査装
置１と同様に構成されている。
図１において、２０は全体として本実施の形態による検
査装置を示し、検査装置１の光学処理部１０に変えて分
光処理部２１が設けられている点を除いて従来の検査装
置１と同様に構成されている。
【００２０】かかる構成の分光処理部２１は、第２のミ
ラー３Ｂを介して照射されるパターン光Ｌ２を分光部２
２において、第１及び第２のパターン光Ｌ１０、Ｌ１１
に分光し、これらをそれぞれ対応する色加工部であるカ
ラーターレット２３に照射する。
ラー３Ｂを介して照射されるパターン光Ｌ２を分光部２
２において、第１及び第２のパターン光Ｌ１０、Ｌ１１
に分光し、これらをそれぞれ対応する色加工部であるカ
ラーターレット２３に照射する。
【００２１】カラーターレット２３は、図示しない制御
部の制御のもとに矢印Ｉ方向に回転し、各ＣＣＤ１４に
対応させてそれぞれ設けられた３原色（Ｒ、Ｇ、Ｂ）の
カラーフィルタ２２Ａ〜２２Ｆを同一の色毎に一括して
変更し得るようになされており、照射される第１及び第
２のパターン光Ｌ１０、Ｌ１１をカラーフィルタ２２Ａ
〜２２Ｆに透過させた後、第１のレンズ２４Ａを介して
Ｆ値変換ターレット１２に照射する。
部の制御のもとに矢印Ｉ方向に回転し、各ＣＣＤ１４に
対応させてそれぞれ設けられた３原色（Ｒ、Ｇ、Ｂ）の
カラーフィルタ２２Ａ〜２２Ｆを同一の色毎に一括して
変更し得るようになされており、照射される第１及び第
２のパターン光Ｌ１０、Ｌ１１をカラーフィルタ２２Ａ
〜２２Ｆに透過させた後、第１のレンズ２４Ａを介して
Ｆ値変換ターレット１２に照射する。
【００２２】Ｆ値変換ターレット１２は、図示しない制
御部の制御のもとに矢印Ｊ方向に回転して異なる絞りパ
ターン１２Ａ〜１２Ｆ等を切り換えられるようになされ
ており、照射される第１及び第２のパターン光Ｌ１０、
Ｌ１１の明るさ（Ｆ値）を変換し、得られたＦ値変換光
Ｌ１２、Ｌ１３を第２のレンズ２４Ｂを介して測定台２
５の一面２５Ａ上の２つのＣＣＤ１５に垂直に照射す
る。
御部の制御のもとに矢印Ｊ方向に回転して異なる絞りパ
ターン１２Ａ〜１２Ｆ等を切り換えられるようになされ
ており、照射される第１及び第２のパターン光Ｌ１０、
Ｌ１１の明るさ（Ｆ値）を変換し、得られたＦ値変換光
Ｌ１２、Ｌ１３を第２のレンズ２４Ｂを介して測定台２
５の一面２５Ａ上の２つのＣＣＤ１５に垂直に照射す
る。
【００２３】このようにしてこの検査装置２０では、光
源２から射出される光ビームＬ１に対し所定の光量変換
処理を施した後、第１及び第２のパターン光Ｌ１０、Ｌ
１１に分光し、これらを各ＣＣＤ１５に対して垂直に照
射することにより、当該各ＣＣＤ１５の品質を同時に検
査し得るようになされている。
源２から射出される光ビームＬ１に対し所定の光量変換
処理を施した後、第１及び第２のパターン光Ｌ１０、Ｌ
１１に分光し、これらを各ＣＣＤ１５に対して垂直に照
射することにより、当該各ＣＣＤ１５の品質を同時に検
査し得るようになされている。
【００２４】ここで実際上分光部２２は、図２に示すよ
うに、照射されるパターン光Ｌ２を三角柱状等でなる分
光用ミラー２２Ａを用いて例えば第１及び第２のパター
ン光Ｌ１０、Ｌ１１に分光し、これらパターン光Ｌ１
０、Ｌ１１をそれぞれ対応させて設けられた第３のミラ
ー２２Ｂ、２２Ｃを用いて反射させることにより垂直方
向に真下に射出させ、対応する集光レンズ２２Ｄ、２２
Ｅを介してそれぞれ集光した後、それぞれ対応するカラ
ーターレット２３のカラーフィルタ２３Ａ〜２３Ｆに照
射するようになされている。
うに、照射されるパターン光Ｌ２を三角柱状等でなる分
光用ミラー２２Ａを用いて例えば第１及び第２のパター
ン光Ｌ１０、Ｌ１１に分光し、これらパターン光Ｌ１
０、Ｌ１１をそれぞれ対応させて設けられた第３のミラ
ー２２Ｂ、２２Ｃを用いて反射させることにより垂直方
向に真下に射出させ、対応する集光レンズ２２Ｄ、２２
Ｅを介してそれぞれ集光した後、それぞれ対応するカラ
ーターレット２３のカラーフィルタ２３Ａ〜２３Ｆに照
射するようになされている。
【００２５】以上の構成において、この検査装置２０で
は、光源２から射出される光ビームＬ１に対して所定の
光量変換等の処理を施し得られたパターン光Ｌ２を分光
処理部２１の分光部２２において第１及び第２のパター
ン光Ｌ１０、Ｌ１１に分光し、これら第１及び第２のパ
ターン光Ｌ１０、Ｌ１１をそれぞれカラーターレット２
３、第１のレンズ２４Ａ、Ｆ値変換ターレット１２及び
第２のレンズ２４Ｂを介して測定台２５の一面２５Ａ上
の２つのＣＣＤ１５に照射する。
は、光源２から射出される光ビームＬ１に対して所定の
光量変換等の処理を施し得られたパターン光Ｌ２を分光
処理部２１の分光部２２において第１及び第２のパター
ン光Ｌ１０、Ｌ１１に分光し、これら第１及び第２のパ
ターン光Ｌ１０、Ｌ１１をそれぞれカラーターレット２
３、第１のレンズ２４Ａ、Ｆ値変換ターレット１２及び
第２のレンズ２４Ｂを介して測定台２５の一面２５Ａ上
の２つのＣＣＤ１５に照射する。
【００２６】この結果この検査装置２０では、測定台２
５の一面２５Ａ上の２つのＣＣＤ１５にそれぞれ垂直に
対応する第１及び第２のパターン光Ｌ１０、Ｌ１１を照
射できるため、２つのＣＣＤ１５の品質を同時にかつシ
ェーディングを防止して検査することができる。
５の一面２５Ａ上の２つのＣＣＤ１５にそれぞれ垂直に
対応する第１及び第２のパターン光Ｌ１０、Ｌ１１を照
射できるため、２つのＣＣＤ１５の品質を同時にかつシ
ェーディングを防止して検査することができる。
【００２７】以上の構成によれば、この検査装置２０で
は、光源２から射出される光ビームＬ１に対して所定の
光量変換等の処理を施し得られたパターン光Ｌ２を分光
処理部２１の分光部２２において第１及び第２のパター
ン光Ｌ１０、Ｌ１１に分光し、これら第１及び第２のパ
ターン光Ｌ１０、Ｌ１１をそれぞれカラーターレット２
３、第１のレンズ２４Ａ、Ｆ値変換ターレット１２及び
第２のレンズ２４Ｂを介して測定台２５の一面２５Ａ上
の２つのＣＣＤ１５に垂直に照射することにより、２つ
のＣＣＤ１５の品質を同時にかつシェーディングを防止
して検査することができ、かくして検査精度を保持しな
がら当該各ＣＣＤ１５の品質を同時に検査し得る検査装
置２０を実現することができる。
は、光源２から射出される光ビームＬ１に対して所定の
光量変換等の処理を施し得られたパターン光Ｌ２を分光
処理部２１の分光部２２において第１及び第２のパター
ン光Ｌ１０、Ｌ１１に分光し、これら第１及び第２のパ
ターン光Ｌ１０、Ｌ１１をそれぞれカラーターレット２
３、第１のレンズ２４Ａ、Ｆ値変換ターレット１２及び
第２のレンズ２４Ｂを介して測定台２５の一面２５Ａ上
の２つのＣＣＤ１５に垂直に照射することにより、２つ
のＣＣＤ１５の品質を同時にかつシェーディングを防止
して検査することができ、かくして検査精度を保持しな
がら当該各ＣＣＤ１５の品質を同時に検査し得る検査装
置２０を実現することができる。
【００２８】なお上述の実施の形態においては、本発明
を光ビームを検査対象であるＣＣＤ１５に垂直に照射す
るようにしてこのＣＣＤ１５を検査する検査装置２０に
適用するようにした場合について述べたが、本発明はこ
れに限らず、要は光源２から射出される光ビームＬ１を
分光して検査対象に照射するものであれば、この他種々
の検査対象を適用することができ、この他種々の検査を
行う検査装置に広く適用することができる。
を光ビームを検査対象であるＣＣＤ１５に垂直に照射す
るようにしてこのＣＣＤ１５を検査する検査装置２０に
適用するようにした場合について述べたが、本発明はこ
れに限らず、要は光源２から射出される光ビームＬ１を
分光して検査対象に照射するものであれば、この他種々
の検査対象を適用することができ、この他種々の検査を
行う検査装置に広く適用することができる。
【００２９】また上述の実施の形態においては、ＣＣＤ
１５を２つ同時に検査する場合について述べたが、本発
明はこれに限らず、要は光源から射出される光ビームＬ
１を複数の光ビームに分光し、得られた各光ビームをＣ
ＣＤ１５に垂直に照射し得るものであれば、この他複数
のＣＣＤ１５を同時に検査する場合においても適用する
ことができる。
１５を２つ同時に検査する場合について述べたが、本発
明はこれに限らず、要は光源から射出される光ビームＬ
１を複数の光ビームに分光し、得られた各光ビームをＣ
ＣＤ１５に垂直に照射し得るものであれば、この他複数
のＣＣＤ１５を同時に検査する場合においても適用する
ことができる。
【００３０】さらに上述の実施の形態においては、光源
から射出された第１の光ビームとしての光ビームＬ１を
検査対象の数に対応させた複数の第２の光ビームとして
のパターン光Ｌ１０、Ｌ１１に分光し、これをそれぞれ
対応する検査対象に照射する分光照射手段としての分光
処理部２１の分光部２２に三角柱状の分光ミラー２２Ａ
を用いるようにした場合について述べたが、本発明はこ
れに限らず、例えば図３に示すように、三角柱状の分光
用プリズム３０の中心に半透鏡３０Ａが形成されるいわ
ゆるケスタープリズムでなる分光部３１を用い、照射さ
れるパターン光Ｌ２を分光用プリズム３０の一面３０Ｂ
に対して垂直に入射するようにして、このパターン光Ｌ
２を半透鏡３０Ａで２分割し、これらを第１及び第２の
パターン光Ｌ１０、Ｌ１１として射出する場合において
も、同様の効果を得ることができる。
から射出された第１の光ビームとしての光ビームＬ１を
検査対象の数に対応させた複数の第２の光ビームとして
のパターン光Ｌ１０、Ｌ１１に分光し、これをそれぞれ
対応する検査対象に照射する分光照射手段としての分光
処理部２１の分光部２２に三角柱状の分光ミラー２２Ａ
を用いるようにした場合について述べたが、本発明はこ
れに限らず、例えば図３に示すように、三角柱状の分光
用プリズム３０の中心に半透鏡３０Ａが形成されるいわ
ゆるケスタープリズムでなる分光部３１を用い、照射さ
れるパターン光Ｌ２を分光用プリズム３０の一面３０Ｂ
に対して垂直に入射するようにして、このパターン光Ｌ
２を半透鏡３０Ａで２分割し、これらを第１及び第２の
パターン光Ｌ１０、Ｌ１１として射出する場合において
も、同様の効果を得ることができる。
【００３１】さらに上述の実施の形態においては、各第
２の光ビーム対してそれぞれ所定の光学処理を施す光学
処理手段としてカラーターレット２３、第１のレンズ２
４Ａ、Ｆ値変換ターレット１２及び第２のレンズ２４Ｂ
を用いて、照射されるパターン光Ｌ１０、Ｌ１１をカラ
ーフィルタ２２Ａ〜２２Ｆに透過させた後、第１のレン
ズ２４Ａを介してＦ値変換ターレット１２に照射し、パ
ターン光Ｌ１０、Ｌ１１の明るさ（Ｆ値）を変換するよ
うにした場合について述べたが、本発明はこれに限ら
ず、光学処理手段としては、この他種々のものを用いて
種々の光学処理を施すようにしても良い。
２の光ビーム対してそれぞれ所定の光学処理を施す光学
処理手段としてカラーターレット２３、第１のレンズ２
４Ａ、Ｆ値変換ターレット１２及び第２のレンズ２４Ｂ
を用いて、照射されるパターン光Ｌ１０、Ｌ１１をカラ
ーフィルタ２２Ａ〜２２Ｆに透過させた後、第１のレン
ズ２４Ａを介してＦ値変換ターレット１２に照射し、パ
ターン光Ｌ１０、Ｌ１１の明るさ（Ｆ値）を変換するよ
うにした場合について述べたが、本発明はこれに限ら
ず、光学処理手段としては、この他種々のものを用いて
種々の光学処理を施すようにしても良い。
【００３２】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、検査装置
において、光源から射出された第１の光ビームを検査対
象の数に対応させた複数の第２の光ビームに分光し、各
第２の光ビームをそれぞれ対応する検査対象に垂直に照
射する分光照射手段を設けるようにしたことにより、複
数の検査対象に対して垂直に光ビームを照射することが
できるため、これら各検査対象を同時にかつシェーディ
ングを防止して高精度に検査することができ、かくして
検査精度を保持しながら検査効率を格段的に向上し得る
検査装置を実現することができる。
において、光源から射出された第１の光ビームを検査対
象の数に対応させた複数の第２の光ビームに分光し、各
第２の光ビームをそれぞれ対応する検査対象に垂直に照
射する分光照射手段を設けるようにしたことにより、複
数の検査対象に対して垂直に光ビームを照射することが
できるため、これら各検査対象を同時にかつシェーディ
ングを防止して高精度に検査することができ、かくして
検査精度を保持しながら検査効率を格段的に向上し得る
検査装置を実現することができる。
【００３３】また本発明によれば、検査方法において、
光源から射出された第１の光ビームを検査対象の数に対
応させた複数の第２の光ビームに分光し、各第２の光ビ
ームをそれぞれ対応する検査対象に垂直に照射するよう
にしたことにより、複数の検査対象に対して垂直に光ビ
ームを照射することができるため、これら各検査対象を
同時にかつシェーディングを防止して高精度に検査する
ことができ、かくして検査精度を保持しながら検査効率
を格段的に向上し得る検査方法を実現することができ
る。
光源から射出された第１の光ビームを検査対象の数に対
応させた複数の第２の光ビームに分光し、各第２の光ビ
ームをそれぞれ対応する検査対象に垂直に照射するよう
にしたことにより、複数の検査対象に対して垂直に光ビ
ームを照射することができるため、これら各検査対象を
同時にかつシェーディングを防止して高精度に検査する
ことができ、かくして検査精度を保持しながら検査効率
を格段的に向上し得る検査方法を実現することができ
る。
【図１】本実施の形態による検査装置の構成を示す略線
的斜視図である。
的斜視図である。
【図２】分光部の構成を示す概略図である。
【図３】他の実施の形態による分光部の構成を示す概略
図である。
図である。
【図４】従来の検査装置の構成を示す略線的斜視図であ
る。
る。
【図５】従来のＣＣＤの２個同時検査の様子を示す概略
図である。
図である。
１、２０……検査装置、２……光源、１５……ＣＣＤ、
２１……分光処理部、２２、３１……分光部、２２Ａ…
…分光ミラー、２２Ｂ、２２Ｃ……ミラー、２２Ｄ、２
２Ｅ、２４Ａ〜２４Ｂ……レンズ、２３……カラーター
レット、２３Ａ〜２３Ｆ……カラーフィルタ、３０……
分光用プリズム、３０Ａ……半透鏡、３０Ｂ……一面、
Ｌ１……光ビーム、Ｌ３、Ｌ１４、Ｌ１５……Ｆ値変換
光、Ｌ１０、Ｌ１１……パターン光。
２１……分光処理部、２２、３１……分光部、２２Ａ…
…分光ミラー、２２Ｂ、２２Ｃ……ミラー、２２Ｄ、２
２Ｅ、２４Ａ〜２４Ｂ……レンズ、２３……カラーター
レット、２３Ａ〜２３Ｆ……カラーフィルタ、３０……
分光用プリズム、３０Ａ……半透鏡、３０Ｂ……一面、
Ｌ１……光ビーム、Ｌ３、Ｌ１４、Ｌ１５……Ｆ値変換
光、Ｌ１０、Ｌ１１……パターン光。
Claims (3)
- 【請求項１】光ビームを検査対象に垂直に照射するよう
にして上記検査対象を検査する検査装置において、 光源から射出された第１の光ビームを上記検査対象の数
に対応させた複数の第２の光ビームに分光し、各上記第
２の光ビームをそれぞれ対応する上記検査対象に垂直に
照射する分光照射手段を具えることを特徴とする検査装
置。 - 【請求項２】上記分光照射手段は、 各上記第２の光ビームに対してそれぞれ所定の光学処理
を施す光学処理手段を具え、 上記光学処理手段は、 各上記第２の光ビームに対する上記光学処理内容を一括
して変更できることを特徴とする請求項１に記載の検査
装置。 - 【請求項３】光ビームを検査対象に垂直に照射するよう
にして上記検査対象を検査する検査方法において、 光源から射出された第１の光ビームを上記検査対象の数
に対応させた複数の第２の光ビームに分光する第１のス
テップと、 各上記第２の光ビームをそれぞれ対応する上記検査対象
に垂直に照射する第２のステップとを具えることを特徴
とする検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11101416A JP2000292310A (ja) | 1999-04-08 | 1999-04-08 | 検査装置及びその方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11101416A JP2000292310A (ja) | 1999-04-08 | 1999-04-08 | 検査装置及びその方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000292310A true JP2000292310A (ja) | 2000-10-20 |
Family
ID=14300112
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11101416A Pending JP2000292310A (ja) | 1999-04-08 | 1999-04-08 | 検査装置及びその方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000292310A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004040266A1 (ja) * | 2002-10-31 | 2004-05-13 | Inter Action Corporation | 光照射装置、固体撮像装置の試験装置、中継装置 |
| WO2004053451A1 (ja) * | 2002-12-06 | 2004-06-24 | Inter Action Corporation | 固体撮像素子の試験装置 |
| EP1658734A1 (en) * | 2003-08-22 | 2006-05-24 | Micron Technology, Inc. | Method and apparatus for testing image sensors |
-
1999
- 1999-04-08 JP JP11101416A patent/JP2000292310A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004040266A1 (ja) * | 2002-10-31 | 2004-05-13 | Inter Action Corporation | 光照射装置、固体撮像装置の試験装置、中継装置 |
| WO2004053451A1 (ja) * | 2002-12-06 | 2004-06-24 | Inter Action Corporation | 固体撮像素子の試験装置 |
| EP1658734A1 (en) * | 2003-08-22 | 2006-05-24 | Micron Technology, Inc. | Method and apparatus for testing image sensors |
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