JP2000283844A - 波長計測装置 - Google Patents
波長計測装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 波長計測装置における波長の測定点数（セン
サ数）を増加させる。 【解決手段】 広帯域光源からの光を光ファイバを介し
て複数のブラッグ回折格子に導き、各ブラッグ回折格子
からの反射光をアレイ導波路回折格子に入射させ、この
アレイ導波路回折格子の複数の出力チャンネルにそれぞ
れ設けられた一対の受光素子による光電流の比の対数に
基づいて前記反射光の波長を測定する波長計測装置に関
する。前記ブラッグ回折格子ＦＢＧ１〜ＦＢＧ４から測
定部１Ｂのアレイ導波路回折格子（ＡＷＧ）２５に至る
までの間に、フィルタ手段として第１、第２の光フィル
タ２２，２３を挿入し、各フィルタ２２，２３の透過光
を交互にアレイ導波路回折格子２５に入射させる。
サ数）を増加させる。 【解決手段】 広帯域光源からの光を光ファイバを介し
て複数のブラッグ回折格子に導き、各ブラッグ回折格子
からの反射光をアレイ導波路回折格子に入射させ、この
アレイ導波路回折格子の複数の出力チャンネルにそれぞ
れ設けられた一対の受光素子による光電流の比の対数に
基づいて前記反射光の波長を測定する波長計測装置に関
する。前記ブラッグ回折格子ＦＢＧ１〜ＦＢＧ４から測
定部１Ｂのアレイ導波路回折格子（ＡＷＧ）２５に至る
までの間に、フィルタ手段として第１、第２の光フィル
タ２２，２３を挿入し、各フィルタ２２，２３の透過光
を交互にアレイ導波路回折格子２５に入射させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、温度や歪み（圧
力）等の物理量を測定するために、光ファイバのブラッ
グ回折格子（Fiber Bragg Grating、以下ＦＢＧと略
す）からの反射光の波長をアレイ導波路回折格子または
回折格子型分波器により測定するようにした波長計測装
置において、波長の測定点数を増加させるようにした波
長計測装置に関する。
力）等の物理量を測定するために、光ファイバのブラッ
グ回折格子（Fiber Bragg Grating、以下ＦＢＧと略
す）からの反射光の波長をアレイ導波路回折格子または
回折格子型分波器により測定するようにした波長計測装
置において、波長の測定点数を増加させるようにした波
長計測装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来技術として、アレイ導波路回折格子
（ＡＷＧ）を用いた波長計測装置について説明する。こ
の波長決定原理は、論文「Wavelength determination o
f semiconductor lasers:precise but inexpensive」(J
an Christian Braasch et.al, Optical Engineering 19
95)に記載されている。上述した文献によれば、図９の
グラフに示したような波長感度の異なる一対のフォトダ
イオード（電極Ａ1−Ｃ間に形成されるダイオードをダ
イオードＡ1Ｃ、電極Ａ2−Ｃ間に形成されるダイオード
をダイオードＡ2Ｃとする）と高精度ログアンプとから
なるセンサに単色光を照射した場合、センサの出力Ｗは
数式１によって表される。
（ＡＷＧ）を用いた波長計測装置について説明する。こ
の波長決定原理は、論文「Wavelength determination o
f semiconductor lasers:precise but inexpensive」(J
an Christian Braasch et.al, Optical Engineering 19
95)に記載されている。上述した文献によれば、図９の
グラフに示したような波長感度の異なる一対のフォトダ
イオード（電極Ａ1−Ｃ間に形成されるダイオードをダ
イオードＡ1Ｃ、電極Ａ2−Ｃ間に形成されるダイオード
をダイオードＡ2Ｃとする）と高精度ログアンプとから
なるセンサに単色光を照射した場合、センサの出力Ｗは
数式１によって表される。
【０００３】
【数１】
【０００４】ここで、Ｉ1，Ｉ2は各ダイオードＡ1Ｃ，
Ａ2Ｃによる光電流、Ｓ1（λ），Ｓ2（λ）は各ダイオ
ードＡ1Ｃ，Ａ2Ｃの波長依存感度、φ（λ）は照射光の
波長依存強度分布、Δλは照射光波長のバンド幅であ
る。すなわち、φ（λ）の波長依存強度分布を持つ照射
光がＳ1（λ），Ｓ2（λ）の波長依存感度を持つフォト
ダイオードＡ1Ｃ，Ａ2Ｃに入射した場合、光センサの出
力Ｗは、各ダイオードＡ1Ｃ，Ａ2Ｃについての積φ
（λ）Ｓ1（λ），φ（λ）Ｓ2（λ）をバンド幅Δλに
わたって積分した値（つまり光電流Ｉ1，Ｉ2）の比のlo
gをとることで求められる。そして、照射光の出力が所
定の範囲内では、照射光の波長ごとに、log（Ｉ1／
Ｉ2）がほぼ一定になり、そのときの照射光波長は数式
２で表されることが記載されている。
Ａ2Ｃによる光電流、Ｓ1（λ），Ｓ2（λ）は各ダイオ
ードＡ1Ｃ，Ａ2Ｃの波長依存感度、φ（λ）は照射光の
波長依存強度分布、Δλは照射光波長のバンド幅であ
る。すなわち、φ（λ）の波長依存強度分布を持つ照射
光がＳ1（λ），Ｓ2（λ）の波長依存感度を持つフォト
ダイオードＡ1Ｃ，Ａ2Ｃに入射した場合、光センサの出
力Ｗは、各ダイオードＡ1Ｃ，Ａ2Ｃについての積φ
（λ）Ｓ1（λ），φ（λ）Ｓ2（λ）をバンド幅Δλに
わたって積分した値（つまり光電流Ｉ1，Ｉ2）の比のlo
gをとることで求められる。そして、照射光の出力が所
定の範囲内では、照射光の波長ごとに、log（Ｉ1／
Ｉ2）がほぼ一定になり、そのときの照射光波長は数式
２で表されることが記載されている。
【０００５】
【数２】λ＝ａ0ｌｏｇ（Ｉ1／Ｉ2）＋ａ1
（ａ0，ａ1は定数〔ｎｍ〕）
（ａ0，ａ1は定数〔ｎｍ〕）
【０００６】図１０は上記原理に基づく波長測定システ
ムの構成図であり、３１はレーザ光源、３２は回転式偏
光プリズム、３３はビームスプリッタ、３４は前述の一
対のフォトダイオードＡ1Ｃ，Ａ2Ｃからなるダイオード
装置、３５は光出力測定器、３６は上記数式１、数式２
を演算する演算器である。
ムの構成図であり、３１はレーザ光源、３２は回転式偏
光プリズム、３３はビームスプリッタ、３４は前述の一
対のフォトダイオードＡ1Ｃ，Ａ2Ｃからなるダイオード
装置、３５は光出力測定器、３６は上記数式１、数式２
を演算する演算器である。
【０００７】図１１は、図１０と同一の原理に基づき、
波長測定部にアレイ導波路回折格子（ＡＷＧ）を用いて
構成された温度分布測定システムの従来技術を示してい
る。この構成は、特願平１０−３５２２４９号に開示さ
れている。上記ＡＷＧは、論文「Wavelength Multiplex
er Based on SiO2-Ta2O5 Arrayed-Waveguide Grating
(Takahashi, et.al, Journal of Lightwave Technology
Vol.12, No.6, 1994)」等に記載されているように、所
定の曲率半径のアレイ導波路と、その入力側、出力側に
それぞれ形成されたスラブ導波路と、これらのスラブ導
波路にそれぞれ連続する複数チャンネルの入力導波路及
び出力導波路とを有する構造であり、入力光を１〔ｎ
ｍ〕以下の分解能で弁別可能な素子である。
波長測定部にアレイ導波路回折格子（ＡＷＧ）を用いて
構成された温度分布測定システムの従来技術を示してい
る。この構成は、特願平１０−３５２２４９号に開示さ
れている。上記ＡＷＧは、論文「Wavelength Multiplex
er Based on SiO2-Ta2O5 Arrayed-Waveguide Grating
(Takahashi, et.al, Journal of Lightwave Technology
Vol.12, No.6, 1994)」等に記載されているように、所
定の曲率半径のアレイ導波路と、その入力側、出力側に
それぞれ形成されたスラブ導波路と、これらのスラブ導
波路にそれぞれ連続する複数チャンネルの入力導波路及
び出力導波路とを有する構造であり、入力光を１〔ｎ
ｍ〕以下の分解能で弁別可能な素子である。
【０００８】図１１の温度分布測定システムでは、光フ
ァイバ２０の長手方向に４つの光ファイバブラッグ回折
格子ＦＢＧ１〜ＦＢＧ４が形成されているものとし、広
帯域光源４から照射した光の各回折格子ＦＢＧ１〜ＦＢ
Ｇ４からの反射光（便宜的に中心波長をλ１〜λ４とし
てある）を、温度分布測定部１Ａ内のＡＷＧに入力す
る。そして、ＡＷＧの隣接する二つの出力チャンネルの
フォトダイオードＰＤの光電流（前述のＩ1，Ｉ2に相
当）を各々除算器ＤＩＶ１〜ＤＩＶ４に入力し、その出
力をＣＰＵに入力して数式２の演算を行うことにより、
各ブラッグ回折格子ＦＢＧ１〜ＦＢＧ４の位置における
温度等の物理量に対応する波長を高分解能で検出可能と
している。
ァイバ２０の長手方向に４つの光ファイバブラッグ回折
格子ＦＢＧ１〜ＦＢＧ４が形成されているものとし、広
帯域光源４から照射した光の各回折格子ＦＢＧ１〜ＦＢ
Ｇ４からの反射光（便宜的に中心波長をλ１〜λ４とし
てある）を、温度分布測定部１Ａ内のＡＷＧに入力す
る。そして、ＡＷＧの隣接する二つの出力チャンネルの
フォトダイオードＰＤの光電流（前述のＩ1，Ｉ2に相
当）を各々除算器ＤＩＶ１〜ＤＩＶ４に入力し、その出
力をＣＰＵに入力して数式２の演算を行うことにより、
各ブラッグ回折格子ＦＢＧ１〜ＦＢＧ４の位置における
温度等の物理量に対応する波長を高分解能で検出可能と
している。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】このＡＷＧを用いた波
長計測システムにおいて、課題となるのは、波長の測定
点数（センサ数）である。図１２に、ブラッグ回折格子
からの反射光波長とＡＷＧの各出力チャンネルの透過特
性との関係を示す。反射光波長λ１に対しては、ＡＷＧ
の透過出力であるチャンネルＣＨ１，ＣＨ２の出力のｌ
ｏｇ比から、数式２によって波長を求めることができ
る。
長計測システムにおいて、課題となるのは、波長の測定
点数（センサ数）である。図１２に、ブラッグ回折格子
からの反射光波長とＡＷＧの各出力チャンネルの透過特
性との関係を示す。反射光波長λ１に対しては、ＡＷＧ
の透過出力であるチャンネルＣＨ１，ＣＨ２の出力のｌ
ｏｇ比から、数式２によって波長を求めることができ
る。
【００１０】しかし、反射光波長λ３を求める場合、チ
ャンネルＣＨ４のフォトダイオードＰＤの出力は、図１
２の透過特性によればλ３とλ４とを合わせた出力とな
るので、数式２から波長を決定することができない。つ
まり、図１２の波長λ３，λ４のように、ＡＷＧの同一
出力チャンネルにおいてその中心波長の短波長側及び長
波長側の両方にブラッグ回折格子からの反射波長が存在
する場合でも波長測定が可能なようには設計できないこ
とになる。このため、ＡＷＧを用いた測定部では、図１
３の網掛け部分（チャンネルＣＨ１，ＣＨ２に跨る領
域、チャンネルＣＨ３，ＣＨ４に跨る領域）しか波長計
測ができないため、波長の測定点数は、 ｛（ＡＷＧのチャンネル数）／２｝／２ となる。このように、図１１のシステムでは、ＡＷＧの
チャンネル数の１／４の点数しか波長を計測することが
できないという問題があった。
ャンネルＣＨ４のフォトダイオードＰＤの出力は、図１
２の透過特性によればλ３とλ４とを合わせた出力とな
るので、数式２から波長を決定することができない。つ
まり、図１２の波長λ３，λ４のように、ＡＷＧの同一
出力チャンネルにおいてその中心波長の短波長側及び長
波長側の両方にブラッグ回折格子からの反射波長が存在
する場合でも波長測定が可能なようには設計できないこ
とになる。このため、ＡＷＧを用いた測定部では、図１
３の網掛け部分（チャンネルＣＨ１，ＣＨ２に跨る領
域、チャンネルＣＨ３，ＣＨ４に跨る領域）しか波長計
測ができないため、波長の測定点数は、 ｛（ＡＷＧのチャンネル数）／２｝／２ となる。このように、図１１のシステムでは、ＡＷＧの
チャンネル数の１／４の点数しか波長を計測することが
できないという問題があった。
【００１１】そこで本発明は、ＡＷＧや後述する回折格
子型分波器を使用した波長計測装置において、同一チャ
ンネルの中心波長から長波長側と短波長側の両方に光フ
ァイバブラッグ回折格子からの反射波長が存在する場合
にも、これらの波長を計測可能として波長の測定点数を
増加させた波長計測装置を提供しようとするものであ
る。
子型分波器を使用した波長計測装置において、同一チャ
ンネルの中心波長から長波長側と短波長側の両方に光フ
ァイバブラッグ回折格子からの反射波長が存在する場合
にも、これらの波長を計測可能として波長の測定点数を
増加させた波長計測装置を提供しようとするものであ
る。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１に記載した発明は、広帯域光源からの光を
光ファイバを介して複数のブラッグ回折格子に導き、各
ブラッグ回折格子からの反射光をアレイ導波路回折格子
に入射させ、このアレイ導波路回折格子の複数の出力チ
ャンネルにそれぞれ設けられた一対の受光素子による光
電流の比の対数に基づいて前記反射光の波長を測定する
波長計測装置において、前記ブラッグ回折格子から前記
アレイ導波路回折格子に至るまでの間に、フィルタ手段
として第１、第２の光フィルタを挿入し、第１の光フィ
ルタの透過光と第２の光フィルタの透過光とを交互に前
記アレイ導波路回折格子に入射させることにより、波長
の測定点数を増加させるものである。
め、請求項１に記載した発明は、広帯域光源からの光を
光ファイバを介して複数のブラッグ回折格子に導き、各
ブラッグ回折格子からの反射光をアレイ導波路回折格子
に入射させ、このアレイ導波路回折格子の複数の出力チ
ャンネルにそれぞれ設けられた一対の受光素子による光
電流の比の対数に基づいて前記反射光の波長を測定する
波長計測装置において、前記ブラッグ回折格子から前記
アレイ導波路回折格子に至るまでの間に、フィルタ手段
として第１、第２の光フィルタを挿入し、第１の光フィ
ルタの透過光と第２の光フィルタの透過光とを交互に前
記アレイ導波路回折格子に入射させることにより、波長
の測定点数を増加させるものである。
【００１３】請求項２に記載した発明は、出射光の中心
波長が異なる第１、第２の広帯域光源を備え、これらの
第１、第２の広帯域光源を交互に点灯させることによ
り、波長の測定点数を増加させるものである。
波長が異なる第１、第２の広帯域光源を備え、これらの
第１、第２の広帯域光源を交互に点灯させることによ
り、波長の測定点数を増加させるものである。
【００１４】請求項３に記載した発明は、単一の広帯域
光源の出射光をフィルタ手段にて複数の波長帯域に分波
し、これらの複数の波長帯域の光を切り替えて前記光フ
ァイバから複数のブラッグ回折格子に導くことにより、
波長の測定点数を増加させるものである。
光源の出射光をフィルタ手段にて複数の波長帯域に分波
し、これらの複数の波長帯域の光を切り替えて前記光フ
ァイバから複数のブラッグ回折格子に導くことにより、
波長の測定点数を増加させるものである。
【００１５】請求項４に記載した発明は、光源から前記
ブラッグ回折格子に至るまでの間に、フィルタ手段とし
て第１、第２の光フィルタを挿入し、第１の光フィルタ
の透過光と第２の光フィルタの透過光とを交互にアレイ
導波路回折格子に入射させることにより、波長の測定点
数を増加させるものである。
ブラッグ回折格子に至るまでの間に、フィルタ手段とし
て第１、第２の光フィルタを挿入し、第１の光フィルタ
の透過光と第２の光フィルタの透過光とを交互にアレイ
導波路回折格子に入射させることにより、波長の測定点
数を増加させるものである。
【００１６】請求項５に記載した発明は、上記請求項１
〜４の何れか１項に記載の波長計測装置において、アレ
イ導波路回折格子の温度検出信号に基づいて温度制御素
子を制御することにより、アレイ導波路回折格子の温度
を一定に保って波長計測精度を向上させるものである。
〜４の何れか１項に記載の波長計測装置において、アレ
イ導波路回折格子の温度検出信号に基づいて温度制御素
子を制御することにより、アレイ導波路回折格子の温度
を一定に保って波長計測精度を向上させるものである。
【００１７】請求項６に記載した発明は、前記請求項１
または３または４記載の波長計測装置において、前記フ
ィルタ手段の温度検出信号に基づいて温度制御素子を制
御することにより、前記フィルタ手段の温度を一定に保
って波長計測精度を向上させるものである。
または３または４記載の波長計測装置において、前記フ
ィルタ手段の温度検出信号に基づいて温度制御素子を制
御することにより、前記フィルタ手段の温度を一定に保
って波長計測精度を向上させるものである。
【００１８】請求項７に記載した発明は、上記請求項１
〜６の何れか１項に記載の波長計測装置において、アレ
イ導波路回折格子の代わりに回折格子型分波器を用いる
ものである。
〜６の何れか１項に記載の波長計測装置において、アレ
イ導波路回折格子の代わりに回折格子型分波器を用いる
ものである。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、図に沿って本発明の実施形
態を説明する。図１は、本発明の第１実施形態を示す構
成図である。この実施形態は、請求項１に記載した発明
の実施形態に相当する。図１において、４Ｂは波長が
１．５５〔μｍ〕の光を発生するスーパールミネッセン
スダイオード等の広帯域の光源であり、光ファイバ２０
の長手方向に形成された４つの光ファイバブラッグ回折
格子ＦＢＧ１〜ＦＢＧ４に光を照射する。光源４Ｂから
照射した光の各ブラッグ回折格子ＦＢＧ１〜ＦＢＧ４か
らの反射光（中心波長（１．５５〔μｍ〕前後）をλ１
〜λ４としてある）を、測定部１Ｂ内の光スイッチ２１
に入力する。
態を説明する。図１は、本発明の第１実施形態を示す構
成図である。この実施形態は、請求項１に記載した発明
の実施形態に相当する。図１において、４Ｂは波長が
１．５５〔μｍ〕の光を発生するスーパールミネッセン
スダイオード等の広帯域の光源であり、光ファイバ２０
の長手方向に形成された４つの光ファイバブラッグ回折
格子ＦＢＧ１〜ＦＢＧ４に光を照射する。光源４Ｂから
照射した光の各ブラッグ回折格子ＦＢＧ１〜ＦＢＧ４か
らの反射光（中心波長（１．５５〔μｍ〕前後）をλ１
〜λ４としてある）を、測定部１Ｂ内の光スイッチ２１
に入力する。
【００２０】測定部１Ｂは、光ファイバ２０に接続され
た光スイッチ２１と、その出力側にそれぞれ接続された
フィルタ手段としての第１、第２の光フィルタ２２，２
３と、その出力側に接続された光結合器２４と、その後
段のＡＷＧ２５、フォトダイオードＰＤ１〜ＰＤ５、除
算器ＤＩＶ１〜ＤＩＶ４、ＣＰＵ２６とを備えている。
ここで、ＡＷＧ２５以後の構成及び動作は図１１と同様
である。なお、図１における（ａ）〜（ｅ）はそれぞれ
図２の（ａ）〜（ｅ）に対応する。
た光スイッチ２１と、その出力側にそれぞれ接続された
フィルタ手段としての第１、第２の光フィルタ２２，２
３と、その出力側に接続された光結合器２４と、その後
段のＡＷＧ２５、フォトダイオードＰＤ１〜ＰＤ５、除
算器ＤＩＶ１〜ＤＩＶ４、ＣＰＵ２６とを備えている。
ここで、ＡＷＧ２５以後の構成及び動作は図１１と同様
である。なお、図１における（ａ）〜（ｅ）はそれぞれ
図２の（ａ）〜（ｅ）に対応する。
【００２１】光フィルタ２２，２３は、何れも特定の中
心波長を持つ光を通過させるものであり、光ファイバブ
ラッグ回折格子によって構成されている。すなわち、第
１のフィルタ２２は図２（ｄ）に示すごとく中心波長λ
１，λ３の光を通過させ、第２のフィルタ２３は図２
（ｅ）に示すごとく中心波長λ２，λ４の光を通過させ
るようになっている。このような光フィルタには、例え
ば加Innovative Fibers社製の「ＤＷＤＭファイバーブ
ラッググレーティング」を使用することができる。
心波長を持つ光を通過させるものであり、光ファイバブ
ラッグ回折格子によって構成されている。すなわち、第
１のフィルタ２２は図２（ｄ）に示すごとく中心波長λ
１，λ３の光を通過させ、第２のフィルタ２３は図２
（ｅ）に示すごとく中心波長λ２，λ４の光を通過させ
るようになっている。このような光フィルタには、例え
ば加Innovative Fibers社製の「ＤＷＤＭファイバーブ
ラッググレーティング」を使用することができる。
【００２２】この実施形態では、光スイッチ２１に入力
される各ブラッグ回折格子ＦＢＧ１〜ＦＢＧ４からの反
射光の波長分布が図２（ａ）のとおりであるとすると、
図２（ｂ）に示すように、ＡＷＧ２５の透過特性におけ
るチャンネルＣＨ１，ＣＨ２の交差部分、及び、チャン
ネルＣＨ３，ＣＨ４の交差部分を使用した波長λ１，λ
３の測定時には光スイッチ２１を第１の光フィルタ２２
側に切り替え、また、図２（ｃ）に示すように、チャン
ネルＣＨ２，ＣＨ３の交差部分、及び、チャンネルＣＨ
４，ＣＨ５の交差部分を使用した波長λ２，λ４の測定
時には光スイッチ２１を第２の光フィルタ２３側に切り
替える。すなわち、光スイッチ２１の切替により、波長
λ１，λ３及びλ２，λ４をタイミングをずらして測定
するものである。
される各ブラッグ回折格子ＦＢＧ１〜ＦＢＧ４からの反
射光の波長分布が図２（ａ）のとおりであるとすると、
図２（ｂ）に示すように、ＡＷＧ２５の透過特性におけ
るチャンネルＣＨ１，ＣＨ２の交差部分、及び、チャン
ネルＣＨ３，ＣＨ４の交差部分を使用した波長λ１，λ
３の測定時には光スイッチ２１を第１の光フィルタ２２
側に切り替え、また、図２（ｃ）に示すように、チャン
ネルＣＨ２，ＣＨ３の交差部分、及び、チャンネルＣＨ
４，ＣＨ５の交差部分を使用した波長λ２，λ４の測定
時には光スイッチ２１を第２の光フィルタ２３側に切り
替える。すなわち、光スイッチ２１の切替により、波長
λ１，λ３及びλ２，λ４をタイミングをずらして測定
するものである。
【００２３】これにより、例えば図１２におけるチャン
ネルＣＨ４のように、中心波長の短波長側及び長波長側
の両方にブラッグ回折格子からの反射波長λ３，λ４が
同時に存在する場合には、図２（ｂ）及び（ｃ）の特性
に基づいて第１及び第２の光フィルタ２２，２３を切り
替えて使用すれば、チャンネルＣＨ４について見ると１
種類の波長λ３を測定している場合（図２（ｂ））と同
じく１種類の波長λ４を測定している場合（図２
（ｃ））とに分離することができる。従って、図１２の
ごとく同一出力チャンネルＣＨ４において中心波長の短
波長側及び長波長側の両方に反射波長が同時に計測され
ることはなくなり、波長λ３，λ４の測定を支障なく行
うことができる。その結果、波長の測定点数を従来の２
倍に増加させることが可能である。
ネルＣＨ４のように、中心波長の短波長側及び長波長側
の両方にブラッグ回折格子からの反射波長λ３，λ４が
同時に存在する場合には、図２（ｂ）及び（ｃ）の特性
に基づいて第１及び第２の光フィルタ２２，２３を切り
替えて使用すれば、チャンネルＣＨ４について見ると１
種類の波長λ３を測定している場合（図２（ｂ））と同
じく１種類の波長λ４を測定している場合（図２
（ｃ））とに分離することができる。従って、図１２の
ごとく同一出力チャンネルＣＨ４において中心波長の短
波長側及び長波長側の両方に反射波長が同時に計測され
ることはなくなり、波長λ３，λ４の測定を支障なく行
うことができる。その結果、波長の測定点数を従来の２
倍に増加させることが可能である。
【００２４】次に、本発明の第２実施形態を説明する。
この実施形態は請求項２に記載した発明の実施形態に相
当し、ＡＷＧにおける透過特性の周期性に着目したもの
である。ここで、透過特性の周期性とは、図４（ａ），
（ｂ）に示すように、ある中心波長（例えば図４（ａ）
では１．３〔μｍ〕前後、図４（ｂ）では１．５５〔μ
ｍ〕前後）の光がＡＷＧに入力されると、各チャンネル
の出力信号が波長に対し一定の周期で繰り返し現れるこ
とをいう。
この実施形態は請求項２に記載した発明の実施形態に相
当し、ＡＷＧにおける透過特性の周期性に着目したもの
である。ここで、透過特性の周期性とは、図４（ａ），
（ｂ）に示すように、ある中心波長（例えば図４（ａ）
では１．３〔μｍ〕前後、図４（ｂ）では１．５５〔μ
ｍ〕前後）の光がＡＷＧに入力されると、各チャンネル
の出力信号が波長に対し一定の周期で繰り返し現れるこ
とをいう。
【００２５】そこで、本実施形態では、図３に示すよう
に、広帯域光源として中心波長及び半値全幅が互いに異
なる１．５５μｍ光源４Ｂ及び１．３μｍ光源４Ｃを備
え、これらの光源４Ｂ，４Ｃを光結合器２７、光分岐器
２を介してブラッグ回折格子側に接続する。なお、ブラ
ッグ回折格子はＦＢＧ１，……，ＦＢＧｎ，ＦＢＧn+
1，……，ＦＢＧ2nとして示してあり、ＦＢＧ１，…
…，ＦＢＧｎは中心波長が１．３〔μｍ〕前後、ＦＢＧ
n+1，……，ＦＢＧ2nは中心波長が１．５５〔μｍ〕前
後であるとする。また、測定部１Ｃは図１１の測定部１
Ａと実質的に同一の構成であるが、ブラッグ回折格子Ｆ
ＢＧ1〜ＦＢＧ2nの数に対応する中心波長λ1〜λ2nが入
力されるＡＷＧ２５を備えている。
に、広帯域光源として中心波長及び半値全幅が互いに異
なる１．５５μｍ光源４Ｂ及び１．３μｍ光源４Ｃを備
え、これらの光源４Ｂ，４Ｃを光結合器２７、光分岐器
２を介してブラッグ回折格子側に接続する。なお、ブラ
ッグ回折格子はＦＢＧ１，……，ＦＢＧｎ，ＦＢＧn+
1，……，ＦＢＧ2nとして示してあり、ＦＢＧ１，…
…，ＦＢＧｎは中心波長が１．３〔μｍ〕前後、ＦＢＧ
n+1，……，ＦＢＧ2nは中心波長が１．５５〔μｍ〕前
後であるとする。また、測定部１Ｃは図１１の測定部１
Ａと実質的に同一の構成であるが、ブラッグ回折格子Ｆ
ＢＧ1〜ＦＢＧ2nの数に対応する中心波長λ1〜λ2nが入
力されるＡＷＧ２５を備えている。
【００２６】その動作を説明すると、この実施形態で
は、１．５５μｍ光源４Ｂ及び１．３μｍ光源４Ｃを交
互に点灯し、測定を行う。例えば、１．３μｍ光源４Ｃ
を点灯すると、ブラッグ回折格子ＦＢＧ１，……，ＦＢ
Ｇｎからの反射光が測定部１ＣのＡＷＧ２５に入力さ
れ、その出力チャンネルＣＨ１〜ＣＨｎからの出力信号
は図４（ａ）のようになる。また、１．５５μｍ光源４
Ｂを点灯すると、ブラッグ回折格子ＦＢＧn+1，……，
ＦＢＧ2nからの反射光がＡＷＧ２５に入力され、その出
力チャンネルＣＨ１〜ＣＨｎからの出力信号は図４
（ｂ）のようになる。
は、１．５５μｍ光源４Ｂ及び１．３μｍ光源４Ｃを交
互に点灯し、測定を行う。例えば、１．３μｍ光源４Ｃ
を点灯すると、ブラッグ回折格子ＦＢＧ１，……，ＦＢ
Ｇｎからの反射光が測定部１ＣのＡＷＧ２５に入力さ
れ、その出力チャンネルＣＨ１〜ＣＨｎからの出力信号
は図４（ａ）のようになる。また、１．５５μｍ光源４
Ｂを点灯すると、ブラッグ回折格子ＦＢＧn+1，……，
ＦＢＧ2nからの反射光がＡＷＧ２５に入力され、その出
力チャンネルＣＨ１〜ＣＨｎからの出力信号は図４
（ｂ）のようになる。
【００２７】ここで、図４（ａ），（ｂ）は、見方を変
えると、ある出力チャンネルに着目した場合、その透過
特性の中心波長より短波長側（図４（ａ））と長波長側
（図４（ｂ））とにブラッグ回折格子からの反射波長が
存在すること（図１２におけるチャンネルＣＨ４の特
性）に相当する。従って、波長の異なる二つの光源４
Ｂ，４Ｃを切り替えて測定することにより、図２
（ｂ），（ｃ）のごとく光フィルタ２２，２３を切り替
えて使用した場合と同様に、同一出力チャンネルにおい
て中心波長の短波長側及び長波長側の両方の反射波長が
同時に計測される状態を回避でき、波長の測定点数を従
来の２倍に増加させることができる。なお、この実施形
態を第１実施形態と組み合わせる（図３の測定部１Ｃの
代わりに図１の測定部１Ｂを用いる）ことにより、波長
の測定点数を４倍にすることも可能である。
えると、ある出力チャンネルに着目した場合、その透過
特性の中心波長より短波長側（図４（ａ））と長波長側
（図４（ｂ））とにブラッグ回折格子からの反射波長が
存在すること（図１２におけるチャンネルＣＨ４の特
性）に相当する。従って、波長の異なる二つの光源４
Ｂ，４Ｃを切り替えて測定することにより、図２
（ｂ），（ｃ）のごとく光フィルタ２２，２３を切り替
えて使用した場合と同様に、同一出力チャンネルにおい
て中心波長の短波長側及び長波長側の両方の反射波長が
同時に計測される状態を回避でき、波長の測定点数を従
来の２倍に増加させることができる。なお、この実施形
態を第１実施形態と組み合わせる（図３の測定部１Ｃの
代わりに図１の測定部１Ｂを用いる）ことにより、波長
の測定点数を４倍にすることも可能である。
【００２８】上記第２実施形態では二つの光源４Ｂ，４
Ｃを用いているが、光源の波長幅が十分に広ければ、図
５（ａ）に示す第３実施形態のように、単一の１．５５
μｍ光源４Ｂを光分波器２８によりフィルタリングし、
光スイッチ２９で切り替えながら使っても良い。ここ
で、光分波器２８には、米FIBEROPTICS社製のMulti-Cha
nnel WDMを使用することができる。この第３実施形態
は、請求項３に記載した発明の実施形態に相当する。上
述した光分波器２８及び光スイッチ２９からなるフィル
タ手段Ａは、図５（ｂ）に示すように光スイッチ４１、
光フィルタ４３，４４，……及び光合波器４５によって
構成しても良い。ここで、光フィルタには、米FIBEROPT
ICS社製のNarrowband Filterを使用することができる。
なお、図６は、光分波器２８の各チャンネルの出力また
は光フィルタ４３，４４の出力を示す特性図である。
Ｃを用いているが、光源の波長幅が十分に広ければ、図
５（ａ）に示す第３実施形態のように、単一の１．５５
μｍ光源４Ｂを光分波器２８によりフィルタリングし、
光スイッチ２９で切り替えながら使っても良い。ここ
で、光分波器２８には、米FIBEROPTICS社製のMulti-Cha
nnel WDMを使用することができる。この第３実施形態
は、請求項３に記載した発明の実施形態に相当する。上
述した光分波器２８及び光スイッチ２９からなるフィル
タ手段Ａは、図５（ｂ）に示すように光スイッチ４１、
光フィルタ４３，４４，……及び光合波器４５によって
構成しても良い。ここで、光フィルタには、米FIBEROPT
ICS社製のNarrowband Filterを使用することができる。
なお、図６は、光分波器２８の各チャンネルの出力また
は光フィルタ４３，４４の出力を示す特性図である。
【００２９】次に、図７は本発明の第４実施形態であ
り、請求項４に記載した発明の実施形態に相当する。こ
の実施形態は、二つの１．５５μｍ光源４Ｂ，４Ｄを備
え、各光源４Ｂ，４Ｄにそれぞれフィルタ手段としての
光フィルタ４６，４７を接続すると共に、その出力を光
分岐器２を介して複数のブラッグ回折格子ＦＢＧ1〜Ｆ
ＢＧnに入射させる。そして、各回折格子ＦＢＧ１〜Ｆ
ＢＧｎからの反射光を測定部１Ｃ内のＡＷＧ２５に入射
し、前記数式２により波長を測定する。
り、請求項４に記載した発明の実施形態に相当する。こ
の実施形態は、二つの１．５５μｍ光源４Ｂ，４Ｄを備
え、各光源４Ｂ，４Ｄにそれぞれフィルタ手段としての
光フィルタ４６，４７を接続すると共に、その出力を光
分岐器２を介して複数のブラッグ回折格子ＦＢＧ1〜Ｆ
ＢＧnに入射させる。そして、各回折格子ＦＢＧ１〜Ｆ
ＢＧｎからの反射光を測定部１Ｃ内のＡＷＧ２５に入射
し、前記数式２により波長を測定する。
【００３０】この実施形態は、図１の実施形態における
測定部１Ｂ内の光スイッチ２１及び光フィルタ２２，２
３を１．５５μｍ光源４Ｂ，４Ｄ側の光フィルタ４６，
４７により置き換えたものに相当しており、各光源４
Ｂ，４Ｄのオン・オフを切り替えて光フィルタ４６，４
７を介しブラッグ回折格子ＦＢＧ１〜ＦＢＧｎに光を入
射させる。図８（ｆ），（ｇ）は、光源４Ｂ，４Ｄのオ
ン・オフによる光フィルタ４６，４７の出力（図７にお
ける（ｆ），（ｇ）の出力）を示し、図８（ｈ）は測定
部１Ｃに入射する反射光のパワー（図７における（ｈ）
の出力）を示す図であって図２の（ｄ），（ｅ）に相当
する。
測定部１Ｂ内の光スイッチ２１及び光フィルタ２２，２
３を１．５５μｍ光源４Ｂ，４Ｄ側の光フィルタ４６，
４７により置き換えたものに相当しており、各光源４
Ｂ，４Ｄのオン・オフを切り替えて光フィルタ４６，４
７を介しブラッグ回折格子ＦＢＧ１〜ＦＢＧｎに光を入
射させる。図８（ｆ），（ｇ）は、光源４Ｂ，４Ｄのオ
ン・オフによる光フィルタ４６，４７の出力（図７にお
ける（ｆ），（ｇ）の出力）を示し、図８（ｈ）は測定
部１Ｃに入射する反射光のパワー（図７における（ｈ）
の出力）を示す図であって図２の（ｄ），（ｅ）に相当
する。
【００３１】本実施形態によれば、二つの光源４Ｂ，４
Ｄのオン・オフを切り替えることで、図８（ｈ）のよう
に反射光の波長帯域を交互に切り替えることができ、実
質的に第１実施形態の図２と同一の動作を実現すること
ができる。これにより、波長の測定点数を従来の２倍に
増加させることができる。
Ｄのオン・オフを切り替えることで、図８（ｈ）のよう
に反射光の波長帯域を交互に切り替えることができ、実
質的に第１実施形態の図２と同一の動作を実現すること
ができる。これにより、波長の測定点数を従来の２倍に
増加させることができる。
【００３２】以上の各実施形態において、第１の実施形
態（図１）ではフィルタ手段としての光フィルタ２２，
２３及びＡＷＧ２５、第２の実施形態（図３）ではＡＷ
Ｇ２５、第３の実施形態（図５）ではフィルタ手段とし
ての光分波器２８、光フィルタ４３，４４，……、及び
ＡＷＧ２５、第４の実施形態（図７）ではフィルタ手段
としての光フィルタ４６，４７及びＡＷＧ２５の、それ
ぞれ波長に対するフィルタリング特性が温度により変動
するので、請求項５，６に記載するように、これらの光
フィルタ手段の温度を検出し、その温度検出信号に基づ
いて例えばペルチェ素子等の温度制御素子を制御するこ
とにより温度を一定に保つようにすれば、波長測定精度
が向上することは明らかである。
態（図１）ではフィルタ手段としての光フィルタ２２，
２３及びＡＷＧ２５、第２の実施形態（図３）ではＡＷ
Ｇ２５、第３の実施形態（図５）ではフィルタ手段とし
ての光分波器２８、光フィルタ４３，４４，……、及び
ＡＷＧ２５、第４の実施形態（図７）ではフィルタ手段
としての光フィルタ４６，４７及びＡＷＧ２５の、それ
ぞれ波長に対するフィルタリング特性が温度により変動
するので、請求項５，６に記載するように、これらの光
フィルタ手段の温度を検出し、その温度検出信号に基づ
いて例えばペルチェ素子等の温度制御素子を制御するこ
とにより温度を一定に保つようにすれば、波長測定精度
が向上することは明らかである。
【００３３】なお、上記各実施形態において、請求項７
に記載するように、ＡＷＧの代わりに回折格子型分波器
（ＨＯＥ）を用いても、ＡＷＧを使用した場合と全く同
等の作用効果が得られることは自明である。ここで、回
折格子型分波器は、論文「VERY DENSE N*M WAVELENGTH
ROUTERS BASED ON A NEW DIFFRACTION GRATING CONFIGU
LATION」(J.P.Laude,et.al, ECOC'97 pp.22-25 1997)、
及び、「A new method for broadening and flattening
thespectral shape of the transmission channels of
Grating Wavelength Multiplexers(WDM) and Router
s」(J.P.Laude, et.al, OECC'98 pp.522-523 1998)等に
記載されているように、光を入射させる入射ファイバ
と、その入射光を回折し、結像させる回折格子と、回折
光を導く出射ファイバとからなり、回折格子と入出射フ
ァイバとの間は例えばシリカブロックによってつながれ
ている構造であり、入射光を最小で１〔ｎｍ〕以下の分
解能で弁別可能な素子である。
に記載するように、ＡＷＧの代わりに回折格子型分波器
（ＨＯＥ）を用いても、ＡＷＧを使用した場合と全く同
等の作用効果が得られることは自明である。ここで、回
折格子型分波器は、論文「VERY DENSE N*M WAVELENGTH
ROUTERS BASED ON A NEW DIFFRACTION GRATING CONFIGU
LATION」(J.P.Laude,et.al, ECOC'97 pp.22-25 1997)、
及び、「A new method for broadening and flattening
thespectral shape of the transmission channels of
Grating Wavelength Multiplexers(WDM) and Router
s」(J.P.Laude, et.al, OECC'98 pp.522-523 1998)等に
記載されているように、光を入射させる入射ファイバ
と、その入射光を回折し、結像させる回折格子と、回折
光を導く出射ファイバとからなり、回折格子と入出射フ
ァイバとの間は例えばシリカブロックによってつながれ
ている構造であり、入射光を最小で１〔ｎｍ〕以下の分
解能で弁別可能な素子である。
【００３４】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、従来技術
に対して光スイッチや光フィルタ、光源等を追加するだ
けで、波長の測定点数を簡単に増加することができる。
に対して光スイッチや光フィルタ、光源等を追加するだ
けで、波長の測定点数を簡単に増加することができる。
【図１】本発明の第１実施形態を示す波長計測装置の構
成図である。
成図である。
【図２】第１実施形態の動作説明図である。
【図３】本発明の第２実施形態を示す波長計測装置の構
成図である。
成図である。
【図４】第２実施形態におけるＡＷＧの周期性の説明図
である。
である。
【図５】本発明の第３実施形態を示す波長計測装置の構
成図である。
成図である。
【図６】第３実施形態における主要部の特性図である。
【図７】本発明の第４実施形態を示す波長計測装置の構
成図である。
成図である。
【図８】第４実施形態における主要部の特性図である。
【図９】波長測定原理の説明図である。
【図１０】公知の波長測定システムの構成図である。
【図１１】従来技術としての温度分布測定システムの全
体構成図である。
体構成図である。
【図１２】図１０におけるブラッグ回折格子からの反射
光波長とＡＷＧの透過特性との関係を示す図である。
光波長とＡＷＧの透過特性との関係を示す図である。
【図１３】図１０におけるブラッグ回折格子からの反射
光波長とＡＷＧの透過特性との関係を示す図である。
光波長とＡＷＧの透過特性との関係を示す図である。
ＦＢＧ１〜ＦＢＧ４ 光ファイバブラッグ回折格子 ＰＤ，ＰＤ１〜ＰＤ５ フォトダイオード ＤＩＶ１〜ＤＩＶ４ 除算器 Ａ フィルタ手段 １Ｂ，１Ｃ 測定部 ２ 光分岐器 ４Ｂ，４Ｄ １．５５μｍ光源 ４Ｃ １．３μｍ光源 ２０ 光ファイバ ２１，２９，４１ 光スイッチ ２２，２３，４３，４４，４６，４７ 光フィルタ ２４，２７ 光結合器 ２５ アレイ導波路回折格子（ＡＷＧ） ２６ ＣＰＵ ２８ 光分波器 ４５ 光合波器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F056 VF02 VF10 VF12 VF16 2F065 AA65 CC23 DD00 FF41 FF48 GG01 GG21 KK01 LL02 LL21 LL42 LL64 LL67 MM16 MM26 NN06 NN16 QQ28 QQ33 QQ43 SS11 UU05 UU08 2G020 AA03 BA20 CA17 CB23 CB42 CC02 CC26 CD12 CD24 2G065 AA04 AB02 AB09 AB22 BA09 BB02 BB15 BB28 CA21 DA05
Claims (7)
- 【請求項１】 広帯域光源からの光を光ファイバを介し
て複数のブラッグ回折格子に導き、各ブラッグ回折格子
からの反射光をアレイ導波路回折格子に入射させ、この
アレイ導波路回折格子の複数の出力チャンネルにそれぞ
れ設けられた一対の受光素子による光電流の比の対数に
基づいて前記反射光の波長を測定する波長計測装置にお
いて、 前記ブラッグ回折格子から前記アレイ導波路回折格子に
至るまでの間に、フィルタ手段として第１、第２の光フ
ィルタを挿入し、第１の光フィルタの透過光と第２の光
フィルタの透過光とを交互に前記アレイ導波路回折格子
に入射させることを特徴する波長計測装置。 - 【請求項２】 広帯域光源からの光を光ファイバを介し
て複数のブラッグ回折格子に導き、各ブラッグ回折格子
からの反射光をアレイ導波路回折格子に入射させ、この
アレイ導波路回折格子の複数の出力チャンネルにそれぞ
れ設けられた一対の受光素子による光電流の比の対数に
基づいて前記反射光の波長を測定する波長計測装置にお
いて、 出射光の中心波長が異なる第１、第２の広帯域光源を備
え、これらの第１、第２の広帯域光源を交互に点灯させ
ることを特徴する波長計測装置。 - 【請求項３】 広帯域光源からの光を光ファイバを介し
て複数のブラッグ回折格子に導き、各ブラッグ回折格子
からの反射光をアレイ導波路回折格子に入射させ、この
アレイ導波路回折格子の複数の出力チャンネルにそれぞ
れ設けられた一対の受光素子による光電流の比の対数に
基づいて前記反射光の波長を測定する波長計測装置にお
いて、 単一の広帯域光源の出射光をフィルタ手段にて複数の波
長帯域に分波し、これらの複数の波長帯域の光を切り替
えて前記光ファイバから複数のブラッグ回折格子に導く
ことを特徴する波長計測装置。 - 【請求項４】 広帯域光源からの光を光ファイバを介し
て複数のブラッグ回折格子に導き、各ブラッグ回折格子
からの反射光をアレイ導波路回折格子に入射させ、この
アレイ導波路回折格子の複数の出力チャンネルにそれぞ
れ設けられた一対の受光素子による光電流の比の対数に
基づいて前記反射光の波長を測定する波長計測装置にお
いて、 前記光源から前記ブラッグ回折格子に至るまでの間に、
フィルタ手段として第１、第２の光フィルタを挿入し、
第１の光フィルタの透過光と第２の光フィルタの透過光
とを交互に前記アレイ導波路回折格子に入射させること
を特徴する波長計測装置。 - 【請求項５】 請求項１〜４の何れか１項に記載の波長
計測装置において、 前記アレイ導波路回折格子の温度検出信号に基づいて温
度制御素子を制御することにより、前記アレイ導波路回
折格子の温度を一定に保つことを特徴とする波長計測装
置。 - 【請求項６】 請求項１または３または４記載の波長計
測装置において、 前記フィルタ手段の温度検出信号に基づいて温度制御素
子を制御することにより、前記フィルタ手段の温度を一
定に保つことを特徴とする波長計測装置。 - 【請求項７】 請求項１〜６の何れか１項に記載の波長
計測装置において、 前記アレイ導波路回折格子の代わりに回折格子型分波器
を用いることを特徴とする波長計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09251099A JP3669473B2 (ja) | 1999-03-31 | 1999-03-31 | 波長計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09251099A JP3669473B2 (ja) | 1999-03-31 | 1999-03-31 | 波長計測装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000283844A true JP2000283844A (ja) | 2000-10-13 |
| JP3669473B2 JP3669473B2 (ja) | 2005-07-06 |
Family
ID=14056322
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09251099A Expired - Fee Related JP3669473B2 (ja) | 1999-03-31 | 1999-03-31 | 波長計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JP3669473B2 (ja) |
Cited By (10)
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|---|---|---|---|---|
| JP2004523764A (ja) * | 2001-03-27 | 2004-08-05 | コミツサリア タ レネルジー アトミーク | 高いスペクトル解像度を有している集積型分光器および特に高速通信と高速測定とのための集積型分光器ならびにその製造方法 |
| WO2005028995A1 (ja) * | 2003-09-17 | 2005-03-31 | Kyocera Corporation | Ｆｂｇセンシングシステム |
| JP2007183117A (ja) * | 2006-01-04 | 2007-07-19 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 波長計測装置 |
| JP2008232893A (ja) * | 2007-03-22 | 2008-10-02 | Institute Of National Colleges Of Technology Japan | 光波長検波法を用いた分布型計測システムにおけるセンサの超狭帯域化とシステムに接続可能なセンサ数の増加方法 |
| JP2008232878A (ja) * | 2007-03-22 | 2008-10-02 | Institute Of National Colleges Of Technology Japan | 光スペクトルパタンマッチング法による分布型センサシステム |
| JP2012008116A (ja) * | 2010-05-26 | 2012-01-12 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 分光器およびそれを用いたイメージングシステム |
| JP2014074633A (ja) * | 2012-10-04 | 2014-04-24 | Hitachi Ltd | 形状計測方法及び装置 |
| JP2017040565A (ja) * | 2015-08-20 | 2017-02-23 | 並木精密宝石株式会社 | 光イメージング用プローブ及び該光イメージング用プローブを用いた形状測定装置 |
| KR20220122331A (ko) * | 2021-02-26 | 2022-09-02 | 주식회사 피피아이 | 실리콘 포토닉스 인터로게이터를 구비한 반사 광파장 스캐닝 장치 |
| CN117760472A (zh) * | 2023-11-23 | 2024-03-26 | 广州市南沙区北科光子感知技术研究院 | 一种基于阵列波导光栅的变温解调系统及方法 |
-
1999
- 1999-03-31 JP JP09251099A patent/JP3669473B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JP2004523764A (ja) * | 2001-03-27 | 2004-08-05 | コミツサリア タ レネルジー アトミーク | 高いスペクトル解像度を有している集積型分光器および特に高速通信と高速測定とのための集積型分光器ならびにその製造方法 |
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| KR20220122331A (ko) * | 2021-02-26 | 2022-09-02 | 주식회사 피피아이 | 실리콘 포토닉스 인터로게이터를 구비한 반사 광파장 스캐닝 장치 |
| KR102522885B1 (ko) * | 2021-02-26 | 2023-04-18 | 주식회사 피피아이 | 실리콘 포토닉스 인터로게이터를 구비한 반사 광파장 스캐닝 장치 |
| CN117760472A (zh) * | 2023-11-23 | 2024-03-26 | 广州市南沙区北科光子感知技术研究院 | 一种基于阵列波导光栅的变温解调系统及方法 |
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