JP2000277589A - 基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送装置Info
- Publication number
- JP2000277589A JP2000277589A JP8158699A JP8158699A JP2000277589A JP 2000277589 A JP2000277589 A JP 2000277589A JP 8158699 A JP8158699 A JP 8158699A JP 8158699 A JP8158699 A JP 8158699A JP 2000277589 A JP2000277589 A JP 2000277589A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- detection sensor
- fiber sensors
- fiber
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 検知センサの調整の工数を削減するととも
に、検知センサの位置を一定にして検知精度を安定化さ
せることができるようにする。 【解決手段】 調整治具１２の幅方向に所定間隔をあけ
て並設された３本の長孔１２ａにファイバセンサ１８を
通して、センサ取付けブロック１６の前面と調整治具１
２の背面とを密着させ、互いに対をなすファイバセンサ
１８間にウェハ２０が位置するように、センサ取付けブ
ロック１６を長孔１２ａに案内させてピッチ方向に移動
させてセンサ取付けブロック１６を調整治具１２の取付
け板１４にねじ２２によりねじ止めし、それぞれのファ
イバセンサ１８を回転させて、投光部１８ａと受光部１
８ｂの位置を合わせる。
に、検知センサの位置を一定にして検知精度を安定化さ
せることができるようにする。 【解決手段】 調整治具１２の幅方向に所定間隔をあけ
て並設された３本の長孔１２ａにファイバセンサ１８を
通して、センサ取付けブロック１６の前面と調整治具１
２の背面とを密着させ、互いに対をなすファイバセンサ
１８間にウェハ２０が位置するように、センサ取付けブ
ロック１６を長孔１２ａに案内させてピッチ方向に移動
させてセンサ取付けブロック１６を調整治具１２の取付
け板１４にねじ２２によりねじ止めし、それぞれのファ
イバセンサ１８を回転させて、投光部１８ａと受光部１
８ｂの位置を合わせる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ウェハを検知す
る検知センサを有する基板搬送装置に関して、特に、検
知センサを装置に取付けるための取付構造の改良に関す
るものである。
る検知センサを有する基板搬送装置に関して、特に、検
知センサを装置に取付けるための取付構造の改良に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、基板搬送装置にウェハを検知する
ための検知センサを取付ける際には、作業者は、図５に
示されるように、投光用と受光用のファイバセンサ５０
がそれぞれ取付けられた複数個のセンサ取付けブロック
５２を、互いに対向する２つのファイバセンサ５０間に
ウェハ５４が位置するようにピッチ方向の間隔を調整し
ながら、また、互いに対向する２つのファイバセンサ５
０の投光部５０ａと受光部５０ｂの前後及び左右方向の
位置を合わせるためにセンサ取付けブロック５２の前後
及び左右方向の位置を調整しながら、さらには、上下の
ファイバセンサ５０の投光部５０ａと受光部５０ｂの回
転方向の位置を合わせるためにファイバセンサ５０の回
転方向の位置を調整しながら基板搬送装置に取付けてい
る。
ための検知センサを取付ける際には、作業者は、図５に
示されるように、投光用と受光用のファイバセンサ５０
がそれぞれ取付けられた複数個のセンサ取付けブロック
５２を、互いに対向する２つのファイバセンサ５０間に
ウェハ５４が位置するようにピッチ方向の間隔を調整し
ながら、また、互いに対向する２つのファイバセンサ５
０の投光部５０ａと受光部５０ｂの前後及び左右方向の
位置を合わせるためにセンサ取付けブロック５２の前後
及び左右方向の位置を調整しながら、さらには、上下の
ファイバセンサ５０の投光部５０ａと受光部５０ｂの回
転方向の位置を合わせるためにファイバセンサ５０の回
転方向の位置を調整しながら基板搬送装置に取付けてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のものでは、ファイバセンサ５０の上下、前後、左右
及び回転の４方向の位置合わせを作業者の目視や感覚で
行わなければならないため、ファイバセンサの位置が一
定にならず、また、作業者の熟練と工数がかかるという
問題がある。
来のものでは、ファイバセンサ５０の上下、前後、左右
及び回転の４方向の位置合わせを作業者の目視や感覚で
行わなければならないため、ファイバセンサの位置が一
定にならず、また、作業者の熟練と工数がかかるという
問題がある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前述した課題を解決する
ために、請求項１記載の発明は、ウェハを検知する検知
センサを有する基板搬送装置において、前記検知センサ
は、該検知センサの前後方向の位置と左右方向の位置と
を同時に規定するとともに、ピッチ方向及び回転方向の
位置を可変とするように保持する調整治具により前記基
板搬送装置に取付けられていることを特徴とするもので
ある。
ために、請求項１記載の発明は、ウェハを検知する検知
センサを有する基板搬送装置において、前記検知センサ
は、該検知センサの前後方向の位置と左右方向の位置と
を同時に規定するとともに、ピッチ方向及び回転方向の
位置を可変とするように保持する調整治具により前記基
板搬送装置に取付けられていることを特徴とするもので
ある。
【０００５】このように、検知センサを調整治具に保持
させるだけで検知センサの前後方向と左右方向の２方向
の位置が規定され、作業者は、ピッチ方向及び回転方向
の２方向の位置だけ調整すればよいので、検知センサの
調整作業の工数を削減することができるとともに、検知
センサの位置が一定になり、検知精度が安定化する。
させるだけで検知センサの前後方向と左右方向の２方向
の位置が規定され、作業者は、ピッチ方向及び回転方向
の２方向の位置だけ調整すればよいので、検知センサの
調整作業の工数を削減することができるとともに、検知
センサの位置が一定になり、検知精度が安定化する。
【０００６】
【発明の実施の形態】図１は検知センサ１０を取付けた
調整治具１２を示す正面図、図２は図１の右側面図をそ
れぞれ示す。これらの図において、調整治具１２は、こ
れの幅方向に所定間隔をあけて３本の長孔１２ａが互い
に平行に位置して形成されており、調整治具１２の右端
部には、これに対して直角の角度をなして調整治具１２
の上下方向ほぼ全長に渡って取付け板１４が固定されて
いる。
調整治具１２を示す正面図、図２は図１の右側面図をそ
れぞれ示す。これらの図において、調整治具１２は、こ
れの幅方向に所定間隔をあけて３本の長孔１２ａが互い
に平行に位置して形成されており、調整治具１２の右端
部には、これに対して直角の角度をなして調整治具１２
の上下方向ほぼ全長に渡って取付け板１４が固定されて
いる。
【０００７】検知センサ１０は、センサ取付けブロック
１６と、センサ取付けブロックの付き当てまで差し込ま
れたファイバセンサ１８とにより構成されており、最上
段と最下段のセンサ取付けブロック１６には受光用のフ
ァイバセンサ１８が１つ取付けられているだけである
が、その他のセンサ取付けブロック１６には、受光用と
投光用のファイバセンサ１８がそれぞれ左右方向に所定
間隔をあけて２つ取付けられている。図５に示されるよ
うに、上から上下方向に互いに対向して対をなすファイ
バセンサ１８間でレーザ光の投受光が行われる。
１６と、センサ取付けブロックの付き当てまで差し込ま
れたファイバセンサ１８とにより構成されており、最上
段と最下段のセンサ取付けブロック１６には受光用のフ
ァイバセンサ１８が１つ取付けられているだけである
が、その他のセンサ取付けブロック１６には、受光用と
投光用のファイバセンサ１８がそれぞれ左右方向に所定
間隔をあけて２つ取付けられている。図５に示されるよ
うに、上から上下方向に互いに対向して対をなすファイ
バセンサ１８間でレーザ光の投受光が行われる。
【０００８】次に、検知センサ１０の調整治具１２への
取付け方法について説明する。調整治具１２の背面から
長孔１２ａにファイバセンサ１８を通して、センサ取付
けブロック１６の前面と調整治具１２の背面とを密着さ
せる。これにより、それぞれの検知センサ１０の前後方
向の位置は調整治具１２により同位置に規定されるとと
もに、長孔１２ａによってファイバセンサ１８の左右方
向の移動が拘束されているため、それぞれのセンサ取付
けブロック１６の左右方向の位置は、それぞれの右側面
が取付け板１４と接触する状態を保ち続ける位置に規定
される。
取付け方法について説明する。調整治具１２の背面から
長孔１２ａにファイバセンサ１８を通して、センサ取付
けブロック１６の前面と調整治具１２の背面とを密着さ
せる。これにより、それぞれの検知センサ１０の前後方
向の位置は調整治具１２により同位置に規定されるとと
もに、長孔１２ａによってファイバセンサ１８の左右方
向の移動が拘束されているため、それぞれのセンサ取付
けブロック１６の左右方向の位置は、それぞれの右側面
が取付け板１４と接触する状態を保ち続ける位置に規定
される。
【０００９】次に、互いに対をなすファイバセンサ１８
間にウェハ２０が位置するように、センサ取付けブロッ
ク１６を長孔１２ａに案内させてピッチ方向に移動さ
せ、センサ取付けブロック１６の右側部を取付け板１４
にねじ２２によりねじ止めする。このとき、検知センサ
１０の前後及び左右方向の位置は既に決定しているた
め、作業者は、検知センサ１０のピッチ方向の位置のみ
を調整すればよい。また、センサ取付けブロック１６を
取付け板１４にねじ止めすることにより、検知センサ１
０の前後、左右及びピッチの３方向の位置を固定するこ
とができる。
間にウェハ２０が位置するように、センサ取付けブロッ
ク１６を長孔１２ａに案内させてピッチ方向に移動さ
せ、センサ取付けブロック１６の右側部を取付け板１４
にねじ２２によりねじ止めする。このとき、検知センサ
１０の前後及び左右方向の位置は既に決定しているた
め、作業者は、検知センサ１０のピッチ方向の位置のみ
を調整すればよい。また、センサ取付けブロック１６を
取付け板１４にねじ止めすることにより、検知センサ１
０の前後、左右及びピッチの３方向の位置を固定するこ
とができる。
【００１０】次に、図３に示されるように、それぞれの
ファイバセンサ１８を回転させて、それぞれの投光部１
８ａから投光したレーザ光を受光部１８ｂで受光できる
ように投光部１８ａと受光部１８ｂの位置を合わせるこ
とにより、検知センサ１０の調整が終了する。
ファイバセンサ１８を回転させて、それぞれの投光部１
８ａから投光したレーザ光を受光部１８ｂで受光できる
ように投光部１８ａと受光部１８ｂの位置を合わせるこ
とにより、検知センサ１０の調整が終了する。
【００１１】このように、調整した検知センサ１０を保
持した調整治具１２は、取付け機構２４のねじ２６によ
り図４に示されるように基板搬送装置２８に取付けられ
る。
持した調整治具１２は、取付け機構２４のねじ２６によ
り図４に示されるように基板搬送装置２８に取付けられ
る。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように、この発明は、検知
センサを調整治具に保持させるだけで検知センサの前後
方向と左右方向の２方向の位置が規定されるため、作業
者は、ピッチ方向及び回転方向の２方向の位置だけ調整
すればよいので、検知センサの調整作業の工数を削減す
ることができるとともに、検知センサの位置が一定にな
り、検知精度が安定化する。
センサを調整治具に保持させるだけで検知センサの前後
方向と左右方向の２方向の位置が規定されるため、作業
者は、ピッチ方向及び回転方向の２方向の位置だけ調整
すればよいので、検知センサの調整作業の工数を削減す
ることができるとともに、検知センサの位置が一定にな
り、検知精度が安定化する。
【図１】調整治具に検知センサを取付けた状態を示す背
面図である。
面図である。
【図２】図１の右側面図である。
【図３】調整治具に検知センサを取付けた状態の概略を
示す正面図である。
示す正面図である。
【図４】検知センサが取付けられた調整治具を基板搬送
装置に取付けた状態を示す斜視図である。
装置に取付けた状態を示す斜視図である。
【図５】（ａ）は従来の検知センサの調整方向を示す側
面図、（ｂ）は従来の検知センサの調整方向を示す正面
図である。
面図、（ｂ）は従来の検知センサの調整方向を示す正面
図である。
１０ 検知センサ １２ 調整治具 １２ａ 長孔 １４ 取付け板 １６ センサ取付けブロック １８ ファイバセンサ １８ａ 投光部 １８ｂ 受光部 ２０ ウェハ ２２ ねじ
Claims (1)
- 【請求項１】 ウェハを検知する検知センサを有する基
板搬送装置において、 前記検知センサは、該検知センサの前後方向の位置と左
右方向の位置とを同時に規定するとともに、ピッチ方向
及び回転方向の位置を可変とするように保持する調整治
具により前記基板搬送装置に取付けられていることを特
徴とする基板搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8158699A JP2000277589A (ja) | 1999-03-25 | 1999-03-25 | 基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8158699A JP2000277589A (ja) | 1999-03-25 | 1999-03-25 | 基板搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000277589A true JP2000277589A (ja) | 2000-10-06 |
Family
ID=13750434
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8158699A Withdrawn JP2000277589A (ja) | 1999-03-25 | 1999-03-25 | 基板搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000277589A (ja) |
-
1999
- 1999-03-25 JP JP8158699A patent/JP2000277589A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060606 |