JP2000277253A - 発光素子、発光装置、表示装置、露光装置及び画像形成装置 - Google Patents
発光素子、発光装置、表示装置、露光装置及び画像形成装置Info
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
-
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- H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K50/844—Encapsulations
Abstract
(57)【要約】
【課題】 水分及び酸素の遮断性に優れた保護膜６によ
って発光素子を保護することにより、発光素子及びそれ
を用いた装置の耐久性を向上させる。 【解決手段】 発光素子を酸化タンタルの保護膜６で覆
う。
って発光素子を保護することにより、発光素子及びそれ
を用いた装置の耐久性を向上させる。 【解決手段】 発光素子を酸化タンタルの保護膜６で覆
う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、発光素子、発光素
子アレイを用いた発光装置、表示装置、露光装置（特に
複写機、プリンタなどの電子写真装置に使用する光プリ
ンタヘッド）、並びに、上記露光装置を用いた電子写真
装置などの画像形成装置に関する。
子アレイを用いた発光装置、表示装置、露光装置（特に
複写機、プリンタなどの電子写真装置に使用する光プリ
ンタヘッド）、並びに、上記露光装置を用いた電子写真
装置などの画像形成装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＥＬ素子等の発光素子は、自己発光性で
あることから、暗いところでの視認性がよく、また視野
角を気にすることなく使えることから、これを基板上に
複数配列した発光素子アレイとして、発光装置や露光装
置あるいはマトリクス状に配置されて表示装置に使用さ
れている。
あることから、暗いところでの視認性がよく、また視野
角を気にすることなく使えることから、これを基板上に
複数配列した発光素子アレイとして、発光装置や露光装
置あるいはマトリクス状に配置されて表示装置に使用さ
れている。
【０００３】ところで、発光素子としては、無機化合物
や有機化合物を用いた種々の層構成ものが提案されてい
る。いずれも支持体である基板上に積層形成されるが、
積層時の大気中の水分、酸素、不純物の影響により、発
光が不均一化したり無発光領域を生じてしまうことを防
止するために、途中で大気中に取り出すことなく真空中
で一貫して多層を成膜できる成膜装置によって形成され
ている。
や有機化合物を用いた種々の層構成ものが提案されてい
る。いずれも支持体である基板上に積層形成されるが、
積層時の大気中の水分、酸素、不純物の影響により、発
光が不均一化したり無発光領域を生じてしまうことを防
止するために、途中で大気中に取り出すことなく真空中
で一貫して多層を成膜できる成膜装置によって形成され
ている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のようにして形成
された発光素子であっても、大気中に放置しておくと、
空気中の水分や酸素の影響を受け、徐々に発光効率が低
下することが観察される。
された発光素子であっても、大気中に放置しておくと、
空気中の水分や酸素の影響を受け、徐々に発光効率が低
下することが観察される。
【０００５】本発明は、上記従来の問題点にかんがみて
なされたもので、水分及び酸素の遮断性に優れた保護膜
によって発光素子を保護することにより、発光素子及び
それを用いた装置の耐久性を向上させることを目的とす
る。
なされたもので、水分及び酸素の遮断性に優れた保護膜
によって発光素子を保護することにより、発光素子及び
それを用いた装置の耐久性を向上させることを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、少なくとも陽極層及び陰極層と、これら
の間に挟持された１層又は複数層の有機化合物層とを有
する発光素子であって、基板上に設けられ、しかも酸化
タンタルの保護膜で覆われていることを特徴とする発光
素子を提供するものである。
成するために、少なくとも陽極層及び陰極層と、これら
の間に挟持された１層又は複数層の有機化合物層とを有
する発光素子であって、基板上に設けられ、しかも酸化
タンタルの保護膜で覆われていることを特徴とする発光
素子を提供するものである。
【０００７】また、上記本発明は、基板がガラスで、保
護膜が発光素子上を覆っていること、基板が合成樹脂
で、保護膜が、基板と発光素子間に設けられていると共
に、発光素子上を覆っていること、保護膜が５００Å以
上の厚みであること、保護膜が非晶質であること、保護
膜の膜充填率が８０％以上であること包含するものであ
る。
護膜が発光素子上を覆っていること、基板が合成樹脂
で、保護膜が、基板と発光素子間に設けられていると共
に、発光素子上を覆っていること、保護膜が５００Å以
上の厚みであること、保護膜が非晶質であること、保護
膜の膜充填率が８０％以上であること包含するものであ
る。
【０００８】更に本発明は、上記発光素子を基板上に複
数配列した発光素子アレイを備えていることを特徴とす
る発光装置及び露光装置、この露光装置と、該露光装置
により露光される感光体を有する画像形成装置あるいは
基板上にマトリクス状に配置された上記発光素子を有す
る表示装置を提供するものでもある。
数配列した発光素子アレイを備えていることを特徴とす
る発光装置及び露光装置、この露光装置と、該露光装置
により露光される感光体を有する画像形成装置あるいは
基板上にマトリクス状に配置された上記発光素子を有す
る表示装置を提供するものでもある。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図面を用いて詳細
に説明する。
に説明する。
【００１０】図１は本発明の発光素子の一例を示す断面
図である。
図である。
【００１１】図において、１は基板、２は陽極層、３は
陰極層、４は正孔輸送層、５は電子輸送層、６は保護膜
で、正孔輸送層４及び電子輸送層５はそれぞれ有機材料
で構成された有機化合物層で、陰極層３と陽極層２の間
に挟まれている。
陰極層、４は正孔輸送層、５は電子輸送層、６は保護膜
で、正孔輸送層４及び電子輸送層５はそれぞれ有機材料
で構成された有機化合物層で、陰極層３と陽極層２の間
に挟まれている。
【００１２】基板１上には陽極層２、正孔輸送層４、電
子輸送層５、陰極層３及び保護膜６が順次積層されてい
る。保護膜６は、この積層構造を有する発光素子を大気
中の水分及び酸素から保護するためのもので、発光素子
を上から覆って設けられている。
子輸送層５、陰極層３及び保護膜６が順次積層されてい
る。保護膜６は、この積層構造を有する発光素子を大気
中の水分及び酸素から保護するためのもので、発光素子
を上から覆って設けられている。
【００１３】本発明において、基板１としては、発光素
子を表面に構成できるものであればよく、例えばソーダ
ライムガラスなどのガラス、合成樹脂などの透明な絶縁
性材料の板、シートもしくはフィルム状物を用いること
ができるが、本例における基板１はガラス製のものとな
っている。
子を表面に構成できるものであればよく、例えばソーダ
ライムガラスなどのガラス、合成樹脂などの透明な絶縁
性材料の板、シートもしくはフィルム状物を用いること
ができるが、本例における基板１はガラス製のものとな
っている。
【００１４】本例においては、発光素子の上面側は、保
護膜６によって大気中の水分や酸素から保護され、発光
素子の下面側は、ガラスの基板１によって大気中の水分
や酸素から保護されるものとなっている。
護膜６によって大気中の水分や酸素から保護され、発光
素子の下面側は、ガラスの基板１によって大気中の水分
や酸素から保護されるものとなっている。
【００１５】本発明における保護膜６は、酸化タンタル
で構成されているものである。保護膜を酸化タンタル膜
とすることにより、水分及び酸素の高い遮断性を得るこ
とができる。
で構成されているものである。保護膜を酸化タンタル膜
とすることにより、水分及び酸素の高い遮断性を得るこ
とができる。
【００１６】保護膜６は、５００Å以上の厚みであるこ
とが好ましい。厚みが薄くなるに従って水分及び酸素の
遮断性が低下する。保護膜６は、非晶質で、膜充填率が
８０％以上であることが好ましい。非晶質であるとクラ
ックが入りにくく、また膜充填率が高いほど高い遮断性
が得やすい。
とが好ましい。厚みが薄くなるに従って水分及び酸素の
遮断性が低下する。保護膜６は、非晶質で、膜充填率が
８０％以上であることが好ましい。非晶質であるとクラ
ックが入りにくく、また膜充填率が高いほど高い遮断性
が得やすい。
【００１７】上記膜充填率は、膜厚モニターに酸化タン
タルの比重を入力し、モニターのすぐ横に基板をセット
して膜を蒸着し、膜厚モニターの読み値ｔmoと実際に基
板についた膜厚ｔとから、以下の式で計算して求めるこ
とができる。
タルの比重を入力し、モニターのすぐ横に基板をセット
して膜を蒸着し、膜厚モニターの読み値ｔmoと実際に基
板についた膜厚ｔとから、以下の式で計算して求めるこ
とができる。
【００１８】膜充填率（％）＝（ｔmo／ｔ）×１００
【００１９】図２は本発明の発光素子の他の例を示す断
面図である。
面図である。
【００２０】本例に係る発光素子は、基本的には図１の
発光素子と同様であるが、本例における基板１は合成樹
脂製で、保護膜６が発光素子と基板１との間にも設けら
れている点が相違している。つまり、本例における発光
素子は、基板１上に成膜した酸化タンタルの保護膜６上
に積層形成され、更にその上から保護膜７で覆った構成
のものとなっている。
発光素子と同様であるが、本例における基板１は合成樹
脂製で、保護膜６が発光素子と基板１との間にも設けら
れている点が相違している。つまり、本例における発光
素子は、基板１上に成膜した酸化タンタルの保護膜６上
に積層形成され、更にその上から保護膜７で覆った構成
のものとなっている。
【００２１】合成樹脂製の基板１の場合、水分及び酸素
に対する十分な遮蔽性を得にくいが、このような構成と
すると、基板１を透過して来る水分及び酸素を、発光素
子と基板１間に設けた保護膜６で遮断することができ
る。
に対する十分な遮蔽性を得にくいが、このような構成と
すると、基板１を透過して来る水分及び酸素を、発光素
子と基板１間に設けた保護膜６で遮断することができ
る。
【００２２】上記いずれの例においても発光部は陽極層
２と陰極層３が上下に重なっている部分で、陽極層２と
陰極層３の間に電圧を印加することにより、電子輸送層
５が発光源となって発光部から光が放出される。発光部
は、陽極層２又は陰極層３の電極幅を変更することで、
任意の大きさとすることが可能である。
２と陰極層３が上下に重なっている部分で、陽極層２と
陰極層３の間に電圧を印加することにより、電子輸送層
５が発光源となって発光部から光が放出される。発光部
は、陽極層２又は陰極層３の電極幅を変更することで、
任意の大きさとすることが可能である。
【００２３】本発明において、陽極層２の材料としては
仕事関数が大きなものが望ましく、例えばＩＴＯ、酸化
錫、金、白金、パラジウム、セレン、イリジウム、ヨウ
化銅などを用いることができる。一方、陰極層３の材料
としては仕事関数が小さなものが望ましく、例えばＭｇ
／Ａｇ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｉｎあるいはこれらの合金などを
用いることができる。
仕事関数が大きなものが望ましく、例えばＩＴＯ、酸化
錫、金、白金、パラジウム、セレン、イリジウム、ヨウ
化銅などを用いることができる。一方、陰極層３の材料
としては仕事関数が小さなものが望ましく、例えばＭｇ
／Ａｇ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｉｎあるいはこれらの合金などを
用いることができる。
【００２４】本発明において、有機化合物層は、一層構
成であっても良いし、複数層構成であっても良い。例え
ば図１及び図２に示される例のように、有機化合物層を
正孔輸送層４と電子輸送層５の２層とし、正孔輸送層４
と電子輸送層５のいずれかを発光源として機能させるこ
とができる。また、陽極層２から正孔が注入される正孔
輸送層４と、陰極層３から電子が注入される電子輸送層
５と、正孔輸送層４と電子輸送層５の間に挟まれた発光
源である発光層（図示されていない）とからなるものと
することができるし、混合一層構成で正孔輸送層４、電
子輸送層５及び発光源を兼ねた構成も可能である。
成であっても良いし、複数層構成であっても良い。例え
ば図１及び図２に示される例のように、有機化合物層を
正孔輸送層４と電子輸送層５の２層とし、正孔輸送層４
と電子輸送層５のいずれかを発光源として機能させるこ
とができる。また、陽極層２から正孔が注入される正孔
輸送層４と、陰極層３から電子が注入される電子輸送層
５と、正孔輸送層４と電子輸送層５の間に挟まれた発光
源である発光層（図示されていない）とからなるものと
することができるし、混合一層構成で正孔輸送層４、電
子輸送層５及び発光源を兼ねた構成も可能である。
【００２５】発光層としては、例えば後述する電子輸送
層５と同様の有機化合物層に蛍光体をドーピングしたも
のを用いることができる。
層５と同様の有機化合物層に蛍光体をドーピングしたも
のを用いることができる。
【００２６】正孔輸送層４としては、例えば、Ｎ，Ｎ’
−ビス（３−メチルフェニル）−Ｎ，Ｎ’−ジフェニル
−（１，１’−ビフェニル）−４，４’−ジアミン（以
下ＴＰＤ）を用いることができ、その他にも下記の有機
化合物を用いることができる。
−ビス（３−メチルフェニル）−Ｎ，Ｎ’−ジフェニル
−（１，１’−ビフェニル）−４，４’−ジアミン（以
下ＴＰＤ）を用いることができ、その他にも下記の有機
化合物を用いることができる。
【００２７】
【化１】
【００２８】
【化２】
【００２９】
【化３】
【００３０】
【化４】
【００３１】
【化５】
【００３２】また、有機材料だけでなく、無機材料を用
いてもよい。用いられる無機材料としては、例えばａ−
Ｓｉ、ａ−ＳｉＣなどが挙げられる。
いてもよい。用いられる無機材料としては、例えばａ−
Ｓｉ、ａ−ＳｉＣなどが挙げられる。
【００３３】電子輸送層５としては、例えば、トリス
（８−キノリノール）アルミニウム（以下Ａｌｑ3 ）を
用いることができ、その他にも下記の材料を用いること
ができる。
（８−キノリノール）アルミニウム（以下Ａｌｑ3 ）を
用いることができ、その他にも下記の材料を用いること
ができる。
【００３４】
【化６】
【００３５】
【化７】
【００３６】
【化８】
【００３７】
【化９】
【００３８】また、以下に示されているようなドーパン
ト色素を電子輸送層５や正孔輸送層４にドーピングする
ことで、発光部の発光波長を調整することもできる。
ト色素を電子輸送層５や正孔輸送層４にドーピングする
ことで、発光部の発光波長を調整することもできる。
【００３９】
【化１０】
【００４０】次に、図３に基づいて、本発明の画像形成
装置の一例である電子写真装置を説明する。
装置の一例である電子写真装置を説明する。
【００４１】７は像担持体としての回転ドラム型の電子
写真感光体、８は帯電装置、９は現像装置、１０は転写
装置、１１は定着装置、１２はクリーニング装置であ
る。
写真感光体、８は帯電装置、９は現像装置、１０は転写
装置、１１は定着装置、１２はクリーニング装置であ
る。
【００４２】図１及び図２で説明した発光素子を基板１
（図１及び図２参照）上に複数配列した発光素子アレイ
（不図示）に駆動用ドライバを接続して露光装置とし、
露光用光Ｌの光源として用いる。陽極層２（図１及び図
２参照）をプラス、陰極層３（図１及び図２参照）をマ
イナスにして直流電圧を印加すると、発光部から露光用
光Ｌが放出され、電子写真感光体７上に潜像を書き込む
ことができる。
（図１及び図２参照）上に複数配列した発光素子アレイ
（不図示）に駆動用ドライバを接続して露光装置とし、
露光用光Ｌの光源として用いる。陽極層２（図１及び図
２参照）をプラス、陰極層３（図１及び図２参照）をマ
イナスにして直流電圧を印加すると、発光部から露光用
光Ｌが放出され、電子写真感光体７上に潜像を書き込む
ことができる。
【００４３】電子写真感光体７上を帯電装置８により一
様に帯電させる。この電子写真感光体７の帯電面に対し
て、目的の画像情報の時系列電気デジタル単位信号に対
応して発光素子アレイからの露光用光Ｌによる露光を行
うと、電子写真感光体７の周面に目的の画像情報に対応
した静電潜像が形成される。その静電潜像は絶縁トナー
を用いた現像装置９によりトナー像として現像される。
一方、給紙部（不図示）から記録材としての転写紙Ｐが
供給されて、電子写真感光体７と、これに所定の押圧力
で当接された転写装置１０との圧接ニップ部（転写部）
Ｔに所定のタイミングにて導入され、所定の転写バイア
ス電圧が印加されて転写が行われる。
様に帯電させる。この電子写真感光体７の帯電面に対し
て、目的の画像情報の時系列電気デジタル単位信号に対
応して発光素子アレイからの露光用光Ｌによる露光を行
うと、電子写真感光体７の周面に目的の画像情報に対応
した静電潜像が形成される。その静電潜像は絶縁トナー
を用いた現像装置９によりトナー像として現像される。
一方、給紙部（不図示）から記録材としての転写紙Ｐが
供給されて、電子写真感光体７と、これに所定の押圧力
で当接された転写装置１０との圧接ニップ部（転写部）
Ｔに所定のタイミングにて導入され、所定の転写バイア
ス電圧が印加されて転写が行われる。
【００４４】トナー画像の転写をうけた転写紙Ｐは、電
子写真感光体７の面から分離され、熱定着方式等の定着
装置１１へ導入されてトナー画像の定着をうけ、画像形
成物（プリント）として装置外へ排出される。また、転
写紙Ｐに対するトナー画像転写後の電子写真感光体７表
面は、クリーニング装置１２により残留トナー等の付着
汚染物の除去をうけて清掃され、繰り返して作像に供さ
れる。
子写真感光体７の面から分離され、熱定着方式等の定着
装置１１へ導入されてトナー画像の定着をうけ、画像形
成物（プリント）として装置外へ排出される。また、転
写紙Ｐに対するトナー画像転写後の電子写真感光体７表
面は、クリーニング装置１２により残留トナー等の付着
汚染物の除去をうけて清掃され、繰り返して作像に供さ
れる。
【００４５】本発明の画像形成装置の他の例として、多
色電子写真装置の概略構成を図４に示す。
色電子写真装置の概略構成を図４に示す。
【００４６】Ｃ１〜Ｃ４は帯電装置、Ｄ１〜Ｄ４は現像
装置、Ｅ１〜Ｅ４は本発明の露光装置、Ｓ１〜Ｓ４は現
像スリーブ、Ｔ１〜Ｔ４は転写ブレード、ＴＲ１及びＴ
Ｒ２はローラ、ＴＦ１は転写ベルト、Ｐは転写紙、Ｆ１
は定着装置、７ａ〜７ｄは回転ドラム形電子写真感光体
である。露光装置Ｅ１〜Ｅ４は、図１及び図２で説明し
た発光素子を複数個基板１（図１及び図２参照）上に配
列した発光素子アレイを用いたものである。
装置、Ｅ１〜Ｅ４は本発明の露光装置、Ｓ１〜Ｓ４は現
像スリーブ、Ｔ１〜Ｔ４は転写ブレード、ＴＲ１及びＴ
Ｒ２はローラ、ＴＦ１は転写ベルト、Ｐは転写紙、Ｆ１
は定着装置、７ａ〜７ｄは回転ドラム形電子写真感光体
である。露光装置Ｅ１〜Ｅ４は、図１及び図２で説明し
た発光素子を複数個基板１（図１及び図２参照）上に配
列した発光素子アレイを用いたものである。
【００４７】転写紙Ｐは矢印方向に搬送され、ローラＴ
Ｒ１，ＴＲ２に懸架された転写ベルトＴＦ１上に導か
れ、転写ベルトＴＦ１により、電子写真感光体７ａと転
写ブレードＴ１に挟持されるように設定されたブラック
転写位置へと移動される。この時、電子写真感光体７ａ
は、ドラム状の電子写真感光体７ａの周囲に配置され
た、帯電装置Ｃ１、露光装置Ｅ１、現像装置Ｄ１の現像
スリーブＳ１による電子写真プロセスにより、所望のブ
ラックトナー画像を有していて、転写紙Ｐにこのブラッ
クトナー画像の転写が行われる。
Ｒ１，ＴＲ２に懸架された転写ベルトＴＦ１上に導か
れ、転写ベルトＴＦ１により、電子写真感光体７ａと転
写ブレードＴ１に挟持されるように設定されたブラック
転写位置へと移動される。この時、電子写真感光体７ａ
は、ドラム状の電子写真感光体７ａの周囲に配置され
た、帯電装置Ｃ１、露光装置Ｅ１、現像装置Ｄ１の現像
スリーブＳ１による電子写真プロセスにより、所望のブ
ラックトナー画像を有していて、転写紙Ｐにこのブラッ
クトナー画像の転写が行われる。
【００４８】転写紙Ｐは、転写ベルトＴＦ１により、電
子写真感光体７ｂと転写ブレードＴ２に挟持されるよう
に設定されたシアン転写位置、電子写真感光体７ｃと転
写ブレードＴ３に挟持されるように設定されたマゼンタ
転写位置、電子写真感光体７ｄと転写ブレードＴ４に挟
持されるように設定されたイエロー転写位置へと移動さ
れ、それぞれの転写位置で、ブラック転写位置と同様の
手段により、シアントナー画像、マゼンタトナー画像、
イエロートナー画像の転写が行われ、多色の転写画像が
得られる。
子写真感光体７ｂと転写ブレードＴ２に挟持されるよう
に設定されたシアン転写位置、電子写真感光体７ｃと転
写ブレードＴ３に挟持されるように設定されたマゼンタ
転写位置、電子写真感光体７ｄと転写ブレードＴ４に挟
持されるように設定されたイエロー転写位置へと移動さ
れ、それぞれの転写位置で、ブラック転写位置と同様の
手段により、シアントナー画像、マゼンタトナー画像、
イエロートナー画像の転写が行われ、多色の転写画像が
得られる。
【００４９】以上のプロセスにより、多色の転写画像が
施された転写紙Ｐは定着装置Ｆ１に供給され、転写され
た多色画像が転写紙Ｐに定着されて所望の多色画像が得
られる。
施された転写紙Ｐは定着装置Ｆ１に供給され、転写され
た多色画像が転写紙Ｐに定着されて所望の多色画像が得
られる。
【００５０】また、本発明の表示装置は、基板上にマト
リクス状に配置した本発明の発光素子を有するもので、
陰極と陽極の間に電圧を印加して画像を表示するもので
ある。
リクス状に配置した本発明の発光素子を有するもので、
陰極と陽極の間に電圧を印加して画像を表示するもので
ある。
【００５１】
【実施例】（実施例１）図１に示す構成の有機ＬＥＤ素
子を５個作成した。
子を５個作成した。
【００５２】有機ＬＥＤ素子の作成方法について説明す
る。
る。
【００５３】まず、大きさが２５×７５×１．１ｍｍの
ガラスの基板１を洗浄し、その上に１０×１０ｍｍの大
きさで等間隔に正方形の５個のパターン及び取出電極用
パターンの付いたマスクを被せてスパッタ法によってＩ
ＴＯの透明な膜を陽極層２として成膜した。
ガラスの基板１を洗浄し、その上に１０×１０ｍｍの大
きさで等間隔に正方形の５個のパターン及び取出電極用
パターンの付いたマスクを被せてスパッタ法によってＩ
ＴＯの透明な膜を陽極層２として成膜した。
【００５４】次に、正孔輸送層４としてＴＰＤを、電子
輸送層５としてＡｌｑ3 を、順次真空蒸着法により厚さ
５０ｎｍに蒸着した。
輸送層５としてＡｌｑ3 を、順次真空蒸着法により厚さ
５０ｎｍに蒸着した。
【００５５】なお、蒸着時の真空度は２〜３×１０-6Ｔ
ｏｒｒであり、成膜速度は０．２〜０．３ｎｍ／ｓとし
た。
ｏｒｒであり、成膜速度は０．２〜０．３ｎｍ／ｓとし
た。
【００５６】次に、真空中にて１１×１１ｍｍの大きさ
で等間隔に５個のパターンの付いたマスクを前記ＩＴＯ
のマスクに重なるように被せて、陰極層３としてＭｇと
Ａｇを１０：１の蒸着速度比で共蒸着し、Ｍｇ／Ａｇが
１０／１の合金を厚さ２００ｎｍに形成した。この時、
成膜速度は１ｎｍ／ｓとした。
で等間隔に５個のパターンの付いたマスクを前記ＩＴＯ
のマスクに重なるように被せて、陰極層３としてＭｇと
Ａｇを１０：１の蒸着速度比で共蒸着し、Ｍｇ／Ａｇが
１０／１の合金を厚さ２００ｎｍに形成した。この時、
成膜速度は１ｎｍ／ｓとした。
【００５７】基板１よりマスクを真空中にて外した後、
真空を破ることなくスパッタ室に基板１を移動し、Ｔａ
をターゲットとして、マグネトロン直流スパッタ法を用
いて、Ａｒ／Ｏ2 ＝５０／５０の雰囲気中にて４００Ｗ
で保護膜６を３分間成膜した。この時の膜厚は１２００
Åであり、膜充填率は９５％であった。
真空を破ることなくスパッタ室に基板１を移動し、Ｔａ
をターゲットとして、マグネトロン直流スパッタ法を用
いて、Ａｒ／Ｏ2 ＝５０／５０の雰囲気中にて４００Ｗ
で保護膜６を３分間成膜した。この時の膜厚は１２００
Åであり、膜充填率は９５％であった。
【００５８】このようにして得た５個の有機ＬＥＤ素子
について、８５％ＲＨ、７５℃にて１０００時間放置後
と放置前の発光輝度を確認したところ、初期は５Ｖ印加
時１５２ｃｄ／ｍ2だったものが１４８ｃｄ／ｍ2とな
り、発光輝度の低下はほとんど認められなかった。
について、８５％ＲＨ、７５℃にて１０００時間放置後
と放置前の発光輝度を確認したところ、初期は５Ｖ印加
時１５２ｃｄ／ｍ2だったものが１４８ｃｄ／ｍ2とな
り、発光輝度の低下はほとんど認められなかった。
【００５９】（実施例２）実施例１と同じ構成の有機Ｌ
ＥＤ素子で、保護膜６の厚さが異なるものを作製した。
保護膜６の厚さは３００Å、５００Å、７００Å、１０
００Åの４種類とし、実施例１と同様に発光輝度を確認
した。
ＥＤ素子で、保護膜６の厚さが異なるものを作製した。
保護膜６の厚さは３００Å、５００Å、７００Å、１０
００Åの４種類とし、実施例１と同様に発光輝度を確認
した。
【００６０】その結果を表１に示す。保護膜６の厚さが
３００Åのものについては発光輝度の低下が認められた
が、５００Å以上のものについてはほとんど発光輝度の
低下は認められなかった。
３００Åのものについては発光輝度の低下が認められた
が、５００Å以上のものについてはほとんど発光輝度の
低下は認められなかった。
【００６１】
【表１】
【００６２】（実施例３）実施例１と同じ構成の有機Ｌ
ＥＤ素子であるが、保護膜６を真空蒸着によって形成し
た有機ＬＥＤ素子を作製した。
ＥＤ素子であるが、保護膜６を真空蒸着によって形成し
た有機ＬＥＤ素子を作製した。
【００６３】実施例１と同様にして陰極層３までを形成
した後、保護膜６を、酸化タンタルを真空蒸着させるこ
とで形成した。まず、真空度が２×１０-6Ｔｏｒｒにな
るまで脱気した後、Ｏ2 を注入して真空度を３×１０-4
程度に調整して蒸着を行った。保護膜６の厚さは１００
０Åで、膜充填率は８０％であった。
した後、保護膜６を、酸化タンタルを真空蒸着させるこ
とで形成した。まず、真空度が２×１０-6Ｔｏｒｒにな
るまで脱気した後、Ｏ2 を注入して真空度を３×１０-4
程度に調整して蒸着を行った。保護膜６の厚さは１００
０Åで、膜充填率は８０％であった。
【００６４】得られた有機ＬＥＤ素子について、実施例
１と同様に発光輝度を確認したところ、発光輝度の低下
はほとんど認められなかった。
１と同様に発光輝度を確認したところ、発光輝度の低下
はほとんど認められなかった。
【００６５】（実施例４）図２に示す構成の有機ＬＥＤ
素子を５個作成した。
素子を５個作成した。
【００６６】基板１として、大きさが２５×７５×１ｍ
ｍのアクリル板を使用し、予めこの基板１の片面に、実
施例１と同じ保護膜６を１０００Åの厚さで成膜し、そ
の上に実施例１と同様にして有機ＬＥＤ素子と保護膜６
を形成した。
ｍのアクリル板を使用し、予めこの基板１の片面に、実
施例１と同じ保護膜６を１０００Åの厚さで成膜し、そ
の上に実施例１と同様にして有機ＬＥＤ素子と保護膜６
を形成した。
【００６７】得られた有機ＬＥＤ素子について、実施例
１と同様に発光輝度を確認したところ、初期は５Ｖ印加
時１４６ｃｄ／ｍ2だったものが１４１ｃｄ／ｍ2とな
り、発光輝度の低下は認められなかった。
１と同様に発光輝度を確認したところ、初期は５Ｖ印加
時１４６ｃｄ／ｍ2だったものが１４１ｃｄ／ｍ2とな
り、発光輝度の低下は認められなかった。
【００６８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
水分及び酸素の遮断性に優れた保護膜６によって発光素
子を保護することにより、発光素子及びそれを用いた装
置の耐久性を向上させることができるものである。
水分及び酸素の遮断性に優れた保護膜６によって発光素
子を保護することにより、発光素子及びそれを用いた装
置の耐久性を向上させることができるものである。
【図１】本発明の発光素子の一例を示す断面図である。
【図２】本発明の発光素子の他の例を示す断面図であ
る。
る。
【図３】本発明の画像形成装置の一例である電子写真装
置の概略構成図である。
置の概略構成図である。
【図４】本発明の画像形成装置の他の例である多色電子
写真装置の概略構成図である。
写真装置の概略構成図である。
１ 基板 ２ 陽極層 ３ 陰極層 ４ 正孔輸送層 ５ 電子輸送層 ６ 保護膜 ７ 電子写真感光体 ７ａ〜７ｄ 電子写真感光体 ８ 帯電装置 ９ 現像装置 １０ 転写装置 １１ 定着装置 １２ クリーニング装置 Ｃ１〜Ｃ４ 帯電装置 Ｄ１〜Ｄ４ 現像装置 Ｅ１〜Ｅ４ 露光装置 Ｆ１ 定着装置 Ｐ 転写紙 Ｓ１〜Ｓ４ 現像スリーブ Ｔ１〜Ｔ４ 転写ブレード ＴＲ１，ＴＲ２ ローラ ＴＦ１ 転写ベルト
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０５Ｂ 33/14 (72)発明者 成田 泉 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 永瀬 幸雄 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 Ｆターム(参考） 2C162 AG05 AG07 FA17 FA23 FA50 3K007 AB00 AB12 AB13 BA06 BB00 BB01 CA01 CA05 CA06 CB01 DA00 DB03 EB00 FA01 FA03
Claims (10)
- 【請求項１】 少なくとも陽極層及び陰極層と、これら
の間に挟持された１層又は複数層の有機化合物層とを有
する発光素子であって、基板上に設けられ、しかも酸化
タンタルの保護膜で覆われていることを特徴とする発光
素子。 - 【請求項２】 基板がガラスで、保護膜が発光素子上を
覆っていることを特徴とする請求項１の発光素子。 - 【請求項３】 基板が合成樹脂で、保護膜が、基板と発
光素子間に設けられていると共に、発光素子上を覆って
いることを特徴とする請求項１の発光素子。 - 【請求項４】 保護膜が５００Å以上の厚みであること
を特徴とする請求項１〜３いずれかの発光素子。 - 【請求項５】 保護膜が非晶質であることを特徴とする
請求項１〜４いずれかの発光素子。 - 【請求項６】 保護膜の膜充填率が８０％以上であるこ
とを特徴とする請求項１〜５いずれかの発光素子。 - 【請求項７】 請求項１〜６いずれかの発光素子を基板
上に複数配列した発光素子アレイを備えていることを特
徴とする発光装置。 - 【請求項８】 基板上にマトリクス状に配置された請求
項１〜６いずれかの発光素子を有することを特徴とする
表示装置。 - 【請求項９】 請求項１〜６いずれかの発光素子を基板
上に複数配列した発光素子アレイを備えていることを特
徴とする露光装置。 - 【請求項１０】 請求項９の露光装置と、該露光装置に
より露光される感光体を有することを特徴とする画像形
成装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8296499A JP2000277253A (ja) | 1999-03-26 | 1999-03-26 | 発光素子、発光装置、表示装置、露光装置及び画像形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8296499A JP2000277253A (ja) | 1999-03-26 | 1999-03-26 | 発光素子、発光装置、表示装置、露光装置及び画像形成装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000277253A true JP2000277253A (ja) | 2000-10-06 |
Family
ID=13788919
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8296499A Abandoned JP2000277253A (ja) | 1999-03-26 | 1999-03-26 | 発光素子、発光装置、表示装置、露光装置及び画像形成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000277253A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| KR20020087714A (ko) * | 2001-05-16 | 2002-11-23 | 강명구 | 가드링을 도입한 박막 유기전계발광소자 |
| WO2003050894A3 (en) * | 2001-12-13 | 2003-11-06 | Koninkl Philips Electronics Nv | Sealing structure for display devices |
| JP2003332042A (ja) * | 2002-05-16 | 2003-11-21 | Denso Corp | 有機電子デバイス素子 |
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| WO2004045253A1 (ja) * | 2002-11-11 | 2004-05-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 有機発光素子、有機発光素子の製造方法、画像形成装置、及び表示装置 |
| WO2003088370A3 (de) * | 2002-04-15 | 2004-06-17 | Schott Glas | Hermetische verkapselung von organischen elektro-optischen elementen |
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| CN114270277B (zh) * | 2019-08-23 | 2024-04-26 | 佳能株式会社 | 曝光头和图像形成装置 |
-
1999
- 1999-03-26 JP JP8296499A patent/JP2000277253A/ja not_active Abandoned
Cited By (18)
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| JP4541535B2 (ja) * | 2000-12-19 | 2010-09-08 | キヤノン株式会社 | 光ヘッド用有機発光ダイオードアレイ |
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