JP2000276599A - 表面欠陥検出装置 - Google Patents

表面欠陥検出装置

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JP2000276599A
JP2000276599A JP11084262A JP8426299A JP2000276599A JP 2000276599 A JP2000276599 A JP 2000276599A JP 11084262 A JP11084262 A JP 11084262A JP 8426299 A JP8426299 A JP 8426299A JP 2000276599 A JP2000276599 A JP 2000276599A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 明暗の変化による影響を受けにくく被検査面
上の欠陥を安定的に検出することのできる表面欠陥検出
装置を提供すること。 【解決手段】 CCDカメラ5の撮影範囲を19a,1
9b,19c,・・・と移動させながら検査領域20を
撮影して輝度データを取り込み、撮影範囲の移動量ΔY
d’に相当する記憶領域分だけ輝度データの書き込み開
始位置をシフトして不揮発性メモリ14上に輝度データ
を積算的に記憶させ、不揮発性メモリ14に積算された
輝度データを欠陥検出の解析のための元データとする。
不揮発性メモリ14には検査領域20の同じ領域の輝度
データが重複して加算されるので、外乱の影響を受けた
輝度データが積算値全体に対して占める重みが減少し、
照明やコントラストの変化を始めとする外乱の影響を排
除した適切な欠陥検出作業が可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、撮影手段によって
取り込まれた画像の輝度データを解析して被検査面上の
欠陥を検出する表面欠陥検出装置の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】画像の輝度データを解析して被検査面上
の欠陥を検出する表面欠陥検出装置としては、レーザー
ビーム等の収束光を被検査面に照射し、その反射光をセ
ンサによって検出することで欠陥の有無を検出するも
の、また、LED等の検査光で被検査面を照明してCC
Dカメラ等の撮影手段で画像を取り込み、その画像を所
定の手続きに従ってマイクロプロセッサ等で処理するこ
とにより欠陥の有無を判定するようにしたもの等が既に
多数提案されている。また、比較的広い面積に亘って欠
陥の有無を検出する必要がある場合、例えば、車両のル
ーフやボンネットの塗装面等の異常を検出するものにお
いては、レーザービームやセンサ、または、LED等の
検査光やCCDカメラ等の撮影手段を被検査面に対して
相対的に移動させながら異常の有無を検出していくもの
が一般的である。表面欠陥検出装置の使用環境に関して
言えば、必ずしも、検査専用のラインに設置されるとい
うわけではなく、他の生産ラインや作業スペース等と隣
接した場所で使用されることも多い。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】そこで問題となるの
が、外部からの光による外乱である。レーザービームや
LED等の検査光を使用した表面欠陥検出装置は、いず
れも外部からの光による干渉に弱く、他の作業スペース
に設置された蛍光灯や白熱電球からの光を受けたり、ま
た、その点灯や消灯によって被検査面に照度変化が生じ
たり、部分的な明暗比(コントラスト)が変化したりす
ると、センサやCCDカメラがその外乱を拾い、正常な
動作が妨げられるといった可能性もあった。
【0004】このような不都合を解消するための検査装
置として、例えば、特開平8−247961号公報に開
示されるように、CCDカメラ等を被検査面に対して一
定の速度で相対移動させながら連続的に撮影を行い、撮
影タイミングの異なる複数の画像から画像中の移動物を
検出し、前述した相対移動の速度から次の撮影時におけ
る移動物の位置を予測し、次の撮影時における移動物の
位置と予測位置とが一致した場合にこれを被検査面上に
実在する異常、即ち、外乱ではなく直接的に検査面に関
連した欠陥として検出するようにしたものが知られてい
る。しかし、このものは画像上の移動物の位置を予測す
るためにCCDカメラ等と被検査面との間の相対移動速
度を厳密に把握する必要があり、生産ラインが一様な速
度で稼動しないような場合、例えば、一時停止の工程を
含むタクト形式等の場合では、その欠陥検出機能が十分
に機能しなくなるといった恐れがある。
【0005】
【発明の目的】そこで、本発明の目的は、前記従来技術
の欠点を解消し、照明状態の明暗の変化による悪影響を
受けにくく、また、装置を設置した生産ラインの移動速
度が必ずしも一様でない場合であっても、被検査面の欠
陥を安定的に検出することのできる表面欠陥検出装置を
提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】図1は本発明が前記目的
を達成するために採用した手段の概略について示すクレ
ーム対応図である。本発明は、被検査面(A)と撮影手
段(B)との間の垂直離間距離を略一定に維持したまま
の状態で被検査面(A)と撮影手段(B)との間に相対
移動を生じさせる走査用移動手段(C)と、前記相対移
動の量が撮影手段(B)の撮影範囲(J)内にある間に
撮影手段(B)を繰り返し作動させて被検査面(A)の
画像を取り込む画像取り込み手段(D)と、画像取り込
み手段(D)によって画像が取り込まれる度、前回の画
像取り込み時点から今回の画像取り込み時点までの間に
生じた前記相対移動の量に基づいて、この相対移動の量
に対応する画像データ記憶手段(E)上の輝度データの
書き込み開始位置を算出するオフセット量算出手段
(F)と、オフセット量算出手段(F)で算出された書
き込み開始位置に基づき、その時点で既に画像データ記
憶手段(E)上に記憶されている輝度データに今回の撮
影で取り込まれた画像の輝度データを加算して書き込む
輝度データ書き込み手段(G)とを設けると共に、画像
解析手段(H)には、画像データ記憶手段(E)に記憶
された輝度データを解析して、設定範囲内の輝度が所定
のしきい値以上の面積に亘って検出された場合に欠陥と
して検出する欠陥検出機能を配備することにより前記目
的を達成した。被検査面(A)と撮影手段(B)との間
の相対移動の量が撮影手段(B)の撮影範囲(J)内に
ある間に撮影手段(B)が繰り返し作動する。また、輝
度データ書き込み手段(G)は、前回の画像取り込み時
点から今回の画像取り込み時点までの間に生じた相対移
動の量に対応する画像データ記憶手段(E)上の輝度デ
ータ書き込み開始位置を求め、その時点で既に画像デー
タ記憶手段(E)上に記憶されている輝度データに加算
して、今回の撮影で取り込まれた画像の輝度データを書
き込む。被検査面(A)と撮影手段(B)との間の相対
移動の量が撮影手段(B)の撮影範囲(J)内にある間
に撮影手段(B)が繰り返し作動する結果、画像データ
記憶手段(E)には、順次、相対移動の量に相当する記
憶領域の分だけ輝度データが重複して積算されていくこ
とになる。従って、輝度が低い部分、即ち、輝度データ
の値が小さい部分が被検査面(A)上の座標系を基準と
して同一位置で安定的に検出された場合には、複数回の
撮影によってその部分の値が何回積算されても、その部
分の最終的な輝度データの積算値は低い値に保たれる。
一方、輝度が高い部分、即ち、輝度データの値が大きい
部分が被検査面(A)上の座標系を基準として同一位置
で安定的に検出された場合には、その部分の値が積算さ
れる度にその部分の輝度データの値が著しく大きくな
る。更に、輝度が高い部分や低い部分が被検査面(A)
上の座標系を基準として様々な位置でランダムに検出さ
れた場合は、1回の撮影ではその輝度データの値がその
まま反映されるが、最終的に何回かの撮影と積算が繰り
返し行われる結果、このようなランダムな輝度データの
値は、前述した同一位置で安定的に検出される輝度デー
タ、つまり、常に暗い値を示す輝度データや常に明るい
値を示す輝度データによって、暗い値または明るい値の
いずれか一方に平準化される。例えば、同一個所を重複
してn回撮影し、そのうちの1回で外乱の影響を受けた
データが検出されたとすれば、この外乱によるデータが
積算値に与える影響の重みは最終的には1/nである。
つまり、前述した様々な位置でランダムに検出される輝
度データは、外乱の影響によるものであり、この外乱に
よる影響は、複数の撮影の繰り返しとそれに伴う輝度デ
ータの積算によって平準化されるので、最終的に画像デ
ータ記憶手段(E)に記録された積算データを適切なし
きい値と比較して明暗を判定することによって外乱の影
響を排除することができる。
【0007】また、撮影手段(B)によって撮影された
画像を多階調(例えば256階調)のディジタルデータ
として出力する場合は、前記輝度データ書き込み手段
(G)によって画像に微分処理を施し、画像の明暗の境
を明確に強調してから画像データ記憶手段(E)に書き
込むことにより、欠陥の検出精度を高めることができ
る。
【0008】更に、前述した微分処理を行った後に画像
に膨張処理を施すことにより、微小な欠陥部分を一層確
実に検出することができる。多階調(例えば256階
調)のディジタルデータに膨張処理を施すためには、そ
れを実施するマイクロプロセッサに強力な処理能力が要
求されるが、膨張処理を行う前の段階で前記多階調(例
えば256階調)のディジタルデータを予め二階調化し
て処理を単純化することにより、容易に膨張処理を実施
することができる。また、こうすることによって画像デ
ータ記憶手段(E)に記録される輝度データも二階調化
されるので、画像データ記憶手段(E)に必要とされる
メモリ容量も大幅に軽減することができる。
【0009】また、相対移動の向きと交差する方向に帯
状に広がって照射される複数の検査光を所定のピッチで
備えた光源を利用して装置を構成する場合、特に、光源
と撮影手段(B)との相対的な位置を固定して作業を行
うような場合には、走査用移動手段(C)による相対移
動の速度を、画像取り込み手段(D)の画像の取り込み
周期の間に生じる相対移動の量が前記所定のピッチと一
致しないように調整しておくことが望ましい。これは、
撮影手段(B)が作動するときに被検査面(A)上の座
標系を基準として常に同一位置で安定的に検査光が検出
されるのを防止し、検査光の照射によって生じる明暗の
境が誤って被検査面(A)上の欠陥として検出されるの
を防止するためである。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の一
実施形態について詳細に説明する。図2は本発明を適用
した一実施形態の表面欠陥検出装置1の構成について示
す概念図であり、一例として、車両2のルーフ塗装面3
を被検査面として塗装の欠陥を検出する場合の構造につ
いて示している。図2に示す通り、表面欠陥検出装置1
は、被検査面となるルーフ塗装面3に向けて検査光を照
射するための光源4と、撮影手段となるCCDカメラ
5、および、車両2を載置した台車6をCCDカメラ5
に対して相対移動させるための走査用駆動手段7を備
え、これらの要素は、表面欠陥検出装置1の主要部を構
成する検査用制御装置8によって駆動制御されるように
なっている。
【0011】検査用制御装置8は、画像取り込み手段,
オフセット量算出手段,輝度データ書き込み手段および
画像解析手段となるマイクロプロセッサ(以下、単にM
PUという)9を有し、該MPU9には、前述した各手
段の機能を達成するための制御プログラムを格納したR
OM10や、演算データの一時記憶等に用いられるRA
M11、および、入出力回路12を介してCCDカメラ
5から取り込まれた画像データを一時記憶するためのフ
レームメモリ13、更には、画像データ記憶手段として
の不揮発性メモリ14等がバス15を介して接続されて
いる。なお、インターフェイス回路16は、検査用制御
装置8を工場内の別のホストコンピュータに接続してデ
ータの入出力を行ったり、プリンタ等に接続してデータ
の印字出力を行ったりするためのものである。また、操
作パネル17は欠陥検出処理のための起動指令等を入力
するためのもので、データ表示用のディスプレイやキー
ボード等を必要に応じて備える。
【0012】光源4およびCCDカメラ5と走査用移動
手段7は入出力回路12を介してMPU9によって駆動
制御される。また、CCDカメラ5で撮影された画像の
輝度データは入出力回路12を介してMPU9に取り込
まれ、フレームメモリ13に一時記憶される。図2の例
では、車両2を載置した台車6を走査用移動手段7で移
動させることによって光源4およびCCDカメラ5に対
してルーフ塗装面3を相対移動させるようにしている
が、これとは逆に、車両2の側を固定して光源4および
CCDカメラ5の側を移動させる構成としてもよい。
【0013】図3は光源4を取り出してその構造を詳細
に示した図である。光源4は、多数のLED18を縦横
に密接配備して帯状に形成した複数の光源ユニット4
a,4b,4c,・・・を備える。光源4は、LED1
8を下に向けた状態で、光源ユニット4a,4b,4
c,・・・の長手方向が走査用移動手段7による台車6
の送り方向と交差するようにして、例えば図2に示すよ
うに、CCDカメラ5と共に工場内の天井等に固定して
取り付けられる。各光源ユニット4a,4b,4c,・
・・から照射される検査光4a’,4b’,4c’の例
を図2に二点鎖線で示す。
【0014】CCDカメラ5は、一回の走査によってル
ーフ塗装面3上の塗装の欠陥を検出する必要上、図2の
紙面厚み方向に重合して複数配備されているが、いずれ
のCCDカメラ5に関しても、その処理動作に関しては
同様であるので、以下の説明では、一つのCCDカメラ
5を取り上げて全体的な処理について説明する。一つの
CCDカメラ5の撮影範囲19と該CCDカメラ5によ
って走査されるルーフ塗装面3上の検査領域20との関
係について図4に示す。CCDカメラ5は、図4に示す
ように、台車6を移動させる走査用移動手段7の1回の
送り動作によってルーフ塗装面3の端から端まで相対移
動し、その間に複数回の撮影動作を実行する。
【0015】図5はCCDカメラ5によって撮影される
画像と各撮影時毎に画像データ記憶手段としての不揮発
性メモリ14に書き込まれる画像データとの関係につい
て大まかに示す概念図であり、図5(a)では各撮影タ
イミングにおけるルーフ塗装面3上の検査領域20に対
するCCDカメラ5の撮影範囲19の実位置を符号19
a,19b,19c,・・・で示し、また、図5(b)
では、各撮影タイミングに対応させて、不揮発性メモリ
14上における輝度データの書き込み位置をフレーム
1,フレーム2,フレーム3,・・・で示している。
【0016】図5(a)に示すように、一回の撮影周期
間のCCDカメラ5の相対移動量ΔYd’はCCDカメ
ラ5の撮影範囲Ydよりも小さくなるように調整されて
いる。また、CCDカメラ5によって画像が取り込まれ
る度に、前回の画像取り込み時点から今回の画像取り込
み時点までの間に生じたCCDカメラ5の相対移動の量
に基づいて、この一回の撮影周期間の相対移動量に対応
する不揮発性メモリ14の輝度データ書き込み開始位置
を求め、その時点で既に不揮発性メモリ14上に記憶さ
れている輝度データに加算して、今回撮影した画像の輝
度データを前述の書き込み開始位置から加算して書き込
むようにしているので、図5(b)に示すように、不揮
発性メモリ14上の各記憶領域、例えば、フレーム1,
フレーム2,フレーム3,・・・には、複数回の撮影デ
ータが重複して加算されることになる。
【0017】図12に本実施形態におけるCCDカメラ
5の撮影範囲19の実際の寸法とCCDカメラ5におけ
るCCDのドットの配列との関係、および、CCDのド
ットの配列と不揮発性メモリ14上における輝度データ
の記憶位置との関係について示す。
【0018】この実施形態においては、図12(a)に
示すように、CCDカメラ5の撮影範囲19の実際の
幅、つまり、CCDカメラ5の相対移動方向と直行する
向きの長さがXm(mm)、また、CCDカメラ5の撮影
範囲19の実際の長さ、要するに、CCDカメラ5の相
対移動方向に対応する撮影範囲19の長さがYm(mm)
であって、CCDカメラ5の受光面の横方向に配列され
たドットの数がXd(ドット)、また、長さ方向に配列
されたドットの数がYd(ドット)であるとする。従っ
て、ルーフ塗装面3に対するCCDカメラ5の実際の移
動量1(mm)は、CCDカメラ5の受光面上のドット数
にしてXd/Xm=Yd/Ym(ドット)の移動量に相
当する。
【0019】そして、この実施形態の場合、CCDカメ
ラ5で撮影された画像から垂直方向に1/2の割合でデ
ータを間引きすることによって奇数行のデータだけを取
り出すようにしているので、実際にCCDカメラ5から
取り出される画像の輝度データ19’の大きさは、図1
2(b)に示されるように、幅方向にXd(ドット)
分、また、長さ方向にはYd/2(ドット)分となる。
従って、CCDカメラ5の実際の移動量1(mm)は、図
12(c)の不揮発性メモリ14上におけるデータの行
数としては、最終的に、Xd/Xm/2=Yd/Ym/
2行分となる。
【0020】また、図12(c)に示すように、ルーフ
塗装面3の検査領域20の長さをLm(mm)とすると、
これに対応する不揮発性メモリ14上のデータの行数
は、Ld=Lm・(Xd/Xm)/2となり、結果的
に、不揮発性メモリ14には、幅方向にXd(列)、ま
た、長さ方向にLm・(Xd/Xm)/2(行)のデー
タを記憶するだけの記憶領域が必要になる。撮影された
画像を256階調のグレースケールのディジタルデータ
として取り出すとすれば、256階調分の色深度を8
(bit)として、不揮発性メモリ14には、Xd・Ld
・8(bit)分の記憶領域が必要である。
【0021】また、仮に、ルーフ塗装面3に対するCC
Dカメラ5の相対移動速度がVmax・V/100(mm/se
c.)、CCDカメラ5による撮影の繰り返し周期が2・
t(sec.)であるとすると、この間のCCDカメラ5の
実移動量はVmax・V/100・2・t(mm)であり、
これに対応する不揮発性メモリ14上の移動量ΔYd
は、データの行数にしてVmax・V/100・2・t・
Xd/Xm/2(行)分である。この実施形態において
は、ルーフ塗装面3に対するCCDカメラ5の相対移動
速度の最大値をVmax(mm/sec.)とし、その値にオーバ
ーライド値V(%)を乗じて実際の相対移動速度を設定
するようにしているので、CCDカメラ5の実際の相対
移動速度の値は、既に述べたようにVmax・V/100
(mm/sec.)で表される。また、撮影周期2・t(se
c.)は実質的に固定的な値であり、図14に示すよう
に、CCDカメラ5の垂直同期信号の周期t(sec.)の
2倍の値として設定されている。
【0022】MPU9は、図14に示すように、基準と
なる垂直同期信号からt(sec.)の間でCCDカメラ5
からの画像データの取り込みに関する処理を実行し、残
るt(sec.)の間に、前述した輝度データの間引き抽出
やグレースケール画像の微分処理、および、輝度データ
の加算処理等を実施する。そして、MPU9は、後述す
る欠陥検出処理により、画像データの取り込みに関する
処理と輝度データの間引き抽出およびグレースケール画
像の微分や輝度データの加算処理等を撮影周期2・t
(sec.)毎に繰り返し実行し、図5(a)に示されるよ
うに、CCDカメラ5の相対移動量ΔYd’の積算値
が、CCDカメラ5の撮影範囲Ydに達する度、つま
り、図12(c)の不揮発性メモリ14上における撮影
周期毎の相対移動量ΔYdの積算値Ycの値がYd/2
に達して1フレーム分の撮影領域に対する撮影処理が終
わる度に、この1フレーム分の撮影領域に対して表面欠
陥の有無を判定する。
【0023】不揮発性メモリ14上での画像データの書
き込み開始位置はルーフ塗装面3に対するCCDカメラ
5の相対移動量に対応してシフトするので、図5(a)お
よび図5(b)から明らかなように、各撮影タイミング
における不揮発性メモリ14上でのデータの書き込み開
始位置は、前述した不揮発性メモリ14上での相対移動
量ΔYdの積算値Ycに基づいて決めればよい。但し、
この実施形態の場合、実際には、積算値Ycの値は1フ
レーム分の撮影領域に対する判定処理が完了する度、次
の1フレームのカウントを実施するためににリセットさ
れるようになっているので、図12(c)に示すよう
に、CCDカメラ5が検査領域20上の移動を完了する
までの間継続して相対移動量ΔYdの積算を続けるもう
一つの積算値記憶レジスタYmを用意し、このレジスタ
Ymを用いて不揮発性メモリ14上でのデータの書き込
み開始位置を特定するようにしている。ある撮影タイミ
ングで撮影された画像の輝度データ19’,19”と、
これらの輝度データ19’,19”が実際に書き込まれ
る不揮発性メモリ14上の位置との関係を図12(b)
および図12(c)に実例を挙げて示す。
【0024】図6〜図8は画像取り込み手段,オフセッ
ト量算出手段,輝度データ書き込み手段および画像解析
手段となるMPU9によって実施される欠陥検出処理の
概略を示すフローチャートである。以下、これらのフロ
ーチャートを参照して機能実現手段としてのMPU9の
処理動作について詳細に説明する。
【0025】オペレータが操作パネル17を操作して欠
陥検出処理のための起動指令を入力すると、MPU9
は、まず、ステップa1の判別処理でこの操作を検出
し、光源4に電源を投入した後、オーバーライド値記憶
レジスタVに、不揮発性メモリ14に予め登録されてい
るデフォルト値(例えば50%)をセットし(ステップ
a2)、このオーバーライド値に相当する走査用移動手
段7の相対送り速度Vmax・V/100(mm/sec.)の値
を算出し、その送り速度でルーフ塗装面3に対するCC
Dカメラ5および光源4の相対送りを開始する(ステッ
プa3)。
【0026】次いで、MPU9は、CCDカメラ5およ
び光源4の現在位置がルーフ塗装面3上の検査開始位置
に到達しているか否かを判別し、達していなければ、C
CDカメラ5および光源4の現在位置が検査開始位置に
到達するまで、その送り動作を保持して送り動作を続け
る(ステップa4)。
【0027】そして、CCDカメラ5および光源4の現
在位置が検査開始位置に到達したことがステップa4の
判別処理で検出されると、画像取り込み手段としてのM
PU9は、積算値記憶レジスタYmおよび積算値記憶レ
ジスタYcの値を共に0に初期化し(ステップa5)、
経過時間計測タイマTをリスタートさせて経過時間の計
測を開始すると共に(ステップa6)、CCDカメラ5
にスナップショット指令を出力して撮影および画像の取
り込みを実施し、図12(a)に示されるように、CC
Dカメラ5で撮影された画像の輝度データP(1,1)
〜P(Xd,Yd)のうち奇数行の輝度データだけを取
り出し、その配列状態を保持したまま、各スポットの輝
度データを図12(b)に示すようにしてフレームメモ
リ13のP(1,1)〜P(Xd,Yd/2)のスポッ
トに一時記憶する(ステップa7)。なお、フレームメ
モリ13に記憶される輝度データは、結果的に、P
(1,1)〜P(Xd,Yd/2)までとなるが、ここ
で取り出すのは飽くまでCCDカメラ5の奇数行の輝度
データのみであるから、フレームメモリ13上における
P(Xd,Yd/2)のスポットの輝度データはCCD
カメラ5上におけるP(Xd,Yd)の輝度データと同
一である。
【0028】フレームメモリ13上に取り込まれた輝度
データの実例を図15(a1)に示す。図15(a1)
において白く見える3本の線4a’,4b’,4c’は
光源ユニット4a,4b,4cからの検査光、また、白
点21はルーフ塗装面3上の欠陥、例えば、傷である。
この実施形態ではCCDカメラ5から256階調のグレ
ースケールで輝度データを取り込むようにしており、白
部分の輝度の値は255またはそれに近い値であり、黒
部分の輝度の値は0またはそれに近い値である。
【0029】フレームメモリ13上に輝度データを取り
込んだMPU9は、次いで、フレームメモリ13上のP
(x,y)=P(1,1)〜P(Xd,Yd/2)の各
々のデータに微分処理を施し、明暗の輪郭を強調した微
分データP’(x,y)=P’(1,1)〜P’(X
d,Yd/2)を生成し、その値をフレームメモリ13
上に再格納する(ステップa8)。微分値を求める演算
式としては、ステップa8に示すように、P’(x,
y)=|P(x+n1,y)−P(x−n1,y)|+
|P(x,y+n2)−P(x,y−n2)|の式を利
用しており、P(x,y)の位置を基準として、幅方向
では左右に各々n1ドット離れた輝度データの輝度差を
とって微分データとする一方、長さ方向では上下に各々
n2ドット離れた輝度データの輝度差をとって、点P
(x,y)における微分データP’(x,y)とするよ
うにしている。本実施形態で採用した微分フィルタの概
念を図13に示す。図13(a)は幅方向の微分処理に
用いるフィルタ、また、図13(b)は長さ方向の微分
処理に用いるフィルタであり、本実施形態においては係
数n1の値は2、また、係数n2の値は1となってい
る。しかし、フレームメモリ13上のデータは前述した
CCDカメラ5の奇数行からのデータの取り出しによっ
て長さ方向に1/2の割合で圧縮されているので、CC
Dカメラ5で取り込んだ画像の元データを基準としてみ
れば、結果的に、n1=n2=2であることと同値であ
る。
【0030】図15(a1)の輝度データをステップa
8の処理で微分した結果を図15(b1)に示す。図1
5(b1)で黒に見える部分は微分データの値が0また
はそれに近い値を示す部分、要するに、輝度の不連続的
な変化がない部分であり、また、図15(b1)で白く
見える部分は微分データの値が255またはそれに近い
値を示す部分、要するに、輝度データの明暗の輪郭が強
調された部分22である。図15(a1)のデータに比
べて白点21の部分、つまり、ルーフ塗装面3上の欠陥
の部分が一層明確になっていることが分かる。
【0031】このようにして1回の撮影データに対する
微分処理を終え、輝度データとしての微分データをフレ
ームメモリ13に格納したMPU9は、次いで、フレー
ムメモリ13上の微分データの値を不揮発性メモリ14
に加算して記憶する輝度データ書き込み処理を実施する
(ステップa9)。この加算および記憶に関する処理
は、ステップa9および図12(c)に示す通り、不揮
発性メモリ14上の記憶位置P(1,1+Ym)〜P
(Xd,Yd/2+Ym)のP(x,y)の各々に
対してフレームメモリ13上の微分データP’(1,
1)〜P’(Xd,Yd/2)のP’(x,y)の各々
を加算することによって行われる。
【0032】欠陥検出処理を開始した直後の最初の撮影
実施時点では、不揮発性メモリ14上のデータは全て0
に初期化されており、また、積算値記憶レジスタYmの
値も0であるから、最初のステップa9の処理によっ
て、結果として、図12(c)に符号19’で示す位
置、つまり、P(1,1)〜P(Xd,Yd/2)
の位置にフレームメモリ13上の微分データP’(1,
1)〜P’(Xd,Yd/2)の値がそのまま書き込ま
れることになる。
【0033】また、2回目以降の撮影実施時点では積算
値記憶レジスタYmにCCDカメラ5の相対移動量に相
当する不揮発性メモリ14上のデータ行数が記憶されて
いるので、例えば、図12(c)に符号19”で示すよう
な位置、つまり、不揮発性メモリ14上のP(1,1
+Ym)の位置にフレームメモリ13上の微分データ
P’(1,1)の値が加算して書き込まれ、また、不揮
発性メモリ14上のP(Xd,Yd/2+Ym)の位
置にはフレームメモリ13上の微分データP’(Xd,
Yd/2)の値がそのまま書き込まれることになる。既
に述べた通り、一回の撮影周期間のCCDカメラ5の相
対移動量に対応する不揮発性メモリ14上のデータ行数
ΔYdの値はCCDカメラ5の撮影範囲に相当する不揮
発性メモリ14上のデータ行数Yd/2よりも小さいの
で、この時点では、既に、不揮発性メモリ14上のYm
+Yd/2−ΔYdの行までは、前回の撮影とそれ以前
の撮影による微分データの書き込みと加算が行われてい
ることを意味する。つまり、図12(c)に符号19”で
示される記憶領域において二重のハッチングで示される
部分に関しては、既に微分データが書き込まれており、
その各々のスポットに今回の撮影で求めたフレームメモ
リ13上の微分データP’(1,1)〜P’(Xd,Y
d/2)の値が加算して書き込まれるのである。
【0034】微分データの加算および記憶に関する処理
を終えたMPU9は、次いで、CCDカメラ5の送り速
度として設定されているオーバーライドの現在値V
(%)を読み込み、既に述べた関係式により、現時点か
ら起算して撮影周期2・t(sec.)経過後のCCDカメ
ラ5の相対移動量に対応する不揮発性メモリ14上のデ
ータ行数ΔYdの値を求め(ステップa10)、その値
を積算値記憶レジスタYmに加算することによって、次
回の撮影で得た微分データの加算および書き込みを開始
すべき不揮発性メモリ14上の記憶開始位置を求め、そ
の値を積算値記憶レジスタYmに更新記憶すると共に、
積算値記憶レジスタYcにもΔYdの値を加算する(ス
テップa11)。CCDカメラ5の送り速度となるオー
バーライド値V(%)が途中で変更されていたような場
合であっても、今後の撮影周期2・t(sec.)間の相対
移動量ΔYdの予測は常にオーバーライドの現在値V
(%)に基づいて行われるので、CCDカメラ5の相対
送り速度が変更された場合であっても、その変更操作に
関わりなく、次のデータ書き込み位置を的確に求めるこ
とができる。
【0035】次いで、MPU9は、積算値記憶レジスタ
Ycの値がCCDカメラ5の撮影範囲に相当する不揮発
性メモリ14上のデータ行数Yd/2に達しているか否
か、つまり、図5(b)に示されるような1フレーム分の
撮影が完了しているか否かを判別する(ステップa1
2)。そして、1フレーム分の撮影が終了していなけれ
ば、MPU9は、余り時間を待機した後(ステップa1
3)、ステップa12の判別処理によって1フレーム分
の撮影の完了が確認されるまでの間、前述したステップ
a6〜ステップa12の処理を繰り返し実行する。
【0036】この繰り返し処理の間に抽出される輝度デ
ータの一例を図15(a2)〜図15(a4)に時系列
で示すと共に、その各々に対応する微分データの例を図
15(b2)〜図15(b4)に示す。
【0037】そして、このような処理を繰り返し実行す
る間にステップa12の判別結果が真となって1フレー
ム分の撮影が完了したことが確認されると、MPU9
は、積算値記憶レジスタYcの値をリセットし(ステッ
プa14)、予め設定されたしきい値、例えば、230
を基準として、最近の1フレーム分の微分データを加算
記憶した不揮発性メモリ14の記憶領域、つまり、図1
2(c)に符号19”で示されるようなP(1,Ym
−ΔYd)〜P(Xd,Ym+Yd/2−ΔYd)の
データを2値化する(ステップa15)。なお、−ΔY
dは、Ymの値をステップa11の処理実行前の状態に
戻すための補正値である。
【0038】最近の1フレーム分の微分データを加算記
憶した不揮発性メモリ14の記憶領域の一例を図16
(a)に示す。
【0039】この実施形態では、画像の取り込み周期2
・t(sec.)の間にCCDカメラ5に生じる相対移動の
量ΔYdが検査光4a’,4b’,4c’間のピッチと
一致しないように調整されている。従って、各撮影周期
間にCCDカメラ5に生じる相対移動量ΔYdだけデー
タ列をシフトして不揮発性メモリ14上で図15(b
1)〜図15(b4)のデータを加算しても、言い換え
れば、白点21の位置が一致するように図15(b1)
〜図15(b4)の画像の位置を調整して図15(b
1)〜図15(b4)の画像を重ね合わせたとしても、
図16(a)に示される通り、検査光4a’,4b’,
4c’の輝度データの明暗強調部分22が完全に重複す
ることはなく、よって、検査光4a’,4b’,4c’
の影響で生じる輝度データの明暗強調部分22自体の輪
郭が加算処理によって強調されることはない。また、照
明状態の変化による撮影領域20のコントラスト変化や
近傍に配備された照明を人が横切ることによって生じる
瞬間的なコントラストの変化等もこれと同様であり、そ
の影響が常に検査領域20上の同一位置に現れることは
ないので、前述した検査光4a’,4b’,4c’の影
響による明暗強調部分22の場合と同様、複数回の撮影
と加算処理を繰り返すことによって、その影響を排除す
ることができる。
【0040】これに対し、欠陥を示す白点21の部分
は、CCDカメラ5の撮影範囲がその欠陥位置を通過す
る過程で実施される何回かの撮影、例えば、図15(b
1)〜図15(b4)の撮影により、常に不揮発性メモ
リ14上の同一位置に加算して記憶されることになるの
で、そのデータの持つ重みは更に強調され、図16
(a)に示すように、白点21の部分が一層目立つよう
になる。そこで、予め設定されたしきい値、例えば、2
30を基準として図16(a)に示されるような微分デ
ータの積算値を二階調化すると、不揮発性メモリ14上
において常時同じ位置では検出されない輝度データの明
暗強調部分22の部分は色深度230以下の黒に属する
値と識別されて背景の黒と一体化され、最終的には、図
16(b)に示すように、色深度230以上の白に属す
るデータとして、欠陥を示す白点21の部分のみが残
る。なお、この実施形態では輝度データの値が大きな部
分を明部、また、輝度データの値が小さな部分を暗部と
して扱っているが、これは飽くまで定義上の問題である
ので、輝度データの値と濃度との関係自体は前記とは逆
に定義することも可能である。
【0041】2値化処理を終えたMPU9は、次いで、
図16(b)に示されるような2値化済みの輝度データ
に対して粒子計測と面積計算に関する処理を従来と同様
にして実施し(ステップa16)、予め設定されたしき
い値以上の面積を有する白点データ21の有無を検出
し、しきい値以上の面積を有する白点データ21が存在
すれば、その位置をルーフ塗装面3上の表面欠陥位置と
して不揮発性メモリ14の欠陥位置記憶ファイルに記憶
する(ステップa17)。
【0042】次いで、MPU9は、積算値記憶レジスタ
Ymの値が検査領域20の全長に相当する不揮発性メモ
リ14上のデータ行数Ldに達しているか否か、即ち、
ルーフ塗装面3の検査領域20の全ての部分に対して欠
陥検出処理が完了しているか否かを判別する(ステップ
a18)。前述した通り、Ldの値はLd=Lm・(X
d/Xm)/2である。
【0043】そして、検査領域20の全長に亘る欠陥検
出処理が完了していなければ、MPU9は、余り時間を
待機した後(ステップa19)、前述したステップa6
〜ステップa18の処理を繰り返し実行し、撮影周期2
・t(sec.)毎にCCDカメラ5を起動して画像取り込
み等の処理を行い、1フレーム分の撮影領域に対する撮
影処理が終わる度に、その1フレーム分の撮影領域に対
して表面欠陥の有無を判定し、前記と同様にして不揮発
性メモリ14の欠陥位置記憶ファイルに次々と記憶して
いく。
【0044】そして、最終的にステップa18の判別結
果が真となり、検査領域20の全ての部分に対して欠陥
検出処理が完了したことが確認された段階で、MPU9
は、不揮発性メモリ14の欠陥位置記憶ファイルに記憶
されている白点データの位置と大きさ、つまり、検査領
域20上の表面欠陥に関する全てのデータを纏めて出力
する(ステップa20)。このデータはインターフェイ
ス回路16を介してプリンタ等に印字出力してもよい
し、また、ホストコンピュータ等に転送して管理させる
ようにしてもよい。
【0045】以上、一実施形態として、CCDカメラ5
を用いて取り込んだ多階調(例えば256階調)の画像
を微分処理し、撮影位置を考慮して不揮発性メモリ14
上で加算してから二階調化することにより表面欠陥を検
出するようにしたものについて述べたが、このような処
理手続きで得られる白点21の微分画像は、図15(b
1)〜図15(b4)に示されるようにその面積が小さ
く、表面欠陥検出装置1を配備したラインに大きな振動
等の外乱があるような場合には、撮影位置を考慮してこ
れらの画像を加算(重合)したとしても、必ずしも、図
15(b1)〜図15(b4)に示されるような白点2
1の位置が一致するとは限らず、最終的に、白点21を
欠陥として検出することが困難となる可能性もある。
【0046】その原因は、CCDカメラ5と検査領域2
0との間の振動によって生じる白点21の検出位置のず
れであるから、基本的には、図15(b1)〜図15
(b4)に示される微分画像の白点21に対して膨張処
理(dilate)を施してその面積を増大させることにより
対処することが可能である。
【0047】しかし、ここで問題となるのが256階調
で保存された微分画像の膨張処理である。フレームメモ
リ13に256階調で保存された640(ドット)×4
80(ドット)の微分画像に対して膨張処理を施したと
ころ、その所要時間は33.3(msec.)であった。既
に述べた通り、本実施形態においてはCCDカメラ5の
垂直同期信号の周期t(sec.)に基づいて2・t(se
c.)の周期で1サイクルの処理を実施するようにしてい
るが、ここで用いたCCDカメラ5の垂直同期信号の周
期は33.3(msec.)であるから、2・t(sec.)=
66.6(msec.)となり、この間に33.3(msec.)
を要する画像の取り込みと33.3(msec.)を要する
膨張処理を実施すると、その他の処理、例えば、輝度デ
ータの加算やデータ書き込み開始位置の演算等に関連す
る処理が実施できなくなるといった問題が発生してしま
う。
【0048】そこで、これらの不都合を解決して表面欠
陥を的確に検出すべく、第二の実施形態においては、C
CDカメラ5から取り込んだ多階調(例えば256階
調)の画像を前記と同様に微分処理した後、直ちにその
画像を2値化してデータの容量を減少させ、この2値化
された画像データに対して膨張処理を施すことによりM
PU9の実質的な処理速度を向上させて時間的な問題を
解消すると共に、膨張処理によって面積を増大させられ
た白点21を加算処理で重合させることで、表面欠陥を
的確に検出できるようにした。
【0049】この構成によれば、加算処理のために不揮
発性メモリ14に記憶される画像データも二階調とな
り、結果的に、不揮発性メモリ14に必要とされるメモ
リ容量も大幅に軽減され、また、加算処理の対象となる
データのビット数も減るので、全体的な処理速度が向上
する。
【0050】以下、図9〜図11のフローチャートを参
照して第二の実施形態におけるMPU9の処理動作につ
いて簡単に説明する。なお、ハードウェアの構成に関し
ては先に述べた実施形態と同様である。
【0051】ステップb1〜ステップb8の処理は初期
設定に関する処理やCCDカメラ5からの画像の取り込
みと画像の微分処理等に関するもので、その処理内容
は、前述した実施形態のステップa1〜ステップa8ま
での処理と同様である。従って、ここでは説明を省略す
る。前述した実施形態と同様、ステップb8の処理が終
わった段階でフレームメモリ13内には図15(b1)
に示されるような微分データの画像が生成されることに
なる。
【0052】次いで、この実施形態では、予め設定され
たしきい値(例えば30)を基準としてフレームメモリ
13内の微分データに対して2値化処理を実施し(ステ
ップb9−1)、図17(a1)に示されるような画像
を得る。しきい値を30としているので、検査光4
a’,4b’,4c’の影響で明暗の輪郭が強調された
部分22や白点21の部分に隣接する画像データも白に
属するデータとして扱われるようになり、結果的に、こ
の2値化処理によっても、図15(b1)に示されるよ
うな微分データの元画像における輪郭強調部分22や白
点21の面積が僅かに増大することになる。同時に、図
17(a1)に示されるような白点21’や21”も見
られるようになるが、これは二階調化のためのしきい値
を30に設定することによって生じたノイズであり、白
点21とは違って、実質的な表面欠陥に相当するもので
はない。
【0053】次いで、MPU9は、2値化された図17
(a1)の画像に対して公知の膨張処理を施し、輪郭強
調部分22や白点21の面積を増大させる(ステップb
9−2)。この段階で、図17(b1)に示されるよう
に、明暗強調部分22および白点21やノイズ21’,
21”が肥大した画像が得られる。膨張処理の対象とな
るデータが1ビットであるため、膨張処理に必要とされ
る所要時間は約18(msec.)と短く、図14に示され
るような処理サイクルの画像取り込みの余り時間33.
3(msec.)を用いて十分に膨張処理を実施することが
可能であり、更に膨張処理の余り時間を利用してその他
の処理、例えば、輝度データの加算やデータ書き込み開
始位置の演算等に関連する処理を実施することができ
る。
【0054】次いで、MPU9は、フレームメモリ13
上で膨張処理を施された微分データの値を不揮発性メモ
リ14に加算して記憶する輝度データ書き込み処理を実
施する(ステップb9−3)。ここで実施される加算処
理は、不揮発性メモリ14上の記憶位置P(1,1+
Ym)〜P(Xd,Yd/2+Ym)の各々のスポッ
トの輝度データとフレームメモリ13上の記憶位置P’
(1,1)〜P’(Xd,Yd/2)の各々のスポット
の輝度データとのANDをとって、不揮発性メモリ14
上の記憶位置P (1,1+Ym)〜P(Xd,Yd
/2+Ym)の各スポットにデータを書き込むことによ
って行われる。つまり、対応するスポットのデータが共
に黒(2値化された値が0)であれば結果として書き込
まれるデータは黒(値が0)となり、また、対応するス
ポットのデータが共に白(2値化された値が1)であれ
ば結果として書き込まれるデータは白(値が1)とな
る。更に、対応するスポットのデータの一方が黒で他方
が白であれば結果として書き込まれるデータは黒(値が
0)である。扱われるデータが1ビットのデータに制限
されるため、前述した実施形態におけるステップa9の
加算処理に比べ、演算処理の所要時間が短縮される。
【0055】ステップb10〜ステップb11の処理
は、CCDカメラ5の相対移動量を求めて不揮発性メモ
リ14に対するデータ書き込み開始位置を算出するため
の処理等であり、その内容は、前述した実施形態のステ
ップa10〜ステップa11までの処理と同様である。
従って、ここでは説明を省略する。
【0056】次いで、MPU9は、積算値記憶レジスタ
Ycの値がCCDカメラ5の撮影範囲に相当する不揮発
性メモリ14上のデータ行数Yd/2に達しているか否
か、つまり、図5(b)に示されるような1フレーム分の
撮影が完了しているか否かを判別するが(ステップb1
2)、1フレーム分の撮影が終了していなければ、余り
時間を待機した後(ステップb13)、前記と同様にし
てステップb6〜ステップb12の処理を繰り返し実行
する。
【0057】このような処理を繰り返し実行する間に抽
出される微分データの例を図15(b2)〜図15(b
4)に示すと共に、その各々に対応する2値化データを
図17(a2)〜図17(a4)に示し、更に、その各
々に対応する膨張処理終了後のデータを図17(b2)
〜図17(b4)に示す。
【0058】そして、このような処理を繰り返し実行す
る間にステップb12の判別結果が真となって1フレー
ム分の撮影が完了したことが確認されると、MPU9
は、積算値記憶レジスタYcの値をリセットし(ステッ
プb14)、最近の1フレーム分の微分データをAND
の処理で加算して記憶した不揮発性メモリ14の記憶領
域、つまり、図12(c)に符号19”で示されるよう
なP(1,Ym−ΔYd)〜P(Xd,Ym+Yd
/2−ΔYd)のデータを参照して粒子計測と面積計算
に関する処理を従来と同様にして実施し(ステップb1
6)、予め設定されたしきい値以上の面積を有する白点
データ21の有無を検出し、しきい値以上の面積を有す
る白点データ21が存在すれば、その位置をルーフ塗装
面3上の表面欠陥位置として、不揮発性メモリ14の欠
陥位置記憶ファイルに記憶する(ステップb17)。こ
の実施形態の場合、不揮発性メモリ14のデータは書き
込みの段階で既に2値化されているので、前述した実施
形態におけるステップa15のような2値化処理は必要
ない。
【0059】最近の1フレーム分の微分データをAND
の処理で加算して記憶した不揮発性メモリ14の記憶領
域の一例を図18に示す。前述した通り、白点21の部
分が傷等の欠陥部である。また、図17(b1)や図1
7(b2)に見られるノイズ21’,21”の形跡がな
くなっていることが分かる。これは、前述したステップ
b9−3のANDを利用した加算処理による効果であ
る。つまり、不揮発メモリ14とフレームメモリ13の
対応するスポットのデータの一方が黒で他方が白であれ
ば結果として不揮発メモリ14上に書き込まれるデータ
は黒(値が0)となるので、CCDカメラ5の撮影範囲
が欠陥位置を通過するまでの間に実施される何回かの撮
影、例えば、図17(b1)〜図17(b4)の撮影に
より、検査領域20上の同一位置つまりは不揮発性メモ
リ14上の同一位置に、欠陥部分を示す白データが常に
検出され続けない限りは、その部分のデータは最終的に
白とはされないからである。従って、撮影の都度に検査
領域20上の異なる位置で検出される明暗強調部分22
と二階調化または膨張処理の段階で生成されたノイズと
しての白点21’,21”はANDを用いた加算処理に
よって排除され、常に検査領域20上の同一位置で検出
される白点21、要するに、塗装上の傷等に起因する白
点21のみを的確に検出することができる。
【0060】次いで、MPU9は、積算値記憶レジスタ
Ymの値が検査領域20の全長に相当する不揮発性メモ
リ14上のデータ行数Ldに達しているか否か、即ち、
ルーフ塗装面3の検査領域20の全ての部分に対して欠
陥検出処理が完了しているか否かを判別するが(ステッ
プb18)、検査領域20の全長に亘る欠陥検出処理が
完了していなければ、撮影周期の余り時間を待機した後
(ステップb19)、前述したステップb6〜ステップ
b18の処理を繰り返し実行し、撮影周期2・t(se
c.)毎にCCDカメラ5を起動して画像取り込み等の処
理を行い、1フレーム分の撮影領域に対する撮影処理が
終わる度に、1フレーム分の撮影領域に対して表面欠陥
の有無を判定し、不揮発性メモリ14の欠陥位置記憶フ
ァイルに次々と記憶していく。
【0061】そして、最終的にステップb18の判別結
果が真となって検査領域20の全ての部分に対して欠陥
検出処理が完了したことが確認された段階で、MPU9
は、不揮発性メモリ14の欠陥位置記憶ファイルに記憶
されているデータ、つまり、検査領域20上の全ての表
面欠陥に関するデータを纏めて出力する(ステップb2
0)。
【0062】以上に述べたように、何れの実施形態にお
いても、CCDカメラ5を移動させながら撮影を繰り返
すことによって検査領域20上の同じ領域を複数回重複
して撮影し、不揮発性メモリ14上の同一位置、つま
り、検査領域20上の同一位置で繰り返し検出された輝
度の変化部分のみを欠陥個所として検出するようにして
いるので、複数回の撮影とそれに伴うデータの加算処理
によって、照明状態の変化による撮影領域のコントラス
ト変化等の外乱による影響が排除され、ルーフ塗装面3
上の欠陥を的確に検出することができる。
【0063】また、撮影周期間におけるCCDカメラ5
の相対移動量の予測は常にオーバーライド(V)の現在
値に基づいて行われるので、欠陥検出処理の途中で車両
2を載置したラインの送り速度が変更されたような場合
であっても、データを加算すべき不揮発性メモリ14上
の位置に狂いが生じることはなく、送り速度の変化に対
処して安定した欠陥検出作業を実施することができる。
【0064】
【発明の効果】本発明の表面欠陥検出装置は、被検査面
上の同じ領域の輝度データを部分的に重複させつつ次々
と加算して画像解析の元になる画像データを作成するよ
うにしているので、一時的な外乱による影響を受けた輝
度データが画像解析手段の判断に与える影響を低く抑え
ることができ、照明状態やコントラスト変化等の外乱が
発生した場合であっても、常に安定した欠陥検出作業を
行うことができる。
【0065】また、撮影周期毎に撮影手段の相対移動量
を求めることで次の撮影の輝度データの書き込み開始位
置を算出するようにしているので、撮影手段と被検査面
との間の相対移動速度に多少の変化が生じたような場合
であっても輝度データの取り込み作業を安定的に継続し
て画像解析の元になる画像データを作成することが可能
となり、送り速度が一定でないタクト形式等の生産ライ
ンにも適する。
【0066】更に、撮影手段で取り込んだ輝度データを
微分処理して被検査面上の明暗の境を明確にした後、そ
の微分データを膨張処理して強調してから画像データ記
憶手段に書き込むようにしているので、撮影手段と被検
査面との間に振動が生じるような環境下にあっても、こ
の振動による影響を輝度データの面積によって吸収して
的確な欠陥検出作業を行うことができる。また、撮影手
段で取り込んだ輝度データを二階調化してから膨張処理
を施すようにしているので、多階調の輝度データに対し
て直に膨張処理を施す場合に比べて大幅に処理時間が短
縮化される。この結果、撮影周期の冗長化が防止され、
全体の処理速度の低下を招くことなく、安定した欠陥検
出作業を行うことができる。また、画像データ記憶手段
に書き込まれるデータも二階調となるため、欠陥検出に
必要とされるメモリの記憶容量が大幅に節減され、しか
も、画像データ記憶手段のデータを解析する画像解析手
段の処理速度も向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明が目的を達成するために採用した手段の
概略について示すクレーム対応図である。
【図2】本発明を適用した一実施形態の表面欠陥検出装
置の構成について示す概念図である。
【図3】同実施形態の表面欠陥検出装置の光源の構造を
詳細に示す図である。
【図4】CCDカメラの撮影範囲とCCDカメラによっ
て走査されるルーフ塗装面上の検査領域との関係につい
て示す概念図である。
【図5】CCDカメラによって撮影される画像と各撮影
時毎に不揮発性メモリに書き込まれる画像データとの関
係について大まかに示す概念図である。
【図6】マイクロプロセッサによって実施される欠陥検
出処理の概略を示すフローチャートである。
【図7】欠陥検出処理の概略を示すフローチャートの続
きである。
【図8】欠陥検出処理の概略を示すフローチャートの続
きである。
【図9】他の実施形態の欠陥検出処理の概略を示すフロ
ーチャートである。
【図10】欠陥検出処理の概略を示すフローチャートの
続きである。
【図11】欠陥検出処理の概略を示すフローチャートの
続きである。
【図12】CCDカメラの撮影範囲の実際の寸法とディ
ジタルデータのドットとの関係を示す概念図で、図12
(a)はCCDカメラの撮影範囲の実際の寸法とCCD
のドットとの関係を示す図、図12(b)はCCDカメ
ラから間引きして取り込まれるディジタルデータを示す
図、図12(C)は画像データ記憶手段としての不揮発性
メモリ上の輝度データについて示す図である。
【図13】同実施形態で採用した微分フィルタの構造を
概念的に示す図で、図13(a)は幅方向の微分に用い
るフィルタ、また、図13(b)は縦軸方向の微分に用
いるフィルタある。
【図14】CCDカメラの垂直同期信号の周期と各種処
理との時間的な同期関係を示すタイミングチャートであ
る。
【図15】CCDカメラで取り込まれた輝度データと微
分データとの関係を示す図で、図15(a1)〜図15
(a4)は輝度データ、図15(b1)〜図15(b
4)は、その各々を微分して得られた微分データであ
る。
【図16】最近の1フレーム分の微分データを加算して
記憶した不揮発性メモリの記憶領域の一例とそれを2値
化して得られるデータの一例を示す図で、図16(a)は
微分前のデータ、また、図16(b)は微分後のデータで
ある。
【図17】2値化データと膨張処理を施したデータとの
関係を示す図で、図17(a1)〜図17(a4)は2
値化データ、図17(b1)〜図17(b4)は、その
各々を膨張処理して得られるデータである。
【図18】最近の1フレーム分の微分データを加算して
記憶した不揮発性メモリの記憶領域の一例を示す図であ
る。
【符号の説明】
1 表面欠陥検出装置 2 車両 3 ルーフ塗装面(被検査面) 4 光源 4a,4b,4c 光源ユニット 4a’,4b’,4c’ 検査光 5 CCDカメラ(撮影手段) 6 台車 7 走査用移動手段 8 検査用制御装置 9 マイクロプロセッサ(画像取り込み手段,オフセッ
ト量算出手段,輝度データ書き込み手段,画像解析手
段) 10 ROM 11 RAM 12 入出力回路 13 フレームメモリ 14 不揮発性メモリ(画像データ記憶手段) 15 バス 16 インターフェイス回路 17 操作パネル 18 LED 19 撮影範囲 20 検査領域 21 白点(欠陥) 22 輝度データの明暗の輪郭が強調された部分
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小野 勝一 神奈川県横浜市都筑区桜並木2番1号 ス ズキ株式会社技術研究所内 Fターム(参考) 2G051 AA89 AB07 AC15 BA10 CA04 DA06 EA08 EA12 EA14 EA16 EB01 ED12 ED15 5B057 AA02 BA15 BA19 BA21 CF02 CH08 CH11 DA03 DB02 DB08 DC04 DC22

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被検査面に向けて検査光を照射する光源
    と、検査光を照射された被検査面を撮影する撮影手段
    と、この撮影手段により撮影された画像の輝度データの
    配列を保持して記憶する画像データ記憶手段と、前記画
    像データ記憶手段に記憶された輝度データを解析して被
    検査面上の欠陥を検出する画像解析手段とを備えた表面
    欠陥検出装置であって、 前記被検査面と前記撮影手段との間の垂直離間距離を略
    一定に維持したままの状態で前記被検査面と前記撮影手
    段との間に相対移動を生じさせる走査用移動手段と、 前記相対移動の量が前記撮影手段の撮影範囲内にある間
    に前記撮影手段を繰り返し作動させて前記被検査面の画
    像を取り込む画像取り込み手段と、 前記画像取り込み手段によって画像が取り込まれる度、
    前回の画像取り込み時点から今回の画像取り込み時点ま
    での間に生じた前記相対移動の量に基づいて、この相対
    移動の量に対応する前記画像データ記憶手段上の輝度デ
    ータの書き込み開始位置を算出するオフセット量算出手
    段と、 前記オフセット量算出手段で算出された書き込み開始位
    置に基づき、その時点で既に前記画像データ記憶手段上
    に記憶されている輝度データに今回の撮影で取り込まれ
    た画像の輝度データを加算して書き込む輝度データ書き
    込み手段とを設けると共に、 前記画像解析手段には、前記画像データ記憶手段に記憶
    された輝度データを解析して、設定範囲内の輝度が所定
    のしきい値以上の面積に亘って検出された場合に欠陥と
    して検出する欠陥検出機能を配備したことを特徴とする
    表面欠陥検出装置。
  2. 【請求項2】 前記撮影手段は撮影された画像を多階調
    のディジタルデータとして出力するものであり、前記輝
    度データ書き込み手段は、前記画像を微分処理して前記
    画像データ記憶手段上に書き込むものである請求項1記
    載の表面欠陥検出装置。
  3. 【請求項3】 前記撮影手段は撮影された画像を多階調
    のディジタルデータとして出力するものであり、前記輝
    度データ書き込み手段は、前記画像を微分処理した後に
    二階調化し、更に、二階調化されたデータに対して膨張
    処理を行って前記画像データ記憶手段上に書き込むもの
    である請求項1記載の表面欠陥検出装置。
  4. 【請求項4】 前記光源と前記撮影手段との相対的な位
    置は固定され、前記光源は、前記相対移動の向きと交差
    する方向に帯状に広がって照射される複数の検査光を所
    定のピッチで有し、かつ、前記走査用移動手段による相
    対移動の速度は、前記画像取り込み手段の画像の取り込
    み周期の間に生じる相対移動の量が前記所定のピッチと
    一致しないように調整されている請求項1ないし3のい
    ずれか一項に記載の表面欠陥検出装置。
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