JP2000269316A - クリーン搬送方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 横蓋の真空チャックが不良で付加蓋が吸排気
口から離脱している状態をセンサで検出して、横蓋の真
空チャック不良を確実に検出する。 【解決手段】 側面開口を囲む吸着用環状溝を形成しか
つ底面に前記吸着用環状溝に連通した吸排気口４を有す
るボックス本体１と、該ボックス本体１への装着状態で
前記吸着用環状溝を含む空間の内外圧力差により真空吸
着されて前記開口を気密に閉成する横蓋と、吸排気口４
を内外圧力差により気密に閉成する付加蓋６と、これを
上下動自在に保持する付加蓋支持機構４０とを備えたク
リーンボックスＣＢと、付加蓋６の離脱状態を感知する
近接センサ８０を有する真空チェンジャー６０とを用
い、真空チェンジャー６０にクリーンボックスＣＢが結
合された状態で、センサ８０により付加蓋６の離脱状態
を感知し、クリーンボックスＣＢの気密封止不良を検出
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体、電子部品
関連製品、光ディスク等の製造プロセスにおいて必要な
被搬送物を、汚染物質のないクリーン気体で封止した状
態で移送することが可能で、とくに被搬送物を側面開口
より搬出、搬入する構成のクリーンボックスを用いたク
リーン搬送方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、被搬送物をクリーン気体で封止し
て搬送する装置としては、特開平６−８４７３８号公報
に記載された技術がある。但し、これは、底面開口式の
ボックスを用いるものである。

【０００３】一方、本出願人提案の特願平９−１４７２
０５号では、側面開口式のクリーンボックスを開示して
おり、図５に示すように、横蓋５で開閉されるボックス
本体１の側面開口２を囲む吸着環状溝３を形成し、これ
に連通した給排気口４を付加蓋６で閉じる構成とし、前
記給排気口４を真空排気することで吸排気路７を介して
前記吸着用環状溝３により前記横溝５を真空吸着（真空
チャック）する。

【０００４】さらに、付加蓋周辺の構造を改善するとと
もに付加蓋を開閉する機構を設けた図６の構成が、本出
願人から提案されている。図６から判るように、クリー
ンボックスＣＢのボックス本体１底面側の吸排気路７に
連通した吸排気口４を閉成するための付加蓋６は、下面
側（背面側）に係合部４５を一体化したものであり、係
合部４５は軸部４６とその下端に固着された大径部（若
しくは幅広部）４７とからなっている。そして、前記吸
排気口４を囲む（覆う）ように前記ボックス本体１にビ
ス４８で固定された固定支持部材４３にて前記付加蓋６
の軸部４６が上下方向に摺動自在に支持されている。そ
して、軸部４６の周囲にコイルばね（圧縮ばね）４９が
配設されていて、付加蓋６を吸排気口４方向に押圧付勢
している。

【０００５】また、クリーンボックスＣＢのボックス本
体１に対して横蓋を真空吸着させる目的で吸排気口４、
吸排気路７を通して横蓋吸着用の吸着環状溝内を真空排
気したり、あるいは大気圧に戻したりする真空チェンジ
ャー６０（真空排気手段を具備する）は、昇降回転軸６
２を有し、その上端にはボックス本体１側吸排気口４か
ら付加蓋６を引下げるためのチェンジャー側昇降用係合
部材としての引っ掛けアーム部材６３が固定されてい
る。この引っ掛けアーム部材６３は付加蓋６側の軸部４
６及び大径部（若しくは幅広部）４７からなる係合部４
５に係合自在となっている。この引っ掛けアーム部材６
３は、後述するように、真空チェンジャー６０の載置台
６１上にクリーンボックス本体１を載置し、付加蓋６を
含むボックス本体外側の密閉空間を真空排気して付加蓋
６の内外圧力差を無くした状態において、前記引っ掛け
アーム部材６３で付加蓋６を下降（吸排気口４から離
脱）させる動作を実行するためのものである。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、図６のクリ
ーンボックスＣＢの構成において、クリーンボックス本
体１で図５に示す横蓋５を真空吸着している場合、コイ
ルばね４９で付加蓋６を吸排気口４に押し付けているた
め、横蓋の真空チャックが正常であるか、不良であるか
にかかわらず付加蓋６がコイルばね４９で閉じた状態で
あり、真空チェンジャー６０側ではクリーンボックスの
真空チャックが正常であるか否かを判断することが出来
ない。とくに、横蓋がクリーンボックス本体から直ちに
脱落しないように機械的な脱落防止手段を併用した場合
には横蓋の真空チャックが不良となってクリーンボック
ス内部に大気がリークしていても外観からは全く判別で
きない事態となる。

【０００７】本発明は、上記の点に鑑み、付加蓋を吸排
気口方向に付勢するのをやめて、横蓋の真空チャックが
不良で付加蓋が吸排気口から離脱している状態をセンサ
で検出することで、横蓋の真空チャック不良を確実かつ
容易に検出可能としたクリーン搬送方法及び装置を提供
することを目的とする。

【０００８】本発明のその他の目的や新規な特徴は後述
の実施の形態において明らかにする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願請求項１のクリーン搬送方法は、一側面に開口
を有し、該開口を囲む吸着用環状溝を当該一側面に形成
するとともに他の面に前記吸着用環状溝に連通した吸排
気口を有するボックス本体と、該ボックス本体への装着
状態で前記吸着用環状溝を気密に覆って吸着用空間を形
成するとともに、該吸着用空間内外の圧力差により当該
ボックス本体に吸着されて前記開口を気密に閉成する横
蓋と、前記吸排気口を内外圧力差により気密に閉成する
付加蓋と、該付加蓋を前記吸排気口に対する閉成状態と
離脱状態との間で移動自在に保持する付加蓋支持機構と
を備え、排気手段及び移送手段を持たないクリーンボッ
クスを用いるとともに、前記付加蓋の離脱状態を感知す
るセンサを有する真空チェンジャーを用い、前記真空チ
ェンジャーに前記クリーンボックスが結合された状態
で、前記センサにより前記付加蓋の離脱状態を感知する
ことで、前記クリーンボックスの気密封止不良を検出す
ることを特徴としている。

【００１０】本願請求項２のクリーン搬送方法は、一側
面に開口を有し、該開口を囲む吸着用環状溝を当該一側
面に形成するとともに他の面に前記吸着用環状溝に連通
した吸排気口を有するボックス本体と、該ボックス本体
への装着状態で前記吸着用環状溝を気密に覆って吸着用
空間を形成するとともに、該吸着用空間内外の圧力差に
より当該ボックス本体に吸着されて前記開口を気密に閉
成する横蓋と、前記吸排気口を内外圧力差により気密に
閉成する付加蓋と、該付加蓋を前記吸排気口に対する閉
成状態と離脱状態との間で移動自在に保持する付加蓋支
持機構とを備え、排気手段及び移送手段を持たないクリ
ーンボックスを用いるとともに、前記付加蓋の離脱状態
を感知するセンサを有する真空チェンジャーを用い、側
壁面に形成されたゲート口をゲート弁で気密に閉成した
クリーン装置の当該ゲート口に、前記クリーンボックス
を気密に連結し、前記センサで前記付加蓋の離脱状態が
感知されなければ、前記真空チェンジャーで前記付加蓋
を含むボックス本体外側の密閉空間を真空排気して前記
付加蓋の内外圧力差を無くし、前記前記付加蓋を前記吸
排気口より離脱させて前記吸排気口を開き、前記吸排気
口を通して前記吸着用空間を大気圧とした後、前記ゲー
ト弁で前記横蓋を保持して前記クリーン装置内に引き込
んで前記クリーンボックス内部空間と前記クリーン装置
内部とを連通させ、両者間で被搬送物を移送することを
特徴としている。

【００１１】本願請求項３のクリーン搬送方法は、請求
項２において、前記横蓋を開く前において前記センサで
前記付加蓋の離脱状態が感知されたときは、前記クリー
ンボックスの気密封止不良として前記真空チェンジャー
は前記付加蓋を含むボックス本体外側の密閉空間の真空
排気を行わないことを特徴としている。

【００１２】本願請求項４のクリーン搬送方法は、請求
項２又は３において、前記クリーンボックス内部空間と
前記クリーン装置内部とを連通させた状態から前記ゲー
ト弁で前記横蓋を保持して前記開口を気密に閉成した
後、前記付加蓋の前記吸排気口よりの離脱状態にて前記
真空チェンジャーで前記吸排気口を通して前記吸着用空
間を真空排気し、その後前記付加蓋で前記吸排気口を気
密に閉成するとともに前記付加蓋を含むボックス本体外
側の密閉空間を大気圧とする構成である。

【００１３】本願請求項５のクリーン搬送装置は、一側
面に開口を有し、該開口を囲む吸着用環状溝を当該一側
面に形成するとともに他の面に前記吸着用環状溝に連通
した吸排気口を有するボックス本体と、該ボックス本体
への装着状態で前記吸着用環状溝を気密に覆って吸着用
空間を形成するとともに、該吸着用空間内外の圧力差に
より当該ボックス本体に吸着されて前記開口を気密に閉
成する横蓋と、前記吸排気口を内外圧力差により気密に
閉成する付加蓋と、該付加蓋を前記吸排気口に対する閉
成状態と離脱状態との間で移動自在に保持する付加蓋支
持機構とを備え、排気手段及び移送手段を持たないクリ
ーンボックスと、側壁面に形成されたゲート口と、該ゲ
ート口を開閉自在で当該ゲート口に連結されたクリーン
ボックスの横蓋を保持可能なゲート弁とを有するクリー
ン装置と、前記付加蓋の離脱状態を感知するセンサと、
前記ゲート口に連結されたクリーンボックスの付加蓋を
含むボックス本体外側の密閉空間を真空排気する真空排
気手段とを有する真空チェンジャーとを備え、前記セン
サにより前記付加蓋の離脱状態を感知することで、前記
クリーンボックスの気密封止不良を検出することを特徴
としている。

【００１４】本願請求項６のクリーン搬送装置は、請求
項５において、前記センサで前記付加蓋の離脱状態が感
知されなければ、前記真空チェンジャーの前記真空排気
手段により前記付加蓋を含むボックス本体外側の密閉空
間を真空排気し、前記センサで前記付加蓋の離脱状態が
感知されたときは、前記クリーンボックスの気密封止不
良として前記真空排気手段は動作しないことを特徴とし
ている。

【００１５】本願請求項７のクリーン搬送装置は、請求
項５又は６において、前記センサが近接センサであり、
真空チェンジャーの前記クリーンボックスを載置する載
置台に取り付けられている構成である。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るクリーン搬送
方法及び装置の実施の形態を図面に従って説明する。

【００１７】図１は本発明の実施の形態において、クリ
ーンボックスを真空チェンジャー上に載置、結合した状
態の要部拡大断面図で付加蓋が吸排気口を閉じている状
態、図２は同じく付加蓋が吸排気口から離脱している状
態である。図３はクリーンボックスの全体構成を示す正
断面図、図４はクリーン搬送方法及び装置の全体構成を
示す正断面図である。

【００１８】まず、クリーンボックスＣＢの構成につい
て説明する。クリーンボックスＣＢの全体構成を示す図
３、要部構成を示す図１及び図２において、クリーンボ
ックスＣＢは、一側面に側面開口２を有し、該側面開口
２を囲む吸着用環状溝３を当該一側面に形成するととも
に底面に吸着用環状溝３に吸排気路７を通して連通した
吸排気口４を有するボックス本体１と、ボックス本体１
への装着状態で吸着用環状溝３を気密に覆って吸着用空
間Ｓを形成するとともに、吸着用空間Ｓの内外の圧力差
により当該ボックス本体１に吸着されて側面開口２を気
密に閉成する横蓋５と、前記吸排気口４を内外圧力差に
より気密に閉成する付加蓋６と、該付加蓋６を前記吸排
気口４に対する閉成状態と離脱状態との間で移動自在に
保持する付加蓋支持機構４０とを備え、横蓋５及び付加
蓋６の閉成時にクリーン状態を維持できる気密性を有し
ていて真空排気手段及び移送手段を持たない構造であ
る。

【００１９】図１及び図２から判るように、前記吸排気
口４をボックス本体１の底面よりも引っ込んだ位置に設
けるために、ボックス本体１の底部の厚肉部分に、吸排
気路７に連通した円形凹部４１が形成され、該円形凹部
４１を覆うように偏平な上端面付円筒部材４２がビス４
８で固定され、その上端面付円筒部材４２の上端面中央
に吸排気口４が形成されている。吸排気口４を閉成する
ための付加蓋６は、下面側（背面側）に係合部４５を一
体化したものであり、係合部４５は軸部４６とその下端
部に固着された一対の大径部（若しくは幅広部）４７と
からなっている。そして、前記吸排気口４を囲む（覆
う）ように前記ボックス本体１に前記ビス４８で固定さ
れた固定支持部材４３にて前記付加蓋６の軸部４６が上
下方向に摺動自在に支持されている。つまり、付加蓋６
と一体の係合部４５と固定支持部材４３とで、付加蓋６
を吸排気口４に対する閉成状態（図１の状態）と離脱状
態（図２の状態）との間で移動自在に保持する付加蓋支
持機構を構成しており、横蓋５を外した状態又は横蓋５
の真空チャック不良の場合には付加蓋６は吸排気口４か
ら離脱して付加蓋６及びこれと一体の係合部４５の自重
で付加蓋６は吸排気口４から離脱状態となる。

【００２０】なお、クリーンボックスＣＢを載置したと
き等に係合部４５に衝撃が加わらないように、固定支持
部材４３にはガード用円筒部４４が一体に形成されてい
る。また、固定支持部材４３には通気孔４３ａが設けら
れている。

【００２１】図３のクリーンボックスの全体構成に示す
ように、前記ボックス本体１の側面開口２の周囲は側面
フランジ部１ａとなっており、前記吸着用環状溝３は側
面フランジ部１ａの横蓋対接面（横蓋接合面）を１周す
るように形成されている。吸着用環状溝３と吸排気口４
とは、ボックス本体１底部の厚肉部分の内部に形成され
た吸排気路７及び円形凹部４１の内部を通して接続され
ている。

【００２２】また、気密性確保のために、ボックス本体
１の側面フランジ部１ａに当接する横蓋５の対接面に
は、吸着用環状溝３の内周側及び外周側をそれぞれ気密
シール（気密シール）する位置に環状溝５ａが形成さ
れ、該環状溝５ａ内に気密シール（気密封止）用のＯリ
ング５ｂがそれぞれ配設されている。さらに、図１の如
く上端面付円筒部材４２のボックス本体１底面に対接す
る面に環状溝４２ａが形成され、環状溝４２ａ内に気密
シール（気密封止）用のＯリング４２ｂが配設されてい
る。前記吸排気口４の周縁部に当接する付加蓋６の対接
面にも、気密性確保のために、環状溝６ａが形成され、
該環状溝６ａ内に気密シール（気密封止）用のＯリング
６ｂが配設されている。

【００２３】なお、前記ボックス本体１内には、図３の
ように半導体ウエハー等の被搬送物１５を支えるホルダ
ー８が取り付けられている。該ホルダー８は、例えば被
搬送物１５を多数等間隔で水平状態で収納できる構造と
なっている。

【００２４】図４に示すように、クリーンルーム５０に
はクリーンボックスＣＢを用いて半導体ウエハー等の被
搬送物１５を搬入したり、クリーンボックスＣＢへ被搬
送物１５を搬出したりするために、その側壁５１にゲー
ト口（搬出入口）５２が形成されている。このゲート口
５２はゲート弁５３で開閉自在である。すなわち、ゲー
ト弁５３はその背後のゲート弁開閉機構（図示せず）に
よって図４矢印Ｐのようにゲート口５２を気密に閉じた
状態とゲート口５２を開いて被搬送物１５を搬出入可能
な状態（クリーン装置内部に引き込んだ状態）との間で
駆動されるようになっている。気密性確保のために、ゲ
ート口５２の周縁部に当接するゲート弁５３の対接面に
は、環状溝５３ａが形成され、該環状溝５３ａ内に気密
シール（気密封止）用のＯリング５３ｂが配設されてい
る。

【００２５】なお、ゲート弁５３には、クリーンボック
スＣＢ側の横蓋５を真空吸着するための吸引用凹部５９
が形成されており、さらにこの吸引用凹部５９を囲んで
環状溝５９ａが形成され、該環状溝５９ａ内に気密シー
ル（気密封止）用のＯリング５９ｂが配設されている。

【００２６】また、クリーンボックスＣＢのボックス本
体１に対して横蓋５を真空吸着させる目的で吸排気口４
を通して吸着用環状溝３内を真空排気したり、あるいは
大気圧に戻すために真空チェンジャー６０（真空排気手
段を具備する）が設けられており（通常、クリーンルー
ム５０の外側でゲート口５２の下方位置に配置されてお
り）、この真空チェンジャー６０はクリーンボックスＣ
Ｂを前記クリーンルーム５０のゲート口５２に連結可能
な高さ位置で保持するボックス保持部材としてのカップ
状載置台６１を横方向（矢印Ｒ方向）に摺動自在に有し
ている。すなわち、カップ状載置台６１は真空チェンジ
ャー６０の固定基台７０に対し横方向スライダ６７を介
して取り付けられており、クリーンルーム５０の側壁５
１に近接又は離脱することが可能となっている。

【００２７】このカップ状載置台６１には、図１及び図
２に示すように、クリーンボックスＣＢが載置されたと
きの付加蓋６の状態を検出するための近接センサ８０が
取り付け固定されている。ここでは、横蓋５のボックス
本体１に対する真空吸着、つまり真空チャックが不良で
図２のように付加蓋６と一体の係合部４５の下端部が近
接センサ８０に近接した場合を当該近接センサ８０で感
知するようにしている。

【００２８】前記カップ状載置台６１の内側中心部を上
下方向に貫通した昇降回転軸６２の上端にはボックス本
体１側吸排気口４に対して付加蓋６を強制的に下降又は
上昇させるチェンジャー側昇降用係合部材としての引っ
掛けアーム部材６３が固定されている。この引っ掛けア
ーム部材６３は、付加蓋６に一体化された軸部４６及び
一対の大径部（若しくは幅広部）４７からなる係合部４
５に係合自在（引っ掛けることが可能）であり、また昇
降回転軸６２を回転させることで係合解除が可能であ
る。

【００２９】前記カップ状載置台６１のクリーンボック
ス載置面には、これに載置、結合されたクリーンボック
スＣＢの底面を真空吸着するための吸着用環状溝６５が
形成され、この吸着用環状溝６５の内側及び外側に気密
性確保のための環状溝６１ａがそれぞれ形成され、該環
状溝６１ａ内に気密シール（気密封止）用のＯリング６
１ｂが配設されている。

【００３０】なお、図４のようにクリーンボックスＣＢ
の側面フランジ部１ａ（側面開口２の周縁部）が当接す
る側壁５１の外側対接面には、気密性確保のために、ゲ
ート口５２を囲む環状溝５１ａが形成され、該環状溝５
１ａ内に気密シール（気密封止）用のＯリング５１ｂが
配設されている。

【００３１】次に、この実施の形態の動作説明を行う。

【００３２】図３のように、半導体ウエハー等の被搬送
物１５を窒素等のクリーン気体で封止、収納したクリー
ンボックスＣＢは、側面フランジ部１ａの吸着用環状溝
３が横蓋５で気密に覆われることで形成された吸着用空
間Ｓが真空に減圧されている状態において横蓋５及び付
加蓋６が内外圧力差（吸着用環状溝３及び吸排気口４内
側が真空で、クリーンボックス外側は大気圧）により側
面開口２及び吸排気口４を気密に密閉しており、この状
態で自由に搬送、保管が可能である。このとき、付加蓋
６と一体の係合部４５と固定支持部材４３とで、付加蓋
６を吸排気口４に対する閉成状態（図１の状態）と離脱
状態（図２の状態）との間で移動自在に保持する付加蓋
支持機構を構成しているから、横蓋５を外した状態又は
横蓋５の真空チャック不良の場合に付加蓋６が吸排気口
４から離脱しても付加蓋６は固定支持部材４３にて保持
されているから、付加蓋６の紛失のおそれがなく、取り
扱いが容易となる。また、仮に吸着用環状溝３にリーク
が生じた場合、付加蓋６が吸排気口４から自重で離間状
態にあることから目視により作業者が横蓋５の真空チャ
ック不良を発見することもできる。

【００３３】クリーンボックスＣＢとクリーンルーム５
０との間で、被搬送物１５の受け渡しを行う場合、図４
の如く真空チェンジャー６０のカップ状載置台６１上に
クリーンボックスＣＢを載置、結合する。

【００３４】このとき、クリーンボックスＣＢ側の横蓋
の真空チャックが正常であれば、付加蓋６は吸排気口４
に吸着された図１の状態にあり、近接センサ８０は付加
蓋６の離脱状態を検出しない。

【００３５】一方、クリーンボックスＣＢ側の横蓋の真
空チャックが不良であれば、付加蓋６は吸排気口４から
離脱した図２の状態にあり、近接センサ８０は付加蓋６
の離脱状態を感知する。この付加蓋６の離脱状態が感知
された場合、真空チェンジャー６０はクリーンボックス
ＣＢ内部が汚染されている可能性有りとして、以後の動
作を停止して作業者にクリーンボックスＣＢの真空チャ
ック不良をアラーム等で報知する。

【００３６】前記近接センサ８０が付加蓋６の離脱状態
を感知しない場合、真空チェンジャー６０は、以後の動
作を開始し、吸着用環状溝６５を真空吸引することでカ
ップ状載置台６１に対してクリーンボックスＣＢ（ボッ
クス本体１）底面を吸着保持する。このクリーンボック
スＣＢの保持状態で、カップ状載置台６１を側壁５１に
近接させてボックス本体１の側面フランジ部１ａをゲー
ト口５２周縁部の側壁５１外側面に気密に圧接させる。
このとき、図４のように横蓋５はゲート口５２に入り込
み、ゲート口５２を密閉しているゲート弁５３に密着す
るとともに、ゲート弁５３側の吸引用凹部５９の真空吸
引を行ってゲート弁５３側でも横蓋５を吸着保持する。

【００３７】クリーンボックスＣＢで上面が密閉された
カップ状載置台６１の内部空間Ｕを真空排気し、付加蓋
６についての内外圧力差を無くし（吸排気口４の内部と
内部空間Ｕが共に真空となる）、付加蓋６及びこれと一
体の係合部４５を自重で降下させるか、あるいは、昇降
回転軸６２を回転させて引っ掛けアーム部材６３を付加
蓋６側の係合部４５に引っ掛け、昇降回転軸６２を下降
させることで、付加蓋６を強制下降させる。これによ
り、付加蓋６はボックス本体１底面側の吸排気口４から
離脱して吸排気口４を開いた状態とする。

【００３８】次いで、カップ状載置台６１の内部空間Ｕ
をクリーンな空気、窒素等のクリーン気体によりリーク
して内部空間Ｕ及びこれに連通状態となったクリーンボ
ックスＣＢ側の吸排気口４及びこれに連通した吸着用環
状溝３内部を大気圧に戻す。これにより、横蓋５の真空
吸着は解除されるから（吸着用環状溝３及びクリーンル
ーム５０内が共に大気圧となる）、横蓋５はゲート弁５
３のみに吸着保持された状態となるので、ゲート弁開閉
機構にてゲート口５２からゲート弁５３を離脱させてか
ら、下降させて被搬送物１５の搬出入のじゃまにならな
い位置とする。この結果、横蓋５はクリーンルーム５０
内に引き込まれ、ゲート口５２は開放される。この状態
では、クリーンボックスＣＢの内部とクリーンルーム５
０とが連続した空間となるから、クリーンボックスＣＢ
内のホルダー８から半導体ウエハー等の被搬送物１５を
クリーンルーム５０内部の搬送用ロボット等を用いて水
平に移送して取り出すことができる。

【００３９】逆に、横蓋５がクリーンボックスＣＢ内に
引き込まれた状態では、空になっているクリーンボック
スＣＢのホルダー８に対してクリーンルーム５０側の搬
送用ロボット等で被搬送物１５を順次水平に移送するこ
とができ、所要の枚数の被搬送物１５をクリーンボック
スＣＢに収納したら、ゲート弁開閉機構にてゲート弁５
３をゲート口５２の形成された側壁５１の内側周縁部に
圧接して、ゲート口５２を気密に閉塞するとともにゲー
ト弁５３で真空吸着されている横蓋５をボックス本体１
の側面フランジ部１ａに圧接させる。クリーンボックス
ＣＢの側面開口２が横蓋５で気密に閉塞された状態にお
いて、当初付加蓋６は開いた状態に設定されているか
ら、カップ状載置台６１の内部空間Ｕ及びこれに連通し
ているクリーンボックスＣＢ側の吸着用環状溝３内部
（吸着用空間Ｓの内部）を吸排気口４を通して真空排気
し、真空排気が完了したら昇降回転軸６２を回転させ引
っ掛けアーム部材６３と付加蓋６側係合部４５（一対の
大径部４７）とを係合させて付加蓋６を吸排気口４に圧
接させる。その後、カップ状載置台６１の内部空間Ｕを
クリーンな空気、窒素等のクリーン気体によりリークし
て内部空間Ｕを大気圧に戻すことにより、横蓋５及び付
加蓋６は、クリーンボックスＣＢ側の吸着用環状溝３及
び吸排気口４内部が真空で外部が大気圧となるため、内
外の圧力差により確実に側面開口２及び吸排気口４を気
密に封止する。それから、ゲート弁５３による横蓋５の
吸着を解除するとともに引っ掛けアーム部材６３と付加
蓋６側係合部４５（一対の大径部４７）との係合を解除
することで、図３のようにクリーンボックスＣＢのみを
自由に持ち運び可能な状態とすることができ、クリーン
ボックスＣＢを無人搬送車等で任意の位置に搬送可能で
ある。

【００４０】この実施の形態によれば、次の通りの効果
を得ることができる。

【００４１】(1) クリーンボックスＣＢのボックス本
体１の側面開口端面に、開口面以外の一面に配置した吸
排気口４を通して真空排気可能な吸着用環状溝３を形成
して、横蓋５を真空吸着する構成としており、メカニカ
ルシールの場合よりも横蓋５の密着性を高めることがで
き、被搬送物取り出し用の側面開口２を横蓋５で、吸排
気口４を付加蓋６でそれぞれ気密に閉成することができ
る。そして、真空チェンジャー６０側に近接センサ８０
を設けて、クリーンボックスＣＢ側の真空チャック不良
に起因して付加蓋６が吸排気口４から離脱状態にあるこ
とを検出可能としており、真空チャック不良により内部
が汚染された可能性のある被搬送物１５の搬出入を未然
に防止できる。このため、クリーン搬送の信頼性の向上
が可能である。

【００４２】(2) 真空チェンジャー６０のクリーンボ
ックスを載置する載置台６１に近接センサ８０を取り付
けて、付加蓋６と一体の係合部材４５の下降を感知する
ようにしており、機構が簡単で、動作が確実である。

【００４３】(3) 付加蓋６及びこれを支持する機構を
吸排気口４の周囲にコンパクトにまとめることができ、
真空チェンジャー６０側のカップ状載置台６１の内部空
間Ｕは小さくて済む。つまり、ボックス本体１底面側の
付加蓋６及び落下防止手段４０をカップ状載置台６１が
囲む必要があるが、付加蓋６及び落下防止手段４０の配
置スペースが小さいため、カップ状載置台６１の内部空
間Ｕも小さくできる。従って、クリーンボックスＣＢの
横蓋５の開閉のために内部空間Ｕを真空排気、あるいは
大気圧にリークする工程を迅速に実施できる。

【００４４】(4) 吸排気口４がボックス本体１の底面
よりも内側に引っ込んだ位置に設けられているため、ボ
ックス本体１の底面側の突出量を減じることができ、あ
わせて付加蓋６に一体化された係合部４５よりも高さの
大きなガード用円筒部４４をボックス本体１側に固定の
固定支持部材４３に設けているため、クリーンボックス
ＣＢの運搬移送時、もしくは保管時に係合部４５に外部
衝撃が加わることを防止でき、取り扱いを容易にするこ
とが可能である。

【００４５】(5) クリーンボックスＣＢが側面開口式
であるため、クリーンルーム５０にクリーンボックスＣ
Ｂを連結状態で被搬送物１５を水平方向に移送して被搬
送物１５の受け渡しができ、各種処理装置とのインター
フェースにも余分な動きが必要なくなる。

【００４６】(6) 付加蓋６は吸排気口４から離間した
状態であっても付加蓋支持機構により常に保持され、ボ
ックス本体１から脱落することがないため、真空チェン
ジャー６０側に付加蓋６を受け止める機構を設ける必要
がなくなり、付加蓋６の係合部４５に係合して付加蓋６
を上下させる昇降用係合手段を真空チェンジャー６０側
に設ければよい。このため、真空チェンジャー６０の機
構の簡素化が可能である。

【００４７】なお、クリーンボックスとして横蓋の脱落
防止手段を併用したものの場合、前記横蓋をゲート弁で
吸着して外す前に横蓋と脱落防止手段との係合を解除し
ておけば、上記実施の形態と全く同様な動作で被搬送物
のクリーン搬送が可能である。

【００４８】また、クリーンルーム５０のゲート口５２
をゲート弁５３で開閉する機構は、その目的を達成する
ために多様な構成を適宜採用することができる。

【００４９】以上本発明の実施の形態について説明して
きたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記
載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当
業者には自明であろう。

【００５０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るクリ
ーン搬送方法及び装置によれば、クリーンボックスの真
空チャック不良に起因する付加蓋の吸排気口からの離脱
状態を真空チェンジャー側に設けたセンサで感知でき、
クリーンボックス内部の被搬送物が汚染されている可能
性があることを認識可能である。このため、真空チャッ
ク不良のクリーンボックスについては被搬送物の搬出入
を行わないことで、クリーン搬送の信頼性の向上を図る
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態であって、クリーンボック
スを真空チェンジャー上に載置した状態で、クリーンボ
ックス側の真空チャックが正常のときの要部拡大断面図
である。

【図２】同じくクリーンボックス側の真空チャックが不
良のときの要部拡大断面図である。

【図３】分離状態のクリーンボックスを示す正断面図で
ある。

【図４】本発明の実施の形態において、クリーンボック
スを真空チェンジャー上に載置し、クリーンボックスと
クリーンルームとを連結する段階を示す正断面図であ
る。

【図５】本出願人提案の従来のクリーン気体封止タイプ
のクリーンボックスを示す正断面図である。

【図６】本出願人提案の従来のクリーンボックスにおけ
る付加蓋周辺の機構を示す拡大断面図である。

【符号の説明】

１ ボックス本体 ２ 側面開口 ３ 吸着用環状溝 ４ 吸排気口 ５ 横蓋 ６ 付加蓋 ７ 吸排気路 １５ 被搬送物 ６０ 真空チェンジャー ４１ 円形凹部 ４２ 上端面付円筒部材 ４３ 固定支持部材 ４５ 係合部 ４６ 軸部 ４７ 大径部（若しくは幅広部） ５０ クリーンルーム ５１ 側壁 ５２ ゲート口 ５３ ゲート弁 ６０ 真空チェンジャー ６１ カップ状載置台 ６２ 昇降回転軸 ６３ 引っ掛けアーム部材 ＣＢ クリーンボックス

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一側面に開口を有し、該開口を囲む吸着
   用環状溝を当該一側面に形成するとともに他の面に前記
   吸着用環状溝に連通した吸排気口を有するボックス本体
   と、該ボックス本体への装着状態で前記吸着用環状溝を
   気密に覆って吸着用空間を形成するとともに、該吸着用
   空間内外の圧力差により当該ボックス本体に吸着されて
   前記開口を気密に閉成する横蓋と、前記吸排気口を内外
   圧力差により気密に閉成する付加蓋と、該付加蓋を前記
   吸排気口に対する閉成状態と離脱状態との間で移動自在
   に保持する付加蓋支持機構とを備え、排気手段及び移送
   手段を持たないクリーンボックスを用いるとともに、前
   記付加蓋の離脱状態を感知するセンサを有する真空チェ
   ンジャーを用い、 前記真空チェンジャーに前記クリーンボックスが結合さ
   れた状態で、前記センサにより前記付加蓋の離脱状態を
   感知することで、前記クリーンボックスの気密封止不良
   を検出することを特徴とするクリーン搬送方法。
2. 【請求項２】 一側面に開口を有し、該開口を囲む吸着
   用環状溝を当該一側面に形成するとともに他の面に前記
   吸着用環状溝に連通した吸排気口を有するボックス本体
   と、該ボックス本体への装着状態で前記吸着用環状溝を
   気密に覆って吸着用空間を形成するとともに、該吸着用
   空間内外の圧力差により当該ボックス本体に吸着されて
   前記開口を気密に閉成する横蓋と、前記吸排気口を内外
   圧力差により気密に閉成する付加蓋と、該付加蓋を前記
   吸排気口に対する閉成状態と離脱状態との間で移動自在
   に保持する付加蓋支持機構とを備え、排気手段及び移送
   手段を持たないクリーンボックスを用いるとともに、前
   記付加蓋の離脱状態を感知するセンサを有する真空チェ
   ンジャーを用い、 側壁面に形成されたゲート口をゲート弁で気密に閉成し
   たクリーン装置の当該ゲート口に、前記クリーンボック
   スを気密に連結し、前記センサで前記付加蓋の離脱状態
   が感知されなければ、前記真空チェンジャーで前記付加
   蓋を含むボックス本体外側の密閉空間を真空排気して前
   記付加蓋の内外圧力差を無くし、前記前記付加蓋を前記
   吸排気口より離脱させて前記吸排気口を開き、前記吸排
   気口を通して前記吸着用空間を大気圧とした後、前記ゲ
   ート弁で前記横蓋を保持して前記クリーン装置内に引き
   込んで前記クリーンボックス内部空間と前記クリーン装
   置内部とを連通させ、両者間で被搬送物を移送すること
   を特徴とするクリーン搬送方法。
3. 【請求項３】 前記横蓋を開く前において前記センサで
   前記付加蓋の離脱状態が感知されたときは、前記クリー
   ンボックスの気密封止不良として前記真空チェンジャー
   は前記付加蓋を含むボックス本体外側の密閉空間の真空
   排気を行わないことを特徴とする請求項２記載のクリー
   ン搬送方法。
4. 【請求項４】 前記クリーンボックス内部空間と前記ク
   リーン装置内部とを連通させた状態から前記ゲート弁で
   前記横蓋を保持して前記開口を気密に閉成した後、前記
   付加蓋の前記吸排気口よりの離脱状態にて前記真空チェ
   ンジャーで前記吸排気口を通して前記吸着用空間を真空
   排気し、その後前記付加蓋で前記吸排気口を気密に閉成
   するとともに前記付加蓋を含むボックス本体外側の密閉
   空間を大気圧とする請求項２又は３記載のクリーン搬送
   方法。
5. 【請求項５】 一側面に開口を有し、該開口を囲む吸着
   用環状溝を当該一側面に形成するとともに他の面に前記
   吸着用環状溝に連通した吸排気口を有するボックス本体
   と、該ボックス本体への装着状態で前記吸着用環状溝を
   気密に覆って吸着用空間を形成するとともに、該吸着用
   空間内外の圧力差により当該ボックス本体に吸着されて
   前記開口を気密に閉成する横蓋と、前記吸排気口を内外
   圧力差により気密に閉成する付加蓋と、該付加蓋を前記
   吸排気口に対する閉成状態と離脱状態との間で移動自在
   に保持する付加蓋支持機構とを備え、排気手段及び移送
   手段を持たないクリーンボックスと、 側壁面に形成されたゲート口と、該ゲート口を開閉自在
   で当該ゲート口に連結されたクリーンボックスの横蓋を
   保持可能なゲート弁とを有するクリーン装置と、 前記付加蓋の離脱状態を感知するセンサと、前記ゲート
   口に連結されたクリーンボックスの付加蓋を含むボック
   ス本体外側の密閉空間を真空排気する真空排気手段とを
   有する真空チェンジャーとを備え、 前記センサにより前記付加蓋の離脱状態を感知すること
   で、前記クリーンボックスの気密封止不良を検出するこ
   とを特徴とするクリーン搬送装置。
6. 【請求項６】 前記センサで前記付加蓋の離脱状態が感
   知されなければ、前記真空チェンジャーの前記真空排気
   手段により前記付加蓋を含むボックス本体外側の密閉空
   間を真空排気し、前記センサで前記付加蓋の離脱状態が
   感知されたときは、前記クリーンボックスの気密封止不
   良として前記真空排気手段は動作しないことを特徴とす
   る請求項５記載のクリーン搬送装置。
7. 【請求項７】 前記センサは近接センサであり、真空チ
   ェンジャーの前記クリーンボックスを載置する載置台に
   取り付けられている請求項５又は６記載のクリーン搬送
   装置。