JP2000260372A - 走査信号発生装置 - Google Patents
走査信号発生装置Info
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- JP2000260372A JP2000260372A JP11064410A JP6441099A JP2000260372A JP 2000260372 A JP2000260372 A JP 2000260372A JP 11064410 A JP11064410 A JP 11064410A JP 6441099 A JP6441099 A JP 6441099A JP 2000260372 A JP2000260372 A JP 2000260372A
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- 238000005070 sampling Methods 0.000 abstract 1
- 230000011664 signaling Effects 0.000 abstract 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 11
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 6
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】
【課題】 安定した走査信号を発生する。
【解決手段】 ロー期間、ＡＤ変換器２７はスライサ２
５を通過した信号の内、Ｔ11時点の信号のみをデジタル
信号に変換して比較器３２に送る。比較器３２はそれと
基準値とを比較し、差分に対応した信号をアップダウン
カウンタ３４に送る。ＤＡ変換器２３はアップダウンカ
ウンタ３４の出力に基づいて可変電源２２の電圧値をコ
ントロールする。ハイ期間、ＡＤ変換器２８はスライサ
２６を通過した信号の内、Ｔ21時点の信号のみをデジタ
ル信号に変換して比較器３３に送る。比較器３３はそれ
と基準値とを比較し、差分に対応した信号をアップダウ
ンカウンタ３５に送る。ＤＡ変換器２１はアップダウン
カウンタ３５の出力に基づいて可変電流源２１の電流値
をコントロールする。
５を通過した信号の内、Ｔ11時点の信号のみをデジタル
信号に変換して比較器３２に送る。比較器３２はそれと
基準値とを比較し、差分に対応した信号をアップダウン
カウンタ３４に送る。ＤＡ変換器２３はアップダウンカ
ウンタ３４の出力に基づいて可変電源２２の電圧値をコ
ントロールする。ハイ期間、ＡＤ変換器２８はスライサ
２６を通過した信号の内、Ｔ21時点の信号のみをデジタ
ル信号に変換して比較器３３に送る。比較器３３はそれ
と基準値とを比較し、差分に対応した信号をアップダウ
ンカウンタ３５に送る。ＤＡ変換器２１はアップダウン
カウンタ３５の出力に基づいて可変電流源２１の電流値
をコントロールする。
Description
【０００１】
【発明の属する分野】本発明は、安定した走査信号が発
生可能な走査信号発生装置に関する。
生可能な走査信号発生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、走査型電子顕微鏡では、電子ビ
ームにより試料上を走査し、該走査により試料から発生
した二次電子を検出し、該検出信号に基づいて試料の二
次電子像を得ている。又、電子ビーム描画装置では、電
子ビームにより被加工（描画）材料上の所定箇所を走査
して該所定箇所にパターンを描画している。
ームにより試料上を走査し、該走査により試料から発生
した二次電子を検出し、該検出信号に基づいて試料の二
次電子像を得ている。又、電子ビーム描画装置では、電
子ビームにより被加工（描画）材料上の所定箇所を走査
して該所定箇所にパターンを描画している。
【０００３】この様に、電子ビームの如き荷電粒子ビー
ムにより、試料若しくは被加工材料の如きターゲット上
を走査し、該走査に基づいてターゲット上の観察若しく
は加工等を行う荷電粒子ビーム装置が種々存在してい
る。
ムにより、試料若しくは被加工材料の如きターゲット上
を走査し、該走査に基づいてターゲット上の観察若しく
は加工等を行う荷電粒子ビーム装置が種々存在してい
る。
【０００４】さて、この様な荷電粒子ビーム装置におい
ては、荷電粒子ビームでターゲット上を走査するため
に、荷電粒子ビーム発生源とターゲットの間の荷電粒子
ビーム路上に偏向器が設けられており、この偏向器に走
査信号が供給される様に成している。
ては、荷電粒子ビームでターゲット上を走査するため
に、荷電粒子ビーム発生源とターゲットの間の荷電粒子
ビーム路上に偏向器が設けられており、この偏向器に走
査信号が供給される様に成している。
【０００５】この走査信号を発生する装置として、二つ
の方式がある。１つは、図１に示す方式で、例えば、Ｃ
ＰＵの如き制御装置１からのデジタル走査データを直接
ＤＡ変換器２によりアナログ信号に変換し、フィルタ３
及びアンプ４を介した走査信号を偏向器５に供給する方
式で、仮にデジタル方式と称す。
の方式がある。１つは、図１に示す方式で、例えば、Ｃ
ＰＵの如き制御装置１からのデジタル走査データを直接
ＤＡ変換器２によりアナログ信号に変換し、フィルタ３
及びアンプ４を介した走査信号を偏向器５に供給する方
式で、仮にデジタル方式と称す。
【０００６】他の一つは、図２，図３に示すもので、ア
ナログ方式と仮に称す。
ナログ方式と仮に称す。
【０００７】図２の走査信号発生装置は、演算増幅器
６，定電流源７，コンデンサ８，トランジスタの如きス
イッチング素子９から成り、スイッチング素子９には図
４に示す如きスイッチング信号が供給されるように成し
てある。このスイッチング信号のロー（スイッチングオ
ン）により、該ローの期間（Ｔ1）、スイッチング素子
９はオンの状態となり、コンデンサ８は電荷を放電し、
演算増幅器６の入力電圧がほぼ定電流源７の電圧に近い
電圧となるので、演算増幅器６の出力電圧は、図５に示
す様に、該入力電圧に対応した電圧Ｖ1となる。一方、
スイッチング信号のハイ（スイッチングオフ）により、
該ハイの期間（Ｔ2）、スイッチング素子９はオフの状
態となる。この期間、定電流源７による電流をＩ1、コ
ンデンサ８の容量をＣ1、演算増幅器６の出力電圧をＶ
outとすると、式（１）の関係が成り立ち、出力には電
流Ｉ1を積分した値に対応した電圧、即ち、図５の傾斜
信号Ｋが得られる。
６，定電流源７，コンデンサ８，トランジスタの如きス
イッチング素子９から成り、スイッチング素子９には図
４に示す如きスイッチング信号が供給されるように成し
てある。このスイッチング信号のロー（スイッチングオ
ン）により、該ローの期間（Ｔ1）、スイッチング素子
９はオンの状態となり、コンデンサ８は電荷を放電し、
演算増幅器６の入力電圧がほぼ定電流源７の電圧に近い
電圧となるので、演算増幅器６の出力電圧は、図５に示
す様に、該入力電圧に対応した電圧Ｖ1となる。一方、
スイッチング信号のハイ（スイッチングオフ）により、
該ハイの期間（Ｔ2）、スイッチング素子９はオフの状
態となる。この期間、定電流源７による電流をＩ1、コ
ンデンサ８の容量をＣ1、演算増幅器６の出力電圧をＶ
outとすると、式（１）の関係が成り立ち、出力には電
流Ｉ1を積分した値に対応した電圧、即ち、図５の傾斜
信号Ｋが得られる。
【０００８】
【数１】
【０００９】図３の走査信号発生装置は、演算増幅器１
０，定電圧源１１，コンデンサ１２，トランジスタの如
きスイッチング素子１３，抵抗１４から成り、スイッチ
ング素子１３には図４に示す如きスイッチング信号が供
給されるように成してある。このスイッチング信号のロ
ー（スイッチングオン）により、該ローの期間
（Ｔ 1）、スイッチング素子１３はオンの状態となり、
コンデンサ１２は電荷を放電し、演算増幅器１０の入力
電圧がほぼ定電圧源１１の電圧に近い或る電圧となるの
で、演算増幅器１０の出力電圧は、図５に示す、該入力
電圧に対応した電圧（例えば、Ｖ1）に対応した電圧と
なる。一方、スイッチング信号のハイ（スイッチングオ
フ）により、該ハイの期間、スイッチング素子１３はオ
フの状態となる。この期間、定電圧源１１による電圧
（演算増幅器１０の入力電圧に対応）をＶ in、コンデン
サ８の容量をＣ1、抵抗１４の抵抗値をＲ1、演算増幅器
６の出力電圧をＶoutとすると、式（２）の関係が成り
立ち、出力には電圧Ｖinを積分した値に対応した電圧、
即ち、図５の傾斜信号Ｋに対応した傾斜信号が得られ
る。
０，定電圧源１１，コンデンサ１２，トランジスタの如
きスイッチング素子１３，抵抗１４から成り、スイッチ
ング素子１３には図４に示す如きスイッチング信号が供
給されるように成してある。このスイッチング信号のロ
ー（スイッチングオン）により、該ローの期間
（Ｔ 1）、スイッチング素子１３はオンの状態となり、
コンデンサ１２は電荷を放電し、演算増幅器１０の入力
電圧がほぼ定電圧源１１の電圧に近い或る電圧となるの
で、演算増幅器１０の出力電圧は、図５に示す、該入力
電圧に対応した電圧（例えば、Ｖ1）に対応した電圧と
なる。一方、スイッチング信号のハイ（スイッチングオ
フ）により、該ハイの期間、スイッチング素子１３はオ
フの状態となる。この期間、定電圧源１１による電圧
（演算増幅器１０の入力電圧に対応）をＶ in、コンデン
サ８の容量をＣ1、抵抗１４の抵抗値をＲ1、演算増幅器
６の出力電圧をＶoutとすると、式（２）の関係が成り
立ち、出力には電圧Ｖinを積分した値に対応した電圧、
即ち、図５の傾斜信号Ｋに対応した傾斜信号が得られ
る。
【００１０】
【数２】
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】所で、前記デジタル方
式の走査信号発生装置は、アナログ方式に比べ、安定し
た走査信号を発生することが出来るが、ＤＡ変換器によ
り、直接、アナログ走査信号が生成されるので、ＤＡ変
換器が持つ問題点、即ち、グリッチ（ＤＡ変換時に一時
的に発生するスパイク）の発生と非直線性歪みの発生の
影響が、生成したアナログ走査信号に及ぼされてしま
う。
式の走査信号発生装置は、アナログ方式に比べ、安定し
た走査信号を発生することが出来るが、ＤＡ変換器によ
り、直接、アナログ走査信号が生成されるので、ＤＡ変
換器が持つ問題点、即ち、グリッチ（ＤＡ変換時に一時
的に発生するスパイク）の発生と非直線性歪みの発生の
影響が、生成したアナログ走査信号に及ぼされてしま
う。
【００１２】それに対し、前記アナログ方式の走査信号
発生装置は、前記デジタル方式が持つ問題点はないこと
から、例えば、マルチスキャンディスプレイ等の多くの
走査信号発生装置等に使用されている。
発生装置は、前記デジタル方式が持つ問題点はないこと
から、例えば、マルチスキャンディスプレイ等の多くの
走査信号発生装置等に使用されている。
【００１３】しかし、前記デジタル方式に比べ、発生さ
れた走査信号の安定度が劣る。即ち、前記図５に示す走
査信号において、帰線期間（Ｔ1）における電圧レベル
Ｖ１と、走査期間（Ｔ2）における傾斜信号の傾斜が安
定しない。
れた走査信号の安定度が劣る。即ち、前記図５に示す走
査信号において、帰線期間（Ｔ1）における電圧レベル
Ｖ１と、走査期間（Ｔ2）における傾斜信号の傾斜が安
定しない。
【００１４】前者の問題は、スイッチング素子９若しく
は１３がオンした時、該スイッチング素子の端子間に電
位差が生じ、その電位差がスイッチング素子自身の温度
等により変化するために発生する。
は１３がオンした時、該スイッチング素子の端子間に電
位差が生じ、その電位差がスイッチング素子自身の温度
等により変化するために発生する。
【００１５】後者の問題は、コンデンサ８若しくは１２
の静電容量がコンデンサ自身の温度等により変化するた
めに発生する。
の静電容量がコンデンサ自身の温度等により変化するた
めに発生する。
【００１６】本発明はこの様な問題を解決する新規な走
査信号発生装置を提供することを目的としたものであ
る。
査信号発生装置を提供することを目的としたものであ
る。
【００１７】
【課題を解決するための手段】 第１の発明に基づく走
査信号発生装置は、帰線期間と走査期間にそれぞれ対応
してスイッチングを行うスイッチング素子のスイッチン
グに基づいて、帰線信号と、入力信号を積分した信号に
対応した出力信号から成る走査信号を発生する演算増幅
器を備えた走査信号発生装置において、帰線期間の或る
時点の出力信号をサンプリングしてデジタル信号に変換
し、その信号と基準信号との差に基づいて、帰線期間に
おける演算増幅器の入力信号をコントロールするように
成したことを特徴とする。
査信号発生装置は、帰線期間と走査期間にそれぞれ対応
してスイッチングを行うスイッチング素子のスイッチン
グに基づいて、帰線信号と、入力信号を積分した信号に
対応した出力信号から成る走査信号を発生する演算増幅
器を備えた走査信号発生装置において、帰線期間の或る
時点の出力信号をサンプリングしてデジタル信号に変換
し、その信号と基準信号との差に基づいて、帰線期間に
おける演算増幅器の入力信号をコントロールするように
成したことを特徴とする。
【００１８】第２の発明に基づく走査信号発生装置は、
帰線期間と走査期間にそれぞれ対応してスイッチングを
行うスイッチング素子のスイッチングに基づいて、帰線
信号と、入力信号を積分した信号に対応した出力信号か
ら成る走査信号を発生する演算増幅器を備えた走査信号
発生装置において、走査期間の或る時点の出力信号をサ
ンプリングしてデジタル信号に変換し、その信号と基準
信号との差に基づいて、走査期間における演算増幅器の
入力信号をコントロールするように成したことを特徴と
する。
帰線期間と走査期間にそれぞれ対応してスイッチングを
行うスイッチング素子のスイッチングに基づいて、帰線
信号と、入力信号を積分した信号に対応した出力信号か
ら成る走査信号を発生する演算増幅器を備えた走査信号
発生装置において、走査期間の或る時点の出力信号をサ
ンプリングしてデジタル信号に変換し、その信号と基準
信号との差に基づいて、走査期間における演算増幅器の
入力信号をコントロールするように成したことを特徴と
する。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。
施の形態を詳細に説明する。
【００２０】図６は本発明に基づく走査信号発生装置の
一例を示している。図中、前記図２で使用された符号と
同一符号の付されたものは同一構成要素である。
一例を示している。図中、前記図２で使用された符号と
同一符号の付されたものは同一構成要素である。
【００２１】図中２０は可変電流源で、後述するＤＡ変
換器２１の出力によりコントロールされる電流源で、こ
の電源からの電流Ｉ２は定電流源７からの電流Ｉ１より
小さくなるように成されている。２２は後述するＤＡ変
換器２３によりコントロールされる可変電圧源で、ダイ
オード２４を介して演算増幅器６の＋入力端子に接続さ
れている。
換器２１の出力によりコントロールされる電流源で、こ
の電源からの電流Ｉ２は定電流源７からの電流Ｉ１より
小さくなるように成されている。２２は後述するＤＡ変
換器２３によりコントロールされる可変電圧源で、ダイ
オード２４を介して演算増幅器６の＋入力端子に接続さ
れている。
【００２２】２５，２６は、後述するＡＤ変換器２７，
２８によるＡＤ変換時のビット分解能が上がるように、
演算増幅器６の出力信号の内、特定レベル範囲の信号を
通過させるスライサで、前者は演算増幅器６の出力信号
の内の帰線信号レベルを中心とした上下適宜なレベル範
囲の信号を通過させ、後者は出力信号の内の傾斜信号中
のある時点での信号レベルを中心とした上下適宜なレベ
ル範囲の信号を通過させるように設定されている。２
９，３０はアンプである。
２８によるＡＤ変換時のビット分解能が上がるように、
演算増幅器６の出力信号の内、特定レベル範囲の信号を
通過させるスライサで、前者は演算増幅器６の出力信号
の内の帰線信号レベルを中心とした上下適宜なレベル範
囲の信号を通過させ、後者は出力信号の内の傾斜信号中
のある時点での信号レベルを中心とした上下適宜なレベ
ル範囲の信号を通過させるように設定されている。２
９，３０はアンプである。
【００２３】２７，２８はタイミング信号発生回路３１
からのタイミング信号に基づいて前記アンプ２９，３０
からの出力信号をサンプリングしてＡＤ変換するＡＤ変
換器である。
からのタイミング信号に基づいて前記アンプ２９，３０
からの出力信号をサンプリングしてＡＤ変換するＡＤ変
換器である。
【００２４】３２，３３は前記タイミング信号発生回路
３１からのタイミング信号に基づいて前記ＡＤ変換器２
７，２８の出力信号値と基準信号値を比較し、その差分
を出力する比較器である。
３１からのタイミング信号に基づいて前記ＡＤ変換器２
７，２８の出力信号値と基準信号値を比較し、その差分
を出力する比較器である。
【００２５】３４，３５は前記各比較器３２，３３の出
力に基づいてアップ若しくはダウンするアップダウンカ
ウンタである。該カウンタ３４の出力はＤＡ変換器２３
を介して前記可変電圧源２２をコントロールし、カウン
タ３５の出力はＤＡ変換器２１を介して前記可変電流源
２０をコントロールする。
力に基づいてアップ若しくはダウンするアップダウンカ
ウンタである。該カウンタ３４の出力はＤＡ変換器２３
を介して前記可変電圧源２２をコントロールし、カウン
タ３５の出力はＤＡ変換器２１を介して前記可変電流源
２０をコントロールする。
【００２６】この様な構成の走査信号発生装置の動作を
次に説明する。
次に説明する。
【００２７】タイミング信号発生回路３１から、前記図
４に示す如きスイッチング信号が、スイッチング素子９
に供給されている。
４に示す如きスイッチング信号が、スイッチング素子９
に供給されている。
【００２８】このスイッチング信号のロー（スイッチン
グオン）により、該ローの期間Ｔ1、スイッチング素子
９はオンの状態となり、コンデンサ８は電荷を放電し、
ダイオード２４には定電流源７からの電流Ｉ1と可変電
流源２０からの電流Ｉ2の差（Ｉ1−Ｉ2）に対応した電
流が流れる。その為、スイッチング素子９と演算増幅器
６の＋入力端子の接点Ｊａの電圧は、可変電圧源２２の
電圧値から前記ダイオード２４の順方向電圧降下（約
０．７ボルト）を差し引いた値となる。従って、演算増
幅器６の出力電圧はこの値に対応した電圧値Ｖ3とな
る。
グオン）により、該ローの期間Ｔ1、スイッチング素子
９はオンの状態となり、コンデンサ８は電荷を放電し、
ダイオード２４には定電流源７からの電流Ｉ1と可変電
流源２０からの電流Ｉ2の差（Ｉ1−Ｉ2）に対応した電
流が流れる。その為、スイッチング素子９と演算増幅器
６の＋入力端子の接点Ｊａの電圧は、可変電圧源２２の
電圧値から前記ダイオード２４の順方向電圧降下（約
０．７ボルト）を差し引いた値となる。従って、演算増
幅器６の出力電圧はこの値に対応した電圧値Ｖ3とな
る。
【００２９】さて、スライサ２５を通過した出力信号は
アンプ２９を介してＡＤ変換器２７に送られるいるが、
該ＡＤ変換器は前記タイミング信号発生回路３１からの
タイミング信号に基づいて期間Ｔ1における或る時点
（例えば、Ｔ11の時点）の出力信号のみをデジタル信号
に変換して、比較器３２に送る。該比較器３２は予め設
定されている基準電圧値Ｖ4と送られて来た電圧値Ｖ3を
比較し、その差分（Ｖ4−Ｖ3）に対応した信号をアップ
ダウンカウンタ３４に送る。ＤＡ変換器２３は該アップ
ダウンカウンタ３４の出力に基づいて前記可変電圧源２
２の電圧値をコントロールする。その結果、前記演算増
幅器６の出力電圧がＶ4になるように（図７に示す走査
信号波形の期間Ｔ1の信号Ｓ1）接点Ｊａの電圧、即ち、
該演算増幅器の入力電圧が変化する。
アンプ２９を介してＡＤ変換器２７に送られるいるが、
該ＡＤ変換器は前記タイミング信号発生回路３１からの
タイミング信号に基づいて期間Ｔ1における或る時点
（例えば、Ｔ11の時点）の出力信号のみをデジタル信号
に変換して、比較器３２に送る。該比較器３２は予め設
定されている基準電圧値Ｖ4と送られて来た電圧値Ｖ3を
比較し、その差分（Ｖ4−Ｖ3）に対応した信号をアップ
ダウンカウンタ３４に送る。ＤＡ変換器２３は該アップ
ダウンカウンタ３４の出力に基づいて前記可変電圧源２
２の電圧値をコントロールする。その結果、前記演算増
幅器６の出力電圧がＶ4になるように（図７に示す走査
信号波形の期間Ｔ1の信号Ｓ1）接点Ｊａの電圧、即ち、
該演算増幅器の入力電圧が変化する。
【００３０】一方、タイミング信号発生回路３１からの
スイッチング信号のハイ（スイッチングオフ）により、
該ハイの期間（Ｔ2）、スイッチング素子９はオフの状
態となる。すると、ダイオード２４には逆電圧が掛か
り、接点Ｊａの電位に対応している演算増幅器６の出力
電圧Ｖoutは、式（３）の関係に従って、電流Ｉ2を積分
した値に対応した電圧、即ち、傾斜信号が得られる。
スイッチング信号のハイ（スイッチングオフ）により、
該ハイの期間（Ｔ2）、スイッチング素子９はオフの状
態となる。すると、ダイオード２４には逆電圧が掛か
り、接点Ｊａの電位に対応している演算増幅器６の出力
電圧Ｖoutは、式（３）の関係に従って、電流Ｉ2を積分
した値に対応した電圧、即ち、傾斜信号が得られる。
【００３１】
【数３】
【００３２】さて、スライサ２６を通過した出力信号は
アンプ３０を介してＡＤ変換器２８に送られているが、
該ＡＤ変換器は前記タイミング信号発生回路３１からの
タイミング信号に基づいて期間Ｔ2における或る時点
（例えば、Ｔ21の時点）の出力信号のみをデジタル信号
に変換して比較器３３に送る。
アンプ３０を介してＡＤ変換器２８に送られているが、
該ＡＤ変換器は前記タイミング信号発生回路３１からの
タイミング信号に基づいて期間Ｔ2における或る時点
（例えば、Ｔ21の時点）の出力信号のみをデジタル信号
に変換して比較器３３に送る。
【００３３】該比較器３３には予め基準値Ａ0が設定さ
れている。ここで、走査信号を成す傾斜信号部の傾きＡ
は、時間の変化分をΔＴ、電圧の変化分をΔＶとする
と、Ａ＝ΔＶ／ΔＴと表される。一方、傾きＡは、可変
電流源２０からの電流をＩ2，コンデンサの容量をＣ1と
すると、Ａ＝Ｉ2／Ｃ2と表される。
れている。ここで、走査信号を成す傾斜信号部の傾きＡ
は、時間の変化分をΔＴ、電圧の変化分をΔＶとする
と、Ａ＝ΔＶ／ΔＴと表される。一方、傾きＡは、可変
電流源２０からの電流をＩ2，コンデンサの容量をＣ1と
すると、Ａ＝Ｉ2／Ｃ2と表される。
【００３４】さて、この傾斜信号が理想的なもの（基準
の傾きを維持した直線）であれば、期間Ｔ2内の何れの
時点における電圧値も或る決まった値になっている。従
って、期間Ｔ2における或る時点（例えば、Ｔ21の時
点）の理想的電圧値に対応したデジタル値を基準値Ａ0
し、サンプリングされたＴ21時点の出力電圧値のデジタ
ル値とその基準値との差分に対応した分、可変電流源２
０からの電流Ｉ2をコントロールすれば、走査信号を成
す傾斜信号の傾斜が基準のものと等しくなる。
の傾きを維持した直線）であれば、期間Ｔ2内の何れの
時点における電圧値も或る決まった値になっている。従
って、期間Ｔ2における或る時点（例えば、Ｔ21の時
点）の理想的電圧値に対応したデジタル値を基準値Ａ0
し、サンプリングされたＴ21時点の出力電圧値のデジタ
ル値とその基準値との差分に対応した分、可変電流源２
０からの電流Ｉ2をコントロールすれば、走査信号を成
す傾斜信号の傾斜が基準のものと等しくなる。
【００３５】従って、前記比較器３３に基準値Ａ0設定
しておくと、該比較器３３は設定されている基準値とＡ
Ｄ変換器２８からのデジタル変換された電圧値とを比較
し、その差分に対応した信号をアップダウンカウンタ３
５に送る。ＤＡ変換器２１は該アップダウンカウンタ３
５の出力に基づいて前記可変電流源２１の電流値をコン
トロールする。その結果、前記演算増幅器６の出力電圧
の傾斜部（図７に示す走査信号波形の期間Ｔ2の信号
Ｓ2）の傾きが所定のものとなる。
しておくと、該比較器３３は設定されている基準値とＡ
Ｄ変換器２８からのデジタル変換された電圧値とを比較
し、その差分に対応した信号をアップダウンカウンタ３
５に送る。ＤＡ変換器２１は該アップダウンカウンタ３
５の出力に基づいて前記可変電流源２１の電流値をコン
トロールする。その結果、前記演算増幅器６の出力電圧
の傾斜部（図７に示す走査信号波形の期間Ｔ2の信号
Ｓ2）の傾きが所定のものとなる。
【００３６】以上説明した様に、走査信号において、帰
線期間における電圧レベルと、走査期間における傾斜信
号の傾斜が安定する。
線期間における電圧レベルと、走査期間における傾斜信
号の傾斜が安定する。
【００３７】尚、前記例では、図２に示す走査信号発生
装置に本発明を応用したものを説明したが、他のアナロ
グ方式の走査信号発生装置（例えば、図３に示す走査信
号発生装置）にも応用可能であることは言うまでもな
い。
装置に本発明を応用したものを説明したが、他のアナロ
グ方式の走査信号発生装置（例えば、図３に示す走査信
号発生装置）にも応用可能であることは言うまでもな
い。
【図１】 従来の走査信号発生装置の一例を示してい
る。
る。
【図２】 従来の走査信号発生装置の一例を示してい
る。
る。
【図３】 従来の走査信号発生装置の一例を示してい
る。
る。
【図４】 スイッチング信号の一例を示している。
【図５】 走査信号の波形の一例を示している。
【図６】 本発明に基づく走査信号発生装置の一例を示
している。
している。
【図７】 本発明に基づく走査信号の波形例を示してい
る。
る。
６…演算増幅器 ７…電流源 ８…コンデンサ ９…スイッチング素子 ２０…可変電流源 ２１，２３…ＤＡ変換器 ２２…可変電圧源 ２４…ダイオード ２５，２６…スライサ ２７，２８…ＡＤ変換器 ２９，３０…アンプ ３１…タイミング信号発生回路 ３２，３３…比較器 ３４，３５…アップダウンカウンタ
Claims (2)
- 【請求項１】 帰線期間と走査期間にそれぞれ対応して
スイッチングを行うスイッチング素子のスイッチングに
基づいて、帰線信号と、入力信号を積分した信号に対応
した出力信号から成る走査信号を発生する演算増幅器を
備えた走査信号発生装置において、帰線期間の或る時点
の出力信号をサンプリングしてデジタル信号に変換し、
その信号と基準信号との差に基づいて、帰線期間におけ
る演算増幅器の入力信号をコントロールするように成し
たことを特徴とする走査信号発生装置。 - 【請求項２】 帰線期間と走査期間にそれぞれ対応して
スイッチングを行うスイッチング素子のスイッチングに
基づいて、帰線信号と、入力信号を積分した信号に対応
した出力信号から成る走査信号を発生する演算増幅器を
備えた走査信号発生装置において、走査期間の或る時点
の出力信号をサンプリングしてデジタル信号に変換し、
その信号と基準信号との差に基づいて、走査期間におけ
る演算増幅器の入力信号をコントロールするように成し
たことを特徴とする走査信号発生装置走査信号発生装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11064410A JP2000260372A (ja) | 1999-03-11 | 1999-03-11 | 走査信号発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11064410A JP2000260372A (ja) | 1999-03-11 | 1999-03-11 | 走査信号発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000260372A true JP2000260372A (ja) | 2000-09-22 |
Family
ID=13257516
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11064410A Withdrawn JP2000260372A (ja) | 1999-03-11 | 1999-03-11 | 走査信号発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000260372A (ja) |
-
1999
- 1999-03-11 JP JP11064410A patent/JP2000260372A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060606 |