JP2000258454A - プローブユニット - Google Patents

プローブユニット

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JP2000258454A
JP2000258454A JP11058697A JP5869799A JP2000258454A JP 2000258454 A JP2000258454 A JP 2000258454A JP 11058697 A JP11058697 A JP 11058697A JP 5869799 A JP5869799 A JP 5869799A JP 2000258454 A JP2000258454 A JP 2000258454A
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JP
Japan
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wiring
probe
probe unit
insulating substrate
surface wiring
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Pending
Application number
JP11058697A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshihiro Ishizuka
俊弘 石塚
Taketoshi Araya
竹敏 荒谷
Shigeo Kiyota
清田  茂男
Koichi Akamatsu
弘一 赤松
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
KIYOTA SEISAKUSHO KK
Fujitsu Ltd
Kiyota Manufacturing Co
Original Assignee
KIYOTA SEISAKUSHO KK
Fujitsu Ltd
Kiyota Manufacturing Co
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Publication date
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  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 高周波領域で使用した場合でも配線部分のイ
ンピーダンスが過大になることを防止できるプローブユ
ニットを提供する。 【解決手段】 複数のプローブピン1と、複数のプロー
ブピン1をソケット2を介して保持するホルダ3と、絶
縁基板5の表面に表面配線6が、裏面に裏面配線7がそ
れぞれ形成された配線板4からなり、表面配線6と裏面
配線7とが略同一寸法の帯状をして略全面で背向してお
り、それぞれ一端で各1個のプローブピンと電気的に接
続されたプローブユニットとする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、試験機や測定器に
使用されるプローブユニット、特に、高周波領域での試
験や測定に適したプローブユニットに関する。
【0002】
【従来の技術】各種デバイスの試験や測定を行う際、そ
のデバイスの外部端子等にプローブピンを接触させて給
電や信号の入出力が行われることが多い。プローブユニ
ットはこのプローブピンを所定数、そのデバイスの外部
端子の配置に合わせて配設したものであり、そのプロー
ブピンと試験機や測定器の回路ボードとを結ぶ配線を有
する。このプローブユニットの従来例を、磁気ヘッドの
試験機に使用するプローブユニットの例で、図4を参照
しながら説明する。
【0003】図4は、従来例を示す斜視図である。同図
において、図1と同じものには同一の符号を付与した。
1はプローブピン、2はソケット、13はホルダ、14
はリード線である。リード線14は一端がソケット2に
接続されてプローブピン1と導通しており、他端は磁気
ヘッド駆動用アンプを含む回路ボードの端子(図は省
略)に半田付けされる。この例では、リード線14は書
込み回路と読取り回路とに別けて2本づつ撚られてい
る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】このようなリード線を
用いたプローブユニットでは、高周波領域で使用した場
合、リード線部分のインピーダンスが過大となる、とい
う問題があった。上記の例のようにリード線を撚ること
でインピーダンスは多少低減するが、周波数が高くなる
に従って撚ることでは対応し切れなくなってきている。
また、リード線の全長を短縮すればインピーダンスを減
らすことができるが、リード線の全長を短縮することに
は試験機の構造等の関係で限度があり、全長の短縮で所
望のインピーダンスを得ることも困難になってきてい
る。
【0005】本発明は、このような問題を解決して、高
周波領域で使用した場合でも配線部分のインピーダンス
が過大になることを防止できるプローブユニットを提供
することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明においては、複数のプローブピンと、該プロ
ーブピンを保持するホルダと、配線板とを有し、該配線
板は絶縁基板と、該絶縁基板の表面に形成された帯状の
表面配線と、該表面配線と全面で背向するように該絶縁
基板の裏面に形成された帯状の裏面配線とを有し、該表
面配線と該裏面配線はそれぞれ一端で一個の該プローブ
ピンと電気的に接続されているプローブユニットとして
いる。
【0007】即ち、表面配線と裏面配線とを広い面積で
近接背向させることにより、プローブユニットの配線部
分のインピーダンスを低減させることができるから、高
周波領域で使用しても配線部分のインピーダンスが過大
になることを防止でき、このプローブユニットを使用し
た高周波領域での試験・測定の精度を維持することがで
きる。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、磁
気ヘッドの試験機に使用するプローブユニットの例で、
図1〜3を参照しながら説明する。
【0009】図1は本発明の実施例を示す斜視図であ
る。このプローブユニットは、複数のプローブピン1
と、プローブピン1と同数のソケット2と、このソケッ
ト2を介して複数のプローブピン1を保持するホルダ3
と、絶縁基板5の表面に表面配線6が、裏面に裏面配線
7がそれぞれ形成されてなる配線板4とを有する。
【0010】プローブピン1は圧縮コイルばねを内蔵し
ており(図示は省略)、接触圧により縮む。ソケット2
は導体からなり、1本のプローブピン1を着脱可能に挿
入保持する。ホルダ3は表面抵抗が106 〜1013Ω程
度の帯電しにくい絶縁体からなる。このホルダ3に、複
数のソケット2がホルダ3を貫通する形で固着されると
ともに、配線板4が、その端部がソケット2の端部に近
接する位置で、且つその裏面側の絶縁基板5が露出する
部分で、固着される。尚、ホルダ3は、プローブユニッ
トを試験機本体に固定するための取付け穴3aを備えて
おり、また、裏面配線7がホルダ3と離隔するように凹
部3bが設けられている。
【0011】絶縁基板5はガラスエポキシ樹脂、ポリイ
ミド樹脂などからなり、表面配線6及び裏面配線7は銅
箔などからなる。この表面配線6と裏面配線7とはソケ
ット2側の末端部を除いて略同一寸法の帯状をしてお
り、両者はソケット2側の末端部を除いて略全面で絶縁
基板5を介して対向している。ソケット2側の末端部で
は表面配線6と裏面配線7とは左右にずれている。裏面
配線7のソケット2側の末端部の直上表面側にはランド
8が設けられており、このランド8と裏面配線7とはス
ルーホール(図示は省略)を介して導通している。ソケ
ット2はランド8か表面配線6末端部のいずれかで電気
的に接続されている。
【0012】この例では被試験物(磁気ヘッド)の外部
接続端子(パッド)に合わせて合計4本のプローブピン
1がそれぞれソケット2に挿入されて1列に等間隔で並
んでおり、これらのソケット2側の延長方向で2本の表
面配線6が絶縁基板5を介して各1本の裏面配線7と対
向している。この対をなす配線二組の一方は書込みの、
他方は読取りのそれぞれ試験回路の一部となっている。
この部分の回路インピーダンスは、この絶縁基板5の厚
さ,対向する表面配線6と裏面配線7の幅及び長さを適
宜に選択することで、所望の値にすることができる。
【0013】表面配線6と裏面配線7の、ソケット2側
とは反対側の末端部と、試験機の磁気ヘッド駆動用アン
プを含む回路ボードとの電気的接続は、短いリード線を
半田付けすればよい。また、図2や図3に示すように、
プローブユニットに専用のプローブピンを設けてこれを
回路ボードと接触させるようにしてもよい。
【0014】図2及び図3は、本発明の他の実施例を示
す側面断面図である。両図において、9はプランジャー
であり、圧縮コイルばねを内蔵しており(図示は省
略)、接触圧により縮む。10はソケットであり、導体
からなり、1本のプランジャー9を着脱可能に挿入保持
する。11は被試験物の接触対象(パッド)、12は回
路ボードの接触対象(パッド)である。総ての表面配線
6及び裏面配線7に各1個のソケット10が電気的に接
続されている。これらのタイプのプローブユニットは、
回路ボードとの接続に半田付けを伴わないから、交換が
容易である。
【0015】本発明のプローブユニットでは表面配線6
と裏面配線7とが近接対向しているから、この部分のイ
ンピーダンスを従来のプローブユニットのリード線14
より大幅に減らして所望の値にすることができた。その
一例を次に示す。従来のプローブユニットにおける全長
40mmの2本撚りのリード線14を周波数200MH
zで使用すると、インピーダンスが44Ωとなった。こ
のリード線14は、試験対象の磁気ヘッドが組み込まれ
る磁気記憶装置において磁気ヘッドと磁気ヘッド駆動用
アンプとを繋ぐフレキシブル配線板に相当するから、リ
ード線14の部分のインピーダンスをこのフレキシブル
配線板のそれと略等しくしたいが、この例では5Ω大き
くなっている。
【0016】これに対して本発明のプローブユニットで
は、上記の絶縁基板5の厚さが0.4mm、表面配線6
と裏面配線7の対向部分の幅が1.6mm、長さが15
mmの配線板4を使用し、これに25mmの2本撚りの
リード線を加えた場合の周波数200MHzでのインピ
ーダンスは、前記フレキシブル配線板のそれと同じ39
Ωとなった。
【0017】本発明は以上の例に限定されることなく、
更に種々変形して実施することができる。例えば、プロ
ーブピンが4本以外の複数本であっても、本発明は有効
である。
【0018】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
高周波領域で使用した場合でも配線部分のインピーダン
スが過大になることを防止できるプローブユニットを提
供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施例を示す斜視図である。
【図2】 本発明の他の実施例を示す側面断面図であ
る。
【図3】 本発明の他の実施例を示す側面断面図であ
る。
【図4】 従来例を示す斜視図である。
【符号の説明】
1 プローブピン 2,10 ソケット 3,13 ホルダ 3a 取付け穴 3b 凹部 4 配線板 5 絶縁基板 6 表面配線 7 裏面配線 8 ランド 9 プランジャー 11,12 接触対象 14 リード線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 荒谷 竹敏 神奈川県川崎市中原区上小田中4丁目1番 1号 富士通株式会社内 (72)発明者 清田 茂男 東京都北区上中里2丁目32番12号 有限会 社清田製作所内 (72)発明者 赤松 弘一 東京都中野区弥生町5丁目10番12号 株式 会社キャンドックスシステムズ内 Fターム(参考) 2G011 AA15 AC32 AE22 AF02 5E077 BB12 BB31 CC22 DD12 DD14 FF21 JJ15

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数のプローブピンと、該プローブピン
    を保持するホルダと、配線板とを有し、 該配線板は絶縁基板と、該絶縁基板の表面に形成された
    帯状の表面配線と、該表面配線と全面で背向するように
    該絶縁基板の裏面に形成された帯状の裏面配線とを有
    し、 該表面配線と該裏面配線はそれぞれ一端で一個の該プロ
    ーブピンと電気的に接続されていることを特徴とするプ
    ローブユニット。
  2. 【請求項2】 前記表面配線と前記裏面配線とをそれぞ
    れ複数個有し、複数個の該表面配線がそれぞれ一個の該
    裏面配線と背向していることを特徴とする請求項1記載
    のプローブユニット。
JP11058697A 1999-03-05 1999-03-05 プローブユニット Pending JP2000258454A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006057407A1 (ja) * 2004-11-29 2006-06-01 Nhk Spring Co., Ltd. 中継部材および検査プローブ治具
JP2008177045A (ja) * 2007-01-18 2008-07-31 Fujitsu Component Ltd 平衡伝送用コネクタ及び平衡伝送用ケーブルアッセンブリ

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2006057407A1 (ja) * 2004-11-29 2006-06-01 Nhk Spring Co., Ltd. 中継部材および検査プローブ治具
JP2006153645A (ja) * 2004-11-29 2006-06-15 Nhk Spring Co Ltd 中継部材および検査プローブ治具
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