JP2000251469A - タイミング信号生成回路及びこの回路が形成された半導体装置 - Google Patents

タイミング信号生成回路及びこの回路が形成された半導体装置

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JP2000251469A
JP2000251469A JP11044643A JP4464399A JP2000251469A JP 2000251469 A JP2000251469 A JP 2000251469A JP 11044643 A JP11044643 A JP 11044643A JP 4464399 A JP4464399 A JP 4464399A JP 2000251469 A JP2000251469 A JP 2000251469A
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郁 森
Masahito Takita
雅人 瀧田
Ayako Kitamoto
綾子 北本
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Abstract

(57)【要約】 【課題】複数の回路で遅延回路を共用可能にしてチップ
専有面積を削減する。 【解決手段】複数バンクの各々に対し、バンク活性化信
号に応答して一連のタイミング信号を生成する回路にお
いて、該バンク活性化信号の前縁及び後縁を検出し、前
縁検信号ACT10〜ACT13及び後縁検出信号RS
T10〜RST13の各々について、検出信号を重ね合
わせて遅延させた前縁検出遅延信号ACT2並びに後縁
検出遅延信号RST2及びRST3を生成し、i=0〜
3の各々について、信号RST1iが活性であるときに
信号RST2及びRST3をそれぞれ有効にして出力す
るノアゲート82及び83と、信号ACT1iによりセ
ットされノアゲート82の出力によりリセットされるフ
リップフロップ71と、フリップフロップ71がセット
されているときに信号ACT2を有効にして出力するノ
アゲート72とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、互いにタイミング
をずらして並列動作可能な複数の回路ブロックの各々に
対し、トリガ信号に応答して一連のタイミング信号を生
成するタイミング信号生成回路及びこの回路が形成され
た半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図9は、従来のシンクロナスDRAMの
コア部概略構成を示す。
【0003】このSDRAMは、互いに同一構成のバン
ク0〜3を備えている。i=0〜3の各々について、タ
イミング信号生成回路Tiは、トリガ信号としてのバン
ク活性化信号BRASiに応答してプリチャージタイミ
ング信号PRTi、メインワード線立ち下がりタイミン
グ信号MWFTi、メインワード線立ち上がりタイミン
グ信号MWRTi、センスアンプ活性化タイミング信号
SATi及びサブワード線電源電圧立ち下がりタイミン
グ信号SWDTiを生成し、バンクiに供給する。タイ
ミング信号生成回路T0〜T3の内のフリップフロップ
の状態は、電源オン時に生成されるリセット信号PWR
STにより初期化される。
【0004】図10は、バンク0内の一対の相補的なビ
ット線BLと*BLに関する回路を示す。図11は、こ
の回路内の信号を示すタイミングチャートである。
【0005】センスアンプ10は、センスアンプ駆動回
路11から供給される電源電位VPとVNとの間の電圧
により動作する。センスアンプ活性化信号SA及び*S
Aがそれぞれ低レベル及び高レベルのとき、トランジス
タ13及び14がオン、トランジスタ12及び15がオ
フになって、電位Vii/2がVP及びVNとしてセン
スアンプ10に供給され、センスアンプ10が非動作状
態になる。この状態で、信号TGが高レベルに遷移して
転送ゲート16及び17がオンにされ、プリチャージ信
号PRが高レベルに遷移してプリチャージ回路18がオ
ンにされ、これによりビット線BL、*BL、BLA及
び*BLAが電位Vii/2にプリチャージされ、次に
プリチャージ信号PRが低レベルに遷移してプリチャー
ジ回路18がオフになる。メモリセル19のキャパシタ
のセルプレートには、電位Vii/2が印加されてい
る。
【0006】バンク0は、例えば8メモリブロックに分
割され、行アドレスの上位3ビットによりその1つのブ
ロックが選択され、このブロックに対応したサブワード
線電源電圧SWDのみが立ち上げられる。
【0007】例えば、高レベルが格納されているメモリ
セル19からデータを読み出す場合には、このメモリセ
ル19を含む行に対応したサブワード線電源電圧SWD
が、PMOSトランジスタ21とNMOSトランジスタ
22とからなるCMOSインバータの電源入力端に供給
され、次にメインワード線MWL0が低レベルになっ
て、該CMOSインバータの出力端に接続されたサブワ
ード線SWL0の電位が立ち上げられ、メモリセル19
からビット線BLへ正電荷が移動し、ビット線BLと*
BLとの間に100〜200mV程度の電位差が生じ
る。
【0008】次に、センスアンプ活性化信号SA及び*
SAがそれぞれ高レベル及び低レベルに遷移して、トラ
ンジスタ15及び12がオン、トランジスタ13及び1
4がオフになり、電位Vii及び0Vがそれぞれトラン
ジスタ12及び15を通りVP及びVNとしてセンスア
ンプ10に供給される。これにより、センスアンプ10
が活性化されてビット線BLと*BLとの間の電位差が
増幅される。
【0009】不図示のデータバスへのデータ読み出しが
行われ、これが終了すると、サブワード線SWL0が低
レベルになる。次に、センスアンプ活性化信号SA及び
*SAがそれぞれ低レベル及び高レベルになって、VP
及びVNがいずれも電位Vii/2に戻り、センスアン
プ10が不活性になる。次に、プリチャージ信号PRが
高レベルに遷移してプリチャージ回路18がオンにな
り、これによりビット線電位が電位Vii/2にリセッ
トされる。
【0010】タイミング信号生成回路T0は、駆動回路
20が上記信号PR、TG、MWL0、SWD、SWL
0、SA及び*SAを作成するためのタイミング信号を
生成する。駆動回路20は、プリチャージタイミング信
号PRT0に応答して信号TG及びプリチャージ信号P
Rを生成し、メインワード線立ち上がりタイミング信号
MWRT0及びメインワード線立ち下がりタイミング信
号MWFT0に応答して、デコード信号による行選択に
対応したメインワード線MWL0の立ち上がり及び立ち
下がりのタイミングを決定し、サブワード線電源電圧立
ち下がりタイミング信号SWDT0に応答してサブワー
ド線電源電圧SWDの立ち下がりを決定し、センスアン
プ活性化タイミング信号SAT0に応答して一対の相補
的なセンスアンプ活性化信号SA及び*SAを生成す
る。
【0011】i=0〜3の各々について、タイミング信
号生成回路Tiは、図12に示すように構成され、例え
ば10個の遅延ユニット23を含んでいる。遅延ユニッ
トの個数は、1ユニット当たりの遅延量により異なる。
遅延ユニット23は、インバータ24の出力端に抵抗素
子25の一端が接続され、抵抗素子25の他端とグラン
ド線との間にMOSキャパシタ26が接続されている。
【0012】バンク0〜3が完全に並列動作したり、全
く並列動作しない場合には、図9において1つのタイミ
ング信号生成回路を備えて、その出力を共通に用いた
り、出力先を切り換えたりすればよい。
【0013】シンクロナスDRAMでは、アドレスバス
及びデータバスが1つであるので、バンク0〜3を完全
に並列動作させることはできないが、図13に示す如
く、バンク活性化信号BRAS0〜BRAS3を互いに
ずらして部分的に並列動作させることができる。バンク
活性化信号BRAS0〜BRAS3が活性化される順序
は任意であり、例えばある期間において、バンク活性化
信号BRAS0とBRAS1のみが交互に順次活性化さ
れる。
【0014】そこで、従来ではバンク0〜3の各々に対
し同一構成のタイミング信号生成回路T0〜T3を備え
ていた。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】このため、タイミング
信号生成回路T0〜T3内の上記遅延ユニットが多数に
なる。遅延ユニット23の抵抗素子25及びMOSキャ
パシタ26は一般にバルクの拡散層で形成される。充分
な遅延時間が得られるように抵抗及び容量の値を大きく
する必要があるため、多数の遅延ユニットをチップ上に
形成すると、その面積が広くなり、製品コストが高くな
る原因となる。
【0016】本発明の目的は、このような問題点に鑑
み、複数の回路で遅延回路を共用可能にしてチップ専有
面積を削減することができるタイミング信号生成回路及
びこの回路が形成された半導体装置を提供することにあ
る。
【0017】
【課題を解決するための手段及びその作用効果】請求項
1では、互いにタイミングをずらして並列動作可能な複
数の回路ブロック(0〜3)の各々に対し、トリガ信号
(BRASi)に応答して一連のタイミング信号を生成
するタイミング信号生成回路において、該複数の回路ブ
ロックの各々に対して、該トリガ信号のエッジを検出し
てエッジ検出信号(RST1i)を生成するエッジ検出
回路を有し、該複数の回路ブロックに共通の回路とし
て、該複数の回路ブロックに対する該エッジ検出回路の
出力を重ね合わせて遅延させたエッジ検出遅延信号(R
ST2)を生成するエッジ検出信号遅延回路(63、6
4)を有し、該複数の回路ブロックの各々に対してさら
に、該エッジ検出遅延信号(RST1i)が活性である
ときに該エッジ検出遅延信号(RST2)を有効にして
出力する第1論理ゲート(82)を有する。
【0018】このタイミング信号生成回路によれば、エ
ッジ検出回路の出力を重ね合わせて遅延させたエッジ検
出遅延信号に含まれるパルス列から、複数の回路ブロッ
クの各々に対するパルスが第1論理ゲートにより抽出さ
れるので、エッジ検出信号遅延回路を複数の回路ブロッ
クで共用可能となり、これにより遅延回路のチップ占有
面積が削減されて、半導体装置の製品コストを低減する
ことができる。
【0019】請求項2のタイミング信号生成回路では、
請求項1において、上記エッジ検出回路は、後縁検出信
号(RST1i)を生成する後縁検出回路であり、上記
エッジ検出信号遅延回路は該後縁検出回路の出力を重ね
合わせて遅延させた第1後縁検出遅延信号(RST2)
を生成する第1後縁検出信号遅延回路である。
【0020】このタイミング信号生成回路によれば、請
求項3のフリップフロップを用いる必要がないので、構
成が簡単になる。
【0021】請求項3では、互いにタイミングをずらし
て並列動作可能な複数の回路ブロック(0〜3)の各々
に対し、トリガ信号(BRASi)に応答して一連のタ
イミング信号を生成するタイミング信号生成回路におい
て、該複数の回路ブロックの各々に対して、該トリガ信
号のエッジを検出してエッジ検出信号(ACT1i)を
生成するエッジ検出回路を有し、該複数の回路ブロック
に共通の回路として、該複数の回路ブロックに対する該
エッジ検出回路の出力を重ね合わせて遅延させたエッジ
検出遅延信号(ACT2)を生成するエッジ検出信号遅
延回路(61、62)を有し、該複数の回路ブロックの
各々に対してさらに、該エッジ検出信号(ACT1i)
により2状態の一方にされ、エッジ検出信号に対応した
信号によりこの2状態の他方の状態にされるフリップフ
ロップ(71)と、該フリップフロップが該一方の状態
のときに該エッジ検出遅延信号(ACT2)を有効にし
て出力する論理ゲート(72)を有する。
【0022】このタイミング信号生成回路によれば、エ
ッジ検出回路の出力を重ね合わせて遅延させたエッジ検
出遅延信号に含まれるパルス列から、複数の回路ブロッ
クの各々に対するパルスが論理ゲートにより抽出される
ので、エッジ検出信号遅延回路を複数の回路ブロックで
共用可能となり、これにより遅延回路のチップ占有面積
が削減されて、半導体装置の製品コストを低減すること
ができる。
【0023】また、フリップフロップの状態に応じて論
理ゲートによりエッジ検出遅延信号を有効にしているの
で、請求項1の場合よりも長い遅延時間の遅延回路を用
いてタイミング信号を生成することが可能となる。
【0024】請求項4のタイミング信号生成回路では、
請求項3において、上記エッジ検出回路は、前縁検出信
号(ACT1i)を生成し、上記エッジ検出信号遅延回
路は該前縁検出回路の出力を重ね合わせて遅延させた信
号(ACT2)を生成し、上記エッジ検出信号に対応し
た信号は、後縁検出信号を遅延させた信号である。
【0025】このタイミング信号生成回路によれば、エ
ッジ検出信号に対応した信号を、後縁検出信号を遅延さ
せた信号とすることができるので、この信号を生成する
回路の構成が簡単になる。
【0026】請求項5のタイミング信号生成回路では、
請求項2において、上記複数の回路ブロックの各々に対
してさらに、上記トリガ信号の前縁を検出して前縁検出
信号(ACT1i)を生成する前縁検出回路を有し、該
複数の回路ブロックに共通の回路としてさらに、該複数
の回路ブロックに対する該前縁検出回路の出力を重ね合
わせて遅延させた前縁検出遅延信号(ACT2)を生成
する前縁検出信号遅延回路(61、62)を有し、該複
数の回路ブロックの各々に対してさらに、該前縁検出信
号(ACT1i)により2状態の一方にされ、上記後縁
検出信号に対応した信号によりこの2状態の他方の状態
にされる第1フリップフロップ(71)と、該第1フリ
ップフロップが該一方の状態のときに該前縁検出遅延信
号(ACT2)を有効にして出力する第2論理ゲート
(72)を有する。
【0027】このタイミング信号生成回路によれば、ト
リガ信号の前縁及び後縁の検出信号とこれらを遅延した
信号を用いるので、トリガ信号に応答してより多くのタ
イミング信号を生成することができる。
【0028】請求項6のタイミング信号生成回路では、
請求項5において、上記後縁検出信号に対応した信号
は、上記第1論理ゲート(82)の出力である。
【0029】請求項7のタイミング信号生成回路では、
請求項5において、上記複数の回路ブロックに共通の回
路としてさらに、上記複数の回路ブロックに対する上記
後縁検出回路の出力を重ね合わせて遅延させた第2後縁
検出遅延信号(RST3)を生成する第2後縁検出信号
遅延回路を有し、該複数の回路ブロックの各々に対して
さらに、上記後縁検出遅延信号(RST1i)が活性で
あるときに該第2後縁検出遅延信号(RST3)を有効
にして出力する第3論理ゲート(83)を有する。
【0030】このタイミング信号生成回路によれば、ト
リガ信号に応答してさらに多くのタイミング信号を生成
することができる。
【0031】請求項8のタイミング信号生成回路では、
請求項7において、上記前縁検出信号により2状態の一
方にされ、上記第3論理ゲートの出力によりこの2状態
の他方の状態にされる第2フリップフロップ(91)を
さらに有する。
【0032】請求項9のタイミング信号生成回路では、
請求項8において、上記第2論理ゲートの出力により2
状態の一方にされ、上記第3論理ゲートの出力によりこ
の2状態の他方の状態にされる第3フリップフロップ
(94)をさらに有する。
【0033】このタイミング信号生成回路によれば、第
2論理ゲートによりパルスエッジが2回続けて抽出され
たとしても、最初に抽出されたパルスエッジで第3フリ
ップフロップ(94)が一方の状態にセットされている
ので、次のパルスエッジの後に第3フリップフロップの
状態を反転させることにより、該次のパルスエッジが無
視される。
【0034】請求項10の半導体装置では、請求項1乃
至9のいずれか1つに記載のタイミング信号生成回路が
半導体チップに形成されている。
【0035】請求項11の半導体装置では、請求項10
において、上記回路ブロックはメモリバンクである。
【0036】請求項12の半導体装置では、請求項11
において、上記トリガ信号はメモリバンク活性化信号
(BRASi)である。
【0037】請求項13の半導体装置では、請求項12
において、上記第1フリップフロップ(71)の出力
は、ワード線電位リセット信号を生成するためのタイミ
ング信号である。
【0038】請求項14の半導体装置では、請求項12
において、上記第2フリップフロップ(91)の出力
は、ビット線プリチャージ信号を生成するためのタイミ
ング信号(PRTi)である。
【0039】請求項15の半導体装置では、請求項12
において、上記第3フリップフロップ(94)の出力
は、センスアンプ活性化信号を生成するためのタイミン
グ信号(SATi)である。
【0040】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の一
実施形態を説明する。
【0041】図1は、シンクロナスDRAMのコア部を
示すブロック図であり、図9に対応している。
【0042】図1中のタイミング信号生成回路は、第1
段のエッジ検出遅延回路30と、第2段のタイミング信
号生成回路40〜43とからなり、図9のタイミング信
号生成回路T0〜T3と同一機能を果たしている。
【0043】エッジ検出遅延回路30は、i=0〜3の
各々について、トリガ信号としてのバンク活性化信号B
RASiに応答してその立ち上がりエッジ及び立ち下が
りエッジを検出し、それぞれ前縁検出信号ACT1i及
び後縁検出信号RST1iとしてタイミング信号生成回
路4iに供給し、また、各立ち上がりエッジを重ね合わ
せて遅延させた前縁検出遅延信号ACT2並びに各立ち
下がりエッジを重ね合わせて遅延させた後縁検出遅延信
号RST2及びRST3を生成し、タイミング信号生成
回路40〜43に共通に供給している。バンク活性化信
号BRASiは、バンクiのRASサイクル期間で活性
化している信号であり、バンクアドレスがiに変化する
と電位が立ち上がり、バンクiのプリチャージコマンド
の発行又はこれに対応する時点に応答して立ち下がる。
【0044】タイミング信号生成回路4iは、エッジ検
出遅延回路30からの前縁検出信号ACT1i、前縁検
出遅延信号ACT2、後縁検出信号RST1i、後縁検
出遅延信号RST2及びRST3に応答して、従来技術
の欄で述べたプリチャージタイミング信号PRTi、メ
インワード線立ち下がりタイミング信号MWFTi、メ
インワード線立ち上がりタイミング信号MWRTi、セ
ンスアンプ活性化タイミング信号SATi及びサブワー
ド線電源電圧立ち下がりタイミング信号SWDTiを生
成し、バンクiに供給する。タイミング信号生成回路4
0〜43内のフリップフロップは、シンクロナスDRA
Mに供給される電源の立ち上がりを検出して生成された
リセット信号PWRSTにより初期化される。
【0045】図2は、エッジ検出遅延回路30の構成例
と、エッジ検出遅延回路30とタイミング信号生成回路
40〜43との接続関係を示す。
【0046】エッジ検出遅延回路30は、i=0〜3の
各々に対し、バンク活性化信号BRASiに応答して前
縁検出信号Ai及び後縁検出信号Riを生成するエッジ
検出回路5iを備えている。例えばエッジ検出回路50
では、バンク活性化信号BRAS0がナンドゲート54
及びノアゲート55の一方に入力端に供給され、バンク
活性化信号BRAS0がインバータ56及び遅延回路5
7を介しナンドゲート54及びノアゲート55の他方の
入力端に供給される。ナンドゲート54から前縁検出信
号A0が出力され、ノアゲート55の出力がインバータ
58を介して後縁検出信号R0となる。
【0047】図3(A)はエッジ検出回路50の構成例
を示し、図3(B)はこの回路の動作を示すタイミング
チャートである。
【0048】遅延回路57は、抵抗素子とMOSキャパ
シタとインバータとで構成された遅延ユニットを4段備
え、さらにインバータを1個備えて、遅延信号D01及
びこれをさらに遅延させた遅延信号D02を出力し、そ
れぞれナンドゲート54及びノアゲート55に供給す
る。遅延ユニットの必要段数は、1段当たりの遅延量に
依存する(以下同様)。前縁検出信号A0は、バンク活
性化信号BRAS0及び遅延信号D01が共に高レベル
の期間で低レベルとなるので、バンク活性化信号BRA
S0の立ち上がりに対応した負パルスを有する。後縁検
出信号R0は、バンク活性化信号BRAS0及び遅延信
号D02が共に低レベルの期間で低レベルとなるので、
バンク活性化信号BRAS0の立ち下がりに対応した負
パルスを有する。
【0049】図2に戻って、エッジ検出回路50〜53
からの前縁検出信号A0〜A3はそれぞれインバータ5
91〜594を通って正パルスの前縁検出信号ACT1
0〜ACT13となり、それぞれタイミング信号生成回
路40〜43に供給される。同様に、エッジ検出回路5
0〜53からの後縁検出信号R0〜R3はそれぞれイン
バータ601〜604を通って正パルスの後縁検出信号
RST10〜RST13となり、それぞれタイミング信
号生成回路40〜43に供給される。
【0050】前縁検出信号A0〜A3はナンドゲート6
1に供給され、その出力は、前縁検出信号A0〜A3の
いずれかが低レベルの期間で高レベルとなる。すなわち
ナンドゲート61の出力は、前縁検出信号A0〜A3の
信号レベルを反転させたものを重ね合わせた信号とな
る。ナンドゲート61の出力は、遅延回路62を介し、
前縁検出遅延信号ACT2としてタイミング信号生成回
路40〜43に共通に供給される。
【0051】図4は、ナンドゲート61と遅延回路62
とからなる前縁検出信号遅延回路を示し、図4(B)は
この回路の動作を示すタイミングチャートである。遅延
回路62では、2個の遅延用インバータと6個の遅延ユ
ニットとが縦続接続されている。ナンドゲート621
は、後述の理由により信号ACT2の立ち下がり時点を
早めるためのものである。バンク活性化信号BRAS0
〜BRAS3のうち例えばバンク活性化信号BRAS0
のみが立ち上がると、前縁検出信号A0のみが負パルス
となり、この信号レベルを反転して遅延させ且つ立ち下
がり時点を早めたものが前縁検出遅延信号ACT2とな
る。
【0052】図2に戻って、後縁検出信号R0〜R3は
ナンドゲート63に供給され、その出力は、後縁検出信
号R0〜R3のいずれかが低レベルの期間で高レベルと
なる。すなわちナンドゲート63の出力は、後縁検出信
号R0〜R3の信号レベルを反転させたものを重ね合わ
せた信号となる。ナンドゲート63の出力は、遅延回路
64を介し、後縁検出遅延信号RST2及びこれをさら
に遅延させた後縁検出遅延信号RST3としていずれも
タイミング信号生成回路40〜43に共通に供給され
る。
【0053】図5は、ナンドゲート63と遅延回路64
とからなる後縁検出信号遅延回路を示し、図5(B)は
この回路の動作を示すタイミングチャートである。遅延
回路64は、7個のインバータと4個の遅延ユニットを
備えている。バンク活性化信号BRAS0〜BRAS3
のうち例えばBRAS0のみが立ち下がると、後縁検出
信号R0のみが負パルスとなり、この信号レベルを反転
して遅延させたものが後縁検出遅延信号RST2であ
り、これをさらに遅延させたものが後縁検出遅延信号R
ST3である。
【0054】図7は、バンク活性化信号BRAS0〜B
RAS3のうち、BRASi(iは0〜3のいずれか)
のみが活性化されたときのエッジ検出遅延回路30とタ
イミング信号生成回路4iの出力信号を示すタイミング
チャートである。
【0055】エッジ検出遅延回路30は、バンク活性化
信号BRASiに応答して前縁検出信号ACT1iを生
成し、これを遅延させた前縁検出遅延信号ACT2を生
成し、また、バンク活性化信号BRASiの立ち下がり
に応答して後縁検出信号RST1iを生成し、これを遅
延させた後縁検出遅延信号RST2及びRST3を生成
する。
【0056】図8は、バンク活性化信号BRAS0〜B
RAS3が互いにタイミングをずらして順次立ち上がり
順次立ち下がっていく場合にエッジ検出遅延回路30で
生成される信号のタイミングチャートである。
【0057】前縁検出遅延信号ACT2は、前縁検出信
号ACT10〜ACT13を重ね合わせて遅延させた信
号であり、後縁検出遅延信号RST2は、後縁検出信号
RST10〜RST13を重ね合わせて遅延させた信号
であり、後縁検出遅延信号RST3は信号RST2をさ
らに遅延させたものである。信号BRAS0〜BRAS
3が活性化される順序は任意であり、例えば信号BRA
S0とBRAS1のみが交互に順次活性化される。この
ような条件のもとで、タイミング信号生成回路40〜4
3はいずれも、前縁検出遅延信号ACT2、後縁検出遅
延信号RST2及びRST3のパルス列から制御対象の
バンクに対応したパルスの立ち上がり又は立ち下がりの
エッジを抽出する必要がある。
【0058】図6は、タイミング信号生成回路4iの構
成例を示す。
【0059】前縁検出信号ACT1iは、インバータ7
0を介して、第1フリップフロップとしてのRSフリッ
プフロップ71のセット入力端*Sに供給され、これに
より、RSフリップフロップ71は前縁検出信号ACT
1iの立ち上がりに応答してセットされる。RSフリッ
プフロップ71は、ナンドゲート711と712とがク
ロス接続され、ナンドゲート711の出力端とグランド
線との間にリセット用NMOSトランジスタ713が接
続されている。RSフリップフロップ71の出力は、第
2論理ゲートとしてのナンドゲート72の一方に入力端
に供給され、ナンドゲート72の他方の入力端には前縁
検出遅延信号ACT2が供給される。これにより、ナン
ドゲート72は、RSフリップフロップ71がセット状
態のとき前縁検出遅延信号ACT2に対しインバータと
して機能し、RSフリップフロップ71がリセット状態
のとき前縁検出遅延信号ACT2のレベルによらず出力
を高レベルにする。すなわち、ナンドゲート72は、前
縁検出信号ACT1iの正パルスによりRSフリップフ
ロップ71がセットされたときのみ、前縁検出遅延信号
ACT2を有効にしてこれを反転した信号を出力する。
これにより、ACT2のパルス列から、制御対象のバン
クに対応したパルスの立ち上がりエッジが抽出される。
その次のパルスの立ち上がりエッジがさらに抽出された
としても、最初に抽出された立ち上がりエッジでフリッ
プフロップ(94)を一方の状態にセットし、該次のパ
ルスの立ち上がりエッジの後に該フリップフロップの状
態を反転することにより、該次のパルスの立ち上がりエ
ッジが無視される。
【0060】後縁検出信号RST1iは、クロックトイ
ンバータ80及びインバータ81を介して、第1論理ゲ
ートとしてのナンドゲート82及び第3論理ゲートとし
てのナンドゲート83の一方の入力端に供給される。ナ
ンドゲート82及び83の他方の入力端にはそれぞれ後
縁検出遅延信号RST2及びRST3が供給される。こ
れによりナンドゲート82及び83は、後縁検出信号R
ST1iが高レベルの期間でのみインバータとして機能
し、後縁検出信号RST1iが低レベルのときには後縁
検出遅延信号RST2及びRST3のレベルによらず出
力を高レベルにする。すなわち、ナンドゲート82及び
83は、後縁検出信号RST1iの正パルス期間のみ、
後縁検出遅延信号RST2及びRST3を有効にしてこ
れを反転した信号を出力する。これにより、後縁検出遅
延信号RST2及びRST3のパルス列から、制御対象
のバンクに対応したパルスの立ち上がりエッジが抽出さ
れる。
【0061】クロックトインバータ80のクロック入力
端には、フリップフロップ94の非反転出力が供給され
ており、この出力が低レベルのときには、後縁検出信号
RST1iが高レベルに遷移してもクロックトインバー
タ80の出力は低レベルに遷移しない。このとき、この
出力がフローティング状態になるので、インバータ80
及び81の出力が不確定になる。そこで、クロックトイ
ンバータ80にクロックトインバータ80Aが並列接続
され、そのクロック入力端にインバータ81の出力が供
給されている。これにより、インバータ81の出力が不
確定で後縁検出信号RST1iの信号レベルと同じにな
ると、クロックトインバータ80Aの出力が確定してイ
ンバータ80の出力も確定する。
【0062】クロックトインバータ80及び80Aのク
ロック入力端への信号入力が意味をもつのは、全バンク
プリチャージコマンドが発行されたときに、既にプリチ
ャージされているバンクに対しプリチャージを行うのを
省略して消費電流を低減する場合であり、図7及び後述
の図8では、このような動作が含まれておらず80が通
常のインバータで80Aが存在しない場合と同一動作に
なっている。
【0063】タイミング信号生成回路4iは、前縁検出
信号ACT1i及び後縁検出信号RST1iと共に、ナ
ンドゲート72、82及び83の出力を自己用の信号と
して用い、バンクiに対する各種タイミング信号を次の
ように生成する。
【0064】前縁検出信号ACT1iは、インバータ9
0を介して、第2フリップフロップとしてのRSフリッ
プフロップ91のリセット入力端*Sに供給され、これ
により、前縁検出信号ACT1iの正パルスでRSフリ
ップフロップ91がセットされる。RSフリップフロッ
プ91のリセット入力端*Rには、ナンドゲート83の
出力が偶数段の遅延用インバータ921及び922を介
して供給され、これにより、後縁検出遅延信号RST3
の正パルスでRSフリップフロップ91がリセットされ
る。RSフリップフロップ91から、プリチャージ信号
PRを生成するための図7に示すようなプリチャージタ
イミング信号PRTiが得られる。図7の下部に示す信
号波形は、図11に示す波形を重ね合わせて示したもの
であり、プリチャージ信号PRはプリチャージタイミン
グ信号PRTiのレベルを反転したものに対応してい
る。
【0065】インバータ70の出力は、奇数段の遅延用
インバータ931、932及び933を介して、図7に
示すようなメインワード線立ち下がりタイミング信号M
WFTiとなる。この信号の立ち上がり応答して、メイ
ンワード線MWL0の電位が立ち下がる。
【0066】RSフリップフロップ71のリセット入力
端*Rには後縁検出遅延信号RST2の出力が供給さ
れ、これにより、後縁検出遅延信号RST2の正パルス
でRSフリップフロップ71がリセットされる。RSフ
リップフロップ71の出力は、図7に示すようなメイン
ワード線立ち上がりタイミング信号MWRTiとなる。
この信号の立ち下がりにより、選択されているメインワ
ード線MWL0の電位が立ち上げられる。
【0067】ナンドゲート72の出力が、第3フリップ
フロップとしてのRSフリップフロップ94のセット入
力端*Sに供給され、これにより前縁検出遅延信号AC
T2の正パルスでRSフリップフロップ94がセットさ
れる。RSフリップフロップ94のリセット入力端*R
にはナンドゲート83の出力が供給され、これにより後
縁検出遅延信号RST3の正パルスでRSフリップフロ
ップ94がリセットされる。RSフリップフロップ94
の反転出力は、奇数段の遅延用インバータ951〜95
3を介して、図7に示すようなセンスアンプ活性化タイ
ミング信号SATiになる。
【0068】センスアンプ活性化タイミング信号SAT
iが図10の駆動回路20に供給されて、これに対応し
た一対の相補的なセンスアンプ活性化信号SA及び*S
Aが生成され、駆動回路11を介してセンスアンプ10
が活性化され、これによりビット線BLと*BLの電位
差が増幅される。センスアンプ活性化タイミング信号S
ATiの立ち下がりに応答して、駆動回路11を介しセ
ンスアンプ10が不活性になった後、プリチャージ信号
PRの立ち上がりに応答してビット線BLと*BLが電
位Vii/2にリセットされる。
【0069】インバータ81の出力は、インバータ96
及び97を介して、図7に示すようなサブワード線電源
電圧立ち下がりタイミング信号SWDTiとなる。この
信号の立ち上がり応答して、サブワード線電源電圧SW
Dが立ち下がる。
【0070】RSフリップフロップ91、71及び94
のリセット入力端にはリセット信号PWRSTが供給さ
れ、これらフリップフロップが初期化される。RSフリ
ップフロップ71の初期化により、ナンドゲート72の
出力は最初、無効になっている。
【0071】上記の如く構成されたタイミング信号生成
回路によれば、ナンドゲート61及び62で重ね合わさ
れそれぞれ遅延回路62及び64で遅延されたパルス列
から、タイミング信号生成回路40〜43において自己
用のパルス列を抽出することができるので、パルス遅延
回路62及び64をタイミング信号生成回路40〜43
で共用可能となり、これによりチップ上の遅延回路占有
面積が従来よりも削減され、製品コストを低減すること
ができる。本発明を適用した実際の回路については、こ
の面積を従来より約20%削減できた。
【0072】図4(A)の回路でナンドゲート621を
用いて信号ACT2の立ち下がり時点を早めている理由
は、図8において、信号ACT2のパルス期間中にAC
T1iのパルスが立ち上がるのを防止して、プリチャー
ジ終了とセンスアンプ活性化が同時に行われるのを回避
するためである。
【0073】なお、本発明には外にも種々の変形例が含
まれる。
【0074】本発明の適用対象はシンクロナスDRAM
に限られず、互いにタイミングをずらして並列動作可能
な複数の回路ブロックの各々に対しトリガ信号に応答し
て一連のタイミング信号を生成する半導体装置に対し本
発明を適用可能である。
【0075】また、本発明のタイミング信号生成回路
は、トリガ信号の前縁検出信号と後縁検出信号の少なく
とも一方を遅延させたものであればよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態のシンクロナスDRAMコ
ア部を示すブロック図である。
【図2】図1中のエッジ検出信号遅延回路の構成例と、
該エッジ検出信号遅延回路とタイミング信号生成回路と
の接続関係を示す図である。
【図3】(A)は図2中のエッジ検出回路50の構成例
を示し、(B)はこの回路の動作を示すタイミングチャ
ートである。
【図4】(A)は図2中の前縁検出信号遅延回路を示
し、(B)はこの回路の動作を示すタイミングチャート
である。
【図5】(A)は図2中の後縁検出信号遅延回路を示
し、(B)はこの回路の動作を示すタイミングチャート
である。
【図6】図1中のタイミング信号生成回路の構成例を示
す図である。
【図7】バンク活性化信号BRAS0〜BRAS3のう
ち、BRASi(iは0〜3のいずれか)のみが活性化
されたときのエッジ検出遅延回路30とタイミング信号
生成回路4iの出力信号を示すタイミングチャートであ
る。
【図8】バンク活性化信号BRAS0〜BRAS3が互
いにタイミングをずらして順次立ち上がり順次立ち下が
っていく場合にエッジ検出信号遅延回路で生成される信
号のタイミングチャートである。
【図9】従来のシンクロナスDRAMコア部を示すブロ
ック図である。
【図10】図9中のバンク0内の一対の相補的なビット
線BLと*BLに関する回路を示す図である。
【図11】図10の回路内の信号を示すタイミングチャ
ートである。
【図12】図9中のタイミング信号生成回路Ti(iは
0〜3のいずれか)の構成例を示す図である。
【図13】図9中のバンク活性化信号BRAS0〜BR
AS3の一例を示すタイミングチャートである。
【符号の説明】
0〜3 バンク 23 遅延ユニット 25 抵抗素子 26 MOSキャパシタ 30 エッジ検出信号遅延回路 40〜43 タイミング信号生成回路 50〜53 エッジ検出回路 54、61、63、711、712、72、82、83
ナンドゲート 55、952 ノアゲート 57、62、64 遅延回路 71、91、94 RSフリップフロップ BRAS0〜BRAS3 バンク活性化信号 ACT10〜ACT13、A0〜A3 前縁検出信号 ACT2 前縁検出遅延信号 RST10〜RST13、R0〜R3 後縁検出信号 RST2、RST3 後縁検出遅延信号 PR プリチャージ信号 PRT0〜PRT3 プリチャージタイミング信号 MWL0 メインワード線 MWRT0〜MWRT3 メインワード線立ち上がりタ
イミング信号 MWFT0〜MWFT3 メインワード線立ち下がりタ
イミング信号 SA、*SA センスアンプ活性化信号 SAT0〜SAT3 センスアンプ活性化タイミング信
号 SWDT0〜SWDT3 サブワード線電源電圧立ち下
がりタイミング信号 SWL0 サブワード線 SWD サブワード線電源電圧 *S セット入力端 *R リセット入力端 PWRST リセット信号
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 北本 綾子 神奈川県川崎市中原区上小田中4丁目1番 1号 富士通株式会社内

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 互いにタイミングをずらして並列動作可
    能な複数の回路ブロック(0〜3)の各々に対し、トリ
    ガ信号(BRASi)に応答して一連のタイミング信号
    を生成するタイミング信号生成回路において、 該複数の回路ブロックの各々に対して、 該トリガ信号のエッジを検出してエッジ検出信号(RS
    T1i)を生成するエッジ検出回路を有し、該複数の回
    路ブロックに共通の回路として、 該複数の回路ブロックに対する該エッジ検出回路の出力
    を重ね合わせて遅延させたエッジ検出遅延信号(RST
    2)を生成するエッジ検出信号遅延回路(63、64)
    を有し、該複数の回路ブロックの各々に対してさらに、 該エッジ検出遅延信号(RST1i)が活性であるとき
    に該エッジ検出遅延信号(RST2)を有効にして出力
    する第1論理ゲート(82)を有することを特徴とする
    タイミング信号生成回路。
  2. 【請求項2】 上記エッジ検出回路は、後縁検出信号
    (RST1i)を生成する後縁検出回路であり、 上記エッジ検出信号遅延回路は該後縁検出回路の出力を
    重ね合わせて遅延させた第1後縁検出遅延信号(RST
    2)を生成する第1後縁検出信号遅延回路であることを
    特徴とする請求項1記載のタイミング信号生成回路。
  3. 【請求項3】 互いにタイミングをずらして並列動作可
    能な複数の回路ブロック(0〜3)の各々に対し、トリ
    ガ信号(BRASi)に応答して一連のタイミング信号
    を生成するタイミング信号生成回路において、 該複数の回路ブロックの各々に対して、 該トリガ信号のエッジを検出してエッジ検出信号(AC
    T1i)を生成するエッジ検出回路を有し、該複数の回
    路ブロックに共通の回路として、 該複数の回路ブロックに対する該エッジ検出回路の出力
    を重ね合わせて遅延させたエッジ検出遅延信号(ACT
    2)を生成するエッジ検出信号遅延回路(61、62)
    を有し、該複数の回路ブロックの各々に対してさらに、 該エッジ検出信号(ACT1i)により2状態の一方に
    され、エッジ検出信号に対応した信号によりこの2状態
    の他方の状態にされるフリップフロップ(71)と、 該フリップフロップが該一方の状態のときに該エッジ検
    出遅延信号(ACT2)を有効にして出力する論理ゲー
    ト(72)とを有することを特徴とするタイミング信号
    生成回路。
  4. 【請求項4】 上記エッジ検出回路は、前縁検出信号
    (ACT1i)を生成し、 上記エッジ検出信号遅延回路は該前縁検出回路の出力を
    重ね合わせて遅延させた信号(ACT2)を生成し、 上記エッジ検出信号に対応した信号は、後縁検出信号を
    遅延させた信号であることを特徴とする請求項3記載の
    タイミング信号生成回路。
  5. 【請求項5】 上記複数の回路ブロックの各々に対して
    さらに、 上記トリガ信号の前縁を検出して前縁検出信号(ACT
    1i)を生成する前縁検出回路を有し、該複数の回路ブ
    ロックに共通の回路としてさらに、 該複数の回路ブロックに対する該前縁検出回路の出力を
    重ね合わせて遅延させた前縁検出遅延信号(ACT2)
    を生成する前縁検出信号遅延回路(61、62)を有
    し、該複数の回路ブロックの各々に対してさらに、 該前縁検出信号(ACT1i)により2状態の一方にさ
    れ、上記後縁検出信号に対応した信号によりこの2状態
    の他方の状態にされる第1フリップフロップ(71)
    と、 該第1フリップフロップが該一方の状態のときに該前縁
    検出遅延信号(ACT2)を有効にして出力する第2論
    理ゲート(72)とを有することを特徴とする請求項2
    記載のタイミング信号生成回路。
  6. 【請求項6】 上記後縁検出信号に対応した信号は、上
    記第1論理ゲート(82)の出力であることを特徴とす
    る請求項5記載のタイミング信号生成回路。
  7. 【請求項7】 上記複数の回路ブロックに共通の回路と
    してさらに、 上記複数の回路ブロックに対する上記後縁検出回路の出
    力を重ね合わせて遅延させた第2後縁検出遅延信号(R
    ST3)を生成する第2後縁検出信号遅延回路を有し、 該複数の回路ブロックの各々に対してさらに、 上記後縁検出遅延信号(RST1i)が活性であるとき
    に該第2後縁検出遅延信号(RST3)を有効にして出
    力する第3論理ゲート(83)を有することを特徴とす
    る請求項5記載のタイミング信号生成回路。
  8. 【請求項8】 上記前縁検出信号により2状態の一方に
    され、上記第3論理ゲートの出力によりこの2状態の他
    方の状態にされる第2フリップフロップ(91)をさら
    に有することを特徴とする請求項7記載のタイミング信
    号生成回路。
  9. 【請求項9】 上記第2論理ゲートの出力により2状態
    の一方にされ、上記第3論理ゲートの出力によりこの2
    状態の他方の状態にされる第3フリップフロップ(9
    4)をさらに有することを特徴とする請求項8記載のタ
    イミング信号生成回路。
  10. 【請求項10】 請求項1乃至9のいずれか1つに記載
    のタイミング信号生成回路が半導体チップに形成されて
    いることを特徴とする半導体装置。
  11. 【請求項11】 上記回路ブロックはメモリバンクであ
    ることを特徴とする請求項10記載の半導体装置。
  12. 【請求項12】 上記トリガ信号はメモリバンク活性化
    信号(BRASi)であることを特徴とする請求項11
    記載の半導体装置。
  13. 【請求項13】 上記第1フリップフロップ(71)の
    出力は、ワード線電位リセット信号を生成するためのタ
    イミング信号であることを特徴とする請求項12記載の
    半導体装置。
  14. 【請求項14】 上記第2フリップフロップ(91)の
    出力は、ビット線プリチャージ信号を生成するためのタ
    イミング信号(PRTi)であることを特徴とする請求
    項12記載の半導体装置。
  15. 【請求項15】 上記第3フリップフロップ(94)の
    出力は、センスアンプ活性化信号を生成するためのタイ
    ミング信号(SATi)であることを特徴とする請求項
    12記載の半導体装置。
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