JP2000249026A - 噴射用ノズルおよびその製造方法 - Google Patents
噴射用ノズルおよびその製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【解決手段】薄層板のフィルタを多数枚重ねることで位
置のずれた貫通孔を形成し、貫通孔の内部側壁には突起
物が形成され、この突起物の存在が燃料の噴射における
乱流形成の起点となり、霧状噴射ができるようになる。
ずれの量で噴霧の方向を設計できるようになる。 【効果】薄板のフィルタを積層した構成によって、耐熱
性、耐久性、圧力に強い、厚いフィルタを形成できるよ
うになり、貫通孔の形状を任意に形成でき、噴霧の方向
性を高め、霧状の燃料を噴射できるようになる。また、
微細加工ができるようになり、高精度で、高性能の噴射
用ノズルを安価に提供できるようになる。
置のずれた貫通孔を形成し、貫通孔の内部側壁には突起
物が形成され、この突起物の存在が燃料の噴射における
乱流形成の起点となり、霧状噴射ができるようになる。
ずれの量で噴霧の方向を設計できるようになる。 【効果】薄板のフィルタを積層した構成によって、耐熱
性、耐久性、圧力に強い、厚いフィルタを形成できるよ
うになり、貫通孔の形状を任意に形成でき、噴霧の方向
性を高め、霧状の燃料を噴射できるようになる。また、
微細加工ができるようになり、高精度で、高性能の噴射
用ノズルを安価に提供できるようになる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガソリンなどを燃
やして動力を作り出す内燃機関における燃料噴射用ノズ
ルに関し、特にこれに使われるフィルタに関する。
やして動力を作り出す内燃機関における燃料噴射用ノズ
ルに関し、特にこれに使われるフィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】自動車用のガソリンエンジンには高出力
で燃費がよく、二酸化炭素（ＣＯ２）、未燃炭化水素
（Ｈｃ）および窒化酸化物（Ｎｏｘ）等の排気ガスの低
減が要求されている。従来のガソリンエンジンでは燃料
と空気をあらかじめ混合させてこれを燃焼室のシリンダ
に吸入して燃焼させていたが、上記課題を改良する目的
で燃焼室のシリンダへ直接燃料を噴射する、いわゆる直
接噴射方式が開発され、これが低燃費化とＣＯ２低減に
有効であるため注目されている。直接噴射方式では燃焼
室のシリンダ内で空気流動を発生させ燃料噴射用ノズル
から燃料を直接噴射することによって燃料と空気を層状
化して希薄混合気をつくりこれを安定に燃焼する過程が
とられている。この噴射用ノズルの先端には多数の小径
の貫通孔（気孔群）からなるフィルタがあり、高圧燃料
ポンプによって加圧供給された燃料はこれを通してシリ
ンダ内に霧状に噴射される。
で燃費がよく、二酸化炭素（ＣＯ２）、未燃炭化水素
（Ｈｃ）および窒化酸化物（Ｎｏｘ）等の排気ガスの低
減が要求されている。従来のガソリンエンジンでは燃料
と空気をあらかじめ混合させてこれを燃焼室のシリンダ
に吸入して燃焼させていたが、上記課題を改良する目的
で燃焼室のシリンダへ直接燃料を噴射する、いわゆる直
接噴射方式が開発され、これが低燃費化とＣＯ２低減に
有効であるため注目されている。直接噴射方式では燃焼
室のシリンダ内で空気流動を発生させ燃料噴射用ノズル
から燃料を直接噴射することによって燃料と空気を層状
化して希薄混合気をつくりこれを安定に燃焼する過程が
とられている。この噴射用ノズルの先端には多数の小径
の貫通孔（気孔群）からなるフィルタがあり、高圧燃料
ポンプによって加圧供給された燃料はこれを通してシリ
ンダ内に霧状に噴射される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の噴射用ノズルの
フィルタはプレスによって金属板に小径の気孔群を開け
て製作されていた。プレス法では金属材料が限定され、
所定の金属板の厚さに対してあまり小さな径の貫通孔の
加工ができず、またこの気孔群を密集して形成すること
ができない欠点があった。また、貫通孔の断面形状は垂
直形しか作れず、加工精度はプレスの治具の使用頻度に
影響される欠点があった。このため、噴射用ノズルから
噴射される燃料は霧状ができにくく、燃料の分布も高精
度に制御されておらず、また気孔群の密度が小さいので
燃料通過率が低く噴射のために高圧を必要とする等の課
題が残されていた。電鋳によって形成したフィルタは均
一で、均質な金属層が得られ、この貫通孔は高精度であ
る。しかしながら、燃料噴射用ノズルに用いた場合は、
燃料がストレートにすじ状に噴射される傾向があり、燃
料室全体に霧状の燃料を噴射したい目的に適さない問題
があった。
フィルタはプレスによって金属板に小径の気孔群を開け
て製作されていた。プレス法では金属材料が限定され、
所定の金属板の厚さに対してあまり小さな径の貫通孔の
加工ができず、またこの気孔群を密集して形成すること
ができない欠点があった。また、貫通孔の断面形状は垂
直形しか作れず、加工精度はプレスの治具の使用頻度に
影響される欠点があった。このため、噴射用ノズルから
噴射される燃料は霧状ができにくく、燃料の分布も高精
度に制御されておらず、また気孔群の密度が小さいので
燃料通過率が低く噴射のために高圧を必要とする等の課
題が残されていた。電鋳によって形成したフィルタは均
一で、均質な金属層が得られ、この貫通孔は高精度であ
る。しかしながら、燃料噴射用ノズルに用いた場合は、
燃料がストレートにすじ状に噴射される傾向があり、燃
料室全体に霧状の燃料を噴射したい目的に適さない問題
があった。
【０００４】本発明の第一の目的は、噴射用ノズルのフ
ィルタを強度の強い構造にして、貫通孔を通った燃料が
乱流になりやすくして、霧状の噴射ができる構造を提供
し、任意の断面形状をもつ貫通孔の配列の気孔群によっ
て全方位の噴射ができる構造を提供することである。ま
た、本発明の第二の目的は、上記構造の噴射用ノズルの
フィルタを高精度に歩留りよく、安価に製造する製造方
法を提供することにある。また、本発明の第三の目的
は、本発明のフィルタを噴射用ノズルに用いて高精度な
噴射用ノズルを安価に提供することにある。
ィルタを強度の強い構造にして、貫通孔を通った燃料が
乱流になりやすくして、霧状の噴射ができる構造を提供
し、任意の断面形状をもつ貫通孔の配列の気孔群によっ
て全方位の噴射ができる構造を提供することである。ま
た、本発明の第二の目的は、上記構造の噴射用ノズルの
フィルタを高精度に歩留りよく、安価に製造する製造方
法を提供することにある。また、本発明の第三の目的
は、本発明のフィルタを噴射用ノズルに用いて高精度な
噴射用ノズルを安価に提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】従来技術の課題を解決す
るための手段を以下に記す。本発明の基本とする噴射用
ノズルのフィルタは従来の単板構造と異なり、これを薄
層板の積層構造によって構成したことを特徴としてい
る。同じ厚さのフィルタは、本発明では２枚以上の薄層
板を積層して構成している。このため、薄層板のフィル
タをプレス法やエッチング法で形成しても、従来の単板
ものに比べ著しく加工精度が向上し、微細なものができ
る。この薄層板のフィルタを少なくとも２枚以上重ねる
ことで任意の断面形状をもつ貫通孔を形成することを本
発明の特徴としている。例えば、同じ種類の薄層板を少
しずらして重ねると、貫通孔がずれて、この内部側壁に
は突起物が形成されたと同じ構造になる。この突起物の
存在が燃料の噴射における乱流形成の起点となり、霧状
噴射ができるようになる。設計された多種類の薄層板を
積層してフィルタを構成すと例えば、フィルタの周辺部
で中心から同心円状に外向きに、あるいは渦巻状に燃料
を噴霧させる構造が形成でき、これによって燃料室に好
ましい燃料の放出を行い、燃焼効率を高めることができ
る。本発明の薄層板のフィルタを電鋳で形成しするとホ
トリソグラフィと電解鍍金を繰り返すことで、本発明の
特徴とする形状の貫通孔と気孔群を高精度に形成するこ
とができる。この製造方法によると従来、高アスペクト
比の貫通孔が形成できなかったがこの製造方法によると
可能になり、圧力に強い枠をもった微小孔のフィルタを
形成できる。電鋳の製造工程では、薄層板を積層してい
るので、完成品は一体化したものになる。電鋳法では各
薄板の材質を任意に選定でき、これによって機械的強度
を高め、熱ストレスを緩和することができる。また、貫
通孔の形状は丸形、楕円形、方形、多角形の少なくとも
いずれか一つを含む任意の形状を形成することができる
自由度がある。
るための手段を以下に記す。本発明の基本とする噴射用
ノズルのフィルタは従来の単板構造と異なり、これを薄
層板の積層構造によって構成したことを特徴としてい
る。同じ厚さのフィルタは、本発明では２枚以上の薄層
板を積層して構成している。このため、薄層板のフィル
タをプレス法やエッチング法で形成しても、従来の単板
ものに比べ著しく加工精度が向上し、微細なものができ
る。この薄層板のフィルタを少なくとも２枚以上重ねる
ことで任意の断面形状をもつ貫通孔を形成することを本
発明の特徴としている。例えば、同じ種類の薄層板を少
しずらして重ねると、貫通孔がずれて、この内部側壁に
は突起物が形成されたと同じ構造になる。この突起物の
存在が燃料の噴射における乱流形成の起点となり、霧状
噴射ができるようになる。設計された多種類の薄層板を
積層してフィルタを構成すと例えば、フィルタの周辺部
で中心から同心円状に外向きに、あるいは渦巻状に燃料
を噴霧させる構造が形成でき、これによって燃料室に好
ましい燃料の放出を行い、燃焼効率を高めることができ
る。本発明の薄層板のフィルタを電鋳で形成しするとホ
トリソグラフィと電解鍍金を繰り返すことで、本発明の
特徴とする形状の貫通孔と気孔群を高精度に形成するこ
とができる。この製造方法によると従来、高アスペクト
比の貫通孔が形成できなかったがこの製造方法によると
可能になり、圧力に強い枠をもった微小孔のフィルタを
形成できる。電鋳の製造工程では、薄層板を積層してい
るので、完成品は一体化したものになる。電鋳法では各
薄板の材質を任意に選定でき、これによって機械的強度
を高め、熱ストレスを緩和することができる。また、貫
通孔の形状は丸形、楕円形、方形、多角形の少なくとも
いずれか一つを含む任意の形状を形成することができる
自由度がある。
【０００６】本発明のフィルタは（１）薄層板を積層構
造することによって厚膜化でき、従来の単板のものに比
べ機械的強度が高い、（２）貫通孔の内部側壁に突起物
を形成することができ、燃料噴射を霧状にすることがで
きる、（３）薄層板により加工精度が著しく向上でき、
均質な部品を歩留りよく安価に供給できる、等の長所が
ある。
造することによって厚膜化でき、従来の単板のものに比
べ機械的強度が高い、（２）貫通孔の内部側壁に突起物
を形成することができ、燃料噴射を霧状にすることがで
きる、（３）薄層板により加工精度が著しく向上でき、
均質な部品を歩留りよく安価に供給できる、等の長所が
ある。
【０００７】
【発明の実施の形態】実施例１ 第一の実施例を図１、図２により詳細に説明する。図２
は噴射用ノズル２３の基本構成側面図で、これは直接噴
射方式によるガソリンエンジン室に取り付けて用いられ
る。フィルタ１１が噴射用ノズル２３本体にレーザ溶接
によって密封接着され、止め具２２で固定されている。
図１は噴射用ノズル２３に用いるフィルタ１１の構造の
上面図と側断面図である。Ｎｉ合金の材質からなるフィ
ルタ１１は電鋳で製作され、合金の枠１４のほぼ中央部
分は多数の貫通孔１３からなる気孔群１２によって構成
されている。フィルタ１１の厚さは約３００μｍ、外径
は約６ｍｍ、気孔群は直径２ｍｍ以内に直径１００μｍ
の孔がずれて重なって形成した貫通孔が数拾個、点在し
ている。この気孔群１２は燃料が全方位に均等に噴霧さ
れるように同心円にある貫通孔の噴霧方向はそれぞれ外
側に向いている。これは同図（ｂ）に示す貫通孔の断面
形状によって達成できる。この構造のフィルタは２枚の
ホトマスクと２回の電鋳によって形成される。第１と第
２の電鋳層はそれぞれ約１５０μｍの厚さである。２枚
のホトマスクの貫通孔は中心で一致して周辺にゆくほど
ずれ量が大きく、同心円毎に同じずれ量に設計されてい
る。周辺にある貫通孔は図のような断面形状になるた
め、噴霧の方向性が決められ、孔の壁面にある鋭いエッ
ジ（突起物）によって燃料の霧状化が達成される。２回
に分けて電鋳で製作されたフィルタは、異物による欠陥
が分散され、厚膜化できるので強度が強い特徴がある。
また、高精度の形状のものを大量に歩留りよく得られる
のでこのフィルタは低コストで供給できるようになる。
材質はＮｉ合金に限定されるものでなくＮｉやＦｅなど
でもよい。
は噴射用ノズル２３の基本構成側面図で、これは直接噴
射方式によるガソリンエンジン室に取り付けて用いられ
る。フィルタ１１が噴射用ノズル２３本体にレーザ溶接
によって密封接着され、止め具２２で固定されている。
図１は噴射用ノズル２３に用いるフィルタ１１の構造の
上面図と側断面図である。Ｎｉ合金の材質からなるフィ
ルタ１１は電鋳で製作され、合金の枠１４のほぼ中央部
分は多数の貫通孔１３からなる気孔群１２によって構成
されている。フィルタ１１の厚さは約３００μｍ、外径
は約６ｍｍ、気孔群は直径２ｍｍ以内に直径１００μｍ
の孔がずれて重なって形成した貫通孔が数拾個、点在し
ている。この気孔群１２は燃料が全方位に均等に噴霧さ
れるように同心円にある貫通孔の噴霧方向はそれぞれ外
側に向いている。これは同図（ｂ）に示す貫通孔の断面
形状によって達成できる。この構造のフィルタは２枚の
ホトマスクと２回の電鋳によって形成される。第１と第
２の電鋳層はそれぞれ約１５０μｍの厚さである。２枚
のホトマスクの貫通孔は中心で一致して周辺にゆくほど
ずれ量が大きく、同心円毎に同じずれ量に設計されてい
る。周辺にある貫通孔は図のような断面形状になるた
め、噴霧の方向性が決められ、孔の壁面にある鋭いエッ
ジ（突起物）によって燃料の霧状化が達成される。２回
に分けて電鋳で製作されたフィルタは、異物による欠陥
が分散され、厚膜化できるので強度が強い特徴がある。
また、高精度の形状のものを大量に歩留りよく得られる
のでこのフィルタは低コストで供給できるようになる。
材質はＮｉ合金に限定されるものでなくＮｉやＦｅなど
でもよい。
【０００８】実施例２ 次に、第二の実施例を図３、図８により説明する。図３
は噴射用ノズルに用いるフィルタの周辺にある貫通孔３
３の別の構造の側断面図である。また、図８はこのフィ
ルタをホトリソグラフィと電鋳の繰り返し法によって製
作した主要製造工程の貫通孔部分の側断面図である。貫
通孔３３はｎ重（図ではｎ＝４）の電鋳層の枠３４で構
成され、貫通孔の角度３９は各電鋳層のずれ量によって
決まり、これが噴霧方向となる。この製作方法を図８に
従って述べる。導電性の支持基板１０１に第１のホトレ
ジスト層を約１００μｍの厚さに塗布し、第一のマスク
により露光、現像して第１のホトレジストパターン１０
２ａを形成し、電解鍍金によりＮｉ合金の第１の電鋳層
１０３ａを約１００の厚さに形成する（ａ）。続いて、
この表面に同様の方法で第２のホトレジストパターン１
０２ｂを形成し、第２の電鋳層１０３ｂを約１００の厚
さに形成する（ｂ）。続いて、この表面に同様の方法で
第３のホトレジストパターン１０２ｃを形成し、第３の
電鋳層１０３ｃを約１００の厚さに形成する（ｃ）。続
いて、この表面に同様の方法で第４のホトレジストパタ
ーン１０２ｄを形成し、第４の電鋳層１０３ｄを約１０
０の厚さに形成する（ｄ）。最後に枠８４を支持基板１
０１からはずし、ホトレジストを除去して、貫通孔８３
をもつフィルタを得る。薄層の回数を多くしてフィルタ
を構成すると（１）貫通孔の形状が高精度に形成でき
る、（２）強度が強くなる、（３）気孔群の噴射方向性
を任意に設計できる、等の長所がえられる。
は噴射用ノズルに用いるフィルタの周辺にある貫通孔３
３の別の構造の側断面図である。また、図８はこのフィ
ルタをホトリソグラフィと電鋳の繰り返し法によって製
作した主要製造工程の貫通孔部分の側断面図である。貫
通孔３３はｎ重（図ではｎ＝４）の電鋳層の枠３４で構
成され、貫通孔の角度３９は各電鋳層のずれ量によって
決まり、これが噴霧方向となる。この製作方法を図８に
従って述べる。導電性の支持基板１０１に第１のホトレ
ジスト層を約１００μｍの厚さに塗布し、第一のマスク
により露光、現像して第１のホトレジストパターン１０
２ａを形成し、電解鍍金によりＮｉ合金の第１の電鋳層
１０３ａを約１００の厚さに形成する（ａ）。続いて、
この表面に同様の方法で第２のホトレジストパターン１
０２ｂを形成し、第２の電鋳層１０３ｂを約１００の厚
さに形成する（ｂ）。続いて、この表面に同様の方法で
第３のホトレジストパターン１０２ｃを形成し、第３の
電鋳層１０３ｃを約１００の厚さに形成する（ｃ）。続
いて、この表面に同様の方法で第４のホトレジストパタ
ーン１０２ｄを形成し、第４の電鋳層１０３ｄを約１０
０の厚さに形成する（ｄ）。最後に枠８４を支持基板１
０１からはずし、ホトレジストを除去して、貫通孔８３
をもつフィルタを得る。薄層の回数を多くしてフィルタ
を構成すると（１）貫通孔の形状が高精度に形成でき
る、（２）強度が強くなる、（３）気孔群の噴射方向性
を任意に設計できる、等の長所がえられる。
【０００９】実施例３ 次に、第三の実施例を図４により詳細に説明する。図４
は噴射用ノズルに用いるフィルタの周辺にある貫通孔４
３の別の構造の側断面図である。貫通孔４３はｎ重（図
ではｎ＝４）の薄層のフィルタを積層し、密着した枠４
４内に形成され、貫通孔の角度４９は各薄層のずれ量に
よって決まり、これが噴霧方向となる。各薄層は膜厚１
００μｍのＮｉ板を化学エッチングにより形成したもの
で、加工孔の形状はテーパがついている。これらを位置
合わせして表裏を互い違いに積層した後、加熱、加圧に
より密着する。貫通孔４３の断面形状が鋭く、これによ
って霧状の噴射が容易になる。このほかに薄層のフィル
タは膜厚１００μｍのステンレス板を金型による打抜き
によって形成し、位置合わせして積層した後、加熱、加
圧により密着して形成してもよい。
は噴射用ノズルに用いるフィルタの周辺にある貫通孔４
３の別の構造の側断面図である。貫通孔４３はｎ重（図
ではｎ＝４）の薄層のフィルタを積層し、密着した枠４
４内に形成され、貫通孔の角度４９は各薄層のずれ量に
よって決まり、これが噴霧方向となる。各薄層は膜厚１
００μｍのＮｉ板を化学エッチングにより形成したもの
で、加工孔の形状はテーパがついている。これらを位置
合わせして表裏を互い違いに積層した後、加熱、加圧に
より密着する。貫通孔４３の断面形状が鋭く、これによ
って霧状の噴射が容易になる。このほかに薄層のフィル
タは膜厚１００μｍのステンレス板を金型による打抜き
によって形成し、位置合わせして積層した後、加熱、加
圧により密着して形成してもよい。
【００１０】実施例４ 第四の実施例を図５により詳細に説明する。図５は噴射
用ノズルに用いるフィルタの周辺にある貫通孔５３の別
の構造の側断面図である。貫通孔５３はｎ重（図ではｎ
＝４）の薄層のフィルタを積層し、密着した枠５４内に
形成される。各薄層は膜厚１００μｍのＮｉ板を化学エ
ッチングにより形成した同一のもので、加工孔の形状は
テーパがついている。これらをずれのないように積層し
た後、加熱、加圧により密着する（ａ）。この後、フィ
ルタ５１の気孔群の部分を球状の金型を使ってプレスし
て湾曲形状に加工する。各貫通孔５３の噴霧方向５７は
放射状になるよう整形され、各貫通孔５３の断面形状に
は鋭い突起が形成された構造になっている（ｂ）。この
フィルタ構造の特徴は同一の薄層パターンの積層で形成
できるのでコストが安価にできることである。なお、化
学エッチングでテーパを形成した加工例を述べたが、テ
ーパをつけたホトレジストパターンと電鋳によっても同
じ形状が形成でき、この場合の特徴は一枚のホトマスク
でよいことである。
用ノズルに用いるフィルタの周辺にある貫通孔５３の別
の構造の側断面図である。貫通孔５３はｎ重（図ではｎ
＝４）の薄層のフィルタを積層し、密着した枠５４内に
形成される。各薄層は膜厚１００μｍのＮｉ板を化学エ
ッチングにより形成した同一のもので、加工孔の形状は
テーパがついている。これらをずれのないように積層し
た後、加熱、加圧により密着する（ａ）。この後、フィ
ルタ５１の気孔群の部分を球状の金型を使ってプレスし
て湾曲形状に加工する。各貫通孔５３の噴霧方向５７は
放射状になるよう整形され、各貫通孔５３の断面形状に
は鋭い突起が形成された構造になっている（ｂ）。この
フィルタ構造の特徴は同一の薄層パターンの積層で形成
できるのでコストが安価にできることである。なお、化
学エッチングでテーパを形成した加工例を述べたが、テ
ーパをつけたホトレジストパターンと電鋳によっても同
じ形状が形成でき、この場合の特徴は一枚のホトマスク
でよいことである。
【００１１】実施例５ 第五の実施例を図６、図７により詳細に説明する。図６
は噴射用ノズルに用いるフィルタ６１の全体図で燃料が
噴射される面からみた上面図である。貫通孔６３は２重
に薄層のフィルタを積層した構成で形成されている。同
心円にある貫通孔の形状は噴霧領域６８の噴霧方向６７
が外向きに直線的になるよう形成され、これによってこ
のフィルタから霧状に噴射される燃料は均等に広がるよ
うになる。図７は噴射用ノズルに用いるフィルタ７１の
全体図で燃料が噴射される面からみた上面図である。貫
通孔７３は３重に薄層のフィルタを積層した構成で形成
されている。同心円にある貫通孔の形状は霧状の燃料が
噴霧方向７７が外向きに渦巻状になるよう形成され、こ
れによってこのフィルタから霧状に噴射される燃料は均
等に広がるようになる。
は噴射用ノズルに用いるフィルタ６１の全体図で燃料が
噴射される面からみた上面図である。貫通孔６３は２重
に薄層のフィルタを積層した構成で形成されている。同
心円にある貫通孔の形状は噴霧領域６８の噴霧方向６７
が外向きに直線的になるよう形成され、これによってこ
のフィルタから霧状に噴射される燃料は均等に広がるよ
うになる。図７は噴射用ノズルに用いるフィルタ７１の
全体図で燃料が噴射される面からみた上面図である。貫
通孔７３は３重に薄層のフィルタを積層した構成で形成
されている。同心円にある貫通孔の形状は霧状の燃料が
噴霧方向７７が外向きに渦巻状になるよう形成され、こ
れによってこのフィルタから霧状に噴射される燃料は均
等に広がるようになる。
【００１２】
【発明の効果】（１）薄板のフィルタを積層した構成に
よって、耐熱性、耐久性、圧力に強い、厚いフィルタを
形成できるようになる。 （２）薄板のフィルタを積層した構成によって、貫通孔
の形状を任意に形成でき、噴霧の方向性を高め、霧状の
燃料を噴射できるようになる。 （３）薄板のフィルタを積層した構成によって、微細加
工ができるようになり、高性能なフィルタを安価に提供
できるようになる。 （４）本発明のフィルタを噴射用ノズルに用いて高精度
で、高性能の噴射用ノズルを安価に提供できるようにな
る。
よって、耐熱性、耐久性、圧力に強い、厚いフィルタを
形成できるようになる。 （２）薄板のフィルタを積層した構成によって、貫通孔
の形状を任意に形成でき、噴霧の方向性を高め、霧状の
燃料を噴射できるようになる。 （３）薄板のフィルタを積層した構成によって、微細加
工ができるようになり、高性能なフィルタを安価に提供
できるようになる。 （４）本発明のフィルタを噴射用ノズルに用いて高精度
で、高性能の噴射用ノズルを安価に提供できるようにな
る。
【図１】本発明の実施例１の噴射用ノズルに用いるフィ
ルタの構造の上面図と側断面図。
ルタの構造の上面図と側断面図。
【図２】本発明の実施例１の噴射用ノズルの基本構成側
面図。
面図。
【図３】本発明の実施例２の噴射用ノズルに用いるフィ
ルタの周辺にある貫通孔の構造の側断面図。
ルタの周辺にある貫通孔の構造の側断面図。
【図４】本発明の実施例３の噴射用ノズルに用いるフィ
ルタの周辺にある貫通孔４３の側断面図。
ルタの周辺にある貫通孔４３の側断面図。
【図５】本発明の実施例４の噴射用ノズルに用いるフィ
ルタの周辺にある貫通孔５３の側断面図。
ルタの周辺にある貫通孔５３の側断面図。
【図６】本発明の実施例５の噴射用ノズルに用いるフィ
ルタの全体図で燃料が噴射される面からみた上面図。
ルタの全体図で燃料が噴射される面からみた上面図。
【図７】本発明の実施例５の噴射用ノズルに用いるフィ
ルタの他の全体図で燃料が噴射される面からみた上面
図。
ルタの他の全体図で燃料が噴射される面からみた上面
図。
【図８】本発明の実施例２のフィルタをホトリソグラフ
ィと電鋳の繰り返し法によって製作した主要製造工程の
貫通孔部分の側断面図。
ィと電鋳の繰り返し法によって製作した主要製造工程の
貫通孔部分の側断面図。
１１、６１、７１…フィルタ １２…気孔群 １３、３３、４３、５３、６３、７３、８３…貫通孔 １４、３４、４４、５４、８４…枠 ２２…止め具 ２３…噴射用ノズル ２４…燃料供給管 ３９、４９…貫通孔の角度 ５７、６７、７７…噴霧方向 ６８…噴霧領域 １０１…導電性の支持基板 １０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、１０２ｄ…ホトレジス
トパターン １０３ａ、１０３ｂ、１０３ｃ、１０３ｄ…電鋳層
トパターン １０３ａ、１０３ｂ、１０３ｃ、１０３ｄ…電鋳層
Claims (8)
- 【請求項１】 噴射用ノズルのフィルタを通して液体を
噴射するノズルにおいて、該フィルタは、この貫通孔か
らでた液体が霧状になって任意の方向に噴射されるよう
な貫通孔の構造を有することを特徴とした噴射用ノズ
ル。 - 【請求項２】 上記噴射用ノズルはこれによって燃料を
燃焼室に供給して燃焼させる装置に使われることを特徴
とした請求項１記載の噴射用ノズル。 - 【請求項３】 上記フィルタの貫通孔の内部側壁には突
起物が少なくとも一部分に構成された構造を有すること
を特徴とした請求項１と２記載の噴射用ノズル。 - 【請求項４】 上記フィルタの上面形状は丸形、楕円
形、方形、多角形の少なくともいずれか一つを含む形状
であることを特徴とした請求項１、２、３記載の噴射用
ノズル。 - 【請求項５】 上記フィルタの気孔群の形状は噴射用ノ
ズルから噴射した液体が任意の分布をもって飛散するよ
うに各貫通孔に任意の断面形状を設けた構造であること
を特徴とした請求項１、２、３、４記載の噴射用ノズ
ル。 - 【請求項６】 上記フィルタは少なくとも２枚以上のフ
ィルタを積層した構造によって構成されることを特徴と
した請求項１、２、３、４、５記載の噴射用ノズル。 - 【請求項７】 上記構成を有するフィルタの製造方法に
おいて、薄層フィルタをプレス、エッチングあるいは電
鋳の製造方法で形成する工程と、該薄層フィルタを任意
の位置合わせで重ね、少なくとも２枚以上積層する工程
と、これらを密着固定する工程とを基本としてフィルタ
を製作することを特徴とした噴射用ノズルの製造方法。 - 【請求項８】 上記構成を有するフィルタの製造方法に
おいて、導電性支持基板に第１のホトレジストパターン
を形成する工程と、電解鍍金によって上記支持基板上に
第１の電鋳層を形成する工程と、これらの上面に第２の
ホトレジストパターンを第１のホトレジストパターンと
相関をもって形成する工程と、電解鍍金によって上記第
１の電鋳層と接して第２の電鋳層を形成する工程とを基
本として、同様の工程で少なくとも２層以上の電鋳層を
形成する工程と、積層した電鋳層から導電性支持基板と
ホトレジストパターンを取り去る工程からフィルタを製
作することを特徴とした噴射用ノズルの製造方法。
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