JP2000246118A - 純水製造方法 - Google Patents
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Abstract
床式イオン交換脱塩装置によるイオン交換工程とを有す
る純水製造方法において、混床式イオン交換脱塩装置の
混合樹脂層の再生に当り、系内の水を逆洗水として有効
利用することにより、カチオン交換樹脂とアニオン交換
樹脂とを効率的に分離する。 【解決手段】 アルカリ剤を添加した後RO膜分離装置
に通水して脱塩するRO膜分離工程と、カチオン交換樹
脂とアニオン交換樹脂との混合樹脂層に通水して脱塩す
るイオン交換工程とを有する純水製造方法において、混
合樹脂層を再生するに当たり、混合樹脂層に、RO膜分
離装置の透過水及び/又は濃縮水を上向流で通水して逆
洗することにより、カチオン交換樹脂とアニオン交換樹
脂とを分離する。
Description
した後、逆浸透(RO)膜分離装置に通水して脱塩する
RO膜分離工程と、カチオン交換樹脂とアニオン交換樹
脂との混合樹脂層に通水して脱塩するイオン交換工程と
を有する純水製造方法に係り、特に、混合樹脂層の再生
に当たり、カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂とを系
内の水を逆洗水として有効利用して効率的に分離するこ
とにより、混合樹脂層の再生効率を高め、結果として得
られる純水の純度の向上、製造コストの低減を図る方法
に関する。
などの、高度な純度の水質が要求される分野で使用され
る純水は、一般に、工業用水、市水、河川水、井水、希
薄排水などを原水として、RO膜分離装置及び混床式イ
オン交換脱塩装置と共に、凝集装置、濾過装置、精密濾
過膜、限外濾過膜などの膜分離装置、活性炭吸着装置、
軟化装置、生物処理装置、紫外線照射装置、脱炭酸、脱
酸素などの脱気装置などが任意の位置に配置された純水
製造装置で水中の懸濁物質や溶解物質を除去することに
より製造されている。
膜分離装置での脱塩処理に当っては、炭酸、シリカ、ホ
ウ素、有機酸などの除去率を向上させる目的で、RO膜
に供給する水(以下「RO給水」と称す。)にアルカリ
剤(一般的には水酸化ナトリウム)を添加してアルカリ
性としてRO膜に給水することが行われている。即ち、
RO給水をアルカリ性にすることにより、上述した物質
は解離し易くなり、RO膜分離装置で分離できるように
なる。この場合、RO給水のpHが高いほどこれらの物
質の解離が起こり易いことから、使用するRO膜の耐ア
ルカリ性度合いを考慮した上で、RO給水は通常pH8
以上、好ましくはpH9〜11に調整される。
されたRO給水をRO膜分離装置でRO膜分離すると、
アルカリ剤の一部はRO膜を透過し、透過水中に移行す
るので、透過水はアルカリ性を維持する。また、アルカ
リ剤の残部はRO膜で排除されて濃縮され、濃縮水のp
Hをより高くする。例えば、pH8でRO膜分離装置に
給水した場合、透過水のpHは7.5になり、濃縮水の
pHは8.5になるケースがある。また、pH10でR
O膜分離装置に給水すると、透過水のpHは9.0にな
り、濃縮水のpHは10.5になるケースがある。
場合もあるが、2段又は3段以上の複数段に直列に配置
されて設置される場合もある。また、RO膜分離装置を
複数段に直列に配置した場合、アルカリ剤は必ずしも1
段目のRO給水に添加されるとは限らず、2段目以降の
RO給水に添加される場合もある。
の使用によりイオン交換樹脂のイオン交換能が低下して
くるため、一定の採水量を経た後は、薬剤を用いて再生
が行われるが、この再生に先立ちカチオン交換樹脂とア
ニオン交換樹脂とを分離する必要がある。この分離は、
多くの場合、混合樹脂層の下部より水を上向流で通水
し、カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂とを逆洗水流
で展開させて、各々の比重及び粒径の差を利用して行わ
れる。
脂とアニオン交換樹脂とを高度に分離し、分離後のカチ
オン交換樹脂中へのアニオン交換樹脂の混入、分離後の
アニオン交換樹脂中へのカチオン交換樹脂の混入を極力
避けることが重要となる。即ち、分離工程後の再生工程
において、アニオン交換樹脂の混入したカチオン交換樹
脂を塩酸や硫酸などの酸溶液で再生すると、混入してい
るアニオン交換樹脂がCl形やSO4形などに再生さ
れ、また、カチオン交換樹脂の混入したアニオン交換樹
脂を水酸化ナトリウムなどのアルカリ溶液で再生する
と、混入しているカチオン交換樹脂がNa形などに再生
される、逆再生が起こり、次の通水工程において、処理
水の純度の立ち上りが悪くなったり、採水量の低下を招
いたりする場合がある。また、分離後のカチオン交換樹
脂に混入しているアニオン交換樹脂にシリカのような物
質が吸着されていた場合には、再生不良となって、次の
通水工程における処理水質が悪くなり、著しい場合に
は、樹脂表面においてコロイダルシリカが形成され、樹
脂の反応速度を低下させるなどの劣化を引き起こすこと
がある。
塩装置における混合樹脂層の再生に当っては、カチオン
交換樹脂とアニオン交換樹脂との分離を確実に行うこと
が極めて重要となる。
特性上負の電荷を有し、一方、アニオン交換樹脂は正の
電荷を持つ。これらの電荷の度合いは、それぞれの塩形
組成によって変化するが、カチオン交換樹脂もアニオン
交換樹脂も多少とも荷電を帯びており、このため、お互
いに電気的に引き寄せ合って絡みついている場合が多
い。こうした樹脂の絡みつきは、分離工程において長時
間の水逆洗を行っても解消することは難しい。そこで、
一般的には空気や窒素といった気体を導入し、混合樹脂
層に対して曝気を行うことで絡みつきを解消させる方法
が採られることが多い。
酸化、物理的損傷で劣化させることがあるため、長時間
の曝気を行うことはできない。また、装置の構造上、均
一に曝気を行えない場合もあり、イオン交換樹脂の絡み
つきがひどい場合には曝気による絡みつきの解消効果は
低いといった問題もある。
RO膜分離装置が設置され、RO給水にアルカリ又は酸
を添加してpH調整を行っている場合には、RO膜分離
装置の透過水のイオンバランスが崩れ、混床式イオン交
換脱塩装置に酸又はアルカリに偏ったイオン負荷が付与
されることとなるが、この場合には、カチオン交換樹脂
又はアニオン交換樹脂のいずれか一方へのイオン負荷が
少ないことにより上述の絡みつきが著しくなり、曝気に
より解消できない場合が多い。
引に解消するために、希薄な酸やアルカリ、その他塩類
を含む溶液を予め通水する方法が知られており、特に、
混合樹脂層の分離工程でこのような溶液によって逆洗を
行うと、流動しているイオン交換樹脂に対して塩負荷を
与えていることになることから、大きな効果が得られる
ことが判明している。
カリの溶液で混合樹脂層を逆洗する場合、用いる酸やア
ルカリの溶液が濃厚な場合には、イオン交換樹脂の割れ
を生じさせるなどの劣化を引き起こすことがあることか
ら、樹脂の再生に用いる酸又はアルカリ溶液を、そのま
ま使用することはできない。このため、希薄な酸又はア
ルカリ溶液を調製するために、新たに希釈槽を設けるこ
とが必要となるが、混合樹脂層のイオン交換樹脂を逆洗
展開させるのに必要な量を貯槽するためには、巨大なタ
ンク又は貯槽が必要である。
ても同様であり、希釈槽だけでなく、更に別個に塩類を
貯槽しておくための薬液タンクやポンプも必要となり、
イオン交換樹脂の再生に当って混合樹脂層の分離を行う
目的のためにのみ必要とされる付帯設備として、大きな
設備が必要となる。
膜分離装置によるRO膜分離工程と、混床式イオン交換
脱塩装置によるイオン交換工程とを有する純水製造方法
において、混床式イオン交換脱塩装置の混合樹脂層の再
生に当り、系内の水を逆洗水として有効利用することに
より、カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂とを効率的
に分離する方法を提供することを目的とする。
は、アルカリ剤を添加した後逆浸透膜分離装置に通水し
て脱塩する逆浸透膜分離工程と、カチオン交換樹脂とア
ニオン交換樹脂との混合樹脂層に通水して脱塩するイオ
ン交換工程とを有する純水製造方法において、該混合樹
脂層を再生するに当たり、該混合樹脂層に、前記逆浸透
膜分離装置の透過水及び/又は濃縮水を上向流で通水し
てカチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂とを分離するこ
とを特徴とする。
て、カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂との絡みつき
を解消する手段として、希薄な酸又はアルカリ溶液によ
り逆洗する分離操作が有効であることが知られている。
そこで、本発明者は、この分離工程における逆洗水とし
て使用する希薄溶液を検討した結果、RO給水がアルカ
リ性に調整されているRO膜分離装置の透過水及び/又
は濃縮水、例えば、一般的に混床式イオン交換脱塩装置
の供給水とされるRO膜分離装置の透過水を使用するこ
とで、絡みつきを有効に解消して効率的な分離を行える
ことを見出した。
にRO給水のpH調整のために水酸化ナトリウムを使用
した場合には、pH7以上のほぼNaOHのみを含む水
溶液となる。特に、RO膜分離装置においてシリカやホ
ウ素を効率良く除去するべくRO給水の調整が行われて
いる場合には、透過水はpH8以上となっている場合が
多く、従って、イオン交換樹脂相互の絡みつきを十分に
解消することができる。しかも、この透過水は一般に混
床式イオン交換脱塩装置に供給される水であり、Na以
外の不純物の殆どはRO膜で排除されているため、逆洗
水として用いても、イオン交換樹脂に新たな汚染を引き
起こすこともない。特に、アルカリ溶液による逆洗にお
いては、該溶液中にCaが含まれている場合に、Ca
(OH)2といった難溶解性の物質の生成が懸念される
が、RO膜分離装置の透過水ではCaを含まないため、
このような問題はない。
行われており、RO膜分離装置の透過水の貯槽を設ける
こともなく、逆洗に必要な十分量の水量を確保すること
ができ、しかも、透過水自体が十分な圧力を有するた
め、別途ポンプを設ける必要もなく、混合樹脂層に上向
流通水することかできる。
置した場合においては、2段目以降のRO膜分離装置の
濃縮水もまた、上記透過水と同様、比較的純度の高いア
ルカリ溶液となるため、この濃縮水を用いても、イオン
交換樹脂の二次汚染を引き起こすことなく、効率的な分
離を行える。
透過水及び/又は濃縮水を逆洗水として混合樹脂層に通
水することで、透過水及び/又は濃縮水中のアルカリ成
分が混合樹脂層中のカチオン交換樹脂に負荷を起こすと
共にイオン交換樹脂の周囲環境を中性からアルカリ性へ
と変えることで、イオン交換樹脂の絡みつきを低減す
る。
アルカリ性に調整してRO膜分離装置で脱塩処理し、そ
の透過水を混床式イオン交換脱塩装置で脱塩処理する純
水の製造プロセスにおいて、RO膜分離装置の透過水に
含まれる不純物の殆どはNa +であるため、混床式イオ
ン交換脱塩装置のカチオン交換樹脂に負荷が加えられ、
一方、アニオン交換樹脂への負荷は小さく、わずかなC
lやSiO2のみである。この結果、再生に入る前のイ
オン交換樹脂の大部分が、カチオン交換樹脂はR−Na
型、アニオン交換樹脂はR−OH型で存在していると考
えられる。
からRO膜分離装置の透過水及び/又は濃縮水を導入す
ると、まだ交換容量の残っているカチオン交換樹脂に対
してわずかな負荷が起こる。かつ、イオン交換樹脂の周
囲の雰囲気が変わるため、イオン交換樹脂表面の電荷も
わずかに変化する。これらのことから、イオン交換樹脂
の絡みつきが化学的、物理的に破壊され、分離しやすい
状況になる。
に説明する。
給水にアルカリ剤を添加してRO膜分離装置に通水する
RO膜分離工程と、カチオン交換樹脂とアニオン交換樹
脂との混合樹脂層を有する混床式イオン交換脱塩装置に
通水するイオン交換工程とを備えるものであれば良く、
RO膜分離装置や混床式イオン交換脱塩装置の前段や後
段、或いはRO膜分離装置と混床式イオン交換脱塩装置
との間に設けられている他の浄化装置(凝集装置、濾過
装置、精密濾過膜、限外濾過膜などの膜分離装置、活性
炭吸着装置、軟化装置、生物処理装置、紫外線照射装
置、脱炭酸、脱酸素などの脱気装置など)等には特に制
限はない。また、RO膜分離装置と混床式イオン交換脱
塩装置との設置順序にも制限はないが、一般的には、R
O膜分離装置の後段に混床式イオン交換脱塩装置が設け
られる。
て、RO膜分離装置の透過水及び/又は濃縮水を混床式
イオン交換脱塩装置の混合樹脂層の再生処理のための分
離工程の逆洗水として利用する。
される場合と2段以上の複数段に設置される場合とがあ
るが、RO膜分離装置が複数段に設置されている場合、
アルカリ性を示すものであれば、いずれのRO膜分離装
置の透過水を使用しても良い。ただし、後段の透過水ほ
ど不純物量が少なく、イオン交換樹脂の汚染の問題がな
いことから、後段側のRO膜分離装置の透過水がアルカ
リ性であれば、この透過水を利用するのが好ましい。ま
た、このように複数段にRO膜分離装置を設けた場合に
は、後段側の濃縮水も十分に純度が高く、しかもアルカ
リが適度に濃縮されていることから、この濃縮水を用い
ることにより、より短時間で効率的な分離操作を行え
る。この場合、濃縮水の水量は透過水の水量に比べて少
ないため、逆洗水として水量が不足する場合には、適宜
いずれかのRO膜分離装置の透過水を混合して使用して
も良い。
の透過水及び/又は濃縮水の水質は、イオン交換樹脂の
絡みつきを効果的に解消して効率的な分離を行うと共
に、イオン交換樹脂の二次汚染を防止する観点から、p
H7.5〜12、導電率15〜250μS/cm、シリ
カ濃度100ppb以下であることが好ましい。
縮水を逆洗水として使用する場合、一般的にはRO膜分
離装置には連続して通水が行われているため、逆洗水と
しての透過水や濃縮水の貯槽を設けることなく、十分量
の水量を確保することができ、しかもこれらは十分な圧
力を有するため、新たにポンプを設けることなく混合樹
脂層の逆洗水として上向流通水することができるが、必
要に応じて濃縮水又は透過水の貯槽や濃縮水と透過水と
の混合槽を設けても良い。
混床式イオン交換脱塩装置には予備のイオン交換塔があ
り、混床式イオン交換脱塩装置が再生工程に入った場合
には、この予備塔に通水され、連続的に純水の製造が行
われる。従って、再生工程の混合樹脂層の分離工程でR
O膜分離装置の透過水及び/又は濃縮水が必要になった
ときには、運転中のRO膜分離装置の透過水及び/又は
濃縮水の配管から分岐してそれらの水を混合樹脂層に供
給することができる。このような予備塔がなく、混合樹
脂層の再生工程に入るとRO膜分離装置の運転も停止さ
れるような場合には、予めRO膜分離装置の透過水及び
/又は濃縮水を貯槽に貯留しておき、必要に応じて逆洗
水として使用すれば良い。
て使用した水は、RO膜分離装置の給水として再度処理
しても良く、また、混床式イオン交換脱塩装置やその他
の浄化装置の給水とすることもできる。
合樹脂層の再生方式には塔内再生方式と塔外再生方式と
がある。塔内再生方式は、通水を停止し、当該イオン交
換塔内でイオン交換樹脂の分離、薬剤による再生、押し
出し、洗浄の各工程を行うものであり、従って、当該イ
オン交換塔に、逆洗水導入手段、酸(塩酸、硫酸などの
カチオン交換樹脂再生剤)導入手段、アルカリ(水酸化
ナトリウムなどのアニオン交換樹脂再生剤)導入手段な
どが付設されている。一方、塔外再生方式は、イオン交
換塔からイオン交換樹脂を分離兼カチオン交換樹脂再生
塔に移送し、そこで両樹脂を分離し、分離したアニオン
交換樹脂をアニオン再生塔に移送し、両塔でそれぞれの
イオン交換樹脂を再生し、再生後、もとのイオン交換塔
に戻すものである。
式にも適用できることは言うまでもない。
れるイオン交換樹脂にも特に制限はなく、従来一般的に
使用されている粒径にガウス分布をもつイオン交換樹脂
であっても、粒径分布の幅の狭い均一粒径のイオン交換
樹脂であっても良い。
透過水及び/又は濃縮水を用いる本発明の純水製造方法
によれば、系内の水を利用して、混合樹脂層のイオン交
換樹脂を効率的に分離することができるが、なお、更に
次の〜のような操作を行うことにより、より一層確
実にカチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂とを分離して
再生することができ、逆再生を防止して再生後の混合樹
脂層のイオン交換性能を著しく高めることができる。
及び/又は濃縮水を混合樹脂層に上向流で通水して逆洗
する。 展開させたイオン交換樹脂を沈静させてカチオン交
換樹脂層とアニオン交換樹脂層とに分離する。 分離したカチオン交換樹脂層に塩酸や硫酸などの酸
を通水してカチオン交換樹脂を再生する。 再生後のカチオン交換樹脂を純水で水逆洗した後沈
静させ、カチオン交換樹脂層にわずかに混入し、逆再生
されたアニオン交換樹脂を比重差を利用して分離する。
即ち、逆再生されたアニオン交換樹脂は塩形(Cl形)
となり、OH形よりも比重が大きくなるため、カチオン
交換樹脂と容易に分離することができる。この水逆洗に
用いる純水には、当該混床式イオン交換脱塩装置のイオ
ン交換水或いは当該純水製造システムの処理水としての
純水を用いることができる。 とで分離したアニオン交換樹脂層に水酸化ナト
リウムなどのアルカリを通水してアニオン交換樹脂を再
生する。
り具体的に説明する。
原水とし、活性炭塔、脱気装置及び第1RO膜分離装置
に順次通水し、第1RO膜分離装置の透過水にアルカリ
として水酸化ナトリウムを添加してpH10に調整した
後、第2RO膜分離装置に通水し、第2RO膜分離装置
の透過水を混床式イオン交換脱塩装置に通水して処理す
る純水製造システムで実験を行った。
透過水の水質は次の通りであった。
は、内径10cm、高さ200cmの樹脂カラムに下記
のイオン交換樹脂を充填して混合樹脂層を形成したもの
であり、この混床式イオン交換脱塩装置に第2RO膜分
離装置の透過水をSV=30hr-1の通水速度で通水
し、5000BV通水後に通水を停止して塔内再生方式
にて再生工程に入る処理を行った。
G」):1.5L アニオン交換樹脂(栗田工業(株)製「EX−A
G」):3.0L 各イオン交換樹脂の再生条件は次の通りとした。
調査を行った後、次の再生工程において下記の手順でイ
オン交換樹脂の分離状況の調査を行い、結果を表2に示
した。
査〕 通水停止後、5分間沈静した。 樹脂カラム下部より、第2RO膜分離装置の透過水
をLV=10m/hrで導入し、10分間逆洗展開させ
た。 5分間沈静させた後、分離されたカチオン交換樹脂
層とアニオン交換樹脂層とにそれぞれ薬注、押出、洗浄
を実施した。 通水を再開した。 通水再開後、水質が安定したときの処理水(混床式
イオン交換脱塩装置の流出水)の水質(比抵抗,シリカ
濃度)を調べた。
をLV=10m/hrで導入し、10分間逆洗展開させ
た。 5分間沈静させた後、カチオン交換樹脂層、アニオ
ン交換樹脂層をそれぞれ抜き出し、樹脂の混入率を調べ
た。
た。
基準で測定し、カチオン交換樹脂層中に混入したアニオ
ン交換樹脂量は、カチオン交換樹脂層を18重量%Na
OH水溶液に浸漬し、攪拌して分離し、その容積を測定
することにより求めた。
層の逆洗水として第2RO膜分離装置の透過水ではなく
第2RO膜分離装置の濃縮水を用い、逆洗展開時間を7
分としたこと以外は実施例1と同様にして再生を行って
イオン交換性能の調査及び分離状況の調査を行い、結果
を表2に示した。
調査を行った後、次の再生工程において下記の手順でイ
オン交換樹脂の分離状況の調査を行い、結果を表2に示
した。
査〕 通水停止後、5分間沈静した。 樹脂カラム下部より、第2RO膜分離装置の濃縮水
をLV=10m/hrで導入し、7分間逆洗展開させ
た。 5分間沈静させた後、カチオン交換樹脂層の薬注、
押出、洗浄を実施した。 カチオン交換樹脂の再生処理後、樹脂カラム下部よ
り純水をLV=5m/hrで導入し、水逆洗を7分実施
した。 5分間沈静させた後、アニオン交換樹脂層の薬注、
押出、洗浄を実施した。 通水を再開した。 通水再開後、水質が安定したときの処理水(混床式
イオン交換脱塩装置の流出水)の水質(比抵抗,シリカ
濃度)を調べた。
をLV=10m/hrで導入し、7分間逆洗展開させ
た。 5分間沈静させた後、分離されたカチオン交換樹脂
層の薬注、押出、洗浄を実施した。 カチオン交換樹脂の再生処理後、樹脂カラム下部よ
り純水をLV=5m/hrで導入し、水逆洗を7分実施
した。 5分間沈静させた後、カチオン交換樹脂層、アニオ
ン交換樹脂層をそれぞれ抜き出し、樹脂の混入率を調べ
た。
層の逆洗水として第2RO膜分離装置の透過水ではな
く、純水を用いたこと以外は実施例1と同様にして再生
を行ってイオン交換性能の調査及び分離状況の調査を行
い、結果を表2に示した。
層の逆洗水として第2RO膜分離装置の透過水ではな
く、別途調製したpH9.5のNaOH水溶液を用いた
こと以外は実施例1と同様にして再生を行ってイオン交
換性能の調査及び分離状況の調査を行い、結果を表2に
示した。
置の濃縮水又は透過水を混合樹脂層の逆洗水として利用
することにより、混合樹脂層のイオン交換樹脂を効率的
に分離し、高い再生効果を得ることができることがわか
る。
法によれば、アルカリ性のRO膜分離装置の透過水及び
/又は濃縮水を逆洗水として使用することで、混合樹脂
層の再生時におけるイオン交換樹脂の分離を確実に行っ
て、逆再生を防止することができ、混合樹脂層の再生効
果を高め、より一層高純度な水を安定に製造することが
可能となる。
に対してわずかな配管の追加又は改造だけでよく、ま
た、逆洗水として使用した水は再度、RO膜分離装置の
給水として再利用することができ、或いは、そのまま混
床式イオン交換脱塩装置や他の浄水装置の給水として使
用することも可能である。このため、従来、混床式イオ
ン交換脱塩装置の逆洗水として大量の水が必要であった
が、こうした純水の使用量も大幅に低減され、全体とし
ての水の使用量や、純水の製造に関わる電気代やその他
の付帯設備を削減することができる。
0)
及び/又は濃縮水を混合樹脂層に上向流で通水して逆洗
する。 展開させたイオン交換樹脂を沈静させてカチオン交
換樹脂層とアニオン交換樹脂層とに分離する。 分離したカチオン交換樹脂層に塩酸や硫酸などの酸
を通水してカチオン交換樹脂を再生する。 再生後のカチオン交換樹脂を純水で水逆洗した後沈
静させ、カチオン交換樹脂層にわずかに混入し、逆再生
されたアニオン交換樹脂を比重差を利用して分離する。
即ち、逆再生されたアニオン交換樹脂は塩形(Cl形)
となり、OH形のときとは樹脂の表面電位が変化して、
カチオン交換樹脂と容易に分離することができる。この
水逆洗に用いる純水には、当該混床式イオン交換脱塩装
置のイオン交換水或いは当該純水製造システムの処理水
としての純水を用いることができる。 とで分離したアニオン交換樹脂層に水酸化ナト
リウムなどのアルカリを通水してアニオン交換樹脂を再
生する。
Claims (1)
- 【請求項1】 アルカリ剤を添加した後逆浸透膜分離装
置に通水して脱塩する逆浸透膜分離工程と、カチオン交
換樹脂とアニオン交換樹脂との混合樹脂層に通水して脱
塩するイオン交換工程とを有する純水製造方法におい
て、該混合樹脂層を再生するに当たり、該混合樹脂層
に、前記逆浸透膜分離装置の透過水及び/又は濃縮水を
上向流で通水してカチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂
とを分離することを特徴とする純水製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP05571899A JP3674368B2 (ja) | 1999-03-03 | 1999-03-03 | 純水製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP05571899A JP3674368B2 (ja) | 1999-03-03 | 1999-03-03 | 純水製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000246118A true JP2000246118A (ja) | 2000-09-12 |
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JP (1) | JP3674368B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112469670A (zh) * | 2018-05-01 | 2021-03-09 | Ddp特种电子材料美国有限责任公司 | 用树脂珠粒和微生物床进行水处理 |
-
1999
- 1999-03-03 JP JP05571899A patent/JP3674368B2/ja not_active Expired - Fee Related
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CN112469670A (zh) * | 2018-05-01 | 2021-03-09 | Ddp特种电子材料美国有限责任公司 | 用树脂珠粒和微生物床进行水处理 |
CN112469670B (zh) * | 2018-05-01 | 2023-06-23 | Ddp特种电子材料美国有限责任公司 | 用树脂珠粒和微生物床进行水处理 |
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